KR100657598B1

KR100657598B1 - Lapping machine

Info

Publication number: KR100657598B1
Application number: KR1020050109045A
Authority: KR
Inventors: 하상백; 최성주
Original assignee: 한국공작기계 주식회사
Priority date: 2005-11-15
Filing date: 2005-11-15
Publication date: 2006-12-14

Abstract

A lapping machine is provided to perform a lapping with a structure by preparing a dummy carrier having a crystal oscillator between a double carrier on a lower flat plate. In a lapping machine, a rotating table(200) is rotatably installed on a center of a main body(100). A cross beam(120) crosses the rotating table and is installed on a pillar(110). A cylinder(130) has a piston rod for moving up and down. An upper flat plate(300) is rotatably installed and supported by an universal head(132). A rotation driving unit rotates the upper flat plate. A circle plate type of a lower flat plate(210) without a sun gear at a center of the rotation table. An internal gear(220) is installed on an outside of the lower flat plate. A driving unit of the lower flat plate drives the upper flat plate to an outside of the internal gear. And, a plurality of double carriers(230) rotates a structure engaged with the internal gear of the outside of the lower flat plate.

Description

Lapping machine

도 1은 기존의 래핑머신을 개략적으로 나타낸 정면도,1 is a front view schematically showing a conventional wrapping machine,

도 2는 도 1의 래핑머신에서 공작물을 래핑할 때의 회전테이블과 상부정반이 구동되는 상태의 구성도,FIG. 2 is a configuration diagram of a state in which a rotary table and an upper surface plate are driven when lapping a workpiece in the lapping machine of FIG. 1;

도 3은 도 2에서 회전테이블의 하부정반에 공작물이 놓인 상태를 나타낸 사시도,3 is a perspective view showing a state in which the workpiece is placed on the lower surface of the rotary table in FIG.

도 4는 본 발명에 따른 일 실시예의 래핑머신을 나타낸 정면도,Figure 4 is a front view showing a lapping machine of an embodiment according to the present invention,

도 5는 도 4에서 회전테이블부분을 발췌하여 나타낸 평면도,5 is a plan view showing an extract of the rotary table in FIG.

도 6은 도 4에서 상부정반과 외접기어의 결합부분을 발췌하여 나타낸 도면,Figure 6 is a view showing an extract of the coupling portion of the upper surface plate and the external gear in Figure 4,

도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 래핑머신에서 상부정반구동수단에 대한 다른 실시 예들의 구성을 설명하기 위해 나타낸 도면이다.7A and 7B are views for explaining the configuration of other embodiments of the upper surface driving means in the wrapping machine according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100: 본체 110: 기둥100: main body 110: pillar

120: 크로스 빔 130: 실린더120: cross beam 130: cylinder

131: 피스톤로드 132: 유니버설헤드131: piston rod 132: universal head

200: 회전테이블 210: 하부정반200: rotary table 210: lower surface plate

212: 제1 감속 모터 220: 내접기어212: first reduction motor 220: internal gear

300: 상부정반 302: 핀홀300: upper surface plate 302: pinhole

310: 측정기 410: 외접기어310: measuring instrument 410: external gear

412: 결합핀 414: 제3 감속 모터412: coupling pin 414: third reduction motor

본 발명은 래핑머신에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 하부정반 중앙의 선기어를 제거하고 상부정반의 구동수단을 외측에 마련하되 하부정반에 내접기어에 맞물려 공작물을 회전시키는 복수의 이중캐리어를 마련함으로써 유성기어방식과 동일한 운동패턴을 가지면서 장비크기는 최소화하고 기존 유성기어방식의 양면 래핑머신에 비해 큰 사이즈의 공작물을 가공할 수 있으며, 또 공작물의 공전과 자전이 원활하게 일어나 상, 하부정반의 회전에 따른 그 외측이 많이 가공되는 문제점과 그로 인한 상, 하부정반의 편마모를 방지할 수 있는 래핑머신에 관한 것이다. The present invention relates to a lapping machine, and more particularly, by removing a sun gear in the center of the lower surface plate and providing a driving means of the upper surface on the outside, by providing a plurality of double carriers to engage the internal gear on the lower surface to rotate the workpiece. It has the same movement pattern as the planetary gear system and minimizes the machine size, and can process large sized workpieces compared to the conventional double-sided wrapping machine of the planetary gear system. The present invention relates to a lapping machine capable of preventing a lot of wear and tear on the upper and lower surfaces due to the problem that the outer side is processed a lot.

일반적으로, 래핑 머시인은 공작기계 중에서 연마기의 일종으로 평면가공 된 공작물을 경면(鏡面)과 같이 정밀 연마하는 가공 장치이다. 이렇게 정밀연마 방법은 래핑 및 폴리싱이 있는데, 그 구성은 래핑머신이나 폴리싱머신 모두 동일하며, 공작물의 종류에 따라 래핑 및 폴리싱을 선택하고 이 선택에 알맞은 정반으로 교환한 후, 사용 연마제를 구분 선택하여 작업하는 것에 의해서 구분한다. In general, the lapping machine is a processing device for precisely polishing a workpiece, such as a mirror surface, of a plane machined machine tool as a kind of grinding machine among machine tools. Thus, the precision polishing method is lapping and polishing, and the configuration is the same for both lapping and polishing machines, and according to the type of workpiece, lapping and polishing are selected, replaced with a plate for the selection, and then the abrasive used is selected. We distinguish by working.

상기 래핑머신은 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 본체(10)와, 이 본체 (10)의 중앙에서 회전가능하게 설치되는 회전테이블(20), 상기 본체(10)의 양쪽에서 상부로 세워진 기둥(11) 상단에 크로스 빔(12)이 회전테이블(20)을 횡단하여 설치되고 상기 크로스 빔(12)의 중앙에는 상하로 출몰되도록 피스톤로드(32)가 구비된 실린더(31)를 설치하며 이 실린더(31)의 피스톤로드(32) 하단에 유니버설헤드(33)로 지지되어 회전 가능하게 설치되는 상부정반(30) 및 상기 회전테이블(20)은 물론 상부정반(30)을 회전 구동시키기 위한 회전구동원을 구비하여 이루어진다. As the lapping machine is shown in Figures 1 to 3, the main body 10, the rotary table 20, which is rotatably installed in the center of the main body 10, the upper side in both of the main body 10 A cross beam 12 is installed across the rotary table 20 on the top of the pillar 11, and a cylinder 31 having a piston rod 32 is installed at the center of the cross beam 12 so as to rise and fall up and down. The upper plate 30 and the rotary table 20, which are supported by the universal head 33 and rotatably installed at the lower end of the piston rod 32 of the cylinder 31, as well as for driving the upper plate 30 to rotate. It is provided with a rotation drive source.

상기 회전테이블(20)은 넓은 원판인 하부정반(21)이 회전가능하게 설치되어 있으며, 상기 하부정반(21)의 중앙에는 상부정반(30)과의 연결을 위한 구동축(22)과, 이 구동축(22)의 외측에 회전가능하게 설치되는 선기어(sun gear)(23)가 마련되어 있고 상기 하부정반(21)의 외측에는 내접기어(24)가 회전가능하게 설치되되, 상기 하부정반(21), 구동축(22), 선기어(23) 및 내접기어(24)는 소정의 방향과 속도로 회전 구동시킬 수 있도록 다수의 기어를 갖는 기어축(25)과 맞물려있으며, 상기 기어축(25)은 회전구동원인 감속 모터(40)와 연결되어 있다.The rotary table 20 is rotatably installed on the lower surface plate 21, which is a wide disc, the drive shaft 22 for connecting to the upper surface plate 30 in the center of the lower surface plate 21, the drive shaft A sun gear 23 rotatably provided on an outer side of the 22 is provided, and an internal gear 24 is rotatably installed on an outer side of the lower surface plate 21, the lower surface plate 21, The drive shaft 22, the sun gear 23 and the internal gear 24 are meshed with a gear shaft 25 having a plurality of gears so as to drive rotation in a predetermined direction and speed, the gear shaft 25 is a rotational drive Cause It is connected to the deceleration motor 40.

상기와 같이 구성된 기존의 래핑머신은 도 3에 나타낸 바와 같이, 하부정반(21) 중앙의 선기어(23)와 하부정반(21)외측의 내접기어(24)에 맞물리게 다수의 캐리어(50)를 배열 설치한다. 이때, 각각의 캐리어(50)에는 공작물(w)을 삽입한다.As shown in FIG. 3, the existing wrapping machine configured as described above arranges a plurality of carriers 50 to be engaged with the sun gear 23 at the center of the lower surface plate 21 and the internal gear 24 outside the lower surface plate 21. Install. At this time, the work w is inserted into each carrier 50.

이와 같이 하부정반(21)상에 공작물(w)을 설치한 후에는 크로스 빔(12)에 설치된 실린더(31)의 피스톤로드(32)가 돌출되도록 작동시켜 상부정반(30)을 하강시키되, 상, 하부정반(30, 21) 사이에서 공작물이 일정압력으로 가압되어 밀착되는 상태이어야 하며, 이러한 상태에서 감속 모터(40)를 구동시키면 기어축(25)이 연동 되게 되고 상기 기어축(25)이 구동됨에 따라 상부정반(30)은 물론 선기어(23), 하부정반(21) 및 내접기어(24)가 소정의 회전방향과 속도로 회전 구동되게 된다. After installing the workpiece (w) on the lower surface plate 21 as described above, the piston rod 32 of the cylinder 31 installed in the cross beam 12 is operated to protrude to lower the upper surface plate 30, , The work should be in close contact with the lower plate 30, 21 by pressing a certain pressure, driving the reduction motor 40 in such a state that the gear shaft 25 is interlocked and the gear shaft 25 is As it is driven, the upper surface plate 30 as well as the sun gear 23, the lower surface plate 21 and the internal gear 24 are rotationally driven in a predetermined rotation direction and speed.

다시 말해서, 하부정반(21)에 설치되는 공작물(w)을 내접기어(24) 및 중앙의 선기어(23)에 지지되는 캐리어(50)가 회전되면, 상부정반(30)을 통해 공급되는 래핑제가 상부정반(30)의 회전에 의해 공작물(w)에 상대적인 자전과 공전이 이뤄지고 이렇게 공급되는 래핑제는 상, 하부정반(30,21)에 형성된 격자모양의 홈을 통해 골고루 균일하게 상, 하부정반(30,21)에 공급되는바 상, 하부정반(30,21) 사이에서 공작물(w)이 자전과 공전운동을 하는 과정에서 래핑제에 의해 공작물(w)의 상하면이 래핑(연마)되게 된다.In other words, when the carrier 50 supported by the internal gear 24 and the central sun gear 23 rotates the work w installed on the lower surface plate 21, the lapping agent supplied through the upper surface plate 30 is Rotation and revolution relative to the workpiece (w) is achieved by the rotation of the upper surface plate 30, and the lapping agent supplied in this way is evenly and evenly distributed through the lattice-shaped grooves formed in the upper and lower surface plates 30 and 21. The upper and lower surfaces of the workpiece (w) are wrapped (polishing) by the lapping agent in the process of rotating and rotating the workpiece (w) between the upper and lower plates (30, 21) supplied to (30, 21). .

상기 래핑제는 연마입자와 연마액을 혼합한 슬러리이며, 이 슬러리는 상, 하부정반(30, 21) 사이에서 흐르게 하여 슬러리의 운동으로 공작물의 양면을 연마하는 것이다. The lapping agent is a slurry in which abrasive particles and a polishing liquid are mixed, and the slurry flows between the upper and lower plates 30 and 21 to polish both surfaces of the workpiece by the movement of the slurry.

그러나 상기와 같은 기존의 래핑머신에 있어서는 하부정반(21)의 중앙에 상부정반(30)을 구동시키기 위한 구동축(22)과, 캐리어(50)를 회전시키기 위한 선기어(23)가 설치되어 있는 것이어서 선기어(23)의 직경만큼 상, 하부정반(30,21)에 올려놓을 수 있는 공작물(w)직경이 작아지는 것이었으며, 이로 인하여 동일한 사이즈의 LCD 글라스(glass)와 광학용 필터(filter) 등의 공작물(w)을 가공하기 위해서 선기어(23)의 직경만큼 상, 하부정반(30,21)이 커져야 되기 때문에 장비크기가 커질 수밖에 없었다.However, in the conventional lapping machine as described above, the drive shaft 22 for driving the upper surface plate 30 and the sun gear 23 for rotating the carrier 50 are installed in the center of the lower surface plate 21. The diameter of the workpiece (w), which can be placed on the upper and lower plates 30 and 21, is reduced by the diameter of the sun gear 23. As a result, the same size of LCD glass and optical filter In order to process the workpiece (w), the upper and lower plate 30, 21 by the diameter of the sun gear 23 should be large, so the equipment size was inevitably large.

다시 말해서, 선기어(23)와 캐리어 및 내접기어(24)로 이루어진 유성기어방 식의 회전테이블에 의해서는 요즘 디스플레이산업의 발전과 함께 LCD 글라스와 광학용 필터 등의 공작물 크기가 점점 커짐에 따른 능동적인 대처가 불가능하였으며, 동일한 크기의 공작물(w)을 가공할 수 있는 래핑머신이라 하더라도 장비가 너무 커진다는 문제점이 있었다.In other words, the planetary gear rotating table consisting of the sun gear 23 and the carrier and the internal gear 24 is active as the size of the workpiece such as LCD glass and optical filter increases with the development of the display industry. It was impossible to cope, even if the wrapping machine that can process the workpiece (w) of the same size, there was a problem that the equipment is too large.

이외에, 캐리어 오실레이션방식의 매엽식 장비가 개발되어져 출시되고 있지만, 상, 하부정반의 편마모가 발생되는 문제점이 있었고 또 이로 인하여 내구성 및 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.In addition, the carrier oscillation type single-leaf type equipment has been developed and released, but there was a problem that the upper and lower surface uneven wear occurs, and there was also a problem that the durability and productivity fall.

본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위해 연구 개발한 것으로서, 그 목적은 중앙에 선기어가 없는 하부정반의 외측에 내접기어를 마련하고 이 내접기어의 외측에 상부정반의 구동수단을 외측에 마련하면서, 하부정반 외측의 내접기어에 맞물려 공작물을 회전시키는 복수의 이중캐리어를 마련함으로써 기존의 유성기어방식과 동일한 운동패턴을 가지면서 장비크기는 최소화하고 기존 유성기어방식의 양면 래핑머신에 비해 큰 사이즈의 공작물을 가공할 수 있으며, 또 공작물의 공전과 자전이 원활하게 일어나 상, 하부정반의 회전에 따른 그 외측이 많이 가공되는 문제점과 그로 인한 상, 하부정반의 편마모를 방지할 수 있도록 한 래핑머신을 제공하는데 있다.The present invention has been researched and developed in order to solve the conventional problems as described above, the object of which is to provide an internal gear on the outside of the lower plate without the sun gear in the center and the drive means of the upper plate on the outside of the internal gear By providing a plurality of dual carriers that rotate the workpiece by engaging the internal gear outside the lower surface plate, it has the same movement pattern as the existing planetary gear system and minimizes the size of the equipment compared to the conventional double-sided wrapping machine of the planetary gear system. The large sized workpiece can be processed, and the revolution and rotation of the workpiece can be performed smoothly, so that the outside of the upper and lower plates can be processed a lot, and the upper and lower plates can be prevented from uneven wear. To provide a wrapping machine.

본 발명의 다른 목적은 하부정반에 놓이는 2개의 이중캐리어 사이양쪽에 수정진동자를 가진 더미캐리어를 마련하여 공작물과 함께 회전되게 하고 이 더미캐리 어의 수정진동자로 인가된 신호가 되돌아오는 신호를 받아 수정진동자의 두께를 측정하는 측정기를 마련함으로써 공작물과 함께 상, 하부정반에서 가공되는 수정진동자의 두께를 측정하여 공작물의 두께를 실시간으로 측정할 수 있도록 한 래핑머신을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a dummy carrier having a crystal oscillator between the two dual carriers placed on the lower surface plate to be rotated together with the workpiece and to receive a signal from which the signal applied to the crystal oscillator of the dummy carrier is returned. By providing a measuring device for measuring the thickness of the vibrator to provide a wrapping machine that can measure the thickness of the workpiece in real time by measuring the thickness of the crystal oscillator to be processed in the upper and lower plate together with the workpiece.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 본체; 이 본체의 중앙에서 회전가능하게 설치되는 회전테이블; 상기 본체의 양쪽에서 상부로 세워진 기둥 상단에 회전테이블을 횡단하여 설치되는 크로스 빔; 이 크로스 빔의 중앙에 설치되고 상하로 출몰되도록 피스톤로드가 구비된 실린더; 이 실린더의 피스톤로드 하단에 유니버설헤드로 지지되어 회전 가능하게 설치되는 상부정반; 및 상기 회전테이블은 물론 상부정반을 회전 구동시키기 위한 회전구동원을 구비하는 래핑머신에 있어서, 상기 회전테이블이 중앙에 선기어가 없는 원판형의 하부정반과, 이 하부정반의 외측에 설치되는 내접기어로 마련되고, 상기 내접기어의 외측에 상부정반을 구동시키기 위한 상부정반 구동수단이 마련되며, 상기 회전테이블을 이루는 하부정반 외측의 내접기어에 맞물려 공작물을 회전시키는 복수의 이중캐리어를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a main body; A rotary table rotatably installed in the center of the main body; Cross beams are installed across the rotary table on the top of the column standing up from both sides of the main body; A cylinder installed at the center of the cross beam and provided with a piston rod to be sunk up and down; An upper surface plate supported by a universal head at a lower end of a piston rod of the cylinder and rotatably installed; And a rotating drive source for rotating the upper table as well as the rotating table, wherein the rotating table includes a disk-shaped lower plate having no sun gear in the center and an internal gear installed outside the lower plate. It is provided, and the upper surface plate driving means for driving the upper surface plate on the outside of the internal gear, it is provided with a plurality of double carriers for engaging the internal gear on the outer surface of the lower surface plate forming the rotary table to rotate the workpiece. It is done.

본 발명에 따른 래핑머신에 있어서, 상기 상부정반 구동수단은 하부정반의 외측에 회전가능하게 마련되는 외접기어와, 이 외접기어의 상단에 동일원주상에서 상부로 돌출되는 결합핀과, 상기 외접기어를 구동시키도록 연결 설치된 제3 감속모 터 및 상기 상부정반의 외주연에는 외접기어의 결합핀과 상응하는 위치에 형성되는 핀홀로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the wrapping machine according to the present invention, the upper surface plate driving means is an external gear rotatably provided on the outside of the lower surface plate, a coupling pin protruding upward from the same circumference on the upper end of the external gear, and the external gear The third reduction motor is connected to the drive and the outer periphery of the upper plate is characterized in that it is composed of a pinhole formed in a position corresponding to the coupling pin of the external gear.

또한 본 발명에 따른 래핑머신에 있어서, 상기 상부정반 구동수단은 상부정반이 하강되었을 때 상부정반의 외측주면을 지지하도록 본체에 설치된 복수의 가이드롤러와, 상기 상부정반의 상단외측에 마련되는 정반구동기어와, 상기 상부정반이 하강되었을 때 상부정반의 정반구동기어와 맞물려 구동시킬 수 있도록 피니언기어를 가진 제4 감속모터로 구성됨을 특징으로 한다.In addition, in the lapping machine according to the present invention, the upper surface plate driving means is a plurality of guide rollers provided in the main body so as to support the outer peripheral surface of the upper surface plate when the upper surface plate is lowered, and the surface plate drive provided on the upper outside of the upper surface plate And a fourth reduction motor having a pinion gear so as to be engaged with the gear and the upper surface driving gear of the upper surface when the upper surface is lowered.

그리고 본 발명에 따른 래핑머신에 있어서, 상기 상부정반 구동수단은 상부정반이 하강되었을 때 상부정반의 외측주면을 지지하도록 본체에 설치된 복수의 가이드롤러와, 실린더의 피스톤로드의 외측에 상부정반 상단의 유니버설헤드와 일체화되고 실린더의 피스톤로드의 신장에 따라 상하로 승강됨은 물론 회전가능하게 마련된 외접기어, 상기 외접기어와 맞물려 구동시킬 수 있도록 피니언기어를 가진 제5 감속모터로 구성됨을 특징으로 한다.In the wrapping machine according to the present invention, the upper surface plate driving means includes a plurality of guide rollers installed in the main body so as to support an outer circumferential surface of the upper surface plate when the upper surface plate is lowered, and an upper surface of the upper surface plate on the outside of the piston rod of the cylinder. It is characterized in that it is composed of a fifth reduction motor having a pinion gear so as to be integrated with the universal head and to be moved up and down as the piston rod of the cylinder is extended, as well as rotatably provided with the external gear.

상기 하부정반 위의 이중캐리어 사이양쪽에는 중앙에 수정진동자를 가진 더미캐리어가 마련되며 상부정반에는 더미캐리어 중앙의 수정진동자를 통해 상, 하부정반 사이에서 래핑되는 공작물의 두께를 측정할 수 있는 측정기가 마련된 것을 특징으로 한다.A dummy carrier having a crystal oscillator at the center is provided at both sides between the double carriers on the lower surface plate, and an upper plate has a measuring device for measuring the thickness of the workpiece wrapped between the upper and lower surface plates through the crystal oscillator at the center of the dummy carrier. Characterized in that provided.

이하, 본 발명에 따른 래핑머신을 첨부도면에 의거하여 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, a wrapping machine according to the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 일 실시예의 래핑머신을 나타낸 정면도이고, 도 5는 도 4에서 회전테이블부분을 발췌하여 나타낸 평면도이며, 도 6은 도 4에서 상부정반과 외접기어의 결합부분을 나타낸 도면이다.Figure 4 is a front view showing a lapping machine according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a plan view showing a portion of the rotary table in Figure 4, Figure 6 is a view showing a coupling portion of the upper surface plate and the external gear in Figure 4 to be.

도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 래핑머신은 베이스인 본체(100); 이 본체(100)의 중앙에서 회전가능하게 설치되는 회전테이블(200); 상기 본체(100)의 양쪽에서 상부로 세워진 기둥(110) 상단에 회전테이블(200)을 횡단하여 설치되는 크로스 빔(120); 이 크로스 빔(120)의 중앙에 설치되고 상하로 출몰되도록 피스톤로드(131)가 구비된 실린더(130); 이 실린더(130)의 피스톤로드(131) 하단에 유니버설헤드(132)로 지지되어 회전 가능하게 설치되는 상부정반(300); 및 상기 회전테이블(200)은 물론 상부정반(300)을 회전 구동시키기 위한 회전구동원을 구비하고 있다. As shown in the figure, the wrapping machine according to the present invention is a base body 100; A rotating table 200 rotatably installed at the center of the main body 100; Cross beams 120 are installed across the rotary table 200 on the upper end of the pillar 110, the upper side from both sides of the main body 100; A cylinder 130 installed at the center of the cross beam 120 and provided with a piston rod 131 to be sunk up and down; An upper surface plate 300 supported by the universal head 132 at the lower end of the piston rod 131 of the cylinder 130 and rotatably installed; And a rotary drive source for rotating the upper table 300 as well as the rotary table 200.

상기 회전테이블(200)은 중앙에 선기어가 없는 원판형의 하부정반(210)과, 이 하부정반(210)의 외측에 설치되는 내접기어(220)가 동심을 이루고 회전가능하게 마련되어 있고, 상기 회전테이블(200)을 이루는 하부정반(210) 외측의 내접기어(220)에 맞물려 공작물(w)을 회전시키는 복수의 이중캐리어(230)가 마련된다. 또한 상기 하부정반(210)과 내접기어(220)의 하부에는 이들을 각각 회전 구동시키기 위한 구동원인 제1, 제2 감속 모터(212, 222)가 연결되어 있다.The rotary table 200 is provided with a disc-shaped lower surface plate 210 having no sun gear in the center, and an internal gear 220 installed at an outer side of the lower surface plate 210 to be concentric and rotatable. A plurality of dual carriers 230 are provided to rotate the work w by engaging the internal gear 220 outside the lower surface 210 forming the table 200. In addition, first and second reduction motors 212 and 222 which are driving sources for rotating the lower plate 210 and the internal gear 220 are respectively connected to the lower portion of the lower plate 210 and the internal gear 220.

상기 이중캐리어(230)는 하부정반(210) 위에 외면의 기어치가 맞물리게 2개를 올려놓았을 때 하부정반(210)의 중앙에서 서로 맞물리면서 외측은 내접기어(220)와 맞물리도록 내접기어(220)의 반경사이즈인 직경으로 마련되어 있다. The dual carrier 230 is engaged with each other in the center of the lower surface plate 210 when the two gears on the lower surface plate 210 is engaged with the internal gear 220 to be engaged with the internal gear 220 outside. It is provided with a diameter that is a radial size of.

또한 상기 이중캐리어(230)는 외부캐리어(232)와 내부캐리어(234)로 마련되 되, 외부캐리어(232)는 외면에 내접기어(220)와 맞물리는 기어치를 갖고 내부에 내부캐리어(234)가 회전 가능한 상태로 삽입되는 안착홀(233)이 형성되어 있는 것이며, 상기 내부캐리어(234)는 외부캐리어(232)와 동심을 이루고 안착홀(233)에 삽입 설치되어 자유롭게 자전되며 그 내측에는 공작물(w)과 상응하는 형상의 공작물설치홀(235)이 마련되어 있다.In addition, the dual carrier 230 is provided with an outer carrier 232 and the inner carrier 234, the outer carrier 232 has a gear tooth meshing with the internal gear 220 on the outer surface and the inner carrier 234 inside The mounting hole 233 is inserted into the rotatable state is formed, the inner carrier 234 is concentric with the outer carrier 232 is inserted into the mounting hole 233 is freely rotated inside the workpiece The workpiece installation hole 235 of the shape corresponding to (w) is provided.

그리고 하부정반(210) 위에 놓인 2개의 이중캐리어(230) 사이의 양쪽에는 중앙에 수정진동자(241)를 가진 더미캐리어(240)가 마련되되, 이 더미캐리어(240)는 그 중앙의 수정진동자(241)가 하부정반(210)의 중심을 기준하였을 때 동일원주 상에서 회전되어야 하며, 또 더미캐리어(240)의 외면은 기어치가 마련되지 않고 단순히 상, 하부정반(300, 210)의 마찰력에 의해서만 자유롭게 회전되도록 마련되어야 한다.In addition, a dummy carrier 240 having a crystal oscillator 241 at the center is provided on both sides between two dual carriers 230 placed on the lower surface 210, and the dummy carrier 240 has a crystal oscillator at the center thereof. 241 should be rotated on the same circumference when referring to the center of the lower surface plate 210, and the outer surface of the dummy carrier 240 is not provided with gear teeth, but freely only by the frictional force of the upper and lower surface plates (300, 210). It must be provided to rotate.

상기 내접기어(220)의 외측에 상부정반(300)을 구동시키기 위한 상부정반 구동수단이 마련되어 있는데, 이는 하부정반(210)의 외측에 회전가능하게 마련되는 외접기어(410)와, 이 외접기어(410)의 상단에 동일원주 상에서 상부로 돌출되어 있는 결합핀(412)과, 상기 외접기어(410)를 구동시키도록 외접기어(410)와 맞물리는 피니언기어를 가진 제3 감속 모터(414) 및 상기 상부정반(300)의 외주연에는 외접기어(410)의 결합핀(412)과 상응하는 위치에 형성되는 핀홀(302)로 구성되어 있다. The upper surface plate driving means for driving the upper surface plate 300 on the outside of the internal gear 220 is provided, which is an external gear 410 rotatably provided on the outside of the lower surface plate 210, the external gear Third deceleration motor 414 having a coupling pin 412 protruding upward on the same circumference at the upper end of the 410 and a pinion gear meshing with the external gear 410 to drive the external gear 410. And a pin hole 302 formed at a position corresponding to the coupling pin 412 of the external gear 410 on the outer circumference of the upper surface plate 300.

따라서 상부정반(300)을 구동시키기 위해서는, 외접기어(410)가 정지된 상태에서 상부정반(300)을 하강시키면 상부정반(300)의 핀홀(302)로 외접기어(410)의 결합핀(412)이 삽입되어 결합되게 되고 이후에 제3 감속 모터(414)를 구동시키면 이 제3 감속 모터(414)와 맞물려있는 외접기어(410)에 의해 상부정반(300)이 연동 회전되게 된다.Therefore, in order to drive the upper surface plate 300, when the upper surface plate 300 is lowered in the state where the external gear 410 is stopped, the coupling pin 412 of the external gear 410 into the pinhole 302 of the upper surface plate 300. ) Is inserted and coupled, and when the third deceleration motor 414 is driven thereafter, the upper surface plate 300 is interlocked by the external gear 410 meshed with the third deceleration motor 414.

상기 상부정반(300)에는 하부정반(210)위의 이중캐리어(230) 사이에 놓이는 더미캐리어(240)중앙의 수정진동자(241)를 통해 공작물(w)의 두께를 측정할 수 있는 측정기(310)가 마련되어 있으며, 이 측정기(310)는 상부정반에 더미캐리어(240)의 수정진동자(241)와 접속되도록 전극(311)이 마련되고 이 전극과 접속되어 신호를 더미캐리어의 수정진동자(241)로 인가하고 되돌아오는 신호를 받아 두께를 측정하는 측정회로(도시되지 않음)가 본체(100)의 컨트롤박스(도시되지 않음)에 마련된다. 이때, 상기 컨트롤박스와 전극(311)을 연결하는 신호선은 상부정반(300)이 회전되더라도 꼬임이 방지되지 않도록 마련되어야 한다.The upper surface 300 is a measuring device 310 that can measure the thickness of the workpiece (w) through the crystal oscillator 241 in the center of the dummy carrier 240 placed between the double carrier 230 on the lower surface (210) The measuring device 310 is provided with an electrode 311 to be connected to the crystal oscillator 241 of the dummy carrier 240 on the upper surface plate and is connected to the electrode to signal the crystal oscillator 241 of the dummy carrier. A measuring circuit (not shown) for measuring the thickness in response to the signal applied and returning is provided in the control box (not shown) of the main body 100. In this case, the signal line connecting the control box and the electrode 311 should be provided so that twisting is not prevented even when the upper surface plate 300 is rotated.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 래핑머신은 도 5와 같이, 외면의 기어치가 맞물리도록 2개의 이중캐리어(230)를 하부정반(210) 위에 올려놓으면 하부정반(210)의 중앙에서 서로 맞물리면서 외측은 내접기어(220)와 맞물리게 되며, 이러한 상태에서 하부정반(210) 위에 놓인 2개의 이중캐리어(230) 사이 양쪽에는 중앙에 수정진동자(241)를 가진 더미캐리어(240)를 올려놓는다. 이때, 상기 이중캐리어(230)는 외부캐리어(232)내에 내부캐리어(234)가 자유롭게 회전되도록 수용하고 있고, 상기 내부캐리어(234)의 공작물설치홀(235)에는 공작물(w)이 안착되어야 한다.Lapping machine according to the present invention configured as described above, as shown in Figure 5, when the two dual carriers 230 are placed on the lower surface 210 so that the gear teeth of the outer surface is engaged with each other in the center of the lower surface 210, the outside is The internal gear 220 meshes with the internal gear 220, and in this state, a dummy carrier 240 having a crystal oscillator 241 is placed on both sides between two dual carriers 230 placed on the lower surface 210. At this time, the double carrier 230 accommodates the inner carrier 234 to rotate freely in the outer carrier 232, the workpiece (w) should be seated in the workpiece installation hole 235 of the inner carrier 234. .

위와 같이 본 발명의 래핑머신은 하부정반(210)에 내접기어(220)의 반경에 해당하는 직경의 이중캐리어(230) 2개가 서로 맞물리면서 내접기어(220)와 맞물리기 때문에 기존의 유성기어방식과 동일한 운동패턴을 가지면서 장비크기는 최소화 할 수 있고, 기존의 매엽식 양면 래핑머신에 비해 큰 사이즈의 공작물을 가공할 수 있는 것이다.As described above, the lapping machine of the present invention has a conventional planetary gear system because two dual carriers 230 having a diameter corresponding to the radius of the internal gear 220 are engaged with the internal gear 220 while being engaged with each other. With the same movement pattern, the equipment size can be minimized, and larger workpieces can be processed compared to the conventional single-sided double-sided wrapping machine.

또 이중캐리어(230)를 이루는 외부캐리어(232)가 공전 및 자전되고 이 외부캐리어(232) 내에서 자유롭게 회전되는 내부캐리어(234) 내에 공작물이 안착되어 있으므로 공작물(w)의 공전과 자전이 원활하게 일어나며, 이로 인하여 상, 하부정반(300, 210)의 회전에 따른 그 외측이 많이 가공되는 문제점이 해소되고 상, 하부정반(300, 210)의 편마모 또한 방지할 수 있는 것이다.In addition, since the work carrier is settled in the inner carrier 234, which rotates and rotates freely and rotates freely in the outer carrier 232, which constitutes the double carrier 230, smooth rotation and rotation of the work w is smooth. This occurs, and because of this, the problem that the outer side is processed a lot of the upper, lower surface 300, 210 due to the rotation is solved, it is also possible to prevent uneven wear of the upper, lower surface (300, 210).

이후에 실린더(130)의 피스톤로드(131)가 돌출되어 신장되도록 실린더(130)를 작동시키면 상부정반(300)이 하강되게 되며, 이렇게 상부정반(300)이 하강되는 과정에서 상부정반(300)의 외주연부에 형성된 핀홀(302)로 외접기어(410)의 상단에서 돌출된 결합핀(412)이 삽입되어 결합되게 된다.When the cylinder 130 is operated so that the piston rod 131 of the cylinder 130 is protruded and extended, the upper surface 300 is lowered, and the upper surface 300 is lowered in the process of lowering the upper surface 300. A coupling pin 412 protruding from the upper end of the external gear 410 is inserted into the pin hole 302 formed at the outer periphery of the coupling.

위와 같이 상부정반(300)이 하강되어 하부정반(210) 위에 놓인 이중캐리어(230)를 이루는 내, 외부캐리어(234, 232)와, 상기 내부캐리어(234)내의 공작물(w)은 물론 더미캐리어(240)를 소정의 압력으로 눌려지도록 가압하여 밀착시킨다. 이후에, 상부정반(300)으로부터 래핑제가 공급되어 상부정반(300)과 하부정반(210)에 형성된 격자모양의 홈은 물론이고 이중캐리어(230)와 더미캐리어(240)의 상하면 및 그 사이공간 전체에 채워진다. As shown above, the upper surface 300 is lowered to form a double carrier 230 placed on the lower surface 210, the outer carriers 234 and 232, and the workpiece w in the inner carrier 234, as well as the dummy carrier. The pressure 240 is pressed to be pressed at a predetermined pressure to bring it into close contact. Subsequently, the lapping agent is supplied from the upper surface plate 300 and the upper and lower surfaces of the double carrier 230 and the dummy carrier 240 as well as the grooves of the grid shape formed in the upper surface plate 300 and the lower surface plate 210. It is filled in whole.

이러한 상태에서 회전구동원인 각각의 제1 내지 제3 감속 모터(212, 222, 414)를 구동시키면 상기 제1 내지 제3 감속 모터(212, 222, 414)의 피니언기어를 통해 하부정반(210)은 물론 내접기어(220)가 회전 구동되고 이와 동시에 상부정반 (300)은 외접기어(410)를 통해 연동되어 회전 구동되게 된다. In this state, when each of the first to third reduction motors 212, 222, and 414, which are rotation driving sources, is driven, the lower surface plate 210 is formed through the pinion gears of the first to third reduction motors 212, 222, and 414. Of course, the internal gear 220 is driven to rotate and at the same time the upper surface plate 300 is driven to rotate through the external gear 410.

이와 같이 구동되게 되면, 하부정반(210)에 설치되는 이중캐리어(230)의 외부캐리어(232)가 내접기어(234)와 맞물리고 상기 이중캐리어(230)의 외부캐리어(232)가 서로 맞물려있기 때문에 외부캐리어(232)가 상부정반(300)과 하부정반(210) 사이에서 밀착된 상태로 자전하면서 공전을 하게 되며, 이때 이중캐리어(230)를 이루는 외부캐리어(232)내에서 내부캐리어(234)가 자전을 함에 따라 내부캐리어(234)의 공작물설치홀(235) 내에 안착된 공작물(w) 또한 내부캐리어(234)와 함께 자전을 하게 된다.When driven in this way, the outer carrier 232 of the double carrier 230 installed in the lower surface plate 210 is engaged with the internal gear 234 and the outer carrier 232 of the double carrier 230 is engaged with each other. Therefore, the outer carrier 232 rotates while being rotated in close contact between the upper surface plate 300 and the lower surface plate 210, and the inner carrier 234 in the outer carrier 232 constituting the double carrier 230. ) Rotates along with the inner carrier 234 as the workpiece w seated in the workpiece installation hole 235 of the inner carrier 234 rotates.

결국, 상기 상, 하부정반(300, 210) 및 이중캐리어(230)에 의해 공작물(w)이 상대적인 자전과 공전을 동시에 하게 되므로 상부정반(300)과 공작물(w) 및 하부정반(210)과 공작물(w) 사이에 투입된 래핑제가 공작물(w)의 표면을 래핑(연마)하게 된다. 상기 래핑제는 연마입자와 연마액을 혼합한 슬러리이므로 이 슬러리를 상, 하부정반(300, 210) 사이에서 흐르게 함으로써 슬러리의 운동으로 공작물의 양면을 연마하는 것이다.As a result, the upper and lower surface plates 300 and 210 and the double carrier 230 cause the workpiece w to rotate and revolve at the same time, so that the upper surface plate 300 and the workpiece w and the lower surface plate 210 and The lapping agent introduced between the workpieces (w) causes lapping (polishing) of the surface of the workpiece (w). Since the lapping agent is a slurry in which the abrasive particles and the polishing liquid are mixed, the slurry is polished on both sides of the workpiece by the movement of the slurry by flowing the slurry between the upper and lower plates 300 and 210.

위와 같이 상, 하부정반(300, 210) 및 내접기어(220)의 회전 구동에 의해 이중캐리어(230)가 자전 및 공전이 이루어져 공작물(w)을 경면과 같이 가공하는 상태에서는 2개의 이중캐리어(230) 사이에 설치된 더미캐리어(240) 또한 상, 하부정반(300, 210)의 접촉된 더미캐리어(240)의 한쪽과 바깥쪽의 마찰력차이에 의해서만 자유롭게 자전 및 공전되므로 공작물과 동일하게 래핑되게 된다. As described above, the dual carrier 230 is rotated and revolved by the rotation driving of the upper and lower surface plates 300 and 210 and the internal gear 220 to process the workpiece w as a mirror surface. The dummy carriers 240 installed between the 230 and the dummy carriers 240 are also rotated and rotated freely only by the frictional force difference between one side and the outside of the dummy carrier 240 in contact with the upper and lower surface plates 300 and 210. .

이렇게 더미캐리어(240)의 수정진동자(241)가 하부정반(210)위에서 회전되는 과정에서 더미캐리어(240)의 수정진동자(241)와 상부정반(300)의 전극(311)과 동일한 위치에 도달하게 될 때마다 측정기(310)를 이루는 측정회로로부터 발생되는 신호를 전극(311)을 통해 전달하여 더미캐리어(240)의 수정진동자(241)에서 되돌아오는 신호를 측정회로에서 계산함으로써 공작물(w)의 두께를 제어판에 표시하게 된다. Thus, the crystal oscillator 241 of the dummy carrier 240 reaches the same position as the crystal oscillator 241 of the dummy carrier 240 and the electrode 311 of the upper plate 300 while the crystal oscillator 241 is rotated on the lower plate 210. Each time, the signal generated from the measuring circuit constituting the measuring device 310 is transmitted through the electrode 311 to calculate the signal returned from the crystal oscillator 241 of the dummy carrier 240 in the measuring circuit (w) The thickness of the display will be displayed on the control panel.

이렇게 상, 하부정반(300, 210) 사이에서 공작물(w)이 회전되면서 더미캐리어(240)의 수정진동자(241)와 상부정반(300)의 전극(311)이 일치될 때마다 공작물(w)의 두께를 실시간으로 측정할 수 있는 것이다.As the workpiece w is rotated between the upper and lower plates 300 and 210, the workpiece w is matched whenever the crystal oscillator 241 of the dummy carrier 240 and the electrode 311 of the upper plate 300 coincide with each other. The thickness of can be measured in real time.

도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 래핑머신에서 상부정반구동수단에 대한 다른 실시 예의 구성을 설명하기 위해 나타낸 도면이다. 7A and 7B are views for explaining the configuration of another embodiment of the upper surface driving means in the wrapping machine according to the present invention.

여기에서의 상부정반 구동수단은, 상부정반(300)이 하강되었을 때 상부정반(300)의 외측주면을 지지하도록 본체(100)에 설치된 복수의 가이드롤러(150)와, 상기 상부정반(300)의 상단외측에 마련되는 정반구동기어(152)와, 상기 상부정반(300)이 하강되었을 때 상부정반(300)의 정반구동기어(152)와 맞물려 구동시킬 수 있도록 피니언기어(154a)를 가진 제4 감속 모터(154)로 구성된다.Here, the upper surface plate driving means includes a plurality of guide rollers 150 installed on the main body 100 so as to support the outer main surface of the upper surface plate 300 when the upper surface plate 300 is lowered, and the upper surface plate 300. A plate with a pinion gear 154a provided to the outside of the upper surface driving gear 152 and the upper surface plate 300 when the upper surface plate 300 is lowered so as to be engaged with the surface plate driving gear 152 of the upper surface plate 300. It consists of four reduction motor 154.

상기와 같이 구성된 래핑머신에서 다른 실시 예의 상부정반 구동수단에 의하면, 상부정반(300)이 하강되면 가이드롤러(150)에 지지되면서 각각 별도의 회전구동원인 제4 감속 모터(154)의 피니언기어(154a)와 맞물리므로 상기 제4 감속모터(154)가 구동되면 유니버설헤드(132)를 기준으로 하여 실린더(130)의 피스톤로드(131)는 회전되지 않고 상부정반(300)만이 회전되는 것이다. According to the upper surface plate driving means of another embodiment in the lapping machine configured as described above, when the upper surface plate 300 is lowered, the pinion gear (4) of the fourth reduction motor 154, which is supported by the guide roller 150 and is a separate rotation driving source, Since the fourth reduction motor 154 is driven, the piston rod 131 of the cylinder 130 is not rotated and only the upper surface plate 300 is rotated based on the universal head 132.

도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 래핑머신에서 상부정반구동수단에 대한 또 다른 실시 예의 구성을 설명하기 위해 나타낸 도면이다. 여기에서의 상부정반구동수단은, 상부정반(300)이 하강되었을 때 상부정반(300)의 외측주면을 지지하도록 본체(100)에 설치된 복수의 가이드롤러(150)와, 실린더(130)의 피스톤로드(131)의 외측에 상부정반(300) 상단의 유니버설헤드(132)와 일체화되고 실린더(130)의 피스톤로드(131)의 신축에 따라 상하로 승강됨은 물론 회전가능하게 마련된 외접기어(160), 상기 외접기어(160)와 맞물려 구동시킬 수 있도록 피니언기어를 가진 제5 감속 모터(162)로 구성된다.8A and 8B are views for explaining the configuration of another embodiment of the upper surface driving means in the wrapping machine according to the present invention. Here, the upper plate driving means includes a plurality of guide rollers 150 installed in the main body 100 and the piston of the cylinder 130 so as to support the outer circumferential surface of the upper plate 300 when the upper plate 300 is lowered. External gear 160 which is integrated with the universal head 132 on the upper surface of the upper plate 300 on the outer side of the rod 131 and ascended up and down according to the expansion and contraction of the piston rod 131 of the cylinder 130, as well as rotatable. And a fifth reduction motor 162 having a pinion gear so as to be engaged with the external gear 160 and driven.

상기와 같이 구성된 래핑머신에서 또 다른 실시예의 상부정반구동수단에 의하면, 피스톤로드(131)의 외측에 상부정반(300)이 회전 및 승강 가능한 상태로 유니버설헤드(132)를 통해 외접기어(160)가 설치되어 있으므로 상부정반(300)이 하강되면 가이드롤러(150)에 지지되면서 각각 별도의 회전구동원인 제5 감속 모터(162)의 피니언기어와 맞물리므로 상기 제5 감속 모터(162)가 구동되면 유니버설헤드(132)를 기준으로 하여 피스톤로드(131)는 회전되지 않고 상부정반(300)만이 회전되는 것이다. According to the upper surface driving means of another embodiment in the wrapping machine configured as described above, the external gear 160 through the universal head 132 in a state in which the upper surface 300 is rotatable and liftable on the outside of the piston rod 131. Since the upper surface plate 300 is lowered and is supported by the guide roller 150 while being engaged with the pinion gear of the fifth reduction motor 162, which is a separate rotation driving source, the fifth reduction motor 162 is driven. The piston rod 131 is not rotated on the basis of the universal head 132 and only the upper surface plate 300 is rotated.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 래핑머신은 중앙에 선기어가 없는 하부정반의 외측에 내접기어를 마련하고 이 내접기어의 외측에 상부정반의 구동수단을 외측에 마련하면서, 하부정반 외측의 내접기어에 맞물려 공작물을 회전시키는 복수의 이중캐리어를 마련함으로써 기존의 유성기어방식과 동일한 운동패턴을 가지면서 장비크기는 최소화하고 기존의 매엽식 양면 래핑머신에 비해 큰 사이즈의 공작물을 가공할 수 있으며, 또 공작물의 공전과 자전이 원활하게 일어나 상, 하부정반의 회전에 따른 그 외측이 많이 가공되는 문제점과 그로 인한 상, 하부정반의 편마모를 방지할 수 있는 유용한 발명이다.As described in detail above, the lapping machine according to the present invention provides an internal gear on the outside of the lower surface plate having no sun gear in the center, and provides a driving means of the upper surface on the outside of the internal gear, By providing a plurality of dual carriers to rotate the workpiece by engaging the internal gear of the machine, it has the same movement pattern as the conventional planetary gear system and can minimize the size of the machine and process larger workpieces than the conventional single-sided double-sided wrapping machine. In addition, the smooth rotation and rotation of the workpiece is a useful invention that can prevent the problem of processing the outside of the upper, lower surface due to the rotation of the upper, lower surface plate and the resulting uneven wear.

또한 본 발명은 하부정반 상의 이중캐리어 사이에 수정진동자를 가진 더미캐리어를 마련하여 공작물과 함께 래핑되도록 하고 이 더미캐리어의 수정진동자로 신호를 인가하여 되돌아오는 신호를 받아 수정진동자의 두께를 측정하는 측정기를 마련함으로써 공작물과 함께 상, 하부정반에서 가공되는 수정진동자의 두께를 측정하여 공작물의 두께를 실시간으로 측정할 수 있는 유용한 발명이다. In addition, the present invention provides a dummy carrier having a crystal oscillator between the double carriers on the lower surface plate to be wrapped with the workpiece and applying a signal to the crystal oscillator of the dummy carrier to receive a return signal to measure the thickness of the crystal oscillator It is a useful invention that can measure the thickness of the workpiece in real time by measuring the thickness of the crystal oscillator is processed in the upper, lower surface plate with the workpiece.

Claims

Main body 100; A rotating table 200 rotatably installed at the center of the main body 100; Cross beams 120 are installed across the rotary table 200 on the upper end of the pillar 110, the upper side from both sides of the main body 100; A cylinder 130 installed at the center of the cross beam 120 and provided with a piston rod 131 to be sunk up and down; An upper surface plate 300 supported by the universal head 132 at the lower end of the piston rod 131 of the cylinder 130 and rotatably installed; And in the lapping machine having a rotary drive source for rotating the upper table 300 as well as the rotary table 200,

The rotary table 200 is provided with a disk-shaped lower surface plate 210 having no sun gear in the center, and an internal gear 220 installed outside the lower surface plate 210, and the outer surface of the internal gear 220. The upper surface driving means for driving the upper surface plate 300 is provided, the plurality of dual to engage the internal gear 220 of the lower surface plate 210 forming the rotary table 200 to rotate the workpiece (w) Lapping machine comprising a carrier (230).

The method of claim 1,

The upper surface driving means includes an external gear 410 rotatably provided on the outside of the lower surface 210, a coupling pin 412 protruding upward from the same circumference on an upper end of the external gear 410, and the The third reduction motor 414 connected to drive the external gear 410 and the pinhole 302 formed at a position corresponding to the coupling pin 412 of the external gear 410 on the outer circumference of the upper plate 300. Lapping machine, characterized in that consisting of.

The method of claim 1,

The upper surface plate driving means includes a plurality of guide rollers 150 installed on the main body 100 to support the outer main surface of the upper surface plate 300 when the upper surface plate 300 is lowered, and the upper surface of the upper surface plate 300. A fourth reduction gear motor having a platen driving gear 152 provided in the upper plate 300 and a pinion gear 154a to be engaged with the platen driving gear 152 of the upper plate 300 when the upper plate 300 is lowered. Lapping machine, characterized in that consisting of (154).

The method of claim 1,

The upper plate driving means includes a plurality of guide rollers 150 installed on the main body 100 to support the outer main surface of the upper plate 300 when the upper plate 300 is lowered, and the piston rod 131 of the cylinder 130. External gear 160, which is integrated with the universal head 132 on the upper side of the upper surface plate 300, and is vertically lifted up and down as the piston rod 131 of the cylinder 130 is extended, as well as rotatable. Lapping machine, characterized in that consisting of a fifth reduction motor 162 having a pinion gear to be engaged with the gear 160 to drive.

The method of claim 1,

The dummy carrier 240 having a crystal oscillator 241 at the center is provided at both sides between the double carriers 230 on the lower surface 210, and the crystal oscillator 241 at the center of the dummy carrier 240 is provided at the upper surface 300. Lapping machine characterized in that the measuring device 310 is configured to measure the thickness of the workpiece (w) wrapped between the upper, lower surface (300, 210) through).