KR100651255B1 - Manufacturing process apparatus with back-up system - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 백업시스템을 구비한 제조공정장치는 가공될 물건이 적재되는 카세트와; 제조공정 흐름에 따라 배치되고 가공될 물건을 제조하기 위해 공정 단계를 수행하는 다수의 주공정기계와, 카세트를 하나의 주공정기계로부터 다른 주공정기계로 이송하도록 각 주공정기계에 연결되는 주컨베이어, 및 카세트를 보관하기 위해 주공정기계와 인접되게 배치되는 버퍼 보관 섹션을 구비하여 가공될 물건을 제조하는 주생산라인과; 제조공정 흐름을 백업하기 위해 주공정기계 중의 하나와 같은 기능을 수행하는 적어도 하나의 예비공정기계, 및 주공정기계 중의 하나와 예비공정기계 사이 또는 주공정기계 중의 하나와 버퍼 보관 섹션 사이 또는 버퍼 보관 섹션과 예비공정기계 사이에서 카세트를 이동시키기 위한 운반제어시스템을 구비하는 예비생산라인을 포함하여 구성되며, 운반제어시스템은 주생산라인과 예비생산라인 사이에 배치되는 것을 특징으로 한다.The manufacturing process apparatus provided with the backup system which concerns on this invention is a cassette which loads the thing to process; A number of main processing machines that perform the processing steps to produce the goods to be placed and processed according to the manufacturing process flow, and a main conveyor connected to each main processing machine to transfer cassettes from one main processing machine to another. And a main production line for manufacturing the article to be processed, having a buffer storage section disposed adjacent to the main processing machine for storing the cassette; At least one preprocessing machine performing the same function as one of the main processing machines to back up the manufacturing process flow, and between one of the main processing machines and the preprocessing machine or between one of the main processing machines and the buffer storage section or buffer storage And a preliminary production line having a transport control system for moving the cassette between the section and the preprocessing machine, wherein the transport control system is arranged between the main production line and the preproduction line.
본 발명에 따른 제조공정장치는 제조공정 흐름을 백업하여 생산시간을 줄이고 생산비용을 절감하기 위하여 백업시스템을 제공한다. The manufacturing process apparatus according to the present invention provides a backup system to back up the manufacturing process flow to reduce the production time and reduce the production cost.
백업, 제조공정, 주공정기계, 예비공정기계Backup, manufacturing process, main process machine, preprocessing machine
Description
도1은 종래 "Job Shop"제조공정장치에 따른 도면.1 is a view of a conventional "Job Shop" manufacturing process apparatus.
도2는 본 발명의 구현체에 따른 백업 시스템을 구비한 제조공정장치에 관한 도면.2 is a manufacturing process apparatus having a backup system according to an embodiment of the present invention.
도3은 본 발명의 구현체에 따른 기중기의 도면.3 is a view of a crane according to an embodiment of the present invention.
도4는 본 발명의 또 다른 바람직한 구현체에 따라 멀티 레벨의 상호연결을 갖는 장치를 조립하기 위한 생산라인의 도면.4 is a diagram of a production line for assembling a device having a multilevel interconnect in accordance with another preferred embodiment of the present invention.
본 발명은 일반적으로 백업 시스템을 구비한 제조공정장치에 관련된 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트 이송 시스템에 사용되는 제조공정장치에 관한 것이다.The present invention relates generally to a manufacturing process apparatus having a backup system, and more particularly to a manufacturing process apparatus for use in a cassette conveying system.
경량이고 휴대용 크기이면서 전력소모가 적고, 방사물 오염이 없다는 이점을갖으며, 디스플레이 효과가 CRT DISPLAY(Cathode Ray Tube Display)보다 훨씬 뛰어난 박막트랜지스터액정표시장치(이하, TFT-LCD이라 함)는 최근에 대중들의 관심을 끌어왔다. 현재 TFT-LCD는 다양한 종류의 컴퓨터, 통신, 데스크탑컴퓨터와 노트북컴퓨터 같은 전기제품, PDA(Personal Digital Assistant)장치, 모바일 통신과 웹사이트 브라우저, 그리고 액정투사기 등에 사용되고 있다.The thin-film transistor liquid crystal display (hereinafter referred to as TFT-LCD) has the advantages of being lightweight, portable, low power consumption, no radiation pollution, and far superior to CRT DISPLAY (Cathode Ray Tube Display). Attracted the public's attention. Currently, TFT-LCDs are used in various kinds of computers, telecommunications, electrical appliances such as desktop computers and notebook computers, personal digital assistant (PDA) devices, mobile communication and website browsers, and liquid crystal projectors.
최근에는 TFT-LCD에 사용되고 있는 유리기판의 표준크기가 증가되었다. 예를 들면, 폭이 약 1000mm이고 길이가 약 1200mm인 제5세대 유리기판은 폭이 약 320mm이고 길이가 약 440mm인 제1세대 유리기판의 크기보다 9배가 더 크다. 유리기판을 전송하기 위한 종래의 운송시스템, 즉 "jpb shop"운송시스템은 다음 세대의 유리기판에는 적합하지 않다. Recently, the standard size of glass substrates used in TFT-LCDs has increased. For example, a fifth generation glass substrate about 1000 mm wide and about 1200 mm long is nine times larger than the size of a first generation glass substrate about 320 mm wide and about 440 mm long. Conventional transportation systems for transferring glass substrates, namely "jpb shop" transportation systems, are not suitable for the next generation of glass substrates.
도 1은 종래의 "job shop" 제조공정장치에 관한 도면이다. 세정, 박막형성, 포토리소그래피(photolithography), 식각, 스트리퍼(stripper) 및 검사 공정은 상기 제조공정에 요구된다. 일반적으로, 종래의 "job shop" 제조 공정 설비는 동일한 기능을 갖는 몇몇의 공정기계들을 포함한 다수개의 베이(bay)로 조직화된다. 같은 베이 내에 설치된 공정기계는 절약의 이점이 있다. 도 1에서 보는 바와 같이, 세정 섹션(101)은 6개의 세정기를 포함하고, 박막형성 섹션(102)은 여섯개의 스퍼터(sputter) 또는 CVD 도구를 포함하며, 감광액도포 섹션(103)은 6개의 감광액 도포기(coater)를 포함하고, 노광섹션(104)은 스캐너 또는 스테퍼와 같은 6개 노광기계를 포함하고, 현상 섹션(108)은 여섯개의 현상기를 포함한다. 또한 식각 섹션(106)은 6개의 식각기를 갖고, 박리 섹션(107)은 6개의 스트리퍼를 포함하고, 검사 섹션(108)은 여섯개의 검사기를 포함한다. 게다가 다양한 시스템(인트라 베이 운송시스템이라 불리는), 예를 들면, 노동자와 자동화된 시스템은 베이 내에 유리기판(카세트에 실려진)을 옮기는데 쓰인다. 상기 노동자들은 카트를 이용하여 카세트를 운반하고, 공정기계와 카트간에 카세트를 옮기기 위해 수동로봇식 링크 또는 다른 리프터(lifter)를 작동시킨다. 다른 자동 인트라베이 운송은 공정기계들간에 카세트를 운반하고, 기계의 로드포트(load port)에 상기 카세트를 옮기기 위해 무인운반차(AGVs)나 레일유도방식무인운반차(RGVs)에 의한다.1 is a view of a conventional "job shop" manufacturing process apparatus. Cleaning, thin film formation, photolithography, etching, strippers and inspection processes are required for the manufacturing process. In general, a conventional "job shop" manufacturing process facility is organized into a number of bays including several process machines having the same function. Process machines installed in the same bay have the advantage of savings. As shown in FIG. 1, the
또한, OHS(Over-Head Shuttle) 또는 리프팅장치 같은 인터베이 운송 시스템은 상기 베이들 간에 카세트를 운반하는데 쓰인다. 예를 들면, 세정섹션(101) 내에서 세척 및 정화를 마친 유리기판은 카세트에 실려지고, 스토커영역(stocker area, 도1에서 상위영역)으로 운송되어진다. 그 다음, 상기 카세트는 리프팅장치를 사용하여 OHS로 이동되고, 박막 증착을 위한 박막형성 섹션(102)과 같은 다음 작업 공간으로 셔틀 통로(110)를 따라 운반된다. In addition, interbay transport systems such as over-head shuttles or lifting devices are used to transport cassettes between the bays. For example, the glass substrate which has been cleaned and cleaned in the
하나의 베이 내에 동일 기능 공정기계를 그룹화하는 종래의 "Job Shop" 제조공정장치는 절약의 이점을 갖게 하지만, 유리기판 사이즈의 증가는 카세트를 다루는데 문제를 발생시켰다. 예를 들면, 제6세대 유리기판은 폭이 약 1500mm이고 길이가 1800mm이며, 상기 카세트 내에 보유된 20개의 유리기판은 약 200kg의 무게가 나간다. 카세트를 운반하기 위한 무인운반차(AGV)는 1250KG이상의 무게가 나가고, 그 폭은 약 1.9M이고, 길이는 2.3M이며 높이는 1.96M이다. 그러한 부피가 큰 무인운반차(AGV)는 하나의 베이 내에서 카세트를 옮기는 것이 쉽지 않고, 무인운반차(AGV)의 이동을 위해 좀 더 큰 공간을 요구한다. 또한, 대형 유리기판은 무인운반차(AGV) 운송을 하는 동안 변형 될 수 있고 충돌 및 파손과 같은 손상을 입을 수 있다.The conventional "Job Shop" manufacturing process equipment that groups the same functional process machines in one bay has the advantage of savings, but increasing the glass substrate size has caused problems in handling cassettes. For example, the sixth generation glass substrate is about 1500 mm wide and 1800 mm long, and the 20 glass substrates held in the cassette weigh about 200 kg. The Unmanned Carrier (AGV) for carrying cassettes weighs more than 1250 kg, has a width of about 1.9M, a length of 2.3M and a height of 1.96M. Such bulky unmanned vehicle (AGV) is not easy to move the cassette in one bay, and requires more space for the movement of the unmanned vehicle (AGV). In addition, large glass substrates can be deformed during AGV transportation and can be damaged, such as crashes and breaks.
게다가, 제조공정의 일부는 반도체(또는 LCD) 생산이 완성되는 동안 반복된다. 예를 들면, 박막증착과 포토리소그래피 공정은 식각공정 후에 필요하고, 따라서, 식각 섹션(106) 내에 있는 카세트는 OHS에 의해 박막형성 섹션(102)으로 반송될 필요가 있다. 카세트는 상기 베이 간에 운반되어져야 하고, OHS로부터 AGV로 다시 옮겨져야 하며, 다음 작업 스테이션(bay)로의 운송을 위해 AGV로, 그런 이후 OHS로 복귀되어야 한다는 것은 시간 낭비이다. 게다가, 대형화된 유리기판을 양호한 속도로, 그리고 손상이 없이 전후 운반하기란 어려움이 따른다.In addition, part of the manufacturing process is repeated while semiconductor (or LCD) production is complete. For example, a thin film deposition and photolithography process is necessary after the etching process, and therefore, a cassette in the
식품산업에 쓰이는 종래의 "Flow Shop" 공정장치는 제조공정에 따라 다른 기계를 배치한다. 비록 그 공정 기계가 하나씩 차례로 배치되어 운송시간을 최소화할지라도 그 종래의 "Flow Shop" 공정장치는 그 제조공정을 백업하기 위한 여분의 기계를 갖지 못한다. 그러므로, 반도체나 LCD 공장에는 적합하지 않다.Conventional "Flow Shop" processing equipment used in the food industry arranges different machines according to the manufacturing process. Although the process machines are arranged one by one to minimize transportation time, the conventional "Flow Shop" process apparatus does not have a spare machine to back up the manufacturing process. Therefore, it is not suitable for semiconductor or LCD factories.
따라서 본 발명은 백업시스템을 구비한 제조공정장치를 제공함으로써, 같은 기능을 갖는 공정기계들이 서로를 백업할 수 있고, 이에 따라 생산 비용을 줄이는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a manufacturing process apparatus having a backup system so that process machines having the same function can back up each other, thereby reducing production costs.
본 발명은 다수의 주공정기계와, 하나의 주컨베이어와, 적어도 하나의 예비공정기계와 운반제어시스템을 포함하는 백업시스템을 구비한 제조공정장치를 제공함으로써 상기 설명한 목적을 이룬다. 상기 주공정기계는 제조공정에 따라 배치된다. 상기 주컨베이어는 최소한 하나의 카세트를 운반하기 위한 주공정기계와 전기ㆍ기계적으로 연결된다. 상기 예비공정기계는 제조공정을 백업하기 위해 주공정기계와 사실상 같은 기능을 갖고 있다. 상기 운반제어시스템은 상기 주공정기계와 상기 예비공정기계 사이에서 카세트를 운반하는데 사용된다.The present invention achieves the above-described object by providing a manufacturing process apparatus having a back-up system comprising a plurality of main process machines, a main conveyor, and at least one preliminary process machine and a conveyance control system. The main process machine is arranged according to the manufacturing process. The main conveyor is electrically and mechanically connected to a main processing machine for carrying at least one cassette. The preliminary processing machine has substantially the same function as the main processing machine to back up the manufacturing process. The conveyance control system is used to convey a cassette between the main process machine and the preprocess machine.
또한, 상기 카세트를 보관하기 위한 버퍼 보관 섹션(buffer storage section)은 주컨베이어 상에 위치하고, 상기 카세트는 운반제어시스템에 의해 어느 고장난 주공정기계로부터 버퍼 보관 섹션으로 옮겨질 수 있다.In addition, a buffer storage section for storing the cassette is located on the main conveyor, and the cassette can be transferred from any failed main process machine to the buffer storage section by a transport control system.
상기 주공정기계는 주생산라인을 구성한다. 각 예비공정기계는 같은 기능을 갖는 주공정기계의 맞은 편에 배치될 수 있고, 운반제어시스템은 백업 작업을 수행하기 위해 상기 예비공정기계와 상기 주공정기계의 사이에 배치된다. 또한, 상기 예비공정기계는 주공정기계의 단부와 인접한 부근에 배치될 수 있고, 상기 운반제어시스템은 백업작업을 수행하기 위해 상기 주공정기계의 일측에 배치된다. 예를 들어, 상기 운반제어시스템은 백업작업을 수행하기 위해 거의 일렬로 배열될 수 있다.The main processing machine constitutes a main production line. Each preprocessing machine may be arranged opposite the main process machine having the same function, and a conveyance control system is arranged between the preprocessing machine and the main process machine to perform a backup operation. Further, the preliminary processing machine may be arranged in the vicinity of the end of the main processing machine, and the transport control system is arranged on one side of the main processing machine to perform a backup operation. For example, the transport control system can be arranged almost in line to perform a backup operation.
상기 예비공정기계의 수와 기능 및 위치는 상기 주공정기계와 일치되는 것이 바람직하다. 상기 예비공정기계가 주공정기계와 완전히 동일할 시에는 상기 생산 라인의 부분이 될 수 있다.The number, function, and location of the preprocessing machine are preferably matched to the main process machine. When the preliminary processing machine is exactly the same as the main processing machine it can be part of the production line.
본 발명의 다른 목적, 구성 및 효과는 바람직하되, 비한정적인 구현체에 대한 이하의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다. 이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. Other objects, configurations and effects of the present invention will be apparent from the following detailed description of preferred but non-limiting embodiments. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
게다가, 본 발명의 구현체를 도시하기 위해 사용되는 도면은 본발명을 모호하게 하는 것을 피하기 위해 상기 공정장치의 주요 특징부만을 보여준다. 따라서, 상세한 설명과 도면은 한정적이라기보다는 예시적 의미로 간주되어야 한다.In addition, the drawings used to illustrate embodiments of the present invention only show the main features of the process apparatus in order to avoid obscuring the present invention. The specification and drawings are, accordingly, to be regarded in an illustrative rather than a restrictive sense.
도2는 본 발명의 구현체에 따른 백업시스템을 구비한 제조공정장치에 관한 도면이다. 화살표는 제조공정의 방향(흐름)을 나타낸다. 본 구현체에서, 제조공정장치는 주생산라인(20)과 예비생산라인(30)을 포함하여 이루어진다. 도 2에는 도시되지 않았으나 운반제어시스템을 배치하고 카세트를 운반하기 위해, 상기 주생산라인(20)과 예비생산라인(30) 사이에는 공간이 있다. 그러므로, 상기 생산라인(20 및 30)은 카세트 운반을 하는데 유익하도록 최소한 카세트 폭 만큼의 간격을 두고 배치하여야 한다. 주생산라인(20)에는 세정섹션과 같은 제1 주공정섹션(201), 박막형성섹션과 같은 제2 주공정섹션(202), 감광액 도포섹션과 같은 제3 주공정섹션(203), 세정섹션과 같은 제4 주공정섹션(204)이 있으며, 주생산라인(20)은 상기 제조공정의 요구사항에 따라 배치된다. 상기 예비생산라인(30)은 세정섹션과 같은 제1 예비공정섹션(301), 박막형성섹션과 같은 제2 예비공정섹션(302), 감광액도포 섹션과 같은 제3 예비공정섹션(303), 세정섹션과 같은 제4 예비공정섹션(304) 등을 포함하며, 상기 주생산라인(20)과 동일한 배치를 이룬다. 2 is a diagram of a manufacturing process apparatus having a backup system according to an embodiment of the present invention. Arrows indicate the direction (flow) of the manufacturing process. In this embodiment, the manufacturing process apparatus includes a
상기 주생산라인(20)과 예비생산라인(30)은 제품을 만들기 위해 동시에 작동될 수 있다. 대안으로, 상기 주생산라인(20)과 예비생산라인(30)은 제조공정 중 서로 다른 단계를 책임질 수 있다. 만약 어떤 공정기계가 고장난다면, 상기 운반제어시스템은 카세트를 같은 기능을 갖는 다른 공정기계로 옮길 수 있다.The
공정섹션에 있는 공정기계들(2011,2021,2031,2041,3011,3021,3031,3041), 즉 주공정기계들(2011,2021,2031,2041)과 예비공정기계들(3011,3021,3031,3041)은 제품을 제조하는데 이용된다. 상기 주컨베이어(205)는 카세트를 운반하기 위해 주공정기계들(2011,2021,2031,2041,...)과 전기ㆍ기계적으로 연결된다. 마찬가지로, 예비컨베이어(305)는 카세트를 운송하기 위해 예비공정기계들(3011,3021,3031,3041,..)과 전기ㆍ기계적으로 연결된다.
도2에서 두 개의 화살표는 각각 주생산라인(20)과 예비생산라인(30)에서의 제품의 흐름 방향을 나타낸다. 즉, 두 개의 화살표는 각각 주컨베이어(205)와 예비컨베이어(305)의 카세트 이송 방향을 의미한다.
또한, 일시적으로 카세트를 보관하기 위하여 몇몇 버퍼 보관 섹션(2012,2022,2032,2042,3012,3022,3032,3042)은 상기 주컨베이어(205)와 상기 예비컨베이어(305)의 위에 위치하며, 주공정기계들(2011,2021,2031,2041) 및 예비공정기계들(3011,3021,3031,3041)과 인접되게 배치된다. 또한, 본 실시예의 주공정기계들(2011,2021,2031,2041)과 예비공정기계들(3011,3021,3031,3041)은 도시된 바와 같이 두 줄로 나란하게 배치된다. 리프터나 기중기와 같은 운반제어시스템은 백업 작업을 수행하기 위해 주공정기계의 일측에 배치된다. 도2에서 보여지는 바와 같은 구성에 있어서, 상기 운반제어시스템은 카세트를 적절하게 운반하기 위하여, 주생산라인(20)과 예비생산라인(30)사이에 배치되는 것이 바람직하다. 상기 공정기계가 고장(또는 정지)나거나 카세트가 너무 일찍 목적지로 옮겨질 때(어떤 공정기계라도 제조속도를 감소시킬 수 있다)에는, 상기 운반제어시스템은 카세트를 상기 주공정기계나 주컨베이어로부터 다른 예비공정기계 또는 버퍼 보관 장소로 적절하게 옮길 수 있다.Process machines (2011,2021,2031,2041,3011,3021,3031,3041) in the process section, ie main process machines (2011,2021,2031,2041) and preprocess machines (3011,3021,3031) 3041 is used to manufacture the product. The
In FIG. 2, the two arrows indicate the flow direction of the products in the
In addition, several
도3은 본 발명에 따른 기중기의 일 실시예를 보여주는 도면이다. 상기 기중기(310)는 주몸체(312)와, 상기 주몸체(312)에 설치되는 회전부(314)와, 도시되지 않은 구동원으로부터 동력을 전달받아 카세트를 이송시킬 수 있도록 프로젝터블/리트랙터블(projectable/retractable)할 수 있는 암(arm, 316)을 포함하여 이루어진다. 상기 주몸체(312)는 회전부(314)를 나를 수 있고, 상기 주생산라인(20)과 예비생산라인(30) 사이에서 선로(미도시)를 따라 움직일 수 있다. 또한, 들어올리는 작용은, 주몸체(312)가 수직으로 구동되도록, 주몸체(312)와 연계되어 있다. 상기 리트랙터블 암(316)은 회전부(314)와 연결되며, 카세트를 집거나 들어올리는 동작을 수행한다. 운전 중, 상기 기중기(310)의 수평 자가이동과, 주몸체(312)의 수직이동 및 리트랙터블 암(316)의 펴짐 동작에 따라 상기 카세트는 효율적이고 자동적으로 운반될 수 있다. 보통, 기중기(310)는 카세트가 목적지로 전송될 필요가 있을 때까지는 작동하지 않는다. 예를 들어, 만약 상기 카세트가 주공정기계(2031)로부터 예비공정기계(3031)로 운반되어질 필요가 있으면, 주몸체(312)는 먼저 주공정기계(2031) 상의 위치로 이동한다. 다음으로, 리트랙터블 암(316)은 카세트를 집어 회전부(314)를 통해 예비생산라인으로 회전시키고, 그 후 예비공정기계(3031)에 카세트를 놓는다.Figure 3 shows an embodiment of a crane according to the present invention. The
상기 기중기는 들어올려지거나 매달린 물체를 지지하거나 안내하기 위한 붐(boom)과 서스펜션 후크와, 수압 탱크와, 기중기 고정장치(crane anchor) 및 이외 다른 안전장치들과 같은 다른 기능적 부속품으로 더불어 구성될 수 있다.The crane may be configured with other functional accessories such as booms and suspension hooks for supporting or guiding lifted or suspended objects, hydraulic tanks, crane anchors and other safety devices. have.
또한, 회전부(314)는 주몸체(312)의 바닥 측면에 연결될 수 있고, 상기 주몸체(312)는 선로의 축서스펜션(axis suspension)에 매달린다. 본 발명에서 사용되는 리프터의 유형은 상기에서 설명한 기중기에만 한정되는 것은 아니다. 상기 백업 작업을 수행하기 위해 카세트를 시기적절하게 이동시킬 수 있는 리프터는 본 발명에서 채용될 수 있다. 더불어, 운반제어시스템과 카세트의 이동은 자동반송시스템(AMHS, Automatic Material Handling System)에 의해 조종된다. 또한, CIM 시스템(컴퓨터 통합 제조시스템)은 프로세스 디자인, 구성요소 제어(material control), 제조, 시험, 조립, 검사 등과 같은 제품 생산 제어를 관리하기 위한 생산 작업에 사용되어진다. 모든 카세트의 이동은 CIM시스템에 의해 모니터링되고 기록되어져왔고, 상기 카세트는 효율적이고 신속하게 운반제어시스템에 의해 이동된다. 그러므로, 본 발명에 따른 제조공정장치는 고품질 생산품을 단시간 내에 얻을 수 있다.In addition, the
본 발명에 있어서, 컨베이어 기반장치는 하나의 유리기판을 운반하기도 하지만, 하나의 유리기판을 운반하기보다는 여러 개의 유리기판들을 싣고 있는 카세트의 운반을 위하여 사용된다. 카세트에 보관된 유리기판은(가죽벨트나 롤러와 같은) 컨베이어 운반 표면과의 직접적인 접촉을 피하며, 미립자에 의한 오염 또는 부주의한 긁힘에 대하여 유리기판을 보호한다. 기판 운송 중 특별한 주의 없이도 상기 일반 컨베이어 기반장치는 카세트 운반을 위해 본 발명에서 적용될 수 있으며, 생산비는 따라서 감소하게 된다.In the present invention, the conveyor base apparatus carries one glass substrate, but is used for conveying a cassette carrying several glass substrates rather than one glass substrate. Glass substrates stored in cassettes avoid direct contact with conveyor-carrying surfaces (such as leather belts or rollers) and protect glass substrates against particulate contamination or inadvertent scratches. The general conveyor infrastructure can be applied in the present invention for conveying cassettes without particular attention during substrate transport, and the production cost is thus reduced.
또한, 순차적인 카세트(소위 와이어 카세트 또는 라인 카세트와 같은)는 본 발명에 따른 구현체(실시예)에 사용될 수 있다. 상기 순차적인 카세트에 실린 유리기판(즉, 가공될 물건)은 강철 와이어에 의해 분리되고, 두 개의 인접한 기판 사이의 거리는 약 6.7mm이다. 그러므로, 순차적인 카세트에는 매우 많은 유리 기판이 실릴 수 있다. 더욱이, 컨베이어 기반장치 특유의 디자인은 카세트와 운반제어시스템의 형태에 의거한다. 예를 들면, 상기 컨베이어는 많은 금속 또는 PTFE 롤러로 구성될수 있으며 가죽 벨트는 또한 롤러 상에 설치될 수 있다. 공정기계의 로드 포트(load port)와 같은 몇몇 특정 위치에서는, 리트랙터블 암(316)을 들어올리거나 집기 위해 컨베이어와 카세트 사이에 개재되도록, 안내부재로서의 핀(pin)은 상기 카세트를 들어올리기 위해 돌출될 수 있다. 상기 핀들, 상기 기중기(리프터) 및 로드 포트 센서들은 운송을 완성하기 위해 AMHS 와 CIM 시스템에 의해 잘 조작되어야 한다. 다른 한 예는 카세트의 형태를 변경하는 것이다. 카세트를 들어올리지 않고 리트랙터블 암(316)을 받아들이도록, 카세트와 컨베이어 사이의 공간은 카세트의 하부 측면에 두개의 립(rib)을 붙임으로써 만들어진다. In addition, sequential cassettes (such as so-called wire cassettes or line cassettes) can be used in the embodiments (embodiments) according to the invention. The glass substrate (i.e., the object to be processed) carried in the sequential cassette is separated by steel wire, and the distance between two adjacent substrates is about 6.7 mm. Therefore, very many glass substrates can be loaded in the sequential cassette. Furthermore, the conveyor-based design is based on the type of cassette and conveyance control system. For example, the conveyor may consist of many metal or PTFE rollers and leather belts may also be installed on the rollers. In some specific locations, such as a load port of a processing machine, a pin as a guide member is interposed between the conveyor and the cassette for lifting or picking up the
상기 설명한 바와 같이, 본 발명의 기술 요점은 운반제어시스템을 이용하여 주공정기계나 컨베이어로부터 예비공정기계로 카세트를 시기적절하게 옮기는 데 있다. 그러므로, 상기 버퍼 보관 섹션은 도2에 도시된 것처럼 상기 컨베이어 상의 위치로 한정되는 것은 아니다. 실제 응용시의 인간환경공학상 고려사항에 의거하여 상기 버퍼 보관 섹션은 공정섹션의 내부나 외부의 다른 영역으로 재배치될 수 있다.As described above, the technical point of the present invention is to transfer the cassette in a timely manner from the main processing machine or the conveyor to the preprocessing machine by using the conveyance control system. Therefore, the buffer storage section is not limited to the position on the conveyor as shown in FIG. Based on ergonomic considerations in practical applications, the buffer storage section may be relocated to other areas inside or outside the process section.
더욱이, 예비생산라인(30)에 포함되는 상기 공정기계들은 주생산라인(20)에 있는 공정기계들과 완전히 동일할 수도 있다. 그러나, 본 발명은 여기에 한정되지는 않는다. 상기 예비생산라인(30)은 단지 하나의 예비기계만을 포함할 수 있고, 그 작용은 제조공정에서 주공정단계가 어떤 것인지 또는 상기 공정기계의 정확성에 의거한다. 예를 들어, 만약 식각공정과 박리공정이 생산라인에 있어 중요한 역할을 한다면 상기 예비생산라인(30)은 식각기와 스트리퍼(박리기)를 포함할 수 있다. 만약, 주생산라인의 박막 형성 기계가 다른 공정기계들보다 정확성이 떨어진다면, 예비생산라인(30)은 예비 박막 형성 기계를 선택적으로 포함할 수 있다.Moreover, the process machines included in the
또한, 예비생산라인(30)의 위치는 여기에 제한되지는 않는다. 상기 예비생산라인(30)은 공장의 넓이를 고려하여, 도 2에 도시된 바와 같이 주생산라인(20)의 맞은 편에 놓이거나, 주생산라인(20)과 일렬로 배열되도록 주생산라인(20)의 끝에 근접하게 배치될 수 있다.
게다가, 종래의 "Flow Shop" 공정 장치의 생산라인은, 같은 기능을 갖는 공정기계들이 각각 서로를 백업할 수 있도록 하기 위해 재배치될 수 있다. In addition, the position of the
In addition, the production line of the conventional "Flow Shop" process apparatus can be rearranged so that process machines having the same function can each back up each other.
도 4는 본 발명의 다른 바람직한 구현에 따라, 다층이 서로 연결된 장치를 제작하기 위한 생산라인의 도면이다. 본 구현체에 있어, 상기 장치가 5개의 층으로 되어 있는 것으로 가정되며, 제1층의 제조공정은 제3층의 제조공정과 유사하고, 제2층의 제조공정은 제4층의 제조공정과 유사하다. 상기 생산 라인은 도4의 구성에 따라 배치될 수 있다. 상기 제1층을 만들기 위한 공정기계는 상기 제3층을 만들기 위한 공정기계의 맞은 편에 설치된다. 상기 운반제어시스템과 컨베이어 기반장치는 상기 도면에 따른 구성으로 통합된다. 그러므로, 상기 제1층과 제3층을 만들기 위한 공정기계들은 각각 서로를 백업할 수 있다. 이와 유사하게, 장치의 제2층과 제4층을 만드는데 쓰이는 공정기계들은 운반제어시스템과 컨베이어 기반장치를 설치함으로써 서로를 백업할 수 있다. 4 is a view of a production line for manufacturing a device in which multiple layers are connected to each other, according to another preferred embodiment of the present invention. In this embodiment, it is assumed that the apparatus has five layers, the manufacturing process of the first layer is similar to the manufacturing process of the third layer, and the manufacturing process of the second layer is similar to the manufacturing process of the fourth layer. Do. The production line may be arranged according to the configuration of FIG. The process machine for making the first layer is installed opposite the process machine for making the third layer. The conveyance control system and the conveyor infrastructure are integrated into the configuration according to the figure. Therefore, the processing machines for making the first layer and the third layer can back up each other. Similarly, the process machines used to make the second and fourth layers of the device can back up each other by installing a transport control system and a conveyor infrastructure.
상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 공정기계는 제조공정 흐름에 따라 배치된다. 운반제어시스템 하드웨어, 즉 운반제어시스템과 컨베이어를 통합함에 따라, 생산라인에 있는 카세트는 지속적인 제조나 임시 보관을 위해 예비기계 또는 버퍼 보관 섹션으로 시기적절하게 옮겨질 수 있다. 본 발명에 따른 백업시스템을 구비한 제조공정장치는 "Job Shop" 공정장치와 "Flow Shop" 공정장치의 이점을 결합한 발명인 것이다. 상기 카세트는 상기 공정기계 사이에서 효율적이고 신속하게 운송되어질 수 있으며, 그에 따라 생산 시간 또한 절감하게 된다. 또한, 상기 공정기계는 지나치게 많은 공간을 차지하지 않고 정연하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 배치되는 공정기계들을 갖는 제조공정 흐름은 백업기능을 가질뿐만 아니라, 또한 공장에서 많은 공간을 차지 않으므로 공간을 적절하게 활용할 수 있다. 종래 발명에 비해 상술한 바와 같은 점들이 개선되므로, 본 발명에 따른 백업시스템을 구비한 제조공정장치는 생산비용도 절감할 수 있는 것이다.As described above, the process machine according to the invention is arranged according to the manufacturing process flow. By integrating the conveying control system hardware, namely the conveying control system and the conveyor, the cassettes in the production line can be transferred to the spare machine or buffer storage section in a timely manner for continuous manufacturing or temporary storage. A manufacturing process apparatus having a backup system according to the present invention is an invention combining the advantages of a "Job Shop" process apparatus and a "Flow Shop" process apparatus. The cassette can be transported efficiently and quickly between the processing machines, thus saving production time. In addition, the process machine can be arranged squarely without taking up too much space. For example, a manufacturing process flow with process machines arranged as shown in FIG. 4 not only has a backup function, but also takes up a lot of space in a factory and thus can utilize the space appropriately. Since the above-described points are improved compared to the conventional invention, the manufacturing process apparatus having the backup system according to the present invention can also reduce the production cost.
본 발명은 바람직한 구현체의 관점에서 실시예에 의해 기술되었으나, 본 발명은 여기에 한정되지 않는다는 것이 이해될 것이다. 반대로, 다양한 수정과 유사한 배열을 포함하도록 의도되고, 따라서 첨부되는 청구항의 범위는 그러한 모든 수정과 유사한 배열 및 절차를 포함하도록 가장 넓은 해석이 허용되어야 한다.While the invention has been described by way of example in terms of preferred embodiments, it will be understood that the invention is not so limited. On the contrary, the intention is to cover various modifications and similar arrangements, and the scope of the appended claims is therefore to be accorded the widest interpretation so as to encompass all such modifications and arrangements and procedures.
본 발명에 의하면, 상기 백업시스템을 구비한 제조공정장치는 "Job Shop" 공정장치와 "Flow Shop"공정장치의 이점을 결합한 것이다. 본 발명의 공정장치는 "Jop Shop"공정장치보다 훨씬 큰 용량을 가지며 따라서 카세트에 실린 유리기판은 효율적이고 신속하게 공정기계로 운반될 수 있다. 결과적으로 제조공정 흐름을 백업하여 그 운반하는데 드는 비용과 시간이 훨씬 줄어들게 된다.According to the present invention, the manufacturing process apparatus provided with the backup system combines the advantages of the "Job Shop" process apparatus and the "Flow Shop" process apparatus. The process apparatus of the present invention has a much larger capacity than the "Jop Shop" process apparatus so that the glass substrate loaded on the cassette can be efficiently and quickly conveyed to the process machine. As a result, the cost and time required to back up the manufacturing process flow and transport it is much less.
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