KR100639926B1

KR100639926B1 - 표면검사용 조명장치 및 표면검사장치

Info

Publication number: KR100639926B1
Application number: KR1020010004564A
Authority: KR
Inventors: 요네다겐지
Original assignee: 씨씨에스 가부시키가이샤
Priority date: 2000-08-22
Filing date: 2001-01-31
Publication date: 2006-10-31
Also published as: WO2002016918A1; US6837595B2; JP3686329B2; US20020136009A1; KR20020015627A; AU2001276718A1; JP2004354047A

Abstract

프린트 기판의 패턴검사 등에 적합하게 사용되는 표면검사용 조명장치에 있어서, 장치의 대형화나 고가격화 등을 초래함이 없이 조명효율의 향상을 도모한다.

검사 대상물(2) 표면의 일정 영역에 대하여 그 전후 비스듬히 상방향에서 조명하기 위한 한쌍의 발광부재(3)에 부가해서, 하프 미러(4)를 통하여 그 바로 위로부터도 조명가능한 제 2 발광부재(5)를 설치하여 조명광도를 올림과 동시에, 종횡으로 부설한 복수의 LED(6) 및 이들 LED(6)의 각각의 열에 각각 대응시켜서 배치한 실린드리컬 렌즈(7)를 갖는 발광부재(3)를 구비하는 것으로 하였다.

검사 대상물, 발광부재, 하프 미러, 실린드리컬 렌즈, LED, 조명장치.

Description

표면검사용 조명장치 및 표면검사장치{LIGHTING UNIT FOR INSPECTING A SURFACE AND UNIT FOR INSPECTING A SURFACE}

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치를 도시하는 전체 사시도,

도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 평면도,

도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 내부구조를 도시하는 측면도,

도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 부분구조 상세도,

도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치를 도시하는 전체 사시도,

도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치를 도시하는 저면도,

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 내부구조를 도시하는 측단면도,

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 부분구조 상세도,

도 9는 본 발명의 변형예에 있어서, 표면검사용 조명장치의 부분구조 상세도,

도 10은 본 발명의 변형예에 있어서, 표면검사용 조명장치의 부분구조 상세도,

도 11은 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 종단면도,

도 12는 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 저면도,

도 13은 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서, 표면검사용 조명장치의 종단면 부분 확대도.

"도면의 주요부분에 대한 부호의 설명"

1: 표면검사용 조명장치 2: 검사 대상물

3: 발광부재 4: 하프 미러

5: 제 2 발광부재 6: LED

7: 실린드리컬 렌즈 S: 간극

PL: LED의 열간 피치 PS: 실린드리컬 렌즈간 피치

OM: 절두(切頭)원뿔 오목면

(발명이 속하는 기술분야)

본 발명은 프린트 기판의 패턴검사등에 적합하게 사용되는 표면검사용 조명장치 및 표면검사장치에 관한 것이다.

(종래의 기술)

종래, 프린트 기판의 패턴검사 등에 있어서는, 기판의 크기에도 의하지만, 한번에 기판 전면을 검사하는 것이 아니고, 기판의 좌우에 걸치는 일정폭의 영역마다 검사하는 방법이 사용되는 경우가 있다. 구체적으로는, 기판을 일정 방향으로 이송하면서, 그 이송 방향과 직교하는 라인에 따라 띠형상으로 조명을 쬐게 하여, 그 조명을 쬐인 부분의 흠 등을 순서대로 촬상하도록 하고 있다.

그리고 이 종류의 용도에 사용되는 조명장치로서는, 긴 직사각형 판상을 이루는 한쌍의 발광부재를 기판을 향하여 넓어지는 八자형을 이루도록 설치하고, 이들 발광부재에 의하여, 조명하여야 할 상기 일정폭의 영역을 전후로 비스듬히 상방에서 각각 조명하도록 한 것이 알려져 있다.

그런데, 제품의 대량생산 등에 동반하는 검사시간 단축 등의 목적에서 기판의 이송 속도를 올리는 것이 요구되고, 이 이송 속도 상승에 동반하여 조명광도도 높이는 것이 필요하다.

그런데, 단순히 발광광도 그 자체를 올리는데는 조명장치의 대형화나 소비전력의 증대를 초래하기 때문에 바람직하지 않다. 또 렌즈를 사용하여 발광부재로부터 발광되는 광을 집광하고 조명효율을 향상시키는 것도 용이하게 생각되지만, 발광부재 그 자체에 어느 정도의 폭을 갖는 면발광하는 것이 사용되고 있는 관계상, 단순히 렌즈로 조르는 방법으로서는 렌즈의 직경이 크게 되고 역시 조명장치의 대형화나 고가격화를 초래할 수 있다.

그래서 본 발명은 검사 대상물 표면의 일정 영역에 대하여 그 전후로 비스듬히 상방에서 조명하기 위해서, 종횡으로 부설한 복수의 LED 및 이들 LED의 각각의 열에 각각 대응시켜서 배치한 실린드리컬 렌즈를 구비한 한쌍의 발광부재를 갖고, 이들 LED 열과 대응하는 실린드리컬 렌즈와의 위치관계를 집광가능한 관계로 하여 장치의 대형화나 고가격화 등을 초래함이 없이 조명효율의 향상을 도모할 수 있는 표면검사용 조명장치 및 표면검사장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.

즉, 본 발명에 관한 표면검사용 조명장치는 그 측면 시검사 대상물을 향하여 넓어지는 八자형을 이루도록 배열설치한 한쌍의 발광부재, 이들 발광부재의 반검사대상물측에 배열설치한 하프 미러, 및 이들 발광부재의 반검사대상물측에 배열설치되어 조사한 광이 이 하프 미러에 반사하여 상기 발광부재간에 형성되는 간극을 통과하도록 구성한 제 2 발광부재를 구비하고, 상기 발광부재는 검사 대상물을 향하는 면에 매트릭스적으로 배치한 복수의 LED 및 이들 LED의 각각의 열에 각각 대응시켜 배치한 집광용의 실린드리컬 렌즈를 구비하고, 각각의 열에 속하는 LED로부터 조사된 광이 검사 대상물 표면의 일정 영역에 모이도록 LED의 각각의 열과 각각의 실린드리컬 렌즈와의 위치관계를 설정한 것을 특징으로 한다.

이와 같은 것이면, 조명하여야 할 검사 대상물 표면의 일정 영역에 대하여, 실린드리컬 렌즈에 의하여 발광부재로부터 사출된 광을 집광시킬 수가 있으므로, 조명광도를 효율 좋게 향상시킬 수 있게 된다. 또, 복수열의 LED를 설치하여, 그 각각의 열에 대응시켜서 각각 실린드리컬 렌즈를 배열설치하여 있으므로, 개개의 실린드리컬 렌즈 직경이 작은 염가한 것을 사용할 수 있고 또한, LED의 각각의 열과 각각의 실린드리컬 렌즈와의 위치관계의 설정만으로도 집광할 수가 있기 때문에, 장치로서의 소형화 및 저가격화를 촉진할 수 있고, 제작에도 큰 부담을 끼치지 않는다.

(제 1 실시형태)

이하, 본 발명의 제 1 실시형태를 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 3에 도시하는 표면검사용 조명장치(1)는, 검사 대상물(2)(예를 들면 프린트 기판)의 표면 요철 등을 검사하는 것으로서, 일면을 개방한 직육면체상을 이루는 케이싱(CS), 이 케이싱(CS)내에 배치된 한쌍의 발광부재(3), 제 2 발광부재(5) 및 하프 미러(4)로 이루어지고, 상기 개방면이 검사 대상물(2)을 향하고 또한 그 길이방향이 검사 대상물(2)의 이송 방향과 직교하도록 배치된다.

각부를 상세히 설명하면, 케이싱(CS)은 측판(CS2)사이에 상판(CS1) 및 전후판(CS3)을 끼워넣도록 횡가(橫架)시킨 것이고, 상판(CS1)에는 후술하는 발광부재(3) 사이에 형성되는 간극(S)의 바로 위에 해당하는 부위에 길이방향에 따라서 뻗은 직사각형상의 관통창(S1)을 형성하고 있다. 또한, 도 1에서 CA는 한쌍의 발광부재(3) 및 제 2 발광부재(5)에 전력을 공급하기 위한 케이블이다.

발광부재(3)는 복수의 칩형 LED(6), 이들 LED(6)를 지지하는 LED 지지판(61), 복수의 실린드리컬 렌즈(7), 및 이들 실린드리컬 렌즈(7)를 지지하는 렌즈 지지판(71)을 구비한다. 이 LED 지지판(61)은 상기 길이방향에 따라서 뻗은 직사각형 판상을 이루는 프린트 기판이고, 길이방향과 같은 방향인 열방향 및 거기에 직교하는 방향인 행방향 각각에 따라, 검사 대상물(2)을 향하는 면에 LED(6)를 종횡매트릭스적으로 부설하고 있다. 렌즈 지지판(71)은 LED 지지판(61)과 거의 동일 형상을 이루는 글라스제의 투명판이고, LED 지지판(71)의 검사 대상물(2)측에 평행으로 배치되어 있다. 실린드리컬 렌즈(7)는 아크릴 등의 투명수지를 사용한 것으로 원기둥을 세로로 분할한 형상을 이룬다. 그리고, 이 렌즈 지지판(71)의 검사 대상물(2)측을 향하는 면에 상기 LED(6)의 각각의 열에 각각 대응시켜서 복수의 렌즈가 접착하고 있다. 보다 구체적으로는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 각각의 열에 속하는 LED(6)의 발광 중심과 대응하는 실린드리컬 렌즈(7)의 중심을 연결하는 선(L1)이 검사 대상물(2)의 소정 영역을 향하여 집중하도록 하고, LED(6)의 열간 피치(PL)와 실린드리컬 렌즈간 피치(PC)를 설정하고 있다. 본 실시형태의 경우에 피치(PC)는 피치(PL)보다 작게 된다.

또한, 본 실시형태에서는 LED(6)의 열간 피치(PL)를 일정하게 하고, 실린드리컬 렌즈(7)를 렌즈 지지판(71)에 접착할 때 그 사이의 피치(PC)를 조절하는 것으로 상기 조건을 만족하도록 하고 있지만, 그 역도 관계는 없다. 또한, LED 열간의 피치(PL) 또는 실린드리컬 렌즈(7)간의 피치(PC)의 적어도 어느 한편을 가변하게 하는 간격조절기구나 가변기구를 설치하여도 좋다. 이와 같이 하면 집광영역이나 집광거리를 변경할 수 있기 때문이다. 구체적으로는 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 각각의 실린드리컬 렌즈(7)를 휨가능한 가요성부재(Q)로 연결하거나, LED(6)를 열마다 프린트 기판(PC)에 고정하고 이들 프린트 기판(PC)끼리를 플렉시블 기판 등의 가요성부재(Q)로 연결하거나 한 것을 생각하게 된다.

그리고, 이와 같은 구성의 발광부재(3)를 한쌍 설치하고 측면 시검사 대상물(2)을 향하여 넓어지는 八자형을 이루도록 배열설치하고 있다.

하프 미러(4)는 이들 발광부재(3)의 검사 대상물(2) 반대편에 발광부재(3)간의 간극(S)에 임하도록 45도의 각도로 경사시켜서 배열설치한 직사각형 판상이다.

제 2 발광부재(5)는 이 하프 미러(4)의 전방(또는 후방)에 배치한 것으로, 상기 길이방향에 따라서 일열로 나열한 복수의 LED(51), 이들 LED(51)를 지지하는 LED 지지판(52), 및 이 일열의 LED(51)의 하프 미러(4)측에 배치한 실린드리컬 렌즈(8)를 구비한다. 그리고, 상기 LED(51)로부터 사출된 광이, 실린드리컬 렌즈(8)에 의하여 조르어진 후, 하프 미러(4)에 반사하여 상기 간극(S)을 지나 검사 대상물(2) 표면의 소정 영역(AR)에 집중 조사되도록 구성되어 있다. 부가하여 LED(51)와 실린드리컬 렌즈(8) 사이의 거리를 변경되도록, 전후로 뻗은 긴 구멍과 조여붙임나사로 이루어지는 고정기구(53)를 통하여 상기 LED 지지판(52)을 케이싱(CS)에 전후로 위치변경 가능하게 고정하고 있다.

이와 같은 구성의 표면검사용 조명장치(1)는 상기 관통창(S1)의 외측에 CCD카메라 등의 촬상장치(도시하지 않음)를 배치하고, 이 촬상장치에 의해 관통창(S1) 및 상기 간극(S)을 통해서 검사 대상물(2)의 표면을 검사하는 라인 타입 표면검사장치의 일부로서 사용된다.

따라서, 이와 같이 구성한 본 실시형태에 관한 표면검사용 조명장치(1) 및 표면검사장치에 의하면, 조명하여야 할 검사 대상물(2) 표면의 일정 영역에 대하여, 각 한쌍의 발광부재(3)가 그 전후로 비스듬히 상방에서 조명하고 또한 제 2 발광부재(5)가 하프 미러(4)를 통하여 그 바로 위로부터 조명하는 것에 부가하여, 실린드리컬 렌즈(7)에 의하여 발광부재(3)로부터 사출된 광을 상기 표면의 일정 영역(AR)에 집광시킬 수가 있기 때문에, 조명광도를 효율 좋게 향상시킬 수 있게 된다. 또한 복수열의 LED(6)를 설치하고 그 각각의 열에 대응시켜 각각 실린드리컬 렌즈(7)를 배치하고 있으므로, 개개의 실린드리컬 렌즈(7)에 렌즈직경이 작은 염가한 것을 사용할 수 있고, 또한 LED(6)의 각각의 열과 각각의 실린드리컬 렌즈(7)의 위치관계의 설정만으로도 집광할 수 있기 때문에, 장치 전체로서의 소형화 및 저가격화를 촉진할 수 있고 제작에도 큰 부담을 끼치지 않는다.

특별히 본 실시형태에 의하면, 렌즈 지지판(71)에 글라스를 사용하고 있으므로, 실린드리컬 렌즈(7)에 수지를 사용하여 저가격화를 도모하더라도 열에 의한 휨이나 변형의 영향을 감소시킬 수 있다.

또 칩형 LED를 사용하고 있으므로 포탄형에 비하여 실장밀도가 향상되고 광량을 무리없이 증대시키는 것이 가능하다.

(제 2 실시형태)

이하, 본 발명의 제 2 실시형태를 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 설명중 제 1 실시형태에 대응하는 부재에는 동일한 부호를 붙이는 것으로 한다.

도 5 내지 도 7에 도시하는 표면검사용 조명장치(1A)는 제 1 실시형태에 있 어서 표면검사용 조명장치(1)와 마찬가지로 검사 대상물(2)(예를 들면 프린트 기판)의 표면 요철등을 검사하는 것으로서 일면을 개방한 직육면체상을 이루는 케이싱(CS)과 이 케이싱(CS)내에 배치된 발광부재(3)로 이루어지는 것이다.

그래서, 제 1 실시형태의 것과 비교하여, 본 실시형태에 관한 표면검사용 조명장치(1A)는 발광부재(3)를 2쌍 설치하고 이들 발광부재(3)에 의하여 절두사각뿔이 형성되도록 구성하고 있는 점 및 제 2 발광부재 및 하프 미러를 갖고 있지 않는 점에 있어서 기본적으로 다르다. 그리고, 이와 같은 구성상의 차이는 제 1 실시형태에 있어서의 표면검사용 조명장치(1)가 라인적인 검사를 하기 위한 것에 비하여 본 실시형태에 있어서의 표면검사용 조명장치(1A)는 면(面)적인 검사를 하기 위한 것에 의한다.

특히 발광부재(3)에 대하여 상술하면, 도 8에 도시하는 바와 같이, 각각의 발광부재(3)에는 LED(6)가 각각 9열 배치하여 있고, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 각각의 열에 대응시켜서 실린드리컬 렌즈(7)가 9개 배치하여 있다. 그리고, LED(6)의 각각의 열간 피치(PL)를 일정하게 두고, 실린드리컬 렌즈(7)간의 피치(PC)를 변경하고 있다. 본 실시형태에서는, 중앙 3개의 실린드리컬 렌즈(7)간 및 그 양외측 3개의 실린드리컬 렌즈(7)간의 피치(PC₁)를 피치(PL)와 동일하게 해두고 또한, 이들 3개씩으로 1군을 이루는 실린드리컬 렌즈군간의 피치(PC₂)를 피치(PL)보다도 작게 한다. 따라서 조명하여야 할 검사 대상물(2) 표면의 소정 영역(AR)의 폭이 제 1 실시형태의 것보다도 약간 넓어지는 것으로 된다.

이와 같은 구성의 표면검사용 조명장치(1A)는 상기 관통창(S1)의 외측에 CCD카메라 등의 촬상장치(CMR)를 배치하고, 이 촬상장치(CMR)에 의해 관통창(S1) 및 상기 간극(S)을 통해서 검사 대상물(2)의 표면을 검사하는 표면검사장치의 일부로서 사용된다.

(제 3 실시형태)

이하, 본 발명의 제 3 실시형태를 도 11, 도 12 및 도 13을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 설명중, 제 1 실시형태에 대응하는 부재에는 동일부호를 붙이는 것으로 한다.

도 9 및 도 10에 도시하는 표면검사용 조명장치(1B)는 제 1 실시형태에 있어서의 표면검사용 조명장치(1)와 마찬가지로, 검사 대상물(2)(예를 들면 프린트 기판)의 표면 요철 등을 검사하는 것으로서, 케이싱(CS) 및 이 케이싱(CS)내에 배치된 발광부재(3)로 이루어진다.

각부를 상술하면, 케이싱(CS)은 원기둥상을 이루며 축방향으로 관통하는 중심구멍(SS)이 설치되어 있다. 이 중심구멍(SS)의 하부 내측면에는 발광부재(3)를 지지하는 지지홈(MZ)이 원주방향을 따라서 형성되어 있다.

발광부재(3)는 LED 지지판(61), 이 LED 지지판(61)에 장착한 복수의 LED(6), 렌즈 지지판(71) 및 이 렌즈 지지판(71)에 장착한 복수의 실린드리컬 렌즈(7)를 구비한다.

LED 지지판(61)은 절두원뿔 오목면(OM)을 갖는 프린트 기판이고, 예를 들면, 부분 원고리상을 이루는 플렉시블 기판의 단(端)부끼리를 접합함으로써 형성한다. 또한, 상기 절두원뿔 오목면(OM)이 검사 대상물(2)에 향하도록 본 표면검사용 조명장치(1B)의 자세를 정하고 있다.

LED(6)는, 예를 들면 칩형이고, 상기 프린트 기판(61)의 절두원뿔 오목면(OM)상에 부설하여 있다. 본 실시형태에서는 LED(6)를 3열로 나열하고 각각의 열의 LED(6)가 동심원상을 이루도록 설정되어 있다.

렌즈 지지판(71)은, 예를 들면, 아크릴 등의 수지를 사용한 두께가 같은 투명판이고 그 외면(71a)이 LED(6)의 발광면에 첨접 또는 근접하도록 형성형이나 굽힘 성형에 의하여 절두원뿔형을 이루도록 구성한 것이다.

실린드리컬 렌즈(7)는 아크릴 등의 투명수지를 사용한 링 형상의 것으로서, 상기 LED의 각각의 열에 각각 대응시켜서 3개의 상기 렌즈 지지판(71)의 검사 대상물(2)측을 향하는 면(71b)에 접착하여 있다. 또한, 실린드리컬 렌즈(7)와 렌즈 지지판(71)은 상술한 바와 같이 별체로 성형하여도 좋고 형성형 등에 의하여 일체로 제조하더라도 상관치 않는다.

그래서, 각각의 열에 속하는 LED(6)의 발광 중심과 대응하는 실린드리컬 렌즈(7)의 중심을 연결하는 선(L)이 검사 대상물(2)의 소정 영역(AR)을 향하여 집중하도록, 실린드리컬 렌즈간 피치(PC)를 LED 열간 피치(PL)보다도 작게 설정하고 있는 것은 상기 제 1 실시형태와 동일하다.

이와 같은 구성의 표면검사용 조명장치(1B)는 상기 중심구멍(SS)의 외측에 CCD 카메라 등의 촬상장치(CMR)를 배치하고, 이 촬상장치(CMR)에 의해 중심구멍(SS)을 통해서 검사 대상물(2)의 표면을 검사하는 표면검사장치의 일부로 서 사용된다.

부가하여, 본 발명은 상기 각 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상술한 표면검사장치는, 역으로, 개구의 위치를 상측으로 하는등 하여 사용할 수 있는 것은 말할것도 없고, 용도에 따라 자세를 변경할 수 있는 것은 물론이다. 또한 발광부재에 있어서, LED의 열수나 행수를 바꾸거나 실린드리컬 렌즈와 렌즈 지지판을 일체로 성형하여도 상관치 않는다. 또한, 제 2 실시형태에 있어서 제 2 발광부재 및 하프 미러를 장치하여도 상관치 않는다. 그 경우, 제 2 발광부재에 LED를 종횡으로 복수 배치하여 면적인 발광을 하는 것으로 하는 것이 바람직하다.

이상 상세히 설명한 본 발명에 의하면 조명하여야 할 검사 대상물 표면의 일정 영역에 대하여, 발광부재로부터 사출된 광을 실린드리컬 렌즈에 의해서 집광시킬 수가 있으므로, 조명광도를 효율 좋게 향상시킬 수 있게 된다. 또 복수열의 LED를 설치하여 그 각각의 열에 대응시켜서 각각 실린드리컬 렌즈를 배치하여 있으므로, 개개의 실린드리컬 렌즈에 렌즈직경이 작은 염가한 것을 사용할 수 있고 또한, LED의 각각의 열과 각각의 실린드리컬 렌즈와의 위치관계의 설정만으로도 집광할 수 있기 때문에, 장치로서의 소형화 및 저가격화를 촉진할 수 있고 제작에도 큰 부담을 끼치지 않는다.

Claims

측면 시검사 대상물을 향해서 넓어지는 八자형을 이루도록 배열설치된 한쌍의 발광부재를 갖고,

상기 한쌍의 발광부재가 검사 대상물을 향하는 면에 종횡으로 부설된 복수의 LED 및 이들 LED의 각각의 열에 각각 대응시켜서 배치한 실린드리컬 렌즈를 각각 구비하고, 각각의 열에 속하는 LED로부터 조사된 광이 검사 대상물 표면의 일정 영역에 모이도록 LED의 각각의 열과 대응하는 각각의 실린드리컬 렌즈와의 위치관계를 설정하고, LED의 각각의 열에 속하는 LED로부터 광축이 평행을 이루도록 조사된 광이 검사 대상물 표면의 일정 영역에 모이도록 실린드리컬 렌즈간의 피치를 LED의 열간 피치보다 작게 설정하고 있는 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 1 항에 있어서, 상기 한쌍의 발광부재의 반검사대상물측에 배열설치된 하프 미러 및 이들 발광부재의 반검사대상물측에 배열설치되어 조사한 광이 이 하프 미러에 반사하여 상기 발광부재간에 형성되는 간극을 통과하도록 구성된 제 2 발광부재를 더 구비한 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 발광부재는 LED의 열방향으로 뻗는 긴 직사각형상을 이룬 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, LED 열간 거리 또는 실린드리컬 렌즈간 거리중 적어도 어느 하나를 변경가능하게 하는 간격조절기구를 구비한 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 2 항에 있어서, 제 2 발광부재는 일열로 나열한 복수의 LED, 이들 LED를 지지하는 LED 지지판, 및 이 일열의 LED의 하프 미러측에 배치한 실린드리컬 렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 2 항에 있어서, 제 2 발광부재는 LED를 종횡으로 복수 배치하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 1 항, 제 2 항, 제 5 항 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 발광부재를 2쌍 설치하고, 이들 발광부재에 의하여 절두사각뿔이 형성되도록 구성된 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
절두원뿔 오목면상에 동심원상을 이루는 복수열의 LED를 각각의 열의 LED의 광축이 평행을 이루도록 배치함과 동시에, 이들 LED의 각각의 열에 각각 대응시켜서 동심원상으로 실린드리컬 렌즈를 복수 배치하고, LED로부터 조사된 광이 면의 일정 영역에 모이도록 LED의 각각의 열과 대응하는 각각의 실린드리컬 렌즈와의 위치관계를 설정하고, 각각의 열의 LED로부터 조사된 광이 검사 대상물 표면의 일정 영역에 모이도록 실린드리컬 렌즈간의 피치를 LED의 열간 피치보다 작게 설정하고 있는 것을 특징으로 하는 표면검사용 조명장치.
제 1 항, 제 2 항, 제 5 항, 제 6 항 또는 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 표면검사용 조명장치를 이용하는 것으로서, 하프 미러의 반검사대상물측에 촬상장치를 설치하고, 발광부재 및 제 2 발광부재에 의하여 조명된 검사 대상물의 표면을 하프 미러 및 발광부재 사이의 간극을 통하여 상기 촬상부재에 의해 촬상하도록 하는 것을 특징으로 하는 표면검사장치.