KR100632258B1 - Sample tester for semiconductor - Google Patents

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KR100632258B1 KR1020050003742A KR20050003742A KR100632258B1 KR 100632258 B1 KR100632258 B1 KR 100632258B1 KR 1020050003742 A KR1020050003742 A KR 1020050003742A KR 20050003742 A KR20050003742 A KR 20050003742A KR 100632258 B1 KR100632258 B1 KR 100632258B1
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Abstract

본 발명은 각종 반도체용 시료의 표리면(表裏面)을 육안으로 검사하는 시료 검사장치에 관한 것으로, 특히 한 쌍의 조향모터를 이용한 간단한 방법으로 시료의 다양한 움직임을 자유자재로 조절하면서 정밀하게 검사할 수 있어 검사장치의 전체적인 구조를 콤팩트하게 구성하여 제작비용을 획기적으로 절감하는 동시에 설치에 따른 점유면적을 줄여 공간활용도를 높일 수 있도록 하는 반도체용 시료 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample inspection apparatus for visually inspecting front and back surfaces of various semiconductor samples, and in particular, precisely inspecting various movements of a sample freely by a simple method using a pair of steering motors. The present invention relates to a sample inspection apparatus for semiconductors, which can compactly structure the overall structure of the inspection apparatus, significantly reducing the manufacturing cost, and increase the space utilization by reducing the occupied area according to installation.

이러한 본 발명은 다수의 하우징지지대를 매개로 베이스판의 상부에 설치되는 볼하우징과;The present invention and the ball housing is installed on the upper portion of the base plate via a plurality of housing supports;

상기 볼하우징의 내부에 상,하 외부로 돌출상태로 회전 자유롭게 설치되는 작동볼과;An actuating ball installed freely in a protruding state up and down in the ball housing;

상기 볼하우징의 인접된 양측면 및 베이스판에 입설된 모터취부대에 설치되는 한 쌍의 조향모터와;A pair of steering motors installed on the adjacent both side surfaces of the ball housing and the motor mount mounted on the base plate;

상기 각각의 조향모터의 가동에 따라 상호 교차된 방향으로 선회 가능하게 축설되는 한 쌍의 조향 암과;A pair of steering arms pivotally arranged in mutually intersecting directions according to the operation of each steering motor;

상기 작동볼 하단에 일체로 형성되고 한 쌍의 조향 암을 동시에 관통하여 회전 구속상태로 결합되는 모노레버를 구비시키므로써 이루어지는 것이다.It is formed by integrally formed at the bottom of the operation ball and provided with a mono lever coupled through the pair of steering arms at the same time in a rotationally restrained state.

Description

반도체용 시료 검사장치{Sample tester for semiconductor}Sample tester for semiconductors {Sample tester for semiconductor}

도 1은 본 발명의 일실시예 사시도1 is a perspective view of one embodiment of the present invention

도 2는 본 발명의 재치수단이 생략된 상태의 사시도Figure 2 is a perspective view of a state where the mounting means of the present invention is omitted

도 3은 본 발명의 하우징지지대가 분리된 상태의 요부사시도Figure 3 is a perspective view of the main portion of the housing support of the present invention in a separated state

도 4는 본 발명의 하우징지지대가 분리된 상태의 저면사시도Figure 4 is a bottom perspective view of the housing support of the present invention in a separated state

도 5는 본 발명의 결합상태 정단면도5 is a cross-sectional view of the coupling state of the present invention

도 6은 본 발명의 작동상태 저면도Figure 6 is a bottom view of the operating state of the present invention

도 7은 본 발명 조향 암의 작동상태도 Figure 7 is an operating state of the steering arm of the present invention

도 8은 본 발명 조향 암의 작동상태 저면도8 is a bottom view of the operating state of the steering arm of the present invention.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]

1: 재치수단 10: 볼하우징1: mounting means 10: ball housing

12: 볼유동홀 15,45: 베어링12: ball flow hole 15, 45: bearing

16: 하우징지지대 20: 작동볼16: housing support 20: working ball

22: 칼럼 30: 조향모터 22: column 30: steering motor

40: 조향 암 41: 삽지부40: steering arm 41: insert

42: 회전축 50: 모노레버42: rotation axis 50: mono lever

본 발명은 각종 반도체용 시료의 표리면(表裏面)을 육안으로 검사하는 시료 검사장치에 관한 것으로, 특히 한 쌍의 조향모터를 이용한 간단한 방법으로 시료의 다양한 움직임을 자유자재로 조절하면서 정밀하게 검사할 수 있어 검사장치의 전체적인 구조를 콤팩트하게 구성하여 제작비용을 획기적으로 절감하는 동시에 설치에 따른 점유면적을 줄여 공간활용도를 높일 수 있도록 하는 반도체용 시료 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample inspection apparatus for visually inspecting front and back surfaces of various semiconductor samples, and in particular, precisely inspecting various movements of a sample freely by a simple method using a pair of steering motors. The present invention relates to a sample inspection apparatus for semiconductors, which can compactly structure the overall structure of the inspection apparatus, significantly reducing the manufacturing cost, and increase the space utilization by reducing the occupied area according to installation.

일반적으로 반도체 웨이퍼(wafer)나 액정 기판 등과 같은 시료를 검사하는 방법으로는 우선적으로 여러 방향에서 빛을 조사하여 반사광 또는 투과광의 광학적 변화를 통해 시료 표면의 얼룩이나 흠집 등의 결함 또는 소정의 패턴을 육안으로 관찰하는 매그로(macro)검사와, 현미경 등의 광학보조기구를 이용하는 마이크로(micro)검사로 구분된다.In general, a method of inspecting a sample such as a semiconductor wafer or a liquid crystal substrate is to first irradiate light from various directions to detect defects or predetermined patterns such as stains or scratches on the surface of the sample through optical changes of reflected or transmitted light. It is classified into a macro inspection which is observed by the naked eye and a micro inspection which uses optical aids, such as a microscope.

여기에서 육안에 의한 매크로 검사방법은 통상 각종 시료를 재치대에 재치한 후 상기 재치대를 경사 및 공전하여 시료의 표리면을 변화시켜 가면서 검사를 수행하게 된다.In the macroscopic inspection method, various samples are placed on a mounting table, and the inspection is performed while changing the front and rear surfaces of the sample by tilting and rotating the mounting table.

이러한 웨이퍼 및 액정 기판 등과 같은 시료의 매크로 검사방법에 대한 종래의 기술로는 「일본국 특원평11-263791호 명칭 기판검사장치 및 그 기판검사장치에 사용되는 패럴렐링크기구」가 제안되고 있다.As a conventional technique for a macro inspection method of a sample such as a wafer and a liquid crystal substrate, " Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-263791 No. substrate inspection apparatus and a parallel link mechanism used for the substrate inspection apparatus " have been proposed.

이에 상기 선출원 발명에 대해 간략하게 살펴보면 회전모터의 가동에 따라 흡착상태로 재치된 시료를 회전시키는 재치대와, 상기 재치대를 지지하는 패럴렐링크기구로 구성되며, 상기 패럴렐링크기구는 고정베이스와 재치대가 연결된 가동판의 사이에 6개의 엑츄에이터가 연결되는 구성으로 이루어진다.In this brief application of the invention, the mounting base for rotating the sample placed in the adsorption state according to the operation of the rotary motor, and the parallel link mechanism for supporting the mounting base, the parallel link mechanism is fixed base and mounting It consists of a configuration in which six actuators are connected between the movable plate connected to the stand.

따라서 상기 엑츄에이터를 구동하여 가동판을 동작 제어하므로써 사람의 손의 움직임과 마찬가지로 시료의 표리면 방향을 자유롭게 바꾸는 것에 의해, 시료의 표리면 전체에 걸쳐 구석구석까지 매크로에 의한 육안 검사를 수행할 수 있는 유용한 효과를 제공할 수 있는 것이었다.Therefore, by controlling the movable plate by driving the actuator, by freely changing the direction of the front and back surfaces of the sample as in the movement of a human hand, the macroscopic inspection can be performed by the macro to every corner of the entire front and back surface of the sample. It could provide a useful effect.

그러나 선출원 발명은 상기한 유용함에도 불구하고 가동판의 제어를 다수(6개)의 엑츄에이터의 복합적인 조작에 전적으로 의존하므로써 검사장치의 구성이 매우 복잡함은 물론 고가의 엑츄에이터를 다량으로 사용함에 따라 제작비용의 상승을 초래하는 것이었다.However, despite the above-described usefulness of the invention, the control of the movable plate depends entirely on the complex operation of a large number of (6) actuators, which makes the configuration of the inspection apparatus very complicated and the cost of manufacturing a large amount of expensive actuators. It was to cause a rise.

또한 검사장치의 전체적인 크키가 커짐에 따라 설치작업시 많은 점유면적을 차지하므로써 공간의 활용도 측면에서 매우 불합리한 것이었다.In addition, as the overall size of the inspection equipment became larger, it occupied a large occupied area during installation work, which was very unreasonable in terms of space utilization.

더욱이 상기 다수의 엑츄에이터를 동시 제어하는 방법이 매우 복잡할 뿐만 아니라 구성이 복잡한 만큼 고장 및 파손의 빈도가 높으며, 이로 인해 유지,보수에 따른 어려움이 가중되고 있는 것이었다. In addition, the method of simultaneously controlling the plurality of actuators is not only very complicated but also has a high frequency of failures and damages as the configuration is complicated, thereby increasing the difficulty of maintenance and repair.

본 발명은 각종 반도체용 시료를 다양한 방향(0°~360°)으로 경사지게 위치하도록 하는 제어동작을 한 쌍의 조향모터의 복합적인 가동에 따라 자유로운 움직임을 갖는 작동볼에 의해 신속하고 간편하게 이루어질 수 있도록 함을 발명의 주된 목적으로 하는 것이다.The present invention provides a control operation for inclining various semiconductor samples in various directions (0 ° to 360 °) so as to be made quickly and easily by an operation ball having a free movement according to a complex operation of a pair of steering motors. The main purpose of the invention is to.

소기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 베이스판 상에 입설된 볼하우징의 내부에 작동볼을 외부로 돌출되게 내설하고, 상기 볼하우징의 인접된 양측면에는 한 쌍의 조향모터를 설치하며, 상기 한 쌍의 조향모터의 가동에 따라 선회하는 조향 암은 상호 간섭현상이 없도록 상,하 교차상태로 축설하는 한편, 상기 작동볼의 하단에 형성된 모노레버는 한 쌍의 조향 암을 동시에 관통하여 회전 구속상태로 결합시키는 기술을 강구하므로써 상기 조향모터의 복합적인 가동에 따라 작동볼이 다양한 움직임을 갖을 수 있도록 한다.The present invention for achieving the desired purpose is to insulate the operation ball to the outside in the interior of the ball housing placed on the base plate, a pair of steering motors are installed on the adjacent both sides of the ball housing, The steering arm that is turning according to the operation of the steering motor of the pair is laid up in the up and down intersection state so that there is no mutual interference phenomenon, while the mono lever formed at the lower end of the operation ball penetrates the pair of steering arms at the same time and is in a rotational restraint state. By employing a combination technique, the operation ball can have various movements according to the complex operation of the steering motor.

본 발명의 목적을 보다 효과적으로 달성하기 위한 바람직한 실시예의 구성에 대해 설명하기로 한다.The configuration of the preferred embodiment for more effectively achieving the object of the present invention will be described.

본 발명은 한 쌍의 조향모터(30)를 이용한 간단한 방법으로 시료의 다양한 움직임을 제어할 수 있어 검사장치의 전체적인 구조를 보다 콤팩트하게 구성할 수 있으며, 이로 인한 검사장치의 제작비용을 획기적으로 절감함은 물론 동일공간 내의 배치에 따른 공간활용도를 높일 수 있으며, 유지 및 보수에 따른 편의성을 제공할 수 있음을 발명의 지배적인 특징으로 한다.The present invention can control the various movements of the sample by a simple method using a pair of steering motor 30 can be configured more compactly the overall structure of the inspection device, thereby significantly reducing the manufacturing cost of the inspection device Of course, the dominant feature of the invention is that it is possible to increase the space utilization according to the arrangement in the same space, and to provide convenience according to maintenance and repair.

상기한 특징적인 요지를 달성하기 위한 본 발명의 전체적인 구성은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 다수의 하우징지지대(16)를 매개로 베이스판(17) 상부에 설치되는 볼하우징(10)과, 상기 볼하우징(10)의 내부에 상,하 외부로 돌출상태로 회전 자유롭게 설치되는 작동볼(20)과, 상기 볼하우징(10)의 인접된 양측면에 설치되는 한 쌍의 조향모터(30)와, 상기 조향모터(30)의 가동에 따라 상호 교차된 방향으로 선회 가능하게 축설되는 한 쌍의 조향 암(40)과, 상기 작동볼(20) 하단에 형성되고 한 쌍의 조향 암(40)을 동시에 관통하여 회전 구속상태로 결합되는 모노레버(50)의 조합구성으로 이루어짐을 알 수 있다.The overall configuration of the present invention for achieving the above-mentioned characteristic gist is a ball housing 10 is installed on the base plate 17 through a plurality of housing supports 16 as shown in Figures 2 to 4 and Operation ball 20 is installed freely rotatably up and down the inside of the ball housing 10, a pair of steering motor 30 is installed on both adjacent sides of the ball housing 10 And a pair of steering arms 40 pivotally arranged in a direction intersecting with each other according to the operation of the steering motor 30 and a pair of steering arms 40 formed at a lower end of the operation ball 20. At the same time it can be seen that the combination consists of a mono lever 50 coupled to the rotational constraint state.

이하, 상기 개략적인 구성으로 이루어진 본 발명을 실시 가능하도록 좀 더 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention having the schematic configuration will be described in more detail.

우선적으로 볼하우징(10)은 각종 시료를 재치하는 재치수단(1)이 설치되는 작동볼(20)을 회전 자유롭게 지지하는 역할을 수행하는 것으로, 사방으로 다수의 측판(11)이 일체로 연결된 사각체를 이루며 상기 측판(11)의 상,하단부에는 각각 작동볼(20)이 관통된 상태로 원활하게 회전할 수 있도록 하는 볼유동홀(12)이 형성된 상,하판(13)(14)이 각각 결합되며, 상기 측판(11)의 내면에는 작동볼(20)을 회전 지지하는 베어링(15)이 일체로 삽입 설치된다.First of all, the ball housing 10 serves to freely support the operation ball 20 in which the mounting means 1 for mounting various specimens is installed, and a square in which a plurality of side plates 11 are integrally connected in all directions. The upper and lower plates 13 and 14 are formed on the upper and lower ends of the side plate 11 and the ball flow holes 12 are formed to smoothly rotate in a state where the operation ball 20 is penetrated, respectively. Is coupled, the inner surface of the side plate 11 is inserted into the bearing 15 for supporting the operation ball 20 is integrally installed.

이러한 볼하우징(10)은 측면부 양측에 각각 하우징지지대(16)가 부착되고, 이 하우징지지대(16)는 베이스판(17)의 상부에 입설되므로써 상기 볼하우징(10)은 베이스판(17)의 상부에 고정상태를 유지하게 된다.The ball housing 10 is attached to the housing support 16 on both sides of the side portion, the housing support 16 is installed on the upper portion of the base plate 17, so that the ball housing 10 of the base plate 17 It will remain fixed at the top.

상기 볼하우징(10)의 내부에는 볼유동홀(12)을 관통하여 상,하 외부로 돌출된 상태로 작동볼(20)이 회전 자유롭게 설치된다.In the inside of the ball housing 10, the operation ball 20 is rotatably installed to protrude upward and downward through the ball flow hole 12.

상기 작동볼(20)의 하단에는 작동볼(20)의 움직임을 자유자재로 조절할 수 있도록 하는 모노레버(50)가 일체로 형성되며, 상단에 형성된 칼럼(22)에는 도 1과 같은 재치수단(1)이 일체로 설치될 수 있게 된다.The lower end of the actuating ball 20 is formed integrally with a mono lever 50 to adjust the movement of the actuating ball 20 freely, the column 22 formed on the upper mounting means as shown in FIG. 1) can be installed integrally.

여기에서 본 발명의 재치수단(1)은 반도체용 웨이퍼(2) 또는 기판 등의 시료를 흡착시키는 흡착판(3)이 회전 가능하게 구동모터(4)의 모터축(5) 선단에 설치되고, 상기 구동모터(4)는 연결대(6)에 의해 작동볼(20)의 칼럼(22)에 일체로 설치되는 구성으로 이루어질 수 있으며, 이는 반도체용 각종 시료를 검사하기 위한 목적으로 사용될 수 있다.Here, the mounting means 1 of the present invention is provided at the tip of the motor shaft 5 of the drive motor 4 so that the adsorption plate 3 for adsorbing a sample such as a semiconductor wafer 2 or a substrate is rotatable. The driving motor 4 may be configured to be integrally installed in the column 22 of the operation ball 20 by the connecting rod 6, which may be used for the purpose of inspecting various samples for semiconductors.

또한 본 발명은 상기 칼럼(22)의 상부에 엘시디(LCD)가 장착되는 엘시디 장착수단을 일체로 설치할 경우 엘시디의 결함 등을 검사할 수 있는 검사장치의 목적으로도 활용할 수 있는 범용성을 갖는다.In addition, the present invention has a versatility that can be utilized also for the purpose of the inspection device that can inspect the defects of the LCD when the LCD mounting means in which the LCD (LCD) is mounted on the top of the column 22 integrally.

상기 작동볼(20)이 다양한 움직임을 갖도록 조향력을 제공하는 조향모터(30)는 볼하우징(10)의 인접된 양측면에 일체로 부착된 모터고정판(31)과, 상기 모터고정판(31)과 일정거리만큼 이격된 상태로 베이스판(17)에 입설된 모터취부대(32)에 동시에 연결 설치된다.The steering motor 30, which provides steering force for the operation ball 20 to have various movements, has a motor fixing plate 31 integrally attached to both adjacent side surfaces of the ball housing 10, and the motor fixing plate 31. It is installed at the same time connected to the motor mounting base 32 installed in the base plate 17 in a state spaced apart by a distance.

따라서 상기 조향모터(30)는 복합적인 가동에 따라 발생된 회전력을 이용하여 조향 암(40)을 매개로 작동볼(20)을 제어하므로써 작동볼(20)이 다양한 방향으로 경사지게 위치되도록 조절될 수 있게 된다.Therefore, the steering motor 30 may be adjusted so that the operation ball 20 is inclined in various directions by controlling the operation ball 20 through the steering arm 40 by using the rotational force generated according to the complex operation. Will be.

상기 조향 암(40)은 각각의 조향모터(30)의 가동에 따라 상호 교차된 방향으로 선회 가능하게 축설되는 것으로, 작동볼(20)의 하부를 감싸도록 만곡진 형태로 형성되고 내부 중앙에 모노레버(50)가 관통상태로 삽입되는 삽지부(41)가 형성되며, 일측 선단이 조향모터(30)의 모터축(30a)에 일체로 결합되므로써 다양한 각도로 선회될 수 있게 된다.The steering arm 40 is pivotally arranged in a mutually intersecting direction according to the operation of each steering motor 30, and is formed in a curved shape to surround the lower portion of the operation ball 20 and mono in the inner center. An inserting portion 41 is formed in which the lever 50 is inserted in a penetrating state, and one end of the lever 50 is integrally coupled to the motor shaft 30a of the steering motor 30 so that the lever 50 can be pivoted at various angles.

그리고 상기 조향 암(40)의 타측 선단에는 회전축(42)이 형성되고 이 회전축(42)은 볼하우징(10)에 부착된 지지판(43)에 베어링(45)을 매개로 회전 자유롭게 결합되므로써 보다 안정되고 원활한 회전작동을 보장하며, 특히 상기한 각각의 조향 암(40)은 선회 작동시 상호 간섭현상에 따른 충돌이 발생하지 않도록 상,하 이격되게 교차된 상태로 설치된다.In addition, a rotation shaft 42 is formed at the other end of the steering arm 40, and the rotation shaft 42 is more stable by being rotatably coupled to the support plate 43 attached to the ball housing 10 via the bearing 45. And smooth rotational operation, and in particular, each steering arm 40 is installed in a state where the upper and lower spaces intersect so that a collision due to mutual interference phenomenon does not occur during the turning operation.

따라서 상기 조향 암(40)은 개별적 또는 동시에 작동되더라도 상호 충돌됨 없는 원활한 작동을 보장할 수 있게 된다.Therefore, the steering arm 40 can ensure smooth operation without collision with each other even if operated individually or simultaneously.

한편, 이때 상기 조향 암(40)은 양측으로 원활하게 선회 가능하도록 각각의 조향모터(30)는 정회전은 물론 역회전 구동할 수 있는 정역변환모터로 구성됨이 바람직하다.On the other hand, the steering arm 40 is preferably each of the steering motor 30 is composed of a forward and reverse conversion motor that can be driven forward as well as reverse rotation so as to be able to smoothly turn to both sides.

상기 작동볼(20)을 조향 암(40)의 작동에 따라 회전 구속상태로 결합되도록 하는 모노레버(50)는 상,하 교차상태로 배치된 한 쌍의 조향 암(40)에 형성된 삽지부(41)를 동시에 관통하여 결합되므로써 상기 조향 암(40)의 선회 작동에 따른 다양한 방향의 회전력은 모노레버(50)에 단일화된 상태로 전달되고, 이 모노레버(50)의 회전력에 의해 작동볼(20)이 보다 다양한 방향으로 경사지게 위치될 수 있게 된다.Monolever 50 for coupling the operation ball 20 in a rotational restraint state in accordance with the operation of the steering arm 40 is the inserting portion formed on the pair of steering arms 40 disposed in the upper and lower intersection state ( 41 through the simultaneous coupling through the rotational force of the steering arm 40 in a variety of directions according to the turning operation is transmitted to the mono lever 50 in a unified state, by the rotational force of the mono lever 50 by the operating ball ( 20) can be positioned inclined in more various directions.

따라서 상기 작동볼(20)에 설치된 재치수단(1)에 의해 재치된 각종 시료는 사람의 손의 움직임과 동일하게 시료의 표리면 방향을 자유롭게 변형시켜 시료의 표리면 전체에 걸쳐 구석구석까지 매크로에 의한 육안 검사를 원활하게 수행할 수 있게 된다.Therefore, the various samples placed by the mounting means 1 installed in the operation ball 20 are freely deformed in the direction of the front and back surfaces of the sample in the same way as the movement of the human hand, so that the entire surface of the sample is in every corner. Visual inspection can be performed smoothly.

이에 본 발명은 한 쌍의 조향모터(30)를 제어하는 간단한 방법으로 상기한 매크로 검사를 원활하게 실시함에 따라 검사장치의 구조를 간소화하여 보다 콤팩트하게 구성할 수 있게 된다.Therefore, according to the present invention, the macro inspection can be smoothly performed by a simple method of controlling the pair of steering motors 30, so that the structure of the inspection apparatus can be simplified to be more compact.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명에 의한 시료의 검사과정에 대해 설명하기로 한다.The inspection process of the sample according to the present invention having such a configuration will be described.

우선적으로 재치수단(1)의 흡착판(3)에 웨이퍼(2) 등의 시료가 흡착된 상태에서 각각의 조향모터(30)를 개별적으로 가동하면 해당 조향 암(40)은 양측 어느 한 방향으로 선회되며, 이때 각각의 조향 암(40)은 교차된 상태로 선회 운동을 함과 동시에 모노레버(50)를 연동시켜 작동볼(20)이 회전하면서 시료를 어느 한 방향으로 경사지게 위치할 수 있게 된다.First, when each steering motor 30 is individually operated in a state in which a sample such as a wafer 2 is adsorbed on the adsorption plate 3 of the mounting means 1, the steering arms 40 are pivoted in either direction. At this time, each steering arm 40 is pivoted in the crossed state and at the same time the mono lever 50 is interlocked with the operation ball 20 to rotate the sample can be inclined in any direction.

그리고 상기 조향모터(30)를 복합적으로 동시 가동하면 각각의 조향모터(30)의 회전 비율에 따라 모노레버(50)를 보다 다양한 방향으로 연동시켜 상기 작동볼(20)은 다양한 방향으로 보다 원활한 움직임을 갖을 수 있게 된다.In addition, when the steering motor 30 is simultaneously operated in combination, the operation ball 20 moves more smoothly in various directions by interlocking the monolever 50 in various directions according to the rotation ratio of each steering motor 30. Will be able to have

또한 본 발명은 상기 작동볼(20)의 상부 칼럼(22)에 엘시디 장착수단을 설치할 경우 엘시디의 검자작업을 수행할 수 있는 범용성을 제공하게 된다. In addition, the present invention provides a universality that can perform the inspection operation of the LCD when installing the LCD mounting means in the upper column 22 of the operation ball (20).

본 발명은 한 쌍의 조향모터에 의한 간단한 방법으로 신속하게 시료의 다양한 움직임을 제어할 수 있음에도 불구하고, 구조가 매우 간소하므로써 검사장치의 전체적인 크기를 콤팩트하게 구성함은 물론 엑츄에이터와 같은 고가의 장비를 요하지 않게 된다. Although the present invention can control various movements of the sample quickly by a simple method by a pair of steering motors, the structure is very simple, and the overall size of the inspection apparatus is compactly constructed, as well as expensive equipment such as actuators. It does not cost.                     

따라서 검사장치의 제작비용을 획기적으로 절감함은 물론 점유면적을 줄여 동일공간 내의 검사장치 배치에 따른 공간활용도를 높일 수 있으며, 유지 및 보수에 따른 작업의 편의성을 제공하는 효과가 있게 된다.Therefore, the manufacturing cost of the inspection apparatus can be drastically reduced, and the occupied area can be reduced to increase the space utilization according to the arrangement of the inspection apparatus in the same space, and the convenience of work according to maintenance and repair is provided.

Claims (6)

다수의 하우징지지대(16)를 매개로 베이스판(17)의 상부에 설치되는 볼하우징(10)과;A ball housing 10 installed above the base plate 17 through a plurality of housing supports 16; 상기 볼하우징(10)의 내부에 상,하 외부로 돌출상태로 회전 자유롭게 설치되는 작동볼(20)과;An operation ball 20 which is freely installed in the ball housing 10 so as to protrude upward and downward outwardly; 상기 볼하우징(10)의 인접된 양측면 및 베이스판(17)에 입설된 모터취부대(32)에 설치되는 한 쌍의 조향모터(30)와;A pair of steering motors (30) installed on both adjacent side surfaces of the ball housing (10) and the motor mounting base (32) mounted on the base plate (17); 상기 각각의 조향모터(30)의 가동에 따라 상호 교차된 방향으로 선회 가능하게 축설되는 한 쌍의 조향 암(40)과;A pair of steering arms 40 pivotally arranged in mutually intersecting directions as the steering motors 30 operate; 상기 작동볼(20) 하단에 일체로 형성되고 한 쌍의 조향 암(40)을 동시에 관통하여 회전 구속상태로 결합되는 모노레버(50)로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 시료 검사장치. The sample inspection device for a semiconductor, characterized in that consisting of a mono lever (50) integrally formed at the bottom of the operation ball (20) and coupled through a pair of steering arms (40) in a rotationally constrained state. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 볼하우징(10)은 사방으로 다수의 측판(11)이 일체로 연결되고, 상기 측판(11)의 상,하단부에 볼유동홀(12)이 형성된 상,하판(13)(14)이 각각 결합되며, 상기 측판(11)의 내면에는 작동볼(20)을 회전 지지하는 베어링(15)이 일체로 삽입 설치된 것을 특징으로 하는 반도체용 시료 검사장치.The ball housing 10 has a plurality of side plates 11 are integrally connected in all directions, and the upper and lower plates 13 and 14 are formed with ball flow holes 12 formed at upper and lower ends of the side plates 11, respectively. The inner surface of the side plate (11) is a sample inspection apparatus for a semiconductor, characterized in that the bearing 15 is installed integrally inserted into the support ball (20). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 한 쌍의 조향 암(40)은 일측이 조향모터(30)의 모터축(30a)에 일체로 결합되고, 타측에 형성된 회전축(42)은 볼하우징(10)에 부착된 지지판(43)에 회전 자유롭게 결합되는 한편, 상기 각각의 조향 암(40)은 선회 작동시 상호 간섭현상이 없도록 상,하 이격되게 교차상태로 설치된 것을 특징으로 하는 반도체용 시료 검사장치.One pair of steering arms 40 are integrally coupled to one side of the motor shaft 30a of the steering motor 30, and the rotation shaft 42 formed on the other side rotates on the support plate 43 attached to the ball housing 10. While freely coupled, each of the steering arms 40, the sample inspection apparatus for a semiconductor, characterized in that installed in the cross-up spaced apart so that there is no mutual interference phenomenon during the turning operation. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,The method according to claim 1 or 3, 각각의 조향모터(30)는 조향 암(40)이 양측으로 선회 가능하도록 정,역회전 구동되는 정역변환모터로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체용 시료 검사장치.Each steering motor 30 is a semiconductor sample inspection device, characterized in that the steering arm 40 is composed of a forward and reverse drive motor that is driven forward and reverse rotation to be able to turn to both sides. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 작동볼(20)의 상단에 형성된 칼럼(22)에는 반도체용 웨이퍼 및 기판 등의 시료를 재치할 수 있는 재치수단(1)이 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체용 시료 검사장치.And a mounting means (1) capable of placing a sample such as a semiconductor wafer and a substrate in a column (22) formed at an upper end of the operation ball (20). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 작동볼(20)의 상단에 형성된 칼럼(22)에는 엘시디(LCD)가 장착되는 엘시디 장착수단이 설치되어 엘시디의 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체용 시료 검사장치. Column (22) formed on the top of the operation ball (20) is equipped with an LCD (LCD) mounting means for mounting the LCD (sample) device for testing a semiconductor, characterized in that to perform the inspection of the LCD.
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