KR100530267B1 - Macro tester for original glass - Google Patents
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Abstract
본 고안은 3축(X,Y,Z축) 이동 수단이 차례로 결합되어 각 축으로 이동을 하면서 검사하는 장치에 있어서, 엑스축 이동수단(100) 위에 설치된 와이축 이동수단(200)을 이루는 와이축 구동모터(210)의 회전축(212)에 결합하여 와이축 직선 운동을 가능토록 기능하는 와이 가이드(222)를 일체로 형성하고, 호형 레일(320)을 상면에 설치한 쎄타 베이스(310)와;The present invention is a three-axis (X, Y, Z-axis) moving unit is coupled to one another in order to inspect while moving in each axis, the Y-axis drive motor constituting the Y-axis moving means 200 installed on the X-axis moving means 100 A theta base 310 which is integrally formed with the guide 222 which is coupled to the rotary shaft 212 of the 210 to allow the linear motion of the y-axis, and the arc rail 320 is installed on the upper surface;
쎄타 베이스(310)에 설치한 쎄타 구동모터(330)의 축(332)에 일체로 형성한 웜(334)과 쎄타 회전 가능토록 기어 결합하는 웜휠(340)을 저면 중앙에 결합하고, 모서리 저면에 상기 호형 레일(320)과 미끄럼 결합하는 쎄타 가이드(350)를 설치하고, 상면에 요잉수단(400)을 힌지 결합하는 요잉 베어링(410)을 설치하며, 웜휠(340)과 일체로 쎄타 회전하는 요잉 베이스(410)를 포함하여 구성하고;The worm 334 integrally formed on the shaft 332 of the theta drive motor 330 installed in the theta base 310 and the worm wheel 340 for gear rotation so that theta can be rotated are coupled to the center of the bottom, and the bottom of the corner Yaw to install the theta guide 350 for sliding coupling with the arc-shaped rail 320, the yawing bearing 410 for hinge coupling the yaw means 400 on the upper surface, the yaw to rotate theta integrally with the worm wheel 340 Comprises a base 410;
상기 요잉수단(400)을 이루는 요잉프렘임 상단에는 검사대를 회전하는틸팅모터가 설치되고, 틸팅모터를 지지하는 고정판은 상하제트축으로 이동하는 제트축모터에 의하여 구동하도록 이루어져, 엑스, 와이, 제트, 쎄타, 요잉 및 틸팅을 가능토록한 원판그래스의 마크로 검사장치이다.The upper end of the yawing frame constituting the yawing means 400 is installed a tilting motor for rotating the inspection table, the fixed plate for supporting the tilting motor is driven by a jet shaft motor moving to the upper and lower jet shaft, X, Y, jet It is a macro inspection device of discgrass that enables theta, theta, yawing and tilting.
Description
본 발명은 3축(X,Y,Z축) 이동 수단이 차례로 결합되어 각 축으로 이동을 하면서 검사하는 장치에 관한 것으로, 상세히는 와이축 구동수단에 쎄타회전 가능한 쎄타이동수단을 결합하고, 쎄타이동수단을 쎄타회전자(요잉베이스)에 요잉 가능한 요잉수단을 결합시켜 쎄타각도 이동과 요잉을 가능토록 하며, 요잉수단을 이루는 요잉 프레임의 상단에 틸팅모터를 두어 검사대의 틸팅 검사를 가능토록 하고, 틸팅모터를 지지하는 고정판은 요잉프레임의 수직부에 결합한 제트축모터에 의하여 제트축으로 이동 가능토록 하여, 엑스, 와이, 쎄타, 요잉, 틸팅 및 제트축 구동 가능한 원판그래스의 마크로 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting three axis (X, Y, Z axis) moving means are coupled to one another in order to move in each axis, and in detail, to combine the theta rotation means theta rotation means to the Y axis drive means, theta movement Combine the yaw means that can yaw means to theta rotor (yaw base) to allow theta angle to move and yaw, and to place the tilting motor on the top of the yaw frame that makes up the yaw means to allow the inspection table to tilt. The fixed plate for supporting the motor is movable to the jet shaft by a jet shaft motor coupled to the vertical part of the yawing frame, and relates to a macro inspection apparatus of a disc grass capable of driving X, Y, theta, yawing, tilting and jet shaft.
일반적으로 각종 검사장치는 검사 대상물을 3축(X,Y,Z)이동 시켜 원하는 위치에 안치시켜 사용자가 직접 또는 기계의 힘을 빌어 검사하도록 이루어진다.In general, the various inspection devices are moved to three axes (X, Y, Z) to be placed in the desired position by the user to be inspected by the user directly or by the power of the machine.
그러나 이러한 장치는 단순한 3축 제어 방식이어서 다양한 위치로의 기울어짐을 요하는 부품(예를 들어 원판글래스)에는 사용할 수 없는 어려움이 있어 검사자가 위치를 이동하여 시각적으로 검사하기에 검사 효율이 떨어지고 숙련공이 요구되는 실정이다However, such a device is a simple three-axis control method, which can not be used for parts requiring tilting to various positions (for example, disc glass), which reduces the inspection efficiency and the skilled worker to visually inspect by moving the position. Required
본 고안은 이를 해결코자 하는 것으로, 본 고안의 목적은 3축 외에 일정각도(쎄타)이동과, 요잉과, 틸팅을 겸하도록 하여 다방향으로 검사대를 이동시켜 사용자가 앉아서도 다각도로 검사 가능토록 하는 마크로 검사장치를 제공하려는 것이다. The present invention is to solve this problem, the purpose of the present invention is to move the inspection table in a multi-directional direction, such as a constant angle (theta) movement, yawing, and tilting in addition to three axes, so that the user can be inspected at multiple angles even while sitting. To provide a macro inspection device.
이를 위하여 본 발명은 와이축 구동수단에 쎄타회전 가능한 쎄타이동수단을 결합하고, 쎄타이동수단을 쎄타회전자(요잉베이스)에 요잉 가능한 요잉수단을 결합시켜 쎄타각도 이동과 요잉을 가능토록 하며, 요잉수단을 이루는 요잉 프레임의 상단에 틸팅모터를 두어 검사대의 틸팅 검사를 가능토록 하고, 틸팅모터를 지지하는 고정판은 요잉프레임의 수직부에 결합한 제트축모터에 의하여 제트축으로 이동 가능토록 하여, 엑스, 와이, 쎄타, 요잉, 틸팅 및 제트축 구동 가능한 원판그래스의 마크로 검사장치르 제공하도록 구성한다.To this end, the present invention is coupled to the y-axis drive means for theta-rotating theta moving means, coupled to theta-taking means to yaw means yawable to theta rotor (yawing base) to enable theta angle movement and yawing, yawing means A tilting motor is placed on the top of the yawing frame to form a tilting inspection of the inspection table, and the fixed plate supporting the tilting motor is movable to the jet shaft by a jet shaft motor coupled to the vertical part of the yawing frame. It is configured to provide a macro inspection device for disc grass, theta, yawing, tilting and jet shaft drive.
즉, 본 발명은 3축(X,Y,Z축) 이동 수단이 차례로 결합되어 각 축으로 이동을 하면서 검사하는 장치에 있어서, That is, the present invention is a device for inspecting while the three axis (X, Y, Z axis) moving means are coupled to one another in movement,
엑스축 이동수단 위에 설치된 와이축 이동수단을 이루는 와이축 구동모터의 회전축에 결합하여 와이축 직선 운동을 가능토록 기능하는 와이 가이드를 일체로 형성하고 호형 레일을 상면에 설치한 쎄타 베이스와, 쎄타베이스 상면에 안치되어 회전축이 웜휠을 기어결합 하는 모터로 이루어지고, 웜휠을 저면에 일체로 설치한 요잉베이스가 호형레일을 따라 쎄타 이동 가능토록 한 쎄타이동수단과;The theta base is formed on the upper surface of theta base and theta base, which is formed on the upper surface of the theta-base and the arc guide is formed on the upper surface by integrally forming the y-guide which is combined with the rotational axis of the y-axis driving motor which constitutes the y-axis moving means. A theta shift means, wherein the rotating shaft is formed of a motor for gear-coupling the worm wheel, and the yawing base having the worm wheel integrally installed on the bottom thereof allows theta to move along the arc of the arc;
요잉베이스 상면에 설치한 요잉베어링에 힌지 결합하고 상단에 검사대를 지지하는 요잉프레임과, 요잉모터에 연동하여 직선운동 하는 요잉구동판과 요잉구동판과 요잉프레임의 저면을 상호 링크시켜 요잉작용하는 요잉수단과을 포함하여 구성한 원판그래스의 마크로 검사장치를 제공하려는 것이다.Yawing frame that hinges to the yawing bearing installed on the yawing base and supports the inspection table on the top, and the yawing frame that links the bottom surface of the yawing drive plate and yawing drive plate and yawing frame that intersects with the yawing motor. It is to provide a macro inspection apparatus of a disc grass, including the means.
본 발명은 요잉프레임의 상단에 설치되는 검사대의 틸팅을 구동하는 틸팅모터와;The present invention and the tilting motor for driving the tilt of the inspection table installed on the top of the yawing frame;
틸팅모터를 지지하는 고정판과 결합하며, 요잉프레임의 수직부에 고정되어 제트축 운동을 구동하는 제트축 모터를 부가하여 구성한 원판그래스의 마크로 검사장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to provide a macrograph inspection apparatus of a disc glass, which is combined with a fixed plate for supporting a tilting motor and fixed by a vertical portion of the yawing frame, and which adds a jet shaft motor for driving jet shaft motion.
상기 요잉수단은 요잉베이스에 설치한 요잉모터와, 이에 연동하여 직선 운동하는 요잉 구동판과, 검사대를 상단에서 지지하는 요잉프레임 저면에 일단이 유착되고, 타단은 상기 요잉 구동판에 유착된 요잉로드를 포함하여 이루어진 것이 좋다.The yaw means is a yawing motor installed on the yawing base, a yawing drive plate linearly linked to it, one end is bonded to the bottom of the yawing frame supporting the inspection table from the top, the other end is a yawing rod adhered to the yawing drive plate It may be made, including.
상기 요잉수단을 이루는 요잉프레임 양단은 상방으로 연장한 수직부를 이루며, 수직부 상단에 지지되는 검사대는 부가한 틸팅모터의 회전축에 회전 가능토록 결합되고, 틸팅모터는 수직의 틸팅모터 고정판에 고정되고, 틸팅모터 고정판은 요잉프레임의 수직부에 설치한 제트축모터의 회전축에 연동하여 상하 이동 하는 수직이동자에 결합토록 구성한 것이 좋다.Both ends of the yawing frame constituting the yawing means forms a vertical portion extending upwards, the inspection table is supported on the top of the vertical portion is rotatably coupled to the rotation axis of the added tilting motor, the tilting motor is fixed to the vertical tilting motor fixed plate, The tilting motor fixing plate may be configured to be coupled to a vertical mover moving up and down in conjunction with the rotational axis of the jet shaft motor installed in the vertical part of the yawing frame.
상기 제트축모터는 요잉프레임의 양 수직부에 각각 설치한 것이 좋다.The jet shaft motor is preferably installed on both vertical portions of the yawing frame.
상기 요잉로드는 요잉구동판 양측에 각각 설치되며, 각 요잉로드의 일단은 요잉베어링에서 요잉 가능한 거리를 둔 요잉 프레임 저면 위치에 유착된 것이 좋다.The yaw rods are respectively provided on both sides of the yaw driving plate, and one end of each yaw rod may be adhered to a bottom position of the yaw frame at a distance capable of yawing from the yaw bearing.
상기 호형레일은 쎄타베이스의 양측에 가상 원주를 이루도록 대향 설치되며, 양 호형레일 사이에 쎄타구동모터의 축이 위치하도록 구성한 것이 좋다.The arc-shaped rails are opposed to each other so as to form virtual circumferences on both sides of the theta base, and it is preferable that the axis of the theta-drive motor is positioned between the arc-shaped rails.
호형레일위를 미끄럼 이동하는 쎄타가이드는 초기 호형레일의 중간 위치에 안치하도록 구성한 것이 좋다.Theta guide, which slides on the arc of the arc, is preferably configured to be placed in the middle of the initial arc of the arc.
이하 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1 은 본 발명의 사시도이고, 도 2 는 본 발명의 평면도이며, 도 3 은 본 발명의 좌측면도로, 엑스축 이동수단(100) 위에 설치된 와이축 이동수단(200)을 이루는 와이축 구동모터(210)의 회전축(212)에 결합하여 와이축으로의 직선 운동을 가능토록 기능하는 와이 가이드(222)를 일체로 형성하고 호형 레일(320)을 상면에 설치한 쎄타 베이스(310)와, 쎄타베이스(310) 상면에 안치되어 회전 축(332)이 웜휠(340)을 기어결합 하는 쎄타구동모터(330)로 이루어지고, 웜휠(340)을 저면에 일체로 설치한 요잉베이스(410)가 호형레일(320)을 따라 쎄타 이동 가능토록 한 쎄타이동수단(300)과;1 is a perspective view of the present invention, Figure 2 is a plan view of the present invention, Figure 3 is a left side view of the present invention, the Y-axis drive motor 210 that constitutes the Y-axis moving means 200 installed on the X-axis moving means 100 The theta base 310 and theta base 310 which are integrally formed with the y-guide 222 functioning to be coupled to the rotary shaft 212 of the y-axis and allowing the arc-shaped rail 320 to be installed on the upper surface. The rotating shaft 332 is settled on the upper surface is composed of theta driving motor 330 gear coupling the worm wheel 340, the yawing base 410 integrally installed on the bottom of the worm wheel 340 arc-shaped rail (320) Theta moving means 300 to be able to move theta along;
요잉베이스(410) 상면에 설치한 요잉베어링(420)에 힌지 결합하고 상단에 검사대(610)를 지지하는 요잉프레임(460)과, 요잉모터(430)에 연동하여 직선운동 하는 요잉구동판(440)과 요잉구동판(440)과 요잉프레임(460)의 저면을 요일로드(450)로 상호 링크시켜 요잉작용하는 요잉수단(400)과;A yawing frame 460 hinged to the yawing bearing 420 installed on the yawing base 410 and supporting the inspection table 610 at the top thereof, and a yawing driving plate 440 linearly linked to the yawing motor 430. Yaw means 400 for yawing by linking the bottom surfaces of the yaw driving plate 440 and the yawing frame 460 with the yaw rod 450;
요잉프레임(460)의 상단에 설치되는 검사대(610)의 틸팅을 구동하는 틸팅모터(600)와;A tilting motor 600 for driving the tilting of the inspection table 610 installed at the upper end of the yawing frame 460;
틸팅모터(600)를 지지하는 고정판(620)과 결합하며, 요잉프레임(460)의 수직부에 고정되어 제트축 운동을 구동하는 제트축 구동모터(500)를 포함하여 구성한다.Coupled with the fixed plate 620 for supporting the tilting motor 600, it is configured to include a jet shaft drive motor 500 is fixed to the vertical portion of the yawing frame 460 to drive the jet shaft movement.
(700)은 뒤에서 조명광을 발산하는 백라이트부이다. (600)은 도 1 에 보인 검사대(610)를 경사지게 회전 시키는 틸팅모터이고, (500)은 제트축 구동모터이다. 엑스축이동수단(100)은 엑스베이스(110)에 안치된 엑스축구동모터(120)와, 엑스축구동모터(120)의 회전축(121)에 연동하여 직선운동하며 와이베이스 저면에 결합된 엑스가이드(122)와, 와이베이스(214)가 엑스 방향으로 이동 가능토록 하는 엑스레일(130)을 포함한다. (132)는 엑스레일(130)위를 따라 이동하도록 와이 베이스(214) 저면에 설치된 엑스레일 가이드이다.700 is a backlight unit that emits illumination light from behind. 600 is a tilting motor for rotating the inspection table 610 shown in Figure 1 inclined, 500 is a jet shaft drive motor. The X-axis moving means 100 moves linearly in association with the X-axis driving motor 120 placed in the X-base 110 and the rotation shaft 121 of the X-axis driving motor 120 and is coupled to the bottom of the Y-base. Reference numeral 122 and an x-rail 130 allowing the base 214 to move in the X direction. Reference numeral 132 is an X-rail guide installed on the bottom of the wire base 214 to move along the X-rail 130.
도 4 는 본 발명의 요잉수단을 생략하고 쎄타이동수단이 와이축 이동수단 위에 안치되는 구성을 보인 요부 구성 평면도이고, 도 5 는 도 4 의 좌측면도로, 엑스축이동수단(100)위에 와이축 이동수단(200)이 안치되고, 와이축 이동수단(200)위에는 쎄타 이동수단(300)이 안치되고, 쎄타이동수단(300)위에는 요잉베어링(420)을 결합하여 요잉프레임(460)을 힌지 결합시킨다. FIG. 4 is a plan view of a main part showing a configuration in which the theta shifting means is settled on the y-axis moving means without omitting the yawing means of the present invention. FIG. 5 is a left side view of FIG. 4 and a Y-axis moving means (on the X-axis moving means 100). 200 is settled, the theta moving means 300 is placed on the y-axis moving means 200, and the yawing bearing 420 is coupled to the theta moving means 300 to hinge the yawing frame 460.
상기 엑스축 이동수단(100)은 엑스베이스(110)에 설치되고 회전축(121)을 가지는 엑스축 구동모터(120)와, 회전축(121)에 결합하여 직선 운동으로 바꾸는 엑스가이드(122)와, 엑스베이스(110)위에 안치되는 엑스레일(130)과, 엑스레일(130)위로 미끌어져 이동하는 엑스레일 가이드(132)를 포함하여 구성한다. 상기 엑스가이드(122)와 엑스레일 가이드(132)는 와이축 이동수단(200)을 이루는 와이베이스(214)의 저면에 설치한다.The X-axis moving unit 100 is installed on the X-base 110 and the X-axis drive motor 120 having a rotating shaft 121, the X guide 122 is coupled to the rotating shaft 121 to change the linear motion, and the X-base The X-rail 130 is placed on the 110, and the X-rail guide 132 is moved by sliding over the X-rail 130 is configured. The X guide 122 and the X rail guide 132 are installed on the bottom surface of the Y base 214 forming the Y axis moving means 200.
상기 와이축 이동수단(200)은 와이베이스(214) 상면에 설치한 와이축 구동모터(210)와, 와이레일(230), 및 와이축 구동모터(210)의 회전축(212)에 결합하여 직선 운동하는 와이가이드(222)와, 상기 와이레일(230)상면에 미끄럼 결합하도록 쎄타베이스(310) 저면에 설치된 와이레일 가이드(232)을 포함하여 구성한다.The y-axis moving unit 200 is coupled to the y-axis drive motor 210 installed on the top surface of the y-base 214, the w-rail 230, and the rotary shaft 212 of the y-axis drive motor 210, the wye It comprises a guide 222, and the w-rail guide 232 installed on the bottom surface of the theta base 310 so as to slide to the top surface of the w-rail 230.
상기 쎄타이동수단(300)은 쎄타베이스(310)위에 안치되는 호형의 호형레일(320) 및 쎄타구동모터(330)와, 쎄타구동모터(30)의 쎄타 구동모터축인 회전축(332)에 고정된 웜(334)과, 웜(334)과 웜 결합하며 요잉베이스(410) 저면 중앙에 설치된 웜휠(340)과, 상기 호형레일(320)과 미끄럼 결합하며 요잉베이스(410) 저면에 결합되는 쎄타가이드(350)로 이루어진다.The theta moving means 300 is fixed to the arc-shaped arc rail 320 and theta driving motor 330 and theta driving motor shaft of theta driving motor 30 of the arc-shaped seated on the theta base (310). The worm 334, the worm 334 and the worm is coupled to the worm wheel 340 is installed in the center of the bottom of the yawing base 410, the arc-shaped rail 320 and the theta coupled to the yawing base 410 bottom Guide 350.
상기 요잉베이스(410) 위에는 요잉베어링(420) 및 요잉프레임(460)을 포함하는 요잉수단(400)이 결합된다.The yaw means 400 including the yaw bearing 420 and the yaw frame 460 is coupled to the yaw base 410.
도 6 은 본 발명의 요부를 이루는 요잉수단을 분리하여 나타낸 평면도이고, 도 7 은 도 6 의 정면도로, 요잉수단(400)은 요잉베이스(410)위에 일정 거리를 두고 안치되는 한 쌍의 요잉베어링(420)과, 요잉베어링(420)사이의 중간 위치에 고정되는 요잉모터(430)와, 요잉모터(430)의 회전 축(432)에 직선 운동 가능토록 결합하며 양측에 요잉로드(450)의 일단을 유착시키는 요잉 구동판(440)과, 요잉베어링(420)에 요잉 가능토록 힌지 결합하는 요잉프레임(460)을 포함하여 구성하고, 상기 요잉로드(450)의 타단은 상기 요잉프레임(460)에 요잉 구동력을 전달할 수 있는 요잉프레임(460)의 저면 위치에 유착시킨다.Figure 6 is a plan view showing the yawing means constituting the main portion of the present invention separately, Figure 7 is a front view of Figure 6, the yawing means 400 is a pair of yawing bearings placed a certain distance on the yawing base 410 420, the yawing motor 430 is fixed to the intermediate position between the yawing bearing 420, and coupled to the rotation axis 432 of the yawing motor 430 so as to enable a linear movement of the yawing rod 450 on both sides And a yawing drive plate 440 for adhering one end and a yawing frame 460 hinged to the yawing bearing 420 so as to be yawable, and the other end of the yawing rod 450 is the yawing frame 460. Adhesion to the bottom position of the yawing frame 460 that can transmit the yawing drive force.
상기 요잉프레임(460)의 양측에는 수직 상방으로 연장한 수직부(462)를 일체로 각각 형성한다. 수직부(462)에는 안쪽으로 제트축 구동모터(500)가 설치되고, 제트축 구동모터(500)의 수직 이동자(510)에는 제트축 이동판인 틸팅모터고정판(620)을 수직으로 설치한다. 상기 틸팅모터고정판(620)의 상단에는 틸팅모터(600)가 설치되고, 틸팅모터(600)의 회전축에는 틸팅되는 검사대(610)가 일체로 결합된다. On both sides of the yawing frame 460, vertical portions 462 extending vertically upward are integrally formed, respectively. The jet shaft driving motor 500 is installed in the vertical portion 462, and the tilting motor fixing plate 620, which is a jet shaft moving plate, is vertically installed in the vertical mover 510 of the jet shaft driving motor 500. A tilting motor 600 is installed at an upper end of the tilting motor fixing plate 620, and a tilting test table 610 is integrally coupled to the rotating shaft of the tilting motor 600.
도 8 은 본 발명을 제어하는 제어 구성 예시도로, 조작부(710)의 조작을 인식하는 제어부(720)와; 8 is an exemplary control configuration for controlling the present invention, comprising: a control unit 720 for recognizing an operation of the operation unit 710;
제어부(720)의 조작에 따라 대응하는 모터를 구동하는 드라이버(730)와; A driver 730 for driving a corresponding motor according to an operation of the controller 720;
드라이버(730)의 작동에 연동하여 정역회전 하면서 작동하는 엑스축구동모터(120)와, 와이축 구동모터(210)와, 제트축 구동모터(500)와, 쎄타구동모터(330)와, 요잉모터(430)와 틸팅모터(600)를 포함하는 모터부와;X-axis drive motor 120, Y-axis drive motor 210, the jet axis drive motor 500, theta drive motor 330, the yawing motor operating while operating in forward and reverse rotation in conjunction with the operation of the driver 730 A motor unit including a 430 and a tilting motor 600;
제어부(720)의 지령에 따라 스위칭 하는 백라이트부(700)로 이루어진다. The backlight unit 700 switches according to an instruction of the controller 720.
상기 백라이트부(700)의 일 예로는 제어부(720)의 지령에 따라 작동하는 릴레이(701)와, 릴레이(701)에 연동하여 교류전원을 인가하는 백라이트부(700)로 이루어진다. An example of the backlight unit 700 includes a relay 701 that operates according to a command of the controller 720, and a backlight unit 700 that applies AC power in association with the relay 701.
이와 같이 구성한 본 발명을 각 이동수단별로 차례로 설명한다.The present invention configured as described above will be described in turn for each moving means.
도 1 내지 도 5 에서와 같이 엑스축 구동모터(120)가 회전하면(이는 도 8 과 같이 제어부(720)의 지령에 따라 드라이버(730)를 통하여 해당하는 회전방향 및 위치에 따른 회전수를 감안하여 구동시킨다.) 엑스가이드(122)가 직선 운동하고, 해당하는 위치만큼 엑스축으로 이동하여 와이베이스(214)를 엑스축 방향으로 이동시킨다.When the X-axis driving motor 120 rotates as shown in FIGS. 1 to 5 (which, in accordance with the command of the controller 720 as shown in FIG. 8, takes into account the rotational speed corresponding to the corresponding rotation direction and position through the driver 730). The X guide 122 linearly moves and moves to the X axis by the corresponding position to move the Y-base 214 in the X axis direction.
그리고 도 8 에 보인 제어부(720)의 지령에 따라 드라이버(730)에서 해당하는 출력을 인가하여 와이축 구동모터(210)를 회전시킨다. 와이축 구동모터(210)의 회전축(212)에 연동하여 와이가이드(222)가 와이 방향으로 쎄타베이스(310)를 이동시키고(물론 와이가이드(222)의 직선 운동을 가능토록 와이베이스(214)위에 설치된 와이레일(230)위에서 와이레일가이드(232)가 미끔럼 이동하고, 와이레일가이드(232)는 쎄타베이스(310)의 와이방향 이동을 가능토록 한다.Then, according to the command of the controller 720 shown in FIG. 8, the driver 730 applies the corresponding output to rotate the y-axis drive motor 210. The Y-guide 222 moves the theta base 310 in the Y direction in conjunction with the rotation axis 212 of the Y-axis drive motor 210 (of course, on the Y-base 214 to enable the linear movement of the Y-guide 222). The wire rail guide 232 is easily moved on the installed wire rail 230, and the wire rail guide 232 allows the theta base 310 to move in the wire direction.
아울러 쎄타베이스(310)위에는 쎄타이동수단(300)이 기능하는데, 도 8 에 보인 쎄타구동모터(330)의 회전에 연동하여 회전축(332)이 회전하면 회전축(332)에 설치된 웜(334)이 웜휠(340)을 구동시키고, 웜휠(340)은 요잉베이스(410)를 저면에서 결합시키므로, 요잉베이스(410)저면에 일체로 된 쎄타가이드(350)가 호형레일(320)을 따라서 미끄럼 회전 가능토록 작동한다. 이는 도 4 와 같이 평면에서 볼 때 웜휠(340)과 함께 요잉베이스(410)가 쎄타 각도로 회전하게 되는 것이다. 아울러 웜(334)보다 웜휠(340)의 직경을 크게하면 웜휠(340)의 회전을 감속하는 효과를 제공하여 안정적으로 쎄타 범위 내에서 회전 가능토록 작용한다.In addition, the theta shifting means 300 functions on the theta base 310. When the rotation shaft 332 rotates in conjunction with the rotation of the theta driving motor 330 shown in FIG. 8, the worm 334 installed on the rotation shaft 332 is rotated. Since the worm wheel 340 is driven and the worm wheel 340 couples the yawing base 410 from the bottom, the theta guide 350 integrally formed on the bottom of the yawing base 410 can slide along the arc rail 320. It works forever. This is when the yaw base 410 with the worm wheel 340 in the plane as shown in Figure 4 to rotate theta angle. In addition, when the diameter of the worm wheel 340 is larger than the worm 334, the rotation of the worm wheel 340 is provided, thereby stably rotating within the theta range.
이어 본 발명은 또한 요잉수단(400)을 구동시킬 경우제어부(720)의 지령에 연동하여 드라이버(730)가 지령하는 값을 인식하여 요잉모터(430)를 구동한다. 요잉모터(430)의 구동은 요잉 구동판(440)을 수직방향으로 이동시키고, 요잉 구동판(440)이 이동함은 요잉로드(450)를 밀거나 당기는 효과를 제공하므로 요잉프레임(460)이 요잉힌지축(422)을 중심으로 요잉 작용을 하게 된다. 이 경우 요잉구동판(440)의 양측에 각각 요잉로드(45)를 설치한 것은 요잉하는 힘을 양측으로 분산시켜 요잉 작용에 따른 힘의 분산으로 내구성을 증진시키기 위함이다. Subsequently, the present invention also drives the yawing motor 430 by recognizing the value commanded by the driver 730 in conjunction with the command of the controller 720 when driving the yawing means 400. The driving of the yawing motor 430 moves the yawing drive plate 440 in the vertical direction, and the yawing drive plate 440 moves to provide the effect of pushing or pulling the yawing rod 450 so that the yawing frame 460 The yaw hinge axis 422 is a yawing action to the center. In this case, the yaw rods 45 are respectively provided on both sides of the yaw driving plate 440 in order to improve durability by dispersing the yaw force on both sides and dispersing the force according to the yawing action.
이어 본 발명에서 제트축으로의 이동은 도 7 과 같이 요잉프레임(460)의 수직부(462) 내측면에 제트축모터(500)를 설치하고, 제트축 모터(500)의 수직 이동자(510)에는 틸팅모터 고정판(620)을 설치하며, 틸팅모터 고정판(620)의 상단에는 필팅모터(600)를 고정시킨다. 이 경우 제트축모터(500)는 수직부(462) 양측면에 각각 설치하여 상승 및 하강력을 제공하는바, 이는 제트축으로 이동하는 틸팅모터 고정판(620)위에 안치되는 검사대(610)와 검사대(610)에 놓일 검사물품(예를 들어 액정용 원판 그래스)의 중량을 고려하여 2개소에서 동시에 작동토록 한다.Subsequently, in the present invention, the jet shaft motor 500 is installed on the inner surface of the vertical portion 462 of the yawing frame 460 as shown in FIG. 7, and the vertical mover 510 of the jet shaft motor 500 is moved. The tilting motor fixing plate 620 is installed in the upper part of the tilting motor fixing plate 620 to fix the filtering motor 600. In this case, the jet shaft motor 500 is provided on both sides of the vertical portion 462 to provide the lifting and lowering force, which is placed on the test table 610 and the test table (mounted on the tilting motor fixing plate 620 moving to the jet shaft). Considering the weight of the inspection article (for example, the liquid crystal disc glass) to be placed in 610) to be operated simultaneously in two places.
본 발명에서 사용하는 틸팅모터(600)는 틸팅모터(600)의 작동으로 검사대(610)가 수평면이 아닌 틸팅 상태를 이루도록 작동한다. The tilting motor 600 used in the present invention operates so that the inspection table 610 achieves a tilting state rather than a horizontal plane by the operation of the tilting motor 600.
따라서 본 발명은 검사대(610)에 검사할 원판그래스를 안치시키고(안치시 이탈을 막기 위하여 저면에서 진공흡착하는 수단 등을 부가하는 것은 일반적인 기술이므로 이에 대한 설명은 생략하고, 원판 그래스의 로딩 및 언로딩 수단의 도시도 생략한다), 제어부(720)에 미리 설정한 각 방향으로의 출력을 드라이버(730)에 순차 및/또는 동시에 제공하여 엑스, 와이 및 제트방향과 쎄타각도이동 및 틸팅과 용잉작용을 하면서 일정 거리에 앉거나 서 있는 검사자가 백라이트부(700)에서 나오는 불빛을 기준으로 순차로 변하는 위치(각도)에서 반사되는 정도를 눈으로 보고 이상 여부를 빨리 인식 가능토록 하여 마크로 검사의 신뢰성을 향상시키고, 검사시간도 단축시킨다. 또한 원판그래스를 검사대(610)에서 검사하므로 검사시 이물질이 원판 그래스에 묻지 않아 원판 그래스의 검사에 따른 불량을 해소 가능토록 한다.Therefore, in the present invention, since it is a general technique to place the disc glass to be inspected on the inspection table 610 (a means of vacuum adsorption at the bottom to prevent detachment, the description thereof is omitted, and the loading and unloading of the disc glass is omitted. The loading means is also omitted), and output to the driver 730 is sequentially and / or simultaneously provided to the driver 730 in a predetermined direction to the control unit 720 so that the X, Y, and jet directions, theta angle movement, tilting, and dissolving action. While inspecting a person sitting or standing at a certain distance while seeing the degree of reflection from the position (angle) that is sequentially changed based on the light emitted from the backlight unit 700, the inspector can recognize the abnormality quickly so that the reliability of the macro inspection can be improved. It also improves inspection time. In addition, since the original glass is inspected by the inspection table 610, foreign matters do not bury in the original glass so that the defects caused by the inspection of the original glass can be eliminated.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and drawings, and various permutations, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those who have
이상과 같이 본 발명은 단순한 엑스, 와이, 제트축으로의 이동으로 인한 검사 방식을 지양하고, 원판그래스의 검사에 유리하도록 쎄타회전과 요잉과 틸팅을 겸하는 방식으로 구성하여 원판그래스를 두사람이 들고 각 위치로 방향을 바꾸면서 검사할 것을 단지 검사대에 올려놓기만 하면 각 방향으로 이동하면서 검사자가 눈으로 이상 여부를 쉽게 검사 가능토록 한다. As described above, the present invention avoids the inspection method due to the movement to the X, Y, and jet axes, and consists of theta rotation, yawing and tilting so as to be advantageous for the inspection of the disc glass. Just change the direction to the position, just put the test on the inspection table to move in each direction, so that the inspector can easily check for abnormalities.
또한 요잉 작용시에는 요잉로드를 2개소에 설치하고 각 로드를 수직 이동하는 요잉판의 양측에 설치하여 요잉시의 힘을 분산시켜 내구성을 증진시킨다. 또한 제트축으로의 상승 및 하강시에는 제트축 모터를 요잉프레임의 수직부에 각각 설치하여 힘을 배가시키므로 상승 및 하강에 따른 출력을 유지시키고 검사대에 검사할 부품의 중량이 무거워도 오동작이 안되도록 기능 한다.In addition, during the yawing action, the yawing rods are installed at two places, and each rod is installed at both sides of the yawing plate for vertical movement, thereby dispersing the force during yawing to enhance durability. In addition, the jet shaft motor is installed in the vertical part of the yawing frame to double the force during the ascending and descending of the jet shaft to maintain the output according to the rise and fall and to prevent malfunction even when the weight of the part to be inspected on the inspection table is heavy. do.
도 1 은 본 발명의 사시도,1 is a perspective view of the present invention,
도 2 는 본 발명의 평면도,2 is a plan view of the present invention,
도 3 은 본 발명의 좌측면도,3 is a left side view of the present invention;
도 4 는 본 발명의 와이축 이동수단을 중점 보인 요부 평면도,Figure 4 is a plan view of the main portion showing the Y-axis movement means of the present invention,
도 5 는 도 4 의 좌측면도,5 is a left side view of FIG. 4;
도 6 은 본 발명의 요잉수단을 나타낸 평면도,6 is a plan view showing the yawing means of the present invention,
도 7 은 도 6 의 정면도,7 is a front view of FIG. 6,
도 8 은 본 발명의 제어 구성 예시도이다.8 is an exemplary view of the control configuration of the present invention.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명100;X축이동수단 200;Y축이동수단 300;쎄타이동수단 310;쎄타베이스 320;호형레일 400;요잉수단 410;요잉베이스 제트축 구동모터 460;요잉프레임 510;수직이동자 600;틸팅모터 610;경사대Description of the symbols for the main parts of the drawings 100; X-axis moving means 200; Y-axis moving means 300; Theta moving means 310; Theta base 320; Arc rail 400; Yawing means 410; Yawing base Jet shaft drive motor 460; Yawing frame 510; vertical mover 600; tilting motor 610; tilt table
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