KR100627187B1 - 코팅 막의 두께를 측정하는 방법들 및 그 장치들 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 기판 상에 형성된 코팅 막에 빛을 입사시켜 코팅 막의 두께를 측정하는 방법에 있어서,상기 코팅 막에 입사된 빛의 반사도를 측정하고,상기 기판에 의해 결정되는 평균 반사도를 연산하고,상기 측정된 반사도로부터 상기 평균 반사도를 감산하여 상기 코팅 막에 대한 정보를 가진 진동 반사도 측정값을 연산하고,상기 진동 반사도를 푸리에 변환시켜 상기 코팅 막의 광학적 두께로 스펙트럼을 나타내고, 및상기 스펙트럼으로부터 나타나는 적어도 하나 이상의 피크들을 확인하여 상기 코팅 막의 두께를 결정하는 것을 포함하는 코팅 막 두께 측정방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 평균 반사도를 연산하는 것은상기 측정된 반사도를 다항식으로 피팅하여 연산하는 것을 특징으로 하는 코팅 막 두께 측정방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스펙트럼으로부터 나타나는 피크들이 소정의 기준치 이하이면 상기 코팅 막의 두께 측정작업을 종료하는 것을 더 포함하는 코팅 막 두께 측정방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스펙트럼 상에 나타나는 피크들을 확인하여 상기 코팅 막 두께의 제1의 초기값, 최소값 및 최대값을 결정하고,상기 코팅 막 두께의 제1의 초기값과 다음의 식(1)을 이용하여 오차 값(ε)을 연산하고,ε = [Σλi N{Rosc M(λi)- Rosc C(λi)}2]1/2 /N ...................... (1),여기서, Rosc M(λi)은 파장에 따른 상기 진동 반사도 측정값을 나타내고, Rosc C(λi)은 진동 반사도 이론값으로서 Rosc C(λ i) = Asin(4πnd/λ)이며, A는 상기 진동 반사도 이론값의 진동 성분의 진폭을 나타내는 것으로서A = { Σλi N|Rosc M(λi)|}/N 이며, n은 코팅 막의 굴절률, d는 코팅막의 두께, λ는 입사하는 빛의 파장이고, N은 파장의 수를 나타내며,오차 자승 최소화 방법을 이용하여 상기 연산된 오차 값이 소정의 전역 오차의 범위 내에 포함되는 경우에 상기 코팅 막의 두께를 결정하고 측정작업을 종료하는 것을 더 포함하는 코팅 막 두께 측정방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 연산된 오차 값이 상기 소정의 오차의 범위를 벗어나는 경우에는 상기 코팅 막 두께의 최소값과 최대값 사이의 범위 내에서 상기 코팅 막 두께의 제1 초기값 이외의 초기값을 설정하여 상기 식(1)을 이용하여 오차 값을 연산하고, 오차 자승 최소화 방법을 이용하여 상기 연산된 오차 값이 상기 소정의 전역 오차의 범위 내에 포함되는 경우에 코팅 막 두께를 결정하고 측정작업을 종료하는 것을 특징으로 하는 코팅 막 두께 측정방법.
- 기판 상에 형성된 코팅 막에 빛을 입사시켜 코팅 막의 두께를 측정하는 장치에 있어서,코팅 막에 빛을 입사시키는 광원;상기 코팅막에 입사된 빛의 반사광을 감지하여 빛의 파장별로 반사율을 산출하는 반사도 측정장치;상기 반사도 측정장치를 통해 산출된 빛의 반사도를 다항식으로 피팅하여 평균 반사도를 산출하는 제1 제어장치;상기 측정된 빛의 반사도로부터 상기 평균 반사도를 감산시켜 상기 코팅 막에 대한 주기적인 진동 성분을 가진 진동 반사도 측정값을 산출하는 제2 제어장치;코팅 막의 광학적 두께를 나타내는 스펙트럼으로 상기 진동 반사도를 푸리에 변환시키는 푸리에 변환장치; 및상기 푸리에 변환장치로부터 산출된 스펙트럼 상에 나타나는 적어도 하나 이상의 피크들을 확인하여 상기 코팅 막의 두께를 결정하는 제3 제어장치를 구비하는 코팅 막 두께 측정장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 스펙트럼 상에 나타나는 피크들을 확인하여 상기 코팅 막 두께의 초기값, 최소값 및 최대값을 결정하고, 상기 코팅 막 두께의 제1 초기값과 다음의 식(1)을 이용하여 오차 값(ε)을 산출하고,ε = [Σλi N{Rosc M(λi)- Rosc C(λi)}2]1/2 /N ...................... (1),여기서, Rosc M(λi)은 파장에 따른 상기 진동 반사도 측정값을 나타내고, Rosc C(λi)은 진동 반사도 이론값으로서 Rosc C(λ i) = Asin(4πnd/λ)이며, A는 상기 진동 반사도 이론값의 진동 성분의 진폭을 나타내는 것으로서A = { Σλi N|Rosc M(λi)|}/N 이며, n은 코팅 막의 굴절률, d는 코팅막의 두께, λ는 입사하는 빛의 파장이고, N은 파장의 수를 나타내며,오차 자승 최소화 방법을 이용하여 상기 산출된 오차 값이 소정의 전역 오차의 범위 내에 포함되는 경우에 상기 코팅 막의 두께를 결정하고 측정작업을 종료시키는 제4 제어장치를 더 구비하는 코팅 막 두께 측정장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 산출된 오차 값이 상기 소정의 오차의 범위를 벗어나는 경우에는 상기 코팅 막 두께의 최소값과 최대값 사이의 범위 내에서 상기 코팅 막 두께의 상기 제1 초기값 이외의 초기값을 설정하고 상기 식(1)을 이용하여 오차 값을 산출하고, 오차 자승 최소화 방법을 이용하여 상기 산출된 오차 값이 상기 소정의 전역 오차의 범위에 포함되는 경우에 상기 코팅 막의 두께를 결정하고 측정작업을 종료시키는 제5 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 코팅 막 두께 측정장치.
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