KR100624029B1 - Apparatus and method for processing of LCD panel - Google Patents

Apparatus and method for processing of LCD panel Download PDF

Info

Publication number
KR100624029B1
KR100624029B1 KR1020040088622A KR20040088622A KR100624029B1 KR 100624029 B1 KR100624029 B1 KR 100624029B1 KR 1020040088622 A KR1020040088622 A KR 1020040088622A KR 20040088622 A KR20040088622 A KR 20040088622A KR 100624029 B1 KR100624029 B1 KR 100624029B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
grinding
liquid crystal
crystal panel
image
stage
Prior art date
Application number
KR1020040088622A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060039517A (en
Inventor
성경
김종인
Original Assignee
(주)알티에스
(주)미래컴퍼니
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)알티에스, (주)미래컴퍼니 filed Critical (주)알티에스
Priority to KR1020040088622A priority Critical patent/KR100624029B1/en
Publication of KR20060039517A publication Critical patent/KR20060039517A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100624029B1 publication Critical patent/KR100624029B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765Method using an image detector and processing of image signal
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354Arrangements for aligning or assembling substrates

Abstract

본 발명은 액정(LCD: Liquid Crystal Display)패널의 가공 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 액정패널의 가공장치는 연삭을 위해 액정패널을 정렬하는 정렬스테이지와, 연삭을 수행하는 연삭스테이지 및 상기 연삭스테이지에서 연삭된 액정패널을 검사하는 검사스테이지로 구성되고, 상기 정렬스테이지 및 검사스테이지와, 연삭스테이지 사이를 왕복하면서 액정패널을 이송시키는 작업테이블이 구비되며, 검사스테이지에는 정렬 및 연삭부위의 검사를 위해 영상을 획득하기 위해 설치된 카메라(14)(14a)와, 상기 연삭스테이지에 설치되며 액정패널의 에지부의 연삭을 수행하는 연삭휠(24)(24a)과, 카메라(14)(14a)의 이동을 위해 설치되는 카메라가이드(16)(16a)와, 작업테이블(12)이 검사스테이지(11) 및 연삭스테이지(20)로 이동을 가이드하는 가이드레일(22)을 포함한다. The present invention relates to a processing apparatus and method for a liquid crystal display (LCD) panel. The processing apparatus of the liquid crystal panel of the present invention comprises an alignment stage for aligning the liquid crystal panel for grinding, a grinding stage for performing grinding, and an inspection stage for inspecting the liquid crystal panel ground at the grinding stage. A work table for transferring the liquid crystal panel while reciprocating between the stage and the grinding stage is provided. The inspection stage includes a camera 14 and 14a installed to acquire an image for alignment and inspection of the grinding portion, and the grinding stage. The grinding wheels 24 and 24a which are installed and perform the grinding of the edge portion of the liquid crystal panel, the camera guides 16 and 16a which are installed to move the cameras 14 and 14a, and the work table 12 are provided. And a guide rail 22 for guiding movement to the inspection stage 11 and the grinding stage 20.

액정패널, 에지검사, 연속촬영, 연삭, 정렬마크, 기준마크, 왜곡, 보정LCD panel, edge inspection, continuous shooting, grinding, alignment mark, reference mark, distortion, correction

Description

액정패널의 가공장치 및 방법{Apparatus and method for processing of LCD panel}  Apparatus and method for processing of LCD panel             

도 1은 본 발명의 액정패널의 가공장치의 개략적인 전체구성도의 평면도       1 is a plan view of a schematic overall configuration of a processing apparatus of a liquid crystal panel of the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 액정패널의 가공장치의 구성블럭도.       2 is a block diagram of a processing apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention;

도 3은 액정패널의 정렬과정을 도시한 개념도. 3 is a conceptual diagram illustrating an alignment process of a liquid crystal panel.

도 4a 내지 도4v는 연삭 및 검사과정을 도시한 개념도.4A to 4V are conceptual views illustrating a grinding and inspection process.

도 5a 내지 도5e는 에지면의 영상획득 개념도.5A to 5E are conceptual views of image acquisition of the edge surface.

도 6a 내지 도6e는 액정패널의 기울기를 보정하는 과정을 도시한 개념도.6A to 6E are conceptual views illustrating a process of correcting a tilt of a liquid crystal panel.

도7a 내지 도7d는 보정판을 이용하여 영상면의 왜곡을 보정하는 개념도. 7A to 7D are conceptual views of correcting distortion of an image plane using a correction plate.

본 발명은 액정(LCD: Liquid Crystal Display)패널의 가공 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 액정패널을 정렬하고 에지(edge)부를 연삭하며, 연삭결과를 확인하기 위해 에지검사(edge inspection)를 수행함에 있어, 광측정시스템을 도입하 여 연삭부위의 여러 부분을 연속적으로 촬영하여 영상을 획득한 후 상기 영상정보로부터 연삭부위의 불량여부를 결정함으로써, 액정패널의 연삭공정과 검사공정이 동시에 자동으로 수행되는 액정패널의 가공 장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a processing apparatus and method for a liquid crystal display (LCD) panel, and more particularly, to aligning a liquid crystal panel, grinding an edge portion, and performing edge inspection to confirm a grinding result. By adopting an optical measuring system, images of various parts of the grinding part are continuously photographed to acquire an image, and then the defects of the grinding part are determined from the image information. It relates to a processing apparatus and a method of a liquid crystal panel.

일반적으로 액정패널 제작하기 위해서는 박막 트랜지스터(TFT:Thin Film Transistor)가 배열된 TFT 기판과 컬러필터가 형성된 칼라필터(color filter) 기판을 각각 제조한 후 제조된 TFT 기판과 칼라필터 기판을 접합하여 원판 액정패널을 만드는 원판 액정패널 제작공정, 상기 원판 액정패널을 절단하여 각각의 독립적인 디스플레이 패널인 단위 액정패널(이하'액정패널'이라 함)로 분리하는 절단 공정, 분리된 액정패널의 절단면을 검사하는 에지검사 공정, 에지검사를 통과한 액정패널의 절단면인 측면을 연삭하는(grinding)하는 연삭공정 및 상기 연삭된 측면을 검사하는 검사 공정을 거친다.In general, in order to manufacture a liquid crystal panel, a TFT substrate on which thin film transistors (TFTs) are arranged and a color filter substrate on which a color filter is formed are manufactured. Production process of the original liquid crystal panel to make a liquid crystal panel, a cutting process of cutting the original liquid crystal panel and separating it into unit liquid crystal panels (hereinafter referred to as 'liquid crystal panels'), which are independent display panels, and inspecting the cut surface of the separated liquid crystal panel. An edge inspection process is performed, a grinding process of grinding the side surface which is the cut surface of the liquid crystal panel which has passed the edge inspection, and an inspection process of inspecting the ground side.

상기 연삭공정을 수행하기 위해서는 액정패널의 에지부를 정확히 연삭숫돌에 접근시켜 연삭을 수행해야 하는데, 이를 위해 액정패널의 초기위치를 결정하는 정렬작업이 필요하다. 또한 연삭작업 후에 검사공정을 위해 연삭부위를 정확히 촬영하기 위해서는 또 다시 정렬작업을 수행해야 한다. 따라서 연삭공정과 검사공정을 모두 완료하기 위해서는 2회의 정렬작업이 필요하므로 정렬작업에 의한 작업소요시간이 많이 소요됨과 동시에 작업진행이 복잡하다.In order to perform the grinding process, the edge of the liquid crystal panel must be accurately approached by the grinding wheel, and for this purpose, an alignment operation for determining the initial position of the liquid crystal panel is required. In addition, after grinding work, alignment work must be performed again to accurately photograph the grinding part for the inspection process. Therefore, two sorting operations are required to complete both the grinding process and the inspection process, which requires a lot of work time by the alignment work and at the same time, the work progress is complicated.

연삭공정 후에 연삭작업이 정확히 수행되었는지를 파악하기 위한 검사공정은 연삭부위를 카메라로 촬영하여 얻은 영상정보를 사용한다. 이때 연삭부위의 정확한 영상을 얻기 위해서는 전체 연삭부위를 여러 부위로 나누어 카메라로 촬영한다. 이 때 영상을 획득하기 위해서는 카메라에 영상획득 시작신호를 보낸 후 상기 신호에 맞추어 획득한 영상을 취득하게 된다. 상기와 같이 카메라를 통해 영상을 얻기 위해서는 매번 영상획득 신호를 카메라에 전송해야 하고 카메라는 상기 신호를 받아 영상획득을 시작하기 때문에 카메라의 운용이 까다롭고 영상을 획득하는 과정이 복잡하게 되며 그로 인해 시스템의 유지보수에 어려운 문제가 발생한다. The inspection process to determine whether the grinding operation is performed correctly after the grinding process uses the image information obtained by photographing the grinding portion with a camera. In this case, in order to obtain an accurate image of the grinding part, the whole grinding part is divided into several parts and photographed by a camera. In this case, in order to acquire an image, an image acquisition start signal is sent to a camera, and then an image acquired according to the signal is acquired. As described above, in order to acquire an image through the camera, an image acquisition signal must be transmitted to the camera each time, and since the camera starts receiving the image, the operation of the camera is complicated and the process of acquiring the image is complicated. Difficult problems arise in maintenance.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 에지검사 공정의 시간을 단축하기 위해 정렬과정을 한번으로 축소하는 검사과정을 제시하며, 카메라 운용방법을 개선함으로써 연삭부위의 영상을 간단하고 용이하게 획득하는 실시방안을 제시 하는데 있다. The present invention is to solve the above-mentioned problems, to present an inspection process to reduce the alignment process to one time to shorten the time of the edge inspection process, and to obtain the image of the grinding part simply and easily by improving the camera operation method To present an implementation plan.

상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명은 액정패널을 연삭하고 연삭 후 검사를 수행하도록 이루어진다. 본 발명의 가공장치는 액정패널을 연삭하는 연삭휠(Grinding Wheel)과 액정패널이 안착되는 작업테이블 및 작업테이블의 가이드 역할을 하는 가이드레일을 포함한다. 또한 본 발명의 가공장치는 카메라와 카메라에서 획득한 영상을 저장하는 저장부를 포함하는 영상획득부와 조명을 포함하는 조명제어부를 포함한다. 작업테이블에는 액정패널을 안착할 수 있도록 진공패드가 구비되며, x방향 및 y방향의 이동과 회전을 수행할 수 있는 구동수단을 포함된다. 상기 작업테이블을 구동하는 구동수단에는 구동에 필요한 액추에이터와 상기 액추에이터의 운전에 필요한 드라이버를 포함한다. 본 발명의 장치의 작업테이블 및 연삭휠 의 구동은 기계제어부의 명령에 따라 드라이버를 통해 수행된다. 중앙제어부는 영상획득부로부터 획득되는 영상정보를 통해 연삭 후 액정패널의 결함여부를 결정하는 한편 조명제어부와 영상획득부를 제어하며 기계제어부와 정보를 교환하면서 연삭 후에 검사가 원활히 수행되도록 검사장비 전체를 관장한다. 액정패널을 만드는 과정은 박막 트랜지스터가 배열된 TFT 기판위에 컬러필터가 형성된 칼라필터(color filter)기판을 접합하여 조립한 후 절단함으로써 하나의 단위 액정패널이 제작되는데, 상기 단위 액정패널을 완제품으로 만들기 위해서는 에지(edge)부분을 연삭하는 공정이 필요하다.In order to achieve the above object, the present invention is made to perform the inspection after grinding the liquid crystal panel. The processing apparatus of the present invention includes a grinding wheel for grinding the liquid crystal panel, a work table on which the liquid crystal panel is seated, and a guide rail serving as a guide of the work table. In addition, the processing apparatus of the present invention includes an image acquisition unit including a camera and a storage unit for storing an image obtained by the camera and an illumination control unit including an illumination. The work table includes a vacuum pad to seat the liquid crystal panel, and includes driving means for performing movement and rotation in the x and y directions. The driving means for driving the work table includes an actuator for driving and a driver for driving the actuator. The drive of the working table and the grinding wheel of the device of the invention is carried out via a driver in accordance with the instructions of the machine control section. The central control unit determines whether there is a defect in the liquid crystal panel after grinding through the image information obtained from the image acquisition unit, controls the lighting control unit and the image acquisition unit, and exchanges information with the machine control unit. Preside over In the process of making a liquid crystal panel, a unit liquid crystal panel is manufactured by bonding and assembling a color filter substrate having a color filter formed on a TFT substrate on which thin film transistors are arranged. This requires a process of grinding the edges.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정패널의 가공 방법은 연삭을 위해 액정패널을 정렬하는 정렬스테이지와, 연삭을 수행하는 연삭스테이지 및 상기 연삭스테이지에서 연삭된 액정패널을 검사하는 검사스테이지로 구성되며, 상기 정렬스테이지 및 검사스테이지와, 연삭스테이지 사이를 왕복하면서 액정패널을 이송시키는 작업테이블을 구비하여 액정패널 에지(edge)부의 연마작업 및 검사작업을 수행하는 액정패널의 가공방법은, The processing method of the liquid crystal panel of the present invention for achieving this object is composed of an alignment stage for aligning the liquid crystal panel for grinding, a grinding stage for performing the grinding and an inspection stage for inspecting the liquid crystal panel ground in the grinding stage. And a work table for transporting the liquid crystal panel while reciprocating between the alignment stage and the inspection stage and the grinding stage to perform polishing and inspection operations of the edge portion of the liquid crystal panel.

a) 연삭과 검사를 수행하기 위해 기계제어부, 중앙제어부, 영상획득부, 조명제어부등에 전원을 입력하는 단계;   a) inputting power to a machine control unit, a central control unit, an image acquisition unit, an illumination control unit, etc. to perform grinding and inspection;

b) 액정패널이 앞 공정으로부터 상기 작업테이블에 안착되면 정렬마크의 영상을 획득하고, 상기 정렬마크의 영상으로부터 액정패널의 연삭을 위해 정렬위치를 결정하고 정렬시키는 단계;   b) obtaining an image of an alignment mark when the liquid crystal panel is seated on the work table from the previous process, and determining and aligning an alignment position for grinding the liquid crystal panel from the image of the alignment mark;

c) 상기 정렬된 액정패널을 작업테이블을 통해 연삭스테이지로 이동시키는 단계;  c) moving the aligned liquid crystal panel to a grinding stage through a working table;

d) 상기 연삭스테이지로 이동된 액정패널에서 4개의 에지(edge)중에 서로마주보는 2개의 에지를 연마하는 단계;   d) polishing two edges facing each other among the four edges in the liquid crystal panel moved to the grinding stage;

e) 상기 2개의 에지부 연마가 끝나 후 90도 회전시켜 나머지 에지부의 연마를 수행하는 단계;   e) rotating the edge 90 degrees after the polishing of the two edge portions to perform polishing of the remaining edge portions;

f) 상기 연삭스테이지에서 연삭이 끝난 액정패널을 정렬스테이지로 이동시키되 상기 b)단계에서 설정된 정렬위치로 이동시키는 단계;  f) moving the ground-finished liquid crystal panel from the grinding stage to the alignment stage but moving to the alignment position set in step b);

g) 정열스테이지의 액정패널을 이동시키면서 4개의 에지중 하나의 에지를 검사하되 상기 에지 중에 미리 결정된 위치의 영상을 획득하는 단계;  g) inspecting one of the four edges while moving the liquid crystal panel of the alignment stage and acquiring an image of a predetermined position during the edge;

h) 상기 g)단계 완료 후 액정패널의 다른 에지를 검사하기 위해 액정패널을 90도 회전시킨 후 4개의 에지중에 영상을 획득하지 않은 에지의 영상을 획득하되 미리 결정된 위치의 영상을 획득하는 단계;  h) after completing step g), rotate the liquid crystal panel 90 degrees to inspect another edge of the liquid crystal panel, and acquire an image of an edge of which no image is obtained among four edges, but acquire an image of a predetermined position;

i) 상기 h)단계를 연속적으로 진행하면서 액정패널의 모든 에지의 영상을 획득하는 단계;   i) acquiring images of all edges of the liquid crystal panel while continuously performing step h);

j) 상기 각 에지에서 얻는 영상한 영상은 획득당시에 영상획득부에 저장되고 상기 저장된 영상은 중앙제어부에서 독출하여 영상처리를 통해 연삭량을 결정하여 양품 불량을 확인하는 단계를 포함한다.   j) the image obtained at each edge is stored in the image acquisition unit at the time of acquisition, and the stored image is read out by the central control unit to determine the amount of grinding through the image processing to check the defective product.

상기 단계에서 액정패널의 정렬단계는 연삭가공에 앞서 1회만 수행하는데 이는 검사과정을 진행하기에 앞서 수행해야 할 정렬단계는 연삭가공에 앞서 정렬한 정보를 검사과정에 활용하기 때문이다. 즉 연삭과정 전에 수행하는 정렬단계인 (b) 단계에서 이미 정렬위치를 결정하였으므로, 연삭작업이 완료된 후 액정패널을 검사할 때 검사 시작위치를 상기 (b)단계에서 결정된 정렬위치를 사용함으로써 검사 시작 전에는 별도의 정렬작업은 수행하지 않는다. 만약 연삭 작업 중에 액정패널이 밀리거나 변형될 수가 있으나, 이는 획득한 영상을 연산하여 바뀐 정도를 보정함으로써 극복할 수 있으며, 이는 하기에서 설명하기로 한다.      In this step, the alignment step of the liquid crystal panel is performed only once before the grinding process, because the alignment step to be performed before the inspection process utilizes the information aligned before the grinding process in the inspection process. That is, since the alignment position has already been determined in the alignment step (b) performed before the grinding process, the inspection start position is used by using the alignment position determined in the above (b) step when inspecting the liquid crystal panel after the grinding operation is completed. No sorting is done before. If the liquid crystal panel may be pushed or deformed during the grinding operation, this can be overcome by calculating the acquired image and correcting the change, which will be described below.

이하, 영상을 획득하여 정렬하는 과정에 대해 간략히 설명한다. 이해를 돕기위해 액정패널을 정렬작업에 관련된 구성요소들의 작동상태에 대해 설명한다. 앞 공정으로부터 전달되는 액정패널이 작업테이블에 안착될 때에는 액정패널의 정렬마크가 카메라의 영상획득영역 안에 포착되도록 시스템이 구성된다. 카메라는 기본적으로 초기에 검사장치가 작동되기만 하면 활성화 상태가 되어 연속적으로 작동되기 때문에 별도의 영상획득 신호를 전달할 필요는 없다.    Hereinafter, a process of acquiring and aligning images will be briefly described. For the sake of understanding, the operation states of the components related to the alignment of the liquid crystal panel will be described. When the liquid crystal panel transmitted from the previous process is seated on the work table, the system is configured such that the alignment mark of the liquid crystal panel is captured in the image acquisition area of the camera. Basically, the camera is activated as long as the inspection device is initially activated, and the camera is continuously operated. Therefore, it is not necessary to transmit a separate image acquisition signal.

1-1) 카메라의 영상획득영역에 액정패널의 정렬마크가 포착되도록 작업테이블에 액정패널이 안착된 후, 기계제어부(26)는 중앙제어부(25)로 액정패널의 로딩이 완료되었다는 신호를 전달한다.1-1) After the liquid crystal panel is seated on the worktable so that the alignment mark of the liquid crystal panel is captured in the image acquisition area of the camera, the machine control unit 26 transmits a signal that the loading of the liquid crystal panel is completed to the central control unit 25. do.

1-2) 중앙제어부는 상기 로딩완료신호를 수신한 후, 로딩완료된 상태에서 카메라가 포착하여 영상획득부에 저장한 영상을 가져온다. 1-2) After the central control unit receives the loading completion signal, the central control unit captures the image captured by the camera in the loading completion state and stored in the image acquisition unit.

1-3) 중앙제어부는 영상처리를 통해 정렬마크의(32)(32a) 중심을 결정한다. 1-3) The central controller determines the center of the alignment marks 32 and 32a through image processing.

1-4) 중앙제어부는 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과 정렬마크(32)(32a)중심의 차이를 측정하고, 카메라 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과 정렬마크(32)(32a) 중심을 일치시키기 위해 필요한 작업테이블의 이동량(dx, dy, dθ; 여기서 dx는 x방향이동거리, dy는 y방향이동거리, dθ는 작업테이블의 회전해야 할 각도를 의미한다)을 결정한다.1-4) The central control unit measures the difference between the centers 15_C and 15a_C of the image acquisition areas 15 and 15a and the center of the alignment marks 32 and 32a, and the camera image acquisition areas 15 and 15a. The amount of movement of the work table necessary to match the center of the center 15_C (15a_C) with the alignment marks 32 (32a) (dx, dy, dθ; where dx is the x direction travel distance and dy is the y direction travel distance, dθ Is the angle to which the worktable should be rotated).

1-5) 중앙제어부는 상기 결정한 이동량(dx, dy, dθ)을 기계제어부로 전송한다.1-5) The central control unit transmits the determined movement amounts dx, dy, and dθ to the machine control unit.

1-6) 기계제어부는 작업테이블의 이동량(dx, dy, dθ)을 수신한 후 구동수단을 통해 작업테이블을 이동시켜, 카메라 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과 정렬마크(32)(32a) 중심을 일치시킨다.1-6) The machine control unit receives the movement amount (dx, dy, dθ) of the work table and then moves the work table through the driving means, so that the center 15_C (15a_C) of the camera image acquisition area 15 (15a) is moved. And the center of the alignment marks 32, 32a.

상기 영상처리를 통해 작업테이블의 이동량을 산출하는 과정은 영상처리와 기학학적 연산과정을 거쳐 결정되는 것으로서 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 구현할 수 있는 정도의 기술이므로 본 발명에서는 상세한 설명은 생략한다.   The process of calculating the movement amount of the work table through the image processing is determined through an image processing and a geometrical calculation process, which is a technology that can be implemented by those of ordinary skill in the art. Omit.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 연삭작업과 검사과정에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment for the grinding operation and the inspection process according to the present invention.

도1은 본 발명의 액정패널의 가공장치의 개략적인 전체구성도의 평면도를 도시한 것이다.  1 is a plan view showing a schematic overall configuration of a processing apparatus of a liquid crystal panel of the present invention.

도1의 장치는 크게 3부분으로 나눌 수 있는데 액정패널를 정렬하는 정렬스테이지(10)와 연삭작업이 이루어지는 연삭스테이지(20) 및 연삭작업이 완료된 액정패널을 검사하는 검사스테이지(11)로 구성된다. 또한 앞공정으로부터 전달된 액정패널이 안착되는 작업테이블(12)과, 정렬 및 연삭부위의 검사를 위해 영상을 획득하는 카메라(14)(14a)와, 액정패널의 에지부의 연삭을 수행하는 연삭휠(24)(24a) 과, 카메라(14)(14a)의 이동을 위한 카메라가이드(16)(16a)와, 작업테이블(12)이 검사스테이지(11) 및 연삭스테이지(20)로 이동을 가이드하는 가이드레일(22)로 구성된다.       The apparatus of FIG. 1 can be largely divided into three parts, comprising an alignment stage 10 for aligning the liquid crystal panel, a grinding stage 20 for performing the grinding operation, and an inspection stage 11 for inspecting the liquid crystal panel for which the grinding operation is completed. In addition, the worktable 12 is mounted to the liquid crystal panel delivered from the previous process, the camera 14 (14a) for acquiring an image for the inspection of alignment and grinding, and the grinding wheel for grinding the edge of the liquid crystal panel 24, 24a, camera guides 16 and 16a for movement of the cameras 14 and 14a, and the work table 12 guide the movement to the inspection stage 11 and the grinding stage 20. It consists of a guide rail (22).

도2는 본 발명에 따른 액정패널의 가공장치의 구성블럭도를 도시한 것이다. 도2의 장치는 연삭작업을 위해 액정패널을 작업테이블에 로딩한 후 정확한 연삭작업을 위해 정렬작업을 수행한다. Figure 2 shows a block diagram of the processing apparatus of the liquid crystal panel according to the present invention. The apparatus of FIG. 2 loads the liquid crystal panel onto a worktable for grinding and then performs alignment for accurate grinding.

우선, 도2와 도3을 적용하여 액정패널의 정렬과정을 설명한다.  First, the alignment process of the liquid crystal panel will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

액정패널(30)이 작업테이블(12)에 로딩될 때는 적당히 로딩이 이루어지기 때문에 정렬이 안된 상태에서 기울어진 형태로(도3의 b참조)로딩 될 가능성이 높으므로, 카메라(14)(14a)의 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)에 정렬마크의 중심(32)(32a)이 정확히 일치되지 않는다(도3의 d참조). 따라서 정렬마크의 중심(32)(32a)을 카메라(14)(14a) 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)에 일치시키기 위해서는 카메라로부터 획득한 영상으로부터 정렬마크의 중심을 결정하고 상기 정렬마크의 중심(15_C)(15a_C)과 카메라의 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과의 거리를 측정한 값과, 두개의 정렬마크(32)(32a)의 중심을 연결한 선분(34)과 카메라의 가상의 중심을 연결한 선분과 평행인 선분(36)이 이루는 각도를 측정한 후, 상기 측정한 값들을 적용하여 작업테이블을 이동시킨다(도3의 e참조).        When the liquid crystal panel 30 is loaded on the work table 12, since it is properly loaded, the camera 14 and 14a are likely to be loaded in an inclined form (see FIG. 3B) in an unaligned state. ), The centers 32 and 32a of the alignment marks do not coincide exactly with the centers 15_C and 15a_C of the image acquisition areas 15 and 15a (see d in FIG. 3). Therefore, in order to match the center 32, 32a of the alignment mark with the center 15_C, 15a_C of the camera 14, 14a, the image acquisition area 15, 15a, the center of the alignment mark from the image acquired from the camera. Determine the distance between the centers 15_C and 15a_C of the alignment mark and the centers 15_C and 15a_C of the image acquisition area 15 and 15a of the camera, and the two alignment marks 32 After measuring the angle formed by the line segment 34 connecting the center of 32a and the line segment 36 parallel to the line segment connecting the virtual center of the camera, the measured values are applied to move the work table (see FIG. See e of FIG. 3).

이하 도4a 내지 도4v를 통해 액정패널의 정렬과정과 연삭과정 및 검사과정의 개략적인 과정을 설명한다.Hereinafter, a schematic process of alignment, grinding and inspection of the liquid crystal panel will be described with reference to FIGS. 4A to 4V.

도4a를 보면 액정패널이 로딩되는 작업테이블(12)과 영상을 획득하는 카메라(14)(14a)와 액정패널을 연삭하는 연삭숫돌(24)(24a) 및 작업테이블(12)를 가이드하는 작업테이블 가이드(22)와 카메라(14)(14a)의 움직임을 가이드하는 카메라 가이드(16)(16a)이다.  Referring to FIG. 4A, the work table 12 loaded with the liquid crystal panel, the camera 14 and 14 a for acquiring an image, the grinding wheels 24 and 24 a for grinding the liquid crystal panel, and the work table 12 are guided. Camera guides 16 and 16a for guiding the movement of the table guide 22 and the cameras 14 and 14a.

도4b 및 도4c는 작업테이블(12)에 액정패널(30)이 앞 공정으로부터 로딩되는 공정을 도시한 것으로 작업테이블(12)은 액정패널의 정렬마크가 카메라(14)(14a)의 영상획득영역에 의해 획득될 수 있도록 액정패널의 위치를 결정한다.       4B and 4C illustrate a process in which the liquid crystal panel 30 is loaded from the previous process on the work table 12. The work table 12 has an alignment mark on the liquid crystal panel to acquire images of the cameras 14 and 14a. The position of the liquid crystal panel is determined so as to be obtained by the area.

도4d는 액정패널을 정렬하는 과정을 도시한 것으로 정렬과정은 이미 상기 도2와 도3을 통해 설명한 바와 같이 카메라(14)(14a)에서 정렬마크가 포함된 영상이 연속적으로 영상획득부(28)에 저장되면 상기 영상을 중앙제어부(22)로 가져온 다음 연산을 통해 정렬에 필요한 이동좌표값(dx, dy, dθ)을 계산한다. 여기서 계산된 결과는 기계제어부(26)에 전달되고 기계제어부는 드라이버(27)를 통해 이동좌표값에 해당하는 거리를 작업테이블(12)을 통해 이동시켜 액정패널을 정렬시킨다. FIG. 4D illustrates a process of aligning the liquid crystal panel. In the alignment process, as described above with reference to FIGS. 2 and 3, images including alignment marks in the cameras 14 and 14a are successively acquired. ) Is stored in the central control unit 22 to calculate the moving coordinate values (dx, dy, dθ) necessary for the alignment. The calculated result is transmitted to the machine control unit 26 and the machine control unit aligns the liquid crystal panel by moving the distance corresponding to the moving coordinate value through the work table 12 through the driver 27.

도4e 내지 도4g는 정렬작업이 완료된 액정패널을 연삭스테이지로 이동시켜 연삭을 수행하는 과정을 도시한 것이다. 4E to 4G illustrate a process of performing grinding by moving the liquid crystal panel on which the alignment is completed to the grinding stage.

이때 작업테이블은 기계제어부의 명령에 따라 작업테이블 가이드를 따라 액정패널을 연삭스테이지로 이동시키고 연삭스테이지에 도착한 후 회전하는 연삭숫돌(24)(24a)을 지나가면서 서로마주보는 에지부의 연삭작업을 수행한다.        At this time, the worktable moves the liquid crystal panel along the worktable guide according to the instructions of the machine control unit to the grinding stage, and performs the grinding work of the edges facing each other while passing through the rotating grinding wheels 24 and 24a after arriving at the grinding stage. do.

도4h 및 도4i는 액정패널에 있어서 서로마주보는 에지부의 연삭작업을 끝낸 후에 연삭되지 않은 나머지 에지부의 연삭작업을 위해 액정패널을 90도 회전시키는 과정을 도시한 것이다. 4H and 4I illustrate a process of rotating the liquid crystal panel 90 degrees for the grinding operation of the remaining non-grinded edge portion after finishing the edge portions facing each other in the liquid crystal panel.

도4j 및 도4k는 액정패널을 90도 회전시킨 다음 액정패널의 폭에 맞추어 연삭숫돌을 이송시키는 과정과 액정패널을 이동시켜 나머지 에지부의 연삭작업을 수행하는 과정을 도시한 것이다.      4J and 4K illustrate a process of transferring a grinding wheel to a width of the liquid crystal panel by rotating the liquid crystal panel 90 degrees, and moving the liquid crystal panel to perform grinding of the remaining edge portions.

도4l 내지 도4n은 연삭작업이 완료된 액정패널을 90도 회전시킨 후 검사작업을 위해 액정패널을 검사시작위치로 이동시키는 과정을 도시한 것이다. 4L to 4N illustrate a process of moving the liquid crystal panel to the inspection start position for the inspection operation after rotating the liquid crystal panel 90 degrees after the grinding operation is completed.

이때 액정패널의 검사시작위치는 도4d에서 결정한 정렬위치와 동일하다. 즉 검사시작위치는 액정패널이 초기에 작업테이블에 로딩되는 위치가 아니라 연삭작업을 수행위해 정렬한 정렬위치를 의미한다. 그 이유는 카메라(14)(14a)가 액정패널의 연삭된 에지부의 영상을 획득하기 위해서는 도4d에서 결정한 정렬위치가 유리하기 때문이다.        At this time, the inspection start position of the liquid crystal panel is the same as the alignment position determined in FIG. 4D. That is, the inspection start position means the alignment position where the liquid crystal panel is aligned to perform the grinding operation, not the position where the liquid crystal panel is initially loaded on the work table. This is because the camera 14 (14a) is advantageous in the alignment position determined in Fig. 4d in order to obtain an image of the ground edge portion of the liquid crystal panel.

도4o 및 도4p는 검사시작위치에서 출발한 액정패널이 카메라의 영상획득위치를 지나면서 연삭된 에지부를 검사하는 과정을 도시한 것이다. 상기 연삭된 에지부의 영상을 획득하는 과정을 소개하면, 카메라는 활성화 상태이기 때문에 연속적으로 영상을 획득하여 영상획득부(28)에 저장하므로, 영상획득을 위해 카메라에게 별도의 영상획득신호를 전달할 필요는 없다. 검사하는 방법에 관해서는 후술한다. 도4q는 검사가 필요한 또 다른 에지면을 검사하기 위하여 액정패널을 90도 회전시키는 과정을 도시한 것이며, 도4r 및 도4q는 액정패널의 에지에 맞도록 카메라의 위치를 조정하는 과정을 도시한 것이다.4O and 4P illustrate a process in which the liquid crystal panel starting from the inspection start position inspects the ground edge portion while passing through the image acquisition position of the camera. Introducing a process of acquiring the image of the ground edge portion, since the camera is in an active state, since the image is continuously acquired and stored in the image acquisition unit 28, a separate image acquisition signal needs to be transmitted to the camera for image acquisition. There is no. The inspection method will be described later. FIG. 4q illustrates a process of rotating the liquid crystal panel 90 degrees to inspect another edge surface requiring inspection, and FIGS. 4r and 4q illustrate a process of adjusting the position of the camera to fit the edge of the liquid crystal panel. will be.

도4s 및 도4t는 액정패널이 원위치로 복귀하면서 검사하지 않은 또 다른 에 지면을 검사하는 과정을 도시한 것이고, 도4u는 또 다른 에지면을 검사하거나 다음공정으로 이동하기 위해 처음에 액정패널이 로딩되었던 형태로 바꾸기 위해 90도 회전시키는 과정을 도시한 것이며, 4v는 완료된 상태이다. 액정패널의 전체 에지면 검사가 완료될 때까지 상기 도4q 내지 도4v를 반복하여 검사를 완료한다.4s and 4t show a process of inspecting another ungrounded surface as the liquid crystal panel returns to its original position, and FIG. 4u shows that the liquid crystal panel is initially moved to inspect another edge surface or move to the next process. It shows the process of rotating 90 degrees to change to the loaded form, and 4v is completed. The inspection is repeated by repeating FIGS. 4Q to 4V until the entire edge surface inspection of the liquid crystal panel is completed.

이하 도5a 내지 도5e를 통해 액정패널의 검사과정을 설명한다. Hereinafter, an inspection process of the liquid crystal panel will be described with reference to FIGS. 5A to 5E.

도5a는 액정패널에서 검사할 요소를 도시한 것으로, 기준마크(35)의 일정위치(36)와 에지면(32)과의 거리(37)와 연삭라인(33)과 에지면(32)과의 거리(38)이 주요 검사요소에 해당한다. 이때 기준마크와 에지면의 거리(37)는 액정패널의 위쪽에 위치한 카메라(14)에서 영상을 획득하는 것이 바람직하며, 연삭라인과 에지면과의 거리(38)은 아래쪽에 위치한 카메라(19)로 영상을 회득하는 것이 바람직하다. 양질의 영상을 획득하기 위해서는 조명을 적당히 조절하여 비추는 것이 매우 중요한 것으로서 본 발명에서는 조명의 위치(도2의 15, 15a, 18, 18a 참조)를 카메라와 함께 도시하고 있으나, 이러한 조명을 비추는 위치나 각도 밝기등은 필요에 따라 당업자 최적의 영상을 얻기위해 여러번의 시도를 통해 결정된다. FIG. 5A shows an element to be inspected in the liquid crystal panel, and the distance 37 between the predetermined position 36 of the reference mark 35 and the edge surface 32, the grinding line 33, and the edge surface 32, The distance 38 is the main test element. At this time, it is preferable that the distance 37 of the reference mark and the edge surface is obtained from the camera 14 positioned above the liquid crystal panel, and the distance 38 between the grinding line and the edge surface is located below the camera 19. It is desirable to acquire an image with a. In order to obtain a good quality image, it is very important that the lighting is properly adjusted, and in the present invention, the position of the lighting (see 15, 15a, 18, and 18a of FIG. 2) is shown together with the camera. The angular brightness is determined through several attempts to obtain the optimal image for those skilled in the art as needed.

도5b와 같이 액정패널이 A방향으로 움직이면서 카메라(14)의 아래쪽에서 이동하다가 정지하면 카메라(14)는 액정패널의 소정 위치의 영상을 영상획득부에 저장하고 저장된 영상데이터는 중앙제어부(25)에서 획득하여 연삭된 에지부의 상태를 검사한다. 이때 카메라에 획득되는 영상의 위치와 이에 따른 이동거리(42)는 액정패널의 모델에 따라 미리 결정된 값이며 도5a에서의 소정의 위치는 액정패널의 모델에 따라 결정되는 것으로써 도시된 바와 같다(40a, 40c, 40f, ...).        As shown in FIG. 5B, when the liquid crystal panel moves in the A direction and moves from the bottom of the camera 14 to stop, the camera 14 stores an image of a predetermined position of the liquid crystal panel in the image acquisition unit and stores the stored image data in the central control unit 25. Inspect the condition of the ground edges obtained at. At this time, the position of the image acquired by the camera and the movement distance 42 according to this are predetermined values according to the model of the liquid crystal panel, and the predetermined position in FIG. 5A is determined as determined according to the model of the liquid crystal panel ( 40a, 40c, 40f, ...).

도5c는 액정패널의 또 다른 에지부를 검사하기 위해 90도 회전시킨 후 B방향으로 단속적으로 이동시키면서 영상을 획득하는 과정을 도시한 것이고 액정패널이 일정거리(52) 이동 후 정지하면 카메라는 소정영역(50a)의 영상을 영상획득부에 저장한다. 도5d 및 도5e는 액정패널의 나머지 에지부분의 영상을 획득하는 과정을 도시한 것으로 액정패널을 소정거리(62, 72) 만큼 이동 후 정지하면 카메라는 소정영역(60a, 70a)의 영상을 영상획득부에 저장한다. 상기 저장된 영상데이터는 중앙제어부(25)에서 획득하여 연삭된 에지부의 상태를 검사한다.       FIG. 5C illustrates a process of acquiring an image while rotating 90 degrees and intermittently moving in the B direction to inspect another edge portion of the liquid crystal panel. When the liquid crystal panel stops after a certain distance 52, the camera moves to a predetermined region. The image of 50a is stored in the image acquisition unit. 5D and 5E illustrate a process of acquiring an image of the remaining edge portions of the liquid crystal panel. When the liquid crystal panel is stopped after moving the liquid crystal panel by a predetermined distance (62, 72), the camera captures an image of the predetermined area (60a, 70a). Store in the acquisition unit. The stored image data is acquired by the central controller 25 and inspects a state of the ground edge portion.

전술한 검사과정에서 기계제어부(26)와 중앙제어부(25)사이의 신호전달 체계를 설명한다. The signal transmission system between the machine control unit 26 and the central control unit 25 in the above-described inspection process will be described.

2-1) 기계제어부(26)는 액정패널이 소정의 위치에 이동시킨 후 중앙제어부(25)에 도착완료신호를 전달한다.2-1) The machine control unit 26 transfers the arrival completion signal to the central control unit 25 after the liquid crystal panel is moved to a predetermined position.

2-2) 중앙제어부는 상기 도착완료 신호를 수신한 후 한 중앙제어부는 카메라가 획득하여 영상획득부에 저장한 영상을 가져온 후 작업완료신호를 기계제어부로 전송한다. 2-2) After the central control unit receives the arrival completion signal, one central control unit acquires the image acquired by the camera and stored in the image acquisition unit, and transmits the work completion signal to the machine control unit.

2-3) 기계제어부는 상기 작업완료 신호를 수신한 후 다음위치로 액정패널을 이동시킨 다음 도착완료 신호를 중앙제어부로 전달하다. 2-3) After receiving the work completion signal, the machine control unit moves the liquid crystal panel to the next position, and then transfers the arrival completion signal to the central control unit.

2-4) 상기 2-2)과정과 2-3)과정을 반복하면서 중앙제어부는 액정패널의 필요한 부위의 영상을 모두 획득한다.2-4) Repeating steps 2-2) and 2-3), the central control unit acquires all the images of the required portion of the liquid crystal panel.

2-5) 중앙제어부는 상기 2-4)과정을 통해 획득한 영상을 통해 검사작업을 수행한다. 2-5) The central control unit performs the inspection operation through the image obtained through the process 2-4).

이하 도6a 내지 도6e로부터 획득된 영상데이터로부터 기울기를 보정하는 과정을 설명한다. Hereinafter, a process of correcting the slope from the image data obtained from FIGS. 6A to 6E will be described.

검사작업은 연삭된 정도를 판단하여 양품과 불량을 결정하는 과정으로 연삭된 부위의 영상을 카메라로부터 얻고 상기 영상을 중앙제어부에서 영상처리하여 연삭된 상태에 따라 양품과 불량을 결정한다. 이러한 검사과정은 도6d와 도6e에 보면, 연삭된 부위에 연삭으로 인하여 생성되는 연삭라인(94)과 액정패널의 에지근처에 생성된 기준마크(93) 사이의 거리(95)를 검사하여 상기 거리의 결과에 따라 양품과 불량여부를 판단하게 되는데, 이 경우 도 6e에 도시된 것처럼 검사과정에서 얻은 영상의 연삭라인이 액정패널의 정렬상태가 올바르지 않아 일정각도(θ) 기울어진 상태로 연삭라인이 얻어질 수 있다. 이때에 연삭라인의 기울어진 상태를 고려하지 않고 연삭라인과 기준마크사이의 거리를 측정한다면 액정패널이 기울어진 상태이므로 연삭라인(94)과 수직이면서 기준마크까지의 거리(95)인 a 가 아니라 기울어진 거리(96)인 b가 된다. 도6e에 도시한 기하학적 관계로부터 a는 b · cosθ임을 알 수 있으며, 따라서 실제측정된 b는 액정패널이 기울어진 각도(θ)를 통해 보정해야만 기준마크와 연삭라인의 정확한 거리인 a를 측정할 수 있음을 알 수 있다. 따라서 중앙제어부에 획득된 영상으로부터 기울기를 보정하는 과정을 정리하면,       The inspection operation is a process of determining the quality and defect of the grinding by determining the degree of grinding and obtaining an image of the ground portion from the camera and the image is processed by the central control unit to determine the good and defective according to the grinding state. 6D and 6E, the inspection process examines the distance 95 between the grinding line 94 generated by grinding on the ground portion and the reference mark 93 generated near the edge of the liquid crystal panel. According to the result of the distance, whether good or bad is judged. In this case, as shown in FIG. 6E, the grinding line of the image obtained in the inspection process is inclined at a predetermined angle (θ) because the alignment state of the liquid crystal panel is not correct. This can be obtained. At this time, if the distance between the grinding line and the reference mark is measured without considering the inclined state of the grinding line, the liquid crystal panel is inclined, so the distance between the grinding line 94 and the reference mark perpendicular to the reference mark (95) is not a. It becomes b which is the inclination distance 96. From the geometric relationship shown in Fig. 6e, it can be seen that a is b · cosθ. Therefore, the measured b must be corrected through the inclination angle (θ) to measure the exact distance a of the reference mark and the grinding line. It can be seen that. Therefore, to summarize the process of correcting the tilt from the image obtained by the central control unit,

3-1) 카메라로 획득한 연삭부위의 영상들(80, 81, 82, 83, 84 : 도 6a참조)에 보이는 연삭라인(실제 영상에는 기준마크와 연삭라인이 동시에 보이며, 실제 연삭정도를 결정하는 방법은 상기 기준마크와 연삭라인의 거리를 측정하여 결정하나, 본 별명에서는 편의상 도6a 내지 도6c와 같이 연삭라인만을 표시하였다)을 연결한 가상의 연삭라인(88, 92)을 결정한다.3-1) Grinding line shown in images (80, 81, 82, 83, 84: see Fig. 6a) of the grinding portion acquired by the camera (the actual image shows the reference mark and the grinding line at the same time, and determine the actual grinding degree How to determine is determined by measuring the distance between the reference mark and the grinding line, but in this nickname, only the grinding line as shown in Figures 6a to 6c for convenience) to determine the virtual grinding line (88, 92).

3-2) 작업테이블이 이동한 궤적과 평행하게 생성한 가상의 기준라인(90)을 얻는다.3-2) An imaginary reference line 90 generated in parallel with the trajectory of the work table is obtained.

3-3) 상기 3-1)과정의 가상의 연삭라인(88, 92)과 상기 3-2)과정에서 얻은 가상의 기준라인(90)이 이루는 각도(θ)를 확인한다. 3-3) Check the angle θ formed between the virtual grinding lines 88 and 92 of the process 3-1) and the virtual reference line 90 obtained from the process 3-2.

3-4) 기준마크(93)와 연삭라인(94)과의 거리(96)인 b를 구하고 상기 3-3)과정에서 얻은 각도를 이용하여 상기 b를 보정함으로써 연삭라인(94)과 수직이면서 기준마크(93)까지의 거리(95)인 a를 구한다. 3-4) Obtaining b, which is the distance 96 between the reference mark 93 and the grinding line 94, and correcting the b using the angle obtained in step 3-3, while being perpendicular to the grinding line 94 A which is the distance 95 to the reference mark 93 is obtained.

가상의 연삭라인(88, 92)의 길이정보와, 각도정보는 영상처리과정을 통해 손쉽게 얻어지며, 상기 얻어진 정보를 고려하여 검사를 진행하면, 검사작업을 위해 별도의 정렬작업을 수행할 필요가 없을 뿐만 아니라 검사작업 중에 있을지 모르는 액정패널의 정렬상태의 변화에 대해서도 실시간으로 대처할 수 있어 매우 유용한 검사방법이라 할 수 있다. 상기에서 연삭라인(88, 92)을 결정하는 방법은 여러개의 연삭부위 영상들을 이용하는 것으로 설명하였으나, 하나이상의 연삭부위 영상을 이용해도 결정할 수 있음을 당연한 것이다.        The length information and the angle information of the virtual grinding lines 88 and 92 are easily obtained through an image processing process. When the inspection is performed in consideration of the obtained information, it is necessary to perform a separate alignment for the inspection work. Not only is it possible to cope with changes in the alignment state of the liquid crystal panel that may be in the process of inspection in real time, which is a very useful inspection method. Although the method of determining the grinding lines 88 and 92 has been described using a plurality of grinding part images, it is natural that one or more grinding part images may be determined.

상술한 바와 같이 영상을 통해 정확한 검사를 수행하기 위해서는 영상을 보정하여 영상에서 얻은 길이와 실제길이가 일치해야 한다. 그러나 일반적으로 카메라를 통해 얻은 영상은 렌즈 및 광학시스템의 왜곡현상 때문에 영상면이 왜곡되는 경우가 대분이며, 이러한 왜곡현상을 보상하지 않는다면 정확한 영상처리는 불가능하게 된다. As described above, in order to perform an accurate inspection through the image, the length obtained from the image by correcting the image must match the actual length. However, in general, images obtained through a camera are often distorted due to distortion of the lens and optical system, and accurate image processing is impossible unless the distortion is compensated for.

이하 도7a 내지 도7d를 통해 카메라로 획득하는 영상을 보정하는 과정을 설명한다. Hereinafter, a process of correcting an image acquired by the camera will be described with reference to FIGS. 7A to 7D.

도7a는 영상면을 보정하기 위한 보정판으로서 상기 보정판은 다수의 원형형태가 바둑판 모양을 가지고 있으며, 각 원형의 중심은 정확한 중심좌표를 가지고 있다. 이러한 정사각형의 바둑판을 갖는 보정판을 영상을 통해 본다면 영상면의 왜곡현상 때문에 실제 정사각형의 바둑판은 도7b와 같은 실패형 혹은 도7c와 같은 술통형으로 보이게 된다. 이러한 왜곡현상은 정도의 차이는 있지만 대부분의 광학시스템이라면 포함하고 있는 수차이기 때문에 보정하는 것이 바람직하다. 보정하는 과정을 정리하면       FIG. 7A is a correction plate for correcting an image plane, wherein the correction plate has a plurality of circular shapes having a checkerboard shape, and the center of each circular shape has an accurate center coordinate. When the correction plate having the square checkerboard is viewed through the image, the actual checkerboard of the square is shown as a failure type as shown in FIG. 7B or a barrel shape as shown in FIG. 7C due to the distortion of the image plane. These distortions are different in degree, but are correct for most optical systems because they are included aberrations. To clean up the calibration process

4-1) 검사장치의 영상획득부를 이용하여 바둑판 모양의 원형점과 상기 원형점의 정확한 좌표를 알고 있는 보정판의 영상을 획득한다.4-1) Using the image acquisition unit of the inspection device to obtain an image of the checkerboard circular point and the correction plate knowing the exact coordinates of the circular point.

4-2) 영상처리를 통해 원형점의 중심점을 구하고, 상기 중심점의 좌표를 보정판의 좌표로 이용하여 영상면의 왜곡을 보정한다. 4-2) The center point of the circular point is obtained through image processing, and the distortion of the image plane is corrected using the coordinate of the center point as the coordinate of the correction plate.

검사장치의 영상면 왜곡은 광학시스템이 변하지 않는 한 일정한 것이기 때문에 보정과정은 검사장치를 처음에 셋업할 때 한번만 수행하여 하고 그 검사중에는 그 결과를 단지 적용만 하면 되므로, 측정중에는 영상면을 보정할 필요가 없다. 상기 원형점의 중심점을 가지고 영상면을 보정하는 과정은 당업자가 필요에 따라 수행할 수 있는 정도의 기술에 해당되므로 본 발명에서는 상세한 설명은 생략한다. 이상에서 본 발명에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다. Since the image plane distortion of the inspection device is constant as long as the optical system does not change, the calibration process is performed only once when the inspection device is initially set up, and only the results are applied during the inspection. no need. Since the process of correcting the image plane with the center point of the circular point corresponds to a technique that can be performed by those skilled in the art as necessary, the detailed description thereof will be omitted. The technical spirit of the present invention has been described above with reference to the accompanying drawings, but this is by way of example only and not intended to limit the present invention. In addition, it is obvious that any person skilled in the art can make various modifications and imitations without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명은 연삭공정과 검사공정을 수행하는데 있어서 검사공정시에는 별도의 정렬작업을 생략함으로써 작업효율을 극대화 시킬 뿐만 아니라 획득한 영상으로부터 정렬상태를 보정하여 정확한 양품을 선별한다.As described above, the present invention not only maximizes the work efficiency by omitting a separate alignment operation during the grinding process and the inspection process, but also corrects the alignment state from the obtained image to select the correct product.

또한 본 발명은 중앙제어부가 영상을 획득하는 과정에서 카메라에 별도의 신호를 전달하지 않고 곧바로 영상을 획득하기 때문에 용이하게 영상을 획득할 수 있을 뿐 아니라 검사과정이 효율적이고, 시스템의 구성과 유지가 간단하다.In addition, in the present invention, since the central control unit acquires the image immediately without transmitting a separate signal to the camera in the process of acquiring the image, not only can the image be easily obtained, but also the inspection process is efficient, and the configuration and maintenance of the system is easy. Simple.

또한 본 발명은 카메라에서 획득하는 영상을 보정하게 위해 정교한 보정판을 이용함으로써 영상면의 왜곡을 최소화 하여 검사과정의 정확도를 상승시키는 효과가 기대된다.
In addition, the present invention is expected to increase the accuracy of the inspection process by minimizing the distortion of the image surface by using a sophisticated correction plate to correct the image obtained from the camera.

Claims (8)

연삭을 위해 액정패널을 정렬하는 정렬스테이지와, 연삭을 수행하는 연삭스테이지 및 상기 연삭스테이지에서 연삭된 액정패널을 검사하는 검사스테이지로 구성되며, 상기 정렬스테이지 및 검사스테이지와, 연삭스테이지 사이를 왕복하면서 액정패널을 이송시키는 작업테이블을 구비하여 액정패널 에지(edge)부의 연마작업 및 검사작업을 수행하는 액정패널의 가공방법은, It consists of an alignment stage for aligning the liquid crystal panel for grinding, a grinding stage for performing the grinding and an inspection stage for inspecting the liquid crystal panel ground in the grinding stage, while reciprocating between the alignment stage and the inspection stage and the grinding stage The processing method of the liquid crystal panel having a work table for transferring the liquid crystal panel to perform the polishing operation and the inspection operation of the edge portion of the liquid crystal panel, 연삭과 검사를 수행하기 위해 기계제어부, 중앙제어부, 영상획득부, 조명제어부등에 전원을 입력하는 제1단계;     A first step of inputting power to a machine control unit, a central control unit, an image acquisition unit, an illumination control unit, etc. to perform grinding and inspection; 액정패널이 앞 공정으로부터 상기 작업테이블에 안착되면 정렬마크의 영상을 획득하고, 상기 정렬마크의 영상으로부터 액정패널의 연삭을 위해 정렬위치를 결정하고 정렬시키는 제2단계;   A second step of acquiring an image of an alignment mark when the liquid crystal panel is seated on the work table from the previous process, and determining and aligning an alignment position for grinding the liquid crystal panel from the image of the alignment mark; 상기 정렬된 액정패널을 작업테이블을 통해 연삭스테이지로 이동시키는 제3단계;  A third step of moving the aligned liquid crystal panel to a grinding stage through a work table; 상기 연삭스테이지로 이동된 액정패널에서 4개의 에지(edge)중에 서로마주보는 2개의 에지를 연마하는 제4단계;   A fourth step of polishing two edges facing each other among four edges in the liquid crystal panel moved to the grinding stage; 상기 2개의 에지부 연마가 끝나 후 90도 회전시켜 나머지 에지부의 연마를 수행하는 제5단계;   A fifth step of polishing the remaining edges by rotating 90 degrees after the two edges are polished; 상기 연삭스테이지에서 연삭이 끝난 액정패널을 정렬스테이지로 이동시키되 상기 b)단계에서 설정된 정렬위치로 이동시키는 제6단계;  A sixth step of moving the ground-finished liquid crystal panel from the grinding stage to the alignment stage but moving to the alignment position set in step b); 정열스테이지의 액정패널을 이동시키면서 4개의 에지중 하나의 에지를 검사하되 상기 에지 중에 미리 결정된 위치의 영상을 획득하는 제7단계;  A seventh step of inspecting one edge of four edges while moving the liquid crystal panel of the alignment stage, and acquiring an image of a predetermined position during the edge; 상기 제7단계 완료 후 액정패널의 다른 에지를 검사하기 위해 액정패널을 90도 회전시킨 후 4개의 에지중에 영상을 획득하지 않은 에지의 영상을 획득하되 미리 결정된 위치의 영상을 획득하는 제8단계;  An eighth step of acquiring an image of an edge of which no image is obtained among four edges after the liquid crystal panel is rotated 90 degrees after the completion of the seventh step to examine another edge of the liquid crystal panel; 상기 제8단계를 연속적으로 진행하면서 액정패널의 모든 에지의 영상을 획득하는 제9단계; 및   A ninth step of obtaining images of all edges of the liquid crystal panel while continuously performing the eighth step; And 상기 각 에지에서 얻는 영상한 영상은 획득당시에 영상획득부에 저장되고 상기 저장된 영상은 중앙제어부에서 독출하여 영상처리를 통해 연삭량을 결정하여 양품 불량을 확인하는 제10단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공방법.   And a tenth step of checking the defective image by storing the captured image obtained at each edge at the time of acquisition and reading the stored image from the central controller to determine the grinding amount through image processing. Processing method of liquid crystal panel. 제1항에 있어서, 제2단계는 The method of claim 1, wherein the second step is 카메라의 영상획득영역에 액정패널의 정렬마크가 포착되도록 작업테이블에 액정패널이 안착된 후, 기계제어부(26)가 중앙제어부(25)로 액정패널의 로딩이 완료되었다는 신호를 전달하는 제2-1단계;After the liquid crystal panel is seated on the worktable so that the alignment mark of the liquid crystal panel is captured in the image acquisition area of the camera, the machine control unit 26 transmits a signal that the loading of the liquid crystal panel is completed to the central control unit 25. Stage 1; 중앙제어부는 상기 로딩완료신호를 수신한 후, 로딩완료된 상태에서 카메라가 포착하여 영상획득부에 저장한 영상을 가져오는 제2-2단계; Receiving a loading completion signal from the central control unit, and obtaining a video captured by the camera in the loading completion state and stored in the image acquisition unit; 중앙제어부는 영상처리를 통해 정렬마크의(32)(32a) 중심을 결정하고, 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과 정렬마크(32)(32a) 중심의 차이를 산출 하며, 카메라 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과 정렬마크(32)(32a) 중심을 일치시키기 위해 필요한 작업테이블의 이동량을 결정하여 기계제어부로 전송하는 제2-3단계; 및 The central control unit determines the centers of the alignment marks 32 and 32a through image processing, and the difference between the centers 15_C and 15a_C of the image acquisition areas 15 and 15a and the centers of the alignment marks 32 and 32a. Calculating the amount of movement of the work table necessary to match the center 15_C, 15a_C of the camera image acquisition area 15, 15a with the center of the alignment marks 32, 32a, and transmitting it to the machine control unit. 2-3 steps; And 기계제어부는 작업테이블의 이동량(dx, dy, dθ)을 수신한 후 구동수단을 통해 작업테이블을 이동시켜, 카메라 영상획득영역(15)(15a)의 중심(15_C)(15a_C)과 정렬마크(32)(32a) 중심을 일치시키는 제2-4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공방법. The machine control unit receives the movement amount (dx, dy, dθ) of the work table and then moves the work table through the driving means, so that the center 15_C and 15a_C of the camera image acquisition area 15 and 15a and the alignment mark ( 32) (32a) a method for processing a liquid crystal panel, characterized in that it comprises a second step of aligning the center. 제1항에 있어서, 제7단계는 The method of claim 1, wherein the seventh step 기계제어부(26)는 액정패널이 소정의 위치에 이동시킨 후 중앙제어부(25)에 도착완료신호를 전달하는 제7-1단계;The mechanical control unit 26 transfers the arrival completion signal to the central control unit 25 after the liquid crystal panel is moved to a predetermined position; 중앙제어부는 상기 도착완료 신호를 수신한 후 중앙제어부는 카메라가 획득하여 영상획득부에 저장한 영상을 가져온 후 작업완료신호를 기계제어부로 전송하는 제7-2단계; A central control unit receiving the arrival completion signal, the central control unit acquiring an image acquired by the camera and stored in the image acquisition unit, and then transmitting a work completion signal to the machine control unit; 기계제어부는 상기 작업완료 신호를 수신한 후 다음위치로 액정패널을 이동시킨 다음 도착완료 신호를 중앙제어부로 전달하는 제7-3단계; A seventh step in which a machine control unit receives the work completion signal, moves the liquid crystal panel to a next position, and then transfers the arrival completion signal to the central control unit; 상기 7-2단계와 7-3단계를 반복하면서 중앙제어부는 액정패널의 필요한 부위의 영상을 모두 획득하는 제7-4단계;A step 7-4 of repeating steps 7-2 and 7-3, wherein the central control unit acquires all the images of the required part of the liquid crystal panel; 중앙제어부는 상기 7-4단계를 통해 획득한 영상을 통해 검사작업을 수행하는 제7-5단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공방법. And a central control unit (7-5) for performing an inspection operation through the image acquired through the 7-4 step. 제1항에 있어서, 제10단계의 연삭량을 결정하는 과정은 According to claim 1, wherein the process of determining the grinding amount of the tenth step 카메라로 획득한 연삭부위의 영상들(80, 81, 82, 83, 84)로부터 영상처리를 통해 연삭라인을 결정하는 제10-1단계;A step 10-1 of determining a grinding line through image processing from the images 80, 81, 82, 83, and 84 of the grinding portions acquired by the camera; 작업테이블이 이동한 궤적과 평행하게 생성한 라인가상의 기준라인(90)을 얻는 제10-2단계;A step 10-2 of obtaining a line virtual reference line 90 generated in parallel with the trajectory of the work table; 상기 제10-1단계에서 얻은 가상의 연삭라인(88, 92)과 상기 10-2단계에서 얻은 가상의 기준라인(90)이 이루는 각도(??)를 산출하는 제10-3단계; 및A step 10-3 for calculating an angle ?? between the virtual grinding lines 88 and 92 obtained in step 10-1 and the virtual reference line 90 obtained in step 10-2; And 기준마크(93)과 연삭라인(94)와의 거리(96)인 b를 산출하고 상기 10-3단계에서 얻은 각도를 이용하여 상기 거리 b를 보정함으로써 연삭라인(94)과 수직이면서 기준마크(93)까지의 거리(95)인 a를 구하는 제1-4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공방법. The reference mark 93 is perpendicular to the grinding line 94 by calculating b, which is the distance 96 between the reference mark 93 and the grinding line 94, and correcting the distance b using the angle obtained in step 10-3. And a first step (4) to obtain a, which is a distance (95) to the?). 상기 액정패널의 에지(edge)부의 연마작업 및 검사작업을 수행하는 가공방법은, The processing method for performing the polishing operation and the inspection operation of the edge (edge) of the liquid crystal panel, 연삭과 검사를 수행하기 위해 기계제어부, 중앙제어부, 영상획득부, 조명제어부등에 전원을 입력하는 제1단계;     A first step of inputting power to a machine control unit, a central control unit, an image acquisition unit, an illumination control unit, etc. to perform grinding and inspection; 액정패널이 앞 공정으로부터 상기 작업테이블에 안착되면 정렬마크의 영상을 획득하고, 상기 정렬마크의 영상으로부터 액정패널의 연삭을 위해 정렬위치를 결정하고 정렬시키는 제2단계;   A second step of acquiring an image of an alignment mark when the liquid crystal panel is seated on the work table from the previous process, and determining and aligning an alignment position for grinding the liquid crystal panel from the image of the alignment mark; 상기 정렬된 액정패널을 연삭스테이지로 이동시켜 연삭작업 하는 제3단계;  A third step of grinding the aligned liquid crystal panel to a grinding stage; 상기 연삭스테이지에서 연삭이 끝난 액정패널을 정렬스테이지로 이동시키되 상기 제2단계에서 설정된 정렬위치로 이동시키는 제4단계;  A fourth step of moving the ground-finished liquid crystal panel from the grinding stage to the alignment stage but moving to the alignment position set in the second step; 정열스테이지의 액정패널을 이동시키면서 에지 중에 미리 결정된 위치의 영상을 획득하는 제5단계;  A fifth step of acquiring an image of a predetermined position during the edge while moving the liquid crystal panel of the alignment stage; 상기 획득된 영상으로부터 연삭라인을 검출하고 상기 연삭라인과 기준마크사이의 거리를 산출하며 액정패널의 이동방향과 평행한 가상라인의 기준라인과 연삭라인의 각도를 결정하는 제6단계; 및Detecting a grinding line from the obtained image, calculating a distance between the grinding line and the reference mark, and determining an angle between the reference line and the grinding line of the virtual line parallel to the moving direction of the liquid crystal panel; And 상기 제6단계에서 산출한 연삭라인과 기준마크와의 거리와, 가상의 기준라인과 연삭라인의 각도를 통해 연삭라인과 수직이면서 기준마크까지의 거리를 산출하고 상기 산출된 결과를 이용하여 양품, 불량을 확인하는 제7단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공방법. The distance between the grinding line and the reference mark calculated in the sixth step and the angle between the virtual reference line and the grinding line are calculated to be perpendicular to the grinding line and to the reference mark. And a seventh step of identifying a defect. 제5항에 있어서, 검사작업을 수행하는 검사장치는 광학시스템 셋업시에 영상면의 왜곡을 보정하되 그 단계는, The method of claim 5, wherein the inspection apparatus for performing the inspection operation to correct the distortion of the image plane during the optical system setup, the step, 검사장치의 영상획득부를 이용하여 바둑판 모양의 원형점과 상기 원형점의 정확한 좌표를 알고 있는 보정판의 영상을 획득하는 단계; 및Acquiring an image of a checkerboard circular point and a correcting plate that knows exact coordinates of the circular point by using an image acquisition unit of an inspection apparatus; And 영상처리를 통해 원형점의 중심점을 구하고, 상기 중심점의 좌표를 보정판의 좌표로 이용하여 영상면의 왜곡을 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공방법. And obtaining a center point of the circular point through the image processing, and correcting the distortion of the image plane by using the coordinates of the center point as the coordinates of the correction plate. 액정패널의 가공장치에 있어서, In the processing apparatus of the liquid crystal panel, 연삭을 위해 상기 액정패널을 정렬하는 정렬스테이지와, 연삭을 수행하는 연삭스테이지 및 상기 연삭스테이지에서 연삭된 액정패널을 검사하는 검사스테이지로 구성되고, 상기 정렬스테이지 및 검사스테이지와, 연삭스테이지 사이를 왕복하면서 액정패널을 이송시키는 작업테이블이 구비되며, 검사스테이지에는 정렬 및 연삭부위의 검사를 위해 영상을 획득하기 위해 설치된 카메라(14)(14a)와, 상기 연삭스테이지에 설치되며 액정패널의 에지부의 연삭을 수행하는 연삭휠(24)(24a)과, 카메라(14)(14a)의 이동을 위해 설치되는 카메라가이드(16)(16a)와, 작업테이블(12)이 검사스테이지(11) 및 연삭스테이지(20)로 이동을 가이드하는 가이드레일(22)을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공장치.An alignment stage for aligning the liquid crystal panel for grinding, a grinding stage for performing grinding, and an inspection stage for inspecting the liquid crystal panel ground at the grinding stage, and reciprocating between the alignment stage and the inspection stage and the grinding stage. While the work table for transporting the liquid crystal panel is provided, the inspection stage is provided with a camera (14) (14a) installed to acquire an image for the inspection of the alignment and the grinding portion, and the grinding stage is installed on the grinding stage The grinding wheels 24 and 24a for carrying out the operation, the camera guides 16 and 16a installed for the movement of the cameras 14 and 14a, and the work table 12 for the inspection stage 11 and the grinding stage. And a guide rail (22) for guiding movement to (20). 제7항에 있어서The method of claim 7, 액정패널 가공장치는 작업테이블을 구동하는 기계제어부를 구비하고 카메라에서 획득한 영상을 저장하는 영상획득부와 상기 영상획득부의 영상을 독출하는 중앙제어부를 구비하며, 중앙제어부와 기계제어부는 신호를 주고받으면서 구동하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 가공장치.  The liquid crystal panel processing apparatus includes a machine control unit for driving a work table, an image acquisition unit for storing an image acquired by a camera, and a central control unit for reading an image of the image acquisition unit, and the central control unit and the machine control unit provide a signal. Processing device for a liquid crystal panel, characterized in that driving while giving and receiving.
KR1020040088622A 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus and method for processing of LCD panel KR100624029B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040088622A KR100624029B1 (en) 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus and method for processing of LCD panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040088622A KR100624029B1 (en) 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus and method for processing of LCD panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060039517A KR20060039517A (en) 2006-05-09
KR100624029B1 true KR100624029B1 (en) 2006-09-15

Family

ID=37146749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040088622A KR100624029B1 (en) 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus and method for processing of LCD panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100624029B1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100757993B1 (en) * 2006-05-02 2007-09-11 박창우 Silent sprayer for functional liquid and sterilization method using the same
KR100775024B1 (en) * 2006-06-07 2007-11-08 주식회사 케이씨텍 Device for testing edge of glass substrate and method thereof
KR100797571B1 (en) * 2006-06-13 2008-01-24 주식회사 에스에프에이 Denting and Crack Inspecting Apparatus
KR100741258B1 (en) * 2006-06-22 2007-07-19 삼성코닝정밀유리 주식회사 Grinding system for a glass substrate
KR100892124B1 (en) * 2007-06-01 2009-04-09 주식회사 케이엔제이 Manufacturing Apparatus of Flat Panel Disply Panel
TWI326633B (en) * 2007-07-16 2010-07-01 Au Optronics Corp Polishing machine, loading apparatus and method of operating loading apparatus
KR101603386B1 (en) * 2013-11-01 2016-03-14 주식회사 피디티 Automatically adjusting method and method of grinding a workpiece
CN113934027A (en) * 2021-09-29 2022-01-14 福建晟哲自动化科技有限公司 Liquid crystal display panel transmission detection device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010097316A (en) * 2000-04-21 2001-11-08 류경한 System and method for grinding glass edge of liquid crystal display
JP2003251552A (en) 2002-02-27 2003-09-09 Nikon Corp Working method, method of manufacturing optical element and metal mold, optical element and optical device
KR20030076790A (en) * 2002-03-21 2003-09-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Apparatus and method for correcting grind amount of liquid crystal display panel
KR20030096513A (en) * 2002-06-12 2003-12-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display device fabrication line and manufacturing method using it

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010097316A (en) * 2000-04-21 2001-11-08 류경한 System and method for grinding glass edge of liquid crystal display
JP2003251552A (en) 2002-02-27 2003-09-09 Nikon Corp Working method, method of manufacturing optical element and metal mold, optical element and optical device
KR20030076790A (en) * 2002-03-21 2003-09-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Apparatus and method for correcting grind amount of liquid crystal display panel
KR20030096513A (en) * 2002-06-12 2003-12-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display device fabrication line and manufacturing method using it

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060039517A (en) 2006-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110013015A1 (en) Vision inspection system and inspection method using the same
JP5862616B2 (en) Polarizing light irradiation apparatus for photo-alignment and polarized light irradiation method for photo-alignment
JP4560514B2 (en) Inspection method and inspection apparatus for component mounting accuracy
JP2004288792A (en) Alignment device and alignment method
KR100624029B1 (en) Apparatus and method for processing of LCD panel
JP6382390B2 (en) Vision inspection device
TWI678746B (en) Semiconductor manufacturing device and method for manufacturing semiconductor device
TW201740484A (en) Vision inspection device
TWI544567B (en) An apparatus and method of using an imaging device for adjustment of at least one handling device for handling semiconductor components
JP2007212939A (en) Inspection method of positional deviation, program and inspection device of positional deviation
JP2003062912A (en) Film laminating apparatus
KR102304880B1 (en) Semiconductor manufacturing apparatus and method for manufacturing semiconductor device
JP4065805B2 (en) Imaging device
KR200363207Y1 (en) Lcd cell edge check system
KR100778138B1 (en) Inspection apparatus of flat panel display
KR100624024B1 (en) Method for examine of edge-side defect by regression line on LCD panel
KR100418357B1 (en) LCD Cell Automatic Aligner&Grinding Inspection System
JP3865459B2 (en) Semiconductor device mounting equipment
JP3337499B2 (en) Printed circuit board inspection equipment
KR100478449B1 (en) Grinding appratus for manufacturing lcd cell and grinding process thereof
KR101593017B1 (en) Panel Mark Recognizing Apparatus Detectable Laminating Fail of Panel
JPH0435846A (en) Positioning of semiconductor wafer
TW202414122A (en) Method of acquiring drawing position information and drawing method
KR100209243B1 (en) Photo diode ic adhering device and method
JP2005062236A (en) Manufacturing method and inspecting device of display panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120904

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131121

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140911

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee