KR100621859B1 - 수직형 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 작업시 기판의 파손 및 추가적인 파손이 방지되도록 한 수직형 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 수직형 증착 장치는 기판을 가이딩하기 위해 플래튼의 상부에 마련됨과 아울러 기판에 접하는 부분에 단턱홈이 형성된 상부 클램프와, 상부 클램프와 함께 기판을 가이딩 하기 위해 플래튼의 하부에 마련됨과 아울러 플래튼이 수직으로 세워질 때 기판과 서셉터에 각각 형합되는 계단형 단턱부가 형성된 하부 클램프를 구비한다.
본 발명에 따르면, 슬라이딩 미스로 인한 기판의 파손 및 스토퍼 핀에 형성된 홈에 의한 기판의 파손, 그리고 연속된 증착 작업에서 파편에 의한 추가적인 기판의 파손 등의 문제들이 방지되게 된다.

Description

수직형 증착 장치{Vertical Type Deposition Apparatus}
도 1은 일반적인 수직형 스퍼터링 증착 장치에 있어서 기판을 로딩하고 고정시키는 플래튼 어셈블리의 기본 구조를 도시한 도면.
도 2는 도 1에서 기판을 가이드하는 상부 및 하부 클램프의 측면 구조를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 수직형 스퍼터링 증착 장치에 있어서 기판을 로딩하고 고정시키는 플래튼 어셈블리의 구조를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 수직형 증착 장치의 플래튼 어셈블리를 구성하는 상부 클램프의 측면 구조를 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 수직형 증착 장치의 플래튼 어셈블리를 구성하는 하부 클램프의 측면 구조를 도시한 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
20,50 : 기판 22,52 : 플래튼
24,54 : 서셉터 26,56 : 상부 클램프
28,58 : 하부 클램프 30,60 : 스토퍼 핀
32,62 : 모터 34,74 : 기판 안착부
64 : 모터 드라이버 66 : 상부 센서
68 : 하부 센서 70 : 콘트롤러
72 : 단턱홈 76 : 서셉터 안착부
본 발명은 증착 작업을 수행하는 증착 장치에 관한 것으로, 특히 증착 작업시 기판의 파손 및 추가적인 파손이 방지되도록 한 수직형 증착 장치에 관한 것이다.
통상, 액정표시소자(Liquid Crystal Display; LCD)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로써 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시소자는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들과, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 전극 라인들, 그리고 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 전극 라인 및 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT) 등을 구비하게 된다. 이들 전극들과 소자들을 형성하기 위하여 전극 물질은 기판 상에 절연층, 반도체층 등과 함께 층을 이루며 형성되게 된다. 액정표시소자의 제조 과정에 있어서, 다양한 전극 및 전극 라인들은 일반적으로 스퍼터링(Sputtering) 증착 방법을 통해 기판 상에 전극 물질을 전면 증착한 후, 사진 식각(Photo-etching)에 의해 패터닝(Patterning)되어 형성되어진다. 이러한 스퍼터링 증착을 통한 전극 형성 방법은 액정표시소자 뿐만이 아니라 기판 상에 전극을 형성하여야 하는 다양한 분야에 걸쳐 널리 이용되고 있다. 스퍼터링 증착에 사용되는 증착 장치에는 기판을 수평 상태로 놓고 증착 작업을 수행하는 수평 타입의 증착 장치와 기판을 수직으로 세워 놓고 기판의 전면에서 증착 물질을 스퍼터링 증착시키는 수직형 증착 장치가 있다.
도 1은 일반적인 수직형 스퍼터링 증착 장치에 있어서 기판을 로딩(Loading)하고 고정시키는 플래튼 어셈블리(Platen Assembly)의 기본 구조를 도시한 도면이다. 실제 플래튼 어셈블리는 물리적 기상 증착(Physical Vapor Deposition : 이하 "PVD"라 함)이 이루어지는 PVD 채임버(Chamber) 내에 위치하고 있다. 기판은 플래튼 어셈블리에 로딩된 다음 수직으로 세워지게 되고, PVD 채임버 내에서는 세워진 기판 전면에서 증착 물질이 기판에 증착되는 증착 작업이 이루어지게 된다. 증착 작업에 사용되는 기판으로는 일반적으로 유리기판이 많이 사용되고 있다.
도 1을 참조하면, 종래의 수직형 증착 장치의 플래튼 어셈블리는 기판(20)이 로딩되는 플래튼(22)과, 플래튼(22)의 커버(Cover)로서 실제 기판(20)이 놓여지는 서셉터(Susceptor)(24)와, 기판(20)이 로딩된 후 플래튼(22)이 수직으로 세워질 때 기판(20)이 앞으로 떨어지지 않도록 기판(20)을 가이드(Guide)하는 상부 클램프(Clamp)(26) 및 하부 클램프(28)들과, 플래튼(22)이 수직으로 세워질 때 하부에서 기판(20)을 지지하는 역할을 하는 스토퍼 핀(Stopper Pin)(30)들과, 플래튼(22)을 수직으로 세우기 위한 모터(32)와, 모터(32)를 구동하고 제어하는 콘트롤러(도시되지 않음)를 구비한다.
기판(20)이 플래튼(22)에 로딩되기 전에는 상부 및 하부 클램프(26,28)들이 도면에 도시된 A 방향으로 이동된 상태에 있게 된다. 이 상태에서 기판(20)이 플래튼(22)에 로딩되어 서셉터(24) 상에 안착되게 된다. A의 화살표 방향대로 상부 클램프(26)가 위쪽으로 이동되어 있고, 하부 클램프(28)가 아래쪽으로 이동되어 있는 상태에서는 클램프(26,28)가 기판(20)을 잡지 않는 클램프 오프(Off) 상태이다. 기판(20)이 서셉터(24)에 놓여진 다음에는 도면에 도시된 바와 같은 형태로 상부 클램프(26)가 아래로 이동하고, 하부 클램프(28)가 위로 이동하여 기판(20)을 가이드하게 된다. 도 1과 같이 상부 및 하부 클램프(26,28)가 기판(20)을 가이드한 상태가 클램프 온(On) 상태이다. 클램프 온 상태에서 모터 콘트롤러는 모터(32)를 구동시킨다. 이 때 모터(32)는 도면에 도시된 B 화살표 방향을 축으로 하여 플래튼(22)을 구동하여 수직으로 세우게 된다. 모터(32)에 의해 플래튼(22)이 수직으로 세워지는 플래튼 업(Up) 동작 중에 플래튼(22)에 로딩된 기판(20)은 플래튼(22)이 완전히 수직으로 세워지기 이전에 2 ~ 3㎜ 정도 아래로 슬라이딩(Sliding)하면서 스토퍼 핀(30)에 안착을 하게 된다. 종래의 플래튼 어셈블리에서는 하부 클램프(28)보다 스토퍼 핀(30)이 약간 위에 정렬되어 있기 때문에 기판(20)이 슬라이딩하면서 하부 클램프(28)가 아닌 스토퍼 핀(30)에 안착되게 된다. 플래튼 업 동작에 의해 플래튼(22)이 수직으로 세워졌을 때 상부 및 하부 클램프(26,28)는 기판(20)이 앞으로 떨어지지 않도록 가이드하는 기능을 수행하며 직접 기판(20)을 잡고 고정하지는 않는다. 도 2는 기판을 가이드하는 상부 및 하부 클램프의 측면도이다. 상부 및 하부 클램프(26,28)에는 서셉터(24)와 기판(20)에 접하게 되는 기판 안착부(34)가 형성되어 있다. 종래의 증착 장치에서는 클램프(26,28)의 기판 안착부(34)가 도 2 에 도시된 바와 같이 비스듬히 되어 있다. 실제로는 기판(20)이 기판 안착부(34)에 안착되어 고정되는 것이 아니고 기판 안착부(34)에 의해 단순히 가이딩만 된다. 기판(20)이 수직으로 세워진 상태에서는 증착 작업이 수행된다. 증착 작업이 종료된 후에는 모터(32)에 의해 플래튼(22)이 다시 수평 상태로 원상 복귀된다. 수평 상태로 플래튼 다운(Down)된 다음에는 상부 및 하부 클램프(26,28)가 도면의 A 화살표 방향으로 이동하면서 클램프 오프되고, 기판(20)이 언로딩(Unloading)된다.
이와 같이 동작되는 종래의 증착 장치의 플래튼 어셈블리에서는 몇가지 문제점이 드러나고 있다. 즉, 기판(20)이 서셉터(24) 위에 놓인 후 상부 클램프(26)가 아래로 이동하면서 기판(20)을 가이드하게 되는데, 이 때 기판(20)이 서셉터(24)와 상부 클램프(26) 사이에 끼이는 경우가 종종 발생한다. 이러한 현상의 주원인으로는 증착 작업을 여러 번 반복하는 중에 상부 클램프(26)의 기판 안착부(34)에 증착 물질이 쌓이면서 부착된 협착물 등을 들 수 있다. 기판(20)이 서셉터(24)와 상부 클램프(26) 사이에 끼이게 되면 플래튼 업 동작시 기판(20)의 슬라이딩이 원활히 이루어지지 못하고 기판(20)이 한 쪽으로 치우치면서 기판(20)이 깨지거나 손상되는 문제가 발생한다. 또한 종래의 플래튼 어셈블리의 구조를 보면 하부 클램프(28)가 스토퍼 핀(30)보다 약간 아래에 정렬되어 있다. 이로 인해 플래튼 업 동작에 의해 기판(20)이 수직으로 세워졌을 때 기판(20)의 모든 하중이 스토퍼 핀(30)에 집중되게 된다. 하부 클램프(28)는 기판(20)을 직접 잡지는 않고 가이딩 역할만 하기 때문에 기판(20)의 하중이 하부 클램프(28)로는 분산되지 않는다. 이에 따라 장기간 사용시에는 기판(20)의 하중에 의해 스토퍼 핀(30)에 홈에 형성되는데, 이러한 홈은 기판(20)이 언로딩될 때에 기판(20)이 스토퍼 핀(30)의 홈에 튕기면서 파손되는 문제를 발생시키게 된다. 아울러 종래의 증착 장치에서는 플래튼 어셈블리 또는 PVD 채임버 내에 기판의 파손 여부를 감지하는 감지 센서가 별도로 마련되어 있지 않다. 이에 따라, 기판(20)의 로딩이나 플래튼 동작시 그리고 증착 작업시에 기판이 파손된 경우에는 에러가 발생하지 않아 작업이 계속 진행됨으로써 뒤이은 작업에서 다른 기판들의 오염 및 파손을 유발하게 된다. 플래튼 어셈블리 및 증착 채임버 내에서 기판의 파손으로 인해 떨어진 파편 조각들은 다음 증착 과정에서 로딩되는 기판을 파손시키기도 하고, 일부 파편들은 반송 채임버로 이송되어 채임버 내부를 오염시키게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 증착 작업시 기판의 파손 및 추가적인 파손이 방지되도록 한 수직형 증착 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 수직형 증착 장치는 기판을 가이딩 하기 위해 플래튼의 상부에 마련됨과 아울러 기판에 접하는 부분에 단턱홈이 형성된 상부 클램프와, 상부 클램프와 함께 기판을 가이딩 하기 위해 플래튼의 하부에 마련됨과 아울러 플래튼이 수직으로 세워질 때 기판과 서셉터에 각각 형합되는 계단형 단턱부가 형성된 하부 클램프를 구비한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 수직형 스퍼터링 증착 장치에 있어서 기판을 로딩하고 고정시키는 플래튼 어셈블리의 구조를 도시한 도면이다. 플래튼 어셈블리는 PVD 채임버 내에 위치하게 된다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 수직형 증착 장치의 플래튼 어셈블리는 종래의 경우와 마찬가지로 기판(50)이 로딩되는 플래튼(52)과, 플래튼(52)의 커버로서 실제 기판(50)이 놓여지는 서셉터(54)와, 기판(50)이 로딩된 후 플래튼(52)이 수직으로 세워질 때 기판(50)이 앞으로 떨어지지 않도록 기판(50)을 가이드하는 상부 클램프(56) 및 하부 클램프(58)들과, 플래튼(52)이 수직으로 세워질 때 하부에서 기판(50)을 지지하는 역할을 하는 스토퍼 핀(60)들과, 플래튼(52)을 수직으로 세우기 위한 모터(62)와, 모터(62)를 구동하고 제어하는 모터 드라이버(64)를 구비한다. 아울러 본 발명에 따른 플래튼 어셈블리는 기판(50) 상부의 파손 여부를 감지하기 위하여 기판(50)의 상부면에 대면되게끔 서셉터(54) 내에 마련된 상부 센서(66)들과, 기판의 파손시 파편의 유무를 감지하기 위해 플래튼(52)의 하단부에 마련된 하부 센서(68)들과, 상부 및 하부 센서(66,68)들에 접속되어 기판(50)의 파손 여부에 따라 작업의 진행 및 중단을 제어하는 콘트롤러(70)를 구비한다. 모터(62)를 구동하는 모터 드라이버(64)는 콘트롤러(70)에 접속되어 콘트롤러(70)의 제어에 따라 모터(62)를 동작 또는 중지시키게 된다. 본 발명의 플래튼 어셈블리에서는 도 3에 도시된 바와 같이 하부 클램프(58)가 스토퍼 핀(60)보다 약간 위에 정렬되어 있다. 또한 상부 및 하부 클램프(56,58)도 종래의 구조와는 다른 구조를 가지고 있다. 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 수직형 증착 장치의 플래튼 어셈블리를 구성하는 상부 클램프의 측면도이고, 도 5는 하부 클램프의 측면도이다. 종래에는 도 2에 도시된 바와 같이 상부 및 하부 클램프(26,28)의 기판 안착부(34)가 비스듬히 되어 있다. 반면, 본 발명에서는 도 4에 도시된 바와 같이 상부 클램프(56)가 기판(50) 및 서셉터(54)에 접하는 부분에 직각의 단턱홈(72)이 형성되어 있다. 그리고 하부 클램프(58)에도 도 5에 도시된 바와 같이 계단 형태로 홈들이 파여져 기판(50)이 형합되는 기판 안착부(74)와 서셉터(54)가 형합되는 서셉터 안착부(76)가 각각 형성되어 있다.
본 발명에 따른 수직형 증착 장치의 플래튼 어셈블리의 동작 과정을 설명하면 먼저, 클램프 오프 상태에서 기판(50)이 플래튼(52)에 로딩되어 서셉터(54) 위에 놓이게 된다. 기판(50)이 서셉터(54)에 놓여진 다음에는 도 3에 도시된 바와 같은 형태로 상부 클램프(56)가 아래로 이동하고, 하부 클램프(58)가 위로 이동하여 기판(50)을 가이드하게 된다. 클램프 온 상태에서 모터 드라이버(64)는 모터(62)를 구동시킨다. 이 때 모터(62)는 도면에 도시된 B 화살표 방향을 축으로 하여 플래튼(52)을 구동하여 수직으로 세우게 된다. 모터(62)에 의해 플래튼(52)이 수직으로 세워지는 플래튼 업 동작시 기판(50)은 플래튼(52)이 완전히 수직으로 세워지기 이전에 아래로 슬라이딩하면서 하부 클램프(58)에 먼저 안착되게 된다. 플래튼 업 동작에 의해 플래튼(52)이 수직으로 세워졌을 때 상부 및 하부 클램프(56,58)는 기판(50)이 앞으로 떨어지지 않도록 가이드하는 기능을 수행한다. 본 발명에서는 도 4에 도시된 바와 같이 상부 클램프(56)에 직각의 단턱홈(72)이 형성되어져 있기 때문에 클램프 온 시에 기판(50)이 상부 클램프(56)와 서셉터(54) 사이에 끼이지 않는다. 이에 따라 플래튼 업 동작시 기판(50)의 슬라이딩이 원활히 이루어지고 슬라이딩 미스(Miss)에 의해 기판(50)이 파손되는 문제를 해결할 수 있게 된다. 또한 본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이 하부 클램프(58)에도 계단 형태의 홈들이 파여져 기판 안착부(74)와 서셉터 안착부(76)가 형성되어 있다. 플래튼 업 동작시 아래 방향으로 슬라이딩하는 기판(50)은 하부 클램프(58)의 기판 안착부(74)에 형합되고, 서셉터(54)는 서셉터 안착부(76)에 형합된다. 도 4 및 도 5는 플래튼 업 동작에 의해 기판(50)이 하부 클램프(58)에 안착된 상태를 나타낸 도면으로서, 상부 및 하부 클램프(56,58)에 직각홈을 형성함으로 인해 도면에 도시되는 바와 같이 기판(50)이 앞뒤로 움직일 수 있는 약간의 여유 공간이 마련되게 된다. 이 여유 공간은 기판(50)의 슬라이딩을 원활히 하는 역할을 하게 된다. 한편, 종래의 플래튼 어셈블리에서는 하부 클램프(28)보다 스토퍼 핀(30)이 약간 위에 정렬되어 있기 때문에 기판(20)이 스토퍼 핀(30)에 안착되지만, 본 발명에서는 하부 클램프(58)가 스토퍼 핀(60)보다 약간 위에 정렬되어 있기 때문에 기판(50)이 하부 클램프(58)에 먼저 안착되게 된다. 기판(50)이 완전히 수직이 되었을 때에는 기판(50)의 하중에 의해 하부 클램프(58)가 약간 뒤로 밀리면서 기판(50)이 스토퍼 핀(60)에 안착된다. 이에 따라, 본 발명에서는 하부 클램프(58)가 스토퍼 핀(60)과 함께 기판(50)을 지지하게 된다. 그리하여 기판(50)의 하중이 하부 클램프(58)와 스토퍼 핀(60)에 분산됨으로써 스토퍼 핀(60)에 홈이 파여지는 현상을 지연시킬 수 있게 된다. 기판(50)이 수직으로 세워진 상태에서는 증착 작업이 수행된다. 증착 작업이 종료된 후에는 모터(62)에 의해 플래튼(52)이 다시 수평 상태로 원상 복귀된다. 이러한 플래튼 다운(Down) 동작 시에는 기판(50)의 하중으로 인해 뒤로 밀렸던 하부 클램프(58)가 복원력에 의해 기판(50)을 약간 앞으로 밀어 버리게 된다. 이에 따라 기판(50)의 언로딩시 스토퍼 핀(60)에 홈이 형성되어 있더라도 기판(50)이 홈에 걸리지 않게 되어 기판(50)의 파손을 예방할 수 있게 된다.
아울러 본 발명에서는 기판(50)의 상부에 대면되게끔 서셉터(54) 내에 상부 센서(66)들이 마련되어 있고, 플래튼(52)의 하단부에도 하부 센서(68)들이 마련되어 있다. 이들 센서(66,68)들은 기판의 유무 및 파손 상태를 감지하여 콘트롤러(70)에 신호를 보내고, 이에 따라 콘트롤러(70)는 작업의 진행 및 중단을 제어하게 된다. 상부 센서(66)는 도 3에 도시된 바와 같이 플래튼(52) 상단부의 기판(50)에 대면되는 위치에 마련되어 기판(50)의 로딩 및 클램프 온 동작시 기판(50)의 유무를 감지한다. 슬라이딩 미스나 다른 요인들에 의해 기판의 상부가 파손되어 두 상부 센서(66) 중 어느 하나라도 기판(50)을 감지하지 못하면, 이는 기판(50)의 일부 또는 전부가 파손된 경우에 해당되므로 콘트롤러(70)는 이에 대응하여 프로세스(Process)를 중단시키고, 모터 드라이버(64)를 제어하여 플래튼(52) 동작도 중단시킨다. 이에 따라, 기판(50)이 더 이상 파손되는 것을 방지하고, 기판(50)이 파손된 상태에서 작업이 계속되어 다음 증착 작업시 다른 기판들이 오염되거나 파손되는 것을 예방할 수 있게 된다. 또한, 기판(50)의 탈착이나 클램프 온 동작 시, 그리고 기판(50)의 슬라이딩 동작 시에도 기판(50)의 상부뿐만이 아니라 하부 및 다른 부분들이 부분적으로 파손되는 경우도 있기 때문에, 하부 센서(68)들을 통해 이러한 파손 여부를 감지한다. 기판(50)의 파손으로 인해 생긴 기판의 파편들은 플래튼 업 동작 시에 아래로 떨어지면서 하부 센서(68)들에 의해 감지되게 된다. 두 하부 센서(68)들 중 어느 하나라도 파편 조각을 감지하게 되면 콘트롤러(70)는 하부 센서(68)의 감지 신호에 대응하여 프로세스를 중단시키고, 모터 드라이버(64)를 제어하여 플래튼(52) 동작도 중단시킨다. 그리하여, 다음 증착 작업에서 다른 기판들의 오염 및 추가적인 손실, 그리고 채임버의 오염을 방지할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 수직형 증착 장치에서는 기판을 가이드하는 상부 클램프에 단턱홈이 형성되어 기판이 서셉터와 상부 클램프 사이에 끼이지 않게 된다. 이에 따라, 슬라이딩 미스에 의해 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다. 또한, 본 발명에서는 하부 클램프에도 계단 형태로 홈들이 파여져 있으 며 이러한 하부 클램프는 스토퍼 핀보다 약간 위에 정렬되어 있다. 기판이 수직으로 세워졌을 때 기판 및 서셉터는 하부 클램프의 계단형 단턱부에 형합되어 지지되고, 기판의 하중이 하부 클램프와 스토퍼 핀에 분산되게 된다. 이에 따라, 스토퍼 핀에 홈이 형성되는 것이 지연되고, 기판이 탈착될 때 스토퍼 핀의 홈에 의해 기판이 파손되는 것을 예방할 수 있게 된다. 아울러, 본 발명에서는 기판의 파손 여부를 감지하는 센서가 마련되어 기판이 파손되었을 때 이를 감지하여 작업을 중단시킬 수 있다. 이에 따라, 기판의 추가적인 손실을 막을 수 있게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (3)

  1. 기판을 플래튼의 커버인 서셉터 위에 로딩하고, 상기 기판이 떨어지지 않게끔 가이딩한 다음 상기 플래튼을 수직으로 세워 증착 작업을 수행하는 수직형 증착 장치에 있어서,
    상기 기판을 가이딩하기 위해 상기 플래튼의 상부에 마련됨과 아울러 상기 기판에 접하는 부분에 단턱홈이 형성된 상부 클램프와,
    상기 상부 클램프와 함께 상기 기판을 가이딩 하기 위해 상기 플래튼의 하부에 마련됨과 아울러 상기 플래튼이 수직으로 세워질 때 상기 기판과 상기 서셉터에 각각 형합되는 계단형 단턱부가 형성된 하부 클램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 클램프에 비해 소정 간격 아래에 마련되어 상기 하부 클램프와 함께 상기 기판을 지지하는 스토퍼 핀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상부의 파손 유무를 감지하기 위해 상기 기판의 상부에 대면되게끔 상기 서셉터 내에 마련되는 상부 센서와,
    상기 기판의 다른 부분의 파손 유무를 감지하기 위해 상기 플래튼의 하단부에 마련되는 하부 센서와,
    상기 상부 및 하부 센서의 감지 신호에 대응하여 프로세스의 진행 및 플래튼의 구동 여부를 제어하는 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990076702A (ko) * 1995-12-22 1999-10-15 리차드 에이치. 로브그렌 기판고정용 입술형태의 밀봉부를 구비한 정전클램프
KR20010036468A (ko) * 1999-10-08 2001-05-07 김영환 반도체 급속가열장치

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