KR100607457B1 - 진동차단장치 - Google Patents
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- F27B7/00—Rotary-drum furnaces, i.e. horizontal or slightly inclined
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Abstract
Description
Claims (5)
- 삭제
- 챔버에 연결되는 배관에 설치된 펌프의 진동이 상기 배관을 통해 상기 챔버로 전달되는 것을 차단하는 장치로서,상기 챔버와 배관 사이 또는 상기 배관의 중간에 설치되며, 일단에 제1 플랜지를 구비하고 타단에 제2 플랜지를 구비하는 벨로우즈와;탄성을 가지는 방진부재와;상기 방진부재의 일단을 감싸는 측벽과 저면을 가지는 제1 수용부와, 일단은 상기 제1 수용부의 저면에 결합하고 타단은 상기 제1 플랜지와 결합하는 제1 지주를 포함하는 제1 지지체와;상기 방진부재의 타단을 감싸는 측벽과 저면을 가지는 제2 수용부와, 일단은 상기 제2 수용부의 저면에 결합하고 타단은 상기 제2 플랜지와 결합하는 제2 지주를 포함하는 제2 지지체를 포함하는 진동차단장치
- 제2항에 있어서,상기 제1,2 지주와 상기 제1,2 플랜지를 각 결합하는 결합수단은,상기 제1,2 지주가 삽입되는 관통홀을 구비하며, 상기 제1,2 플랜지와 각 결합하는 제1,2 브라켓과;상기 제1,2 지주의 타단에서부터 형성되는 볼트에 결합되며, 상기 제1.2 브라켓과 상기 제1,2 수용부 사이에 위치하는 제1,2 높이조절너트를 포함하는 진동차단장치
- 제3항에 있어서,상기 제1,2 높이조절볼트와 상기 제1,2 브라켓 사이의 제1,2 지주에는 탄성을 가지는 보조방진부재와, 상기 보조방진부재의 양단을 커버하는 한 쌍의 보호판이 더 결합되는 진동차단장치
- 제2항 내지 제4항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 방진부재는 실리콘인 것을 특징으로 하는 진동차단장치
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050020920A KR100607457B1 (ko) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 진동차단장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050020920A KR100607457B1 (ko) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 진동차단장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050103451A KR20050103451A (ko) | 2005-10-31 |
KR100607457B1 true KR100607457B1 (ko) | 2006-08-01 |
Family
ID=37281341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020050020920A KR100607457B1 (ko) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 진동차단장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100607457B1 (ko) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04113989A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-15 | Kayaba Ind Co Ltd | 船舶エンジンの防振装置 |
JPH05272332A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | Toyota Motor Corp | NOx浄化装置 |
JPH08144423A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-04 | Bridgestone Corp | 吊り下げ型防振装置 |
KR19990001074A (ko) * | 1997-06-12 | 1999-01-15 | 구자홍 | 압축기의 진동전달 방지구조 |
-
2005
- 2005-03-14 KR KR1020050020920A patent/KR100607457B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04113989A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-15 | Kayaba Ind Co Ltd | 船舶エンジンの防振装置 |
JPH05272332A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | Toyota Motor Corp | NOx浄化装置 |
JPH08144423A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-04 | Bridgestone Corp | 吊り下げ型防振装置 |
KR19990001074A (ko) * | 1997-06-12 | 1999-01-15 | 구자홍 | 압축기의 진동전달 방지구조 |
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KR20050103451A (ko) | 2005-10-31 |
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