KR100602528B1 - 원판형 기판 처킹 장치 및 방법, 그리고 상기 장치를 이용한 디스크형 기록 매체의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 스퍼터 장치에 있어서 중앙 구멍이 존재하지 않는 원판형 기판을 홀더에 대해 안정적으로 밀착시켜 보유 지지하는 기판의 척 방법 등에 관한 것이다. 구체적으로는, 이면 중앙에 대략 원기둥 형상의 돌기부를 갖는 원판형의 기판을 이용하는 것으로 하고, 스퍼터 장치에 있어서 이 돌기부를 기판 받침부에 설치된 원통형의 내면을 갖는 오목부에 삽입하여 오목부에 배치된 고정 수단에 의해 고정하는 동시에, 기판 이면을 상기 오목부 주위에 형성된 기판 받침부인 평탄면 에 밀착시켜 이를 지지하는 것으로 한다.

마스크, 기판 받침부, 기판, 플랜지부, 마스크 받침부, 돌기부

Description

원판형 기판 처킹 장치 및 방법, 그리고 상기 장치를 이용한 디스크형 기록 매체의 제조 방법{DISK-LIKE SUBSTRATE CHUCKING DEVICE AND METHOD, AND METHOD OF PRODUCING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM USING THE DEVICE}

본 발명은, 원판형의 기판에 대해 박막을 형성하는 스퍼터 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상기 장치를 이용하여 박막 형성을 행할 때, 상기 장치에 있어서 이용되는 원판형 기판을 처킹하는 기구 또는 처킹 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 스퍼터 장치를 이용하여 소위 광디스크 등의 원판형의 기록 매체를 제조하는 디스크형 기록 매체의 제조 방법에 관한 것이다.

원판형의 기판에 대해 각종 박막을 형성하여 제조되는 기록 매체, 특히 원판형의 형상을 갖는 것으로서, 예를 들어 CD, CD-R, CD-RW 등의 CD계 디스크, 혹은 DVD-ROM, DVD-R, 등의 DVD계 디스크 등의 광디스크, 혹은 MO 및 MD 등의 광자기 디스크 등, 여러 가지의 디스크가 존재된다. 이들 디스크는, 예를 들어 폴리카보네이트 등의 소재로 이루어지는 기판에 대해, 스퍼터법 및 스핀 코팅법 등의 여러 가지의 방법을 이용하여 박막을 적층함으로써 제조되어 있다.

일반적으로, 이들 디스크의 소재로 이루어지는 기판은 그 공급시에 있어서, 이미 중앙부에 관통 구멍이 형성되어 있다. 이후의 박막 형성 공정에서는, 통상 이 중앙 구멍을 이용하여 막 형성 장치 등으로의 반입, 반출 및 막 형성 장치 등에 있어서의 기판의 위치 결정 등의 핸들링이 행해진다. 그러나, 이 중앙 구멍의 존재는 막 형성시에 있어서, 예를 들어 기판 상에 있어서의 박막의 막 두께 혹은 막질의 분포를 저하시킬 우려가 있다. 이로 인해, 일반적으로는 중앙 구멍에 대해 캡 등을 덮어 그 존재가 막 형성 공정에 공급하는 영향을 가능한 한 작게 한 상태에서의 막 형성이 행해진다.

예를 들어, DVD계의 디스크 제조시에 있어서는, 스핀 코팅법을 이용하여 자외선 경화 수지로 이루어지는 박막이 그 막 구성 중 하나로서 형성된다. 구체적으로는, 우선 회전 가능한 테이블 상에 그 중심과 테이블의 회전 중심을 일치시키도록 기판이 탑재된다. 이로 인해, 중앙 구멍을 관통하는 회전축을 이용하거나 혹은 테이블의 회전 중심에 대해 동심형으로 고정되는 캡을 디스크의 중심 구멍에 배치하는 등의 조작에 의해, 기판의 테이블에 대한 위치 결정과 고정이 이루어진다.

다음에, 회전 중 디스크에 대해, 중심 구멍 근방 혹은 캡 단부로부터 디스크 외주를 향해, 연속적으로 수지의 적하가 이루어진다. 적하된 수지는 디스크의 회전에 수반하는 원심력에 의해 확산되고, 그 결과 기판 표면상에 수지 박막의 형성이 행해진다.

이 경우, 회전 중심보다 떨어진 위치에 수지의 적하를 행하지 않을 수 없으므로, 이에 기인한 막 두께의 분포가 발생되고 있었다. 그러나, 현재 일반적으로 기록의 판독 등에 이용되고 있는 적색 레이저광은 비교적 파장이 길기 때문에 이 분포는 허용할 수 없는 범위의 것이었다. 또, 금후 광디스크의 기록 밀도를 보다 높이기 위해, 파장이 짧은 예를 들어 청색 레이저광을 이용한 경우에는, 보다 균일성이 높은 박막을 얻는 것이 필요해진다.

또한, 반사막 등에 이용되는 금속 박막 등은 스퍼터법을 이용하여 형성된다. 상기 방법에 있어서는, 원 형상 기판은 중앙 구멍 부분과 그 외주 부분이 지그에 의해 덮여진 형태로, 진공 용기 중에서 타겟 정면에 고정 및 보유 지지된다. 일반적으로는, 이 타겟에 대해 어느 전압이 공급되고, 이에 의해 타겟과 기판 사이에 방전이 발생되어 플라즈마가 생긴다. 상기 플라즈마 중 이온에 의해 타겟 표면의 타겟 구성 원소가 스퍼터되고, 이 스퍼터 입자가 기판 표면에 부착됨으로써 막 형성이 행해진다.

그 때, 기판 표면에 대해 기판 고정용의 지그가 접촉된 경우, 막 형성시에 박막과 지그 사이에서 이상 방전을 발생시키는 경우가 있다. 이는, 방전에 의해 박막 중 혹은 지그 표면에 축적된 전하가, 축과 막면과의 접촉점으로부터 방출되는 것에 따른다. 또한, 지그가 방전 공간으로 돌출하면, 그 존재에 의해 전계를 비뚤어지게 하고, 그 결과 막 두께 분포에 대해서도 영향을 주는 경우가 생긴다. 이로 인해, 기판 표면과 지그는 항상 일정한 미소 간격을 두고 보유 지지되는 것이 바람직하고, 가능하면 지그 자체를 이용하지 않는 것이 바람직하다.

본 출원인은, 이상의 과제를 해결하는 수단으로서, 즉 상기 스핀 코팅법을 이용하는 공정에 있어서 막 두께 분포를 보다 개선하는 방법으로서, 중앙부에 구멍을 마련하지 않는 기판을 이용한 제조 공정을 제안하고 있다. 상기 기판을 이용한 경우, 스퍼터시에 기판 고정에 이용하는 지그가 감소되므로, 기판 표면과 지그 간격의 일정 보유 지지가 용이해져 이상 방전의 저감도 용이해진다고 생각된다.

스퍼터법에 있어서는, 방전을 타겟과 기판 사이에서 안정되면서 균일하게 유지하기 위해, 접지 전위로 이루어지는 대향 전극이 타겟 표면에 평행하게 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 접지 전위로 이루어지는 기판 홀더는 타겟 표면에 대향하여 배치되어 있고, 또한 방전 공간에 있어서의 전기장을 어지럽히지 않도록, 기판 이면이 기판 홀더 표면에 밀착되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 통상 스퍼터시에 이온 등의 입사 혹은 플라즈마로부터의 방사열에 의해, 기판 온도는 상승한다. 기판의 소재로서 이용되는 폴리카보네이트는 열에 약하기 때문에, 스퍼터시에 기판의 온도 상승을 억제할 필요가 있다. 일반적으로는, 수냉 등으로 된 기판 홀더에 기판 이면을 밀착시킴으로써, 이 온도 상승을 억제하는 것으로 하고 있다.

그러나, 기판에 중앙 구멍이 존재되지 않는 경우, 단순하게 기판 외주만을 고정하는 것만으로는, 기판 홀더에 대해 기판을 밀착시켜 두는 것은 곤란하다고 생각한다. 본 발명은, 이러한 경우에 대처하기 위해 안출된 것으로, 중앙 구멍이 존재하지 않는 원판형 기판을 홀더에 대해 안정적으로 밀착시킬 수 있는 처킹 방법을 제공하는 것이다. 또한, 상기 처킹 방법을 구현화한 스퍼터 장치 및 상기 스퍼터 장치를 이용한 디스크형 기록 매체의 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 스퍼터 장치는 이면 중앙에 돌 기부를 갖는 원판형의 기판을 이용하여 진공 용기 중에 있어서 기판 표면에 막 형성을 행하는 스퍼터 장치이며, 기판 이면과 밀착하는 평탄면으로 이루어지는 기판 받침부와, 기판 받침부 중앙에 설치된 돌기부가 수용되는 오목부를 갖고, 오목부에는 돌기부를 고정 지지하는 고정 수단이 배치되는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 스퍼터 장치에 있어서는 기판 이면 중앙의 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는 원뿔의 일부를 구성하는 대략 원기둥 형상을 갖고, 고정 수단은 볼 플런저로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 스퍼터 장치는 평탄면 외주에 있어서, 기판 표면의 외주를 덮는 마스크를 지지하는 마스크 받침부를 더 갖고, 마스크 받침부는 자력에 의해 상기 마스크를 지지하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 처킹 방법은 이면 중앙에 대략 원기둥 형상의 돌기부를 갖는 원판형의 기판을 이용하여 진공 용기 중에 있어서 기판 표면에 막 형성을 행하는 스퍼터 장치에 있어서의 기판의 처킹 방법이며, 돌기부를 원통형의 내면을 갖는 오목부에 삽입하여 오목부에 배치된 고정 수단에 의해 돌기부의 축심을 오목부의 축심과 일치시키도록 고정하는 동시에, 돌기부를 오목부에 대한 삽입 방향을 향해 압박하여 기판 이면을 오목부 주위로 형성된 평탄면에 밀착시키는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 처킹 방법에 있어서는 기판 이면 중앙의 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는 원뿔의 일부를 구성하는 대략 원기둥 형상을 갖고, 고정 수단은 볼 플런저로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 처킹 방 법에 있어서는 기판 이면을 평탄면에 밀착시킨 후, 자력에 의해 평탄면 외주에 기판 표면의 외주를 덮는 마스크를 고정하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 디스크형 기록 매체의 제조 방법은 이면 중앙부에 대략 원기둥 형상의 돌기부를 갖는 디스크형의 기판을 이용하여 돌기부를, 기판을 보유 지지하는 기판 받침부에 설치된 원통형의 내면을 갖는 오목부에 삽입하여 오목부에 배치된 고정 수단에 의해 돌기부의 축심을 오목부의 축심과 일치시키도록 고정하는 동시에, 돌기부를 오목부에 대한 삽입 방향을 향해 압박하여 기판 이면을 오목부 주위에 형성된 기판 받침부인 평탄면에 밀착시켜 기판 및 마스크를 타겟과 정면으로 마주 대하고, 기판 표면과 타겟 사이에 플라즈마를 발생시켜 타겟을 스퍼터함으로써, 기판 표면에 타겟의 구성 원소를 주성분으로 하는 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 제조 방법에 있어서는 기판 이면 중앙의 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는 원뿔의 일부를 구성하는 대략 원기둥 형상을 갖고, 고정 수단은 볼 플런저로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제조 방법에 있어서는 기판 이면을 평탄면에 밀착시킨 후, 자력에 의해 평탄면 외주에 기판 표면의 외주를 덮는 마스크를 고정하는 것이 바람직하다.

도1은 진공측 반송 아암과 대기측 반송 아암이 대략 정면으로 마주 대한 상태에 있어서의 양자의 단면에 있어서의 개략 구성을 도시하는 도면이다.

도2는 도1에 도시한 진공측 반송 아암과 대기측 반송 아암에 있어서 기판을 교환할 때의 상태를 도시하는 도면이다.

도3은 도2에 있어서의 A부를 확대하여 도시하는 도면이다.

도4는 도2에 있어서의 B부를 확대하여 도시하는 도면이다.

도5는 도4에 있어서의 선5-5에 있어서의 단면을 기판측으로부터 본 상태를 도시하는 도면이다.

본 발명에 관한 기판의 처킹 방법에 대해 이하에 상세하게 서술한다. 상기 처킹 방법을 행할 수 있는 스퍼터 장치에 관한 것으로, 기판 홀더를 갖는 진공측 반송 아암의 대략 단면도와, 상기 진공측 반송 아암에 대략 정면으로 마주 대하여 상기 기판 홀더 사이에서 기판의 전달을 행하는 대기측 반송 아암의 대략 단면도를 도1에 도시한다. 또한, 이들 구성에 의해 기판의 전달이 행해진 상태의 대략 단면도를 도2에, 도2에 있어서의 A부의 확대도를 도3에, B부의 확대도를 도4에, 도4에 있어서의 단면 5-5를 기판 방향으로부터 본 도면을 도5에 각각 도시한다.

본 발명에 있어서 이용되는 기판(10)은 막 형성면의 이면 중앙부에 돌기부(11)가 형성되어 있다. 상기 돌기부는 기판 중심과 그 축심이 일치하고, 또한 그 직경이 기판으로부터 떨어짐에 따라서 확대한 원뿔의 일부를 구성하는 형상을 갖고 있다. 진공측 반송 아암(20)에 있어서의 기판 홀더(21)는 기판 이면에 대응하는 기판 받침부(22)와, 그 외주에 배치된 마스크 받침부(26)로 구성된다. 기판 받침부(22)는 대략 원형의 평탄면과 그 중앙에 설치된 내면이 원통 형상이 되는 오목부(23)를 갖고 있다.

도4 및 도5에 도시한 바와 같이, 오목부(23)에는 그 원통의 축심과는 수직이 되는 방향으로 구동하도록 설치된 볼 플런저(24)가 상기 축심을 중심으로 하여 3 방향 등배로 배치되어 있다. 기판 홀더(21)가 기판(10)을 보유 지지할 때에는, 기판 이면의 돌기부(11)는 이 오목부(23)에 삽입되고, 고정 수단인 볼 플런저(24)에 의해 고정 및 지지된다. 그 때, 볼 플런저(24)는 스프링(25)에 의한 압박력의 작용에 의해, 기판 돌기부(11)의 축심과 오목부(23)의 축심이 일치하도록 지지된다.

볼 플런저(24)와 접촉하는 돌기부(11)는 기판 이면에 근접함에 따라서 직경이 가늘어지는 형상을 가짐으로, 볼 플런저(24)로부터 받는 압박력에 의해 상기 돌기부(11)는 오목부(23)의 안 쪽 방향(돌기부의 삽입 방향)을 향해 압입되게 된다. 이 삽입 방향으로 기판(10)을 압입하는 작용에 의해, 기판 이면은 기판 받침부(22)로서 형성된 대략 원형의 평탄면에 밀착하여 보유 지지된다. 또한, 기판 받침부(22)는 수냉 등에 의해 온도 제어가 이루어져 있고, 기판 이면이 이에 밀착함으로써 동시에 기판(10)의 온도 제어도 이루어지게 된다.

마스크(15)는 링형의 형상을 갖고 있고, 그 내주부에는 기판의 외주 단부를 덮기 위해 마스크 플랜지부(16)가 돌출되어 있다. 상기 마스크 플랜지부(16)는, 이를 지지하는 마스크 본체(17)와 기판(11)이 스퍼터링에 의한 막 형성시에 이상 방전을 일으키지 않는 충분한 간격을 비워 두는 폭인 것을 필요로 한다. 또한, 막 형성시에 전계에 미치는 영향을 가능한 한 작게 하기 위해 그 내주 단부에는 테이퍼부가 설치되어 있다.

또한, 마스크 플랜지부(16)의 내주 단부는 기판(10)의 표면 사이에서, 스퍼 터링에 의한 막 형성시에 있어서의 이상 방전의 발생을 방지하기 위해 소정치 이하의 미소 간격을 비워 두고, 또한 이러한 접촉을 피할 필요가 있다. 이로 인해, 마스크 받침부(26)에 있어서 마스크(15)를 지지할 때에, 이들 요건을 충족하기 위해, 마스크 본체(17)의 두께 및 마스크 플랜지부(16)의 두께 혹은 마스크(15)의 지지 방법 등을 방전 조건에 따라서 정하는 것이 필요하다.

본 실시예에 있어서는, 마스크 받침부(26)에 위치된 도시되지 않은 마그네트에 의해, 마스크 받침부(26)에 밀착하여 마스크(15)는 고정 및 지지된다. 이로 인해, 마스크 본체(17) 및 마스크 플랜지부(16)의 두께 조절에 의해, 전술한 요건을 충족시키는 구성으로 하고 있다.

대기측 반송 아암(30)은 기판을 그 표면의 중앙부에 있어서 흡착 및 보유 지지하는 흡착축(31)과, 마스크를 그 표면에 있어서 위치 결정하고 또한 이를 보유 지지하는 마스크 보유 지지부(33)를 갖고 있다. 흡착축(31) 및 마스크 보유 지지부(33)는 대기측 반송 아암(30)에 고정되어 있지만, 마스크(15)에 대해 자력을 미치게 하여 이를 마스크 보유 지지부에 흡착시키는 마그네트(35)는 대기측 반송 아암(30)에 대해 구동 가능하게 되어 있다.

대기측 반송 아암(30)으로 보유 지지된 기판(10)을 진공측 반송 아암(20)으로 교환할 때의 동작에 대해 이하에 서술한다. 우선, 기판(10) 및 마스크(15)를 보유 지지 하지 않은 진공측 반송 아암(20)과, 흡착축(31) 및 마스크 보유 지지부(33)에 의해 기판(10) 및 마스크(15)를 소정 위치로 보유 지지한 대기측 반송 아암(30)이 정면으로 마주 대한다. 이 상태에서, 대기측 반송 아암(30)이 진공측 반송 아암(20)에 근접하여, 소정 간격으로 이루어진 상태로 정지한다. 그 때, 기판 돌기부(11)는 진공측 반송 아암(20)에 있어서의 기판 받침부(22)의 오목부(23)에 삽입되고, 그 선단부가 볼 플런저(24)보다도 오목부 속에 위치한 상태가 된다.

여기서, 흡착축(31)에 의한 기판(10)의 보유 지지를 해제하면, 볼 플런저(24)에 의한 압박력에 의해 기판 돌기부(11)는 그 삽입 방향으로 압입되고, 기판 이면이 기판 받침부(22)의 평탄면에 밀착한 상태로 고정 및 보유 지지된다. 다음에, 대기측 반송 아암(30)의 마그네트(35)가 퇴피되어 마스크(15)가 마스크 보유 지지부(33)로부터 이탈 가능해진다. 이 상태에서, 이미 마스크(15)에 대해 마스크 받침부(26)에 있어서의 도시하지 않은 마그네트로부터의 자력이 작용하고 있으므로, 마스크(15)는 그 자세를 바꾸는 일 없이 마스크 받침부(26)에 흡착 및 보유 지지된다.

그 후, 대기측 반송 아암(30)은 퇴피하여, 새롭게 도시하지 않은 타겟 보유 지지 유닛이 진공측 반송 아암(20)에 대해 소정 위치에 정면으로 마주 대하고, 진공측 반송 아암(20)과 조합하여 스퍼터 막 형성실을 구성하여 막 형성 프로세스가 실행된다. 막 형성 프로세스 종료 후, 타겟 보유 지지 유닛의 퇴피 및 대기측 반송 아암(30)의 진공측 반송 아암(20)에 대한 정면으로 마주 대하는 것이 차례로 행해지고, 상술한 기판(10)의 교환과는 반대의 순서에 의해, 진공측 반송 아암(20)으로부터 대기측 반송 아암(30)으로의 기판(10)의 전달이 행해진다.

이상 구성의 채용에 의해, 중앙 구멍을 갖지 않은 기판을 이용해도, 접지 전위로 이루어지는 기판 홀더(21)를 타겟 표면에 대향하여 배치하고, 또한 기판 이면 을 기판 홀더 표면 즉 기판 받침부(26) 표면에 밀착시키는 것이 가능해진다. 또, 수냉 등으로 된 기판 받침부(26) 표면에 기판 이면을 밀착시킴으로써 스퍼터시에 있어서의 기판의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 마스크 내주 단부와 기판 표면과의 간격을 소정치로 하는 것이 용이해져 이상 방전 등을 감소시키는 것이 가능해진다.

또, 본 실시예에 있어서는 볼 플런저(24)의 작용 방향은 오목부(23)의 축심과 수직의 방향으로 하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 축심의 방향과 다른 방향으로 작용하는 것으로 하면 좋다. 또한, 하나의 오목부(23)에 대해 3개의 볼 플런저(24)를 배치하고 있지만, 돌기부(11)를 오목부 중심으로 고정 및 지지하는 것이 가능하면, 그 개수는 3개로 한정되지 않는다. 또한, 돌기부(11)의 고정 및 보유 지지에 볼 플런저를 이용하고 있지만, 마찬가지의 작용을 갖는 것이면 상기 구성은 볼 플런저로 한정되지 않는다.

또한, 단순히 볼 플런저의 작용에 의해서만 기판을 삽입 방향으로 압입하는 것은 아니며, 오목부에 연통하는 배기 포트를 설치하여 대기 중에서 대기측 반송 아암으로부터 진공측 반송 아암에 기판을 교환할 때에 기판을 일시적으로 진공 흡착하는 구성으로서도 좋다. 또한, 기판 이면에 설치된 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는, 축 방향의 단면이 사다리꼴이 되는 형상을 갖고 있지만, 전술한 진공 흡착 등에 의해 기판 이면을 기판 받침부의 평탄면에 밀착 가능하면, 상기 형상으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 원통형의 돌기 혹은 대략 원통형의 돌기이며 볼 플런저의 선단부가 약간 끼워지는 오목부가 설치된 것 등 , 볼 플런저에 의해 고정 가능해진다는 여러 가지의 형상을 돌기부에 대해 이용하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명은 단순히 광디스크 등의 제조 방법으로서 이용되는 것뿐만 아니라, 중앙부의 제거 공정 후에 실시되는 제품, 예를 들어 하드 디스크 등 원판형의 부재 모든 제조 공정에 대해서도 적응 가능하다.

본 발명의 실시에 의해, 중앙 구멍이 존재되지 않는 원판형 기판을 홀더에 대해 안정적으로 밀착시켜 보유 지지하는 것이 가능해진다. 이에 의해, 스핀 코팅법에 의한 막 형성 공정뿐만 아니라, 스퍼터법에 의한 막 형성 공정에 있어서 중앙 구멍이 존재되지 않는 원판형 기판에 대해 박막 형성을 행하는 것이 가능해지고, 막 두께 및 막질의 균일성이 보다 높은 박막을 얻는 것이 가능해진다. 또, 스퍼터법에 있어서의 기판의 보유 지지 부품을 줄임으로써, 막 형성 공정에 있어서의 이상 방전의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.

Claims (12)

1. 이면 중앙에 돌기부를 갖는 원판형의 기판을 이용하여 진공 용기 중에 있어 상기 기판 표면에 막 형성을 행하기 위해 상기 기판을 처킹하는 장치이며,

   상기 기판 이면과 밀착하는 평탄면으로 이루어지는 기판 받침부와,

   상기 기판 받침부 중앙에 설치된 상기 돌기부가 수용되는 오목부를 갖고, 상기 오목부에는 상기 돌기부를 고정 지지하는 고정 수단이 배치되어 있고, 상기 고정 수단은 상기 돌기부와 협동하여 상기 돌기부를 상기 오목부에 대해 압입하는 작용을 나타내는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판 이면 중앙의 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는 원뿔의 일부를 구성하는 대략 원기둥 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 고정 수단은 볼 플런저로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평탄면 외주에 있어서 상기 기판 표면의 외주를 덮는 마스크를 지지하는 마스크 받침부를 더 갖고, 상기 마스크 받침부는 자력에 의해 상기 마스크를 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 장치.
5. 이면 중앙에 대략 원기둥 형상의 돌기부를 갖는 원판형의 기판을 이용하여 진공 용기 중에 있어서 기판 표면에 막 형성을 행하는 스퍼터 장치에 있어서의 상기 기판의 처킹 방법이며,

   상기 돌기부를 원통형의 내면을 갖는 오목부에 삽입하고,

   상기 오목부에 배치된 고정 수단에 의해, 상기 돌기부의 축심을 상기 오목부의 축심과 일치시키도록 고정하는 동시에, 상기 고정 수단과 상기 돌기부가 협동함으로써 상기 돌기부를 상기 오목부에 대한 삽입 방향을 향해 압박하고,

   상기 기판 이면을 상기 오목부 주위에 형성된 평탄면에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 기판 이면 중앙의 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는 원뿔의 일부를 구성하는 대략 원기둥 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 방법.
7. 제5항에 있어서, 상기 고정 수단은 볼 플런저로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 방법.
8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 이면을 상기 평탄면에 밀착시킨 후, 자력에 의해 상기 평탄면 외주에 상기 기판 표면의 외주를 덮는 마스크를 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 처킹 방법.
9. 디스크형 기록 매체의 제조 방법이며,

   이면 중앙부에 대략 원기둥 형상의 돌기부를 갖는 디스크형의 기판을 이용하고,

   상기 돌기부를, 상기 기판을 보유 지지하는 기판 받침부에 설치된 원통형의 내면을 갖는 오목부에 삽입하고,

   상기 오목부에 배치된 고정 수단에 의해, 상기 돌기부의 축심을 상기 오목부의 축심과 일치시키도록 고정하는 동시에, 상기 고정 수단과 상기 돌기부가 협동함으로써 상기 돌기부를 상기 오목부에 대한 삽입 방향을 향해 압박하고,

   상기 기판 이면을 상기 오목부 주위에 형성된 상기 기판 받침부인 평탄면에 밀착시키고,

   상기 기판 및 마스크를 타겟과 정면으로 마주 대하고,

   상기 기판 표면과 상기 타겟 사이에 플라즈마를 발생시켜 상기 타겟을 스퍼터함으로써, 상기 기판 표면에 상기 타겟의 구성 원소를 주성분으로 하는 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 디스크형 기록 매체의 제조 방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 기판 이면 중앙의 돌기부는 기판 이면으로부터 떨어짐에 따라서 그 직경이 커지는 원뿔의 일부를 구성하는 대략 원기둥 형상을 갖는 것 을 특징으로 하는 디스크형 기록 매체의 제조 방법.
11. 제9항에 있어서, 상기 고정 수단은 볼 플런저로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스크형 기록 매체의 제조 방법.
12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 이면을 상기 평탄면에 밀착시킨 후, 자력에 의해 상기 평탄면 외주에 상기 기판 표면의 외주를 덮는 마스크를 고정하는 것을 특징으로 하는 디스크형 기록 매체의 제조 방법.

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