KR100599549B1 - Film carrier tape for mounting electronic devices thereon - Google Patents

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KR100599549B1
KR100599549B1 KR20040017536A KR20040017536A KR100599549B1 KR 100599549 B1 KR100599549 B1 KR 100599549B1 KR 20040017536 A KR20040017536 A KR 20040017536A KR 20040017536 A KR20040017536 A KR 20040017536A KR 100599549 B1 KR100599549 B1 KR 100599549B1
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스미신이치
사카타켄
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미츠이 긴조쿠 고교 가부시키가이샤
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Abstract

반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성을 향상할 수 있는 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 제공한다. Provided are a flat film carrier tape for mounting electronic components, which can improve reliability during conveyance or mounting on a semiconductor mounting line.

절연층(11)의 표면에 도전층(12)으로 이루어지는 배선 패턴(13)과, 배선 패턴(13)의 양측에 설치된 복수의 스프로킷 홀(14)을 갖고, 또한 스프로킷 홀(14)의 주위에 금속층(16)이 설치된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)에 있어서, 금속층(16)을 절연층(11)의 길이 방향에 따라 실질적으로 연속으로 설치하고, 또한 스프로킷 홀(14) 사이의 영역의 금속층(16)의 폭(w1)[mm]을, 그 스프로킷 홀(14) 폭을 w2[mm]라고 했을 때에 0.3≤w1≤(w2+1.1)의 조건을 만족시키도록 함으로써 금속층(16)과 절연층(11) 사이의 응력이 적당히 개방되어, 반도체 실장 라인의 신뢰성을 향상할 수 있는 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)를 실현할 수 있다. On the surface of the insulating layer 11, the wiring pattern 13 which consists of the conductive layer 12, and the several sprocket holes 14 provided in the both sides of the wiring pattern 13 are provided, and the sprocket hole 14 is surrounded by In the film carrier tape 10 for mounting electronic components provided with the metal layer 16, the metal layer 16 is provided substantially continuously along the longitudinal direction of the insulating layer 11, and the area between the sprocket holes 14 is provided. By satisfying the condition of 0.3 ≦ w 1 ≦ (w 2 +1.1) when the width w 1 [mm] of the metal layer 16 of the metal layer 16 and the width of the sprocket hole 14 are w 2 [mm] The stress between the metal layer 16 and the insulating layer 11 is appropriately opened, so that the flat film carrier tape 10 for mounting electronic components can improve the reliability of the semiconductor mounting line.

절연층, 도전층, 배선 패턴, 스프로킷 홀, 솔더레지스트, 슬릿, COF, 포토레지스트, 포토마스크. Insulating layer, conductive layer, wiring pattern, sprocket hole, solder resist, slit, COF, photoresist, photomask.

Description

전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프{FILM CARRIER TAPE FOR MOUNTING ELECTRONIC DEVICES THEREON}Film carrier tape for electronic component mounting {FILM CARRIER TAPE FOR MOUNTING ELECTRONIC DEVICES THEREON}

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 도시하는 개략도이며, (a)가 평면도이고, (b)가 단면도이고, (c)가 주요부 확대 평면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the film carrier tape for electronic component mounting which concerns on Embodiment 1 of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing, and (c) is a principal part enlarged plan view.

도 2는 본 발명의 실시형태 1에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 제조 방법의 1예를 설명하는 단면도이다. It is sectional drawing explaining one example of the manufacturing method of the film carrier tape for electronic component mounting which concerns on Embodiment 1 of this invention.

도 3은 본 발명의 실시형태 2에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 주요부 확대 평면도이다. 3 is an enlarged plan view of a main part of a film carrier tape for mounting an electronic component according to Embodiment 2 of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시형태 3에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 주요부 확대 평면도이다. It is an enlarged plan view of the principal part of the film carrier tape for electronic component mounting which concerns on Embodiment 3 of this invention.

도 5는 금속층의 폭(w1, w3)과 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량과의 관계를 도시하는 그래프이다. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the widths w 1 and w 3 of the metal layers and the amount of deformation in the wave form after the solder resist layer is formed. FIG.

(부호의 설명)(Explanation of the sign)

10 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프10 Film Carrier Tape for Mounting Electronic Components

11 절연층 12 도전층11 insulating layer 12 conductive layer

13 배선 패턴 14 스프로킷 홀13 Wiring patterns 14 Sprocket Holes

15 솔더레지스트층 16 금속층15 Solder Resist Layer 16 Metal Layer

17 슬릿 20 COF용 적층 필름Laminated Film for 17 Slits 20 COF

21 포토레지스트 재료 도포층21 Photoresist Material Coating Layer

22 포토마스크 23 배선 패턴용 레지스트 패턴22 Photomask 23 Resist Pattern for Wiring Pattern

24 금속층용 레지스트 패턴 24 Resist Pattern for Metal Layer

본 발명은, IC 또는 LSI 등의 전자부품을 실장하기 위해 사용하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the film carrier tape for mounting electronic components used for mounting electronic components, such as IC or LSI.

일렉트로닉스 산업의 발달에 따라, IC(집적회로), LSI(대규모 집적회로) 등의 전자부품을 실장하는 프린트 배선판의 수요가 급격하게 증가하고 있지만, 전자기기의 소형화, 경량화, 고기능화가 요망되고, 이들 전자부품의 실장 방법으로서, 최근에서는 TAB 테이프, T-BGA 테이프, ASIC 테이프 등의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 사용한 실장 방식이 채용되고 있다. 특히, 퍼스널 컴퓨터, 휴대전화 등과 같이, 고세밀화, 박형화, 액정화면의 틀 면적의 협소화가 요망되고 있는 액정표시소자(LCD)를 사용하는 전자산업에서, 그 중요성이 높아지고 있다. BACKGROUND With the development of the electronics industry, the demand for printed wiring boards for mounting electronic components such as ICs (Integrated Circuits) and LSIs (Large Integrated Circuits) is increasing rapidly. However, miniaturization, light weight, and high functionality of electronic devices are required. As a mounting method of an electronic component, the mounting method using the film carrier tape for electronic component mounting, such as TAB tape, T-BGA tape, ASIC tape, is employ | adopted in recent years. In particular, in the electronics industry using liquid crystal display devices (LCDs), such as personal computers, mobile phones, and the like, where high definition, thinness, and narrow frame area of a liquid crystal screen are desired, their importance is increasing.

또, 전자기기의 소형화 등에 따라, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 박형화가 요망되고 있고, 근년, 비교적 막두께가 얇은 절연층을 사용한 COF(칩·온 ·필름) 테이프 등이 제안되고 있다. In addition, with the miniaturization of electronic devices and the like, thinning of film carrier tapes for mounting electronic components has been desired. In recent years, COF (chip-on-film) tapes and the like using insulating layers having a relatively thin film thickness have been proposed.

이와 같은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프는, 예를 들면, 폴리이미드로 이루어지는 절연층의 폭방향 양측에 반송용의 스프로킷 홀 등을 형성하는 공정과, 스프로킷 홀을 사용하여 절연층을 반송하면서 절연층의 한쪽 면에 설치된 동박상에 포토레지스트 도포층을 형성하는 공정과, 포토레지스트 도포층을 노광·현상하는 공정과, 포토레지스트 도포층을 패터닝하여 마스크 패턴을 형성하는 공정과, 마스크 패턴을 통하여 동박을 에칭함으로써 배선 패턴을 형성하는 공정과, 각 배선 패턴상에 솔더레지스트층을 형성하는 공정을 거쳐 제조된다. Such a film carrier tape for mounting an electronic component includes, for example, a step of forming a sprocket hole for conveyance or the like on both sides in a width direction of an insulating layer made of polyimide, and an insulating layer while conveying the insulating layer using the sprocket hole. Forming a mask pattern by forming a photoresist coating layer on the copper foil provided on one side of the film, exposing and developing the photoresist coating layer, patterning the photoresist coating layer, and forming a copper foil through the mask pattern It manufactures through the process of forming a wiring pattern by etching, and the process of forming a soldering resist layer on each wiring pattern.

그렇지만, 상술한 COF 테이프 등과 같은 절연층의 두께가 비교적 얇은 타입에서는, 스프로킷 홀의 강성을 충분히 확보할 수 없어, 반송시에 스프로킷 홀이 변형된다는 문제가 생기고 있었다. However, in the type where the thickness of the insulating layer such as the COF tape described above is relatively thin, the rigidity of the sprocket hole cannot be sufficiently secured, causing a problem that the sprocket hole is deformed at the time of conveyance.

그래서, 이러한 문제를 해결하기 위해서, 각 스프로킷 구멍(스프로킷 홀)의 주위에 전기절연성 가요성 테이프(절연층)의 길이 방향에 걸쳐서 보강층(금속층)을 연속적으로 설치함으로써 테이프 반송 강도를 확보한 구조가 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). Therefore, in order to solve such a problem, the structure which secured tape conveyance strength by providing a reinforcement layer (metal layer) continuously around the each sprocket hole (sprocket hole) over the longitudinal direction of an electrically insulating flexible tape (insulation layer) It is proposed (for example, refer patent document 1).

또한, 상술한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 제조 공정, 특히, 포토레지스트층이나 솔더레지스트층을 형성하는 각 공정 또는 주석 도금 공정에서는, 배선 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 엠보싱을 갖는 스페이서 부재(엠보싱 스페이서 필름)과 함께 필름 캐리어 테이프를 릴에 권취하여 가열하는, 소위 경화(큐어) 공정, 또는 휘스커의 발생을 방지하기 위한 가열 공정이 도입되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). In addition, in the manufacturing process of the above-mentioned film carrier tape for mounting an electronic component, especially each process of forming a photoresist layer or a solder resist layer or a tin plating process, a spacer member having embossing in a region where a wiring pattern is not formed ( A so-called hardening (cure) process or a heating step for preventing the occurrence of whiskers is introduced by winding a film carrier tape to a reel together with an embossed spacer film (see Patent Document 2, for example).

(특허문헌 1)(Patent Document 1)

일본 실개평 4-48629호 공보(제 1도∼제 3도, 실용신안 등록 청구의 범위) Japanese Unexamined Patent Publication No. 4-48629 (Figures 1 to 3, Utility Model Registration Claim)

(특허문헌 2)(Patent Document 2)

일본 특개 2001-77157호 공보(단락[0006])Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2001-77157 (paragraph [0006])

그렇지만, 상술한 보강층이 설치된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에서는, 최종제품인 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 폭방향 양측, 즉, 스프로킷 홀이 존재하는 영역에서 길이 방향에 걸친 높이가 1∼2mm 정도의 파상의 변형이 발생한다는 문제가 있다. However, in the film carrier tape for mounting an electronic component provided with the reinforcing layer described above, the height in the lengthwise direction of both sides of the film carrier tape for mounting the electronic component as the final product, that is, in the region where the sprocket hole is present, is about 1 to 2 mm. There is a problem that the deformation of the wave occurs.

이러한 눈에 띄는 파상의 변형은, 스프로킷 홀의 주위에 보강층을 설치하지 않은 통상의 제품에는 볼 수 없고, 경화 공정 또는 휘스커의 발생을 방지하는 가열 공정에서, 필름 캐리어 테이프에 압력을 부여한 상태에서 금속층과 절연층 사이의 재료적인 물성값의 차이, 예를 들면, 선팽창 계수나 인장 강도, 또는 신장율 등의 차이가 제조 공정중의 가열·냉각 등의 처리 등이 복잡하게 서로 영향을 주어서 발생하는 것으로 생각된다. Such a noticeable wave deformation is not seen in a normal product without a reinforcing layer provided around the sprocket hole, and in the curing step or the heating step to prevent the occurrence of whiskers, the metal layer and It is thought that the difference in material property values between the insulating layers, for example, the difference in linear expansion coefficient, tensile strength, or elongation rate, is caused by complicated influences of treatments such as heating and cooling during the manufacturing process.

그리고, 이와 같이 파상으로 변형된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프는, 반도체 실장 라인에서, 핀 롤러 등으로 원활하게 위치결정 반송할 수 없고, 또, 반송 경로에 설치된 가이드 등에 추종할 수 없어, 전자부품의 실장 불량 등을 초래해버려, 최종적으로는 제품불량으로 되고 만다는 문제가 있다. And the film carrier tape for mounting an electronic component deformed in such a wave form cannot be conveyed by positioning with a pin roller or the like smoothly in a semiconductor mounting line, and cannot follow a guide or the like provided in a conveying path, There is a problem that it leads to poor mounting, etc., resulting in product defects.                         

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여, 반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성을 향상할 수 있는 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 제공하는 것을 과제로 한다. In view of such circumstances, the object of the present invention is to provide a flat film carrier tape for mounting electronic components that can improve the reliability at the time of conveyance or mounting in a semiconductor mounting line.

상기 과제를 해결하는 본 발명의 제 1 태양은, 절연층의 표면에 도전층으로 이루어지는 배선 패턴과, 당해 배선 패턴의 양측에 설치된 복수의 스프로킷 홀을 갖고, 또한 상기 스프로킷 홀의 주위에 금속층이 설치된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있어서, 상기 금속층은, 상기 절연층의 길이 방향을 따라 실질적으로 연속으로 설치되고, 또한 상기 스프로킷 홀 사이의 영역의 상기 금속층의 폭(w1)[mm]은, 당해 스프로킷 홀의 폭을 w2[mm]라고 했을 때에 0.3≤w1≤(w 2+1.1)의 조건을 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있다. The 1st aspect of this invention which solves the said subject has the wiring pattern which consists of a conductive layer on the surface of an insulating layer, and the some sprocket hole provided in the both sides of the said wiring pattern, The electron provided with the metal layer around the said sprocket hole In the film carrier tape for component mounting, the metal layer is provided substantially continuously along the longitudinal direction of the insulating layer, and the width (w 1 ) [mm] of the metal layer in the region between the sprocket holes corresponds to When the width of the sprocket hole is w 2 [mm], the film carrier tape for mounting electronic components is characterized by satisfying the condition of 0.3 ≦ w 1 ≦ (w 2 +1.1).

이러한 제 1 태양에서는, 금속층의 폭(w1)을 소정량으로 함으로써 금속층과 절연층 사이에 발생하는 응력이 적당히 개방되어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 발생하는 파상의 변형이 저감된다. 이것에 의해, 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프가 실현되어, 반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성이 향상된다. In this first aspect, since the width (w 1) of the metal layer by a predetermined amount open properly the stress generated between the metal layer and the insulating layer, is reduced deformation of the wave generated in the film carrier tape and electronic components. Thereby, the flat film carrier tape for electronic component mounting is implement | achieved, and the reliability at the time of conveyance or mounting in a semiconductor mounting line improves.

본 발명의 제 2 태양은, 제 1 태양에서, 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이, (w2+0.2)≤w3≤(w2+1.6)의 조건을 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있다. In the second aspect of the present invention, in the first aspect, the width (w 3 ) [mm] of the metal layer in the region where the sprocket hole is present is (w 2 +0.2) ≦ w 3 ≦ (w 2 +1.6) The film carrier tape for electronic component mounting is satisfied.

이러한 제 2 태양에서는, 절연층과 금속층 사이에 발생하는 응력이 적당히 개방되어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 발생하는 파상의 변형이 보다 효과적으로 저감된다. In this 2nd aspect, the stress which arises between an insulating layer and a metal layer is moderately opened, and the deformation | transformation of the wave form which arises in the film carrier tape for electronic component mounting is reduced more effectively.

본 발명의 제 3 태양에서는, 제 2 태양에서, 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이, (w2+0.2)≤w3≤(w2+1.1)의 조건을 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있다. In a third aspect of the present invention, in the second aspect, the width w 3 [mm] of the metal layer in the region where the sprocket hole is present is (w 2 +0.2) ≤ w 3 ≤ (w 2 +1.1) The film carrier tape for electronic component mounting is satisfied.

이러한 제 3 태양에서는, 절연층과 금속층 사이에 발생하는 응력이 적당히 개방되어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 발생하는 파상의 변형이 보다 효과적으로 저감된다. In this 3rd aspect, the stress which arises between an insulating layer and a metal layer is moderately opened, and the deformation | transformation of the wave form which arises in the film carrier tape for electronic component mounting is reduced more effectively.

본 발명의 제 4 태양은, 제 1∼3중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 금속층의 폭(w1)[mm]과 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이 w1<w3의 관계를 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있다. According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the width (w 1 ) [mm] of the metal layer and the width (w 3 ) [mm] of the metal layer in a region where the sprocket hole is present. ] is in the film carrier tape for mounting electronic components w 1, characterized in that to satisfy the relation of <w 3.

이러한 제 4 태양에서는, 절연층과 금속층 사이에 발생하는 응력이 적당히 개방되어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 발생하는 파상의 변형이 보다 효과적으로 저감된다. In this fourth aspect, the stress generated between the insulating layer and the metal layer is appropriately opened, and the deformation of the wave shape generated in the film carrier tape for electronic component mounting is more effectively reduced.

본 발명의 제 5 태양은, 제 1∼4중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있다. In the fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of the insulating layer by slits provided for each of the sprocket holes of a predetermined number. It is on the mounting film carrier tape.

이러한 제 5 태양에서는, 절연층과 금속층 사이에 발생하는 응력이 적당히 개방되어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 발생하는 파상의 변형이 보다 효과적으로 저감된다. In this fifth aspect, the stress generated between the insulating layer and the metal layer is appropriately opened, so that the deformation of the wave shape generated in the film carrier tape for electronic component mounting is more effectively reduced.

본 발명의 제 6 태양은, 제 1∼5중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 금속층과 상기 스프로킷 홀의 개구 가장자리부 사이에는, 상기 금속층이 존재하지 않는 영역이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있다. In the sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects, an area in which the metal layer does not exist is provided between the metal layer and the opening edge portion of the sprocket hole. Is in the film carrier tape.

이러한 제 6 태양에서는, 각 스프로킷 홀의 개구 둘레 가장자리에 금속층이 설치되어 있지 않으므로, 제조 또는 실장 때, 각 스프로킷 홀에 삽입되는 핀 롤러나 위치결정 핀 등과 금속층이 접촉하여 단락의 원인이 되는 금속편이나 금속분 등이 발생하는 일은 없다. In this sixth aspect, since the metal layer is not provided at the periphery of the opening of each sprocket hole, the metal piece or the metal powder which contacts the pin roller, positioning pin, etc. which are inserted into each sprocket hole at the time of manufacture or mounting, and causes a short circuit, and causes a short circuit. Back does not occur.

(발명의 실시형태)Embodiment of the Invention

이하, 본 발명을 실시형태에 기초하여 상세히 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail based on embodiment.

(실시형태 1)(Embodiment 1)

도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 도시하는 개략도이며, (a)가 평면도이고, (b)가 단면도이고, (c)가 주요부 확대 평면도이다. 1 is a schematic diagram showing a film carrier tape for mounting an electronic component according to Embodiment 1 of the present invention, (a) is a plan view, (b) is a sectional view, and (c) is an enlarged plan view of a main part.

도시하는 바와 같이, 본 실시형태의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)는, COF 필름 캐리어 테이프이며, 테이프 형상의 절연층(11)의 한쪽 면측에 설치된 도전층(12)으로 이루어지는 배선 패턴(13)과, 배선 패턴(13)의 폭방향 양측에 설치된 복수의 스프로킷 홀(14)을 갖는다. As shown, the film carrier tape 10 for electronic component mounting of this embodiment is a COF film carrier tape, and the wiring pattern which consists of the conductive layer 12 provided in one surface side of the tape-shaped insulating layer 11 ( 13 and a plurality of sprocket holes 14 provided on both sides in the width direction of the wiring pattern 13.

배선 패턴(13)은, 절연층(11)의 표면에 연속적으로 설치되어 있다. 또한, 이러한 배선 패턴(13)은, 상세하게는 후술하지만, 절연층(11)의 표면에 설치된 도전층(12)상에 포토레지스트 도포후, 노광·현상, 및 에칭에 의해 도전층(12)을 패터닝 함으로써 형성되고 있다. The wiring pattern 13 is continuously provided on the surface of the insulating layer 11. In addition, although the wiring pattern 13 is mentioned later in detail, the conductive layer 12 by exposure, image development, and etching after photoresist application on the conductive layer 12 provided in the surface of the insulating layer 11 is carried out. It is formed by patterning.

또, 배선 패턴(13)상에는, 솔더레지스트 재료 도포 용액을 스크린 인쇄법으로 도포하여 형성한 솔더레지스트층(15)이 설치되어져 있다. 즉, 배선 패턴(13)의 중앙부에는, 도 1(a)에 도시하는 바와 같이, 각각, 반도체 칩을 실장하는 부분에 배선 패턴(13)의 일부인 이너 리드(13a)가 뻗어 설치되어 있다. 한편, 이 이너 리드(13a)와는 반대측의 솔더레지스트층(15)의 외측에는, 배선 패턴(13)의 일부이고, 외부접속용 단자부가 되는 아우터 리드(13b)가 뻗어 설치되어 있다. Moreover, on the wiring pattern 13, the soldering resist layer 15 formed by apply | coating the soldering resist material coating solution by the screen printing method is provided. That is, the inner lead 13a which is a part of the wiring pattern 13 extends and is provided in the center part of the wiring pattern 13, respectively, as shown to FIG. 1 (a). On the other hand, the outer lead 13b which is a part of the wiring pattern 13 and becomes a terminal part for external connection is provided outside the solder resist layer 15 on the opposite side to the inner lead 13a.

여기에서, 절연층(11)의 재료로서는, 예를 들면, 폴리이미드 이외에, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리에테르술폰, 액정 폴리머 등을 사용할 수 있는데, 특히, 피로멜리트산2무수물과 방향족 디아민으로부터 합성되는 전방향족 폴리이미드(예를 들면, 상품명: 카프톤; 도레·듀퐁(주)제), 비페닐 골격을 갖는 전방향족 폴리이미드(예를 들면, 상품명: 유피렉스; 우베코산(주)제)을 사용하는 것이 바람직하다. 이와 같은 절연층(11)의 두께는, 일반적으로는, 12.5∼125㎛이며, 바람직하게는, 12.5∼75㎛, 더욱 바람직하게는 12.5∼50㎛이다. Here, as the material of the insulating layer 11, for example, polyester, polyamide, polyether sulfone, liquid crystal polymer and the like can be used in addition to polyimide, and in particular, it is synthesized from pyromellitic dianhydride and aromatic diamine. The wholly aromatic polyimide (for example, brand name: kafton; the product made by Toray Dupont), the wholly aromatic polyimide which has a biphenyl skeleton (for example, brand name: Eupyrex; product made by Ubekosan Co., Ltd.) Preference is given to using. The thickness of such insulating layer 11 is generally 12.5-125 micrometers, Preferably it is 12.5-75 micrometers, More preferably, it is 12.5-50 micrometers.

한편, 도전층(12)의 재료로서는, 구리 이외에, 알루미늄, 금, 은 등을 사용할 수도 있는데, 구리층이 일반적이다. 또, 구리층으로서는, 증착이나 도금으로 형성한 구리층, 전해 동박, 압연 동박 등 어느쪽도 사용할 수 있다. 도전층(12)의 두께는, 일반적으로는, 1∼70㎛이며, 바람직하게는, 5∼35㎛이다. In addition, although aluminum, gold, silver, etc. can also be used as a material of the conductive layer 12, a copper layer is common. Moreover, as a copper layer, all, such as the copper layer formed by vapor deposition and plating, an electrolytic copper foil, and a rolled copper foil, can be used. The thickness of the conductive layer 12 is generally 1-70 micrometers, Preferably it is 5-35 micrometers.

또, 스프로킷 홀(14)의 주위에는, 반도체실장 라인의 위치결정 반송에 있어서 각 스프로킷 홀(14)을 보강하기 위한 금속층(16)이 설치되어 있다. 즉, 금속층(16)은, 절연층(11)의 폭방향 양측에 설치된 복수의 스프로킷 홀(14)의 주위에, 배선 패턴(13)과는 불연속이고 또한 절연층(11)의 길이 방향을 따라 연속적으로 설치되어 있다. 그리고, 이 금속층(16)은, 예를 들면, 본 실시형태에서는, 도전층(12)을 패터닝 함으로써 배선 패턴(13)과 함께 형성되어, 각 스프로킷 홀(14)의 강도를 확보하기 위한 더미 배선 등으로서 사용된다. Moreover, around the sprocket hole 14, the metal layer 16 for reinforcing each sprocket hole 14 in the positioning conveyance of a semiconductor mounting line is provided. That is, the metal layer 16 is discontinuous with the wiring pattern 13 around the plurality of sprocket holes 14 provided on both sides in the width direction of the insulating layer 11 and along the longitudinal direction of the insulating layer 11. It is installed continuously. And this metal layer 16 is formed with the wiring pattern 13 by patterning the conductive layer 12 in this embodiment, for example, and the dummy wiring for ensuring the intensity | strength of each sprocket hole 14 is carried out. And the like.

여기에서, 본 발명에서는, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w1)[mm]이, 스프로킷 홀(14)의 폭을 w2라고 했을 경우에 0.3≤w1≤(w2+1.1), 바람직하게는, 0.5≤w1≤(w2+1.0)의 조건을 만족시키도록 한다(도 1(c) 참조). 예를 들면, 본 실시형태에서는, 금속층(16)의 폭(w1)을 2.4mm로 했다. 여기에서, 금속층의 폭의 최소값을 0.3mm로 한 것은, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 강성을 확보하여, 원하는 테이프 반송 강도를 얻기 위해서이다. Here, in the present invention, the width w 1 [mm] of the metal layer 16 in the region between each sprocket hole 14 is 0.3 ≦ w when the width of the sprocket hole 14 is defined as w 2 . 1 ? (W 2 +1.1), preferably 0.5? W 1 ? (W 2 +1.0) to satisfy the condition (see Fig. 1 (c)). For example, in this embodiment, the width w 1 of the metal layer 16 was 2.4 mm. Here, the minimum value of the width of the metal layer is set to 0.3 mm in order to secure the rigidity between the sprocket holes 14 and to obtain a desired tape conveyance strength.

또, 본 발명에서는, 스프로킷 홀(14)이 존재하는 영역의 금속층(16)의 폭(w3)[mm]이, 스프로킷 홀(14)의 폭을 w2라고 했을 경우에 (w2+0.2)≤w 3≤(w2+1.6) 의 조건을 만족시키는 것이 바람직하고, 더욱 바람직한 조건으로서는, (w2+0.2)≤w3≤(w2+1.1)이다. 예를 들면, 본 실시형태에서는, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w1)과, 스프로킷 홀(14)이 존재하는 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w3)을 동일 폭, 즉, w1=w3로 했다. 여기에서, 금속층(16)의 폭(w3)의 최소값을 w2+0.2mm로 한 것은, 각 스프로킷 홀(14)의 강성을 확보하여, 원하는 테이프 반송 강도를 얻기 위함이다. In the present invention, when the width w 3 [mm] of the metal layer 16 in the region where the sprocket hole 14 is present, the width of the sprocket hole 14 is defined as w 2 (w 2 +0.2) It is preferable to satisfy the condition of? ≦ w 3 ≦ (w 2 +1.6), and more preferable conditions are (w 2 +0.2) ≦ w 3 ≦ (w 2 +1.1). For example, in the present embodiment, the width w 1 of the metal layer 16 in the region between each sprocket hole 14 and the width (the width of the metal layer 16 in the region where the sprocket hole 14 exists) w 3 ) was the same width, that is, w 1 = w 3 . Here, the minimum value of the width w 3 of the metal layer 16 is set to w 2 +0.2 mm in order to secure the rigidity of each sprocket hole 14 and obtain a desired tape conveyance strength.

또한, 각 스프로킷 홀(14)의 폭방향 일방측에 있는 금속층(16)의 폭과, 타방측에 있는 금속층(16)의 폭과의 관계에 대해서는, 동일 폭인 것이 바람직한데, 물론, 동일 폭이 아니어도 좋다. 또, 금속층(16)은, 절연층(11)의 폭방향 양측단부보다도 내측에 설치하는 것이 바람직하다. 이것은, 제조 또는 실장 때, 금속층(16)이 반송 경로에 설치된 가이드 등에 접촉하여 금속편이나 금속분 등이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. In addition, about the relationship between the width | variety of the metal layer 16 in the width direction one side of each sprocket hole 14, and the width | variety of the metal layer 16 in the other side, it is preferable that it is the same width. It may not be. Moreover, it is preferable to provide the metal layer 16 inside inner side of the width direction both ends of the insulating layer 11. This is to prevent a metal piece, metal powder, or the like from being generated when the metal layer 16 comes into contact with a guide or the like provided in the conveying path during manufacture or mounting.

여기에서, 스프로킷 홀(14)의 폭(w2)에 대해서는, EIAJ(일본전자기계공업회)규격에 의해 테이프(절연층(11)) 폭이 35mm, 48mm에서는 1.42±0.03mm, 테이프 폭이 70mm에서는 1.98±0.03mm로 표준값이 각각 규정되어 있다. 스프로킷 홀(14)의 피치에 대해서는, 4.75±0.05mm로 표준값이 규정되어 있다. Here, as for the width w 2 of the sprocket hole 14, the tape (insulation layer 11) width is 1.42 ± 0.03mm and the tape width is 70mm according to EIAJ (Japan Electromechanical Industry Association) standard at 35 mm and 48 mm width. In Eq. 1.98 ± 0.03 mm, the standard values are specified. As for the pitch of the sprocket hole 14, a standard value is defined at 4.75 ± 0.05 mm.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 적어도 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w1)을 소정량으로 제한함으로써 후술하는 경화 공정에서, 금속층(16)과 절연층(11) 사이에 발생하는 응력이 적당하게 개방되고, 최종제품인 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)의 폭방향 양측에서 길이 방향에 걸쳐서 발생하는 파상의 변형을 저감할 수 있다. 즉, 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)를 실현할 수 있어, 반도체 실장 라인의 신뢰성을 향상할 수 있다. As described above, in the present embodiment, the metal layer 16 is insulated from the metal layer 16 in the curing step described later by restricting the width w 1 of the metal layer 16 in the region between each of the sprocket holes 14 to a predetermined amount. The stress generated between the layers 11 can be appropriately opened, and it is possible to reduce the deformation of the wave shape occurring in the longitudinal direction on both sides in the width direction of the film carrier tape 10 for electronic component mounting, which is the final product. That is, the flat film carrier tape 10 for mounting electronic components can be realized, and the reliability of the semiconductor mounting line can be improved.

또, 테이프 전체의 강성이 지나치게 커지는 일이 없기 때문에, 반송 경로가 만곡해 있을 경우라도, 테이프 자체가 자유롭게 반송 경로에 추종할 수 있어, 적합하게 반송할 수 있다. Moreover, since the rigidity of the whole tape does not become large too much, even when a conveyance path is curved, the tape itself can follow a conveyance path freely and can convey it suitably.

더욱이, 이러한 구성의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)는, 예를 들면, 반도체 5∼l0개분에 상당하는 크기이고 또한 스트립 형상으로 절단한 것을 실장 장치에 공급하여 반도체 등의 전자부품이 실장된다. 이때, 스프로킷 홀(14)의 주위에 금속층(16)이 설치되어 있으므로, 스프로킷 홀(14)의 강성을 확보할 수 있고, 고정밀도로 전자부품을 실장할 수 있다. In addition, the film carrier tape 10 for mounting electronic components having such a configuration is, for example, supplied with a size corresponding to 5 to 10 semiconductors and cut into strips to a mounting apparatus to mount electronic components such as semiconductors. do. At this time, since the metal layer 16 is provided around the sprocket hole 14, the rigidity of the sprocket hole 14 can be ensured and an electronic component can be mounted with high precision.

여기에서, 도 2를 참조하여, 상술한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)의 제조 방법의 1예를 설명한다. 또한, 도 2는, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 하나의 제조 방법을 설명하는 단면도이다. Here, with reference to FIG. 2, an example of the manufacturing method of the film carrier tape 10 for electronic component mounting mentioned above is demonstrated. 2 is sectional drawing explaining one manufacturing method of the film carrier tape for electronic component mounting.

본 실시형태의 제조 방법에서는, 후술하는 각 제조 프로세스의 후에, 도시하지 않지만, 배선 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 요철부를 갖는 엠보싱 스페이서 필름을 필름 캐리어 테이프(COF 적층 필름)와 함께 릴에 감아서, 필요에 따라서, 가열하는 경화 공정을 도입하고 있다. In the manufacturing method of this embodiment, after each manufacturing process mentioned later, although not shown in figure, the embossed spacer film which has an uneven part in the area | region where a wiring pattern is not formed is wound with a film carrier tape (COF laminated | multilayer film) in a reel, In addition, the hardening process to heat is introduced as needed.

우선, 도 2(a)에 도시하는 바와 같이, 절연층(11)상에 도전층(12)을 형성한 COF용 적층 필름(20)을 준비한다. First, as shown to Fig.2 (a), the COF laminated | multilayer film 20 in which the conductive layer 12 was formed on the insulating layer 11 is prepared.

다음에, 도 2(b)에 도시하는 바와 같이, 펀칭 등에 의해, 절연층(11) 및 도전층(12)을 관통시켜서 스프로킷 홀(14)을 형성한다. 이 스프로킷 홀(14)은, 절연층(11)의 표면상으로부터 형성해도 좋고, 또, 절연층(11)의 이면으로부터 형성해도 좋다. Next, as shown in FIG. 2B, the sprocket hole 14 is formed by penetrating the insulating layer 11 and the conductive layer 12 by punching or the like. This sprocket hole 14 may be formed from the surface of the insulating layer 11, and may be formed from the back surface of the insulating layer 11.

다음에, 도 2(c)에 도시하는 바와 같이, 일반적인 포토리소그래피법을 사용하여, 도전층(12)상의 배선 패턴(13)이 형성되는 영역에 걸쳐서 포토레지스트 재료 도포 용액을 도포하고, 그 후, 약 60∼100℃에서 가열 경화시켜서 포토레지스트 재료 도포층(21)을 형성한다. 더욱이, 스프로킷 홀(14)내에 위치 결정 핀을 삽입하여 절연층(11)의 위치결정을 행한 후, 포토마스크(22)를 통하여 노광·현상함으로써, 포토레지스트 재료 도포층(21)을 패터닝하고, 도 2(d)에 도시하는 바와 같은 배선 패턴용 레지스트 패턴(23)을 형성한다. Next, as shown in Fig. 2 (c), a photoresist material coating solution is applied over a region where the wiring pattern 13 on the conductive layer 12 is formed using a general photolithography method. And heat-cure at about 60-100 degreeC, and the photoresist material application layer 21 is formed. Furthermore, after positioning the insulating layer 11 by inserting a positioning pin into the sprocket hole 14, the photoresist material coating layer 21 is patterned by exposing and developing through the photomask 22. The wiring pattern resist pattern 23 as shown in Fig. 2 (d) is formed.

이어서, 도 2(d)에 도시하는 바와 같이, 예를 들면, 본 실시형태에서는, 전사법을 사용하여, 레지스트 재료 도포 용액을 스프로킷 홀(14)에 대응하는 영역에 부분적으로 도포하고, 금속층(16)을 형성하기 위한 금속층용 레지스트 패턴(24)을 형성한다. 예를 들면, 본 실시형태에서는, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w1)과 스프로킷 홀(14)이 존재하는 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w3)을 동일 폭, 즉, w1=w3이 되도록 금속층용 레지스트 패턴(24)을 형성했다. 또한, 금속층용 레지스트 패턴(24)은, 배선 패턴용 레지스트 패턴(23)을 형성하기 전에 형성해도 좋고, 스프로킷 홀(14)을 형성하기 전에 전사법으로 별도 형성해도 좋다. 물론, 배선 패턴용 레지스트 패턴(23)과 금속층용 레지스트 패턴(24)을 동시에 형성해도 좋다. Subsequently, as shown in FIG. 2 (d), for example, in the present embodiment, the resist material coating solution is partially applied to the region corresponding to the sprocket hole 14 by using a transfer method, and the metal layer ( 16), a resist pattern 24 for metal layer is formed. For example, in this embodiment, the width w 1 of the metal layer 16 in the area | region between each sprocket hole 14, and the width w of the metal layer 16 in the area | region where the sprocket hole 14 exists. 3) to form the same width, i.e., w 1 = w 3 such that the metal layer resist pattern for 24. In addition, the resist pattern 24 for metal layers may be formed before forming the resist pattern 23 for wiring patterns, and may be separately formed by the transfer method before forming the sprocket hole 14. Of course, the resist pattern 23 for wiring patterns and the resist pattern 24 for metal layers may be formed simultaneously.

다음에, 배선 패턴용 레지스트 패턴(23) 및 금속층용 레지스트 패턴(24)을 마스크 패턴으로 하고 도전층(12)을 에칭액으로 용해하여 제거하고, 더욱 배선 패턴용 레지스트 패턴(23) 및 금속층용 레지스트 패턴(24)을 알칼리 용액 등으로 용해 제거함으로써, 도 2(e)에 도시하는 바와 같이 배선 패턴(13)과 금속층(16)을 형성한다. Next, the wiring pattern resist pattern 23 and the metal layer resist pattern 24 are used as mask patterns, and the conductive layer 12 is dissolved and removed with an etching solution. The wiring pattern resist pattern 23 and the metal layer resist are further removed. By dissolving and removing the pattern 24 with an alkaline solution or the like, the wiring pattern 13 and the metal layer 16 are formed as shown in Fig. 2E.

이어서, 도 2(f)에 도시하는 바와 같이, 배선 패턴(13) 및 금속층(16)의 면상에 주석 도금층(도시하지 않음)을 형성한 후, 엠보싱 스페이서를 사이에 끼어서 릴에 권취하고, 약 80∼200℃에서 가열처리를 행한다. 이것에 의해, 휘스커의 발생이 방지된다. 이어서, 예를 들면, 스크린 인쇄법을 사용하여, 솔더레지스트층(15)을 형성한다. 예를 들면, 본 실시형태에서는, 배선 패턴(13)의 중앙부를 둘러싸도록 솔더레지스트층(15)을 형성함으로써, 배선 패턴(13)의 중앙부에 이너 리드(13a)를 형성하고, 솔더레지스트층(15)의 외측에 아우터 리드(13b)를 형성한다. 이것을, 엠보싱 스페이서를 사이에 끼우고 릴에 권취하고, 약 100∼200℃에 가열하여 경화시킨다. 이것에 의해, 도 1에 도시하는 바와 같은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)가 완성된다. Subsequently, as shown in Fig. 2 (f), after forming a tin plating layer (not shown) on the surfaces of the wiring pattern 13 and the metal layer 16, the embossed spacer is sandwiched between and wound around the reel, The heat treatment is performed at 80 to 200 ° C. This prevents the occurrence of whiskers. Next, the soldering resist layer 15 is formed using the screen printing method, for example. For example, in this embodiment, by forming the soldering resist layer 15 so that the center part of the wiring pattern 13 may be surrounded, the inner lead 13a is formed in the center part of the wiring pattern 13, and the soldering resist layer ( The outer lead 13b is formed outside the 15. This is wound up in a reel with an embossed spacer sandwiched therebetween, and heated to about 100 to 200 ° C to cure. Thereby, the film carrier tape 10 for electronic component mounting as shown in FIG. 1 is completed.

이러한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)의 각 제조 프로세스, 특히, 각 레지스트 패턴(23, 24)을 형성하는 공정, 솔더레지스트층(15)을 형성하는 공정에 도입된 경화 공정에서, 본 실시형태에서는, 적어도 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16)의 폭(w1)을 소정량으로 제한함으로써 절연층(11)과 금속층(16) 사이에 발생하는 내부 응력을 적당히 개방할 수 있다. 이 때문에, 이러한 응력에 의해, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)의 폭방향양측에서 길이 방향에 걸쳐서 발생하는 파상의 변형을 저감할 수 있다. 즉, 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)를 실현할 수 있다. 또, 금속층(16)에 의해 스프로킷 홀(14)의 강성을 높일 수 있어, 충분한 테이프 반송 강도를 확보할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 전자부품 등을 실장할 때, 스프로킷 홀(14)에 핀 롤러 등을 삽입하여 원활하게 위치결정 반송할 수 있는 동시에 반송 경로에 설치된 가이드 등에 추종할 수 있어, 반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성을 향상할 수 있다. In the manufacturing process of the film carrier tape 10 for mounting electronic components, in particular, the step of forming the resist patterns 23 and 24 and the curing step introduced in the step of forming the solder resist layer 15, the present embodiment is carried out. In the form, the internal stress generated between the insulating layer 11 and the metal layer 16 is appropriately opened by limiting the width w 1 of the metal layer 16 in the region between each of the sprocket holes 14 to a predetermined amount. can do. For this reason, the deformation | transformation of the wave shape generate | occur | produces over the longitudinal direction in the width direction both sides of the film carrier tape 10 for electronic component mounting can be reduced by such a stress. That is, the flat film carrier tape 10 for mounting electronic components can be realized. Moreover, the rigidity of the sprocket hole 14 can be improved by the metal layer 16, and sufficient tape conveyance strength can be ensured. Therefore, for example, when mounting an electronic component or the like, a pin roller or the like can be inserted into the sprocket hole 14 to smoothly carry out positioning conveyance, and can also follow a guide or the like installed in a conveying path, thereby providing a semiconductor mounting line. The reliability at the time of conveyance or mounting can be improved.

또한, 본 실시형태에서는, 상술한 바와 같이, 금속층(16)을 절연층(11)의 길이 방향에 걸쳐서 동일 폭으로 연속적으로 설치했지만, 물론, 금속층의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니다. 이하, 실시형태에 기초하여 금속층의 형상을 예시한다. In addition, in this embodiment, although the metal layer 16 was continuously provided in the same width | variety over the longitudinal direction of the insulating layer 11 as mentioned above, the shape of a metal layer is not specifically limited, of course. Hereinafter, the shape of a metal layer is illustrated based on embodiment.

(실시형태 2)(Embodiment 2)

도 3은, 본 발명의 실시형태 2에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 주요부 확대 평면도이다. 3 is an enlarged plan view of a main part of a film carrier tape for mounting an electronic component according to Embodiment 2 of the present invention.

도 3(a)에 도시하는 바와 같이, 금속층(16A)는, 스프로킷 홀(14)이 존재하는 영역에 있는 금속층(16A)의 폭(w3)보다 각 스프로킷 홀(14) 사이에 있는 금속층(16A)의 폭(w1)[mm]이 작게, 즉, w1<w3의 조건으로 설치되어 있다. As shown in FIG. 3A, the metal layer 16A is formed between the sprocket holes 14 rather than the width w 3 of the metal layer 16A in the region where the sprocket holes 14 are present. The width w 1 [mm] of 16A) is small, that is, provided under the condition of w 1 <w 3 .

또, 도 3(b)에 도시하는 바와 같이, 금속층(16B)은, 절연층(11)의 길이 방향으로 소정 개수, 예를 들면, 3∼8개의 스프로킷 홀(14) 군에 대응하여 연속적으로 설치되고, 또한 이들 스프로킷 홀(14) 군 마다 슬릿(17)을 개재하여 불연속이다. As shown in Fig. 3B, the metal layer 16B is continuously corresponding to a predetermined number, for example, 3 to 8 sprocket holes 14 group in the longitudinal direction of the insulating layer 11. It is provided and is discontinuous through the slit 17 for each of these sprocket hole 14 groups.

이러한 금속층(16B)의 길이 방향의 길이(L)[mm]는, 스프로킷 홀(14)의 3∼8개분에 상당하는 약 10∼40mm이며, 바람직하게는, 3∼6개분에 상당하는 10∼30mm이다. 예를 들면, 본 실시형태에서는, 4개의 스프로킷 홀(14)에 상당하는 17∼19mm로 했다. 또한, 슬릿(17)의 폭은, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 0.1∼2.0mm 정도인 것이 바람직하다. The length L [mm] in the longitudinal direction of the metal layer 16B is about 10 to 40 mm corresponding to 3 to 8 parts of the sprocket hole 14, and preferably 10 to 10 equivalent to 3 to 6 parts. 30 mm. For example, in this embodiment, it was set to 17-19 mm corresponded to the four sprocket holes 14. In addition, although the width | variety of the slit 17 is not specifically limited, For example, it is preferable that it is about 0.1-2.0 mm.

더욱이, 도 3(c)에 도시하는 바와 같이, 금속층(16C)은, 상술한 금속층(16A)에 슬릿(17)이 설치되어 있다. Moreover, as shown to FIG. 3 (c), the metal layer 16C is provided with the slit 17 in the metal layer 16A mentioned above.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에서는, 각 금속층(16A, 16B, 16C)의 폭이나 형상 등을 소정량으로 제한하도록 했으므로, 절연층(11)과 금속층(16) 사이에 발생하는 응력을 충분히 개방하여, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 파상의 변형을 보다 효과적으로 저감할 수 있다. As described above, in the film carrier tape for mounting electronic components of the present embodiment, the width, shape, and the like of the metal layers 16A, 16B, and 16C are limited to a predetermined amount, so that the insulating layer 11 and the metal layer 16 are limited. The stress which arises in between can fully be opened, and the deformation | transformation of the wave shape of the film carrier tape for electronic component mounting can be reduced more effectively.

특히, 본 실시형태에서는, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16A)의 폭(w1), 즉, 각 스프로킷 홀(14)의 보강에 직접 관여하지 않지만 필름 캐리어 테이프의 보강에는 관여하는 금속층(16A)의 폭(w1)을 될 수 있는 한 작게 제한함으로써, 각 스프로킷 홀(14)의 보강 효과를 확보하면서, 각 스프로킷 홀(14) 주위의 부분과 각 스프로킷 홀(14) 사이의 부분에서의 금속층(16A)과 절연층(11) 사이에 생기는 응력의 밸런스를 테이프의 길이 방향에 걸쳐서 조정할 수 있다(도 3(a) 참조). 또, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 금속층(16B)에 소정 간격으로 슬릿(17)을 설치함으로써 상술한 금속층(16A)의 폭(w1)의 폭을 제한한 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다(도 3(b) 참조). 더욱이, 각 스프로킷 홀(14) 사이의 영역에 있는 금속층(16C)의 폭을 제한하는 동시에 소정 간격으로 슬릿(17)을 설치하도록 하면, 더욱 효과적이다(도 3(c) 참조). In particular, in the present embodiment, although not directly involved in the reinforcement of the width w 1 of the metal layer 16A in the region between each sprocket hole 14, that is, each sprocket hole 14, the reinforcement of the film carrier tape By limiting the width w 1 of the metal layer 16A involved as small as possible, the portion around each sprocket hole 14 and each sprocket hole 14 while ensuring the reinforcing effect of each sprocket hole 14. The balance of the stress generated between the metal layer 16A and the insulating layer 11 in the portion between them can be adjusted over the longitudinal direction of the tape (see FIG. 3 (a)). Further, by providing the slits 17 in the metal layers 16B between the sprocket holes 14 at predetermined intervals, the same effect as that in which the width w 1 of the metal layer 16A described above is limited can be obtained ( See FIG. 3 (b)). Furthermore, it is more effective to limit the width of the metal layer 16C in the region between each sprocket hole 14 and to provide the slits 17 at predetermined intervals (see Fig. 3 (c)).

이상의 점으로부터, 본 실시형태의 각 금속층(16A, 16B, 16C)의 형상 등을 채용하면, 최종제품인 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 폭방향 양측에서 길이 방향에 걸쳐서 발생하는 파상의 변형을 보다 효과적으로 저감할 수 있어, 반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성을 더욱 향상할 수 있다는 효과를 이룬다. In view of the above, by adopting the shapes of the metal layers 16A, 16B, and 16C of the present embodiment and the like, the deformation of the wave shape occurring in the longitudinal direction on both sides in the width direction of the film carrier tape for mounting the electronic component, which is the final product, is more effectively. It can reduce, and the effect which can improve the reliability at the time of conveyance or mounting in a semiconductor mounting line is achieved.

(실시형태 3)(Embodiment 3)

도 4는, 본 발명의 실시형태 3에 관계되는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 주요부 확대 평면도이다. 4 is an enlarged plan view of a main portion of a film carrier tape for mounting an electronic component according to Embodiment 3 of the present invention.

도 4에 도시하는 바와 같이, 금속층(16D)과 스프로킷 홀(14)의 개구 가장자 리부와의 사이에는, 금속층(16D)이 존재하지 않는 영역이 설치되어 있다. 이러한 금속층(16D)이 존재하지 않는 영역의 폭(w4)은, 예를 들면, 0.1∼0.3mm 정도인 것이 바람직하다. 또한, 도시하지 않지만, 상술한 실시형태 2의 각 금속층(16A∼16C)과 각 스프로킷 홀(14)의 개구 둘레 가장자리의 사이에 금속층이 존재하지 않는 영역을 설치해도 좋다. As shown in FIG. 4, a region where the metal layer 16D does not exist is provided between the metal layer 16D and the opening edge portion of the sprocket hole 14. The width w 4 of the region where the metal layer 16D does not exist is preferably about 0.1 to 0.3 mm. In addition, although not shown, you may provide the area | region where a metal layer does not exist between each metal layer 16A-16C of Embodiment 2 mentioned above, and the periphery edge of the opening of each sprocket hole 14. As shown in FIG.

이와 같이, 금속층(16D)과 각 스프로킷 홀(14)의 개구 둘레 가장자리부와의 사이에 금속층(16D)이 존재하지 않는 영역을 설치함으로써 상술한 각 실시형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또, 본 실시형태에서는, 제조 또는 실장 때, 스프로킷 홀(14)에 삽입되는 핀 롤러나 위치결정 핀(도시 생략) 등과 금속층(16D)이 접촉하여 금속층(16D)의 파편, 즉, 금속편이나 금속분 등이 발생하는 일은 없다. 따라서, 이러한 금속편이나 금속분 등이 원인으로 발생하는, 예를 들면, 배선 패턴의 단락 등의 문제를 확실하게 방지할 수 있다. Thus, the same effect as each embodiment mentioned above can be acquired by providing the area | region in which the metal layer 16D does not exist between the metal layer 16D and the periphery edge part of the opening of each sprocket hole 14. As shown in FIG. Moreover, in this embodiment, when manufacturing or mounting, the pin roller, positioning pin (not shown), etc. which are inserted into the sprocket hole 14, and the metal layer 16D contact and debris of the metal layer 16D, ie, a metal piece or a metal powder, Back does not occur. Therefore, a problem such as short circuit of a wiring pattern, which is caused by such a metal piece, metal powder, or the like, can be reliably prevented.

여기에서, 금속층의 형상이나 폭 치수가 다른 실시예 1∼8과 비교예 1 및 2를 준비하고, 절연층과 금속층과의 재료적인 물성값의 밸런스를 고려하여, 절연층과 금속층 사이에 발생하는 응력을 적당히 개방하여 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 실현하는데 바람직한 조건을 검토했다. Here, Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 having different shapes and width dimensions of the metal layer were prepared, and the stresses generated between the insulating layer and the metal layer in consideration of the balance of the material property values between the insulating layer and the metal layer. The conditions suitable for opening the film carrier tape for mounting a flat electronic component by appropriately opening it were examined.

(실시예 1)(Example 1)

테이프 폭 35mm인 절연층의 폭방향 양측에 스프로킷 홀(w2=1.42mm)을 복수 형성한 후, 절연층상에 설치된 도전층을 패터닝 하여 배선 패턴을 형성하고, 스프 로킷 홀이 형성된 절연층의 폭방향 양측의 영역에 길이 방향에 걸쳐서 연속적으로 폭 w1=2.4, w3=2.4[mm]의 금속층을 형성하고, 각 배선 패턴상에 주석 도금층을 형성한 후, 솔더레지스트층을 더 형성한 것을 실시예 1의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 1(c) 참조). After forming a plurality of sprocket holes (w 2 = 1.42mm) on both sides of the insulating layer having a tape width of 35 mm, the conductive layer provided on the insulating layer is patterned to form a wiring pattern, and the width of the insulating layer on which the sprocket holes are formed. After forming a metal layer having a width w 1 = 2.4, w 3 = 2.4 [mm] continuously in the regions on both sides of the direction, and forming a tin plating layer on each wiring pattern, a solder resist layer was further formed. It was set as the film carrier tape for electronic component mounting of Example 1 (refer FIG. 1 (c)).

(실시예 2)(Example 2)

4개의 스프로킷 홀 마다 슬릿을 설치한 이외는 실시예 1과 동일한 것을 실시예 2의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 3(b) 참조). 또한, 각 금속층의 길이 방향의 길이를 L=18.0mm로 했다. The same thing as Example 1 was used as the film carrier tape for electronic component mounting of Example 2 except having provided the slit for every four sprocket holes (refer FIG. 3 (b)). In addition, the length of each metal layer in the longitudinal direction was L = 18.0 mm.

(실시예 3)(Example 3)

폭 w1=2.2, w3=2.2[mm]의 금속층을 형성한 이외는 실시예 1과 동일한 것을 실시예 3의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 1(c) 참조). Width w 1 = 2.2, w 3 = 2.2 [mm] except that a metal layer was set to the Example 1, a film carrier tape for mounting electronic components of the third embodiment that are identical (see Fig. 1 (c)).

(실시예 4)(Example 4)

4개의 스프로킷 홀 마다 슬릿을 설치한 이외는 실시예 3과 동일한 것을 실시예 4의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 3(b) 참조). 또한, 각 금속층의 길이 방향의 길이를 L=18.4mm로 했다. The same thing as Example 3 was used as the film carrier tape for electronic component mounting of Example 4 except having provided the slit for every four sprocket holes (refer FIG. 3 (b)). In addition, the length of the metal layer in the longitudinal direction was L = 18.4 mm.

(실시예 5)(Example 5)

폭 w1=1.5, w3=2.9[mm]의 금속층을 형성한 이외는 실시예 1과 동일한 것을 실시예 5의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 3(a) 참조). Width w 1 = 1.5, w 3 = 2.9 [mm] except that a metal layer was the same as in Example 1 to Example 5, an electronic parts packaging film carrier tape for (see Fig. 3 (a)).

(실시예 6)(Example 6)

4개의 스프로킷 홀 마다 슬릿을 설치한 이외는 실시예 5와 동일한 것을 실시예 6의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 3(c) 참조). 또한, 각 금속층의 길이 방향의 길이를 L=18.0mm로 했다. The same thing as Example 5 was used as the film carrier tape for mounting electronic components of Example 6 except that the slit was provided for every four sprocket holes (refer FIG. 3 (c)). In addition, the length of each metal layer in the longitudinal direction was L = 18.0 mm.

(실시예 7)(Example 7)

폭 w1 =1.0, w3=2.2[mm]의 금속층을 형성한 이외는 실시예 1과 동일한 것을 실시예 7의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 3(a) 참조). Width w 1 = 1.0, w 3 = 2.2 [mm] except that a metal layer is formed of the same was as in Example 1 to Example 7, an electronic parts packaging film carrier tape (see Fig. 3 (a)).

(실시예 8)(Example 8)

4개의 스프로킷 홀 마다 슬릿을 설치한 이외는 실시예 7과 동일한 것을 실시예 8의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다(도 3(c) 참조). 또한, 각 금속층의 길이 방향의 길이를 L=18.4mm로 했다. The same thing as Example 7 was used as the film carrier tape for mounting electronic components of Example 8 except that the slit was provided for every four sprocket holes (refer FIG. 3 (c)). In addition, the length of the metal layer in the longitudinal direction was L = 18.4 mm.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

폭 w1=2.7, w3=2.7[mm]의 금속층을 절연층의 길이 방향에 걸쳐서 연속적으로 형성한 것을 비교예 1의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다. Width w 1 = 2.7, w 3 = 2.7 were [mm] of the metal layer as a continuous film carrier tape for mounting electronic components of Comparative Example 1 that is formed over the longitudinal direction of the insulating layer.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

폭 w1=3.0, w3=3.0[mm]의 금속층을 형성한 이외는 비교예 1과 동일한 것을 비교예 2의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프로 했다. Width w 1 = 3.0, w 3 = other than the formation of the metal layer of 3.0 [mm] has the same meanings as in Comparative Example 1 to Comparative Example 2 of the electronic parts packaging film carrier tape.

(시험예 1)(Test Example 1)

상기의 각 실시예 1∼8과 비교예 1 및 2의 각각에 대하여, 8개의 샘플을 각각 준비하고, 각 샘플에 대하여, 배선 패턴을 형성하고, 이 배선 패턴상에 주석 도 금을 시행한 후, 엠보싱 스페이서를 끼우고 릴에 권취한 상태에서 약 120℃의 온도조건하에, 60분간 가열 처리했다. 그리고, 솔더레지스트층 형성후, 엠보싱 스페이서를 끼우고 릴에 권취한 상태에서 약 140℃의 온도조건하에서, 120분간 가열처리했다. 이러한 각 샘플에 대하여, 배선패턴 형성후, 주석 도금후, 솔더레지스트층 형성후의 3회로 나누어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 파상의 변형량[mm]에 대하여 측정했다. 구체적으로는, 각 실시예 및 비교예의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 기대(基臺)의 위에 재치하고, 그 기대의 면상에서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 폭방향 양 단부가 부상해 있는 부분의 최대 높이를 측정했다. 그리고, 각 샘플의 최대높이의 평균값을 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 파상의 변형량[mm]으로 했다. 그 결과를 하기 표 1에 나타낸다. For each of the above Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2, eight samples were prepared, a wiring pattern was formed for each sample, and tin plating was applied on the wiring pattern. The heat treatment was performed for 60 minutes under the temperature condition of about 120 degreeC in the state which inserted the embossing spacer and wound up to the reel. After the solder resist layer was formed, heat treatment was performed for 120 minutes under a temperature condition of about 140 ° C. with the embossed spacers sandwiched and wound on a reel. About each of these samples, it divided into three times after wiring pattern formation, after tin plating, and after solder resist layer formation, and measured about the deformation amount [mm] of the wave shape of the film carrier tape for electronic component mounting. Specifically, the part where the film carrier tape for mounting electronic components of each Example and Comparative Example is placed on the base, and the widthwise both ends of the film carrier tape for mounting the electronic component rise on the base of the base. The maximum height was measured. And the average value of the maximum height of each sample was made into the deformation amount [mm] of the wave shape of the film carrier tape for electronic component mounting. The results are shown in Table 1 below.

또한, 파상의 기대로부터의 최대 높이[mm]의 측정은, 예를 들면, 기대상에 재치된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 연직방향 상측으로부터 레이저광을 조사하고, 레이저 광의 반사에 의해 거리를 측정할 수 있는 레이저 휨 측정기를 사용하여 행했다. In addition, the measurement of the maximum height [mm] from a wavy base is irradiated a laser beam from the vertical direction upper side of the film carrier tape for electronic component mounting mounted on a base, for example, and the distance is reflected by reflection of a laser beam. It carried out using the laser warpage measuring device which can be measured.

(시험예 2)(Test Example 2)

상기의 실시예 1 및 3의 금속층과 동일한 형상(도 1(c) 참조)으로 하고, 그 금속층의 폭(w1, w3)[mm]을 1.8∼3.0mm까지 변화시키고, 그 때의 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량[mm]의 변화를 조사했다. 그 결과를 도 5에 도시한다. 또한, 도 5는, 금속층의 폭(w1, w3)과 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량과의 관 계를 도시하는 그래프이다. The same shape as that of the metal layers of Examples 1 and 3 described above (see Fig. 1 (c)), the width (w 1 , w 3 ) [mm] of the metal layer was changed to 1.8 to 3.0 mm, and the solder at that time The change of the strain amount [mm] of the wave shape after forming a resist layer was investigated. The result is shown in FIG. In addition, Figure 5 is a graph showing the relationship between the width of the metal layer (w 1, w 3) and after a solder resist layer formed undulated deformation.

Figure 112004010730964-pat00001
Figure 112004010730964-pat00001

표 1의 결과로부터, 실시예 1 및 3에서는, 비교예 1 및 2에 비해, 금속층의 폭(w1, w3)을 작게 제한함으로써 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량을 약 60∼70% 가까이 저감할 수 있는 것을 알았다. 또, 실시예 2 및 4에서는, 상기 실시예 1 및 3의 각 조건에 더하여, 소정 간격으로 금속층에 슬릿을 설치함으로써, 비교예 1 및 2에 비해, 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량을 약 50∼65% 가까이 저감할 수 있는 것을 알았다. 또한, 이것은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 금속층의 폭(w1)이 약 2.5mm보다 작은 경우에 파상의 변형량[mm]이 급격하게 저하해 있 는데서 뒷받침된다. From the results of Table 1, in Examples 1 and 3, compared with Comparative Examples 1 and 2, the width (w 1 , w 3 ) of the metal layer is limited to about 60 to 70% of the amount of deformation of the wave form after the solder resist layer is formed. We knew that we could reduce. In addition, in Examples 2 and 4, in addition to the conditions of Examples 1 and 3 above, by providing slits in the metal layers at predetermined intervals, the amount of deformation of the wave form after the formation of the solder resist layer was about 50 compared with those of Comparative Examples 1 and 2. It turned out that it can reduce nearly -65%. In addition, this is supported by the fact that the amount of deformation of the wave shape [mm] decreases sharply when the width w 1 of the metal layer is smaller than about 2.5 mm, as shown in FIG. 5.

실시예 5에서는, 상술한 각 비교예 1 및 2에 비해, 각 스프로킷 홀 사이에 있는 금속층의 폭(w3)을 더욱 작게 하면, 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량을 약 50% 가까이 저감할 수 있는 것을 알았다. 또한, 금속층의 폭(w3)과 파상의 변형량과의 관계에 대해서도, 도 5에 도시하는 그래프와 같은 추이를 나타낸다고 생각되기 때문에, 금속층의 폭(w3)을 작게 제한하면, 솔더레지스트층 형성후의 파상의 변형량을 더욱 저감할 수 있는 것으로 생각된다. 또, 실시예 6에서는, 상술한 실시예 5의 조건에 더하여, 18.0mm 간격으로 슬릿을 설치함으로써 상술한 각 비교예 1 및 2에 비해, 솔더레지스트 도포 가열후의 파상의 변형량을 약 45% 가까이 저감할 수 있는 것을 알았다. In Example 5, compared with each of Comparative Examples 1 and 2 described above, if the width w 3 of the metal layer between each sprocket hole is made smaller, the amount of deformation of the wave form after the formation of the solder resist layer can be reduced by about 50%. I knew there was. Moreover, if, because it is considered represent a, trends such as the graph shown in Fig. 5 about the relationship between the width of the metal layer (w 3) and wave deformation, reducing the width (w 3) of the metal layer limits, forming the solder resist layer It is thought that the amount of deformation of the later wave shape can be further reduced. In addition, in Example 6, in addition to the conditions of Example 5 described above, by providing slits at intervals of 18.0 mm, the amount of deformation of the wave form after the solder resist coating heating was reduced by approximately 45% compared to the respective Comparative Examples 1 and 2 described above. I knew I could.

더욱이, 실시예 7에서는, 상술한 각 비교예 1 및 2에 비해, 금속층의 폭(w1, w3)을 더욱 작게 제한함으로써 솔더레지스트 도포 가열후의 파상의 변형을 약 45% 가까이 저감할 수 있는 것을 알았다. 또, 실시예 8에서는, 실시예 7의 조건에 더하여, 18.4mm 간격으로 슬릿을 설치함으로써 비교예 1 및 2에 비해, 솔더레지스트 도포 가열후의 파상의 변형량을 약 40% 가까이 저감할 수 있는 것을 알았다. Furthermore, in Example 7, compared to the comparative examples 1 and 2 described above, by limiting the width (w 1 , w 3 ) of the metal layer to be smaller, the deformation of the wave shape after the solder resist coating heating can be reduced by about 45%. I knew that. In addition, in Example 8, in addition to the conditions of Example 7, it was found that by providing slits at intervals of 18.4 mm, the amount of deformation of the wave form after the solder resist coating heating can be reduced by about 40%, compared to Comparative Examples 1 and 2. .

따라서, 금속층의 폭(w1, w3)을 소정량으로 제한하여, 또는 슬릿을 설치함으로써 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 실현할 수 있기 때문에, 반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성을 향상할 수 있다. Therefore, since the film carrier tape for mounting electronic components can be realized by restricting the widths w 1 and w 3 of the metal layer to a predetermined amount or by providing slits, the reliability at the time of conveyance or mounting in the semiconductor mounting line can be improved. Can improve.

또, 상기 표 1에 도시하는 바와 같이, 배선 패턴 형성후나 주석 도금후에 발생하는 필름 캐리어 테이프의 파상의 변형량을 저감할 수 있는 것은 분명하다. 이 때문에, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 제조시에 있어서의 반송 불량 등의 발생을 방지할 수 있다는 효과도 있다. Moreover, as shown in the said Table 1, it is clear that the amount of distortion of the wave form of the film carrier tape which arises after wiring pattern formation or after tin plating can be reduced. For this reason, there also exists an effect that generation | occurrence | production of conveyance defects etc. at the time of manufacture of the film carrier tape for electronic component mounting can be prevented.

더욱이, 상술한 각 실시예 1∼8에서는, 테이프 폭 35mm의 절연층을 사용했지만, 테이프 폭 70mm(69.950±0.2mm)의 절연층을 사용해도, 상술한 것과 유사한 결과 및 효과가 얻어졌다. Moreover, in each of Examples 1 to 8 described above, an insulating layer having a tape width of 35 mm was used, but similar results and effects were obtained even when the insulating layer having a tape width of 70 mm (69.950 ± 0.2 mm) was used.

(다른 실시형태)(Other embodiment)

이상, 본 발명의 각 실시형태를 설명했지만, 물론, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프는 상술한 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상술한 실시형태에서는, 배선 패턴(13)이나 스프로킷 홀(14) 등으로 이루어지는 캐리어 패턴을 1열 설치한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)를 예시하여 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 캐리어 패턴을 복수열 병설한 여러 라인의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프라도 좋다. As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, of course, the film carrier tape for electronic component mounting is not limited to what was mentioned above. For example, in embodiment mentioned above, although the film carrier tape 10 for electronic component mounting which provided the carrier pattern which consists of the wiring pattern 13, the sprocket hole 14, etc. in one row was illustrated and demonstrated, it limits to this. For example, the film carrier tape for electronic component mounting of several lines which provided multiple rows of carrier patterns in parallel may be sufficient.

또, 상술한 실시형태에서는, COF 필름 캐리어 테이프인 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(10)를 예시했지만, 그 밖의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프, 예를 들면, TAB, CSP, BGA, μ-BGA, FC, QFP 타입 등 이라도 좋고, 그 구성 등도 한정되는 것은 아니다. In addition, in the above-mentioned embodiment, although the film carrier tape 10 for electronic component mounting which is a COF film carrier tape was illustrated, other film carrier tape for electronic component mounting, for example, TAB, CSP, BGA, (micro) -BGA , FC, QFP type, etc. may be sufficient, The structure, etc. are not limited, either.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 적어도 금속층을 절연층의 길이 방향을 따라 실질적으로 연속으로 설치하고, 또한 스프로킷 홀의 사이의 영역의 금속층의 폭(w1)[mm]을, 그 스프로킷 홀의 폭을 w2[mm]라고 했을 때에 0.3≤w1≤(w2+1.1)의 조건을 만족시키도록 함으로써, 금속층과 절연층 사이에 발생하는 응력이 적당하게 개방되어, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 발생하는 파상의 변형이 저감된다. 이것에 의해, 평탄한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프가 실현되어, 반도체 실장 라인에서의 반송 또는 실장시의 신뢰성이 향상된다. As described above, according to the present invention, at least the metal layer is provided substantially continuously along the longitudinal direction of the insulating layer, and the width w 1 [mm] of the metal layer in the region between the sprocket holes is defined as the width of the sprocket hole. When w 2 [mm] is satisfied by satisfying the condition of 0.3 ≦ w 1 ≦ (w 2 +1.1), the stress generated between the metal layer and the insulating layer is appropriately opened, and the film carrier tape for mounting electronic components The deformation of the wave shape occurring at Thereby, the flat film carrier tape for electronic component mounting is implement | achieved, and the reliability at the time of conveyance or mounting in a semiconductor mounting line improves.

Claims (13)

절연층의 표면에 도전층으로 이루어지는 배선 패턴과, 당해 배선 패턴의 양측에 설치된 복수의 스프로킷 홀을 갖고, 또한 상기 스프로킷 홀의 주위에 금속층이 설치된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 있어서, In the film carrier tape for electronic component mounting which has the wiring pattern which consists of a conductive layer on the surface of an insulating layer, and the some sprocket hole provided in the both sides of the said wiring pattern, and the metal layer was provided around the said sprocket hole, 상기 금속층은, 상기 절연층의 길이 방향을 따라 실질적으로 연속으로 설치되고, 또한 상기 스프로킷 홀 사이의 영역의 상기 금속층의 폭(w1)[mm]은, 당해 스프로킷 홀의 폭을 w2[mm]라고 했을 때에 0.3≤w1≤(w2+1.1)의 조건을 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The metal layer is provided substantially continuously along the longitudinal direction of the insulating layer, and the width w 1 [mm] of the metal layer in the region between the sprocket holes is equal to the width of the sprocket hole w 2 [mm]. The film carrier tape for mounting electronic components, which satisfies the condition of 0.3 ≦ w 1 ≦ (w 2 +1.1). 제 1 항에 있어서, 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이, (w2+0.2)≤w3≤(w2+1.6)의 조건을 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The width w 3 [mm] of the metal layer in the region where the sprocket hole is present satisfies a condition of (w 2 +0.2) ≤ w 3 ≤ (w 2 +1.6). A film carrier tape for mounting electronic components. 제 2 항에 있어서, 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이, (w2+0.2)≤w3≤(w2+1.1)의 조건을 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The width w 3 [mm] of the metal layer in the region where the sprocket hole is present satisfies a condition of (w 2 +0.2) ≤ w 3 ≤ (w 2 +1.1). A film carrier tape for mounting electronic components. 제 1 항에 있어서, 상기 금속층의 폭(w1)[mm]과 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이 w1<w3의 관계를 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The method of claim 1, wherein the width w 1 [mm] of the metal layer and the width w 3 [mm] of the metal layer in a region where the sprocket hole is present satisfy a relationship of w 1 <w 3 . A film carrier tape for mounting electronic components. 제 2 항에 있어서, 상기 금속층의 폭(w1)[mm]과 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이 w1<w3의 관계를 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The width w 1 [mm] of the metal layer and the width w 3 [mm] of the metal layer in a region where the sprocket hole is present satisfy a relationship of w 1 <w 3 . A film carrier tape for mounting electronic components. 제 3 항에 있어서, 상기 금속층의 폭(w1)[mm]과 상기 스프로킷 홀이 존재하는 영역의 상기 금속층의 폭(w3)[mm]이 w1<w3의 관계를 만족시키고 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The width w 1 [mm] of the metal layer and the width w 3 [mm] of the metal layer in a region where the sprocket hole is present satisfy a relationship of w 1 <w 3 . A film carrier tape for mounting electronic components. 제 1 항에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The film carrier tape for mounting electronic components according to claim 1, wherein the metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of the insulating layer by slits provided for each of the sprocket holes of a predetermined number. 제 2 항에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부 품 실장용 필름 캐리어 테이프. The film carrier tape for mounting of an electronic part according to claim 2, wherein the metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of the insulating layer by slits provided for each of the sprocket holes of a predetermined number. 제 3 항에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. 4. The film carrier tape for mounting electronic components according to claim 3, wherein the metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of the insulating layer by slits provided for each of the predetermined number of sprocket holes. 제 4 항에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The film carrier tape for mounting of an electronic component as set forth in claim 4, wherein said metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of said insulating layer by slits provided for each predetermined number of sprocket holes. 제 5 항에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. 6. The film carrier tape for mounting electronic components according to claim 5, wherein the metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of the insulating layer by slits provided for each of the predetermined number of sprocket holes. 제 6 항에 있어서, 상기 금속층은, 소정 개수의 상기 스프로킷 홀 마다 설치된 슬릿에 의해 상기 절연층의 길이 방향으로 불연속인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. 7. The film carrier tape for mounting electronic components according to claim 6, wherein the metal layer is discontinuous in the longitudinal direction of the insulating layer by slits provided for each of the predetermined number of sprocket holes. 제 1 항 내지 제 12 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속층과 상기 스프로킷 홀의 개구 가장자리부의 사이에는, 상기 금속층이 존재하지 않는 영역이 설치되 어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프. The film carrier tape for mounting electronic components according to any one of claims 1 to 12, wherein a region in which the metal layer does not exist is provided between the metal layer and the opening edge portion of the sprocket hole.
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