KR100597232B1 - 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기 - Google Patents

온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기 Download PDF

Info

Publication number
KR100597232B1
KR100597232B1 KR1020040040018A KR20040040018A KR100597232B1 KR 100597232 B1 KR100597232 B1 KR 100597232B1 KR 1020040040018 A KR1020040040018 A KR 1020040040018A KR 20040040018 A KR20040040018 A KR 20040040018A KR 100597232 B1 KR100597232 B1 KR 100597232B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
input
waveguide
output
cladding layer
star coupler
Prior art date
Application number
KR1020040040018A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050114913A (ko
Inventor
김덕준
한영탁
박상호
박윤정
신장욱
성희경
Original Assignee
우리로광통신주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우리로광통신주식회사 filed Critical 우리로광통신주식회사
Priority to KR1020040040018A priority Critical patent/KR100597232B1/ko
Publication of KR20050114913A publication Critical patent/KR20050114913A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100597232B1 publication Critical patent/KR100597232B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12007Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
    • G02B6/12009Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12035Materials
    • G02B2006/12038Glass (SiO2 based materials)
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12035Materials
    • G02B2006/12069Organic material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083Constructional arrangements
    • G02B2006/12111Fibre
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12133Functions
    • G02B2006/12164Multiplexing; Demultiplexing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

파장분할다중 전송방식의 광통신망에 사용되는 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기가 개시된다. 상기 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 상호 결합되는 입력도파로와 입력스타커플러의 부위 및 출력도파로와 출력스타커플러의 부위가 거의 동일한 재질이다. 그리고, 상호 결합되는 입력도파로와 광섬유의 부위 및 출력도파로와 광섬유의 부위가 동일한 재질이다. 그러므로, 입력 및 출력도파로와 광섬유가 각각 결합되고, 입력 및 출력도파로가 입력 및 출력스타커플러와 각각 결합되어도 결합 특성이 온도변화에 영향을 받지 않는다.

Description

온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기 {ATHERMAL ARRAYED WAVEGUIDE GRATING MULTIPLEXER/DEMULTIPLEXER}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기의 평면도.
도 2의 (a), (b) 및 (c)는 도 1의 "A-A", "B-B" 및 "C-C"선 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
110,150 : 입력,출력도파로
120,140 : 입력,출력스타커플러
130 : 열격자
본 발명은 파장분할다중 전송방식의 광통신망에 사용되는 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기에 관한 것이다.
파장분할다중(WDM : Wavelength Division Multiplexing) 전송방식의 광통신망은 파장에 따라 다중화된 통신채널을 설정하고, 다중화된 통신채널을 이용하여 다수의 신호광을 초고속으로 전송함으로써 효율적으로 통신망을 초고속화 및 광대 역화시킬 수 있는 통신망이다.
파장분할다중(WDM:Wavelength Division Multiplexing) 전송방식의 광통신망에 사용되는 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 입력도파로, 상기 입력도파로와 결합된 입력스타커플러(Star Coupler), 상기 입력스타커플러와 결합된 열격자, 상기 열격자와 결합된 출력스타커플러 및 상기 출력스타커플러와 결합된 출력도파로를 가진다. 상기 입력도파로 및 상기 출력도파로는 광섬유와 각각 결합되어 신호광을 수신 및 송신한다.
상기와 같은 종래의 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 광흡수 및 광도파 손실이 적고 광섬유와의 결합이 용이하다는 장점 때문에 실리카 재질로 광도파로인 코아를 제조한다. 그러나, 이와 같이 제조된 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기의 코아를 통과한 광신호의 유효굴절율은 대략 1.1 ×10-5/℃의 온도 의존성이 있기 때문에, 출력도파로로 출력되는 신호광의 파장도 1.2 ×10-2㎚/℃의 온도 의존성을 갖게 된다. 이로인해, 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기를 통과한 신호광은 전송 품질이 저하되는 단점이 있다.
상기와 같은 단점을 해소하기 위하여, 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화 소자에 열전냉각소자 또는 히터를 패키징하여 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기를 제조하였다. 그러나, 이와 같이 제조된 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 상기 열전냉각소자 또는 상기 히터로 외부의 전력을 공급하여야 하는 단점이 있다.
상기와 같은 단점을 해소하기 위하여 실리콘 또는 실리카 재질의 기판, 상기 기판에 형성된 실리카 재질의 하부클래드층, 상기 하부클래드층에 형성된 광도파로인 실리카 재질의 코아, 상기 코아를 덮는 형태로 형성되며 상기 코아의 열광학계수와 그 부호가 반대인 폴리머 재질의 상부클래드층을 가지는 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화 소자를 제조하되, 상기 코아의 크기 및 굴절율, 상기 하부클래드층의 굴절율, 상기 상부클래드층의 굴절율 및 열광학계수를 조절하여 광도파로의 유효굴절율이 온도에 의존하지 않도록 하는 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화 소자의 제조기술이 개발되었다. 그러나, 이와 같이 제조된 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화 소자는 신호광이 집중되는 코아와 신호광의 퍼짐을 막는 상부클래드층의 열광학계수 부호가 반대이다. 이로인해, 입력도파로 및 출력도파로의 구조와 입력스타커플러 및 출력스타커플러의 구조상, 입력도파로 및 출력도파로의 상부클래드층의 일부가 입력스타커플러 및 출력스타커플러의 코아와 각각 결합되어 광결합 특성이 온도변화에 영향을 받게된다. 그리고, 입력도파로 및 출력도파로의 구조와 광섬유의 구조상, 입력도파로 및 출력도파로의 폴리머 재질인 상부클래드층과 광섬유의 실리카 재질인 클래드층이 결합되어 결합 특성이 온도변화에 따라 영향을 받게된다. 이로인해, 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기를 통과한 신호광의 손실 및 출력채널사이의 크로스톡 등과 같은 특성이 온도변화에 따라 영향을 받게되는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창작된 것으 로, 본 발명의 목적은 입력 및 출력도파로, 입력 및 출력스타커플러, 그리고 열격자의 실리카 재질의 코아와 폴리머 재질의 상부클래드층 사이에 실리카 재질의 중간클래드층을 형성하여 온도변화에 영향을 받지 않는 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 실리콘 또는 실리카 재질의 기판, 상기 기판의 상면에 형성된 실리카 재질의 하부클래드층, 상기 하부클래드층의 상면에 형성된 실리카 재질의 코아 및 상기 코아의 상면에 형성된 폴리머 재질의 상부클래드층을 각각 가지면서 상기 기판, 상기 하부클래드층, 상기 코아 및 상기 상부클래드층간에 상호 결합되어 순차적으로 결합된 입력도파로, 입력스타커플러, 열격자, 출력스타커플러 및 출력도파로를 포함하되, 상기 입력 및 출력도파로는 실리카재질의 광섬유와 결합되는 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기에 있어서,
상기 입력도파로, 상기 입력스타커플러, 상기 열격자, 상기 출력스타커플러 및 상기 출력도파로의 코아와 상부클래드층 사이에는 각각 실리카 재질의 중간클래드층이 형성되고, 상기 입력 및 출력도파로의 중간클래드층과 상기 입력 및 출력스타커플러의 중간클래드층은 각각 결합되며, 상기 입력 및 출력도파로의 하부클래드층, 코아 및 중간클래드층은 광섬유와 각각 결합된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기의 평면도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기(100)는 광섬유와 일단부측이 결합된 입력도파로(110), 입력도파로(110)의 타단부측과 일단부측이 결합된 입력스타커플러(120), 입력스타커플러(120)의 타단부측과 일단부측이 결합된 열격자(130), 열격자의 타단부측과 일단부측이 결합된 출력스타커플러(140) 및 출력스타커플러(140)와 타단부측과 일단부측이 결합된 출력도파로(150)를 가진다. 그리고, 출력도파로(150)의 타단부측에는 광섬유가 결합된다.
그리하여, 입력도파로(110) 중 하나의 특정 도파로 또는 모든 도파로를 통하여 파장이 다른 복수의 신호광이 입력되면, 신호광들은 입력스타커플러(Star Coupler)(120) 영역을 자유전파하면서 진행하다가 열격자(130)와 결합한 후 진행한다. 이때, 열격자(130) 내의 상호 인접한 도파로들의 광경로는 그 차이가 모두 동일하고, 특정 파장의 정수배 만큼 순차적으로 증가 또는 감소하도록 설계된다. 그러므로, 열격자(130)의 타단부측에서 출력스타커플러(140)와 결합한 후 자유전파하는 신호광들은 광간섭 현상에 의해 파장별로 역다중화되어 각각의 파장에 대응하는 출력도파로(150)중 모든 도파로를 통하여 출력되거나, 다중화되어 출력도파로(150) 중 특정 도파로만을 통하여 출력된다.
본 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 온도에 영향을 받지 않도록 구성되는데, 이를 도 2를 참조하여 설명한다. 그리고, 후술하는 실리카 재질의 열광학계수는 양이고, 폴리머 재질의 열광학계수는 음이다.
도 2의 (a)는 열격자의 구성을 보인 도 1의 "A-A"선 단면도이다. 도시된 바와 같이, 열격자(130)는 실리콘 또는 실리카 재질의 기판(131), 기판(131)의 상면에 형성된 실리카 재질의 하부클래드층(133), 하부클래드층(133)의 상면에 형성되며 신호광이 집중되는 실리카 재질의 코아(135), 코아(135)의 상면에 형성된 실리카 재질의 중간클래드층(137) 및 중간클래드층(137)의 상면 및 측면과 코아(135)의 측면을 덮는 형태로 형성된 폴리머 재질의 상부클래드층(139)을 가진다.
도 2의 (b)는 입력스타커플러의 구성을 보인 도 1의 "B-B"선 단면도이다. 도시된 바와 같이, 입력스타커플러(120)는 실리콘 또는 실리카 재질의 기판(121), 기판(121)의 상면에 형성된 실리카 재질의 하부클래드층(123), 하부클래드층(123)의 상면에 형성된 실리카 재질의 코아(125), 코아(125)의 상면에 형성된 실리카 재질의 중간클래드층(127) 및 중간클래드층(127)의 상면에 형성된 폴리머 재질의 상부클래드층(129)을 가진다. 출력스타커플러(140)의 구성도 입력스타커플러(120)의 구성과 동일하다.
도 2의 (c)는 입력도파로의 구성을 보인 도 1의 "C-C"선 단면도이다. 도시된 바와 같이, 입력도파로(120)는 실리콘 또는 실리카 재질의 기판(111), 기판(111)의 상면에 형성된 실리카 재질의 하부클래드층(113), 하부클래드층(113)의 상면에 형성된 실리카 재질의 코아(115), 코아(115)의 상면 및 측면을 덮는 형태로 형성된 실리카 재질의 중간클래드층(117) 및 중간클래드층(117)의 상면에 형성된 폴리머 재질의 상부클래드층(119)을 가진다. 출력도파로(150)의 구성도 입력도파로(110)의 구성과 동일하다.
본 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 입력도파로(110)의 기판(111)과 입력스타커플러(120)의 기판(121), 입력도파로(110)의 하부클래드층(113)과 입력스타커플러(120)의 하부클래드층(123), 입력도파로(110)의 코아(115) 및 중간클래드층(117)의 일부와 입력스타커플러(120)의 코아(125), 입력도파로(110)의 중간클래드층(117)과 입력스타커플러(120)의 중간클래드층(127), 입력도파로(110)의 상부클래드층(119)과 입력스타커플러(120)의 상부클래드층(129)이 각각 결합된다. 즉, 입력도파로(110)의 중간클래드층(117) 일부와 입력스타커플러(120)의 코아(125)를 제외한 입력도파로(110)와 입력스타커플러(120)의 모든 부분은 동일한 재질끼리 상호 결합된다. 출력도파로(150)와 출력스타커플러(140)의 결합도 입력도파로(110)와 입력스타커플러(120)의 결합과 동일하다.
상기 광섬유는 신호광이 집중되는 실리카 재질의 코아 및 상기 코아를 덮는 형태로 형성된 실리카 재질의 클래드층을 가진다.
본 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기의 입력도파로(110)의 하부클래드층(113), 코아(115) 및 중간클래드층(117)은 상기 실리카 재질의 광섬유와 각각 결합된다. 즉, 입력도파로(110)와 상기 광섬유는 동일한 재질끼리 상호 결합된다. 출력도파로(150)와 상기 광섬유의 결합도 입력도파로(110)와 상기 광섬유의 결합과 동일하다.
즉, 본 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화 기는 상기와 같이 동일한 재질끼리의 결합구조로 인하여, 입력도파로 및 출력도파로가 입력스타커플러 및 출력스타커플러에 각각 결합되고, 입력도파로 및 출력도파로가 상기 광섬유에 각각 결합되어도, 결합 특성이 온도변화에 영향을 받지 않는다.
본 실시예에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기의 입력 및 출력도파로(110,150), 입력 및 출력스타커플러(120,140), 그리고 열격자(130)는 포토리소그라피(Photolithography)법으로 원하는 형상으로 형성하면 된다.
이상에서 설명하듯이, 본 발명에 따른 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기는 상호 결합되는 입력도파로와 입력스타커플러의 부위 및 출력도파로와 출력스타커플러의 부위가 거의 동일한 재질이다. 그리고, 상호 결합되는 입력도파로와 광섬유의 부위 및 출력도파로와 광섬유의 부위가 동일한 재질이다. 그러므로, 입력 및 출력도파로와 광섬유가 각각 결합되고, 입력 및 출력도파로가 입력 및 출력스타커플러와 각각 결합되어도 결합 특성이 온도변화에 영향을 받지 않는다.
이상에서는, 본 발명의 일 실시예에 따라 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 및 변형한 것도 본 발명에 속함은 당연하다.

Claims (2)

  1. 실리콘 또는 실리카 재질의 기판, 상기 기판의 상면에 형성된 실리카 재질의 하부클래드층, 상기 하부클래드층의 상면에 형성된 실리카 재질의 코아 및 상기 코아의 상면에 형성된 폴리머 재질의 상부클래드층을 각각 가지면서 상기 기판, 상기 하부클래드층, 상기 코아 및 상기 상부클래드층간에 상호 결합되어 순차적으로 결합된 입력도파로, 입력스타커플러, 열격자, 출력스타커플러 및 출력도파로를 포함하되, 상기 입력 및 출력도파로는 실리카재질의 광섬유와 결합되는 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기에 있어서,
    상기 입력도파로, 상기 입력스타커플러, 상기 열격자, 상기 출력스타커플러 및 상기 출력도파로의 코아와 상부클래드층 사이에는 각각 실리카 재질의 중간클래드층이 형성되고,
    상기 입력 및 출력도파로의 중간클래드층과 상기 입력 및 출력스타커플러의 중간클래드층은 각각 결합되며,
    상기 입력 및 출력도파로의 하부클래드층, 코아 및 중간클래드층은 광섬유와 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 열격자의 상부클래드층은 상기 중간클래드층의 상면 및 측면과 상기 코 아의 측면을 덮는 형태로 형성되고,
    상기 입력 및 출력스타커플러의 상부클래드층은 중간클래드층의 상면만 덮는 형태로 형성되며,
    상기 입력 및 출력도파로의 중간클래드층은 코아의 상면 및 측면을 덮는 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기.
KR1020040040018A 2004-06-02 2004-06-02 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기 KR100597232B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040040018A KR100597232B1 (ko) 2004-06-02 2004-06-02 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040040018A KR100597232B1 (ko) 2004-06-02 2004-06-02 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050114913A KR20050114913A (ko) 2005-12-07
KR100597232B1 true KR100597232B1 (ko) 2006-07-06

Family

ID=37289018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040040018A KR100597232B1 (ko) 2004-06-02 2004-06-02 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100597232B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100785786B1 (ko) 2006-08-11 2007-12-13 한국전자통신연구원 온도에 따른 광도파로의 유효 굴절률 변화를 줄일 수 있는실리콘 어레이 도파로 그레이팅 소자
US7630602B2 (en) 2006-12-04 2009-12-08 Electronics And Telecommunications Research Institute Optical filter module and method of manufacturing the same
US11372157B2 (en) * 2020-09-30 2022-06-28 Nokia Solutions And Networks Oy Integrated optical multiplexer / demultiplexer with thermal compensation

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11237516A (ja) * 1998-02-20 1999-08-31 Hitachi Cable Ltd 石英系ガラス導波路およびその製造方法
JP2003004961A (ja) 2001-06-08 2003-01-08 Alcatel 集約型光構成部品の非透熱化
JP2003207660A (ja) 2002-01-11 2003-07-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11237516A (ja) * 1998-02-20 1999-08-31 Hitachi Cable Ltd 石英系ガラス導波路およびその製造方法
JP2003004961A (ja) 2001-06-08 2003-01-08 Alcatel 集約型光構成部品の非透熱化
JP2003207660A (ja) 2002-01-11 2003-07-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050114913A (ko) 2005-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100890882B1 (ko) 가변 광 제어 디바이스 및 가변 광 제어 방법
JP3784720B2 (ja) 導波路型光干渉計
JPH11160559A (ja) 光学デバイス
US20060222296A1 (en) Optical wavelength division multiplexer
Wang et al. A 32-channel hybrid wavelength-/mode-division (de) multiplexer on silicon
JP4494599B2 (ja) アレイ導波路回折格子型光合分波器
KR20200038278A (ko) 에셸 격자 멀티플렉서 또는 디멀티플렉서
US20020181857A1 (en) Optical wavelength multiplexer/demultiplexer
Toyoda et al. Polarization-independent low-crosstalk polymeric AWG-based tunable filter operating around 1.55 μm
KR100597232B1 (ko) 온도무의존 배열도파로 격자형 파장 다중화/역다중화기
JP4719417B2 (ja) 光集積回路用の機械的なビーム操縦
JP7023318B2 (ja) 光波長フィルタ
CN111830628B (zh) 粗波分复用/解复用器及光通信设备
KR100421137B1 (ko) 하나의 평면 도파로형 광소자를 이용한 이중 파장분할다중화/역다중화 장치
Juhari et al. Optical loss analysis in 13-channel SOI-based AWG for CWDM network
JP2557966B2 (ja) 光合分波器
US6728447B2 (en) Optical multiplexer/demultiplexer
CN114488406B (zh) 基于多模干涉原理的紧凑型波长复用器
US20030048989A1 (en) Planar lightwave circuit and method for compensating center wavelength of optical transmission of planar lightwave circuit
JPH05157920A (ja) 導波路回折格子
JP7070738B1 (ja) 光波長フィルタ
KR100970583B1 (ko) 복합 온도 무의존 광도파로열 격자 모듈 및 그 제작 방법
JP4477263B2 (ja) アレイ導波路回折格子型光合分波器の製造方法
JP2020134619A (ja) 光波長フィルタ
JP4699435B2 (ja) 光モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20040602

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20060328

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20060628

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20060629

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20090629

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20100629

Start annual number: 5

End annual number: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20110621

Start annual number: 6

End annual number: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20120618

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130614

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20130614

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140623

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20140623

Start annual number: 9

End annual number: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

Termination category: Default of registration fee

Termination date: 20160509