KR100596438B1 - 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 생산라인의 자동화 기술에 관한 것으로, 반도체 생산 장비의 이상 발생시 작업자나 장비 담당자가 장비 근처에 상주하지 않더라도, 장비의 이상 발생을 바로 인식하여 조치할 수 있도록 할 수 있는 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템 및 그 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 본 발명은 장비 통신 서버(ECS, equipment communication server), 장비 서버(EQS, equipment server), 예외 처리 서버(EHS, Exception Handling Server) 등을 이용한 알람 모니터링 시스템과 알람 모니터링 프로그램을 구현함으로써 장비로부터 전송된 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 분석하고 데이터 베이스화하여 장비 이상 발생 현황을 온라인 상에서 실시간으로 확인할 수 있도록 즉, 작업자의 PC(personal computer)는 물론 그와 온라인으로 연결된 다른 PC 화면을 통해 실시간으로 장비 이상 발생 현황을 파악할 수 있도록 하여 즉각적인 조치를 가능하게 한다.

반도체 생산라인, 장비, 장비 서버, 장비 통신 서버, 예외 처리 서버

Description

반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템 및 그 방법{System and method for monitoring alarm of semiconductor production equipment}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 알람 모니터링 시스템의 구성도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 알람 모니터링 프로그램의 플로우 차트.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 장비

11 : 장비 통신 서버(ECS)

12 : 장비 서버(EQS)

13 : 예외 처리 서버(EHS)

14 : 트레이스 클라이언트(PC 화면)

15 : 이력 데이터 베이스

16 : 셀 컨트롤러

본 발명은 반도체 생산라인의 자동화 기술에 관한 것으로, 특히 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.

반도체 생산을 위한 웨이퍼가 8인치(inch)에서 12인치로 바뀌어 감에 따라 반도체 생산라인의 자동화가 큰 이슈(issue)로 대두되고 있다.

현재 반도체 생산라인에서 적용되고 있는 대부분의 반도체 생산 장비는 그 동작 중에 이상이 발생하면 버저(buzzer)나 시그널 타워(signal tower)와 같이 직접적인 청각 또는 시각 경보를 통해 작업자나 장비 담당자가 이상 발생 현황을 인식할 수 있도록 하고 있다.

이 경우, 작업자나 장비 담당자가 장비에 가까운 곳에 있지 않으면 장비 이상 발생을 바로 인식할 수 알 수 없기 때문에 장비의 보수(maintenance)가 늦어져 수율 및 생산성을 크게 저해하는 요인으로 작용하고 있다.

본 발명은 반도체 생산 장비의 이상 발생시 작업자나 장비 담당자가 장비 근처에 상주하지 않더라도, 장비의 이상 발생을 바로 인식하여 조치할 수 있도록 할 수 있는 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템 및 그 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 장비 통신 서버(ECS, equipment communication server), 장비 서버(EQS, equipment server), 예외 처리 서버(EHS, Exception Handling Server) 등을 이용한 알람 모니터링 시스템과 알람 모니터링 프로그램을 구현함으로써 장비로부터 전송된 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 분석하고 데이터 베이스화하여 장비 이상 발생 현황을 온라인 상에서 실시간으로 확인할 수 있도록 즉, 작업자의 PC(personal computer)는 물론 그와 온라인으로 연결된 다른 PC 화면을 통해 실시간으로 장비 이상 발생 현황을 파악할 수 있도록 하여 즉각적인 조치를 가능하게 한다.

상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템에 있어서, 상기 반도체 생산 장비로부터 알람 보고 SECS 메시지를 수신하여 이를 IPC 메시지로 변환하기 위한 장비 통신 서버; 상기 장비 통신 서버로부터 상기 IPC 메시지를 수신하여 전산상의 작업을 요구하는 메시지를 정의하기 위한 장비 서버; 및 상기 장비 서버에서 정의된 알람 보고 메시지를 수신하여 데이터 베이스 테이블에 기록하고, 상기 알람 보고 메시지 내의 알람이 등록된 것일 경우 이를 트레이스 클라이언트로 전송하기 위한 예외 처리 서버를 구비한다.

또한, 상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 방법에 있어서, 상기 반도체 생산 장비로부터 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 수신하는 제1 단계; IPC(interprocess communication) 형태로 변환된 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지인지를 판단하는 제2 단계; 상기 제2 단계의 판단 결과, 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지이면 상기 알람 보고 메시지를 예외 처리 서버로 전송하는 제3 단계; 전송된 상기 알람 보고 메시지 내의 알람이 등록되어 있는지를 판단하는 제4 단계; 상기 제4 단계의 판단 결과, 상기 알람이 등록되어 있으면 상기 알람에 대한 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있는지를 판단하는 제5 단계; 상기 제5 단계의 판단 결과, 상기 알람에 대한 상기 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있으면 데이터 베이스 테이블에 데이터를 기록하는 제6 단계; 상기 제5 단계의 판단 결과 상기 알람에 대한 상기 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있지 않거나 상기 제6 단계를 수행한 경우, 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어할 것인지를 판단하는 제7 단계; 및 상기 제7 단계의 판단 결과, 상기 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어하는 경우 상기 알람 보고 메시지를 상기 트레이스 클라이언트로 전송하는 제8 단계를 포함하여 이루어진다.

이하, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 보다 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예를 소개하기로 한다.

첨부된 도면 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 알람 모니터링 시스템의 구성을 도시한 것으로, 장비(10)에서 이상이 발생하게 되면, 장비(10)는 장비 통신 서버(ECS, equipment communication server)(11)로 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 전송하게 된다. 이때, SECS 메시지는 SECS의 알람 보고 메시지(alarm report message)인 스트림5 펑션(stream5 function, S5F1, S5F2)을 사용한다.

ECS(11)는 장비(10)와 장비 서버(EQS, equipment server)(12) 사이의 메시지의 송수신을 가능하게 하기 위한 매개 서버로서 IPC(interprocess communication) 메시지를 사용한다. ECS(11)는 박막 에리어(area) , 확산 에리어, 사진 에리어, 식각 에리어 각각의 셀 컨트롤러 노드(cell controller node)에 존재하며, 물리적인 통신 라인으로 RS 232 케이블을 사용하고, 장비당 1개의 프로세스가 할당된다.

EQS(12)는 장비(10)에서 ECS(11)를 통해 전송된 메시지를 가지고 해당 작업을 하거나 장비(10)로 어떤 지시를 보낼 때 해당 메시지를 정의하는 서버로서 IPC 메시지를 사용한다. 예컨대, 로트 개시(lot start) 보고 접수시 EQS(12)는 셀 관리 서버(CMS, cell management server)로 전산상의 로트 개시를 요구하며, 로트 로딩 완료(lot loading completion) 보고 접수시 장비(10)로 레시피 다운로딩(recipe downloading) 지시를 전송한다. EQS(12) 역시 각 에리어별 셀 컨트롤러 노드에 존재하며, 장비당 1개의 프로세스가 할당된다. 단, EQS(12)는 데이터 베이스(data base) 처리에 관여하지는 않는다.

EQS(12)에서 접수한 메시지가 장비(10)로부터 전송된 알람 보고 메시지일 경우, EQS(12)는 이의 처리를 위해 EHS(13)로 IPC 메시지를 전송한다.

예외 처리 서버(EHS, Exception Handling Server)(13)는 EQS(12)로부터 전송된 알람 보고 메시지를 이력 데이터 베이스(history D/B)(15)의 데이터 베이스 테이블(data base table)에 기록하고, 등록된 알람 보고일 경우 이를 트레이스 클라이언트(trace client)(14) 예컨대, 작업자 PC 화면으로 알람 보고 메시지를 전송한 다. 한편, 트레이스 클라이언트(14)에서는 PC 화면에 표시된 알람 보고를 인지하고, 장비(10)의 이상에 대한 조치(작업)를 EHS(13)에 요구하고, EHS(13)는 이력 데이터 베이스(15)에서 요구된 작업에 필요한 데이터를 끌어낸다.

미설명 도면 부호 '16'은 셀 컨트롤러를 나타낸 것으로, 셀 컨트롤러는 이력 데이터 베이스(15)에 인터페이스 되어 있다.

첨부된 도면 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 알람 모니터링 프로그램의 플로우 차트로서, 이하 이를 참조하여 설명한다.

일단, EQS가 장비로부터 SECS 메시지를 수신하면(100), EQS는 수신된 메시지가 알람 보고 메시지인지를 판단하여(110), 수신된 SECS 메시지가 알람 보고 메시지이면 EQS는 그에 대응하는 IPC 메시지를 EHS로 전송하고(120), 수신된 SECS 메시지가 알람 보고 메시지가 아닌 경우에는 상황을 종료한다.

계속하여, EHS는 전송된 메시지 내의 알람이 등록되어 있는지를 판단하여(130), 등록되어 있는 경우에는 다시 해당 알람에 대한 데이터 베이스 기록 플래그(flag)가 설정되어 있는지를 판단하고(140), 등록되어 있지 않은 경우에는 상황을 종료한다.

다음으로, 해당 알람에 대한 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있는 경우, EHS는 데이터 베이스 테이블에 데이터를 기록하고(150), 해당 알람에 대해 클라이언트(작업자 PC 화면)에서 실시간으로 제어할 것인지를 판단하고(160), 만일, 해당 알람에 대한 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있지 않은 경우에는 데이터 베이스 테이블에 데이터를 기록하지 않고 바로 해당 알람에 대해 클라이언트(작 업자 PC 화면)에서 실시간으로 제어할 것인지를 판단한다(160).

판단 결과, 실시간으로 제어할 경우에는 클라이언트(작업자 PC 화면)로 데이터를 전송하고(170), 실시간으로 제어하지 않을 경우에는 상황을 종료한다.

작업자(또는 장비 담당자)는 처리를 원하거나 기록을 남기고 싶은 알람 ID를 미리 등록해야 PC 화면에서 발생된 알람 현황을 볼 수 있다. EHS와 PC 화면은 서버/클라이언트 프로그래밍(server/client programming) 기법으로 구현할 수 있으며, 미들 웨어(middle ware)는 TIBCO사의 랑데뷰(Rendezvous)를 사용할 수 있다. 또한, PC 화면은 실시간 알람 발생 현황판, 알람 등록 및 수정 화면, 알람 발생 이력 조회 등 크게 3부분으로 구성되는데, 알람 등록 화면에서 등록된 알람 데이터는 EHS에서 런 타임(run time)시 사용하기 위해 데이터 베이스 테이블에 레코드 형식으로 저장된다. EHS로 전송된 알람 메시지는 해당 알람을 데이터 베이스 테이블에서 참조하여 해당 알람의 등록 여부를 확인한 후 PC 화면으로의 전송 및 알람 발생 현황을 기록할 것인지를 결정한다. 트레이스 클라이언트로 알람 메시지가 전송되면 PC 화면 내의 해당 장비 부분이 깜박이거나 색깔이 바뀌어 알람의 발생 여부를 알려주게 되며, 발생 이력 조회도 가능하다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

전술한 본 발명은 반도체 생산 장비의 이상 방생 현황을 작업자의 PC 화면 또는 그에 온라인으로 연결된 다른 PC 화면에서 실시간으로 확인할 수 있어 즉각적인 장비 보수를 유도할 수 있어, 반도체 라인의 생산성 및 수율을 개선하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템에 있어서,

   상기 반도체 생산 장비로부터 알람 보고 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 수신하여 이를 IPC(interprocess communication) 메시지로 변환하기 위한 장비 통신 서버;

   상기 장비 통신 서버로부터 상기 IPC 메시지를 수신하여 전산상의 작업을 요구하는 메시지를 정의하기 위한 장비 서버; 및

   상기 장비 서버에서 정의된 알람 보고 메시지를 수신하여 데이터 베이스 테이블에 기록하고, 상기 알람 보고 메시지 내의 알람이 등록된 것일 경우 이를 트레이스 클라이언트로 전송하기 위한 예외 처리 서버

   를 구비한 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템.
2. 제1항에 있어서,

   상기 예외 처리 서버가,

   상기 트레이스 클라이언트로부터 전송된 작업 요구에 따라 상기 데이터 베이스 테이블로부터 요구된 작업에 필요한 데이터 이력을 인출하고 그를 상기 트레이스 클라이언트로 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 시스템.
3. 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 방법에 있어서,

   상기 반도체 생산 장비로부터 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 수신하는 제1 단계;

   IPC(interprocess communication) 형태로 변환된 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지인지를 판단하는 제2 단계;

   상기 제2 단계의 판단 결과, 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지이면 상기 알람 보고 메시지를 예외 처리 서버로 전송하는 제3 단계;

   전송된 상기 알람 보고 메시지 내의 알람이 등록되어 있는지를 판단하는 제4 단계;

   상기 제4 단계의 판단 결과, 상기 알람이 등록되어 있으면 상기 알람에 대한 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있는지를 판단하는 제5 단계;

   상기 제5 단계의 판단 결과, 상기 알람에 대한 상기 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있으면 데이터 베이스 테이블에 데이터를 기록하는 제6 단계;

   상기 제5 단계의 판단 결과 상기 알람에 대한 상기 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있지 않거나 상기 제6 단계를 수행한 경우, 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어할 것인지를 판단하는 제7 단계; 및

   상기 제7 단계의 판단 결과, 상기 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어하는 경우 상기 알람 보고 메시지를 상기 트레이스 클라이언트로 전송하는 제8 단계

   를 포함하여 이루어진 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 방법.
4. 제3항에 있어서,

   상기 제2 단계의 판단 결과, 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지가 아니면 상황을 종료하는 제9 단계를 더 포함하여 이루어진 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 제4 단계의 판단 결과, 상기 알람이 등록되어 있지 않으면 상황을 종료하는 제10 단계를 더 포함하여 이루어진 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 방법.
6. 제5항에 있어서,

   상기 제7 단계의 판단 결과, 상기 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어하지 않는 경우, 상황을 종료하는 제11 단계를 더 포함하여 이루어진 반도체 생산 장비의 알람 모니터링 방법.
7. 다수의 반도체 생산 장비를 구비한 반도체 생산라인에,

   상기 반도체 생산 장비로부터 SECS(semiconductor equipment communication standard) 메시지를 수신하는 기능;

   IPC(interprocess communication) 형태로 변환된 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지인지를 판단하는 기능;

   상기 제2 기능의 판단 결과, 상기 SECS 메시지가 알람 보고 메시지이면 상기 알람 보고 메시지를 예외 처리 서버로 전송하는 제3 기능;

   전송된 상기 알람 보고 메시지 내의 알람이 등록되어 있는지를 판단하는 제4 기능;

   상기 제4 기능의 판단 결과, 상기 알람이 등록되어 있으면 상기 알람에 대한 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있는지를 판단하는 제5 기능;

   상기 제5 기능의 판단 결과, 상기 알람에 대한 상기 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있으면 데이터 베이스 테이블에 데이터를 기록하는 제6 기능;

   상기 제5 기능의 판단 결과 상기 알람에 대한 상기 데이터 베이스 기록 플래그가 설정되어 있지 않거나 상기 제6 기능을 수행한 경우, 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어할 것인지를 판단하는 제7 기능; 및

   상기 제7 기능의 판단 결과, 상기 트레이스 클라이언트에서 상기 알람을 실시간으로 제어하는 경우 상기 알람 보고 메시지를 상기 트레이스 클라이언트로 전송하는 제8 기능

   을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.

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