KR100585026B1 - 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 합착장치 또는 페이스트(Paste) 도포장치에서 기판을 부착 지지하여 로딩하는데 사용하는 기판로딩 베이스에 관한 것으로, 특히 대형의 기판을 지지하여 로딩하는 경우에 적당하도록 한 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스에 관한 것이다.

상기의 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스는 단일의 판으로 이루어진 하부 베이스와, 적어도 하나 이상의 판으로 이루어진 상부 베이스와, 상기 상부 베이스를 구성하는 수개의 판 사이의 수평을 유지하기 위한 수평 조정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

대형 기판, 기판 로딩 베이스

Description

수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스{substrate-loading base adjusted horizon}

도 1은 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스의 평면도이다.

도 2는 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스의 정면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 상부 베이스 20 : 하부 베이스

30 : 수평 조정수단 31 : 캡

32 : 높이 조정볼트 33 : 고정 볼트

34 : 탄성부재

본 발명은 기판 합착장치 또는 페이스트(Paste) 도포장치에서 기판을 부착 지지하여 로딩하는데 사용하는 기판로딩 베이스에 관한 것으로, 특히 대형의 기판을 지지하여 로딩하는 경우에 적당하도록 한 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스 에 관한 것이다.

통상적으로 기판을 합착하기 위해서는 합착기의 챔버 내로 기판을 로딩해야 하고, 기판에 액정을 적하하는 경우에도 액정적하장치 내로 기판을 로딩해야 한다.

현재 대형화된 평면표시장치가 필요함에 따라 대형의 평면표시장치가 제조되고 있는데, 이 경우에 대형의 기판을 적절하게 로딩할 수 있는 기판로딩 베이스도 필요하게 된다.

그런데, 상기의 기판로딩 베이스는 한개의 판으로 형성된 단일의 베이스로 구성되어 기판을 지지하여 로딩하는 것이 일반적이다.

상기 대형의 기판을 로딩할 수 있는 기판로딩 베이스를 제작함에 있어서는 상당한 어려움이 있다. 특히, 균일한 평탄도를 가지는 기판로딩 베이스의 가공은 어려울뿐만 아니라, 적절하게 가공되더라도 고가로 책정되는 문제점이 있다.

또한, 상기 기판로딩 베이스를 하나의 판으로 제작하여 사용할 때, 기판로딩 베이스의 일부분이 파손되거나 일부분의 평탄도가 오차범위를 벗어날 경우에 기판로딩 베이스의 전부를 재가공해야 하는 문제점이 발생한다. 결과적으로 기판로딩 베이스의 제작 및 유지에 상당한 비용이 소요되는 문제점이 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 기판로딩 베이스를 하부 베이스와 수개의 판으로 이루어지는 상부 베이스로 구성하여 상기 수개의 판 사이의 수평을 조정하여 균일한 평탄도를 유지한 상태에서 대형의 기판을 로딩하는 것을 가능하게 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스를 이루는 구성수단은, 페이스트 도포장치 또는 기판 합착장치에 구비되는 기판로딩 베이스에 있어서, 단일의 판으로 이루어진 하부 베이스와, 적어도 하나 이상의 판으로 이루어진 상부 베이스와, 상기 상부 베이스를 구성하는 판들 사이의 수평을 유지하기 위한 수평 조정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수평 조정수단은, 상기 하부 베이스와 상기 상부 베이스를 구성하는 적어도 하나 이상의 판 사이에 설치되어 상하 탄력을 유지시키는 탄성부재와, 상기 탄성부재의 탄력에 따라 상기 상부 베이스를 구성하는 판들 사이의 수평을 조정 또는 유지시키는 조절수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 탄성부재는 스프링 등으로 구성되되, 상기 상부 베이스를 구성하는 각각의 판에 적어도 하나 이상 설치된다. 그런데, 안정성과 균형성을 고려하여 상기 각각의 판의 모서리에 각각 하나씩 설치하는 것이 바람직하다. 한편, 상기 탄성 부재는, 상기 하부 베이스의 상부의 특정 부분과 이에 대응하는 상기 상부 베이스를 구성하는 수개의 판의 하부의 특정 부분에 형성된 원통형의 홈에 격납되어 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 조절수단은, 상기 상부 베이스를 구성하는 각각의 판의 높이를 조정하는 높이 조정볼트와, 상기 높이 조정볼트에 의해 조정된 높이를 유지하기 위한 고정볼트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 조절수단은, 상기 상부 베이스를 구성하는 각각의 판에 적어도 하나 이상 설치된다. 그런데, 안정성과 균형성을 고려하여 상기 각각의 판의 모서리에 하나씩 설치되는 것이 바람직하다. 한편, 상기 높이 조정볼트는, 그 내부로 상기 고정 볼트를 삽입하기 위해 그 내부가 관통되는 것을 특징으로 한다.

이하, 상기와 같은 구성수단들로 이루어져 있는 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스에 관한 작용과 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스에 관한 평면도 및 분리 사시도를 보여주고, 도 2는 상기의 본 발명에 관한 정면도를 보여준다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판로딩 베이스는 적어도 하나 이상의 판으로 이루어지는 상부 베이스(10)와 단일의 판으로 이루어지는 하부 베이스(20)와 상기 상부 베이스를 이루는 각각의 판 사이의 수평을 유지하기 위한 수평 조정수단(30)들로 구성된다. 즉, 단일의 판으로 기판로딩 베이스를 제작하는 종래와 달리, 상부 베이스(10)와 하부 베이스(20)로 나누고, 상기 상부 베이스(10)는 적어도 하나 이상의 판으로 구성하며, 상기 적어도 하나 이상의 판들 사이의 수평은 별도로 부가된 수평 조정수단(30)을 이용하여 유지한다.

상기 상부 베이스(10)를 이루는 각각의 판들의 하측과 하부 베이스(20)의 상 측에는 대응하는 위치에 원통형의 홈이 형성되어 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 탄성부재(34)가 격납되어 있다.

상기 수평 조정수단(30)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상부 베이스(10)를 구성하는 다수개의(적어도 하나 이상의) 판들과 하부 베이스(20) 사이에 설치되어 상하 탄력을 유지시키는 탄성부재(34)와 상기 탄성 부재(34)의 탄력을 조정하여 상기 상부 베이스(10)를 구성하는 수개의 판들의 수평을 조정하고 유지시키는 조절수단들을 구비하여 기판로딩 베이스의 전체적인 평탄도를 높인다.

상기 탄성부재(34)는 상기 상부 베이스(10)의 각각의 판들의 하측과 하부 베이스(20)의 상측에 형성되는 원통형의 홈에 격납되어 이탈되지 못하고, 단지 상하로 탄력성을 발휘하는 탄성력을 가진다. 상기 탄성부재(34)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 탄성력이 뛰어난 스프링으로 구성하는 것이 바람직하다. 한편, 상기 탄성 부재(34)의 설치 개수는 적어도 하나 이상이되, 변경 가능하다. 그런데, 상기 상부 베이스(10)를 이루는 각각의 판의 모서리에 한개씩 설치하는 것이 전체적인 균형상 바람직하다. 즉, 도 1 및 도 2에서와 같이 8개의 판으로 상부 베이스(10)를 구성하는 경우에는 32개의 탄성 부재를 설치하는 것이 바람직하다.

상부 베이스(10)를 이루는 다수개의 판들 사이의 수평을 유지하기 위해 조정되는 조절수단은, 상기 각각의 판들의 높이를 조정할 수 있는 높이 조정볼트(32)와 상기 높이 조정볼트(32)에 의해 조정된 높이를 계속해서 유지시키기 위해 사용되는 고정볼트(33)로 구비되어 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들이 서로 수평을 이룰 수 있도록 한다.

상기의 조절수단은 상기 탄성부재(34)와 같이 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판에 적어도 하나 이상 설치된다. 그런데, 전체적인 균형과 안정성을 고려하여 상기 각각의 판의 모서리에 하나씩 설치되는 것이 바람직하다. 따라서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 8개의 판으로 상부 베이스(10)를 구성하는 경우에는 총 32개의 조절수단이 설치된다.

상기 높이 조정볼트(32)와 고정볼트(33)의 상호 결합 구조는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 고정볼트(33)가 높이 조정볼트(32) 내부로 삽입될 수 있는 구조를 가진다. 따라서, 상기 높이 조정볼트(32)의 내부는 상기 고정볼트(33)가 삽입될 수 있도록 관통되어 있다. 한편, 상기 높이 조정볼트(32)와 고정볼트(33)의 사용과 상기 탄성부재(34)의 탄성력을 이용하여 상기 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들간의 수평을 유지하기 위해서는 하부 베이스(20)의 특정 위치(상기 높이 조정볼트(32)와 고정볼트(33)에 대응하는 위치)에 나사 홈이 형성되어야 한다.

이상에서 설명한 구성수단과 각 구성수단들의 작용에 따라 수평 조정이 된 기판로딩 베이스를 이용하여 대형 기판을 로딩할 수 있다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상부 베이스(10)를 8개의 판으로 구성하는 경우에 기판로딩 베이스에 대한 수평 조정 및 유지에 관한 구체적인 실시예를 설명하면 다음과 같다.

하부 베이스(20)의 상측에 형성된 32개의 원통형의 홈에 탄성부재(34)를 격납시키고, 상기 하부 베이스(20)의 위에 상부 베이스(10)를 구성하는 8장의 판을 올려 놓는다. 이 때, 상기 상부 베이스(10)를 이루는 각각의 판의 하측에도 상기 하부 베이스(20)의 상측에 형성된 원통형의 홈과 대응하는 위치에 원통형의 홈이 형성되어 상기 탄성부재(34)가 격납된다. 즉, 상기 탄성부재(34)는 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판의 모서리에 형성된 원통형의 홈과 하부 베이스(20)에 형성된 원통형의 홈에 완전 격납된 상태로 탄성력을 유지한다.

상기와 같은 상태에서 높이 조정볼트(32)를 이용하여 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판을 하부 베이스(20)에 상당 정도 밀착되게 한다. 즉, 탄성부재(34)의 탄성력에 의해 이격되어 있는 하부 베이스(20)와 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들을 32개의 높이 조정볼트(32)를 사용하여 일정 거리만큼 근접하게 한다.

상기와 같이 높이 조정볼트(32)를 이용하여 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들을 하부 베이스(20)에 근접시킨 상태에서는 대형 기판을 로딩할 기판로딩 베이스의 평탄도는 오차 범위를 벗어난 경우가 일반적이다. 따라서, 기판로딩 베이스의 수평 측정장치(미도시)에 의하여 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들의 높이를 측정한 후, 기준 높이에 상기 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들의 높이를 일치시켜야 한다.

상기 기준 높이에 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들의 높이를 일치시키기 위해서는 상기 높이 조정볼트(32)를 사용하여 일치시킨다. 예를 들면, 높이 조정볼트(32)를 왼쪽으로 회전시킴에 따라 탄성부재(34)인 스프링을 눌러 높이를 낮추거나 높이 조정볼트(32)를 오른쪽으로 회전시킴에 따라 탄성부재(34)인 스프링을 상승시켜 높이를 올리는 방법에 의하여 상기 상부 베이스(10)를 구성하는 각각 의 판들간의 수평을 조정한다.

상기와 같이 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들간의 높이를 동일하게 하여 오차 범위 내로 수평이 조정되면, 이 상태로 기판로딩 베이스를 사용하기 위하여 고정볼트(33)를 이용하여 조정된 높이를 고정시킨다. 즉, 상기 조정된 높이에서 고정볼트(33)를 상기 높이 조정볼트(32)의 내부에 형성된 관통 구멍에 삽입시켜 현 상태의 높이를 고정시킨다. 상기와 같이 고정볼트(33)를 이용하여 높이를 고정시킨 다음에는 상부 베이스(10)의 완전한 수평을 유지하고 상기 높이 조정볼트(32)와 고정볼트(33)를 외부와 차단하기 위하여 캡(31)을 씌운다.

이상에서 설명한 바와 같이 기판로딩 베이스의 상부 베이스(10)를 구성하는 각각의 판들간의 수평을 조정 및 고정한 경우에, 상기 기판로딩 베이스는 대형 기판을 로딩하기 위한 적절한 평탄도를 가지게 된다.

상기와 같은 구성수단 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스에 의하면, 종래와 달리 기판로딩 베이스를 한장의 판으로 형성하는 것이 아니라, 상부 베이스와 하부 베이스로 구분하고 상기 상부 베이스를 다수개의 판으로 구성하여 상기 수개의 판을 수평 조정이 가능하게 함으로써 평탄도가 우수한 기판로딩 베이스를 제공할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기와 같이 평탄도가 뛰어난 기판로딩 베이스를 제작할 수 있으므로, 대형의 기판을 적절하게 로딩할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기와 같이 상부 베이스를 다수개의 판으로 구성함으로써 기판로딩 베이스의 일부에 파손이 발생한 경우에, 기판로딩 베이스의 전부를 교체할 필요없이 다수개의 판 중에 일부만을 교체하여 파손에 대응할 수 있는 효과가 있다.

한편, 상기와 같이 파손 부분만을 교체하여 대형의 기판을 지속적으로 로딩할 수 있는 기판로딩 베이스를 유지할 수 있으므로, 재가공에 따른 비용 문제 및 유지 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 페이스트 도포장치 또는 기판 합착장치에 구비되는 기판로딩 베이스에 있어서,

   단일의 판으로 이루어진 하부 베이스와, 적어도 하나 이상의 판으로 이루어진 상부 베이스와, 상기 상부 베이스를 구성하는 판들 사이의 수평을 유지하기 위한 수평 조정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 수평 조정수단은,

   상기 하부 베이스와 상기 상부 베이스를 구성하는 적어도 하나 이상의 판 사이에 설치되어 상하 탄력을 유지시키는 탄성부재와, 상기 탄성부재의 탄력에 따라 상기 상부 베이스를 구성하는 판들 사이의 수평을 조정 또는 유지시키는 조절수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 탄성부재는 스프링으로 구성되되, 상기 상부 베이스를 구성하는 각각의 판에 적어도 하나 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.
4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,

   상기 탄성 부재는, 상기 하부 베이스의 상부의 특정 부분과 이에 대응하는 상기 상부 베이스를 구성하는 수개의 판의 하부의 특정 부분에 형성된 원통형의 홈에 격납되어 설치되는 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.
5. 청구항 2에 있어서, 상기 조절수단은,

   상기 상부 베이스를 구성하는 각각의 판의 높이를 조정하는 높이 조정볼트와, 상기 높이 조정볼트에 의해 조정된 높이를 유지하기 위한 고정볼트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.
6. 청구항 2 또는 청구항 5에 있어서,

   상기 조절수단은, 상기 상부 베이스를 구성하는 각각의 판에 적어도 하나 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.
7. 청구항 5에 있어서,

   상기 높이 조정볼트는, 그 내부로 상기 고정 볼트를 삽입하기 위해 그 내부가 관통되는 것을 특징으로 하는 수평 조정이 가능한 기판로딩 베이스.

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