CN217438296U - stage平台调节水平机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及CVD真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种stage平台调节水平机构，包括载片台基板、载片台导柱、载片调节弹簧和载片台安装板，载片台导柱的一端与载片台安装板连接，另一端通过螺丝连接载片台基板，载片调节弹簧套设在载片台导柱上，载片调节弹簧的一端紧抵载片台安装板，另一端紧抵载片台基板，载片台导柱之间呈等腰三角形分布。本申请中由于载片台导柱之间呈等腰三角形分布，与常用的导向柱之间呈直角三角形分布相比，调节后，载片台基板的稳定性会更好。

Description

stage平台调节水平机构

技术领域

本申请涉及CVD真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种stage平台调节水平机构。

背景技术

stage平台是CVD真空镀膜设备的一部分，Stage是放置晶圆片盒的一个平台，片盒中自上而下平行放置多张晶片，stage平台下面的顶升装置会将stage顶起到每个晶圆片适合被机器人托举的到的高度，在此过程中，需要保持stage平台与机器人托举装置上的托片平行。

目前，常见的stage平台大多数如图1所示，包括上平台1、底板2、导向柱3和弹簧4，底板2上设有第一缺口5，第一缺口5占据底板2的一个角和两条边，上平台1上设有第二缺口6，第二缺口6位于上平台1的一个边上，第二缺口6位于第一缺口5上方，导向柱3连接在底板2的三个角处，导向柱3之间呈直角三角形分布，上平台1通过螺钉7连接导向柱3，螺钉7穿过上平台1与导向柱3螺纹连接，弹簧4套设在导向柱3上，弹簧4的一端紧抵底板2，另一端紧抵上平台1。第一缺口5和第二缺口6的设置是为了避让与stage平台配合的其他设备结构。

为了保持stage平台与机器人托举装置平行，上述stage平台在进行调节时，拧动螺钉7，调节弹簧4的弹性程度，上平台1在弹簧4的弹力作用下位置发生改变，从而调节上平台1的水平程度，但是上述stage平台中导向柱3之间呈直角三角形分布，调节后上平台1的稳定性较差。

实用新型内容

为了改善上平台稳定性较差的问题，本申请提供一种stage平台调节水平机构。

本申请提供的一种stage平台调节水平机构采用如下的技术方案：

一种stage平台调节水平机构，包括载片台基板、载片台导柱、载片调节弹簧和载片台安装板，载片台导柱的一端与载片台安装板连接，另一端通过螺丝连接载片台基板，载片调节弹簧套设在载片台导柱上，载片调节弹簧的一端紧抵载片台安装板，另一端紧抵载片台基板，载片台导柱之间呈等腰三角形分布。

通过采用上述技术方案，由于载片台导柱之间呈等腰三角形分布，与常用的导向柱之间呈直角三角形分布相比，调节后，载片台基板的稳定性会更好。

可选的，所述载片台导柱与载片台安装板可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，载片台导柱与载片台安装板之间可拆卸连接，若载片台导柱与载片台安装板之间任一结构发生损坏，则可以将损害的结构拆卸下来进行更换，以便节省维修成本。

可选的，所述载片台导柱与载片台安装板之间通过螺纹可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，载片台导柱与载片台安装板之间通过螺纹可拆卸连接，可以实现载片台导柱与载片台安装板之间的快速安装与拆卸，在维修时，可以加快维修速度。

可选的，所述载片台安装板上设有限位孔，载片调节弹簧抵触载片台安装板的一端位于限位孔内。

通过采用上述技术方案，载片台安装板上限位孔的设置能够对载片调节弹簧进行限位，减小弹簧在载片台导柱上晃动的可能性。

可选的，所述载片台基板上设有限位孔，载片调节弹簧抵触载片台基板的一端位于限位孔内。

通过采用上述技术方案，载片台基板上限位孔的设置能够对载片调节弹簧进行限位，减小弹簧在载片台导柱上晃动的可能性。

可选的，所述载片台基板上设有定位槽。

通过采用上述技术方案，在调节载片台基板与机器人托举装置上的托片平行时，可以先参考水平仪在托片上的水平程度，再将该水平仪放置在载片台基板上，参考水平仪调节载片台基板水平，从而达到载片台基板与托片平行，在将水平仪放置在载片台基板上时，可以直接将水平仪放置在定位槽内，以便对水平仪进行定位，防止调节过程中水平仪的位置发生变化。

可选的，所述定位槽内可拆卸连接有水平仪。

通过采用上述技术方案，在定位槽内设置可以拆卸的水平仪，在调节载片台基板与托片之间保持平行状态时，可以直接使用定位槽内的水平仪，不许单独准备水平仪再进行调节，尤其是将水平仪放置在定位槽内时，不必担心水平仪过大放不进去定位槽内，为调节人员的工作带来方便。

可选的，所述水平仪上设有第一磁铁，所述定位槽底部设有第二磁铁，第一磁铁与第二磁铁相互吸引。

通过采用上述技术方案，通过第一磁铁和第二磁铁之间的吸引力能够将水平仪快速连接在定位槽内，为安装定位槽带来方便。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.由于载片台导柱之间呈等腰三角形分布，与常用的导向柱之间呈直角三角形分布相比，调节后，载片台基板的稳定性会更好；

2.载片台导柱与载片台安装板之间可拆卸连接，若载片台导柱与载片台安装板之间任一结构发生损坏，则可以将损害的结构拆卸下来进行更换，以便节省维修成本

3.调节载片台基板与机器人托举装置上的托片平行时，可以先参考水平仪在托片上的水平程度，再将该水平仪放置在载片台基板上，参考水平仪调节载片台基板水平，从而达到载片台基板与托片平行，在将水平仪放置在载片台基板上时，可以直接将水平仪放置在定位槽内，以便对水平仪进行定位，防止调节过程中水平仪的位置发生变化。

附图说明

图1是背景技术中用于体现stage平台的结构示意图。

图2是实施例1中用于体现stage平台调节水平机构的结构示意图。

图3是实施例1中用于体现限位孔与载片台安装板之间位置关系的结构示意图。

图4是实施例2中用于体现stage平台调节水平机构的结构示意图。

图5是实施例2中用于体现水平仪与载片台基板之间连接关系的结构示意图。

附图标记说明：

1、上平台；2、底板；3、导向柱；4、弹簧；5、第一缺口；6、第二缺口；7、螺钉；8、载片台基板；9、载片台导柱；10、载片调节弹簧；11、载片台安装板；12、螺纹杆；13、螺丝；14、第三缺口；15、第四缺口；16、限位孔；17、定位槽；18、水平仪；19、第二磁铁；20、第一磁铁。

具体实施方式

本申请实施例公开一种stage平台调节水平机构。

实施例1

参照图1和图2，stage平台调节水平机构包括载片台基板8、载片台导柱9、载片调节弹簧10和载片台安装板11。

参照图1和图2，载片台基板8与载片台安装板11之间通过载片台导柱9连接，载片台导柱9的一端一体成型有螺纹杆12，螺纹杆12与载片台安装板11之间通过螺纹可拆卸连接，载片台导柱9的另一端通过螺丝13连接载片台基板8，螺丝13穿过载片台基板8并螺纹连接在载片台导柱9上。载片台导柱9之间呈等腰三角形分布。本实施例中，螺丝13为内六角圆柱头螺丝。

参照图1和图2，载片台基板8上设有第三缺口14，载片台安装板11上设有第四缺口15，第三缺口14和第四缺口15位于载片台基板8中心的同一侧，呈等腰三角形分布的载片台导柱9中，位于等腰三角形底边两端的载片台导柱9处于第三缺口14和第四缺口15的两侧。第三缺口14和第四缺口15的设置均是为了避让与本stage平台调节水平机构配合的其他设备结构。

参照图1和图2，载片台基板8和载片台安装板11相对的侧壁上均设有限位孔16，载片调节弹簧10套设在载片台导柱9上，载片调节弹簧10的一端紧抵载片台安装板11并位于载片台安装板11上的限位孔16内，载片调节弹簧10的另一端紧抵载片台基板8并位于载片台基板8上的限位孔16内。

实施例1的实施原理为：在调节载片台基板8与机器人托举装置上的托片平行时，载片台基板8的水平程度可以通过水平仪18作为参考，先参考水平仪18在托片上的水平程度，再将该水平仪18放置在载片台基板8上，参考水平仪18调节载片台基板8水平程度，从而达到载片台基板8与托片平行。

在调节载片台基板8时，拧动螺丝13，载片台弹簧4的弹性程度发生变化，载片台弹簧4的弹力作用在载片台基板8上，从而调节上平台1的水平程度，由于载片台导柱9之间呈等腰三角形分布，以stage平台调节水平机构的前端（即载片台基板8上与第三缺口14相对的一侧）中心点为顶点，构建出等腰三角形，因此，调节后载片台基板8的稳定性更好。

实施例2

参照图4和图5，与实施例1的不同之处在于，载片台基板8上设有定位槽17，定位槽17内可拆卸连接有水平仪18，水平仪18从定位槽17内凸出，以便拆卸，水平仪18上通过胶水连接有第一磁铁20，定位槽17底部通过胶水有第二磁铁19，第一磁铁20与第二磁铁19相互吸引。

实施例2的实施原理为：在调节载片台基板8与机器人托举装置上的托片平行时，先将水平仪18从定位槽17内取出，第一磁铁20与第二磁铁19分离，将取出的水平仪18放置在托片上，参考水平仪18在托片上的水平程度，再将水平仪18重新放回定位槽17内，参考水平仪18调节载片台基板8水平，从而达到载片台基板8与托片平行，定位槽17能够对水平仪18限位，避免水平仪18调节载片台基板8水平程度过程中发生移动，使调节结果更加精准。

Claims (8)

1.一种stage平台调节水平机构，包括载片台基板(8)、载片台导柱(9)、载片调节弹簧(10)和载片台安装板(11)，载片台导柱(9)的一端与载片台安装板(11)连接，另一端通过螺丝(13)连接载片台基板(8)，载片调节弹簧(10)套设在载片台导柱(9)上，载片调节弹簧(10)的一端紧抵载片台安装板(11)，另一端紧抵载片台基板(8)，其特征在于：载片台导柱(9)之间呈等腰三角形分布。

2.根据权利要求1所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述载片台导柱(9)与载片台安装板(11)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述载片台导柱(9)与载片台安装板(11)之间通过螺纹可拆卸连接。

4.根据权利要求1所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述载片台安装板(11)上设有限位孔(16)，载片调节弹簧(10)抵触载片台安装板(11)的一端位于限位孔(16)内。

5.根据权利要求1所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述载片台基板(8)上设有限位孔(16)，载片调节弹簧(10)抵触载片台基板(8)的一端位于限位孔(16)内。

6.根据权利要求1所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述载片台基板(8)上设有定位槽(17)。

7.根据权利要求6所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述定位槽(17)内可拆卸连接有水平仪(18)。

8.根据权利要求7所述的stage平台调节水平机构，其特征在于：所述水平仪(18)上设有第一磁铁(20)，所述定位槽(17)底部设有第二磁铁(19)，第一磁铁(20)与第二磁铁(19)相互吸引。

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