CN212566791U - 一种用于烘箱回流的支架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台和若干个设置在工作台上的调平单元，调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；工作台上设置有腰型孔，调平单元设置在腰型孔内，调平单元与工作台滑动连接；调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在支撑杆上的支撑座，支撑杆插设在工作台的腰形孔内，支撑座与支撑杆螺纹连接。通过上述方式，本实用新型能够支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置，从而避免硅片产品上的光刻胶分布不均匀，减少对硅片产品后续加工的影响，提高硅片产品的品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学加工技术领域，特别是涉及一种用于烘箱回流的支架。
背景技术
目前，在光学行业中对硅片进行烘箱回流作业时，硅片均是直接放在烘箱中。由于烘箱内部的平板的很难做到水平结构，会导致放在烘箱内部的产品无法保证能水平放置。在烘箱回流高温过程中，硅片产品上的光刻胶处于熔融状态，由于重力作用，光刻胶会倾向水平低的方向，从而导致光刻胶的不均匀，严重影响后续加工，对硅片产品的品质有一定影响，且增加了生产制造成本。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种用于烘箱回流的支架，能够支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置。
为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台和若干个设置在所述工作台上的调平单元，所述调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；所述工作台上设置有腰型孔，所述调平单元设置在所述腰型孔内，所述调平单元与工作台滑动连接；所述调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在所述支撑杆上的支撑座，所述支撑杆插设在所述工作台的腰形孔内，所述支撑座与支撑杆螺纹连接。
优选的，所述支撑座与硅片的接触面设置有保护层；所述保护层的材质为橡胶。
优选的，所述支撑座设置为台阶状，且所述支撑座面向硅片的面为平面。
优选的，所述支撑座包括支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶，所述支撑第一台阶设置在所述支撑第三台阶的上方，所述支撑第一台阶与支撑第三台阶通过所述支撑第二台阶连接；所述支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶的横截面依次增大。
优选的，所述支撑杆上设置有刻度线。
优选的，所述支撑杆的数量为至少三个。
优选的，同一支撑杆上的支撑座的数量为至少三个。
优选的，还包括固定单元，所述固定单元包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块均套设在所述支撑杆上，所述第一固定块和第二固定块与所述支撑杆螺纹连接，所述第一固定块位于所述工作台的上方，所述第二固定块位于所述工作台的下方。
优选的，所述工作台上设置有定位销，所述定位销位于所述腰形孔的两侧，所述第一固定块上设置有与所述定位销相适配的定位孔。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列有益效果：
提供了一种用于烘箱回流的支架，可以支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置，从而避免硅片产品上的光刻胶分布不均匀，减少对硅片产品后续加工的影响，提高硅片产品的品质。
附图说明
图1是本实用新型一种用于烘箱回流的支架的结构示意图。
图2是本实用新型一种用于烘箱回流的支架的爆炸图。
图3是本实用新型一种用于烘箱回流的支架中一种支撑座的结构示意图。
附图标记说明：工作台1、腰型槽11、调平单元2、支撑杆21、支撑座22、固定单元3、第一固定块31、第二固定块32、定位销4、硅片产品5。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参阅附图，一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台1和若干个设置在工作台1上的调平单元2，调平单元2之间形成放置硅片的容纳空腔。工作台1上设置有腰型孔，调平单元2设置在腰型孔内，调平单元2与工作台1滑动连接。腰形孔的数量大于等于调平单元2的数量，可以根据实际硅片的尺寸和形状选择调平单元2插设在不同的腰形孔内，并通过调平单元2在腰形孔内的滑动到不同的位置来改变容纳空腔的尺寸，从而使得该容纳空腔可以放置不同尺寸的硅片产品5。
调平单元2包括支撑杆21和若干个活动套设在支撑杆21上的支撑座22，支撑杆21插设在工作台1的腰形孔内。支撑杆21上设置有外螺纹，支撑座22上设置有内螺纹，支撑座22与支撑杆21螺纹连接。支撑杆21的数量为至少三个，即调平单元2的数量为至少三个，确保调平单元2支撑硅片产品5时的稳定性。同一支撑杆21上的支撑座22的数量为至少三个，同一支撑杆21上的支撑座22有多少个即可以同时放置多少个硅片产品5，提高烘箱回流加工的效率。
硅片产品5放置在支撑座22上，支撑座22之间形成的容纳空腔的大小通过支撑杆21之间的间距来调整。支撑座22与硅片的接触面设置有保护层，保护层的材质可以选用橡胶，避免支撑座22对硅片产品5造成损坏。
通过支撑座22与支撑杆21螺纹连接来使得支撑座22位于支撑杆21的不同位置，从而调整支撑座22的高度，以此来改变放置在支撑座22上的硅片产品5的高度。由于一个硅片产品5放置在多个支撑座22上，根据放置才硅片产品5上的水平仪来检测硅片产品5的水平状态，改变不同支撑座22的高度，可以调整同一硅片产品5不同部分的高度，从而确保硅片产品5为水平放置。
由于对硅片产品5的高度进行局部微调，为了更将精确，可以在支撑杆21上设置刻度线，通过刻度线来初步确定支撑座22的位置，再通过水平仪来检测硅片产品5的水平状态。
为了使得该支架可以同时放置不同尺寸的硅片产品5，可以将支撑座22设置为台阶状，且支撑座22面向硅片的面为平面，即支撑座22放置硅片产品5的面为平面，从而有利于硅片产品5的水平放置。支撑座22包括支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶，支撑第一台阶设置在支撑第三台阶的上方，支撑第一台阶与支撑第三台阶通过支撑第二台阶连接。支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶的横截面依次增大，因此放置在支撑座22上的硅片产品5的尺寸从上而下依次减小，例如同时放置直径为8寸、6寸和4寸的硅片产品5。
该支架还包括固定单元3，固定单元3包括第一固定块31和第二固定块32，第一固定块31和第二固定块32均套设在支撑杆21上，第一固定块31和第二固定块32与支撑杆21螺纹连接，第一固定块31位于工作台1的上方，第二固定块32位于工作台1的下方。通过在工作台1的上方和下方分别将第一固定块31和第二固定块32在支撑杆21上拧紧，将支撑杆21固定在工作台1上。
为了提高支撑杆21在工作台1上的稳固性，工作台1上设置有定位销4，定位销4位于腰形孔的两侧，第一固定块31上设置有与定位销4相适配的定位孔。第一固定块31插设在定位销4上，避免支撑杆21的晃动。
以同一支撑杆21上设置有三个支撑座22为例，三个支撑座22从上而下依次为第一层支撑座22、第二层支撑座22和第三层支撑座22。在实际使用过程中，将一片硅片产品5放置第三层支撑座22中，通过支撑杆21在腰型槽11中的滑动来改变支撑杆21之间的间距，调节出合适的硅片产品5直径。通过水平仪放到硅片产品5上方，再调节支撑杆21上的第三层支撑座22，使硅片产品5上的水平达到水平状态。接着放置第二片硅片产品5放到第二层支撑座22中，通过水平仪放到硅片产品5上方，直接调节支撑杆21上的第二层支撑座22，使第二片硅片产品5上的水平仪达到水平状态。以同样的方法，放置第三片硅片产品5放到第一层支撑座22中，通过水平仪放到硅片产品5上方，直接调节支撑杆21上的第一层支撑座22，使第三片硅片产品5上的水平仪达到水平状态，达到一次烘箱可作业多片硅片产品5的目的。
以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种用于烘箱回流的支架，其特征在于，包括：工作台和若干个设置在所述工作台上的调平单元，所述调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；所述工作台上设置有腰型孔，所述调平单元设置在所述腰型孔内，所述调平单元与工作台滑动连接；所述调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在所述支撑杆上的支撑座，所述支撑杆插设在所述工作台的腰形孔内，所述支撑座与支撑杆螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：所述支撑座与硅片的接触面设置有保护层；所述保护层的材质为橡胶。
3.根据权利要求1所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：所述支撑座设置为台阶状，且所述支撑座面向硅片的面为平面。
4.根据权利要求3所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：所述支撑座包括支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶，所述支撑第一台阶设置在所述支撑第三台阶的上方，所述支撑第一台阶与支撑第三台阶通过所述支撑第二台阶连接；所述支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶的横截面依次增大。
5.根据权利要求1所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：所述支撑杆上设置有刻度线。
6.根据权利要求1所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：所述支撑杆的数量为至少三个。
7.根据权利要求1所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：同一支撑杆上的支撑座的数量为至少三个。
8.根据权利要求1所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：还包括固定单元，所述固定单元包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块均套设在所述支撑杆上，所述第一固定块和第二固定块与所述支撑杆螺纹连接，所述第一固定块位于所述工作台的上方，所述第二固定块位于所述工作台的下方。
9.根据权利要求8所述的一种用于烘箱回流的支架，其特征在于：所述工作台上设置有定位销，所述定位销位于所述腰形孔的两侧，所述第一固定块上设置有与所述定位销相适配的定位孔。
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| CN202021037559.9U CN212566791U (zh) | 2020-06-08 | 2020-06-08 | 一种用于烘箱回流的支架 |
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| CN202021037559.9U CN212566791U (zh) | 2020-06-08 | 2020-06-08 | 一种用于烘箱回流的支架 |
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| CN202021037559.9U Active CN212566791U (zh) | 2020-06-08 | 2020-06-08 | 一种用于烘箱回流的支架 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN212566791U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114608269A (zh) * | 2022-03-17 | 2022-06-10 | 新三和（烟台）食品有限责任公司 | 一种液态物料冻干水平调整装置及冻干工艺 |
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2020
- 2020-06-08 CN CN202021037559.9U patent/CN212566791U/zh active Active
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| CN114608269A (zh) * | 2022-03-17 | 2022-06-10 | 新三和（烟台）食品有限责任公司 | 一种液态物料冻干水平调整装置及冻干工艺 |
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