KR100584118B1 - 반도체 제조설비의 정전척 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 하부의 냉각판 및 상부의 세라믹이 부착되는 반도체 제조설비의 정전척에 있어서,상기 냉각판 및 세라믹을 부착시키기 위한 접착제를 포함하고,상기 냉각판은 제1 영역의 제1 돌출부 및 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역의 제2 돌출부를 포함하고, 상기 세라믹은 상기 제1 돌출부에 대응하는 제1 함몰부 및 상기 제2 돌출부에 대응하는 제2 함몰부를 포함하고,상기 접착제는 상기 냉각판의 제1 돌출부 및 상기 세라믹의 제1 함몰부 사이에 배치되고, 상기 냉각판의 제2 돌출부 및 상기 세라믹의 제2 함몰부는 상기 접착제가 상기 냉각판 및 상기 세라믹의 밖으로 흘러나가는 것을 막을 수 있도록 서로 대응되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 정전척.
- 제1항에 있어서,상기 냉각판은 알루미늄으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 정전척.
- 제1항에 있어서,상기 접착제는 탄성제인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 정전척.
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- 상부면을 갖는 냉각판을 준비하는 단계;상기 냉각판의 상부면에 부착되는 하부면 및 반도체웨이퍼가 안착되는 상부면을 갖는 세라믹을 준비하는 단계; 및상기 냉각판의 상부면과 상기 세라믹의 하부면 사이에서 용가제를 배치시키고 경납땜 방법을 사용하여 상기 냉각판과 상기 세라믹을 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 정전척의 제조방법.
- 제6항에 있어서,상기 경납땜 방법은 상기 용가제를 삽입한 후에 가압 및 가열을 하는 방법인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 정전척의 제조방법.
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KR1020040034300A KR100584118B1 (ko) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 반도체 제조설비의 정전척 및 그 제조방법 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101362074B1 (ko) * | 2013-06-28 | 2014-02-25 | (주)코리아스타텍 | 결합구조를 갖는 모재 및 이를 이용한 디스플레이 기판용 대면적 정전척의 제조방법 |
-
2004
- 2004-05-14 KR KR1020040034300A patent/KR100584118B1/ko active IP Right Grant
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KR101362074B1 (ko) * | 2013-06-28 | 2014-02-25 | (주)코리아스타텍 | 결합구조를 갖는 모재 및 이를 이용한 디스플레이 기판용 대면적 정전척의 제조방법 |
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