KR100580144B1

KR100580144B1 - apparatus for cleaning flat display panel

Info

Publication number: KR100580144B1
Application number: KR1020030054711A
Authority: KR
Inventors: 박용석
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2003-08-07
Filing date: 2003-08-07
Publication date: 2006-05-15
Also published as: TW200505594A; KR20050015760A; CN1579650A; JP4046709B2; CN1302864C; TWI238744B; JP2005052834A

Abstract

평판 디스플레이 패널의 세정 등에 이용될 수 있으며, 세정 구조가 간단할 뿐만 아니라, 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 평판 디스플레이용 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display cleaning apparatus which can be used for cleaning a flat panel display panel and which can not only have a simple cleaning structure but also effectively remove foreign substances.

이러한 세정장치는, 롤 브러쉬를 이용하여 기판을 세정하는 세정장치에 있어서,Such a washing apparatus is a washing apparatus which wash | cleans a board | substrate using a roll brush,

기판의 상부 또는 하부 표면에 대응하여 접촉이 가능하게 위치하는 롤 브러쉬와, 이 롤 브러쉬가 기판의 표면에 대응하여 상하방향 이동이 가능하도록 고정하는 갭조절수단과, 상기 롤 브러쉬의 회전 운동을 위한 동력을 발생하는 구동부를 포함하며,A roll brush positioned to be in contact with the upper or lower surface of the substrate, a gap adjusting means for fixing the roll brush so as to be movable upward and downward in correspondence with the surface of the substrate, and for rotating the roll brush. It includes a drive unit for generating power,

상기 갭조절수단은, 상기 롤 브러쉬가 결합되는 구동축과, 이 구동축의 양측단에 위치하는 고정 브라켓트와, 이 고정 브라켓트 내부에 회전 가능하게 위치하고 상기 구동축을 상하방향 이동이 가능하도록 고정하는 회전 플레이트와, 이 회전 플레이트의 회전을 위한 동력을 발생하는 구동원과, 상기 고정플레이트 내부에서 상기 구동원의 동력을 상기 회전 플레이트측에 직접 전달하는 동력전달부재와, 세정 영역에서 상기 기판의 위치를 센싱하기 위한 센서와, 상기 구동축과 상기 구동부 사이에서 접촉 또는 비접촉 상태로 동력을 전달하고 동력 전달 구간의 각도 변환이 가능한 상태로 연결하는 이음부재를 포함한다.The gap adjusting means may include: a drive shaft to which the roll brush is coupled; a fixed bracket positioned at both ends of the drive shaft; and a rotating plate rotatably disposed inside the fixed bracket, and configured to fix the drive shaft in a vertical direction. A drive source for generating power for rotation of the rotating plate, a power transmission member directly transmitting the power of the drive source to the rotating plate in the fixed plate, and a sensor for sensing the position of the substrate in the cleaning area; And a joint member which transmits power in a contact or non-contact state between the drive shaft and the drive unit and connects the power transmission section in a state capable of converting an angle of the power transmission section.

평판 디스플레이 패널, 롤 브러쉬(Roll Brush), 갭조절수단, 구동부, 동력전달부재, 한쌍의 워엄와 워엄휠, 한쌍의 래크기어와 피니어기어, 기판의 표면에 대응하여 상하방향으로 세정 위치가 변화되는 롤 브러쉬.The cleaning position is changed in the vertical direction corresponding to the surface of the flat panel display panel, roll brush, gap adjusting means, drive unit, power transmission member, a pair of worms and worm wheels, a pair of rack gears and a pinion gear, and a substrate. Roll brush.

Description

Cleaning device for flat panel display {apparatus for cleaning flat display panel}

도 1은 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 세정장치의 전체사시도.1 is an overall perspective view of a cleaning device for a flat panel display according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 세정장치의 갭조절수단 구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도.Figure 2 is a partially enlarged perspective view for explaining the structure of the gap adjusting means of the cleaning device for a flat panel display according to the present invention.

도 3은 도 2의 일측 단면도.3 is a side cross-sectional view of FIG.

도 4는 도 2의 동력전달부재 구조를 설명하기 위한 부분 확대단면도.4 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining the structure of the power transmission member of FIG.

도 5는 도 2의 동력전달부재의 작용에 의해 롤 브러쉬의 세정 위치가 변화되는 과정을 설명하기 위한 부분 확대단면도.5 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining a process of changing the cleaning position of the roll brush by the action of the power transmission member of FIG.

도 6은 도 4의 동력전달 작용을 설명하기 위한 부분 확대사시도.6 is a partially enlarged perspective view for explaining the power transmission action of FIG.

도 7은 도 2의 갭조절수단에 의해 기판이 롤 브러쉬로 세정되는 상태를 나타내는 단면도.7 is a cross-sectional view showing a state in which the substrate is cleaned with a roll brush by the gap adjusting means of FIG.

도 8은 도 4의 다른 실시예를 설명하기 위한 부분 확대단면도.8 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining another embodiment of FIG. 4.

도 9는 도 1의 구동부와 롤 브러쉬의 동력전달 구조를 설명하기 위한 부분 확대단면도.9 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining a power transmission structure of the driving unit and the roll brush of FIG.

도 10은 도 9의 다른 실시예를 설명하기 위한 부분 확대사시도이다.10 is a partially enlarged perspective view for explaining another embodiment of FIG. 9.

본 발명은 평판 디스플레이용 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 패널의 세정 등에 이용될 수 있으며, 세정 구조가 간단할 뿐만 아니라 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 평판 디스플레이용 세정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display cleaning apparatus. More particularly, the present invention relates to a flat panel display cleaning apparatus. The present invention relates to a flat panel display cleaning apparatus that can be used for cleaning a flat panel display panel.

일반적으로 롤 브러쉬에 관련한 세정장치는 평판 디스플레이 패널 즉, 기판의 표면에 부착된 이물질을 롤 브러쉬를 이용하여 제거하는 것으로서, 기판 세정을 위한 세정 장비 즉, 베스 내에서 기판 이송구간에 대응하여 예를들면, 건조 장치 등과 함께 일정한 구간으로 나뉘어져서 셋팅된다.In general, a cleaning apparatus related to a roll brush is a flat panel display panel, that is, a foreign matter adhered to a surface of a substrate using a roll brush, and a cleaning apparatus for cleaning a substrate, that is, corresponding to a substrate transfer section in a bath. For example, it is divided into a predetermined section and set together with a drying apparatus.

상기 롤 브러쉬는 세정 구간에서 일정량의 세정액과 함께 기판의 표면을 브러싱하여 이물질을 제거하고, 세정 장비 즉, 베스 내에서 기판의 이동 방향에 대응하여 1개가 수평한 자세로 설치되어 기판의 일측면을 세정하거나 기판이 통과할 수 있는 이격 거리 범위내로 2개가 위치하여 기판의 양측 표면을 세정하는 구조로 이루어진다.The roll brush is used to brush foreign substances by brushing the surface of the substrate together with a predetermined amount of the cleaning liquid in the cleaning section, and one of the roll brushes is installed in a horizontal position corresponding to the moving direction of the substrate in the cleaning equipment, that is, the one side of the substrate. It consists of a structure that cleans both surfaces of the substrate by placing two within the separation distance range that can be cleaned or the substrate passes.

상기 롤 브러쉬들은 베스 내에서 모터와 같은 구동원에 의해 회전하는 구동축에 끼워져서 롤링되는 구조로 이루어지고 상기 구동축은 상기 베스 내에서 상기 롤 브러쉬가 기판 이동방향에 대응하여 수평한 자세로 회전될 수 있도록 브라켓트 등으로 지지되어 베스 내에 위치한다.The roll brushes are configured to be rolled by being inserted into a drive shaft that is rotated by a drive source such as a motor in the bath, and the drive shaft is configured to allow the roll brush to be rotated in a horizontal position corresponding to the substrate moving direction in the bath. It is supported by a bracket or the like and positioned in the bath.

그리고, 상기 구동축은 일반적으로 베스 외부에 설치되는 갭조절장치에 의해 기판 상에 형성된 미세 패턴에 따라 기판과 롤 브러쉬간의 갭 조절이 이루어지고, 또한 롤 브러쉬의 작동 또는 대기시 이에 대응하여 롤 브러쉬의 위치가 변화될 수 있도록 상기 브라켓트에 고정된다.In addition, the driving shaft is generally made of a gap control between the substrate and the roll brush according to the fine pattern formed on the substrate by a gap control device installed on the outside of the bath, and in response to the operation of the roll brush or stand-by It is fixed to the bracket so that the position can be changed.

상기 갭조절장치는 실린더나 모터와 같은 구동원의 구동에 의해 상기 브라켓트가 상하방향으로 가이드 되면서 상기 구동축의 위치가 변화도록 한 구조이다. 이러한 세정장치는 기판 처리를 위한 각각의 공정 사이에 셋팅되거나 별도의 세정 공정에서 단일의 장치로 구성되어 제공될 수 있다.The gap adjusting device has a structure in which the position of the driving shaft is changed while the bracket is guided in the vertical direction by the driving of a driving source such as a cylinder or a motor. Such a cleaning device may be set between each process for substrate processing or provided as a single device in a separate cleaning process.

그러나, 이와 같은 종래의 세장장치는, 상기 롤 브러쉬를 상하 방향으로 이동시키기 위한 갭조절장치가 기판이 이송되는 베스 외부에서 동력 전달이 가능하게 설치되어 상기 브라켓트를 상하방향으로 이동시키는 구조이므로 동력전달 및 이송 구조가 복잡할 뿐만 아니라 그 구조상 베스 내부 또는 외부에 과다한 공간을 점유하게 되므로 세정장비에 셋팅할 때에 공간 활용성이 극히 저하되는 문제가 있다.However, such a conventional washing apparatus has a gap adjusting device for moving the roll brush in a vertical direction so that power can be transmitted from the outside of the bath to which the substrate is transferred, and thus the bracket is moved in the vertical direction. And not only the transport structure is complicated, but also because the structure occupies an excessive space inside or outside the bath there is a problem that space utilization is extremely reduced when setting the cleaning equipment.

더욱이, 상기 롤 브러쉬가 기판의 양측 표면을 세정할 수 있도록 2개가 1조로 구성될 때에는 상기한 이송장치와의 동력전달 구조가 더욱 복잡해지므로 제작은 물론이거니와 유지보수시 과다한 시간과 비용이 소요된다.In addition, when the roll brush is composed of two sets so as to clean both surfaces of the substrate, the power transmission structure with the transfer device becomes more complicated, and thus, excessive time and cost are required during manufacturing.

그리고, 모터와 같은 구동부가 베스 외부에 설치되면 베스의 일측 벽면을 관통하여 동력전달이 이루어지게 되므로 세정 공간에 외부 이물질들이 쉽게 유입되어 세정 효과를 저하시키는 한 요인이 된다. 또한, 상기 갭조절장치는 그 구조상 상기 롤 브러쉬의 세정 위치를 상하방향으로 미세하게 조절하는 것이 어려울 뿐만 아니라 물리적인 충격 및 진동 등에 의해 상기 롤 브러쉬의 자세가 쉽게 변화되어 기판 과의 접촉이 원활하게 이루어지지 못하여 세정효과를 저하시키는 요인이 되기도 한다.In addition, when a driving unit such as a motor is installed outside the bath, power is transmitted through one side wall of the bath, so that foreign matters are easily introduced into the cleaning space, thereby reducing the cleaning effect. In addition, the gap adjusting device is difficult to finely adjust the cleaning position of the roll brush in the vertical direction due to its structure, and the posture of the roll brush is easily changed by physical shock and vibration, so that the contact with the substrate is smooth. It may not be achieved and may be a factor to lower the cleaning effect.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 간단한 구조로 롤 브러쉬의 세정 위치를 변화시켜서 세정 효과를 향상시킬 수 있고, 베스 내부에서 세정 영역을 용이하게 확보할 수 있는 평판 디스플레이용 세정장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, an object of the present invention is to change the cleaning position of the roll brush with a simple structure to improve the cleaning effect, to facilitate the cleaning area inside the bath The present invention provides a cleaning device for a flat panel display that can be secured.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 롤 브러쉬를 이용하여 기판을 세정하는 세정장치에 있어서,
기판의 상부 또는 하부 표면에 대응하여 접촉이 가능하게 위치하는 롤 브러쉬와, 이 롤 브러쉬가 기판의 표면에 대응하여 상하방향 이동이 가능하도록 고정하는 갭조절수단과, 상기 롤 브러쉬의 회전 운동을 위한 동력을 발생하는 구동부를 포함하며,
상기 갭조절수단은, 상기 롤 브러쉬가 결합되는 구동축과, 이 구동축의 양측단에 위치하는 고정 브라켓트와, 이 고정 브라켓트 내부에 회전 가능하게 위치하고 상기 구동축을 상하방향 이동이 가능하도록 고정하는 회전 플레이트와, 이 회전 플레이트의 회전을 위한 동력을 발생하는 구동원과, 상기 고정플레이트 내부에서 상기 구동원의 동력을 상기 회전 플레이트측에 직접 전달하는 동력전달부재와, 세정 영역에서 상기 기판의 위치를 센싱하기 위한 센서와, 상기 구동축과 상기 구동부 사이에서 접촉 또는 비접촉 상태로 동력을 전달하고 동력 전달 구간의 각도 변환이 가능한 상태로 연결하는 이음부재를 포함하는 평판 디스플레이용 세정장치를 제공한다.In order to realize the object of the present invention as described above, in the cleaning apparatus for cleaning the substrate using a roll brush,
A roll brush positioned to be in contact with the upper or lower surface of the substrate, a gap adjusting means for fixing the roll brush so as to be movable upward and downward in correspondence with the surface of the substrate, and for rotating the roll brush. It includes a drive unit for generating power,
The gap adjusting means may include: a drive shaft to which the roll brush is coupled; a fixed bracket positioned at both ends of the drive shaft; and a rotating plate rotatably disposed inside the fixed bracket, and configured to fix the drive shaft in a vertical direction. A drive source for generating power for rotation of the rotating plate, a power transmission member directly transmitting the power of the drive source to the rotating plate in the fixed plate, and a sensor for sensing the position of the substrate in the cleaning area; And, it provides a cleaning device for a flat panel display including a joint member for transmitting power in a contact or non-contact state between the drive shaft and the drive unit and connected in a state capable of changing the angle of the power transmission section.

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이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판(P)의 상부 또는 하부 표면에 대응하여 접촉이 가능하게 위치하는 롤 브러쉬(2)와, 이 롤 브러쉬(2)가 기판(P)의 표면에 대응하여 상하방향 이동이 가능하도록 고정하는 갭조절수단(4)과, 상기 롤 브러쉬(2)를 회전시키는 구동부(6)를 포함하며, 도면에서와 같이 베스(B) 내부에서 일방향으로 이송하는 기판(P)에 대응하도록 위치한다.1 to 3, the roll brush 2 is positioned to be in contact with the upper or lower surface of the substrate P, and the roll brush 2 corresponds to the surface of the substrate P. Referring to FIGS. Gap adjusting means (4) for fixing to move in the vertical direction, and a drive unit (6) for rotating the roll brush (2), as shown in the substrate (P) to transfer in one direction inside the bath (B) ) To correspond to.

상기 기판(P)은 도면에는 나타내지 않았지만 이미 잘 알려진 이송 로울러나 벨트와 같은 기판 반송장치로 상기 베스(B) 내부에서 수평한 자세로 이동된다.Although not shown in the drawings, the substrate P is moved in a horizontal posture inside the bath B by a substrate conveying apparatus such as a well-known transfer roller or a belt.

상기 롤 브러쉬(2)는 내부가 중공인 원통 파이프 외주면에 다수의 세정모(2a)가 도면에서와 같은 자세로 고정되어 기판(P)을 세정하기 위한 통상의 구조로 이루어지고, 이동하는 기판(P)의 표면 전체를 브러싱할 수 있도록 이에 대응하는 길이 범위내로 제작된다.The roll brush 2 is formed of a conventional structure for cleaning the substrate P by fixing a plurality of cleaning caps 2a in a posture as shown in the drawing on the outer circumferential surface of a hollow cylindrical pipe. It is manufactured in the corresponding length range so that the whole surface of P) can be brushed.

본 실시예에서는 상기 롤 브러쉬(2)가 기판(P)의 이동방향에 대응하여 상부 및 하부 표면을 세정할 수 있도록 도면에서와 같이 상하 방향으로 2개가 위치하는 것을 일예로 나타내고 있다.In this embodiment, as shown in the drawing, two roll brushes 2 are positioned in the vertical direction so as to clean the upper and lower surfaces corresponding to the moving direction of the substrate P.

상기 갭조절수단(4)은, 상기 롤 브러쉬(2)가 결합되는 구동축(8)과, 이 구동축(8)을 지지하는 고정 브라켓트(10)와, 이 고정 브라켓트(10)에 회전 가능하게 고정됨과 아울러 상기 구동축(8)을 상하방향 이동이 가능하도록 고정하는 회전 플레이트(12)와, 이 회전 플레이트(12)가 회전되도록 동력을 발생시키는 구동원(14)과, 이 구동원(14)의 동력을 상기 회전 플레이트(12)에 전달하는 동력전달부재(16)를 포함한다.The gap adjusting means 4 is rotatably fixed to the drive shaft 8 to which the roll brush 2 is coupled, the fixed bracket 10 supporting the drive shaft 8, and the fixed bracket 10. In addition, the rotary plate 12 for fixing the drive shaft 8 so as to be movable in the vertical direction, the drive source 14 for generating power to rotate the rotary plate 12, and the power of the drive source 14 It includes a power transmission member 16 for transmitting to the rotating plate (12).

상기 구동축(8)은 도 2에서와 같이 상기 롤 브러쉬(2)의 중심부를 관통하는 자세로 위치하고, 이 롤 브러쉬(2)와 함께 회전될 수 있도록 셋팅된다.The drive shaft 8 is positioned in a posture penetrating the center of the roll brush 2 as shown in FIG. 2, and is set to be rotatable with the roll brush 2.

상기 구동축(8)은 금속이나 합성수지 재질로 제작되고 도면에서와 같이 상기 롤 브러쉬(2) 양측단에 일정한 길이로 돌출 되도록 제작되어 후술하는 고정 브라켓트(10)에 지지됨과 아울러 구동부(6)와 동력 전달이 가능하게 연결된다.The drive shaft 8 is made of a metal or synthetic resin material and is formed to protrude to a predetermined length at both ends of the roll brush 2 as shown in the drawing, and is supported by a fixing bracket 10 to be described later, and also driven with the drive unit 6. Delivery is possible.

상기에서는 롤 브러쉬(2)가 단일의 구동축(8)에 끼워져서 고정되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이외에도 일정한 길이로 2개가 제작되어 상기 롤 브러쉬(2)의 양측단에 상기한 구조로 각각 셋팅될 수 있다.In the above description, the roll brush 2 is fitted and fixed to a single drive shaft 8 as an example and shown in the drawings. In addition, two pieces are manufactured to have a constant length and the structure described above at both ends of the roll brush 2. Each can be set.

상기 고정 브라켓트(10)는 도 1에서와 같이 일정한 두께를 가지는 사각판 모양으로 제작될 수 있으며, 상기 구동축(8)의 양측단이 관통하여 후술하는 회전 플레이트(12)에 의해 일정 부분 걸려질 수 있도록 위치한다. 이 고정 브라켓트(10)는 도면에는 나타내지 않았지만 기판 반송장치나 베스(B) 내부 바닥면에서 볼트와 같은 체결부재로 견고하게 고정될 수 있다.The fixing bracket 10 may be manufactured in the shape of a square plate having a predetermined thickness as shown in FIG. 1, and both ends of the driving shaft 8 may be caught by a predetermined portion by the rotating plate 12 to be described later. To be located. Although not shown in the drawing, the fixing bracket 10 may be firmly fixed by a fastening member such as a bolt on the bottom surface of the substrate transfer device or the base B.

상기 일측 고정 브라켓트(10)에는 도 2에서와 같이 기판(P)의 이송 구간에 대응하여 기판(P)의 위치를 감지하기 위한 센서(18)가 설치된다. 본 실시예에서는 도 3에서와 같이 상기 2개의 롤 브러쉬(2)를 사이에 두고 2개가 1조로 설치된 것을 일예로 나타내고 있다.As shown in FIG. 2, the one side fixing bracket 10 is provided with a sensor 18 for detecting the position of the substrate P in response to the transfer section of the substrate P. As shown in FIG. In the present embodiment, as shown in Fig. 3, the two roll brushes 2 are arranged in one pair with the two roll brushes 2 interposed therebetween.

상기 센서(18)는 통상의 광센서가 사용될 수 있으며, 도면에는 나타내지 않았지만 이 센서(18)가 설치되는 일측 고정 브라켓트(10)와 이격되어 설치되는 반대편 고정 브라켓트(10)에 수광부가 설치되어 이 수광부에 빛을 조사하면서 세정 영 역내로 진입하는 기판(P)의 위치를 센싱하는 구조이다.The sensor 18 may be a conventional optical sensor, and although not shown in the figure, a light receiving unit is installed on the opposite fixing bracket 10 which is spaced apart from one side fixing bracket 10 on which the sensor 18 is installed. It is a structure for sensing the position of the substrate (P) entering the cleaning area while irradiating light to the light receiving portion.

그리고, 상기 센서(18)들은 후술하는 구동원(14)들을 제어할 수 있도록 전기적으로 연결되어 예를들면, 기판이(P) 세정 영역에 진입하면 상기 2개의 롤 브러쉬 (2) 간격을 좁혀서 기판(P)의 상부 및 하부 표면에 대응하여 브러싱이 가능하도록 위치시키고 기판(P)이 통과하면 상기 롤 브러쉬(2)들이 서로 접촉하지 않는 범위내로 이격 되도록 셋팅된다. 이와 같은 전기적 연결구조는 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.In addition, the sensors 18 are electrically connected to control the driving sources 14 to be described later. For example, when the substrate enters the cleaning region P, the sensors 18 narrow the gap between the two roll brushes 2 so that the substrate ( The brush is positioned so as to correspond to the upper and lower surfaces of P), and when the substrate P passes, the roll brushes 2 are set so as to be spaced apart from each other. Since such an electrical connection structure can be easily implemented by those skilled in the art, more detailed description thereof will be omitted.

상기 회전 플레이트(12)는 일정한 직경을 가지는 원판 모양으로 제작되고, 도 1 및 도 3에서와 같이 상기 2개의 고정 브라켓트(10)에서 2개의 구동축(8)의 양측단에 대응하는 영역에 각각 파여진 가이드 홈(20)에 회전 가능하게 끼워진다.The rotating plate 12 is manufactured in a disk shape having a constant diameter, and as shown in FIGS. 1 and 3, each of the two rotating brackets 10 in the areas corresponding to both ends of the two driving shafts 8 is fixed. The excitation guide groove 20 is rotatably fitted.

상기 가이드 홈(20)의 개구된 영역에는 상기 회전 플레이트(12)가 상기 가이드 홈(20)에서 분리되지 않도록 도면에서와 같이 플랜지 형태의 커버(C)가 설치된다.(도 9참조)In the open area of the guide groove 20, a cover C in the form of a flange is installed as shown in the figure so that the rotating plate 12 is not separated from the guide groove 20 (see FIG. 9).

그리고, 상기 고정 브라켓트(10)의 가이드 홈(20) 영역에는 도면에서와 같이 이 가이드 홈(20) 보다 작은 지름을 갖는 관통 홀(22)이 뚫려져서 상기 구동축(8)의 양측단이 관통한다.In addition, a through hole 22 having a diameter smaller than that of the guide groove 20 is drilled in the guide groove 20 region of the fixing bracket 10 so that both ends of the driving shaft 8 penetrate. .

상기 회전 플레이트(12)에는 상기 구동축(8)의 양측단이 관통함과 아울러 지지되도록 단차지게 고정 홀(24)이 뚫려지는데, 이 고정 홀(24)은 도 3에서와 같이 상기 고정 브라켓트(10)의 가이드 홈(20)에서 회전하는 회전 플레이트(12)의 중심 부에서 벗어나게 위치하여 뚫려진다.A fixing hole 24 is drilled in the rotating plate 12 so that both ends of the driving shaft 8 pass and are supported, and the fixing hole 24 has the fixing bracket 10 as shown in FIG. 3. In the guide groove 20 of the) is rotated out of the center portion of the rotating plate 12 that rotates.

상기 고정 홀(24)을 관통하는 구동축(8)은 상기 고정 홀(24)에서 축 지지부재(26)에 의해 지지됨과 아울러 회전 가능하게 고정된다.The drive shaft 8 penetrating the fixing hole 24 is supported by the shaft support member 26 in the fixing hole 24 and is rotatably fixed.

상기 축 지지부재(26)는 미끄럼 베어링이나 구름 베어링 또는 부시(Bush) 등이 사용될 수 있으며, 상기 고정 홀(24)에 끼움 결합으로 견고하게 고정된다. 본 실시예에서는 볼베어링이 사용되는 것을 일예로 도면에 나타내고 있다.The shaft support member 26 may be a sliding bearing, a rolling bearing or a bush, and the like, and is firmly fixed by fitting to the fixing hole 24. In the present embodiment, the ball bearing is used in the drawings as an example.

상기 회전 플레이트(12)의 재질은 상기 고정 브라켓트(10)의 재질을 고려하여 상기 가이드 홈(20)에 끼워져서 원활하게 회전됨과 아울러 마찰을 최소화할 수 있는 합성수지나 금속재질을 선정하여 제작될 수 있다.The rotation plate 12 may be manufactured by selecting a synthetic resin or a metal material that can be smoothly rotated and minimized friction while being inserted into the guide groove 20 in consideration of the material of the fixing bracket 10. have.

한편, 상기 고정 브라켓트(10)에는 도 2 및 도 4에서와 같이 상기 2개의 회전 플레이트(12)에 대응하여 구동원(14)과 동력전달부재(16)가 각각 설치되며, 상기 구동원(14)은 직선 동력 또는 회전 동력을 발생하는 장치 중에 어느 하나가 사용될 수 있다. 본 실시예에서는 상기 구동원(14)이 감속기가 일체로 부착된 기어드 모터(Geared Motor)가 사용되고 도 4에서와 같은 자세로 상기 고정 브라켓트(12)에 설치되는 것을 일예로 나타내고 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 2 and 4, a driving source 14 and a power transmission member 16 are installed in the fixing bracket 10 to correspond to the two rotating plates 12, respectively. Either linear power or rotary power generating devices can be used. In this embodiment, the drive source 14 is shown as an example that the geared motor (geared motor) to which the reducer is integrally mounted and is installed in the fixing bracket 12 in the same posture as in FIG.

상기 동력전달부재(16)는 상기 구동원(14)의 동력에 의해 상기 회전 플레이트(12)가 회전될 수 있도록 한 동력전달 구조로 이루어지는 것으로서, 본 실시예에서는 워엄 축(16a)과 워엄 휠(16b)로 구성되는 것을 일예로 나타내고 있다. 이러한 워엄기어(Worm Gear)는 서로 직교하는 자세로 위치하는 2개의 축간 동력을 전달하는 구조이다.The power transmission member 16 has a power transmission structure that allows the rotation plate 12 to be rotated by the power of the drive source 14, and in this embodiment, the worm shaft 16a and the worm wheel 16b. ) Is shown as an example. Such a worm gear (Worm Gear) is a structure that transmits the power between the two axes which are positioned in a perpendicular position to each other.

상기 워엄 축(16a)은 상기 구동원(14) 즉, 모터 축에 수평하게 연결되어 도 4에서와 같은 자세로 상기 고정 브라켓트(10)에 설치된다. 이때 상기 워엄 축(16a)의 양측단은 상기 고정 브라켓트(10)에서 원활하게 회전될 수 있도록 도면에서와 같이 베어링 또는 부시에 의해 회전 가능하게 지지된다.The worm shaft 16a is horizontally connected to the drive source 14, that is, the motor shaft, and is installed to the fixing bracket 10 in a posture as shown in FIG. At this time, both ends of the worm shaft (16a) is rotatably supported by a bearing or bush as shown in the figure so as to be smoothly rotated in the fixing bracket (10).

상기 워엄 휠(16b)은 도 4 및 도 6에서와 같이 상기 회전 플레이트(12)의 외주면에 끼움 결합으로 고정되고, 상기 고정 브라켓트(10)의 가이드 홈(20)에 끼워져서 도면에서와 같은 자세로 상기 워엄 축(16a)과 치합 되도록 셋팅된다.The worm wheel 16b is fixed to the outer circumferential surface of the rotating plate 12, as shown in Figures 4 and 6, and fitted into the guide groove 20 of the fixing bracket 10, as shown in the figure It is set to engage with the worm shaft (16a).

그리고, 상기 회전 플레이트(12)를 상기 고정 브라켓트(10)의 가이드 홈(20)에 셋팅할 때에는 상기 회전 플레이트(12) 중심부에서 벗어나게 위치하는 고정 홀(24)에 끼워지는 구동축(8)이 도 4에서와 같이 서로 대칭되는 자세로 셋팅되어 상기 구동원(14)과 동력전달부재(16)에 의해 상기 회전 플레이트(12)가 소정의 각도로 회전될 때에 도 5에서와 같이 2개의 롤 브러쉬(2)의 간격이 좁혀지거나 벌어질 수 있도록 셋팅된다.When the rotating plate 12 is set in the guide groove 20 of the fixing bracket 10, the driving shaft 8 fitted into the fixing hole 24 located away from the center of the rotating plate 12 is illustrated. When the rotating plate 12 is rotated at a predetermined angle by the driving source 14 and the power transmission member 16 as set in a symmetrical posture as in 4, the two roll brushes 2 as shown in FIG. ) Is set so that the interval between them can be narrowed or widened.

상기에서는 워엄 휠(16b)이 별도로 제작되어 상기 회전 플레이트(12)의 외주면에 끼움 결합으로 고정되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 이외에도 예를들면, 상기 회전 플레이트(12)를 제작할 때에 이 플레이트(12)의 외주면에 상기 워엄 휠(16b)과 같은 기어부를 가공하여 일체로 제작될 수 있다.In the above description, the worm wheel 16b is separately manufactured and fixed to the outer circumferential surface of the rotating plate 12 by fitting, and is illustrated in the description and drawings as an example, but is not limited thereto. In addition, for example, the rotating plate 12 ) May be manufactured integrally by processing a gear part such as the worm wheel 16b on the outer circumferential surface of the plate 12.

상기 구동원(14)과 동력전달부재(16)는 상기 롤 브러쉬(2) 간격이 도면에서와 같이 최대한 좁혀지거나 벌려질 수 있도록 상기 회전 플레이트(12)가 상기 고정 브라켓트(10)의 가이드 홈(20)에서 대략 180˚범위내로 회전될 수 있도록 셋팅된다. The driving source 14 and the power transmission member 16 are the rotary plate 12 is the guide groove 20 of the fixing bracket 10 so that the gap between the roll brush (2) can be as narrowed or widened as shown in the drawing It is set so that it can be rotated within approximately 180 degrees.

상기한 구조로 이루어지는 갭조절수단(4)은 기판(P)이 세정 영역을 통과할 때에 센서(18)에 의해 제어되면서 상기 2개의 롤 브러쉬(2)의 위치를 다음과 같이 변화시킨다.The gap adjusting means 4 having the above structure changes the positions of the two roll brushes 2 as follows while being controlled by the sensor 18 when the substrate P passes through the cleaning area.

도 3에서와 같이 기판(P)이 세정 영역으로 진입하면 진입측의 센서(18)가 이를 감지하여 상기 구동원(14) 및 동력전달부재(16)에 의해 상기 회전 플레이트(12)를 도 5에서와 같은 방향으로 회전시킨다.As shown in FIG. 3, when the substrate P enters the cleaning area, the sensor 18 at the entry side senses the same, and the rotation plate 12 is moved by the driving source 14 and the power transmission member 16 in FIG. 5. Rotate in the same direction as

그러면, 상기 2개의 회전 플레이트(12)에 설치된 구동축(8)들이 도 7에서와 같이 간격이 좁혀져서 상기 롤 브러쉬(2)가 기판(P)의 상부 및 하부 표면에 대응하여 세정이 가능한 자세로 위치하여 후술하는 구동부(6)에 의해 회전하면서 브러싱을 행하게 되고, 상기 기판(P)이 세정 영역을 통과하면 상기 고정 브라켓트(10)의 배출측 센서(18)가 이를 감지하여 상기 구동원(14) 및 동력전달부재(16)가 상기와 반대되는 작용에 의해 상기 회전 플레이트(12)를 원래의 위치로 회전시켜서 도 3과 같이 2개의 롤 브러쉬(2)를 서로 접촉하지 않는 범위내로 이격시킨다.Then, the driving shafts 8 installed on the two rotating plates 12 are narrowed as shown in FIG. 7 so that the roll brush 2 can be cleaned in correspondence with the upper and lower surfaces of the substrate P. FIG. When the substrate P passes through the cleaning area while the substrate P passes through the cleaning area, the discharge sensor 18 of the fixing bracket 10 senses this and the driving source 14 is moved. And the power transmission member 16 by rotating the rotating plate 12 to the original position by the opposite operation to the above to separate the two roll brush (2) in a range not in contact with each other as shown in FIG.

또한, 상기 갭조절수단(4)은 상기한 작동에 의해 상기 2개의 롤 브러쉬(2)의 이격 거리를 조절하여 예를들면, 처리되는 기판(P) 상에 형성된 미세한 패턴에 따라 이에 대응하는 세정 자세를 갖도록 위치를 조절할 수 있다.In addition, the gap adjusting means 4 adjusts the separation distance of the two roll brushes 2 by the above-described operation, for example, corresponding cleaning according to a fine pattern formed on the substrate P to be processed. The position can be adjusted to have a posture.

상기에서는 구동원(14)이 회전 동력을 발생하는 기어드 모터(Geared Motor)로 이루어지고, 상기 동력전달부재(16)가 상기 구동원(14)의 회전 동력에 대응하는 워엄 기어구조로 이루어진 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이 또한 이에 한정되는 것은 아니다.In the above description, the drive source 14 includes a geared motor generating rotational power, and the power transmission member 16 has a worm gear structure corresponding to the rotational power of the drive source 14. And the drawings, but the present invention is not limited thereto.

도 8에서와 같이 상기 구동원(14)이 직선 동력을 발생하는 예를들면, 실린더로 이루어지고, 상기 동력전달부재(16)가 한쌍의 래크기어(16c)와 피니언기어(16d)로 이루어져서 상기 구동원(14)의 직선 동력이 회전 동력으로 전환되면서 상기 회전 플레이트(12)가 상기 가이드 홈(20)에서 회전될 수 있도록 한 구조로 이루어질 수 있다.For example, as shown in FIG. 8, the driving source 14 generates linear power, and is formed of a cylinder, and the power transmission member 16 includes a pair of rack gear 16c and a pinion gear 16d. As the linear power of the driving source 14 is converted into rotational power, the rotating plate 12 may be rotated in the guide groove 20.

상기 래크(16c)는 도면에서와 같이 상기 구동원(14) 즉, 실린더의 피스톤 로드와 연결되고, 피니언기어(16d)는 외접기어(External Gear) 형태로 제작되어 상기 회전 플레이트(12)의 외주면에 끼워지거나 일체로 제작될 수 있다.The rack 16c is connected to the driving source 14, that is, the piston rod of the cylinder, as shown in the drawing, and the pinion gear 16d is manufactured in the form of an external gear to the outer circumferential surface of the rotating plate 12. It can be fitted or made integrally.

그리고, 상기에서는 2개의 구동축(8) 양측단에 대응하여 위치하는 회전 플레이트(12)들이 해당 구동원(14)들에 의해 서로 독립되어 작동되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이 또한 상기에 한정되는 것은 아니다.In the above description, the rotating plates 12 corresponding to both ends of the two driving shafts 8 are independently operated from each other by the corresponding driving sources 14, but are illustrated in the description and the drawings. It doesn't happen.

예를들면, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 2개의 구동축(8) 양측단에서 고정 브라켓트(10)에 의해 서로 인접하여 위치하는 2개의 회전 플레이트(12)들이 서로 동력 전달이 가능하도록 상기 회전 플레이트(12)들에 셋팅되는 워엄휠(16b) 또는 피니언기어(16d)가 서로 치합 가능한 위치에 셋팅되거나, 상기 회전 플레이트 (12)들의 외주면에 동력 전달을 위한 스퍼기어(Spur Gear)를 설치 또는 일체로 제작하여 상기 2개의 구동축(8) 양측단에서 1개의 구동원(14)에 의해 연동하여 작동되도록 구성될 수도 있다.For example, although not shown in the drawings, the two rotating plates 12 positioned adjacent to each other by fixing brackets 10 at both ends of the two driving shafts 8 may transmit power to each other. The worm wheel 16b or the pinion gear 16d set on the wheels are set to a position where they can be engaged with each other, or by installing or integrally manufacturing a spur gear for power transmission on the outer circumferential surface of the rotating plates 12. It may be configured to operate in conjunction with one drive source 14 at both ends of the two drive shaft (8).

상기 동력전달부재(16)의 동력전달 구조는 상기한 실시예들 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 동력전달 구조이면 다양하게 적용될 수 있다.The power transmission structure of the power transmission member 16 may be variously applied as long as the power transmission structure satisfies the object of the present invention in addition to the above embodiments.

도 1을 참조하면, 상기 구동부(6)는 회전 동력을 발생하는 모터(M)가 사용될 수 있으며, 본 실시예에서는 2개가 1조로 구성되는 것을 일예로 나타내고 있다.Referring to FIG. 1, the driving unit 6 may use a motor M generating rotational power, and in this embodiment, two units are configured as one set.

상기 2개의 모터(M)는 상기 2개의 구동축(8) 일측단에 대응하여 동력 전달이 가능한 자세로 위치하고 감속기(M1)와 연결되어 회전 동력이 일정한 감속비율로 감속되어 출력될 수 있도록 셋팅된다. 이때 상기 모터(M)가 설치되는 감속기(M1)는 도면에는 나타내지 않았지만 베스(B)의 외측에서 바닥면이나 별도의 고정구에 견고하게 고정된다.The two motors M are positioned in a position capable of transmitting power corresponding to one end of the two driving shafts 8, and are connected to the reducer M1 so that the rotational power is decelerated at a constant reduction ratio and set. At this time, the speed reducer M1 in which the motor M is installed is firmly fixed to the bottom surface or a separate fixture from the outside of the bath B although not shown in the drawing.

그리고, 상기 2개의 구동축(8)과 상기 감속기(M1)의 출력 축 사이에는 도 9에서와 같이 축 이음부재(28)로 연결되고 이 축 이음부재(28)는 상기 2개의 구동축(8)이 상기 갭조절수단(6)에 의해 상하방향으로 고정된 위치가 변화되더라도 용이하게 동력이 전달될 수 있도록 예를들면, 볼조인트나 유니버셜 조인트가 사용될 수 있다.And, between the two drive shaft 8 and the output shaft of the reducer M1 is connected to the shaft coupling member 28 as shown in Figure 9, the shaft coupling member 28 is the two drive shaft (8) For example, a ball joint or a universal joint may be used so that power can be easily transmitted even if the position fixed in the vertical direction by the gap adjusting means 6 is changed.

상기 축 이음부재(28) 즉, 볼 조인트와 유니버셜 조인트는 연결부가 볼 또는 힌지 결합에 의해 링크절 운동이 가능한 구조로 이루어져서 2개의 축이 연결된 후 이 축들이 서로 다른 각도를 갖더라도 연결부가 이에 대응하는 각도 변화되면서 동력 전달이 이루어지도록 한 축 이음구조이다.The shaft joint member 28, that is, the ball joint and the universal joint, has a structure in which the linkage can be moved by a ball or hinge coupling so that the two shafts have different angles after the two shafts are connected. It is an axis joint structure that allows power transmission while changing angle.

그리고 상기 모터(M)는 상기 구동축(8)에 설치된 롤 브러쉬(2)가 기판(P)의 이송방향에 대응하여 도 3에서와 같은 방향으로 회전될 수 있도록 셋팅되고, 상기 모터(M)의 회전수는 상기 감속기(M1)에 의해 감속되어 상기 롤 브러쉬(2)가 통상의 기판(P) 세정 공정에 적용되는 회전 수 범위내로 회전될 수 있도록 셋팅된다.And the motor (M) is set so that the roll brush (2) installed on the drive shaft (8) can be rotated in the same direction as in FIG. 3 corresponding to the transfer direction of the substrate (P), The rotation speed is set to be decelerated by the reducer M1 so that the roll brush 2 can be rotated within the rotation speed range applied to the normal substrate P cleaning process.

상기에서는 구동축(8)이 상기 모터(M)의 감속기(M1)와 축 이음부재(28)에 의해 물리적으로 연결되어 동력 전달이 이루어지도록 한 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기와 같이 물리적으로 연결되지 않고 2개의 축이 일정한 간격으로 이격되어 예를들면, 자력(磁力)에 의해 동력 전달이 가능하게 이루어질 수 있다.In the above description, the driving shaft 8 is physically connected by the reducer M1 and the shaft joint member 28 of the motor M to transmit power. The two axes may be spaced apart at regular intervals without being physically connected as described above. For example, power may be transmitted by a magnetic force.

도 10은 상기 자력에 의해 동력 전달이 이루어지는 구동부(6)의 구조를 나타내는 도면으로서, 상기 구동축(8)과 감속기(M1)의 출력축의 선단부가 도면에서와 같이 일정한 간격으로 이격되고 이들 선단부에는 전기의 인가에 따라 자력(磁力)을 발생하는 예를들면, 전자석과 같은 2개의 연결판(30a,30b)들이 설치된다.FIG. 10 is a view showing a structure of a drive unit 6 in which power is transmitted by the magnetic force, wherein the leading ends of the drive shaft 8 and the output shaft of the reduction gear M1 are spaced at regular intervals as shown in the drawing, and the front ends are electrically For example, two connecting plates 30a and 30b, such as electromagnets, which generate magnetic force in response to the application of the magnetic force, are provided.

상기 2개의 연결판(30a,30b) 중에서 모터(M) 측에 위치하는 연결판(30a)은 도면에서와 같이 상기 구동축(8)에 위치하는 연결판(30b)보다 큰 직경을 가지는 구조 예를들면, 상기 회전 플레이트(12)에 의해 상기 구동축(8)의 위치가 변화되어도 이 구동축(8)에 설치된 연결판(30b)의 이동 범위를 수용할 수 있는 범위내로 제작된다.Among the two connecting plates 30a and 30b, the connecting plate 30a positioned on the motor M side has a larger diameter than that of the connecting plate 30b positioned on the drive shaft 8 as shown in the drawing. For example, even if the position of the said drive shaft 8 is changed by the said rotation plate 12, it is produced in the range which can accommodate the moving range of the connecting plate 30b provided in this drive shaft 8.

그리고, 상기 연결판(30a,30b)들에는 상기 구동부(6)의 모터(M) 구동시 전기가 공급될 수 있도록 셋팅되어 상기 구동부(6)의 모터(M)가 회전하면 상기 이격된 2개의 연결판(30a,30b)들에 전기를 공급되면서 이들 사이에 자력이 생성되어 상기 모터(M)의 구동력이 상기 2개의 연결판(30a,30b)에 의해 상기 구동축(8)에 전달되 도록 한 구조이다.In addition, the connecting plates 30a and 30b are set to be supplied with electricity when the motor M of the driving unit 6 is driven so that the two spaced apart when the motor M of the driving unit 6 rotates. A structure in which magnetic force is generated between the connecting plates 30a and 30b while the driving force of the motor M is transmitted to the drive shaft 8 by the two connecting plates 30a and 30b. to be.

이와 같은 동력전달 구조는 도 10에서와 같이 베스(B)의 측벽을 관통하지 않고도 측벽을 사이에 두고 상기 2개의 연결판(30a,30b)이 이격 설치되므로 베스(B) 내부로 외부의 이물질이 유입되는 것을 근본적으로 차단하여 베스(B) 내부의 세정 환경을 더욱 향상시킴은 물론이거니와 동력 전달 구조가 간단하여 장치의 소형화에 부합되며, 유지보수도 용이해진다. In this power transmission structure, as shown in FIG. 10, the two connecting plates 30a and 30b are spaced apart from each other without passing through the sidewalls of the bath B. By fundamentally blocking the inflow to further improve the cleaning environment inside the bath (B), as well as the simple power transmission structure to meet the miniaturization of the device, and easy maintenance.

다음으로 상기한 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 세정장치의 바람직한 세정 실시예를 상세하게 설명한다.Next, a preferred cleaning embodiment of the cleaning apparatus for flat panel display according to the present invention described above will be described in detail.

먼저, 본 발명에 따른 세정장치가 설치되는 세정 베스(B) 내부의 구조를 간략하게 설명하면, 도면에는 나타내지 않았지만 기판(P)의 이송 구간에 대응하여 세정수 공급장치와 세정 전 또는 세정 후 기판(P)에 잔존하는 물기를 분사 공기로 제거하기 위한 예를들면, 에어 나이프(Air Knife) 등이 위치한다.First, the structure of the cleaning bath B in which the cleaning device according to the present invention is installed will be briefly described. Although not shown in the drawings, the cleaning water supply device and the substrate before or after cleaning are provided in correspondence with the transfer section of the substrate P. For example, an air knife or the like for removing water remaining in (P) with the jet air is located.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 베스(B) 내부에서 이송 구간을 따라 기판(P)이 롤 브러쉬(2)의 영역으로 이동하여 센서(18)에 의해 상기 기판(P)의 전방 선단부가 감지되면, 상기 갭조절수단(4) 즉, 구동원(14)의 동력이 상기 동력전달부재(16)에 의해 상기 회전 플레이트(12)로 전달되어 이 회전 플레이트(12)가 상기 고정 브라켓트(10)의 가이드 홈(20)에서 도 7에 나타낸 방향으로 회전한다.1 and 3, the substrate P is moved to the area of the roll brush 2 along the transfer section in the bath B so that the front tip of the substrate P is moved by the sensor 18. When detected, the power of the gap adjusting means 4, that is, the driving source 14 is transmitted to the rotating plate 12 by the power transmission member 16 so that the rotating plate 12 is fixed to the fixing bracket 10. It rotates in the direction shown in FIG.

그러면, 상기 회전 플레이트(12)의 회전 중심부에서 벗어난 위치에 형성된 고정 홀(24)에 끼워진 2개의 구동축(8)의 이격 거리가 좁혀지면서 상기 구동축(8)에 설치된 2개의 롤 브러쉬(2)가 도 7에서와 같이 기판(P)의 상부 및 하부 표면에 대응하여 세정이 가능한 위치로 이동한다.Then, the separation distance between the two drive shafts 8 fitted in the fixing holes 24 formed at the position away from the rotation center of the rotating plate 12 is narrowed, and the two roll brushes 2 provided on the drive shafts 8 are As shown in FIG. 7, the substrate moves to a position where cleaning can be performed corresponding to the upper and lower surfaces of the substrate P.

이때, 상기 롤 브러쉬(2)는 상기 갭조절수단(4)에 의해 세정이 가능한 위치로 변화됨과 아울러 상기 구동부(6)의 모터(M)에 의해 도 7에서와 같은 방향으로 회전하면서 세정모(2a)가 기판(P)의 표면을 브러싱함과 아울러 도면에는 나타내지 않았지만 기판(P)의 표면과 상기 세정모(2a)의 선단부에 일정량의 세정수가 공급되면서 표면에 부착된 이물질을 제거하는 것이다.At this time, the roll brush (2) is changed to a position that can be cleaned by the gap adjusting means (4) and the cleaning brush while rotating in the same direction as shown in Figure 7 by the motor (M) of the drive unit (6) While 2a) brushes the surface of the substrate P and is not shown in the figure, a certain amount of cleaning water is supplied to the surface of the substrate P and the distal end of the cleaning cap 2a to remove foreign substances adhering to the surface.

그리고, 상기와 같이 일방향으로 이동하면서 표면이 세정된 기판(P)이 상기 2개의 롤 브러쉬(2) 사이를 통과하여 상기 고정 브라켓트(10)의 배출측 센서(18)에 의해 기판(P)의 후방 선단부가 감지되면 상기 갭조절수단(4)이 상기와 반대로 작동하면서 2개의 롤 브러쉬(2)를 도 3에서와 같이 서로 접촉되지 않도록 원래의 위치로 이동시킨다.Then, the substrate P, whose surface is cleaned while moving in one direction as described above, passes between the two roll brushes 2 and is discharged by the discharge side sensor 18 of the fixing bracket 10 of the substrate P. When the rear tip is sensed, the gap adjusting means 4 operates in the opposite direction and moves the two roll brushes 2 to their original positions so as not to contact each other as shown in FIG.

따라서, 상기한 갭조절수단(4)의해 세정 영역을 통과하는 기판(P)에 대응하여 상기 롤 브러쉬(2)가 최적의 세정 자세로 변화되면서 브러싱을 행할 수 있으므로 기판(P)의 연속 처리는 물론이거니와 세정 효과를 향상시킬 수 있는 것이다.Accordingly, since the roll brush 2 is changed to an optimum cleaning posture in response to the substrate P passing through the cleaning area by the gap adjusting means 4, brushing can be performed, so that the continuous processing of the substrate P is performed. Of course, the cleaning effect can be improved.

상기에서는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 세정장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.In the above description of the preferred embodiment of the cleaning device for a flat panel display according to the present invention, the present invention is not limited to this, but the present invention is not limited to the claims and the detailed description of the invention and various modifications are carried out within the scope of the accompanying drawings. It is possible and this also belongs to the scope of the present invention.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 세정장치는, 기판 을 브러싱하면서 세정하는 롤 브러쉬가 갭조절수단에 의해 세정 영역 내에서 기판 상에 형성된 미세한 패턴에 따라 이에 대응하여 최적의 세정 자세로 전환되는 구조이므로 기판의 연속 처리가 가능할 뿐만 아니라 세정 효과를 대폭 향상시킬 수 있다.As described above, in the flat panel display cleaning apparatus according to the present invention, the roll brush for cleaning while brushing the substrate is switched to the optimum cleaning posture correspondingly according to the fine pattern formed on the substrate in the cleaning region by the gap adjusting means. As a result, the substrate can be processed continuously and the cleaning effect can be greatly improved.

그리고, 상기 갭조절수단은 구동원의 회전 동력 또는 직선 동력이 동력전달부재에 의해 전환되면서 롤 브러쉬의 간격이 조절되는 구조이므로 동력전환 구조가 간단하여 장치의 소형화를 실현할 수 있고, 베스 내에서 용이하게 세정 공간을 확보할 수 있으며, 제작 및 유지보수에 소요되는 비용도 대폭 절감할 수 있다.In addition, the gap adjusting means has a structure in which the gap between the roll brush is adjusted while the rotational power or the linear power of the driving source is switched by the power transmission member, so that the power switching structure is simple, so that the device can be miniaturized, and easily within the bath. The space for cleaning can be secured, and the cost for manufacturing and maintenance can be greatly reduced.

Claims

In the cleaning apparatus for cleaning a substrate using a roll brush,

A roll brush positioned to be in contact with the upper or lower surface of the substrate, a gap adjusting means for fixing the roll brush so as to be movable upward and downward in correspondence with the surface of the substrate, and for rotating the roll brush. It includes a drive unit for generating power,

The gap adjusting means may include: a drive shaft to which the roll brush is coupled; a fixed bracket positioned at both ends of the drive shaft; and a rotating plate rotatably disposed inside the fixed bracket, and configured to fix the drive shaft in a vertical direction. A drive source for generating power for rotation of the rotating plate, a power transmission member directly transmitting the power of the drive source to the rotating plate in the fixed plate, and a sensor for sensing the position of the substrate in the cleaning area; And a non-contact joint member which transmits power in a non-contact state between the drive shaft and the driving unit and connects the power transmission section in a state capable of converting an angle of the power transmission section.

The power transmission member is a flat panel display including any one of a pair of rack gears and pinion gears or a pair of worm shafts and rim wheels and a pair of spur gears to convert the linear or rotational power of the driving source to transfer the rotational force to the rotating plate. Cleaning equipment.

delete

The cleaning device for a flat panel display according to claim 1, wherein the rotating plate is provided with a hole through which the drive shaft penetrates and is supported, and the hole is drilled at a position away from the rotation center of the rotating plate.

The cleaning device for a flat panel display according to claim 1, wherein the fixing bracket is formed to correspond to both ends of the driving shaft, and a guide groove for rotatably fixing the rotating plate on which the driving shaft is supported.

The cleaning device for a flat panel display according to claim 1, wherein the driving source is any one of a motor and a cylinder.

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The cleaning device for a flat panel display according to claim 1, wherein the non-contact joint member is made of a magnetic force generating member that connects the non-contact section with a magnetic force to enable power transmission.