KR100574615B1 - 두 개의 포물선형 오목거울을 이용한 기체 셀 및 그 기체 셀을 이용한 기체 센서 제작 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
NDIR 방식에 의한 기체의 농도 측정 방식은 저비용 대비 측정의 정확도와 정밀도가 높아 최근에 주목받고 있다. 이러한 방식의 원리는 기체의 광 (light)에 대한 특정 파장의 흡수도를 이용하여 그 파장의 광을 기체에 조사하였을 경우 광이 흡수되는 정도를 측정함으로써 기체의 농도를 산출할 수 있다. 보다 자세하게는 예를 들어 이산화탄소 (CO2)의 경우 4.3㎛의 파장의 적외선에서 가장 좋은 흡수 특성을 보이는데 이산화탄소의 농도를 측정하기 위해 4.3㎛의 적외선을 조사하여 이산화탄소의 농도가 0일 경우의 광 검출기에 검출되는 적외선의 세기와 이산화탄소에 의해 흡수되고 남은 적외선의 세기의 비율로부터 이산화탄소의 농도를 산출해 낼 수 있다.
이러한 경우 광이 동일한 농도의 기체라도 기체를 투과하여 진행하는 길이 (경로)가 길수록 광 검출기에 측정되는 광의 세기는 작으므로 결과적으로 입사된 광의 세기와 측정된 광의 세기 가의 큰 비율을 얻을 수 있어 보다 정밀한 측정이 가능해 진다. 결국 NDIR 방식의 기체 농도 측정 방식에서는 제한된 공간적 영역 내에서 보다 큰 광 경로를 얻어내는 광 공동을 제작하는 것이 가장 중요한 요구사항이라 할 수 있다.
그러므로 본 발명은 이러한 요구사항을 충족시킬 수 있도록 하기 위하여 초점과 광축을 공유하는 포물선 형태의 두 오목거울을 이용하여 광 경로를 매우 크게 갖도록 제작된 광 공동을 사용한 기체 셀의 제작 방법 및 그 분석 방법을 제시하고자 한다. 그러므로 본 발명은 기존의 기체 셀 보다 우수한 특성을 갖는 광 공동을 포함한 기체 셀을 제시함으로써 보다 정확하고 정밀한 기체의 농도를 측정할 수 있는 기체 센서를 제작할 수 있게 한다.
전술한 바와 같이 제한된 크기에서 효과적인 광 경로를 얻기 위한 기체 셀을 제작하기 위해서는 다음과 같은 아래 1), 2), 3)의 ‘준거 조건’을 제시한다. 이에 본 발명은 이러한 준거 조건을 최대한 만족시킬 수 있는 기체 셀을 제작하며 이러한 기체 셀을 적절히 분석할 수 있는 방법을 제시한다.
1) 광 공동을 설계할 시 적절한 형태의 기하학적 구조를 가진 렌즈나 거울을 이용하게 되는데 이러한 기하학적 구조는 가능한 간단한 것이어야 할 것이다. 이러한 경우 시스템 분석이 용이할 뿐만 아니라 제작에 있어서 비용 및 시간이 적게 소요될 것이다.
2) 광 공동 내의 광학 시스템은 매우 안정적인 것이어야 한다. 즉, 외부로부터의 충격이나 기체 셀의 제작과정에서 발생할 수 있는 작은 하자에 대해 광 경로가 원하는 경로에서 약간 어긋나더라도 광은 안정적으로 광 검출기에 수렴하도록 하여야 한다. 이러한 조건을 충족시키기 위해서는 입력 조건 (광원의 조건)의 변화에 대해서도 안정적인 출력 (광 검출)이 가능해야 한다.
이에 본 발명은 상기의 ‘준거조건’을 충족시키는 광 공동을 제작하되 기존에 제안되었거나 상용화된 광 공동보다 광 경로의 길이가 큰 광 공동을 이용한 기체 셀을 제작하는 방법에 대해 제안한다.
이하 도면을 참조하여 보다 상세히 본 발명의 구성에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른, 두 개의 2차원 포물선형 오목거울을 이용한 광 공동에 관한 도이다.
2차 함수 포물선 오목거울은 초점을 향해 입사한 빛은 거울면에 반사하여 광축과 평행하게 진행하며 광축과 평행하게 입사한 빛은 거울면에 반사하여 초점을 통과한다. 이러한 2차 함수 오목거울의 반사 특성을 이용하여 도 1과 같이 초점거리가 각각 p와 p'인 두 2차 함수에 대해 초점을 공유하도록 두 오목거울을 마주보게 하여 광 공동을 구성한다. 이에 A0에 광원(light source)이 초점을 향해 위치하며 광축의 (p,0)에 광검출기(detector)가 -x 방향으로 위치한다.
광원에서 공통 초점을 향해 방출된 빛은 포물선 오목거울의 특성에 따라 내부에서 여러 차례 반사에 의한 순환을 거쳐 광축으로 수렴하게 되며 결국 광 검출기에 도달한다.
이러한 경우 p와 p'의 조건에 따라 광 경로(optical path)의 길이를 조절할 수 있는데 예를 들어 p=15mm, p'=13.5mm의 조건에서 광폭(beam size)과 검출기의 직경이 각각 4mm, 4mm인 경우 본 발명의 분석 기법으로 통해 약 1026mm의 광 경로 길이 값을 얻을 수 있다.
도 2와 (1)식으로부터 도출된 이러한 2차 포물선 곡선으로 제작된 오목거울은 다음과 같은 '반사 특성'을 갖는다.
- 광축(도 2에서의 x축)에 평행하게 입사한 빛은 2차 포물선 곡선의 오목거울에 반사하여 초점(도 2의 원점(O))을 통과한다.
- 초점을 통과하여 입사한 빛은 2차 포물선 곡선의 오목거울에 반사하여 광축과 평행하게 진행한다.
도 3에서 A0와 B0는 각각 위의 점이며 원점을 지나는 직선 위에 있으므로 다음 (8),(9),(10)식과 같은 관계가 성립한다.
(8),(9),(10)식의 과 에 대한 2원 2차 연립방정식을 에 대해 정리하면 (11)식이 유도되며 이의 해를 구하면 (12)식과 같다.
여기서 와 은 원점 대칭인 점이므로 서로 부호가 반대이다. 그러므로 (12)식에서 만이 성립하는 해이다. 이에 는 (10)식으로부터 유도된다.((13)식)
2차 포물선 함수의 특성에 의해 는 x축에 평행한 직선이므로 가 성립하며 C0는 위의 점이므로 C0는 (14)식과 같이 구할 수 있다.
여기서 A0는 위의 임의의 점으로 한다면 결국 A0→C0의 경로는 C0→A1의 경로와 대칭이다. 즉, A1는 C0의 좌표로 표시할 수 있으며 또한 A0의 좌표로 표시할 수 있다. 그러므로 A1의 좌표는 (15)식으로 표시된다.(여기서 라 한다.)
(15)식의 결과로부터 An과 An-1의 관계식은 (16)식과 같음을 유추할 수 있으며 이로부터 (17)식이 도출된다.
마찬가지로 Bn,Cn,Dn은 (13),(14),(16)식으로부터 다음과 같이 도출된다.
총 광 경로는 이므로 각각의 길이를 구해 n에 대해 합하기로 한다. (16)식과 (17)식으로부터 (18)식이 도출된다.
(19)식으로부터 에 위치한 광원에서 방출된 빛이 광 공동 내에서 n회 순환할 경우 총 광 경로 길이 L은 (20)식과 같다.
(20)식은 T에 대해 두 개의 함수로 구성되어 있다. L=L(T)=F1(T)+F2(T)이라 하면 F1(T), F2(T)는 (21)식, (22)식으로 나타낼 수 있다.
실질적으로 광 검출기는 일정한 크기를 가지므로 광 공동 내를 진행하는 빛은 이러한 광 검출기의 크기에 의해 유한한 순환 회수 이후 광 검출기에 검출된다. 그러므로 T값을 조절하여 순환회수를 조절할 수 있다. 그러나 광원 또한 일정한 크기를 가지고 있으므로 광원(A0)에서 방출된 빛이 1회 순환 후 A1에 도달하였을 경우 빛이 광원에 의해 진행을 방해 받을 수 있다. 이러한 제한 조건으로부터 본 발명에서 제시하는 광 공동 내에서 진행하는 빛이 광 검출기에 도달할 때까지의 순환회수를 산출한다.
광원에서 방출된 빛의 크기는 광원의 광 방출구의 크기와 동일할 것이며 광원과 빛의 크기는 동일하다고 전제한다.
그러므로 도 4의 원(403)에서 도시에서 빛이 광원과 중복되지 않을 조건은 (27)식과 같이 주어진다.
도 5의 예시에 대한 설명의 실익은 두 2차함수 포물선의 초점거리가 서로 다른 경우 (도 6에서 예시)라도 도 5의 예시에 준거하여 분석할 수 있는 근거를 제공한다.
단 의 절대값은 p에 대해 충분히 작으며 각각의 곱은 0으로 근사하기로 한다.
의 기울기를 라 하고 B의 법선의 기울기를 라 하면 삼각함수의 뺄셈공식에 의해 는 다음과 같이 표시된다.
이에 전술한 p=p'의 조건에서 광 경로를 구한 것과 동일한 방식으로 분석하기로 한다. 광원 A0(604)에서 방출된 빛이 초점을 약간 어긋나 진행하여 B0'에서 반사되어 C0'에 도달하는 경우 전술한 방식과 동일하게 의 기울기를 의 기울기를 라 하면 빛의 반사 법칙과 삼각함수의 뺄셈 공식을 동일하게 적용하도록 하여 (34)식과 (35)식을 사용한다.
B0'에서의 법선의 기울기는 이므로 (49)식과 (52)식을 대입하여 정리하면 과 사이의 관계식은 다음과 같이 구해진다.
(49)식에서 에 대해 (54)식, (55)식, (56)식을 대입하여 다음과 같이 정리할 수 있다.
(57)식으로부터 광원(604)에서 방출된 빛이 초점에 약간 어긋나게 진행하는 경우 1회 순환 이후 에 도달한다. 이를 일반화하기 위해 이후부터 에서 prime을 떼기로 한다.(prime은 초점을 통과한 빛의 진행에 대해 초점을 어긋나 진행하는 빛의 구분자였으므로 일반화 공식을 도출하는 과정에서 prime을 떼어 정리하는 것은 본 발명의 취지를 설명하는데 아무런 하자가 없음은 자명하다.)
일반화된 (57)식은 다음과 같다.
또한 (56)식에서 C0'에서 반사된 빛은 새로운 광원으로 간주될 수 있으므로 과 는 다음과 같은 관계식을 갖는다.
그러므로 (56)식과 (59)식으로부터 과 은 다음과 같은 관계식을 도출할 수 있다.
여기서 의 각각의 곱은 0으로 근사시켰다. (60)식에 (56)식을 대입하여 일반화하여 표시하면 다음과 같다.
(61)식을 (58)식에 대입하여 일반화하면 (62)식이 도출된다.
인 경우 이므로 라 하면 는 절대값이 매우 작은 음수일 것이다.((62)식은 수렴 함수이다.) 이에 인 경우 (63)식은 다음과 같은 관계가 성립한다.
(64)식에서 를 구하면
인 경우 이 에 수렴한다면 +x축(p)에 대해 식으로부터 다음과 같은 관계식이 도출된다.
(66)식에서 를 구하면(값 중 편의 상 양수만 취하기로 하고 이라 한다.)
이 도출된다. 는 광원(604)에서 방출된 빛이 초점에 어긋나 진행하여 최종적으로 수렴하는 y좌표이다. 도 4에서의 예를 이용하여 광 검출기의 직경을 L2이라 하면 이러한 경우 빛이 광 검출기에 검출되기 위한 조건은 의 조건을 만족해야 하므로 (67)식으로부터 다음과 같은 조건이 성립된다.
(68)식은 또한 광원에서 방출된 빛이 광 검출기에 검출되기 위해 초점에서 어긋나는 정도의 한계에 대한 의 조건을 표시한다. 그러므로 이러한 의 조건은 (68)식으로부터
와 같은 관계식이 도출된다.
광원에서 방출된 빛의 퍼짐()이 (69)식의 조건을 만족하는 경우 빛은 광 검출기에 검출된다. (69)식의 조건을 만족하지 않고 퍼진 빛은 광 공동 내부에서 무한 순환하다가 결국 광 공동 내에서 소멸될 것이다. 그러므로 또한 역으로 (69)식의 조건은 방출된 빛의 퍼짐이 있을 경우 방출된 빛의 총 세기에 대해 실질적으로 기체 농도 측정에 기여한 빛의 세기를 산출해 낼 수 있다.
일반적으로 점 광원에서 방출된 빛은 이상적인 경우 등방성을 가지나 실제로는 광원의 상태에 따라 특정 방향으로 가장 강한 빛이 방출되고 이 축을 중심으로 빛의 세기는 감소하는 가우스 형태의 빛의 방출 패턴을 보인다. 본 발명에서의 광원은 점 광원을 곡면거울 또는 렌즈를 이용하여 특정 방향으로 가장 강한 빛이 방출되도록 조절된 것이며 이러한 거울과 렌즈의 조건을 적절히 조절하면 평행광 또는 한 점으로 모이는 광을 방출할 수 있다. 그러나 외부의 충격 또는 제작 상의 하자 등에 의해 이러한 기체 셀의 각 구성요소의 세팅이 어긋날 수 있으며 또한 이는 광원에서 방출된 빛이 이상적인 조건에서 어긋나게 되는 원인이 될 수 있다. 그러나 이러한 어긋남에 대해 (69)식을 적용하여 어긋난 정도에 대한 기체 셀의 안정도를 산출하도록 한다. 예를 들어 도 1에서 제시한 기체 셀의 도시(圖示)에서 (69)식의 각 인자(factor)의 값이 p=15mm, p'=13.5mm, T=-0.9, L2=4mm, 라 하면 은 다음과 같은 조건을 갖는다.
광원에서 방출된 빛이 원래의 광 경로로부터 x축에 대해 2.29mm 어긋나더라도 광 검출기에 검출된다. 이는 +x축의 한 방향에 대한 것이므로 -x축을 고려하면 총 4.58mm의 광의 퍼짐에 대해서도 안정적으로 광 검출기에 검출됨을 의미한다 할 수 있다.
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- 두 오목거울을 서로 마주보도록 배치함으로써 형성되는 광학적으로 폐쇄된 광 공동을 구비하여, 빛이 광 공동 내로 입사하면 서로 마주보는 상기 두 오목 거울에 번갈아 반사되도록 설계된 기체 셀에 있어서,상기 두 오목거울은 포물선형 오목거울이며, 상기 두 오목거울의 각 포물선은 초점과 광 축을 공유하며, 상기 두 오목거울의 각 포물선은 초점거리가 서로 다르며, 초점거리가 긴 오목거울의 임의의 점에서 초점을 향하여 빛을 입사시켜 상기 광 공동 내부에서 반사를 통한 순환을 거쳐 광 축으로 빛의 진행이 수렴되도록 하기 위해 상기 초점거리가 긴 오목거울의 상기 임의의 점 상에 위치하는 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 기체 셀.
- 제 3 항에 있어서, 상기 각 포물선의 초점거리의 비가 달라짐에 따라 광 경로가 달라지는 것을 특징으로 하는 기체 셀.
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