KR100565421B1 - Epoxy molding composition for semiconductor encapsulant - Google Patents

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Abstract

본 발명은The present invention

(1)하기 화학식 2의 나프탈렌계 에폭시 수지 3.5-7.0중량%,(1) 3.5 to 7.0% by weight of a naphthalene epoxy resin of the following formula (2),

(2)수산기가 2개 이상이며 수산기 당량이 100-200인 통상의 페놀 노블락 수지, 자일록 수지, 디싸이클로펜타디엔 수지로 구성된 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 노볼락계 경화제 3.5-7.0중량%,(2) 3.5-7.0% by weight of at least one novolac-based curing agent selected from the group consisting of conventional phenol noblock resins, xylox resins, dicyclopentadiene resins having two or more hydroxyl groups and a hydroxyl group equivalent of 100-200,

(3)경화 촉진제 0.1-0.3중량% 및(3) 0.1-0.3% by weight curing accelerator and

(4)무기 충전제 88-92중량%(4) 88-92% by weight of inorganic filler

를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것으로서, 고온에 대한 내크랙성이 우수하고 고온에서의 열변형이 적으며 리드프레임과의 밀착성이 우수하여 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물로서 유용하다.The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing a semiconductor element, which is excellent in crack resistance against high temperature, low heat deformation at high temperature, and excellent adhesion to a lead frame, and thus is useful as an epoxy resin composition for semiconductor element sealing.

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112005076205155-pat00001
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(상기 화학식중 R은 수소 또는 CH3임)(Wherein R is hydrogen or CH 3 )

나프탈렌계 에폭시 수지 조성물, 노볼락계 경화제, 경화 촉진제, 무기 충전제, 내크랙성, 밀착성Naphthalene type epoxy resin composition, novolak-type hardening | curing agent, a hardening accelerator, an inorganic filler, crack resistance, adhesiveness

Description

반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물{EPOXY MOLDING COMPOSITION FOR SEMICONDUCTOR ENCAPSULANT}Epoxy resin composition for semiconductor element sealing {EPOXY MOLDING COMPOSITION FOR SEMICONDUCTOR ENCAPSULANT}

본 발명은 고온 내크랙성(crack resistence)이 우수하고, 고온에서의 열변형이 작으며, 리드프레임(lead frame) 또는 PCB(Print Circuit Board;프린트 회로판)와의 밀착성이 우수한 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 결정성의 나프탈렌계 에폭시 수지, 노볼락계 경화제, 경화 촉진제 및 무기 충전제를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention is an epoxy resin for sealing semiconductor elements excellent in high temperature crack resistance, low thermal deformation at high temperature, and excellent adhesion to a lead frame or a printed circuit board (PCB). The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing semiconductor elements, which comprises a crystalline naphthalene epoxy resin, a novolac curing agent, a curing accelerator, and an inorganic filler in more detail.

최근 환경 오염에 대한 관심이 날로 증가함에 따라서 반도체 조립 공정에 있어서도 환경 오염을 최소화시킬 수 있는 방법에 관한 관심이 집중되고 있다. 따라서 구성 성분중 인체에 유해한 할로겐계 물질이나 또는 안티몬등이 포함되지 않은 반도체 밀봉용 소재가 요구되고 있고, 반도체 도금 공정에서 납 성분을 함유하지 않는 도금액을 사용하는 신규의 리드프레임 도금 기술이 개발되고 있으며 반도체 실장 공정에서는 반도체 패키지를 융착시키기 위하여 사용되는 솔더(solder)로서 납을 함유하는 Sn-Pb계 솔더 대신에 Sn-Ag-Bi계등 납을 사용하지 않는 솔더로 변경되고 있는 추세이다. 그러나 만일 상기 납 성분을 사용하지 않으면 반도체 실장 공정에서 솔더의 융점이 20-30℃정도 상승하게 되어 계면에 흡습되는 습기의 수증기압이 훨씬 크게 증가하여 반도체 패키지에 팝콘 크랙(pop-corn crack)이 발생하게 되는 문제점이 있다. 더욱이 반도체 패키지의 경박화 추세에 따라 DRAM의 패키지로서 일반적으로 사용되고 있는 TSOP(Thin Small Outline Package;경박 아웃라인 패키지)의 두께가 1㎜에 불과하므로 패키지 내부의 파괴 충격에 대해서 매우 약하기 때문에 반도체 밀봉 소재의 내열성, 접착 특성 및 흡습성이 개선되어야 할 필요성이 절실히 요구되고 있다. 또한 반도체 패키지중 BGA(Ball Grid Array)는 구조가 비대칭적이고 재료들간 열팽창 계수에 차이가 있기 때문에 실장 온도에서 쉽게 휘게되는데, 납을 포함하지 않는 실장 공정에서 실장 온도가 상승하게 되면 이는 더욱 심하게 휘게 되어 상기 BGA에 사용되는 에폭시 밀봉 소재는 고온에서의 수치 안정성이 추가로 요구되고 있다.Recently, as interest in environmental pollution has increased, attention has been focused on methods for minimizing environmental pollution in semiconductor assembly processes. Therefore, there is a demand for a semiconductor sealing material that does not contain halogen-based substances or antimony, which are harmful to human body, and a new leadframe plating technology using a plating solution containing no lead component is developed in the semiconductor plating process. In the semiconductor mounting process, a solder that is used to fuse a semiconductor package is being changed into a solder that does not use lead, such as a Sn-Ag-Bi system, instead of a Sn-Pb-based solder containing lead. However, if the lead component is not used, the melting point of the solder increases by 20-30 ° C. in the semiconductor mounting process, and the vapor pressure of moisture absorbed at the interface is much increased, resulting in pop-corn cracks in the semiconductor package. There is a problem. Furthermore, according to the trend of thinning of the semiconductor package, the thickness of the thin small outline package (TSOP), which is generally used as a package for DRAM, is only 1 mm, and thus the semiconductor sealing material is very weak against breakage shocks inside the package. There is an urgent need to improve the heat resistance, adhesive properties and hygroscopicity of the resin. In addition, the ball grid array (BGA) of the semiconductor package is easily bent at the mounting temperature because of its asymmetrical structure and difference in coefficient of thermal expansion between materials. The epoxy sealing material used for the BGA further requires a numerical stability at high temperatures.

이러한 요구에 부응하기 위해서 일반적으로는 탄성률을 낮추어서 저응력화시키고, 열팽창 계수도 낮추며, 계면에 습기가 흡습되는 것을 방지하기 위해서 칩 또는 리드프레임과 반도체 소자의 밀봉 소재와의 밀착성을 높이고, 무기 충전재의 함량을 늘려 흡습량 자체를 줄이는 방법을 생각할 수 있다. 상기 제시된 방법들 중 밀착력을 증가시키는 방법으로서는 하기 화학식 1의 비페닐에폭시등의 저점도 에폭시 수지 및 기타 첨가제를 이용하는 방법이 있다.In order to meet these demands, the elastic modulus is generally lowered to lower the stress, the thermal expansion coefficient is lowered, and the adhesion between the chip or lead frame and the sealing material of the semiconductor element is increased to prevent moisture from absorbing at the interface, and the inorganic filler It is conceivable to reduce the moisture absorption by increasing the content of. Among the above methods, there is a method of increasing the adhesion, using a low viscosity epoxy resin and other additives such as biphenyl epoxy of the formula (1).

Figure 112000015757931-pat00002
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다음으로 탄성률을 낮추는 방법으로서는 부타디엔 함유 고무 개질제나 열 안정성이 우수한 실리콘 중합체를 배합하여 개질시키는 방법(일본 특개소 63-1894호 및 특개평 5-291436호)이 있다. 상기 방법에서 사용되는 실리콘 오일은 성형 재료의 기저 수지인 에폭시 수지 및 경화제와 상용성이 없기 때문에 기저 수지중에 미립자 형태로 분산되어 내열성을 유지한 채 탄성률을 낮출 수 있다.Next, as a method of lowering an elastic modulus, there are a method of blending and modifying a butadiene-containing rubber modifier or a silicone polymer having excellent thermal stability (Japanese Patent Laid-Open Nos. 63-1894 and 5-291436). Since the silicone oil used in the method is incompatible with the epoxy resin and the curing agent, which are the base resins of the molding material, the silicone oil can be dispersed in the form of fine particles in the base resin to lower the elastic modulus while maintaining the heat resistance.

마지막으로 열팽창율을 낮추는 방법으로서는 열팽창 계수가 낮은 무기 충전제의 충전량을 증가시키는 방법이 있는데, 이 경우에는 무기 충전제의 충전량을 증가시킴에 따라서 에폭시 성형 재료의 유동성이 낮아지고 탄성이 높아진다는 문제점이 있지만 일본 특개소 64-11355호에서는 구형 충전제를 사용하되 그 입도 분포와 입도를 조절하여 다량의 충전제를 배합시키는 기술을 제시하고 있다. 이 경우에는 무기 충전재의 함량을 증가시킴에 따라 흡습률도 함께 낮추어 주는 효과를 얻을 수 있다.Finally, the method of lowering the coefficient of thermal expansion is to increase the amount of the inorganic filler having a low coefficient of thermal expansion. In this case, as the amount of the inorganic filler is increased, the fluidity and the elasticity of the epoxy molding material are decreased. Japanese Patent Laid-Open No. 64-11355 proposes a technique for using a spherical filler but blending a large amount of filler by controlling its particle size distribution and particle size. In this case, as the content of the inorganic filler increases, the effect of lowering the moisture absorption rate can be obtained.

그러나, 상기와 같이 비페닐 에폭시 수지에 무기 충전제 함량을 증가시키고 실리콘 중합체를 배합시키는 방법만으로는 비페닐 에폭시 수지 자체의 유리 전이 온도가 낮아지기 때문에, 반도체 패키지 내의 여러 재료들간 고온 열팽창 계수 차이가 매우 커져서 패키지의 종류에 따라 휘어지게 되는등 성형성 및 신뢰도 특성을 만족시키기 어렵다는 문제점이 있다. 뿐만 아니라 바이페닐에폭시 수지의 느린 경화속도로 인해 반도체 패키지 성형 공정의 생산성 및 작업성이 저하되는 문제가 발생한다.However, since the method of increasing the inorganic filler content in the biphenyl epoxy resin and incorporating the silicone polymer as described above lowers the glass transition temperature of the biphenyl epoxy resin itself, the difference in the high temperature thermal expansion coefficient between the various materials in the semiconductor package becomes very large. There is a problem that it is difficult to satisfy the moldability and reliability characteristics, such as bending according to the type of. In addition, due to the slow curing speed of the biphenyl epoxy resin, the productivity and workability of the semiconductor package molding process may be deteriorated.

따라서 상기한 바와 같은 문제점을 해결할 수 있는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물의 개발이 필요하다.Therefore, it is necessary to develop an epoxy resin composition for semiconductor element sealing that can solve the problems as described above.

본 발명의 목적은 결정성 나프탈렌계 에폭시 수지, 노볼락계 경화제, 경화 촉진제 및 무기 충전제를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an epoxy resin composition for sealing semiconductor elements comprising a crystalline naphthalene epoxy resin, a novolac curing agent, a curing accelerator and an inorganic filler.

즉, 본 발명은That is, the present invention

(1)하기 화학식 2의 나프탈렌계 에폭시 수지 3.5-7.0중량%,(1) 3.5 to 7.0% by weight of a naphthalene epoxy resin of the following formula (2),

(2)수산기가 2개 이상이며 수산기 당량이 100-200인 통상의 페놀 노블락 수지, 자일록 수지, 디싸이클로펜타디엔 수지로 구성된 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 노볼락계 경화제 3.5-7.0중량%,(2) 3.5-7.0% by weight of at least one novolac-based curing agent selected from the group consisting of conventional phenol noblock resins, xylox resins, dicyclopentadiene resins having two or more hydroxyl groups and a hydroxyl group equivalent of 100-200,

(3)경화 촉진제 0.1-0.3중량% 및(3) 0.1-0.3% by weight curing accelerator and

(4)무기 충전제 88-92중량%(4) 88-92% by weight of inorganic filler

를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제공하는 것이다.It is to provide an epoxy resin composition for sealing a semiconductor device comprising a.

Figure 112000015757931-pat00003
Figure 112000015757931-pat00003

(상기 화학식중 R은 수소 또는 CH3임)(Wherein R is hydrogen or CH 3 )

본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 나프탈렌계 에폭시 수지, 노볼락계 경화제, 경화 촉진제 및 무기 충전제를 포함하는데, 이하 각각의 성분들에 대하여 상세히 설명하고자 한다.The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device of the present invention includes a naphthalene-based epoxy resin, a novolac-based curing agent, a curing accelerator, and an inorganic filler, which will be described in detail below.

본 발명에서 사용된 나프탈렌계 에폭시 수지(이하 성분(1)이라 칭함)는 저점도의 결정성 물질로서 하기 화학식 2와 같은 구조를 갖는다.The naphthalene epoxy resin (hereinafter referred to as component (1)) used in the present invention is a low viscosity crystalline material and has a structure as shown in the following formula (2).

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112000015757931-pat00004
Figure 112000015757931-pat00004

(상기 화학식중 R은 수소 또는 CH3임)(Wherein R is hydrogen or CH 3 )

상기 성분(1)은 하기 화학식 3의 기존의 액상 나프탈렌계 에폭시 수지에 비하여 분자구조가 대칭적이기 때문에, 상온에서 고체의 결정 상태이며 용융시 점도가 매우 낮아지므로 무기 충전제를 88중량%이상 가할 수 있게 된다.Since the component (1) has a symmetrical molecular structure compared to the conventional liquid naphthalene epoxy resin of the following general formula (3), it is a crystalline state of solid at room temperature and the viscosity is very low upon melting so that an inorganic filler can be added at least 88% by weight. do.

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본 발명에서 상기 성분(1)의 융점은 분자내 치환기를 조절함으로써 조정할 수 있다. 상기 성분(1)의 함량은 전체 조성물에 대해서 3.5-7.0중량%인 것이 바람직하다. 만일 상기 함량이 3.5중량% 미만일 경우에는 본 발명에서 요구하는 정도의 물성을 얻을 수 없으므로 좋지 않고, 만일 상기 함량이 7.0중량%를 초과하는 경우에는 비경제적이므로 좋지 않다.In the present invention, the melting point of component (1) can be adjusted by adjusting the intramolecular substituent. The content of component (1) is preferably 3.5-7.0% by weight based on the total composition. If the content is less than 3.5% by weight can not be obtained because the physical properties of the degree required in the present invention is not good, and if the content is more than 7.0% by weight is not economical because it is not good.

본 발명에서 사용된 노볼락계 경화제(이하 성분(2)라 칭함)로서는 수산기가 2개 이상이며 수산기 당량이 100-200인 통상의 페놀 노블락 수지, 자일록 수지, 디싸이클로펜타디엔 수지로 구성된 그룹으로부터 선택된 1 또는 2이상의 수지를 단독으로 또는 함께 사용할 수 있다. 상기 성분(2)의 함량은, 수산기 당량에 대한 에폭시 당량의 조성비가 0.9-1.1 범위내에 들도록 함량이 결정된다. 이때, 전체 조성비에 대해서 3.5-7.0중량%에 해당된다. 조성비가 상기 범위를 벗어날 경우 미반응 에폭시와 페놀기가 다량 발생하여 신뢰성에 좋지 않은 결과를 주게 된다.As the novolak-based curing agent (hereinafter referred to as component (2)) used in the present invention, a group consisting of ordinary phenol noblock resins, xylox resins, and dicyclopentadiene resins having two or more hydroxyl groups and a hydroxyl equivalent of 100-200 One or more resins selected from can be used alone or together. The content of component (2) is determined so that the composition ratio of epoxy equivalent to hydroxyl equivalent falls within the range of 0.9-1.1. At this time, it corresponds to 3.5-7.0 wt% with respect to the total composition ratio. If the composition ratio is out of the above range, a large amount of unreacted epoxy and phenol groups are generated, which results in poor reliability.

본 발명에서 사용된 경화 촉진제(이하 성분(3)이라 칭함)는 상기 성분(1) 및 성분(2)의 경화 반응을 촉진하기 위해서 사용되는 성분으로서, 벤질디메틸아민, 트리에탄올아민, 트리에틸렌디아민, 디메틸아미노에탄올, 트리(디메틸아미노메틸)페놀등의 3급 아민류 ; 2-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸등의 이미다졸류 ; 트리페닐포스핀, 디페닐포스핀, 페닐포스핀등의 유기 포스핀류 ; 테트라페닐포스늄 테트라베닐보레이트, 트리페닐포스핀 테트라페닐보레이트등의 테트라페닐보론염등으로 구성된 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 화합물을 단독으로 또는 병용해서 사용할 수 있다. 상기 성분(3)의 함량은 전체 조성물에 대해서 0.1-0.3중량%인 것이 바람직하다. 만일 상기 함량이 0.1중량% 미만일 경우에는 경화 속도가 느려져서 생산성이 떨어져 좋지 않고, 만일 상기 함량이 0.3중량%를 초과하는 경우에는 원하는 경화 특성을 얻을 수 없을 뿐만 아니라 보관 안정성이 나빠져서 좋지 않다.The curing accelerator used in the present invention (hereinafter referred to as component (3)) is a component used to accelerate the curing reaction of the component (1) and component (2), benzyldimethylamine, triethanolamine, triethylenediamine, Tertiary amines such as dimethylaminoethanol and tri (dimethylaminomethyl) phenol; Imidazoles such as 2-methylimidazole and 2-phenylimidazole; Organic phosphines such as triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine; One or two or more compounds selected from the group consisting of tetraphenylboron salts such as tetraphenylphosphium tetrabenylborate, triphenylphosphine tetraphenylborate and the like can be used alone or in combination. The content of component (3) is preferably 0.1 to 0.3% by weight based on the total composition. If the content is less than 0.1% by weight, the curing rate is slow and the productivity is not good, and if the content is more than 0.3% by weight, the desired curing properties are not obtained, and storage stability is not good.

본 발명에서 사용된 무기 충전제(이하 성분(4)라 칭함)는 평균 입도가 0.1-35.0㎛인 용융 또는 합성 실리카를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 성분(4)의 함량은 전체 조성물에 대해서 85-92중량%가 바람직하다. 만일 상기 함량이 85중량% 미만인 경우에는 충분한 강도와 고온에 대한 수치 안정성을 얻을수 없으며 또한 수분의 침투가 용이해져서 고온 솔더 공정에서 팝콘 크랙(Pop-corn crack)이 발생되어 좋지 않다. 만일 상기 함량이 92중량%를 초과하는 경우에는 유동 특성이 저하되어 성형성이 나빠질 우려가 있어서 좋지 않다.As the inorganic filler used in the present invention (hereinafter referred to as component (4)), it is preferable to use fused or synthetic silica having an average particle size of 0.1-35.0 µm. The content of component (4) is preferably 85-92% by weight based on the total composition. If the content is less than 85% by weight, sufficient strength and numerical stability against high temperature may not be obtained, and the penetration of moisture may be facilitated, resulting in poor pop-corn cracks in the high temperature solder process. If the content is more than 92% by weight, the flow characteristics are deteriorated and the moldability may deteriorate, which is not good.

상기 성분(4)의 충전량의 상한선은 성형성을 고려하여 선정하여야 할 뿐만 아니라 분쇄형과 구형의 실리카를 분쇄형 및 구형의 구성 조성비 3/7 - 0/10으로 혼합 사용하는 것이 바람직하며, 특히 고순도의 제품이어야 한다.The upper limit of the filling amount of the component (4) should not only be selected in consideration of moldability, but also preferably mixed with crushed and spherical silica in a constituent composition ratio of crushed and spherical 3/7-0/10. It should be a product of high purity.

또한 본 발명의 성형 재료에는 브롬 에폭시의 난연제, 삼산화안티몬, 수산화알루미나, 오산화안티몬등의 난연 보조제 ; 고급 지방산, 고급 지방산 금속염, 에스테르계 왁스등의 이형제 ; 카본 블랙, 유기 및 무기 염료등의 착색제 ; 에폭시 실란, 아미노 실란, 알킬 실란등의 커플링제등을 필요에 따라 첨가할 수도 있다.Further, the molding material of the present invention includes flame retardants such as brominated epoxy flame retardant, antimony trioxide, alumina hydroxide and antimony pentoxide; Mold release agents such as higher fatty acids, higher fatty acid metal salts, and ester waxes; Coloring agents such as carbon black, organic and inorganic dyes; Coupling agents, such as an epoxy silane, an amino silane, and an alkyl silane, can also be added as needed.

이와 같은 성분 물질들을 소정량으로 배합한후 헨셀(Hanssel) 믹서 또는 뢰디게(Loedige) 믹서를 사용하여 균일하게 혼합시킨뒤 롤밀(roll mill) 또는 니이더(kneader)로 용융 혼련시켜 이후 냉각 및 분쇄 과정을 거쳐서 최종 분말 제품을 얻을 수 있다.These ingredients are blended in a predetermined amount, uniformly mixed using a Hanssel mixer or Loedige mixer, melt-kneaded with a roll mill or kneader, and then cooled and pulverized. Through the process, the final powder product can be obtained.

이하 다음의 실시예를 들어 본 발명을 보다 구체화할 것이며, 다음의 실시예는 어디까지나 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 기재된 것이지 본 발명의 보호 범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be more specifically described with reference to the following examples. The following examples are only described for the purpose of illustrating the present invention and are not intended to limit the protection scope of the present invention.

실시예 1-3Example 1-3

표 1에 나타낸 성분들을 평량하여, 헨셀 믹서로 균일하게 혼합한후 분말 상태의 에폭시 수지 조성물을 제조하였다. 이후 니이더를 사용하여 100℃에서 용융 혼련시킨뒤, 냉각 및 분쇄시켜 본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제조하였다. 결과로 수득된 에폭시 수지 조성물에 대해서 스파이럴 플로우를 측정하였으며, 시편을 제작하여 175℃, 6시간 후경화시킨후 굴곡 강도, 탄성률, 부착력, 유리 전이 온도, 흡습률 및 열팽창률을 측정하였다. 또한 44-TSOP 및 48-FBGA를 성형하여 후경화시킨다음, 85℃/65% RH의 항온 항습 처리 조건하에서 48시간, 168시간 동안 각각 흡습시키고, 265℃에서 10초 동안 IR 리플로우를 3회 통과시켜 패키지의 크랙을 측정하였다. 측정 결과를 표 1에 나타내었다.The components shown in Table 1 were weighed and uniformly mixed with a Henschel mixer to prepare an epoxy resin composition in powder form. After melt kneading at 100 ℃ using a kneader, and then cooled and pulverized to prepare an epoxy resin composition for sealing a semiconductor device of the present invention. The spiral flow of the resulting epoxy resin composition was measured, and after the specimen was prepared and cured after 175 ° C. for 6 hours, flexural strength, elastic modulus, adhesion force, glass transition temperature, moisture absorption rate, and thermal expansion rate were measured. In addition, 44-TSOP and 48-FBGA were formed and post-cured, and then absorbed for 48 hours and 168 hours under constant temperature and humidity conditions of 85 ° C / 65% RH, and three times of IR reflow for 10 seconds at 265 ° C. The crack of the package was measured by passing. The measurement results are shown in Table 1.

비교예 1-3Comparative Example 1-3

표 2에 나타낸 성분들을 사용하여 실시예 1-3과 동일한 방법으로 실시하였으 며, 결과를 표 2에 나타내었다.Using the components shown in Table 2 was carried out in the same manner as in Example 1-3, the results are shown in Table 2.

Figure 112000015757931-pat00006
Figure 112000015757931-pat00006

(단위:중량%)(Unit: weight%)

Figure 112000015757931-pat00007
Figure 112000015757931-pat00007

(단위:중량%)(Unit: weight%)

상기 실시예 및 표 1의 결과를 통하여 확인되는 바와 같이, 본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 고온에 대한 내크랙성이 우수하고 고온에서의 열변형이 적으며 리드프레임과의 밀착성이 향상된 이점을 갖는다. As confirmed through the results of Examples and Table 1, the epoxy resin composition for sealing a semiconductor device of the present invention has excellent crack resistance against high temperature, less heat deformation at high temperature, and improved adhesion to lead frames. Has an advantage.

Claims (5)

(1)하기 화학식 2의 나프탈렌계 에폭시 수지 3.5-7.0중량%,(1) 3.5 to 7.0% by weight of a naphthalene epoxy resin of the following formula (2), (2)수산기가 2개 이상이며 수산기 당량이 100-200인 통상의 페놀 노블락 수지, 자일록 수지, 디싸이클로펜타디엔 수지로 구성된 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 노볼락계 경화제 3.5-7.0중량%,(2) 3.5-7.0% by weight of at least one novolac-based curing agent selected from the group consisting of conventional phenol noblock resins, xylox resins, dicyclopentadiene resins having two or more hydroxyl groups and a hydroxyl group equivalent of 100-200, (3)경화 촉진제 0.1-0.3중량% 및(3) 0.1-0.3% by weight curing accelerator and (4)무기 충전제 88-92중량%(4) 88-92% by weight of inorganic filler 를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.Epoxy resin composition for sealing semiconductor elements comprising a. [화학식 2][Formula 2]
Figure 112005076205155-pat00008
Figure 112005076205155-pat00008
(상기 화학식중 R은 수소 또는 CH3임)(Wherein R is hydrogen or CH 3 )
삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 경화 촉진제로 벤질디메틸아민, 트리에탄올아민, 트 리에틸렌디아민, 디메틸아미노에탄올, 트리(디메틸아미노메틸)페놀등의 3급 아민류 ; 2-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸등의 이미다졸류 ; 트리페닐포스핀, 디페닐포스핀, 페닐포스핀등의 유기 포스핀류 ; 테트라페닐포스늄 테트라베닐보레이트, 트리페닐포스핀 테트라페닐보레이트등의 테트라페닐보론염등으로 구성된 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 화합물을 사용한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.A tertiary amine such as benzyldimethylamine, triethanolamine, triethylenediamine, dimethylaminoethanol, tri (dimethylaminomethyl) phenol, etc. according to claim 1; Imidazoles such as 2-methylimidazole and 2-phenylimidazole; Organic phosphines such as triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine; An epoxy resin composition for semiconductor element sealing, comprising at least one compound selected from the group consisting of tetraphenylboron salts such as tetraphenylphosphium tetrabenyl borate, triphenylphosphine tetraphenyl borate and the like. 제 1항에 있어서, 상기 무기 충전제가 평균 입도 0.1-35.0㎛인 용융 또는 합성 실리카인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.The epoxy resin composition for semiconductor element sealing according to claim 1, wherein the inorganic filler is fused or synthetic silica having an average particle size of 0.1-35.0 µm. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 실리카가 분쇄형 및 구형 실리카의 구성 조성비 3/7 - 0/10로 사용된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.The epoxy resin composition for semiconductor element sealing according to claim 1 or 4, wherein the silica is used in a constituent composition ratio 3/7-0/10 of the pulverized and spherical silica.
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