KR100474961B1 - Epoxy resin composition for encapsulating semiconductor device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing semiconductor elements, more specifically
(1)2개 이상의 에폭시기를 가지며 에폭시 당량이 100~220인 (1) having two or more epoxy groups and having an epoxy equivalent of 100 to 220
에폭시 수지 3.5~10.0중량%, Epoxy resin 3.5-10.0% by weight,
(2)2개 이상의 수산화기를 가지며 수산화기 당량이 100~200인 (2) having two or more hydroxyl groups and having a hydroxyl equivalent weight of 100 to 200;
경화제 2.0~10.0중량%, Hardener 2.0-10.0 wt%,
(3)경화 촉진제 0.1~0.5중량%,(3) 0.1 to 0.5% by weight curing accelerator,
(4)무기 충전제 80.0~91.0중량%, 및(4) 80.0-91.0 weight% of inorganic fillers, and
(5)기타 첨가제 3.365∼10.0중량%(5) Other additives 3.365-10.0 wt%
를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 있어서, 하기 화학식 1의 접착력 강화제를 0.035~3.0중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것이며, 본 발명의 에폭시 수지 조성물은 리드프레임과의 접착강도가 향상되어 내습신뢰성이 우수하므로, 본 발명의 조성물로 반도체 소자를 밀봉하면 크랙 발생을 억제할 수 있다. In the epoxy resin composition for semiconductor element sealing comprising a 0.035 to 3.0% by weight of the adhesion strength enhancer of the formula (1) relates to an epoxy resin composition for semiconductor element sealing, the epoxy resin composition of the present invention is a lead Since the adhesive strength with the frame is improved and the moisture resistance is excellent, sealing of the semiconductor element with the composition of the present invention can suppress crack generation.
[화학식 1][Formula 1]
(상기 화학식중 R은 에틸기 또는 메틸기이고, n은 0∼3임)(Wherein R is an ethyl group or a methyl group and n is 0 to 3)
Description
본 발명은 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 2개 이상의 에폭시기를 가지며 에폭시 당량이 100~220인 에폭시 수지, 2개 이상의 수산화기를 가지며 수산화기 당량이 100~200인 경화제, 경화 촉진제, 무기 충전제 및 하기 화학식 1의 접착력 강화제를 포함하며 반도체 소자 리드프레임과의 접착강도 및 내습신뢰성이 우수한 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing semiconductor elements, and more particularly, to an epoxy resin having two or more epoxy groups and having an epoxy equivalent of 100 to 220, a curing agent having two or more hydroxyl groups and having a hydroxyl equivalent of 100 to 200, and curing The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing a semiconductor device, including an accelerator, an inorganic filler, and an adhesion enhancing agent of the following Chemical Formula 1, and having excellent adhesion strength and moisture resistance to a semiconductor device lead frame.
(상기 화학식중 R은 에틸기 또는 메틸기이고, n은 0∼3임)(Wherein R is an ethyl group or a methyl group and n is 0 to 3)
최근 반도체 소자의 집적도는 나날이 향상되고 있으며, 이에 따른 배선의 미세화, 소자크기의 대형화 및 다층 배선화가 급속히 진전되고 있다. 한편, 반도체 소자를 외부 환경으로부터 보호하는 패키지의 경우 프린트 기판으로의 고밀도 실장, 즉 표면 실장이라는 관점에서 소형, 박형화가 가속화 되고 있다.In recent years, the degree of integration of semiconductor devices has been improved day by day, and thus the size of wirings, the size of devices and the size of multilayer wirings are rapidly progressing. On the other hand, in the case of the package which protects a semiconductor element from an external environment, compactness and thinning are accelerating from the viewpoint of high-density mounting to a printed board, ie, surface mounting.
이와 같이 대형 반도체 소자를 소형, 박형 패키지에 밀봉한 수지 밀봉형 반도체 장치에서는 외부환경의 온도 및 습도변화에 따른 열응력에 기인하여 패키지 크랙 발생에 따른 고장 발생의 빈도가 매우 높아지게 된다. 따라서, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 성형재료의 신뢰성을 높일 수 있는 방법을 개발하여야 할 필요성이 강하게 대두되고 있으며, 구체적인 방법으로는 저응력화를 위하여 탄성률을 낮추는 방법, 열팽창 계수를 낮추는 방법, 접착력을 향상시켜 리드프레임과 에폭시 수지 조성물과의 계면을 통한 수분 침투 및 열사이클에 따른 계면 박리를 억제시키는 방법, 무기 충전제를 고충전하여 수분 흡습량을 저하시키는 방법 등이 제안되어 왔다. As described above, in the resin encapsulated semiconductor device in which a large semiconductor device is sealed in a small and thin package, the frequency of failure due to package cracks is very high due to thermal stress caused by temperature and humidity changes in the external environment. Therefore, in order to solve such a problem, there is a strong need to develop a method for improving the reliability of the epoxy resin molding material for sealing semiconductor devices, and as a specific method, a method of lowering elastic modulus for reducing stress and thermal expansion A method of lowering the coefficient, improving adhesion and preventing moisture penetration through the interface between the lead frame and the epoxy resin composition and interfacial peeling due to heat cycle, and a method of reducing the moisture absorption by high filling of the inorganic filler have been proposed. come.
상기 제시된 방법들중 탄성률을 낮추는 방법으로서는 부타디엔 함유 고무 개질제나 열 안정성이 우수한 실리콘 중합체를 배합하여 에폭시 수지 조성물을 개질시키는 방법(참조: 일본 특허공개 소 63-1894호 및 특허공개 평 5-291436호)이 있다. 실리콘 중합체는 성형 재료의 기본 수지인 에폭시 수지 및 경화제와 상용성이 없기 때문에, 기본 수지중에 미립자 형태로 분산되어 내열성을 유지한 채 탄성률을 낮출 수 있다.Among the above-mentioned methods, a method of lowering the modulus of elasticity is a method of modifying an epoxy resin composition by blending a butadiene-containing rubber modifier or a silicone polymer having excellent thermal stability (see Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 63-1894 and 5-291436). There is). Since the silicone polymer is incompatible with the epoxy resin and the curing agent, which are the base resins of the molding material, the silicone polymer can be dispersed in the form of fine particles in the base resin to lower the elastic modulus while maintaining the heat resistance.
다음으로 열팽창률을 낮추는 방법으로서는 열팽창 계수가 낮은 무기 충전제의 충전량을 증가시키는 방법이 있는데, 이 경우에는 무기 충전제의 충전량을 증가시킴에 따라서 에폭시 성형 재료의 유동성이 낮아지고 탄성이 높아진다는 문제점이 있지만, 일본 특허공개 소 64-11355호에서는 구형 충전제를 사용하되 그 입도 분포와 입도를 조절하여 다량의 충전제를 배합시키는 기술을 제시하고 있다. 이 경우에는 무기 충전재의 함량을 증가시킴에 따라 흡습률도 함께 낮추어 주는 효과를 얻을 수 있다.As a method of lowering the coefficient of thermal expansion, there is a method of increasing the filling amount of the inorganic filler having a low coefficient of thermal expansion. In this case, as the filling amount of the inorganic filler is increased, the fluidity of the epoxy molding material is lowered and the elasticity is increased. Japanese Patent Laid-Open No. 64-11355 discloses a technique for using a spherical filler but blending a large amount of filler by controlling its particle size distribution and particle size. In this case, as the content of the inorganic filler increases, the effect of lowering the moisture absorption rate can be obtained.
마지막으로 에폭시 수지 밀봉재와 리드프레임 간의 접착강도를 강화시키는 방법으로는 현재까지 제시된 것은 그리 많지 않으나, 고접착성의 에폭시 수지 또는 경화제를 적용하는 방법이 가장 널리 사용되고 있다. 하지만 에폭시 수지와 경화제만으로는 접착강도를 향상시키는데 한계가 있어 보다 효과적인 접착력 강화제의 개발이 요구되고 있는 실정이다. Finally, as a method of strengthening the adhesive strength between the epoxy resin sealant and the lead frame, there are not many proposals so far, but a method of applying a high adhesive epoxy resin or a curing agent is most widely used. However, the epoxy resin and the curing agent alone has a limit in improving the adhesive strength, so the development of more effective adhesion enhancer is required.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 에폭시 수지 조성물과 리드프레임 간의 접착력 강화제로서 하기 화학식 1의 화합물을 첨가함으로써 접착강도 및 내습신뢰성이 향상된 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, by adding a compound of the formula (1) as an adhesion enhancer between the epoxy resin composition and the lead frame epoxy resin composition for semiconductor device sealing improved adhesion strength and moisture resistance reliability To provide.
즉, 본 발명은 That is, the present invention
(1)2개 이상의 에폭시기를 가지며 에폭시 당량이 100~220인 (1) having two or more epoxy groups and having an epoxy equivalent of 100 to 220
에폭시 수지 3.5~10.0중량%, Epoxy resin 3.5-10.0% by weight,
(2)2개 이상의 수산화기를 가지며 수산화기 당량이 100~200인 (2) having two or more hydroxyl groups and having a hydroxyl equivalent weight of 100 to 200;
경화제 2.0~10.0중량%, Hardener 2.0-10.0 wt%,
(3)경화 촉진제 0.1~0.5중량%,(3) 0.1 to 0.5% by weight curing accelerator,
(4)무기 충전제 80.0~91.0중량%, 및(5)기타 첨가제 3.365∼10.0중량%(4) 80.0-91.0 weight% of inorganic fillers, and (5) 3.365-10.0 weight% of other additives.
를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 있어서, 하기 화학식 1의 접착력 강화제를 0.035~3.0중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제공한다. In the epoxy resin composition for sealing a semiconductor device comprising a, to provide an epoxy resin composition for sealing semiconductor device comprising 0.035 to 3.0% by weight of the adhesion strength enhancer of the formula (1).
[화학식 1][Formula 1]
(상기 화학식중 R은 에틸기 또는 메틸기이고, n은 0∼3임) (Wherein R is an ethyl group or a methyl group and n is 0 to 3)
본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 에폭시 수지, 경화제, 경화 촉진제, 무기 충전제 및 접착력 강화제를 포함하는데, 이하 각각의 성분들에 대하여 상세히 설명하고자 한다.The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device of the present invention includes an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator, an inorganic filler, and an adhesion enhancing agent, which will be described in detail below.
본 발명에서 사용된 에폭시 수지(이하 성분(1)이라 칭함)는 2개 이상의 에폭시기를 가지며 에폭시 당량이 100~220이고 불순물 함량이 10ppm 이하인 고순도의 에폭시 수지로서, 통상의 오르쏘 크레졸 노볼락 수지, 바이페닐 에폭시 수지, 비스페놀 A 수지, 또는 그들의 혼합물이다. 상기 에폭시 수지중 2종 이상을 혼합하여 사용하는 경우에는 접착력 및 내습신뢰성 측면에서 에폭시 당량이 190~200인 바이페닐 에폭시 수지를 에폭시 수지 혼합물 전체에 대하여 40중량% 이상 사용하는 것이 바람직하다.The epoxy resin (hereinafter referred to as component (1)) used in the present invention is a high purity epoxy resin having two or more epoxy groups and having an epoxy equivalent of 100 to 220 and an impurity content of 10 ppm or less, and a conventional ortho cresol novolac resin, Biphenyl epoxy resins, bisphenol A resins, or mixtures thereof. In the case where two or more kinds of the epoxy resins are mixed and used, it is preferable to use a biphenyl epoxy resin having an epoxy equivalent of 190 to 200 with respect to the whole epoxy resin mixture in an amount of 40% by weight or more in terms of adhesion and moisture resistance.
상기 성분(1)의 함량은 전체 조성물에 대하여 3.5∼10.0 중량%인 것이 바람직하다. 상기 함량이 3.5중량% 미만일 경우에는 본 발명에서 요구하는 정도의 물성을 얻을 수 없으므로 좋지 않고, 10.0중량%를 초과하는 경우에는 비경제적이므로 좋지 않다.The content of component (1) is preferably 3.5 to 10.0% by weight based on the total composition. If the content is less than 3.5% by weight can not be obtained because the physical properties of the degree required by the present invention is not good, if it exceeds 10.0% by weight is not economical because it is not good.
본 발명에서 사용된 경화제(이하 성분(2)라 칭함)는 2개 이상의 수산화기를 가지며 수산화기 당량이 100~200인 통상의 페놀 노볼락 수지, 자일록(xylok) 수지, 디사이클로펜타디엔 수지 또는 그들의 혼합물이다. 상기 경화제중 2종 이상을 혼합하여 사용하는 경우에는 접착력 및 내습신뢰성 측면에서 자일록(xylok) 수지를 경화제 혼합물 전체에 대하여 40중량% 이상 사용하는 것이 바람직하다. The curing agent used in the present invention (hereinafter referred to as component (2)) is a conventional phenol novolak resin, xylok resin, dicyclopentadiene resin having two or more hydroxyl groups and having a hydroxyl equivalent of 100 to 200 or their Mixture. When two or more kinds of the curing agents are mixed and used, it is preferable to use 40% by weight or more of the xylok resin with respect to the entire curing agent mixture in terms of adhesion and moisture resistance.
상기 성분(2)의 함량은 성분(2)의 수산화기 당량에 대한 성분(1)의 에폭시 당량의 조성비가 0.8~1.3의 범위내에 들도록 결정된다. 이때, 상기 성분(2)의 함량은 전체 조성물에 대해서 2.0~10.0중량%에 해당되며, 상기 범위를 벗어날 경우 미반응 에폭시기와 페놀기가 다량 발생하여 신뢰성에 좋지 않은 결과를 주게 된다.The content of the component (2) is determined so that the composition ratio of the epoxy equivalent of the component (1) to the hydroxyl equivalent of the component (2) falls within the range of 0.8 to 1.3. At this time, the content of the component (2) is equivalent to 2.0 to 10.0% by weight based on the total composition, if out of the above range, a large amount of unreacted epoxy groups and phenol groups are generated, which results in poor reliability.
본 발명에서 사용된 경화촉진제(이하 성분(3)이라 칭함)는 상기 성분(1)과 성분(2)의 경화반응을 촉진하기 위해 필요한 성분으로, 예를 들어 벤질디메틸아민, 트리에탄올아민, 트리에틸렌디아민, 디메틸아미노에탄올, 트리(디메틸아미노메틸)페놀 등의 3급 아민류; 2-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸 등의 이미다졸류; 트리페닐포스핀, 디페닐포스핀, 페닐포스핀 등의 유기 포스핀류; 및 테트라페닐포스포늄 테트라페닐보레이트, 트리페닐포스핀 테트라페닐보레이트 등의 테트라페닐보론염 등이 있으며, 이 중 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The curing accelerator used in the present invention (hereinafter referred to as component (3)) is a component necessary for promoting the curing reaction of the component (1) and the component (2), for example benzyldimethylamine, triethanolamine, triethylene Tertiary amines such as diamine, dimethylaminoethanol and tri (dimethylaminomethyl) phenol; Imidazoles such as 2-methylimidazole and 2-phenylimidazole; Organic phosphines such as triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine; And tetraphenylboron salts such as tetraphenylphosphonium tetraphenylborate and triphenylphosphine tetraphenylborate, and one or two or more thereof may be mixed and used.
상기 성분(3)의 함량은 전체 조성물에 대하여 0.1~0.5중량%인 것이 바람직하다. 상기 함량이 0.1중량% 미만일 경우에는 경화 속도가 느려져서 생산성이 떨어져 좋지 않고, 0.5중량%를 초과하는 경우에는 원하는 경화 특성을 얻을 수 없을 뿐만 아니라 보관 안정성이 나빠져서 좋지 않다. The content of the component (3) is preferably 0.1 to 0.5% by weight based on the total composition. When the content is less than 0.1% by weight, the curing rate is slow and the productivity is not good, and when the content is more than 0.5% by weight, the desired curing properties are not obtained and storage stability is not good.
본 발명에서 사용된 무기충전제(이하 성분(4)라 칭함)로서는 평균 입도가 0.1~35.0㎛인 용융 또는 합성 실리카를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 실리카의 형태는 분쇄형과 구형의 조성비가 7/3~0/10인 혼합형이 좋다. As the inorganic filler (hereinafter referred to as component (4)) used in the present invention, it is preferable to use fused or synthetic silica having an average particle size of 0.1 to 35.0 µm. The type of the silica is preferably a mixed type in which the composition ratio between the crushed type and the spherical type is 7/3 to 0/10.
상기 성분(4)의 함량은 전체 조성물에 대해서 80.0~91.0중량%인 것이 바람직하다. 만일 상기 함량이 80.0중량% 미만일 경우에는 충분한 강도와 고온에 대한 수치 안정성을 얻을 수 없으며 수분의 침투가 용이해져서 고온 솔더 공정에서 팝콘 크랙이 발생되어 좋지 않다. 반면 상기 함량이 91.0중량%를 초과하는 경우에는 조성물의 유동 특성이 저하되어 성형성이 나빠질 우려가 있어서 좋지 않다.The content of the component (4) is preferably 80.0 ~ 91.0% by weight based on the total composition. If the content is less than 80.0% by weight, sufficient strength and numerical stability against high temperature may not be obtained, and the penetration of moisture may be facilitated, so that popcorn cracks are generated in the high temperature solder process. On the other hand, if the content is more than 91.0% by weight is not good because there is a fear that the flow properties of the composition is deteriorated to deteriorate formability.
본 발명에서는 반도체 소자 밀봉재와 리드 프레임 간의 접착력 강화제로서 하기 화학식 1의 화합물이 사용되며, 상기 접착력 강화제는 에폭시 수지 조성물 제조시 직접투입 또는 스프레이 방식으로 적용된다. In the present invention, the compound of formula 1 is used as an adhesion enhancer between the semiconductor element sealing material and the lead frame, and the adhesion enhancer is applied by direct injection or spraying during preparation of the epoxy resin composition.
[화학식 1][Formula 1]
(상기 화학식중 R은 에틸기 또는 메틸기이고, n은 0∼3임)(Wherein R is an ethyl group or a methyl group and n is 0 to 3)
상기 접착력 강화제의 함량은 상기 성분(1)의 에폭시 수지 100 중량부에 대해서 1∼30 중량부가 되도록 결정되며, 이때 상기 접착력 강화제의 함량은 전체 조성물에 대해서 0.035 내지 3.0중량%에 해당된다. 상기 함량이 에폭시 수지 100 중량부에 대해서 1 중량부 미만일 경우에는 충분한 고접착강도 및 내습신뢰성을 발현할 수 없으며, 30 중량부를 초과하는 경우에는 상온 안정성 저하, 블리드(bleed)로 인한 금형 오염 및 유동성의 저하를 가져올 수 있으므로 좋지 않다. The content of the adhesion enhancer is determined to be 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the epoxy resin of component (1), wherein the content of the adhesion enhancer corresponds to 0.035 to 3.0% by weight based on the total composition. When the content is less than 1 part by weight based on 100 parts by weight of epoxy resin, sufficient high adhesion strength and moisture resistance may not be expressed. When the content is more than 30 parts by weight, stability at room temperature may be reduced, mold contamination and fluidity due to bleed. It is not good because it can cause degradation.
또한 본 발명의 에폭시 수지 조성물에는 브롬화 에폭시와 같은 난연제; 삼산화안티몬, 수산화알루미나, 오산화안티몬 등의 난연 보조제; 고급 지방산, 고급 지방산 금속염, 에스테르계 왁스 등의 이형제; 카본 블랙, 유기 및 무기 염료 등의 착색제; 에폭시 실란, 아미노 실란, 알킬 실란 등의 커플링제 등을 필요에 따라 전체 조성물 중 3.365∼10.0중량%의 범위에서 첨가할 수 있다.In addition, the epoxy resin composition of the present invention includes a flame retardant such as brominated epoxy; Flame retardant aids such as antimony trioxide, alumina hydroxide and antimony pentoxide; Mold release agents such as higher fatty acids, higher fatty acid metal salts, and ester waxes; Coloring agents such as carbon black, organic and inorganic dyes; Coupling agents, such as an epoxy silane, an amino silane, and an alkyl silane, etc. can be added in 3.365 to 10.0 weight% of the whole composition as needed.
본 발명의 에폭시 수지 조성물은 상술한 성분들을 헨셀(Hanssel) 믹서 또는 뢰디게(Loedige) 믹서를 사용하여 균일하게 혼합시킨 후, 롤밀(roll mill) 또는 니이더(kneader)로 용융 혼련시키고, 냉각 및 분쇄하는 과정을 거쳐 최종 분말제품으로서 제조된다. The epoxy resin composition of the present invention is uniformly mixed using the above-mentioned components using a Henssel mixer or Loedige mixer, and then melt kneaded with a roll mill or kneader, cooled and It is prepared as a final powder product after grinding.
이와 같이 제조된 에폭시 수지 조성물을 사용하여 반도체 소자를 밀봉하는 방법으로는 저압 트랜스퍼 성형법이 가장 일반적으로 사용되나, 인젝션 또는 캐스팅 등의 방법으로도 성형 가능하다. As a method of sealing a semiconductor device using the epoxy resin composition prepared as described above, a low pressure transfer molding method is most commonly used, but molding may also be performed by injection or casting.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명하고자 하나, 이러한 실시예들은 단지 설명의 목적을 위한 것으로 본 발명을 제한하는 것으로 해석되어서는 안된다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but these examples are for illustrative purposes only and should not be construed as limiting the present invention.
실시예Example 1~2 1 ~ 2
하기 표 1에 나타낸 바와 같이 각 성분들을 평량한 후, 헨셀 믹서로 균일하게 혼합하여 분말 상태의 1차 조성물을 제조하고, 믹싱 2-롤밀을 이용하여 100℃에서 7분간 용융혼련한 다음, 냉각 및 분쇄과정을 거쳐 최종 에폭시 수지 조성물을 제조하였다. 이렇게 하여 얻어진 에폭시 수지 조성물 각각에 대하여 물성 평가를 하였으며, 평가 결과를 하기 표 1에 나타내었다. After weighing each component as shown in Table 1 below, the mixture was uniformly mixed with a Henschel mixer to prepare a powdery primary composition, melt-kneading at 100 ° C. for 7 minutes using a mixing 2-roll mill, and then cooled and Through the grinding process to prepare a final epoxy resin composition. The physical properties of each of the epoxy resin compositions thus obtained were evaluated, and the evaluation results are shown in Table 1 below.
비교예Comparative example 1~2 1 ~ 2
하기 표 1에 나타낸 바와 같이 각 성분들을 평량한 후, 상기 실시예에서와 동일한 방법으로 에폭시 수지 조성물을 제조하였다. 이렇게 하여 얻어진 에폭시 수지 조성물 각각에 대하여 물성 평가를 하였으며, 평가 결과를 하기 표 1에 나타내었다. After weighing each component as shown in Table 1 below, an epoxy resin composition was prepared in the same manner as in Example. The physical properties of each of the epoxy resin compositions thus obtained were evaluated, and the evaluation results are shown in Table 1 below.
[물성 평가 방법][Property evaluation method]
* 접착강도* Adhesive strength
: 시편을 제작하여 175℃에서 6시간 동안 후경화시킨 다음, 합금 42 및 구리 리드프레임과 에폭시 봉지재 사이의 인장력(UTM)을 평가하였다. : After the specimen was prepared and post-cured at 175 ° C. for 6 hours, the tensile force (UTM) between the alloy 42 and the copper lead frame and the epoxy encapsulant was evaluated.
* 흡습률 및 크랙 발생률* Moisture absorption and crack incidence
: 합금 42 및 구리 리드프레임을 사용하여 48 QFP를 성형하여 175℃에서 6시간 동안 후경화시킨 다음, 끓는 물에서 168 시간 동안 흡습시키고 흡습률을 평가하였으며, 흡습된 48 QFP를 245℃에서 10초 동안 IR 리플로우를 3회 통과시킨 후 패키지 크랙을 관찰하였다. : 48 QFP was molded using alloy 42 and copper leadframe, post-cured at 175 ° C. for 6 hours, and then absorbed in boiling water for 168 hours and evaluated for moisture absorption. The absorbed 48 QFP was absorbed at 245 ° C. for 10 seconds. Package cracks were observed after three passes of IR reflow.
상기 표 1로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 리드프레임, 특히 합금 42와의 접착강도가 높고 흡습률이 낮으며, 그 결과 크랙 발생률이 저하된다. As can be seen from Table 1, the epoxy resin composition for sealing a semiconductor device of the present invention has a high adhesive strength with a lead frame, in particular, alloy 42, a low moisture absorption rate, and as a result, the crack generation rate is lowered.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 에폭시 수지 조성물은 리드프레임과의 접착강도가 향상되어 내습신뢰성이 우수하므로, 본 발명의 조성물로 반도체 소자를 밀봉하면 크랙 발생을 억제할 수 있다. As described in detail above, since the epoxy resin composition of the present invention has improved adhesion strength with a lead frame and excellent moisture resistance, sealing of a semiconductor device with the composition of the present invention can suppress crack generation.
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