KR100560958B1 - 기판처리장치 및 그를 이용한 약액 처리 방법 - Google Patents

Abstract

글라스 기판 등의 처리에 이용될 수 있는 기판처리장치 및 그를 이용한 약액 처리 방법을 개시한다. 이러한 기판처리장치는 베스의 내부에 결합되며, 기판에 분사된 약액이 일시적으로 저장될 수 있는 처리 약액 수거함; 상기 처리 약액 수거함에 결합되어 컨트롤러의 제어에 의하여 상기 처리 약액 수거함에 수용된 약액을 배출하는 배출밸브; 상기 베스에 결합되며, 상기 베스에 모이는 약액을 재 사용할 수 있도록 상기 컨트롤러의 제어에 의하여 사용된 약액을 재사용하기 위하여 리턴시키는 리턴 밸브를 포함한다. 따라서 본 발명은 약액 분사장치에서 기판에 분사되는 초기의 약액은 처리 약액 수거함에 일시적으로 고이도록 하고, 제어유닛의 제어에 의하여 배출밸브를 오픈시켜 상기 처리 약액 수거함에 모인 초기의 약액을 배출한 후 다시 상기 배출밸브를 폐쇄하고, 그 후에 베스에 모이는 약액은 재 사용할 수 있도록 제어 유닛에 의하여 리턴 밸브를 오픈시킴으로서, 초기에 분사된 오염이 심한 약액 만을 배출하고 오염도 덜한 약액은 필터를 통하여 정화시켜 재 사용함으로서 기판 처리에 사용되는 고가의 약액 사용량을 줄여 생산비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

기판, 약액, 수거함, 재사용, 베스

Description

기판처리장치 및 그를 이용한 약액 처리 방법{Apparatus for processing works and method of processing thereof}

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 기판처리장치의 일부를 도시한 도면이다.

도 2는 도 1의 A-A부를 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명에 적용되는 컨트롤러와 밸브의 전기적인 연결관계를 도식화한 블럭도이다.

도 4는 본 발명에 따른 약액 처리 방법을 도시한 도면이다.

본 발명은 기판처리장치 및 그를 이용한 약액 처리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글라스 기판 등의 처리에 이용될 수 있으며, 기판 처리에 필요한 처리액 또는 약액의 사용을 최소화시키기 위한 기판처리장치 및 그를 이용한 약액 처리 방법에 관한 것이다.

일반적으로 기판을 처리하기 위한 장치에는 기판 처리를 위한 약액 분사장치를 포함하고 있다. 이러한 약액 처리장치는 기판 처리를 위하여 기판에 분사된 뒤 에 배출시키게 된다. 따라서 이러한 종래의 기술은 기판을 처리하기 위하여 고가의 약액이 다량 소요되어 생산비용이 증대되는 문제점을 가지고 있다.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 처리를 위한 약액을 줄여 생산비용을 감소시킬 수 있는 기판처리장치 및 그를 이용한 약액 처리 방법을 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 처리를 위한 작업공간이 구비된 베스; 상기 베스에 설치되며, 공급되는 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송부; 상기 기판 이송부에 의해 기판이 이송될 때 상기 기판 위로 처리액을 분사하는 기판처리액 분사수단; 상기 기판에 분사된 오염된 기판 처리액을 수집할 수 있는 처리 약액 수거함; 상기 처리 약액 수거함에 제공되며, 혼탁한 처리액을 베스에 공급된 처리액과 분리하여 배출하는 수단; 상기 기판 상에 분사되어 베스에 공급된 처리액을 재 사용하기 위하여 처리액을 인출하는 수단을 포함하는 기판처리장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 기판을 처리하기 위한 장치에 있어서, 베스의 내부에 결합되며, 기판에 분사된 약액이 일시적으로 저장될 수 있는 처리 약액 수거함; 상기 처리 약액 수거함에 결합되어 컨트롤러의 제어에 의하여 상기 처리 약액 수거함에 수용된 약액을 배출하는 배출밸브; 상기 베스에 결합되며, 상기 베스에 모이는 약액을 재 사용할 수 있도록 상기 컨트롤러의 제어에 의하여 사용된 약액을 재사용하기 위하여 리턴시키는 리턴 밸브를 포함한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 기판처리장치를 이용한 약액 처리 방법은 베스 내에서 약액 분사장치에 의하여 약액이 분사되어 기판이 처리되는 과정에서, 상기 약액 분사장치에서 약액이 분사되는 시점에 처리 약액 수거함에 제공된 배출밸브를 일시적으로 오픈시켜 초기에 분사된 약액을 배출시키는 단계; 상기 배출밸브가 일시적으로 오픈되어 초기에 약액 분사장치에서 분사된 약액을 배출시킨 후에 상기 배출밸브를 차단하는 단계; 상기 배출밸브를 차단한 후에 상기 약액 분사장치에서 분사되는 약액을 재 사용하기 위하여 약액을 리턴시키도록 상기 베스에 제공된 리턴 밸브를 일정한 시간 동안 오픈시키는 단계; 상기 리턴 밸브를 오픈시킨 단계 후에 상기 리턴 밸브를 차단하는 단계; 상기 리턴 밸브가 차단된 단계 후에 상기 처리 약액 수거함에 잔존하는 약액을 배출시키기 위하여 상기 배출밸브를 일시적으로 오픈시키는 단계; 상기 처리 약액 수거함에 잔존하는 약액을 배출시킬 수 있도록 상기 배출밸브를 일시적으로 오픈시키는 단계 후에 상기 배출밸브를 차단하는 단계를 포함한다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 기판처리장치의 일부를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A부를 절개하여 도시한 단면도로, 베스(1), 상기 베스(1) 내부에 제공되는 기판이송장치(3), 상기 베스(1) 내부에 설치되는 약액분사장치(5), 그리고 상기 베스(1)의 내부 및 상기 기판 이송장치(3)의 아래 부분 에 설치되는 처리 약액 수거함(7)을 도시하고 있다.

상기 베스(1)는 기판 처리액 분사수단인 약액분사장치(5)에서 기판(G)에 분사된 약액(또는 처리액으로도 표현함)이 모일 수 있도록 저장탱크(1a)가 제공되고, 상기 저장탱크(1a)에 수용되는 약액을 배출하여 재 사용할 수 있도록 분사된 처리액을 재 사용하기 위한 수단으로 하나 이상의 리턴밸브(9)가 제공된다. 상기 리턴밸브(9)는, 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 컨트롤러(C)에 의하여 제어가 이루어질 수 있도록 유선 또는 무선으로 연결될 수 있다.

그리고 상기 베스(1)의 내부에 제공되는 기판이송장치(3)는, 모터(M) 등의 구동원에 의하여 회전하는 다수의 회전축(11), 및 상기 회전축(11)의 외주에 기판(G)에 밀착되는 다수의 이송롤러(13)들을 포함한다. 상기 회전축(11)은 상기 베스(1)의 일측에 베어링(도시생략) 등으로 지지되어 회전될 수 있는 구조를 가진다. 본 발명에서 적용되는 기판이송장치(3)는 상술한 설명에서 설명한 구조에 한정되는 것은 아니며, 베스(1) 내에서 기판(G)을 이송시키는 구조이면 어느 것이나 가능하다.

그리고 상기 베스(1)의 상부측에는 기판(G)을 처리하기 위한 약액분사장치 (5)가 배치된다. 상기 약액분사장치(5)는 컨트롤러(C, 도 3에 도시하고 있음)에 의하여 제어가 이루어지며, 별도의 약액탱크(도시생략)에 연결될 수 있으며 기판(G)에 약액 등을 분사할 수 있는 것이다. 상기 약액분사장치(5)는 통상의 것이 사용될 수 있으며, 세정액을 분사할 수 도 있다.

상기 기판이송장치(3)의 아래 부분에는 처리 약액 수거함(7)이 베스(1) 내에 배치된다. 상기 처리 약액 수거함(7)은 상기 약액분사장치(5)에서 기판(G)으로 분사된 약액이 일시적으로 수용될 수 있는 것으로, 기판(G)의 사이드 아래쪽에 배치되며, 홈을 이루는 형태로 이루어져 기판(G)에 분사된 약액이 기판(G)의 양 사이드 측을 따라 베스(1) 아래로 떨어질 때 약액을 일시적으로 수용할 수 있도록 기판(G)이 이송되는 방향을 따라 베스(1)의 양쪽에 배치될 수 있다. 또한, 상기 처리 약액 수거함(7)은 기판(G)이 이송되는 방향을 따라 양쪽으로 배치된 경우에 부가하여 기판(G)의 이송방향과 가로로 또 다른 처리 약액 수거함(8)이 배치될 수 있다. 상기 처리 약액 수거함(7, 8)들은 서로 연결되어 일체형으로 이루어질 수 있다. 상기 처리 약액 수거함(7, 8)에는 그 내부에 수용되는 약액을 배출하기 위하여 베스(1)에 공급되는 처리액과 분리하여 배출하기 위한 수단으로 다수의 배출밸브(17, 19)가 배치된다. 상기 배출밸브(17, 19)는, 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 컨트롤러(C)에 유선 또는 무선으로 연결되어 상기 컨트롤러(C)의 제어에 의하여 개폐될 수 있는 구조를 가진다. 또한, 상기 배출밸브(17, 19)는 본 발명의 실시 예에서는 두개로 이루어지는 예를 도시하여 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 하나 또는 세 개 이상으로 이루질 수 있다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 기판 처리용 베스를 이용한 약액 처리 방법에 대하여 도 4를 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상기 기판이송장치(3)에 의하여 기판(G)이 이송되는 중에 약액분사장치(5)에 의하여 기판(G)을 처리하기 위한 약액이 상기 기판(G)에 분사된다. 이때 컨트롤러(C)의 제어에 의하여 상기 약액분사장치(5)에서 기판(G)으로 약액의 분사 가 시작(S1)되면 동시에 상기 컨트롤러(C)의 제어에 의하여 배출밸브(17, 19)를 오픈시킨다(S3). 그러면 상기 약액분사장치(5)에 의하여 기판(G)으로 분사된 약액이 기판(G)의 양측 및 전, 후(진행방향을 기준으로 함) 측으로 떨어지면서 상기 처리 약액 수거함(7, 8)에 일시적으로 모이게 되는데, 이때 상기 배출밸브(17, 19)가 오픈되어 있으므로 바로 배출(drain out)이 이루어진다. 이와 같이 약액분사장치(5)에서 기판(G)으로 초기에 분사된 약액은 기판(G)에 묻어 있을 수 있는 오염물과 함께 배출이 이루어질 수 있는 것이다. 그리고 계속해서 컨트롤러(C)는 상기 배출밸브(17, 19)를 제어하여 클로우즈 시킨다(S5). 상기 약액분사장치(5)에 의하여 초기에 분사된 약액을 배출하는 시간은 기판(G)의 상태 등 설정에 따라 달라질 수 있으며 예를 들면 대략 1, 2초 정도로 설정할 수 있다. 이러한 상태에서 상기 약액분사장치(5)에서는 계속해서 약액이 분사되고, 일부는 상기 처리 약액 수거함(7, 8)에 일시적으로 고일 수 있으며, 대부분의 약액은 베스(1)의 하단부에 제공되는 저장탱크(1a)로 모이게 된다. 그리고 베스(1)의 하단에 배치될 수 있는 저장탱크(1a)에 약액이 충분히 모이게 되면 컨트롤러(C)는 전기적인 제어에 의하여 리턴 밸브(9)를 오픈시킨다(S7). 그러면 베스(1)의 저면에 제공되는 저장탱크(1a)에 모여진 약액이 별도의 리턴 관로(도시생략)를 통하여 필요에 따라 필터에 의하여 필터링을 거친 뒤 재 사용되도록 별도의 약액 탱크 등에 저장되거나 또는 바로 상기 약액분사장치(5)로 이동될 수 있다. 그리고 상기 약액분사장치(5)에 약액의 분사가 끝나거나 또는 기판(G)이 이송되어 배출되면 컨트롤러(C)는 리턴 밸브(9)가 클로우즈 되도록 제어한다(S9). 그리고 상기 처리 약액 수거함(7, 8)등에 남아 있 을 수 있는 약액을 배출하기 위하여 상기 컨트롤러(C)는 배출밸브(17, 19)를 일시적으로 오픈(S11)한 후 다시 상기 배출밸브(17, 19)를 클로우즈킨다(S13). 이러한 과정을 반복하는 것으로 약액분사장치(5)에서 기판(G)으로 초기에 분사된 약액을 오염 상태의 정도가 심한 것으로 판단하여 우선 일부를 배출하고 덜 오염된 상태의 약액 만을 재 사용할 수 있도록 하여 기판(G)의 처리에 사용되는 고가의 약액을 절감할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 약액 분사장치에서 기판에 분사되는 초기의 약액은 기판 처리 후 오염이 심한 상태가 되어 처리 약액 수거함에 일시적으로 고이고, 제어유닛의 제어에 의하여 배출밸브를 오픈시켜 상기 처리 약액 수거함에 모인 초기의 약액을 배출한 후 다시 상기 배출밸브를 폐쇄하고, 그 후에 베스에 모이는 약액은 재 사용할 수 있도록 제어 유닛에 의하여 리턴 밸브를 오픈시키는 기술적 구성 및 약액을 처리하기 위한 방법을 제공하여, 초기에 오염이 심한 약액(또는 처리액) 만을 배출하고 오염도 덜한 약액을 필터를 통하여 정화시켜 재 사용함으로서 기판 처리에 사용되는 고가의 약액 사용량을 줄여 생산비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 기판 처리를 위한 작업공간이 구비된 베스;

   상기 베스에 설치되며, 공급되는 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송부;

   상기 기판 이송부에 의해 기판이 이송될 때 상기 기판 위로 처리액을 분사하는 기판 처리액 분사수단;

   상기 베스에 결합되며, 기판에 분사된 처리액이 일시적으로 저장될 수 있으며, 기판의 양측면을 따라 상기 베스에 결합되는 처리 약액 수거함;

   상기 처리 약액 수거함에 결합되어 컨트롤러의 제어에 의하여 상기 처리 약액 수거함에 수용된 처리액을 배출하는 배출밸브;

   상기 베스에 결합되며, 상기 베스에 모이는 처리액을 재 사용할 수 있도록 상기 컨트롤러의 제어에 의하여 리턴시키는 리턴 밸브;

   를 포함하는 기판처리장치.
5. 삭제
6. 제4항에 있어서, 상기 기판의 양 측면을 따라 배치되는 처리 약액 수거함은 상기 수거함들을 서로 연결하는 또 다른 처리 약액 수거함을 더 포함하는 기판처리장치.
7. 베스 내에서 약액 분사장치에 의하여 약액이 분사되어 기판이 처리되는 과정에서,

   상기 약액 분사장치에서 처리액이 분사되는 시점에 처리 약액 수거함에 제공된 배출밸브를 일시적으로 오픈시켜 초기에 분사된 처리액을 배출시키는 단계;

   상기 배출밸브가 일시적으로 오픈되어 초기에 약액 분사장치에서 분사된 처리액을 배출시킨 후에 상기 배출밸브를 차단하는 단계;

   상기 배출밸브를 차단한 후에 상기 약액 분사장치에서 분사되는 처리액을 재 사용하기 위하여 처리액을 리턴시키도록 상기 베스에 제공된 리턴 밸브를 일정한 시간 동안 오픈시키는 단계;

   상기 리턴 밸브를 오픈시키는 단계 후에 상기 리턴 밸브를 차단하는 단계;

   상기 리턴 밸브가 차단된 단계 후에 상기 처리 약액 수거함에 잔존하는 처리액을 배출시키기 위하여 상기 배출밸브를 일시적으로 오픈시키는 단계;

   상기 처리 약액 수거함에 잔존하는 처리액을 배출시킬 수 있도록 상기 배출밸브를 일시적으로 오픈시키는 단계 후에 상기 배출밸브를 차단하는 단계;

   를 포함하는 기판처리장치를 이용한 약액 처리 방법.
8. 삭제

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