KR101403510B1 - 습식처리장치 - Google Patents

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KR101403510B1
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박용석
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    • B05C11/1013—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material responsive to flow or pressure of liquid or other fluent material

Abstract

본 발명은 기판을 습식처리하는 약액이 기판처리조의 외부로 유출되는 것을 차단하여 공장 내부를 안전하게 유지시키고, 제품의 생산수율 감소를 방지할 수 있는 습식처리장치를 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은 기판의 습식처리를 위한 공간을 제공하는 기판처리조; 상기 기판처리조의 내부 공간상에 배치되어 상기 기판에 약액을 분사하는 분사유닛; 상기 기판처리조와 연통되어 상기 기판처리조로부터 약액이 유입되거나 외부로부터 약액이 유입되는 약액저장조; 상기 약액저장조의 외부에 배치되어 상기 약액을 상기 분사유닛으로 공급하기 위하여 상기 약액을 펌핑하는 펌프유닛; 상기 펌프유닛과 상기 약액저장조를 연결하면서 상기 약액의 공급통로를 형성하는 연결배관; 그리고, 상기 연결배관 상에 설치되어 상기 약액의 상태를 측정 및 제어하거나 상기 약액을 필터링하기 위한 약액관리유닛을 포함하고, 상기 약액관리유닛 중 적어도 일부는 상기 연결배관 중 상기 기판처리조의 내부에 배치되면서 상기 분사유닛과 연결되는 제1 연결배관 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 습식처리장치를 제공한다.

Description

습식처리장치{Apparatus for wet process}
본 발명은 습식처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 습식처리하는 약액의 누출이 발생하더라도 공장 내부를 안전하게 유지시키고, 제품의 생산수율 감소를 방지할 수 있는 습식처리장치에 관한 것이다.
일반적으로, 습식처리장비는 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판, 혹은 반도체 공정에 사용되는 실리콘 기판을 습식처리하는 장비를 의미한다.
여기서, 습식처리는 기판에 대하여 식각, 박리, 세정 및 현상 공정 등에서 수행된다.
상기 습식처리장비는 기판에 대하여 다양한 종류의 습식처리가 수행되는 베쓰(bath), 상기 기판에 약액을 분사하는 샤워유닛, 상기 베쓰로부터 유입되거나 외부로부터 유입되는 약액을 저장하는 탱크, 상기 약액을 상기 샤워유닛으로 공급하는 펌프, 그리고 상기 베쓰의 외부에 설치되어 상기 펌프와 상기 샤워유닛을 연결하는 배관을 포함한다.
또한, 상기 배관 상에는 상기 약액의 유량조절을 위한 밸브, 상기 약액에 포함된 불순물을 필터링하는 필터를 포함하는 각종 기기들이 설치된다. 여기서, 상기 각종 기기들은 상기 배관에 용접을 통하여 결합된다.
그러나, 종래의 습식처리장비에서는 상기 각종 기기들과 상기 배관의 용접불량으로 인하여 상기 약액이 누출되거나, 상기 베쓰의 외부에서 필터의 교환시 상기 약액이 누출되면 상기 습식처리장비가 설치된 공장의 내부에서 작업하는 작업자들의 안전을 위협하는 문제가 발생하게 된다.
뿐만 아니라, 상기 약액의 누출로 인하여 기판처리를 위한 작업공정이 제대로 수행되지 못함으로 인하여 생산수율이 떨어지는 문제가 있다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 기판을 습식처리하는 약액이 기판처리조의 외부로 유출되는 것을 차단하여 공장 내부를 안전하게 유지시키고, 제품의 생산수율 감소를 방지할 수 있는 습식처리장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 기판의 습식처리를 위한 공간을 제공하는 기판처리조; 상기 기판처리조의 내부 공간상에 배치되어 상기 기판에 약액을 분사하는 분사유닛; 상기 기판처리조와 연통되어 상기 기판처리조로부터 약액이 유입되거나 외부로부터 약액이 유입되는 약액저장조; 상기 약액저장조의 외부에 배치되어 상기 약액을 상기 분사유닛으로 공급하기 위하여 상기 약액을 펌핑하는 펌프유닛; 상기 펌프유닛과 상기 약액저장조를 연결하면서 상기 약액의 공급통로를 형성하는 연결배관; 그리고, 상기 연결배관 상에 설치되어 상기 약액의 상태를 측정 및 제어하거나 상기 약액을 필터링하기 위한 약액관리유닛을 포함하고, 상기 약액관리유닛 중 적어도 일부는 상기 연결배관 중 상기 기판처리조의 내부에 배치되면서 상기 분사유닛과 연결되는 제1 연결배관 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 습식처리장치를 제공한다.
상기 연결배관은 상기 제1 연결배관과 연결되면서 상기 약액저장조의 내부에 배치되는 제2 연결배관과, 상기 제2 연결배관과 연결되면서 상기 약액저장조와 상기 펌프유닛을 연결하는 제3 연결배관을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 연결배관 중 적어도 일부분은 연성재질로 구성될 수 있다.
상기 약액관리유닛은 상기 약액을 필터링하기 위한 필터, 상기 약액의 유량을 수동으로 조절하기 위한 수동유량조절밸브, 상기 약액의 유량을 자동으로 조절하기 위한 자동유량조절밸브, 상기 약액의 유량을 측정하기 위한 유량계, 그리고 상기 약액의 압력을 측정하기 위한 압력계 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 습식처리장치의 제2 실시 예에 의하면, 상기 습식처리장치는 상기 기판처리조의 외부에서 상기 수동유량조절밸브를 조절하기 위하여 일단이 상기 기판처리조의 측벽을 관통하여 상기 수동유량조절밸브와 결합되는 연결부재를 갖는 수동밸브 제어유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 습식처리장치는 상기 기판처리조의 측벽 중 상기 연결부재가 관통하는 영역에 설치되어, 상기 기판처리조의 내부가스가 상기 기판처리조의 외부로 유출되는 것을 차단하기 위한 제1 실링부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 습식처리장치의 제3 실시 예에 의하면, 상기 습식처리장치는 상기 약액관리유닛이 상기 기판처리조의 내부에서 별도의 밀폐된 공간상에 배치되도록 하기 위한 차단유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 기판처리조는 상기 기판이 습식처리되는 영역인 기판처리부와, 상기 약액관리유닛이 배치되는 영역인 관리유닛 배치부를 포함하며, 상기 차단유닛은 상기 기판처리부와 상기 관리유닛 배치부를 구획하는 차단부재를 포함할 수 있다.
상기 차단부재는 상기 관리유닛 배치부의 외벽과 함께 상기 밀폐된 공간을 형성하며, 상기 차단부재와 상기 관리유닛 배치부의 외벽 중 하나 이상은 개폐가능하도록 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 습식처리장치에는 약액의 상태를 측정 및 제어하거나 상기 약액을 필터링하기 위한 약액관리유닛이 기판처리조의 내부에 배치되는 제1 연결배관 상에 설치됨으로써, 상기 약액관리유닛과 상기 제1 연결배관의 결합부분에서 약액이 누출되거나 상기 약액관리유닛의 필터를 교환하는 동안 상기 약액이 누출되더라도 상기 약액이 상기 기판처리조의 외부로 유출되는 것을 차단할 수 있는 이점이 있다.
이로 인하여, 상기 습식처리장비가 설치된 공장 내부에서 작업하는 작업자들의 안전을 보장할 수 있고, 상기 약액의 누출로 인하여 작업공정이 수행되지 못하는 상황이 발생하지 않게 되어 생산수율이 떨어지는 것을 방지할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 습식처리장치의 제1 실시 예를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 습식처리장치의 제2 실시 예를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 습식처리장치의 제3 실시 예를 나타낸 도면이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1을 참조하여, 본 발명에 따른 습식처리장치의 제1 실시 예를 설명한다.
상기 습식처리장치는 기판처리조(10), 분사유닛(70), 롤러유닛(80), 약액저장조(20), 펌프유닛(30), 연결배관(40), 그리고, 약액관리유닛(50)을 포함한다.
상기 기판처리조(10)는 기판의 습식처리를 위한 공간을 제공하는 것으로서, 상기 공간은 기판처리조의 외벽에 의하여 형성된다.
상기 약액저장조(20)는 상기 기판처리조(10)의 하부에 배치되며 상기 기판을 처리하기 위한 약액을 저장한다. 상기 약액은 상기 약액저장조에서 일정 온도로 가열되어 저장된다.
상기 기판처리조(10)와 상기 약액저장조(20)는 연통되며, 상기 기판처리조(10)와 상기 약액저장조(20)는 일체로 형성될 수 있다.
물론, 상기 기판처리조(10)와 상기 약액저장조(20)는 별도의 공간 분리벽(25)에 의하여 분리되고, 상기 공간 분리벽(25)에는 상기 기판처리조(10)에서 상기 기판에 대한 습식처리를 마친 액체가 상기 약액저장조(20)로 이동되도록 하기 위한 연통홀(미도시)이 형성될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 약액저장조(20)는 상기 기판처리조(10)와 분리되어 독립된 공간을 형성하고, 상기 약액저장조(20)와 상기 기판처리조(10)가 별도의 연결관을 통하여 연결될 수도 있다.
상기 분사유닛(70)은 상기 기판처리조(10)의 내부 공간상에 배치되어 상기 기판에 약액을 분사하게 된다.
상기 분사유닛(70)은 상기 연결배관(40)을 통하여 상기 약액을 일차적으로 전달받는 제1 분사헤드(71) 및 제2 분사헤드(72), 상기 제1 분사헤드(71)와 상기 제2 분사헤드(72)를 연결하는 약액분사관(73), 상기 약액분사관(73)의 하방에 배치되어 상기 기판으로 상기 약액을 분사하는 분사노즐(74)을 포함한다.
상기 롤러유닛(80)은 상기 기판을 이송시키기 위한 것으로서, 상기 분사노즐의 하부에서 일정간격 떨어진 위치에 배치된다.
상기 롤러유닛(80)은 상기 기판의 하면에 접촉되어 회전하는 복수 개의 롤러들(83)과, 상기 롤러들(83)을 회전시키기 위한 회전구동축(81)을 포함한다.
상기 롤러유닛(80)과 상기 분사유닛(70)은 상기 기판처리조(10)의 내부에 설치되는 제1 지지부재(61) 및 제2 지지부재(63)에 의하여 지지된다.
구체적으로, 상기 제1 지지부재(61) 및 상기 제2 지지부재(63)의 하단은 상기 공간 분리벽(25)과 결합되고, 상기 제1 지지부재(61) 및 상기 제2 지지부재(63)의 상단에 상기 롤러유닛(80)과 상기 분사유닛(70)이 각각 설치된다.
상기 펌프유닛(30)은 상기 약액저장조(20)의 외부에 배치되어 상기 약액을 상기 분사유닛(70)으로 공급하기 위하여 상기 약액을 펌핑하게 된다.
상기 연결배관(40)은 상기 펌프유닛(30)과 상기 약액저장조(20)를 연결하면서 상기 약액의 공급통로를 형성하게 된다.
상기 연결배관(40)은 상기 기판처리조(10)의 내부에 배치되는 제1 연결배관(45)과, 상기 제1 연결배관(45)과 연결되면서 상기 약액저장조(20)의 내부에 배치되는 제2 연결배관(43)과, 상기 제2 연결배관(43)과 연결되면서 상기 약액저장조(20)와 상기 펌프유닛(30)을 연결하는 제3 연결배관(41)을 포함한다.
또한, 상기 제1 연결배관(45), 상기 제2 연결배관(43) 및 상기 제3 연결배관(41)은 일체로 형성된다. 물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 제1 연결배관(45), 상기 제2 연결배관(43) 및 상기 제3 연결배관(41)의 각각은 이들을 서로 연결하는 배관 커플러에 의하여 결합될 수도 있을 것이다.
상기 제1 연결배관의 상단부(47)는 상기 제2 지지부재(63)의 일부 영역을 관통하면서 상기 제2 분사헤드(72)와 연결되고, 상기 제1 연결배관(45)의 하단부는 상기 제2 연결배관(43)과 연결된다.
또한, 상기 제1 연결배관(45) 상에는 상기 약액관리유닛(50)이 설치된다. 상기 약액관리유닛(50)이 상기 제1 연결배관(45) 상에 배치됨으로써 상기 약액관리유닛(50)과 상기 제1 연결배관(45)의 결합부분에서 약액이 누출되거나 상기 약액관리유닛(50)의 필터를 교환하는 동안 상기 약액이 누출되더라도 상기 약액이 상기 기판처리조(10)의 외부로 유출되는 것을 차단할 수 있게 된다.
상기 약액관리유닛(50)은 용접결합에 의하여 상기 제1 연결배관(45) 상에 배치될 수도 있고, 별도의 체결부재에 의하여 상기 제1 연결배관(45)과 결합될 수 있다.
한편, 상기 제2 연결배관(43) 중 적어도 일부분은 연성재질로 구성될 수 있다. 상기 제2 연결배관(43)이 연성재질로 구성됨으로써 상기 연결배관(40)이 외부의 충격에 의하여 움직이더라도 상기 연결배관(40)에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있게 되어 상기 제1 연결배관(45)과 상기 약액관리유닛(50)의 결합영역에서 상기 약액의 누출 가능성이 낮아지게 된다.
또한, 상기 제2 연결배관(43)이 연성재질로 구성되어 상기 연결배관(40)의 일정부분이 자유롭게 움직일 수 있게 됨으로써 상기 연결배관(40)의 조립이 간편하게 된다.
물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 제3 연결배관(41)의 적어도 일부분이 연성재질로 구성될 수도 있을 것이다.
상기 약액관리유닛(50)은 상기 약액의 상태를 측정 및 제어하거나 상기 약액을 필터링하는 역할을 수행한다.
구체적으로, 상기 약액관리유닛(50)은 상기 약액을 필터링하기 위한 필터(51), 상기 약액의 유량을 수동으로 조절하기 위한 수동유량조절밸브(53), 상기 약액의 유량을 자동으로 조절하기 위한 자동유량조절밸브(57), 상기 약액의 유량을 측정하기 위한 유량계(55), 그리고 상기 약액의 압력을 측정하기 위한 압력계(미도시) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 약액관리유닛(50)은 상기 약액의 오염도 정도를 측정하는 오염도 측정센서를 포함하고, 상기 약액저장조(20)에는 상기 오염도 측정센서에서 측정된 정보 및 저장된 약액의 양을 바탕으로 상기 기판처리조(10)의 외부로부터 새로운 약액을 상기 약액저장조(20)로 공급하기 위한 약액공급관이 설치될 수도 있다.
또한, 본 발명에 따른 습식처리장치는 상기 기판처리조(10)의 외부에 배치되어 상기 약액관리유닛(50)에서 측정된 정보를 표시하는 디스플레이유닛을 포함할 수도 있다.
이하에서, 상기 약액이 상기 약액저장조(20)에서 상기 분사노즐(74)로 공급되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
상기 약액저장조(20)에 저장된 약액은 상기 약액저장조(20)의 하부에 형성된 제1 관통홀(21)을 통하여 상기 펌프유닛(30)으로 유입된다.
상기 펌프유닛(30)에서 펌핑된 약액은 상기 제3 연결배관(41)을 통하여 상기 제2 연결배관(43)으로 이동된다. 여기서, 상기 제2 연결배관(43)과 상기 제3 연결배관(41)의 연결영역은 상기 약액저장조(20)의 하부에 형성된 제2 관통홀(23)을 관통하게 된다.
다음으로, 상기 약액은 상기 약액관리유닛(50)이 설치되어 있는 상기 제1 연결배관(45)을 이동하게 된다. 상기 약액이 상기 제1 연결배관(45)을 이동하는 동안 상기 약액은 상기 약액관리유닛(50)의 필터(51)에 의하여 재사용 가능한 상태로 정화된다.
이때, 상기 약액은 상기 수동유량조절밸브(53) 및 상기 자동유량조절밸브(57)에 의하여 상기 분사유닛(70)으로 공급되는 약액의 유량이 조절되고, 상기 유량계(55) 및 상기 압력계는 상기 약액의 유량 및 압력을 측정하게 된다.
상기 약액관리유닛(50)을 경유한 약액은 상기 제1 연결배관의 상단부(47)를 통하여 상기 분사유닛(70)으로 공급되어 상기 기판의 습식처리에 사용된다.
도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 습식처리장치의 제2 실시 예를 설명한다.
본 실시 예에 따른 습식처리장치에 구비된 구성들 중 상술한 제1 실시 예에 따른 습식처리장치에 구비된 구성들과 동일한 구성들에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 예에 따른 습식처리장치는 상술한 제1 실시 예와 달리, 기판처리조(10)의 외부에서 약액관리유닛의 수동유량조절밸브(53)를 제어하기 위한 수동밸브 제어유닛(90)을 포함한다.
상기 수동밸브 제어유닛(90)은 상기 수동유량조절밸브(53)를 조절할 필요가 있을 때 상기 기판처리조(10)의 외부에서 수동으로 상기 수동유량조절밸브(53)를 조작할 수 있도록 한다.
상기 수동밸브 제어유닛(90)은 상기 기판처리조(10)의 측벽을 관통하여 상기 수동유량조절밸브(53)와 결합되는 연결부재(91)와, 상기 기판처리조(10)의 외부로 돌출되는 상기 연결부재(91)의 끝단에 구비되는 수동핸들(93)을 포함한다.
상기 연결부재(91)의 일단은 상기 수동유량조절밸브(53)의 회전 중심축과 연결되고, 타단은 상기 수동핸들(93)과 연결되어 있기 때문에 상기 수동핸들(93)이 회전되면 상기 연결부재(91)가 회전되고, 상기 연결부재(91)가 회전되면 상기 수동유량조절밸브(53)의 회전중심축이 회전하면서 상기 수동유량조절밸브(53)의 개폐량을 조절하게 된다.
또한, 상기 습식처리장치는 상기 기판처리조(10)의 측벽 중 상기 연결부재(91)가 관통하는 영역에 설치되어, 상기 기판처리조(10)의 내부가스가 상기 기판처리조(10)의 외부로 유출되는 것을 차단하기 위한 제1 실링부재(미도시)를 더 포함한다.
도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 습식처리장치의 제3 실시 예를 설명한다.
본 실시 예에 따른 습식처리장치에 구비된 구성들 중 상술한 제1 실시 예에 따른 습식처리장치에 구비된 구성들과 동일한 구성들에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 예에 따른 습식처리장치는 상술한 실시 예들과 달리, 약액관리유닛이 기판처리조의 내부에서 별도의 밀폐된 공간상에 배치되도록 하기 위한 차단유닛을 포함한다.
여기서, 상기 기판처리조는 상기 기판이 습식처리되는 영역인 기판처리부(100)와, 상기 약액관리유닛이 배치되는 영역인 관리유닛 배치부(110)를 포함한다.
상기 차단유닛은 상기 기판처리부(100)와 상기 관리유닛 배치부(110)를 구획하는 차단부재(120)를 포함한다. 상기 차단부재(120)는 상기 관리유닛 배치부(110)의 외벽 일부 및 약액저장조(20)와 함께 상기 밀폐된 공간을 형성한다.
상기 관리유닛 배치부(110)가 상기 차단부재(120)에 의하여 상기 기판처리부(100)와 구획되어 상기 밀폐된 공간을 형성함으로써 상기 약액관리유닛이 설치된 제1 연결배관(45)이 상기 기판에 대한 습식처리를 마친 약액, 기체 또는 액적에 노출되지 않게 됨으로써 상기 약액으로 인한 손상이 방지된다.
뿐만 아니라, 상기 약액관리유닛의 표면도 상기 기판처리부(100)에서 상기 기판에 대한 습식처리를 마친 약액, 기체 또는 액적에 노출되지 않게 되어 상기 약액으로 인한 손상이 방지된다.
한편, 상기 관리유닛 배치부(110)의 외벽 중 일부 영역은 상기 약액관리유닛, 예를 들어 약액관리유닛의 수동유량조절밸브(53)를 조작하기 위하여 개폐가능하게 구비된다.
상기 관리유닛 배치부(110)의 외벽 중 일부 영역은 제1 출입문(미도시)을 가지며, 상기 제1 출입문은 여닫이 형태로 구비되거나, 미닫이 형태로 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 출입문과 상기 관리유닛 배치부(110)의 외벽 사이에는 상기 기판처리조의 내부 가스가 상기 기판처리조의 외부로 유출되는 것을 차단하기 위한 제2 실링부재가 설치될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 차단부재(120)도 필요에 따라 개폐가능하도록 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 차단부재(120)에 개폐가능한 제2 출입문(미도시)이 구비되면, 상기 습식처리장치의 정비 과정 중 필터(51)가 교체되는 경우에 상기 제2 출입문을 통하여 상기 필터(51)를 교체할 수 있게 된다.
결과적으로, 상기 필터(51)의 교체작업이 수행되는 동안 약액 또는 액적이 상기 기판처리조의 내부에 누출된다고 하더라도 상기 약액이 상기 습식처리장치가 설치된 공장 내부로 유출되는 것을 최소화할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 차단유닛은 상기 약액관리유닛을 감싸는 별도의 케이스로 구비될 수도 있을 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.
10: 기판처리조 20: 약액저장조
30: 펌프유닛 40: 연결배관
41: 제3 연결배관 43: 제2 연결배관
45: 제1 연결배관 50: 약액관리유닛
51: 필터 53: 수동유량조절밸브
55: 유량계 57: 자동유량조절밸브
61: 제1 지지부재 63: 제2 지지부재
70: 분사유닛 80: 롤러유닛
90: 수동밸브 제어유닛 100: 기판처리부
110: 관리유닛 배치부 120: 차단부재

Claims (9)

  1. 기판의 습식처리를 위한 공간을 제공하는 기판처리조;
    상기 기판처리조의 내부 공간상에 배치되어 상기 기판에 약액을 분사하는 분사유닛;
    상기 기판처리조와 연통되어 상기 기판처리조로부터 약액이 유입되거나 외부로부터 약액이 유입되는 약액저장조;
    상기 약액저장조의 외부에 배치되어 상기 약액을 상기 분사유닛으로 공급하기 위하여 상기 약액을 펌핑하는 펌프유닛;
    상기 펌프유닛과 상기 약액저장조를 연결하면서 상기 약액의 공급통로를 형성하는 연결배관;
    상기 연결배관 상에 설치되되, 상기 약액을 필터링하기 위한 필터와, 상기 약액의 유량을 수동으로 조절하기 위한 수동유량조절밸브와, 상기 약액의 유량을 자동으로 조절하기 위한 자동유량조절밸브와, 상기 약액의 유량을 측정하기 위한 유량계와, 상기 약액의 압력을 측정하기 위한 압력계 중 하나 이상을 갖는 약액관리유닛; 그리고,
    상기 기판처리조의 외부에서 상기 수동유량조절밸브를 제어하기 위하여 일단이 상기 기판처리조의 측벽을 관통하여 상기 수동유량조절밸브와 결합되는 연결부재를 갖는 수동밸브 제어유닛을 포함하며,
    상기 약액관리유닛 중 적어도 일부는 상기 연결배관 중 상기 기판처리조의 내부에 배치되면서 상기 분사유닛과 연결되는 제1 연결배관 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연결배관은 상기 제1 연결배관과 연결되면서 상기 약액저장조의 내부에 배치되는 제2 연결배관과, 상기 제2 연결배관과 연결되면서 상기 약액저장조와 상기 펌프유닛을 연결하는 제3 연결배관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 연결배관 중 적어도 일부분은 연성재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판처리조의 측벽 중 상기 연결부재가 관통하는 영역에 설치되어, 상기 기판처리조의 내부가스가 상기 기판처리조의 외부로 유출되는 것을 차단하기 위한 제1 실링부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액관리유닛이 상기 기판처리조의 내부에서 별도의 밀폐된 공간상에 배치되도록 하기 위한 차단유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 습식처리장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판처리조는 상기 기판이 습식처리되는 영역인 기판처리부와, 상기 약액관리유닛이 배치되는 영역인 관리유닛 배치부를 포함하며,
    상기 차단유닛은 상기 기판처리부와 상기 관리유닛 배치부를 구획하는 차단부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 차단부재는 상기 관리유닛 배치부의 외벽과 함께 상기 밀폐된 공간을 형성하며, 상기 차단부재와 상기 관리유닛 배치부의 외벽 중 하나 이상은 개폐가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.
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