KR100557875B1 - Ｐｖｃ 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제테이프의 제조방법 및 점착제 테이프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프에 관한 것으로, 특히 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시킴으로써 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 PVC 지지체의 형태불량을 유발시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지함으로써 안정적으로 점착강도를 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프에 관한 것이다.

다이싱, 점착제 테이프, PVC 지지체, 점착제, PET 필름, 점착강도

Description

ＰＶＣ 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프 {METHOD FOR PREPARING OF PRESSURE SENSITIVE ADHESIVE TAPE FOR DICING COMPRISING PVC SUPPORT AND ADHESIVE TAPE}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따라 제조한 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 단면도를 나타낸 그림이다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따라 제조한 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 시간 경과별 점착력을 나타낸 그래프이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

1 : PET 필름 2 : 전사된 점착제

3 : PVC 지지체

본 발명은 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 코팅하여 PVC 지지체 형태 불량을 유발시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지함으로써 안정 적으로 점착강도를 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프에 관한 것이다.

반도체 집적 회로는 통상적으로 고순도 규소 단결정 등을 분할하여 웨이퍼를 얻고, 에칭에 의해 웨이퍼 표면상에 집적회로와 같은 주어진 회로 패턴을 형성시키고, 이어서 이 웨이퍼의 배면을 연마기로 연마하여 웨이퍼의 두께를 감소시키고, 최종적으로 웨이퍼를 다이싱(dicing)하여 칩을 형성시킨 후 형성된 칩을 분리하는 방법으로 제조된다.

이때, 연마 또는 다이싱시에 점착제 테이프를 웨이퍼에 부착하여 연마 또는 다이싱하게 된다.

이와 같이 사용되는 점착제 테이프는 연마 또는 다이싱 동안 점착제 테이프가 벗겨지지 않을 정도의 일정 시간 균일한 점착성을 필요로 하며, 동시에 웨이퍼를 연마 또는 다이싱 후에는 떼어낼 때 반도체 웨이퍼를 파손시키지 않고 이로부터 쉽게 벗겨낼 수 있을 정도의 점착성을 필요로 한다. 또한, 점착제 테이프는 웨이퍼의 정면 또는 배면상에 점착제 잔재를 남기지 않아 웨이퍼의 표면을 오염시키지 않는 것이 요구된다.

특히, 감압형 다이싱 점착제 테이프는 테이프가 웨이퍼와 접착된 상태에서 점착력 경시변화의 최소화를 필요로 한다. 즉, 점착력이 너무 약하게 되면 다이싱 공정에서 칩이 튕겨져 나가게 되는 문제가 발생할 수 있으며, 점착력이 너무 강할 경우에는 칩이 테이프에서 잘 떨어지지 않는 문제가 발생될 수 있기 때문에 시간이 경과하더라도 적정수준의 점착력을 일정하게 유지하는 특성이 요구된다.

상기와 같은 점착제 테이프는 일반적으로 PVC 지지체에 점착제 조성물을 코팅한 후, 이형 필름을 합지시키는 방법으로 제조되어 왔다. 점착제 조성물을 PVC 지지체에 코팅할 경우 80∼130 ℃의 온도 조건을 필요로 하나 PVC의 낮은 내열성으로 인하여 점착제 조성물 코팅시 적정 수준의 코팅이 되지 않고 PVC 표면이 수축하여 쭈글쭈글하게 형태가 변화되며, 이에 따라 점착강도의 일정한 유지가 되지 않고, 다이싱 후 칩을 박리할 때 안정적으로 공정을 유지하기 어렵다는 문제점이 있다.

따라서, PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하여 PVC 지지체 표면의 변형 없이 적정수준의 점착력을 유지할 수 있는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법에 대한 연구가 더욱 필요한 실정이다.

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자, 본 발명은 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 코팅하여 PVC 지지체의 형태 불량을 유발시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 PVC 지지체의 형태가 변형되지 않아 점착강도가 우수할 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프 및 점착제 테이프를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법에 있어서, PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시키는 것을 특징으로 하는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법을 제공한다.

또한 본 발명은 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제가 PVC 지지체에 전사되어 PVC 지지체, 전사된 점착제, 및 PET 필름을 순차적으로 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프를 제공한다.

이하 본 발명을 상세하게 설명한다.

본 발명자들은 내열성이 낮은 PVC 필름을 지지체로 사용하면서 PVC 지지체 표면의 변형 없이 일정한 점착성을 유지할 수 있는 점착제 테이프의 제조방법에 대하여 연구하던 중, PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시킨 결과, PVC 필름에 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하면서도 PVC 지지체의 형태를 변형시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있음을 확인하고, 이를 토대로 본 발명을 완성하게 되었다.

본 발명의 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법은 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제조방법을 자세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 사용되는 상기 PET 필름의 표면은 점착제층으로부터의 박리성을 높이기 위해서 실리콘 처리, 장쇄 알킬 처리, 불소 처리 등의 박리 처리를 할 수도 있으며, 특히 실리콘 처리를 하는 것이 좋다. 이때, PET 필름 표면에 처리된 물질이 점착제 코팅시 점착면으로 전이되지 않을 정도로 처리하는 것이 좋다.

또한 상기 PET 필름의 강성을 높이기 위하여 1축 또는 2축의 연신 처리나 다른 플라스틱 필름 등을 적층할 수도 있다.

상기 PET 필름의 두께는 25 내지 50 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 35 내지 40 ㎛인 것이다. PET 필름의 두께가 상기 범위일 경우에는 PET 필름 박리시 떼어내기 용이한 잇점이 있다.

본 발명에 사용되는 상기 점착제 조성물은 크게 제한되지 않으며, 통상적으로 사용되는 점착제를 사용할 수 있다. 그 예로는 고무계, 아크릴계, 실리콘계, 또는 폴리비닐 에테르계 등의 점착제가 있으며, 바람직하게는 아크릴계 점착제를 사용하는 것이다.

상기 아크릴계 점착제는 (메타)아크릴레이트 폴리머를 사용할 수 있으며, 그 예로는 메틸 아크릴레이트, 에틸 아크릴레이트, 프로필 아크릴레이트, 부틸 아크릴레이트, 2-에틸헥실 아크릴레이트, 옥틸 아크릴레이트, 부틸 메타크릴레이트, 2-에틸헥실 메타크릴레이트, 또는 옥틸 메타크릴레이트 등이 있다. 이들 아크릴계 점착제는 단독 또는 2 종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 특히, 상기 아크릴계 점착제는 평균분자량이 800,000 내지 1,000,000인 것이 점착제의 응집력을 높이고 피착면의 오염을 방지하는데 있어 좋다.

상기 아크릴계 점착제는 필요에 따라 저급 알킬기의 아크릴아마이드, 메틸메타크릴레이트, 또는 스티렌 등의 코모노머와 함께 사용할 수 있다.

상기 코모노머는 점착제 조성물의 응집력을 향상시킬 수 있는 당업계에서 사용되는 통상의 함량으로 포함될 수 있다.

또한 상기 점착제 조성물은 상기의 모노머들 이외에 가교제, 경화제, 광중합 개시제, 점착 부여제, 충전제, 노화방지제, 착색제 등을 추가로 사용할 수 있다.

상기 가교제는 경시변화 폭을 최소화하는 작용을 하며, 특히 본 발명의 점착제 조성물은 이소시아네이트계 화합물에 에폭시계 수지를 동시에 함유하는 가교제를 사용한다.

상기 가교제는 아크릴계 점착제 100 중량부에 대하여 0.5 내지 2 중량부로 포함되는 것이 바람직하며, 상기 함량 범위일 경우 이소시아네이트계만을 단독으로 사용할 경우 발생하게 되는 점착력 경시변화의 폭이 커지는 문제점을 해결하여 경시변화 폭을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

상기 경화제는 점착제 조성물의 응집력을 향상시키는 작용을 한다.

상기 경화제는 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 디에틸프로필아민, N-아미노에틸피페라진, 벤질디메틸아민, 디메틸아미노페닐 페놀, 메타페닐렌디아민, 디아미노페닐메탄, 디아미노디페닐술폰, 디시안디아미드, 크실렌디아민, 비스아미노프로필??라옥사스피로운데칸, 에틸메틸이미다졸, 무수프탈산, 무수말레인산, 무수도데실숙신산, 무수헥사히드로프탈산, 무수피로멜리트산, 무수벤조페논테트라카르본산, 또는 무수디클로로숙신산 등을 사용할 수 있다.

상기 경화제는 점착제 조성물의 응집력을 향상시킬 수 있는 당업계에서 사용되는 통상의 함량으로 포함될 수 있다.

상기와 같은 성분을 포함하는 점착제 조성물은 PET 필름 단면 또는 양면에 코팅되며, 코팅방법은 크게 제한되지 않으나, 특히 통상의 코팅공정에서 사용하는 그라비아 도막, 코팅 등을 사용하는 것이 좋다.

상기 코팅은 80 내지 130 ℃의 온도에서 1 내지 2 분 동안 실시되는 것이 바람직하다.

상기 PET 필름에 코팅된 점착제 조성물의 두께는 5 내지 20 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 5 내지 10 ㎛인 것이다.

이후 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시킨다.

상기 PVC 지지체는 단일층이거나 또는 라미네이트된 것일 수 있으며, 그 두께는 70 내지 120 ㎛인 것이 좋다.

상기 전사 방법은 크게 제한되지 않으며, 통상의 전사공정에 사용하는 방법을 실시할 수 있다. 구체적인 예로는, 점착제가 코팅된 PET 필름의 점착제 코팅 부분이 PVC 필름의 표면과 맞닿도록 합지한 후, PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체 표면에 전사시키는 방법으로 실시한다.

또한 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅 후 PVC 지지체에 전사시키기 전에 일정 시간 건조시키면 더욱 좋다. 상기 건조는 80 내지 130 ℃의 온도에서 1 내지 2 분 동안 실시하는 것이 경시변화에 크게 영향을 주지 않아 좋다.

상기와 같이 제조된 점착제 테이프는 권취, 숙성, 절단 등의 단계를 거쳐 최 종 제품이 된다. 특히, 상기 권취시 이형필름인 PET 필름은 점착제층 위에 밀착되면서 함께 감기도록 하며, 사용시에는 PET 필름을 제거한 후 사용하게 된다.

상기와 같은 본 발명의 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프 제조방법은 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하여 PVC 지지체의 형태를 변형시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력(80∼130 g/25㎜)을 일정하게 유지함으로써 안정적으로 점착강도를 유지할 수 있다는 장점이 있다.

또한 본 발명은 상기 방법으로 제조되어 PET 필름에 코팅된 점착제가 PVC 지지체에 전사되어 PVC 지지체, 전사된 점착제, 및 PET 필름을 순차적으로 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프를 제공하는 바, 상기 감압형 다이싱용 점착제 테이프는 PVC 지지체가 쭈글쭈글해지는 형태 불량이 없으며, 점착강도가 다이싱 공정시 균일하게 유지된다. 특히, 본 발명의 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 점착강도는 약 10 일 정도 경과한 후에도 80∼130 g/25㎜의 점착력을 유지하는 것이 바람직하며, 일면으로부터 PET 필름 25∼50 ㎛, 점착제 5∼20 ㎛, PVC 지지체 70∼120 ㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시하나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.

[실시예]

실시예 1

아크릴계 점착제로 부틸아크릴레이트 및 2-에틸헥실아크릴레이트, 코모노머로 아크릴아마이드, 가교제로 이소시안 및 에폭시 수지, 경화제로 디에틸렌트리아민, 및 광중합 개시제로 벤질디메틸케탈를 균일하게 혼합하여 점착제 조성물을 제조하였다.

두께가 38 ㎛인 PET 필름에 상기 준비한 점착제 조성물을 80∼130 ℃에서 2 분 동안 코팅하여 점착제층의 두께가 5 ㎛가 되도록 한 후, 80∼130 ℃에서 2 분 동안 건조시켰다.

그 다음, 상기 점착제가 코팅된 PET 필름을 점착제층 부분이 PVC 지지체에 맞닿도록 합지하여 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시켜 점착제 테이프를 제조하였다.

상기 제조한 점착제 테이프를 사용하여 23±2 ℃의 온도와 50±10%의 습도의 조건에서 LF500(LLOYD INSTRUMENT LTD, 영국)을 이용하여 90° Peeling Strength 방법으로 시간경과에 따른 점착력을 측정하고, 그 결과를 도 1에 나타내었다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 제조한 점착제 테이프는 10 일이 경과하여도 균일한 점착성을 유지함을 확인할 수 있었고, 이로부터 다이싱 후 픽업(pick up) 공정까지의 기간 동안 균일한 점착성을 유지할 수 있음을 알 수 있었다.

비교예 1

두께가 75 ㎛인 PVC 지지체에 상기 실시예 1에서 준비한 점착제 조성물을 도포하여 80∼130 ℃에서 2 분 동안 코팅하여 점착제층의 두께가 5 ㎛가 되도록 한 후, 80∼130 ℃에서 2 분 동안 건조시켰다.

그 다음, 상기 점착제가 코팅된 PVC 지지체를 PET 필름과 합지시켜 점착제 테이프를 제조하였다.

상기와 같이 제조한 점착제 테이프는 PVC 지지체의 표면이 수축하여 쭈글쭈글하게 형태가 변화가 일어남을 확인할 수 있었다.

비교예 2

시중에 판매되는 점착제 테이프인 SPV-224(NITTO DENKO, 일본)를 사용하였다.

비교예 3

시중에 판매되는 점착제 테이프인 KL-680(NITTO DENKO, 일본)를 사용하였다.

상기 실시예 1, 및 비교예 2 또는 4에서 제조한 점착제 테이프를 사용하여 점착력, 인장강도, 및 신장률을 측정하고, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다. 이때, 점착력은 23±2 ℃의 온도와 50±10%의 습도의 조건에서 LF500(LLOYD INSTRUMENT LTD, 영국)을 이용하여 90° Peeling Strength 방법으로 시간경과에 따른 점착력을 측정하였고, 인장강도 및 신장률 측정시 시료의 크기는 폭 20 ㎜ × 길이 50 ㎜로 측정하였다.

구분		실시예 1	비교예 2	비교예 3
			SPV-224	KL-680
점착력 (gf/25㎜)	30 분 경과후	92	108	75
	1 시간 경과후	95	119	80
	3 시간 경과후	105	115	84
	6 시간 경과후	110	138	95
	12 시간 경과후	105	145	110
	24 시간 경과후	118	167	105
	48 시간 경과후	115	148	125
	72 시간 경과후	120	185	135
	120 시간 경과후	110	187	140
인장강도 (㎏/20㎜)	MD	4.4	5.8	5.1
	TD	2.8	3.3	3.3
신장률 (%)	MD	290	290	285
	TD	310	310	320

상기 표 1을 통하여, 본 발명에 따라 제조한 감압형 다이싱용 점착제 테이프는 비교예 2 또는 3의 종래 점착제 테이프와 비교하여 시간경과에 따른 점착성이 우수하며, 경시변화 폭이 적을 뿐만 아니라, 인장강도 및 신장률도 우수하게 나타남을 확인할 수 있었다.

본 발명에 따르면 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하여 PVC 지지체의 수축이 없어 형태를 변형시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있는 감압형 다이싱용 점착제 테이프를 제조할 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

1. PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법에 있어서,

   a) PET 필름을 준비하는 단계

   b) 상기 a)단계에서 준비한 PET 필름에 점착제 조성물을 80 내지 130℃의 온도에서 1 내지 2분 동안 코팅하는 단계;

   c) 상기 b)단계에서 점착제 조성물이 코팅된 PET 필름을 건조시키는

   단계; 및

   d) 상기 c)단계에서 건조시킨 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC지지

   체에 전사시키는 단계

   를 포함하는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 점착제 조성물이 평균분자량이 800,000 내지 1,000,000인 아크릴계 점 착제를 포함하는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 기재된 방법에 의하여 제조되며, 점착제 테이프 일면으로부터 PET 필름 25∼50 ㎛, 점착제 5~20 ㎛, PVC 지지체 70~120 ㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프.
7. 제6항에 있어서,

   상기 점착제 테이프의 점착강도가 약 10 일 경과한 후 80∼130 g/25㎜을 유지하는 것을 특징으로 하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프.
8. 삭제

Images