KR100555835B1 - 평면 패널 장치를 제조하는 방법 - Google Patents

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Abstract

전계 방출 디스플레이(200)를 제조하는 방법은 정렬 부재(120)의 제 1 탭(122)을 양극 플레이트(113)의 돌출부(118)에 부착하는 단계, 상기 정렬 부재(120)의 제 2 탭(122)을 음극 플레이트(112)의 돌출부(121)에 부착하는 단계, 상기 양극 플레이트(113)를 상기 음극 플레이트(112)와 정렬하는 단계, 상기 양극 플레이트(113)를 상기 음극 플레이트(112)에 부착하는 단계, 및 그후 상기 양극 플레이트(113)의 상기 돌출부(118)와 상기 음극 플레이트(112)의 상기 돌출부(121)를 모두 제거함으로써 상기 정렬 부재(120)를 제거하는 단계를 포함한다. 상기 탭(122)은 스페이서(124)에 연결된다. 상기 음극 플레이트(112), 상기 양극 플레이트(113), 및 상기 정렬 부재(120)의 열 팽창 계수는 실질적으로 서로 동일하다.

Description

평면 패널 장치를 제조하는 방법{METHOD FOR FABRICATING A FLAT PANEL DEVICE}
본 발명은 일반적으로 평면 패널 장치에 관한 것이고, 좀더 구체적으로는 매트릭스 주소 지정 가능한 전계 방출 장치와 같은 평면 패널 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.
평면 패널 장치는 해당 분야에서 널리 알려져 있다. 평면 패널 장치는 콤팩트화와 저중량과 같은 여러 가지 이점을 제공한다. 매트릭스 주소 지정 가능한 전계 방출 디스플레이(matrix-addressable field emission displays)와 전계 발광 디스플레이(electroluminescent displays)와 같은 특정 타입의 평면 패널 장치에서, 두 장치 패널 중 하나의 패널 상에 있는 요소는 다른 장치 패널 상에 있는 요소와 정확하게 정렬(align)되어야 할 필요가 있다. 예를 들어, 평면 패널 전계 방출 디스플레이는 양극 플레이트(an anode plate) 상의 형광체(phosphor)와 정확히 정렬되어야 하는 음극 플레이트(a cathode plate) 상에 전자 방출기를 구비한다. 전형적으로 전자 방출기 배열은 형광체 증착물 배열에 대해 정렬된다.
최종 제품의 대향 플레이트(the opposing plates) 사이에 적절한 정렬을 달성하기 위하여, 이 장치의 대향하는 플레이트들은 먼저 예를 들어 광학적 방법에 의해 정렬된다. 그후, 이러한 초기 정렬 상태는 후속하는 제조 단계들 동안 유지되어야 한다. 전계 방출 디스플레이에 있어서, 초기 정렬 단계는 일반적으로 대향하는 플레이트들 사이의 용접 밀폐(hermetic seals)를 형성하기에 필요로 하는 바와 같이 취급 단계(handling steps)와 열 처리(heat treatments)를 수반한다. 이들 공정 단계들 동안, 미리 결정된 허용 오차 이내로 정렬이 유지되어야 한다. 디스플레이의 해상도가 증가됨에 따라, 이 정렬의 허용 오차는 정렬된 요소의 상대적으로 더 적은 변위(displacement)를 요구한다. 따라서, 고해상도 장치는 아주 정밀한 정렬 방법을 필요로 한다.
정렬을 유지하기 위해 고정구(fixtures)를 사용하는 것은 해당 분야에서 알려져 있다. 이들 고정구는 일반적으로 초기 정렬 단계 이후 대향하는 플레이트에 클램핑된다(clamped). 클램핑된 고정구는 이후 취급 및 열 처리 단계 동안 대향하는 플레이트의 상대적 위치를 유지한다. 그러나, 종래 기술의 클램핑 고정구는 바람직한 허용 오차 레벨에서 벗어나는 오정렬(misalignment)을 일으키는 것으로 알려져 있다.
스테인리스 강철(stainless steel)로 이루어진 정렬 고정구를 사용하는 것이 알려져 있다. 전계 방출 디스플레이의 대향하는 플레이트에 대해 유리 기판을 사용하는 것도 해당 분야에서 알려져 있다. 고해상도 전계 방출 디스플레이의 정렬은 종래 기술의 스테인리스 강철 고정구를 사용하는데, 만족스럽지 못한 것으로 관찰되어 왔다. 이 오정렬은 열 처리 동안 유리 기판과 스테인리스 강철의 서로 다른 팽창률(expansion rates)에 기인한다.
용접 밀폐 처리 동안, 이 장치의 대향하는 플레이트들은 일반적으로 서로를 향하여 안쪽으로 변위된다. 전술한 종래 기술의 정렬 방법의 단점은, 이러한 상대적인 수직 변위 동안 플레이트들 상의 클램핑 고정구에 의하여 가해지는 클램핑력이 플레이트들 사이의 상대적인 측방향 변위를 일으킬 수 있다는 점이다.
따라서, 평면 패널 장치의 대향하는 플레이트들 사이에 개선된 정렬을 제공하는 평면 패널 장치를 제조하기 위한 개선된 방법에 대한 필요성이 존재한다.
본 발명은 평면 패널 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일반적으로, 본 발명에 따라 제조된 평면 패널 장치는 서로 정확하게 정렬되어 있는 제 1 및 제 2 디바이스 플레이트(first and second device plates)를 포함한다. 예를 들어, 본 발명의 방법은 매트릭스 주소 지정 가능한 전계 방출 디스플레이, 전장 발광 디스플레이, 등을 제조하는데 유용하다.
본 발명의 방법은 평면 패널 장치의 제 1 및 제 2 디바이스 플레이트에 정렬 부재(align member)를 부착(affix)하는 단계, 상기 제 1 및 제 2 디바이스 플레이트를 서로 부착하는 단계, 그후 상기 제 1 및 제 2 디바이스 플레이트로부터 상기 정렬 부재를 제거하는 단계를 포함한다. 바람직한 실시예에서, 상기 정렬 부재는 상기 제 1 디바이스 플레이트에 부착되어 있는 제 1 유연 탭(a first flexible tab)과 상기 제 2 디바이스 플레이트에 부착되어 있는 제 2 유연 탭(a second flexible tab)을 포함한다. 본 발명의 정렬 부재는 초기 정렬 단계 이후 제조 단계 동안 상기 제 1 및 제 2 디바이스 플레이트의 정렬을 유지한다.
본 발명에 따라 상기 제 1 및 제 2 디바이스 플레이트에 상기 정렬 부재를 부착하여 실현된 장치는 취급의 용이함과 다수의 장치를 동시에 운용하기 위한 카세트(cassettes)의 사용의 용이함이라는 추가적인 이점을 제공한다. 예를 들어, 다수의 장치가 카세트 내에 콤팩트 하게 구성될 수 있다. 콤팩트 카세트를 사용하는 능력은 모든 운반 단계(all transporting steps)를 용이하게 하고, 실링 오븐(sealing ovens)과 같은 처리 장비 내에서 공간의 사용을 효율적으로 하게 하고, 일반적으로 평면 패널 장치의 대량 생산을 촉진시킨다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 장치의 횡단면도.
도 2 는 본 발명에 따라 제조된 전계 방출 디스플레이의 횡단면도.
도 3 은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제조된 장치의 횡단면도.
설명의 간략화와 명확성을 위해서, 도면에 도시된 요소들은 반드시 일정한 축척으로 도시되어 있을 필요는 없다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 몇몇 요소들의 크기는 서로에 상대적으로 과장되어 있다. 더욱이, 적절하다고 생각되는 곳에서 참조 번호는 대응하는 요소를 표시하기 위해 도면들 중에 반복되어 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 장치(100)의 횡단면도이다. 장치(100)는 양극(anode) 플레이트(113)와 음극(cathode) 플레이트(112)를 포함한다. 음극 플레이트(112)는, 기판(109) 상에서 유전층(dielectric layer)(115)의 우물(wells) 내에 형성되는 다수의 전자 방출기(116)를 포함한다. 기판(109)은 유리, 실리콘, 등과같은 유전 물질로 이루어진다. 음극 플레이트(112)는 전자 방출기(116)를 선택적으로 주소 지정하기 위한 전도성 행(row)과 열(column)(도시되지 않음)을 더 포함한다. 매트릭스 주소 지정 가능한 전계 방출 디스플레이를 위한 음극 플레이트를 제조하는 방법은 해당 분야의 당업자에게 알려져 있다.
양극 플레이트(113)는 예를 들어 유리 물질로 이루어진 투명 기판(111)을 포함한다. 양극 플레이트(113)는, 음극 발광 물질(cathodoluminescent material)로 이루어지며 기판(111) 상에 배치되어 있는 다수의 형광체(117)를 더 포함한다. 매트릭스 주소 지정 가능한 전계 방출 디스플레이를 위한 양극 플레이트를 제조하는 방법은 해당 분야의 당업자에게 알려져 있다.
장치(100)는, 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112) 사이에 배치되어 있고 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 분리 거리(a separation distance)를 유지하는데 사용되는 프레임(114)을 더 포함한다. 도 1 의 실시예에서, 프레임(114)은 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)의 활성 영역을 에워싸는(encloses) 직사각형 구조이다. 프레임(114)은 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)의 열 팽창 계수(thermal expansion coefficient)와 실질적으로 동일한 열 팽창 계수를 가진다. 바람직한 실시예에서, 프레임(114)는 유리로 제조된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 음극 플레이트(112)은 프레임(114) 위치를 넘어 연장(extends)되어 있는 돌출부(a protruding portion)(121)를 포함하고, 양극 플레이트(113)는 프레임(114) 위치를 넘어 연장되어 있는 돌출부(118)를 포함한다. 돌출부(121 및 118)는 각각 활성 영역을 넘어 연장되는 기판(109 및 111)의 일부분이다. 음극 플레이트(112)의 활성 영역은 전자 방출기(116)로 커버되는 영역이며, 양극 플레이트(113)의 활성 영역은 형광체(117)로 커버되는 영역이다.
도 1 의 실시예에서, 단일 정렬 부재(120)가 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112)의 대향하는 측면에 각각 부착된다. 그러나, 본 발명의 범주는 도면에 도시되어 있는 정렬 부재(120)의 구체적인 구성과 개수로 제한되지 않는다. 서너개의 정렬 부재가, 상기 장치의 플레이트들을 둘러싸 배치될 수 있는데, 정렬 부재(120)의 개수는 플레이트들의 초기 정렬을 유지하도록 선택된다. 정렬 부재의 개수는 예를 들어 각 정렬 부재(120)의 길이와 평면 패널 장치의 크기에 종속될 것이다.
바람직한 실시예에서, 각 정렬 부재(120)는 한 쌍의 대향 탭(a pair of opposing tabs)(122)을 포함하는데, 각 대향 탭은 일단부가 장치 플레이트 중 하나의 플레이트에 타단부가 스페이서(124)에 부착된다. 스페이서(124)는 탭(122) 사이의 분리 거리를 유지한다. 그러나, 본 발명의 범주는 도면에 도시되어 있는 바와 같은 구체적인 구조의 정렬 부재(120)로 제한되지 않는다. 예를 들어, 각 정렬 부재(120)는 예를 들어 몰딩 가능한 물질로 몰딩하여 적절한 형상으로 주어진 하나의 연속 구조를 포함할 수 있다.
정렬 부재(120)는 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)의 열 팽창 계수와 실질적으로 동일한 열 팽창 계수를 가진다. 다르게 말하면, 양극 플레이트(113), 음극 플레이트(112), 및 정렬 부재(120)는 장치(100)의 열 처리 동안 유사한 율로 팽창한다. 이러한 방식으로, 요소 중 어느 것도 기계적으로 고장나지 않고(부서지지 않고), 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)의 적절한 정렬이 유지된다. 바람직한 실시예에서, 기판(109 및 111)은 소다 석회 유리(soda lime glass)로 제조되고, 정렬 부재(120)는 티타늄, 니켈/철 합금 등과 같이 소다 석회 유리의 열 팽창 계수와 실질적으로 동일한 열 팽창 계수를 가지는 물질로 제조된다.
본 발명에 따라 평면 패널 장치를 제조하는 방법은 정렬 부재(120)를 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112)에 부착하는 단계를 포함한다. 바람직한 실시예에서, 장치(100)는 먼저 음극 플레이트(112)과 양극 플레이트(113)를 제조하는 단계를 포함한다. 그후, 정렬 부재(120)는 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112)에 부착된다. 정렬 부재(120)를 부착하는 단계는 일반적으로 영구적인 결합(bonding), 글루잉(gluing) 등을 포함한다. 정렬부재의 형성 이후에, 정렬 부재(120)와 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112) 사이의 결합(bond)은 제조 단계 동안 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112) 사이의 정렬을 유지하기에 충분히 영구적이며 고정가능하게 계속 유지된다.
바람직한 실시예에서, 정렬 부재(120)를 부착하는 단계는 초기 정렬 단계에 앞서 탭(122)을 기판(109 및 111)에 각각 부착하는 단계를 포함한다. 부착재(affixant)(123)가 탭(122)과 돌출부(118 및 121) 사이에 위치된다. 부착재(123)는 불투명 납땜 유리, 글루(glue) 등과 같은 편리한 접착제(a convenient bonding agent)이다. 부착재(123)는 돌출부(121 및 118)에서 각각 탭(122)과, 음극 플레이트(112) 및 양극 플레이트(113) 사이의 영구적 결합을 이루는데 사용된다. 부착재(123)는 이 부착재가 이후 가열 단계와 같은 이후의 제조 단계 동안 고정된 결합상태를 유지하는 특성을 가진다.
스페이서(124)의 제 1 대향단(a first opposing end)은 음극 플레이트(112)에 부착되어 있는 각 탭(122)에 스폿 용접된다. 밀봉재(119) 층은 음극 플레이트(112) 상에 배치된다. 밀봉재(119)는 프레임(114)을 음극 플레이트(112)에 부착하는데 사용된다. 도 1 의 실시예에서, 밀봉재(119) 층은 경화되지 않은 유리 원료(uncured glass frit)의 고체 조각을 포함한다. 프레임(114)은 밀봉재(119) 층 상에 배치된다. 밀봉재(119)의 제 2 층은 프레임(114) 상에 배치되며 프레임(114)을 양극 플레이트(113)에 부착하는데 사용된다.
그후, 양극 플레이트(113)는 음극 플레이트(112)와 정렬된다. 양극 플레이트(113)와 음극 플레이트(112)의 정렬은 해당 분야에서 당업자에게 알려져 있는 편리한 정렬 방법의 사용을 포함한다. 그 방법은 광학적 정렬 방법, 기계적 정렬 방법 등을 포함한다. 초기 정렬 단계에 의해 다수의 형광체(117)에 상대적으로 다수의 전자 방출기(116)의 적절한 위치가 결정된다. 그후, 양극 플레이트(113)는 밀봉재(119)의 제 2 층 상에 배치된다. 초기 정렬 단계 이후, 스페이서(124)의 제 2 대향단(a second opposing end)은 양극 플레이트(113)에 부착되어 있는 각 탭(122)에 스폿 용접된다.
본 발명에 따라 정렬 부재(120)를 부착하는 단계에 후속하여, 양극 플레이트(113)는 음극 플레이트(112)에 부착된다. 양극 플레이트(113)를 음극 플레이트(112)에 부착하는 단계는 먼저 진공 챔버(the evacuation chamber)에 장치(100)를 배치시키는 단계를 포함한다. 장치(100)가 진공 챔버에 배치된 후, 진공 챔버는 약 1.33×10-4 Pa(10-6 Torr)이하의 압력으로 떨어져 진공화된다. 진공 단계 동안, 가스는 프레임(114)과 고체 층의 밀봉재(119) 사이의 틈 뿐만 아니라 고체층의 밀봉재(119)와 양극 플레이트(113) 사이에 존재하는 틈(gap)을 통해 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이 영역의 바깥으로 흐를 수 있다. 가스는 마찬가지로 고체 층의 밀봉재(119)와 음극 플레이트(112) 사이에 존재하는 틈을 통해 빠져나갈 수 있다.
가스는 정렬 부재(120)가 이 장치를 완전히 에워싸거나 둘러싸지 않기 때문에 정렬 부재(120)의 외부로 펌핑될 수 있다. 진공 단계 동안, 정렬 부재(120)는 이 장치 내에 진공을 달성하기 위해 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 분리 거리를 유지한다. 이 방식으로, 이 장치 내의 압력은 약 1.33×10-4 Pa(10-6 Torr) 이하로 감소된다.
진공 단계에 후속하여, 양극 플레이트(113)는 음극 플레이트(112)에 부착된다. 도 1 의 실시예에서, 이 단계는 프레임(114)과, 각 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 용접 밀폐 상태를 만들도록 밀봉재(curing sealant)(119)를 경화시키기에 적합한 온도로 이 장치(100)를 가열하는 단계를 포함한다. 유리 원료(glass frit)인 밀봉재(119)에 대한 경화 단계의 예시적인 온도는 약 425℃이다. 양극 플레이트(113)를 음극 플레이트(112)에 부착하기 위한 가열 단계 동안, 부착재(123)는 초기 정렬을 유지하기 위해 정렬 부재(120)와 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 영구적 결합상태를 유지한다.
가열 단계와 동시에, 프레임(114)에의 결합을 촉진하기 위해 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)에 압력이 가해진다. 정렬 부재(120)는 양극 플레이트(113)에 의하여 정의되는 평면에 수직인 방향으로 유연성(flexibility)을 가진다. 이 유연성은 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)가 이 플레이트들에 대하여 압력이 가해지는 단계 동안 서로를 향해 밀리게 되는 것을 허용할 정도까지 정렬 부재(120)가 변위되게 하기에 충분하다.
다른 한편으로, 정렬 부재(120)는 양극 플레이트(113)에 의하여 정의되는 평면에 평행한 방향으로 견고성(stiffness)을 가진다. 이 견고성은 바람직한 허용 오차 내로 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 정렬을 유지하는 정도까지 정렬 부재(120)의 변위를 방지하기에 충분하다. 정렬 부재(120)의 이들 기계적 특성은 탭(122)의 크기와 같이 적절한 기하학적 구조를 선택함으로써 부분적으로 달성되고, 예를 들어 정렬 부재(120)용으로 선택된 물질의 기계적 특성에 의존한다.
부착재(123)는 위에서 설명된 밀봉 단계 전체에 걸쳐 이 장치의 플레이트들과 정렬 부재(120) 사이의 충분히 고정 가능한 결합을 제공하도록 선택된다. 응용 가능하다면, 탭(122)과 스페이서(124) 사이의 접착제(a bonding agent)도 밀봉 단계 동안 영구적 결합을 유지하도록 유사하게 선택된다.
가열 단계에 후속하여, 장치(100)는 실온에서 냉각되도록 방치된다. 상기 구조가 냉각된 후에, 정렬 부재(120)는 각각 기판(111 및 109)으로부터 돌출부(118 및 121)를 제거함으로써 각각 제거된다. 돌출부(118 및 121)의 제거는 다이아몬드 톱으로 절삭하고(trimming) 선을 그은(scribing) 후 부스러뜨리는(breaking) 등과 같은 편리한 유리 절단 방법에 의하여 달성될 수 있다. 이 절단 단계는 도 1 의 수직 화살표로 일반적으로 나타나 있는 지점과 같이 기판(109 및 111)을 따라 이어지는 지점들에서 수행된다.
도 2 는 본 발명의 방법에 따라 제조된 전계 방출 디스플레이(200)의 횡단면도이다. 도 2에서, 정렬 부재(120)(도 1)는 제거되어 있다. 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 공간은 진공이며, 도 1을 참조하여 설명된 밀봉 단계 동안 형성된 용접 밀폐 상태는 내부의 진공을 유지시킨다. 본 발명의 방법은 전계 방출 디스플레이의 제조를 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 방법은 전장 발광 디스플레이 등과 같은 다른 평면 패널 장치의 제조시에도 구현될 수 있다.
도 3 은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제조된 장치(300)의 횡단면도이다. 도 3에서, 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113)는 다수의 정렬 부재(125)에 의한 제조 동안 적절한 정렬 상태로 유지된다.
각 정렬 부재(125)는 제 1 맞물림 부재(a first mating member)(126)와 제 2 맞물림 부재(128)를 포함한다. 제 1 맞물림 부재(126)는 일단부가 돌출부(118)에서 기판(111)에 부착된다. 제 2 맞물림 부재(128)도 마찬가지로 일단부가 돌출부(121)에서 기판(109)에 일단부가 부착된다. 제 1 및 제 2 맞물림 부재(126 및 128)는 부착재(123)를 사용하여 부착되며, 상기 부착재는 진공 및 밀봉 단계 동안 영구적 결합을 제공하도록 선택되며 음극 플레이트(112)와 양극 플레이트(113) 사이의 정렬을 유지하는데 사용된다.
제 1 및 제 2 맞물림 부재(126 및 128)의 나머지 단부는 서로 맞물리도록 설계되어 있다. 도 3 의 실시예에서, 제 1 및 제 2 맞물림 부재(126 및 128)는 일반적으로 원통형으로 형성된 구조이다. 그러나, 본 발명의 범주는 도면에 도시되어 있는 구체적인 기하학적 구조로 제한되지 않는다.
장치(300)를 제조하는 단계는 도 1을 참조하여 설명된 것과 유사하다. 추가적으로, 제 1 및 제 2 맞물림 부재(126 및 128)는 이 부재들이 양극 플레이트(113)를 음극 플레이트(112)와 정렬하는 단계 동안 서로 맞물릴 수 있도록 배치된다. 양극 플레이트(113)를 음극 플레이트(112)에 부착하는 단계에 앞서, 제 1 맞물림 부재(126)는 제 2 맞물림 부재(128)와 맞물린다.
본 명세서에 설명되어 있는 방법의 단계적 순서는 적절하게 변경될 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.
요약해 보면, 본 발명은 평면 패널 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법은 대향 플레이트를 서로 부착하는 동안 대향 플레이트들 사이의 정렬을 유지하기 위하여 정렬 부재를 이 장치의 대향 플레이트에 부착하는 단계를 포함한다. 본 발명의 방법은 고해상도 전계 방출 디스플레이와 같은 고해상도 평면 패널 장치를 제조하는 방법을 제공한다.

Claims (5)

  1. 전계 방출 디스플레이를 제조하는 방법에 있어서,
    양극 플레이트를 제공하는 단계,
    음극 플레이트를 제공하는 단계,
    상기 양극 플레이트 상에 있는 복수의 형광체(117)와 상기 음극 플레이트 상에 있는 전자 방출기(116)가 프레임(114)을 사이에 두고 상호 대향되도록 상기 양극 플레이트를 상기 음극 플레이트와 정렬하는 단계,
    정렬 부재를 상기 양극 플레이트 및 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계,
    상기 양극 플레이트를 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계, 및
    이후 상기 양극 플레이트와 상기 음극 플레이트로부터 상기 정렬 부재를 제거하는 단계
    를 포함하며,
    상기 양극 플레이트는 돌출부(118)를 포함하고 상기 음극 플레이트는 돌출부(121)를 포함하며, 상기 정렬 부재를 상기 양극 플레이트와 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계는 상기 정렬 부재를 상기 양극 플레이트의 상기 돌출부(118)와 상기 음극 플레이트의 상기 돌출부(121)에 부착하는 단계를 포함하고, 상기 정렬 부재를 제거하는 단계는 상기 양극 플레이트의 상기 돌출부(118)와 상기 음극 플레이트의 상기 돌출부(121)를 제거하는 단계를 포함하는,
    전계 방출 디스플레이를 제조하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 양극 플레이트, 상기 음극 플레이트, 및 상기 정렬 부재의 열팽창 계수는 서로 동일한, 전계 방출 디스플레이를 제조하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 정렬 부재는 제 1 탭(a fist tab)과 제 2 탭을 포함하며, 상기 정렬 부재를 상기 양극 플레이트와 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계는 상기 제 1 탭을 상기 양극 플레이트에 부착하는 단계와 상기 제 2 탭을 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계를 포함하는, 전계 방출 디스플레이를 제조하는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 음극 플레이트는 유리 기판을 포함하고 상기 양극 플레이트는 유리 기판을 포함하며, 상기 정렬 부재는 티타늄을 포함하는, 전계 방출 디스플레이를 제조하는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 정렬 부재는 제 1 맞물림 부재와 제 2 맞물림 부재를 포함하며, 상기 정렬 부재를 상기 양극 플레이트와 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계는 상기 제 1 맞물림 부재를 상기 양극 플레이트에 상기 제 2 맞물림 부재를 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계를 포함하며, 상기 양극 플레이트를 상기 음극 플레이트에 부착하는 단계에 앞서 상기 제 1 맞물림 부재를 상기 제 2 맞물림 부재와 맞물리게(mating) 하는 단계를 더 포함하는 전계 방출 디스플레이를 제조하는 방법.
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