KR100549301B1 - Universal solder ball attach tool and its method - Google Patents

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KR100549301B1 KR1020030038891A KR20030038891A KR100549301B1 KR 100549301 B1 KR100549301 B1 KR 100549301B1 KR 1020030038891 A KR1020030038891 A KR 1020030038891A KR 20030038891 A KR20030038891 A KR 20030038891A KR 100549301 B1 KR100549301 B1 KR 100549301B1
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Abstract

본 발명은 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 섭스트레이트(substrate)에 융착되는 솔더볼의 배열 위치가 바뀌더라도 간단하게 어태치 툴만 교환하여 솔더볼 어태치 작업을 속행할 수 있도록, 대략 직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 니들이 풀 어레이(full array)되어 있는 플럭스 툴(flux tool)과, 대략 직사각판 형태로서 상면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 상기 니들과 대응되도록 일정 깊이의 요홈이 풀 어레이되어 있는 볼 스택 플레이트(ball stack plate)와, 대략 직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 섭스트레이트의 솔더볼 융착 위치와 대응되는 영역에만 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크(mask)가 탈착 가능하게 되어 있는 볼 어태치 툴(ball attach tool)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 함.The present invention relates to a general-purpose solder ball attach device and a method thereof, even if the arrangement position of the solder ball fused to the substrate (substrate) is changed, so that it is possible to simply replace the attachment tool to continue the solder ball attach operation, approximately rectangular plate The bottom surface is divided into a plurality of units in the form, each unit is a flux tool (needle full array) and the upper surface is divided into a plurality of units in the form of a substantially rectangular plate. The unit is divided into a ball stack plate with a full array of grooves of a predetermined depth so as to correspond to the needle, and a bottom surface of the unit in the form of a substantially rectangular plate. Ball attach in which a mask with a solder ball adsorption hole is detachable only in a region corresponding to the position Characterized in that it comprises a tool (ball attach tool).

솔더볼, 플럭스 툴, 볼 스택 플레이트, 볼 어태치 툴, Ball Grid ArraySolder Ball, Flux Tool, Ball Stack Plate, Ball Attach Tool, Ball Grid Array

Description

범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법{Universal solder ball attach tool and its method}Universal solder ball attach device and its method {Universal solder ball attach tool and its method}

도 1a는 종래 솔더볼 어태치를 위한 플럭스 툴(flux tool)이고, 도 1b는 볼 스택 플레이트(ball stack plate)이며, 도 1c는 볼 어태치 툴(ball attach tool)이다.FIG. 1A is a flux tool for a conventional solder ball attach, FIG. 1B is a ball stack plate, and FIG. 1C is a ball attach tool.

도 2a는 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치중 플럭스 툴을 도시한 사시도이고, 도 2b는 볼 스택 플레이트를 도시한 사시도이다.Figure 2a is a perspective view showing a flux tool of the general purpose solder ball attach apparatus according to the present invention, Figure 2b is a perspective view showing a ball stack plate.

도 3a는 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치중 볼 어태치 툴을 도시한 사시도이고, 도 3b는 그 분해 사시도이다.3A is a perspective view showing a ball attach tool in the general purpose solder ball attach apparatus according to the present invention, and FIG. 3B is an exploded perspective view thereof.

도 4은 도 3a의 3-3선을 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line 3-3 of FIG. 3A.

도 5는 본 발명에 의한 다른 범용 솔더볼 어태치 장치중 볼 어태치 툴을 도시한 사시도이다.5 is a perspective view showing a ball attach tool among other general-purpose solder ball attach apparatus according to the present invention.

도 6은 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 방법을 도시한 순차 설명도이다.6 is a sequential explanatory diagram showing a general purpose solder ball attach method according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10; 플럭스 툴 11; 유닛10; Flux tool 11; unit

12; 니들 20; 볼 스택 플레이트12; Needle 20; Ball stack plate

21; 유닛 22; 요홈21; Unit 22; Groove

30; 볼 어태치 툴 31; 유닛30; Ball attach tool 31; unit

32; 베이스 플레이트 33; 진공 유도체32; Base plate 33; Vacuum inductor

34; 몸체 35; 마스크34; Body 35; Mask

36; 홀 37; 볼트36; Hole 37; volt

본 발명은 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게 설명하면 섭스트레이트(substrate)에 융착되는 솔더볼의 배열 위치가 바뀌더라도 간단하게 어태치 툴만 교환하여 솔더볼 어태치 작업을 속행할 수 있는 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a general-purpose solder ball attach apparatus and method thereof, and in more detail, even if the arrangement positions of solder balls fused to a substrate are changed, the solder ball attach operation can be continued simply by replacing the attachment tool. The present invention relates to a general-purpose solder ball attach apparatus and a method thereof.

일반적으로 BGA(Ball Grid Array) 계열의 반도체패키지는 몰딩(molding) 공정이 완료된 후, 섭스트레이트의 배선패턴에 솔더볼을 어태치하는 공정이 뒤따른다. 이와 같이 솔더볼을 어태치하기 위해서는 크게 플럭스 툴과, 볼 스택 플레이트 및 볼 어태치 툴이 필요하며, 도 1a를 참조하면, 상술한 플럭스 툴(10')(flux tool)이 도시되어 있고, 도 1b를 참조하면, 볼 스택 플레이트(20')(ball stack plate)가 도시되어 있으며, 도 1c를 참조하면, 볼 어태치 툴(30')(ball attach tool)이 도시되어 있다. 이를 참조하여, 종래의 장치 구조 및 솔더볼 어태치 방법을 간략히 설명하면 다음과 같다.In general, a ball grid array (BGA) -based semiconductor package is followed by a process of attaching solder balls to the wiring pattern of the substrate after the molding process is completed. In order to attach the solder balls as described above, a flux tool, a ball stack plate, and a ball attach tool are largely required. Referring to FIG. 1A, the above-described flux tool 10 ′ (flux tool) is illustrated, and FIG. 1B. Referring to FIG. 1, a ball stack plate 20 ′ is shown, and referring to FIG. 1C, a ball attach tool 30 ′ is shown. Referring to this, a brief description of a conventional device structure and solder ball attach method is as follows.

도시된 바와 같이 먼저 플럭스 툴(10')은 대략 직사각판 형태로서 다수의 유 닛(11') 영역으로 나누어져 있으며, 각 유닛(11')에는 일정 길이를 가지며 대략 매트릭스 형태로 다수의 니들(12')이 결합되어 있다. 이러한 니들(12')의 배열 위치는 섭스트레이트에 융착될 솔더볼의 위치에 따라 가변적이다. 물론, 이러한 니들(12')은 일정량의 끈적한 플럭스를 섭스트레이트의 솔더볼이 융착될 영역에 미리 돗팅(dotting)하는 역할을 한다.As shown in the drawing, the flux tool 10 'is divided into a plurality of unit 11' areas in a substantially rectangular plate shape, and each unit 11 'has a predetermined length and a plurality of needles in a substantially matrix form. 12 ') are combined. The arrangement position of the needle 12 'is variable depending on the position of the solder ball to be fused to the substrate. Of course, the needle 12 ′ predots a certain amount of sticky flux to the region where the solder balls of the substrate are to be fused.

이어서, 상기 볼 스택 플레이트(20')는 도시된 바와 같이 대략 직사각판 형태로서 다수의 유닛(21') 영역으로 나누어져 있으며, 각 유닛(21')에는 솔더볼을 임시로 위치시킬 수 있도록 다수의 홈(22')이 형성되어 있다. 이러한 홈(22')의 배열 위치도 섭스트레이트에 융착될 솔더볼의 위치에 따라 가변적이다. 물론, 상기 볼 스택 플레이트(20')의 홈(22') 위치와 플럭스 툴(10')의 니들(12') 위치는 동일해야 하며, 또한 동일하게 구비된다.Subsequently, the ball stack plate 20 'is divided into a plurality of unit 21' areas in the form of a substantially rectangular plate as shown, and each unit 21 'includes a plurality of balls to temporarily position solder balls. The groove 22 'is formed. The arrangement position of the groove 22 'also varies depending on the position of the solder ball to be fused to the substrate. Of course, the groove 22 'position of the ball stack plate 20' and the needle 12 'position of the flux tool 10' must be the same, and are also provided the same.

이어서, 상기 볼 어태치 툴(30')은 도시된 바와 대략 직사각판 형태로서 다수의 유닛(31') 영역으로 나누어져 있으며, 각 유닛(31')에는 상기 볼 스택 플레이트(20')로부터 솔더볼을 진공 흡착하여 섭스트레이트에 돗팅된 플럭스 위에 올려 놓을 수 있도록 다수의 홀(36')이 형성되어 있다. 물론, 이러한 홀(36')의 직경은 솔더볼의 직경보다 작게 되어 있으며, 또한 그 배열 위치도 섭스트레이트에 융착되는 솔더볼의 위치에 따라 가변적으로 형성된다.Subsequently, the ball attach tool 30 'is divided into a plurality of unit 31' areas in the form of a rectangular plate as shown, and each unit 31 'has solder balls from the ball stack plate 20'. A plurality of holes 36 'are formed so as to be placed on the flux doped in the substrate by vacuum adsorption. Of course, the diameter of the hole 36 'is smaller than the diameter of the solder ball, and the arrangement position thereof is also variable depending on the position of the solder ball fused to the substrate.

따라서, 이러한 종래의 플럭스 툴(10'), 볼 스택 플레이트(20') 및 볼 어태치 툴(30')은 반도체패키지의 솔더볼 배열 위치가 변경될 경우 함께 변경되어야 한다. 즉, 반도체패키지의 크기 및 솔더볼의 직경이 완전히 바뀌는 경우에는 상기 툴(10',30') 및 플레이트(20')가 당연히 바뀌어야 하지만, 상기 반도체패키지의 크기 및 솔더볼의 직경이 고정된 상태에서 단지 상기 솔더볼의 배열 위치만 변경되더라도, 상기 모든 툴 및 플레이트를 바꾸어야 함으로써, 툴 및 플레이트 제조에 따른 가격 부담이 지나치게 커지는 문제가 있다.Therefore, such conventional flux tool 10 ', ball stack plate 20' and ball attach tool 30 'must be changed together when the solder ball arrangement position of the semiconductor package is changed. That is, when the size of the semiconductor package and the diameter of the solder ball are completely changed, the tools 10 ', 30' and the plate 20 'should be changed naturally, but only in a state where the size of the semiconductor package and the diameter of the solder ball are fixed. Even if only the arrangement positions of the solder balls are changed, all the tools and plates must be changed, thereby causing a problem in that the price burden caused by tool and plate manufacture is excessively large.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 섭스트레이트에 융착되는 솔더볼의 배열 위치가 바뀌더라도 간단하게 어태치 툴만 교환하여 솔더볼 어태치 작업을 속행할 수 있는 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is a general-purpose solder ball attachment that can continue the solder ball attach operation by simply replacing the attachment tool even if the arrangement position of the solder ball fused to the substrate is changed. It is to provide a attachment device and a method thereof.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치는 대략 직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 니들이 풀 어레이(full array)되어 있는 플럭스 툴(flux tool)과, 대략 직사각판 형태로서 상면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 상기 니들과 대응되도록 일정 깊이의 요홈이 풀 어레이되어 있는 볼 스택 플레이트(ball stack plate)와, 대략 직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 섭스트레이트의 솔더볼 융착 위치와 대응되는 영역에만 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크(mask)가 탈착 가능하게 되어 있는 볼 어태치 툴(ball attach tool)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the general-purpose solder ball attach apparatus according to the present invention has a shape of a rectangular plate and is divided into a plurality of units at the bottom thereof, and each unit has a flux tool having a full array of needles. ), A substantially rectangular plate shape, the upper surface of which is divided into a plurality of units, each of which has a ball stack plate in which grooves of a predetermined depth are arrayed so as to correspond to the needle, and an approximately rectangular plate shape. The ball attach tool (ball attach tool) is divided into a plurality of units, and each unit is detachable with a mask having a hole for solder ball adsorption in an area corresponding to the solder ball fusion position of the substrate. It is characterized by consisting of.

여기서, 상기 볼 어태치 툴은 대략 직사각판 형태의 베이스 플레이트(base plate)와, 상기 베이스 플레이트의 하부에 볼트(bolt)로 결합되며, 상,하로 관통된 대략 직육면체 형태의 몸체와, 상기 몸체의 하면에 탈착가능하며, 다수의 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크(mask)와, 상기 베이스 플레이트와 마스크 사이에 위치되어 진공 흡착력을 제공하는 진공 유도체로 이루어질 수 있다.Here, the ball attach tool is a base plate in the form of a substantially rectangular plate, the bottom of the base plate is coupled to the bolt (bolt), the body of the substantially rectangular parallelepiped penetrated up and down, and the The lower surface may be detachable, and may include a mask in which a plurality of solder ball adsorption holes are formed, and a vacuum derivative positioned between the base plate and the mask to provide a vacuum adsorption force.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 방법은 BGA(Ball Grid Array)형 반도체패키지의 섭스트레이트 일면 전체에 풀 어레이 상태로 플럭스를 돗팅하는 단계와, 상기 섭스트레이트의 일면 전체와 대응되는 다른 영역에 임시로 솔더볼을 풀 어레이시키는 단계와, 상기 섭스트레이트의 솔더볼 융착 영역에만 대응하도록 선택적으로 솔더볼을 진공 흡착하여, 상기 섭스트레이트에 돗팅(doting)된 플럭스 위에 안착시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, the general-purpose solder ball attach method according to the present invention comprises the steps of dotting the flux in a full array state on the entire surface of the substrate of the BGA (Ball Grid Array) type semiconductor package, and one surface of the substrate Temporarily arranging the solder balls in other areas corresponding to the whole, and selectively vacuum-adsorbing the solder balls so as to correspond only to the solder ball fusion regions of the substrate, and placing the solder balls on the flux dotted with the substrate; Characterized in that the made up.

상기와 같이 하여 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법에 의하면, 최초에 니들이 풀 어레이된 플럭스 툴을 구비하고, 또한 요홈이 풀 어레이된 볼 스택 플레이트를 구비한 후, 솔더볼의 배열 위치에 맞게 디자인된 다양한 볼 어태치 툴만 교체하면, 솔더볼의 배열 위치가 다른 여러 종류의 BGA형 반도체패키지에 적용할 수 있고, 따라서 툴 및 플레이트 교체에 따른 비용을 상당히 절약할 수 있게 된다. 물론, 이때 상기 BGA형 반도체패키지는 그 크기 및 솔더볼의 직경은 모두 동일하고, 솔더볼의 배열 위치만 다른 것에 해당한다.According to the general-purpose solder ball attaching device and method according to the present invention as described above, the first embodiment includes a flux tool with a full array of needles and a ball stack plate with a full array of grooves, and then, at a position where solder balls are arranged. By simply replacing the various ball attach tools that are specifically designed, the solder balls can be applied to a variety of BGA type semiconductor packages with different arrangement positions, thus significantly reducing the cost of tool and plate replacement. Of course, in this case, the BGA type semiconductor package has the same size and diameter of solder balls, and corresponds to only different arrangement positions of solder balls.

더불어, 위의 볼 어태치 툴은 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크만을 간단히 교체함으로써, 여러 종류의 BGA형 반도체패키지에 쉽게 적용 가능한 장점이 있다.In addition, the above ball attach tool has an advantage that it can be easily applied to various kinds of BGA type semiconductor packages by simply replacing only the mask on which the solder ball adsorption holes are formed.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings such that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 2a를 참조하면, 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치중 플럭스 툴(10)이 도시되어 있고, 도 2b를 참조하면, 볼 스택 플레이트(20)가 도시되어 있다.Referring to FIG. 2A, a flux tool 10 of a general purpose solder ball attach apparatus according to the present invention is shown, and referring to FIG. 2B, a ball stack plate 20 is shown.

도시된 바와 같이 본 발명에 의한 플럭스 툴(10)은 대략 직사각판 형태로서 다수의 유닛(11) 영역으로 나누어져 있으며, 각 유닛(11)에는 일정 길이를 가지며 대략 매트릭스 형태로 다수의 니들(12)이 풀 어레이(full array)된 채 결합되어 있다. 이러한 니들(12)의 배열 위치는 섭스트레이트에 융착될 솔더볼의 위치에 상관없이 풀 어레이된다. 물론, 이러한 니들(12)은 일정량의 끈적한 플럭스를 섭스트레이트의 솔더볼이 융착될 영역에 미리 돗팅(dotting)하는 역할을 하는데, 상기와 같은 구조의 플럭스 툴(10)은 섭스트레이트의 솔더볼이 형성되지 않을 위치에도 일정량의 플럭스를 돗팅하게 된다.As shown, the flux tool 10 according to the present invention is divided into a plurality of unit 11 regions in the form of a rectangular plate, each unit 11 has a predetermined length and a plurality of needles 12 in a substantially matrix form. ) Are combined in a full array. The arrangement position of these needles 12 is full arrayed regardless of the position of the solder balls to be fused to the substrate. Of course, these needles 12 dotting a certain amount of sticky flux in the region where the solder ball of the substrate is to be fused in advance, the flux tool 10 of the above structure is not formed of the solder ball of the substrate It will put a certain amount of flux even where it is not.

이어서, 본 발명에 의한 볼 스택 플레이트(20)는 도시된 바와 같이 대략 직사각판 형태로서 다수의 유닛(21) 영역으로 나누어져 있으며, 각 유닛(21)에는 솔더볼을 임시로 위치시킬 수 있도록 다수의 홈(22)이 풀 어레이되어 있다. 이러한 홈(22)의 배열 위치도 섭스트레이트에 융착될 솔더볼의 위치에 상관없이 풀 어레이된다.Subsequently, the ball stack plate 20 according to the present invention is divided into a plurality of unit 21 areas in the form of a substantially rectangular plate as shown, and each unit 21 includes a plurality of temporary balls to temporarily position the solder balls. The grooves 22 are full arrayed. The arrangement position of the grooves 22 is also full arrayed regardless of the position of the solder ball to be fused to the substrate.

도 3a를 참조하면, 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치중 볼 어태치 툴(30)이 도시되어 있고, 도 3b를 참조하면, 그 분해 사시도가 도시되어 있으며, 도 4를 참조하면, 도 3a의 3-3선 단면도가 도시되어 있다.Referring to FIG. 3A, a ball attach tool 30 of the general-purpose solder ball attach apparatus according to the present invention is illustrated. Referring to FIG. 3B, an exploded perspective view thereof is illustrated. Referring to FIG. 4, FIG. 3A is illustrated in FIG. 3A. A cross-sectional view taken along line 3-3 is shown.

도시된 바와 같이 본 발명에 의한 볼 어태치 툴(30)은 대략 직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛(31)으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛(31)에는 섭스트레이트의 솔더볼 융착 위치와 대응되는 영역에만 솔더볼 흡착용 홀(36)이 형성된 마스크(35)(mask)가 탈착 가능하게 되어 있다.As shown, the ball attach tool 30 according to the present invention has a substantially rectangular plate shape, the bottom of which is divided into a plurality of units 31, and each unit 31 corresponds to a solder ball fusion position of a substrate. The mask 35 in which the solder ball adsorption | suction hole 36 was formed only in the area | region is removable.

좀더 구체적으로 상기 볼 어태치 툴(30)은 대략 직사각판 형태의 베이스 플레이트(32)(base plate)와, 상기 베이스 플레이트(32)의 하부에 볼트(37)(bolt)로 결합되며, 상,하로 관통된 대략 직육면체 형태의 몸체(34)와, 상기 몸체(34)의 하면에 탈착 가능하며, 다수의 솔더볼 흡착용 홀(36)이 형성된 마스크(35)(mask)와, 상기 베이스 플레이트(32)와 마스크(35) 사이에 위치되어 진공 흡착력을 제공하는 진공 유도체(33)로 이루어져 있다. 여기서, 상기 베이스 플레이트(32) 및 진공 유도체(33)에는 진공 흡착력이 마스크(35)로 전달될 수 있도록 홀(38)이 더 형성되어 있다. 또한, 상기 진공 유도체(33)의 저면에는 진공이 마스크(35)에 골고루 작용하도록 대략 원형링 형태의 요홈(39)이 형성되어 있다. 더불어, 상기 마스크(35)에 형성된 홀(36)은 섭스트레이트에 융착될 솔더볼의 배열 위치와 동양으로 되어 있다. 즉, 상기 섭스트레이트에 융착될 솔더볼의 배열 위치에 따라 다수의 마스크(35)가 구비된다.In more detail, the ball attach tool 30 is coupled to a base plate 32 having a substantially rectangular plate shape and a bolt 37 at a lower portion of the base plate 32. A substantially rectangular parallelepiped-shaped body 34, a mask 35 detachably attached to a lower surface of the body 34, and having a plurality of solder ball adsorption holes 36 formed therein, and the base plate 32. ) And a vacuum inductor 33 positioned between the mask 35 and providing a vacuum suction force. Here, the base plate 32 and the vacuum derivative 33 is further formed with a hole 38 so that the vacuum suction force can be transferred to the mask 35. In addition, the bottom surface of the vacuum inductor 33 is formed with a groove 39 in the shape of a substantially circular ring so that the vacuum evenly acts on the mask 35. In addition, the hole 36 formed in the mask 35 has an orientation with the arrangement position of the solder balls to be fused to the substrate. That is, a plurality of masks 35 are provided according to the arrangement positions of the solder balls to be fused to the substrate.

따라서, 이러한 볼 어태치 툴(30)은 베이스 플레이트(32) 및 진공 유도체(33)를 통해서 진공이 제공되며, 이 진공에 의해 마스크(35)에 형성된 다수의 홀(36)에 솔더볼이 흡착하게 된다. 물론, 이와 같이 흡착된 솔더볼은 섭스트레이트에 미리 돗팅된 플럭스 위에 안착하게 된다.Thus, this ball attach tool 30 is provided with a vacuum through the base plate 32 and the vacuum inductor 33, which allows the solder balls to adsorb to the plurality of holes 36 formed in the mask 35. do. Of course, the solder ball adsorbed in this way is seated on the flux that is previously doped on the substrate.

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 다른 범용 솔더볼 어태치 장치중 볼 어태치 툴(40)이 도시되어 있다.5, there is shown a ball attach tool 40 of another general purpose solder ball attach apparatus in accordance with the present invention.

도시된 바와 같이 본 발명에 의한 다른 볼 어태치 툴(40)은 일체의 베이스 플레이트(42)에 일체의 몸체(44)가 볼트(47)로 결합되어 있다. 물론, 상기 몸체(44)의 저면에는 다수의 솔더볼 흡착용 홀(41)이 형성되어 있다. 따라서, 이러한 구조의 볼 어태치 툴(40)은 BGA 계열의 반도체패키지 종류에 따라 일체의 몸체(44) 자체를 교환할 수 있게 된다.As shown, another ball attach tool 40 according to the present invention has an integral body 44 coupled to an integral base plate 42 by a bolt 47. Of course, a plurality of solder ball adsorption holes 41 are formed on the bottom of the body 44. Therefore, the ball attach tool 40 having such a structure can replace the body 44 itself according to the type of BGA-based semiconductor package.

도 6을 참조하면, 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 방법이 순차적으로 도시되어 있다.6, the general purpose solder ball attach method according to the present invention is shown in sequence.

도시된 바와 같이 플럭스 돗팅 단계(S1)와, 솔더볼 풀 어레이 단계(S2)와, 솔더볼 안착 단계(S3)로 이루어져 있다.As shown, it is composed of a flux dotting step (S1), a solder ball pull array step (S2), and a solder ball seating step (S3).

먼저, 플럭스 돗팅 단계(S1)는 BGA 계열의 반도체패키지의 섭스트레이트 일면 전체에 풀 어레이 상태로 끈적한 플럭스를 돗팅한다. 즉, 본 발명에서 개시된 플럭스 툴(10)의 니들(12)에 플럭스를 묻혀 이를 다시 섭스트레이트에 돗팅한다. 물론, 상기 플럭스 툴(10)에는 니들(12)이 풀 어레이 상태로 배열된 상태이다. 따 라서, 섭스트레이트에는 원하지 않는 영역에도 플럭스가 돗팅될 수 있다.First, in the flux dotting step (S1), the sticky flux is doted in a full array state on one side of the substrate of the BGA-based semiconductor package. That is, the flux is buried in the needle 12 of the flux tool 10 disclosed in the present invention and doted again in the substrate. Of course, the flux tool 10 is a needle 12 is arranged in a full array state. As a result, flux may be applied to areas of unwanted substrate.

이어서, 솔더볼 풀 어레이 단계(S2)는 상기 섭스트레이트의 일면 전체와 대응되는 다른 영역에 임시로 솔더볼을 풀 어레이시킨다. 즉, 본 발명에서 개시된 볼 스택 플레이트(20)의 요홈(22)에 솔더볼을 어레이시킨다. 물론, 상기 볼 스택 플레이트(20)에는 요홈(22)이 풀 어레이 상태로 형성되어 있다.Subsequently, in the solder ball pull array step S2, the solder balls are temporarily arrayed in another area corresponding to the entire one surface of the substrate. That is, solder balls are arrayed in the grooves 22 of the ball stack plate 20 disclosed in the present invention. Of course, the grooves 22 are formed in the ball stack plate 20 in a full array state.

이어서, 솔더볼 안착 단계(S3)는 상기 섭스트레이트의 솔더볼 융착 영역에만 대응하도록 선택적으로 솔더볼을 진공 흡착하여, 상기 섭스트레이트에 돗팅된 플럭스 위에 안착시킨다. 즉, 본 발명에서 개시된 다양한 볼 어태치 툴(30)을 이용하여 상기 볼 스택 플레이트(20)에 풀 어레이된 솔더볼을 선택적으로 흡착하여 섭스트레이트의 플럭스 위에 안착시킨다. 이때, 상기 볼 스택 플레이트(20)에 풀 어레이된 솔더볼 중에는 상기 볼 어태치 툴(30)에 흡착되지 않는 솔더볼도 있다. 다른 말로 하면, 섭스트레이트 위에 플럭스를 풀 어레이로 돗팅하고, 볼 스택 플레이트(20)에도 솔더볼을 풀 어레이로 위치시키지만, 최종적인 볼 어태치 툴(30)은 선택된 솔더볼만을 흡착하여 섭스트레이트에 범핑하게 된다. 따라서, 섭스트레이트에는 솔더볼이 어태치되지 않는 플럭스도 존재하지만, 이러한 플럭스는 리플로우(reflow) 공정 또는 세척 공정에서 모두 제거되므로, 솔더볼의 범핑 공정에 큰 장애 요소로 작용하지는 않는다.Subsequently, in the solder ball seating step (S3), the solder balls are vacuum-adsorbed selectively so as to correspond only to the solder ball fusion regions of the substrate, and are seated on the flux doped on the substrate. That is, by using various ball attach tools 30 disclosed in the present invention, the solder balls arranged in the ball stack plate 20 are selectively adsorbed to be seated on the flux of the substrate. At this time, among the solder balls that are fully arrayed on the ball stack plate 20, some solder balls are not adsorbed by the ball attach tool 30. In other words, the flux is placed in a full array on the substrate and the solder balls are placed in a full array on the ball stack plate 20, but the final ball attach tool 30 adsorbs only the selected solder balls to bump into the substrate. do. Therefore, there are fluxes in which the solder balls are not attached to the substrate, but these fluxes are eliminated in both the reflow process and the cleaning process, and thus do not pose a significant obstacle to the bumping process of the solder balls.

상기와 같이 하여 본 발명에 의한 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법에 의하면, 최초에 니들이 풀 어레이된 플럭스 툴을 구비하고, 또한 요홈이 풀 어레이된 볼 스택 플레이트를 구비한 후, 솔더볼의 배열 위치에 맞게 디자인된 다양한 볼 어태치 툴만 교체하면, 솔더볼의 배열 위치가 다른 여러 종류의 BGA형 반도체패키지에 적용할 수 있고, 따라서 툴 및 플레이트 교체에 따른 비용을 상당히 절약할 수 있는 효과가 있다. 물론, 이때 상기 BGA형 반도체패키지는 그 크기 및 솔더볼의 직경은 모두 동일하고, 솔더볼의 배열 위치만 다른 것에 해당한다.According to the general-purpose solder ball attaching device and method according to the present invention as described above, the first embodiment includes a flux tool with a full array of needles and a ball stack plate with a full array of grooves, and then, at a position where solder balls are arranged. By simply replacing the various ball attach tools that are designed to fit, the solder balls can be applied to a variety of BGA type semiconductor packages with different arrangement positions, which can significantly reduce the cost of tool and plate replacement. Of course, in this case, the BGA type semiconductor package has the same size and diameter of solder balls, and corresponds to only different arrangement positions of solder balls.

더불어, 위의 볼 어태치 툴은 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크만을 간단히 교체함으로써, 여러 종류의 BGA형 반도체패키지에 쉽게 적용 가능한 효과가 있다.In addition, the above-mentioned ball attach tool can be easily applied to various kinds of BGA type semiconductor packages by simply replacing only the mask on which the solder ball adsorption holes are formed.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 범용 솔더볼 어태치 장치 및 그 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is only one embodiment for carrying out the general-purpose solder ball attach apparatus and method thereof according to the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, as claimed in the following claims Without departing from the gist of the present invention, anyone of ordinary skill in the art will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (3)

직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 섭스트레이트의 솔더볼 융착 영역과 대응되는 영역뿐만 아니라 솔더볼이 융착되지 않는 영역과 대응되는 영역에도 니들이 풀 어레이(full array)되어 있는 플럭스 툴(flux tool);The bottom plate is divided into a plurality of units in the form of a rectangular plate, and each unit has needles in a full array not only in the region corresponding to the solder ball fusion region of the substrate but also in the region corresponding to the region where the solder ball is not fused. Flux tool; 직사각판 형태로서 상면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 상기 플럭스 툴의 풀 어레이된 니들과 대응되도록 일정 깊이의 요홈이 풀 어레이되어 있는 볼 스택 플레이트(ball stack plate); 및,A ball stack plate in which a top surface is divided into a plurality of units in a rectangular plate shape, each of which has a full array of grooves of a predetermined depth so as to correspond to a full arrayed needle of the flux tool; And, 직사각판 형태로서 저면이 다수의 유닛으로 구분되어 있고, 상기 각 유닛에는 섭스트레이트의 솔더볼 융착 영역과 대응되는 영역에만 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크(mask)가 탈착 가능하게 되어 있는 볼 어태치 툴(ball attach tool)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 범용 솔더볼 어태치 장치.A ball attach tool in which a bottom plate is divided into a plurality of units in the form of a rectangular plate, and in each unit, a mask in which a solder ball adsorption hole is formed only in an area corresponding to a solder ball fusion region of a substrate is formed. General purpose solder ball attach device, comprising a ball attach tool). 제 1 항에 있어서, 상기 볼 어태치 툴은 직사각판 형태의 베이스 플레이트(base plate)와, 상기 베이스 플레이트의 하부에 볼트(bolt)로 결합되며, 상,하로 관통된 대략 직육면체 형태의 몸체와, 상기 몸체의 하면에 탈착가능하며, 다수의 솔더볼 흡착용 홀이 형성된 마스크(mask)와, 상기 베이스 플레이트와 마스크 사이에 위치되어 진공 흡착력을 제공하는 진공 유도체로 이루어진 것을 특징으로 하는 범용 솔더볼 어태치 장치.The method of claim 1, wherein the ball attach tool is a base plate in the form of a rectangular plate (bolt) is coupled to the lower portion of the base plate, the upper and lower body of the substantially rectangular parallelepiped shape, Removable to the lower surface of the body, a general-purpose solder ball attach device comprising a mask (mask) formed with a plurality of solder ball adsorption holes, and a vacuum inductor positioned between the base plate and the mask to provide a vacuum adsorption force . BGA(Ball Grid Array)형 반도체패키지의 섭스트레이트 일면중 솔더볼 융착 영역뿐만 아니라 솔더볼이 융착되지 않는 영역에도 플럭스를 풀 어레이 상태로 돗팅하는 단계;Dotting the flux in the full array state not only in the solder ball fusion region but also in the region where the solder ball is not fused in one of the substrates of the ball grid array (BGA) type semiconductor package; 상기 풀 어레이 상태로 돗팅된 플럭스와 대응되는 다른 영역에 임시로 솔더볼을 풀 어레이 상태로 위치시키는 단계;Temporarily placing a solder ball in a full array state in another area corresponding to the flux doped in the full array state; 상기 풀 어레이 상태로 위치된 솔더볼중 상기 섭스트레이트의 솔더볼 융착 영역과 대응되는 위치의 솔더볼만을 선택적으로 진공 흡착하여, 상기 섭스트레이트의 특정 플럭스 위에만 안착시키는 단계를 포함하여 이루어진 범용 솔더볼 어태치 방법.Selectively vacuum-sucking only the solder balls in positions corresponding to the solder ball fusion regions of the substrate among the solder balls positioned in the full array state, and seating only on a specific flux of the substrate;
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