KR100547544B1 - Magnetic disk device - Google Patents

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KR100547544B1
KR100547544B1 KR1020040021504A KR20040021504A KR100547544B1 KR 100547544 B1 KR100547544 B1 KR 100547544B1 KR 1020040021504 A KR1020040021504 A KR 1020040021504A KR 20040021504 A KR20040021504 A KR 20040021504A KR 100547544 B1 KR100547544 B1 KR 100547544B1
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suspension
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니시야마노부마사
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가부시끼가이샤 히다찌 글로벌 스토리지 테크놀로지 니뽄
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Abstract

본 발명은 전송 선로에서의 전송 손실의 저감에 의한 전기 특성의 향상과, 헤드 주위 배선부의 강성의 저감에 의한 진동 특성의 향상을 양립시켜, 전송 선로의 임피던스 플랫화를 실현할 수 있는 자기 디스크 장치를 제공한다. 이를 위해, 자기 디스크 장치에서, 서스펜션(19)에 실장된 전송 선로(21e)는 한쌍의 도체로 이루어지는 기록측 선로(21W)와 한쌍의 도체로 이루어지는 재생측 선로(21R)로 구성되며, 기록측 선로(21W) 및 재생측 선로(21R)의 도체의 하층에는 절연층(33)을 사이에 두고 하부 도체(34)가 설치되고, 이 하부 도체(34)는 두께가 5㎛인 구리 또는 구리를 주성분으로 하는 구리 합금으로 형성되며, 절연층(33)은 두께가 5∼10㎛인 폴리이미드 수지로 형성되고, 하부 도체(34)는 전기적으로 접지 전위로 되어 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a magnetic disk device capable of achieving flattening of impedance of a transmission line by achieving an improvement in electrical characteristics due to a reduction in transmission loss in a transmission line and an improvement in vibration characteristic by a reduction in rigidity of a head peripheral wiring portion. to provide. To this end, in the magnetic disk apparatus, the transmission line 21e mounted on the suspension 19 is composed of a recording side line 21W made up of a pair of conductors and a reproduction side line 21R made up of a pair of conductors. The lower conductor 34 is provided in the lower layer of the conductor of the line 21W and the regeneration-side line 21R with an insulating layer 33 interposed therebetween, and the lower conductor 34 is formed of copper or copper having a thickness of 5 μm. It is formed of a copper alloy as a main component, the insulating layer 33 is formed of a polyimide resin having a thickness of 5 to 10 µm, and the lower conductor 34 is electrically at ground potential.

자기 기록 매체, 자기 헤드, 서스펜션, 전치 증폭기, 스테인레스층Magnetic recording media, magnetic heads, suspensions, preamplifiers, stainless layers

Description

자기 디스크 장치{MAGNETIC DISC APPARATUS}Magnetic Disk Device {MAGNETIC DISC APPARATUS}

도 1은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치를 도시하는 구성도. 1 is a block diagram showing a magnetic disk device according to one embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 아암 서스펜션 상의 전송 선로의 배치를 도시하는 평면도. Fig. 2 is a plan view showing the arrangement of transmission lines on the arm suspension in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 3의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 서스펜션 상의 전송 선로의 구조(3층 구조)를 도시하는 단면도. 3A and 3B are cross-sectional views showing the structure (three-layer structure) of the transmission line on the suspension in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 서스펜션 상의 전송 선로의 구조(4층 구조)를 도시하는 단면도. 4A and 4B are cross-sectional views showing the structure (four-layer structure) of the transmission line on the suspension in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 서스펜션 상의 전송 선로의 구조(5층 구조)를 도시하는 단면도. 5A and 5B are cross-sectional views showing the structure (five-layer structure) of the transmission line on the suspension in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 도 3의 예의 HGA의 구조를 도시하는 설명도. FIG. 6 is an explanatory diagram showing the structure of the HGA of the example of FIG. 3 in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention; FIG.

도 7은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 도 4 및 도 5의 예의 HGA의 구조를 도시하는 설명도. FIG. 7 is an explanatory diagram showing the structure of the HGA of the example of FIGS. 4 and 5 in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention; FIG.

도 8은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 막 두께에 대한 전력 변화(폴리이미드 수지의 막 두께=5㎛)를 나타내는 특성도. Fig. 8 is a characteristic diagram showing a power change (film thickness of polyimide resin = 5 μm) with respect to the film thickness of the lower conductor in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 막 두께 에 대한 전력 변화(폴리이미드 수지의 막 두께=10㎛)를 나타내는 특성도. Fig. 9 is a characteristic diagram showing a power change (film thickness of polyimide resin = 10 μm) with respect to the film thickness of the lower conductor in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 막 두께에 대한 전력 변화(폴리이미드 수지의 막 두께=18㎛)를 나타내는 특성도. Fig. 10 is a characteristic diagram showing a power change (film thickness of polyimide resin = 18 μm) with respect to the film thickness of the lower conductor in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 도전률과 막 두께와의 관계(폴리이미드 수지의 막 두께=5㎛)를 나타내는 특성도. Fig. 11 is a characteristic diagram showing the relationship between the conductivity of the lower conductor and the film thickness (film thickness of polyimide resin = 5 μm) in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 도전률과 막 두께와의 관계(폴리이미드 수지의 막 두께=10㎛)를 나타내는 특성도. Fig. 12 is a characteristic diagram showing the relationship between the conductivity of the lower conductor and the film thickness (film thickness of polyimide resin = 10 m) in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 도전률과 막 두께와의 관계(폴리이미드 수지의 막 두께=18㎛)를 나타내는 특성도. Fig. 13 is a characteristic diagram showing the relationship between the conductivity of the lower conductor and the film thickness (film thickness of polyimide resin = 18 μm) in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

도 14는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 전송 선로의 전송 도체에 고주파 전류를 흘렸을 때의 하부 도체에 발생하는 유도 전류의 상태를 나타내는 설명도. FIG. 14 is an explanatory diagram showing a state of induced current generated in a lower conductor when a high frequency current flows through a transmission conductor of a transmission line in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention; FIG.

도 15는 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치에서, 하부 도체의 도전률에 대한 최소 소비 전력의 관계를 나타내는 특성도. Fig. 15 is a characteristic diagram showing the relationship between the minimum power consumption and the conductivity of the lower conductor in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

10 : HDA10: HDA

13 : 자기 기록 매체13: magnetic recording medium

14 : 자기 헤드14: magnetic head

14W : 기록 헤드용 코일 단자14 W: Coil terminal for recording head

14R : 재생 헤드의 출력 단자14R: output terminal of the playhead

15 : 캐리지부15: carriage part

16 : FPC16: FPC

18 : 아암18: arm

19 : 서스펜션19: Suspension

20 : 전치 증폭기20: preamplifier

20W : 기록 증폭기20W: recording amplifier

20R : 재생 증폭기20R: Regenerative Amplifier

21, 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, 21f : 전송 선로21, 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, 21f: transmission line

21W : 기록측 선로21W: Record side track

21R : 재생측 선로21R: Regeneration Line

30 : 기록측 도체30: recording side conductor

31 : 재생측 도체31: reproducing side conductor

32 : 커버32: cover

33 : 절연층33: insulation layer

34 : 하부 도체34: lower conductor

35 : 스테인레스층35: stainless layer

36 : 절연층36: insulation layer

본 발명은 자기 디스크 장치에 관한 것으로, 특히 서스펜션에 실장되며, 자기 헤드와의 사이에서 기록 재생 신호를 전송하는 전송 선로 구조에 적용하기에 유효한 기술에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device, and more particularly, to a technique that is mounted on a suspension and is effective for applying to a transmission line structure for transmitting a recording / reproducing signal between a magnetic head.

본 발명자가 검토한 바에 따르면, 자기 디스크 장치의 전송 선로 구조에 관해서는 이하와 같은 기술을 생각할 수 있다. According to the inventors' consideration, the following techniques can be considered regarding the structure of the transmission line of the magnetic disk device.

예를 들면, 자기 디스크 장치에서는, 대량의 데이터를 한정된 스페이스에 기록하며, 단시간에 대량의 데이터를 기록 재생하기 위해, 고기록 밀도화 기술 및 데이터의 고속 전송화 기술, 즉 기록 재생 주파수의 고주파수화가 필수이다. For example, in a magnetic disk device, in order to record a large amount of data in a limited space and to record and reproduce a large amount of data in a short time, a high recording density technique and a high speed transfer technique of data, that is, high frequency recording and reproducing frequencies It is required.

이러한 자기 디스크 장치에는, 자기 헤드와의 사이에서 기록 재생 신호를 전송하는 전송 선로가 서스펜션 상에 프린트 형성되어 실장된 구조가 있다. 이 전송 선로는 한쌍의 도체로 이루어지는 기록측 선로와, 한쌍의 도체로 이루어지는 재생측 선로로 구성되어 있다. 이 기록측 선로 및 재생측 선로의 도체의 하층에는, 절연층을 사이에 두고 하부 도체가 설치되어 있다. Such a magnetic disk apparatus has a structure in which a transmission line for transmitting a recording / reproducing signal to and from a magnetic head is printed and mounted on the suspension. The transmission line is composed of a recording side line composed of a pair of conductors and a reproduction side line composed of a pair of conductors. The lower conductor is provided in the lower layer of the conductor of the recording side line and the reproduction side line with an insulating layer interposed therebetween.

이러한 전송 선로에서, 종래에는 기록측 선로 및 재생측 선로의 도체가 구리로 15㎛ 정도의 두께로 형성되며, 또한 하부 도체가 스테인레스로 25㎛ 정도의 두께로 형성되고, 또한 절연층은 폴리이미드 수지로 10㎛ 정도의 두께로 형성되어 있다. In such a transmission line, conventionally, the conductors of the recording side line and the reproduction side line are formed with a thickness of about 15 μm of copper, and the lower conductor is formed with a thickness of about 25 μm of stainless, and the insulating layer is made of polyimide resin. It is formed to a thickness of about 10㎛.

또한, 예를 들면, 특허 문헌 1(일본 특개2002-237016호 공보)에는 전송 선로를 구성하는 FPC(Flexible Printed Circuit)의 이면에, 서스펜션의 재질인 스테인레스보다도 열전도율이 높은 판 부재가 밀접하게 접착되며, 이 구조로 서스펜션에 실장된 구조가 있다. 이 판 부재에는 알루미늄 이외에 구리 등이 사용 가능하며, 그 두께는 500㎛ 정도를 상한으로 하고 있다.For example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-237016) adheres closely to a plate member having a higher thermal conductivity than stainless steel, which is a material of a suspension, on the back surface of a flexible printed circuit (FPC) constituting a transmission line. This structure has a structure mounted on the suspension. Copper etc. can be used for this board member other than aluminum, The thickness has an upper limit of about 500 micrometers.

그런데, 상기와 같은 자기 디스크 장치의 전송 선로 구조에 대하여, 본 발명자가 검토한 결과, 이하와 같은 점이 분명해졌다. By the way, as a result of the present inventor's examination of the structure of the transmission line of the magnetic disk device as described above, the following points became clear.

예를 들면, 상기와 같은 종래의 전송 선로에서는, 기록측 선로 및 재생측 선로의 도체의 하층의 하부 도체가 스테인레스에 의해 형성되기 때문에, 전송 손실이 커지는 등의 문제가 있다. For example, in the conventional transmission line as described above, since the lower conductor of the lower layer of the conductor of the recording side line and the reproduction side line is formed of stainless, there is a problem such as a large transfer loss.

또한, 자기 디스크 장치에서는 헤드 주위의 배선부를 강성을 낮추어, 자기 헤드의 자기 기록 매체의 표면 형상으로의 추종성을 높일 필요가 있다. 그러나, 상기 특허 문헌 1(일본 특개2002-237016호 공보)과 같이, 구리에 의한 판 부재의 두께의 상한을 500㎛ 정도로 한 경우에는, 이 판 부재에 의한 하부 도체가 두껍기 때문에, 강성이 높아, 헤드 주위의 배선부에 적용하는 것이 어렵다. 만일, 적용할 경우에는, 하부 도체를 제거하고, 1층만의 배선으로 설치할 필요가 있다. 이 때문에, 임피던스 제어를 할 수 없다는 점 뿐만 아니라, 외래 잡음의 영향을 받기 쉬워지는 등의 문제가 있다. In addition, in the magnetic disk apparatus, it is necessary to lower the rigidity of the wiring portion around the head to increase the followability of the magnetic head to the surface shape of the magnetic recording medium. However, when the upper limit of the thickness of the plate member by copper is set to about 500 micrometers like the said patent document 1 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-237016), since the lower conductor by this plate member is thick, rigidity is high, It is difficult to apply to the wiring portion around the head. In the case of application, it is necessary to remove the lower conductor and install the wiring by only one layer. For this reason, not only does impedance control not be possible, but also there exists a problem of being easy to be influenced by external noise.

또한, 상기와 같은 종래의 전송 선로에서, 헤드 주위의 배선부에 적용하기 위해, 스테인레스로 이루어지는 하부 도체를 얇게 하면, 손실의 증대로 연결된다. 이 현상에 대해서는 후술한다. In addition, in the conventional transmission line as described above, in order to apply to the wiring portion around the head, if the lower conductor made of stainless is made thin, the loss leads to an increase. This phenomenon is mentioned later.

따라서, 상기와 같은 종래의 전송 선로, 상기 특허 문헌 1(일본 특개2002- 237016호 공보)과 같은 기술에서는, 전송 선로의 전송 손실을 저감하는 것과, 헤드 주위 배선부의 강성을 저감하는 것의 양립이 어려워서, 그 해결 방법이 요구되고 있다. Therefore, in the conventional transmission line as described above and in the technique such as Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-237016), it is difficult to achieve both the reduction of the transmission loss of the transmission line and the reduction of the rigidity of the head peripheral wiring part. A solution is required.

따라서, 본 발명의 목적은 전송 선로에서의 전송 손실의 저감에 의한 전기 특성의 향상과, 헤드 주위 배선부의 강성의 저감에 의한 진동 특성의 향상을 양립시켜, 전송 선로의 임피던스 플랫화를 실현할 수 있는 자기 디스크 장치를 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to realize the flattening of the impedance of the transmission line by making the improvement of the electrical characteristic by the reduction of the transmission loss in the transmission line and the improvement of the vibration characteristic by the reduction of the rigidity of the head peripheral wiring part. A magnetic disk device is provided.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 자기 기록 매체에 대하여 정보를 기록 재생하는 자기 헤드와, 이 자기 헤드와의 사이에서 기록 재생 신호를 전송하는 전송 선로와, 이 전송 선로를 실장하는 서스펜션을 갖는 자기 디스크 장치에 적용되며, 서스펜션 상의 전송 선로 구조로서, 이하와 같은 특징을 갖는 것이다. The present invention has a magnetic head for recording and reproducing information with respect to a magnetic recording medium, a transmission line for transmitting a recording and reproduction signal between the magnetic head, and a suspension for mounting the transmission line. Applied to a magnetic disk device, the transmission line structure on the suspension has the following characteristics.

(1) 서스펜션에 실장된 전송 선로는, 한쌍의 도체로 이루어지는 기록측 선로와 한쌍의 도체로 이루어지는 재생측 선로로 구성되며, 기록측 선로 및 재생측 선로의 도체의 하층에는 절연층을 사이에 두고 하부 도체가 설치되고, 이 하부 도체는 두께가 5㎛ 정도의 구리 또는 구리를 주성분으로 하는 구리 합금으로 형성된다. 또한, 절연층은 두께가 5∼10㎛ 정도의 폴리이미드 수지로 형성되며, 또한 하부 도체는 전기적으로 접지 전위로 되어 있다. (1) The transmission line mounted on the suspension is composed of a recording side line consisting of a pair of conductors and a reproduction side line consisting of a pair of conductors, with an insulating layer interposed between the recording side line and the conductor of the reproduction side line. The lower conductor is provided, and the lower conductor is formed of copper or copper alloy whose main component is about 5 µm in thickness. The insulating layer is formed of a polyimide resin having a thickness of about 5 to 10 µm, and the lower conductor is electrically at ground potential.

(2) 상기 (1)에서, 하부 도체의 하층에는 스테인레스층이 설치되며, 이 스테인레스층은 플렉셔로서 형성되어, 서스펜션과 합체되어 있다. (2) In the above (1), the lower layer of the lower conductor is provided with a stainless layer, which is formed as a flexure and incorporated with the suspension.

(3) 상기 (1)에서, 하부 도체의 하층에는 절연층을 사이에 두고 스테인레스층이 설치되고, 이 스테인레스층은 플렉셔로서 형성되어, 서스펜션과 합체되어 있다. (3) In the above (1), the lower layer of the lower conductor is provided with a stainless layer interposed therebetween, and the stainless layer is formed as a flexure and is integrated with the suspension.

<실시예><Example>

이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 상세히 설명한다. 또, 실시예를 설명하기 위한 전체 도면에서, 동일한 기능을 갖는 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in the whole figure for demonstrating an Example, the same code | symbol is attached | subjected to the member which has the same function, and the repeated description is abbreviate | omitted.

먼저, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치의 구성의 일례를 설명한다. 도 1은 자기 디스크 장치의 구성도를 도시한다. First, with reference to FIG. 1, an example of the structure of the magnetic disk device of one embodiment of the present invention will be described. 1 shows a configuration diagram of a magnetic disk device.

본 실시예의 자기 디스크 장치는, 예를 들면 HDA(헤드 디스크 어셈블리)(10)와, 기록 재생 제어 회로(11) 등으로 구성된다. The magnetic disk apparatus of this embodiment is constituted of, for example, an HDA (head disk assembly) 10, a recording / playback control circuit 11 and the like.

HDA(10)는 자기 기록 매체(13)를 적층한 스핀들부(12)와, 자기 기록 매체(13)에 대하여 정보를 기록 재생하는 자기 헤드(14) 등을 탑재한 캐리지부(15)로 구성되며, 알루미늄제의 베이스와 커버로 둘러싼 구조이다. The HDA 10 is composed of a spindle portion 12 on which a magnetic recording medium 13 is stacked, and a carriage portion 15 mounted with a magnetic head 14 or the like for recording and reproducing information on the magnetic recording medium 13. It is a structure surrounded by an aluminum base and a cover.

캐리지부(15)는, 자기 헤드(14)를 자기 기록 매체(13) 상에서 씨크 및 위치 결정하기 위한 VCM(보이스 코일 모터)(17)과, 아암(18)과, 아암(18)의 선단에 부착된 서스펜션(19)과, 서스펜션(19)의 선단에 부착된 자기 헤드(14)와, 기록 재생 신호를 전송하는 FPC(플렉시블 패턴드 케이블)(16)와, FPC(16)에 탑재된 R/W IC 내의 전치 증폭기(20)와, 전치 증폭기(20)와 자기 헤드(14) 사이의 기록 재생 신호를 전송하는 전송 선로(21)로 구성되어 있다. The carriage portion 15 is provided at the tip of the VCM (voice coil motor) 17, the arm 18, and the arm 18 for seeking and positioning the magnetic head 14 on the magnetic recording medium 13. The attached suspension 19, the magnetic head 14 attached to the front end of the suspension 19, an FPC (flexible patterned cable) 16 for transmitting a recording / reproducing signal, and an R mounted on the FPC 16. A preamplifier 20 in the / W IC and a transmission line 21 for transmitting a recording and reproducing signal between the preamplifier 20 and the magnetic head 14 are constituted.

HDA(10)와 외부 장치와의 사이에는 기록 재생 제어 회로(11)가 있다. 이 기록 재생 제어 회로(11)는 HDA(10)의 내부에 설치되어도 된다. 기록 재생 제어 회로(11)에는, 신호 처리 LSI(22)와 HDD(하드디스크 드라이브) 컨트롤러(23)가 탑재되어 있다. HDA(10)측의 커넥터(25-1)와 기록 재생 제어 회로(11)측의 커넥터(25-2)를 접속함으로써, 전치 증폭기(20)와 신호 처리 LSI(22)가 접속된다. 기록 재생 제어 회로(11)의 외부 인터페이스(24)를 통해, 외부 장치와 접속되도록 되어 있다. There is a recording / playback control circuit 11 between the HDA 10 and the external device. This recording / reproduction control circuit 11 may be provided inside the HDA 10. The recording / reproduction control circuit 11 is equipped with a signal processing LSI 22 and an HDD (hard disk drive) controller 23. By connecting the connector 25-1 on the HDA 10 side and the connector 25-2 on the recording / reproduction control circuit 11 side, the preamplifier 20 and the signal processing LSI 22 are connected. The external device 24 is connected to the external device via the external interface 24 of the recording / playback control circuit 11.

다음으로, 도 2를 이용하여, 본 실시예의 자기 디스크 장치에서, 아암 서스펜션 상의 전송 선로의 배치의 일례를 설명한다. 도 2는 아암 서스펜션 상의 전송 선로의 배치의 평면도를 도시한다. Next, with reference to FIG. 2, an example of the arrangement of the transmission lines on the arm suspension in the magnetic disk device of this embodiment will be described. 2 shows a plan view of the arrangement of the transmission lines on the arm suspension.

도 2에 도시한 바와 같이, 전치 증폭기(20)로부터 자기 헤드(14)에 이르는 전송 선로(21)는 아암(18)의 가로를 따라 배치되며, 서스펜션(19) 상에는 프린트 형성되어 설치되어 있다. 프린트 형성된 전송 선로(21)의 선단에는 기록 헤드용 코일 단자(14W), 재생 헤드의 출력 단자(14R) 등이 설치된 자기 헤드(14)가 접속되어 있다. 또한, 전송 선로(21)의 타단에는 기록 증폭기(20W), 재생 증폭기(20R)로 이루어지는 전치 증폭기(20)가 접속되어 있다. As shown in FIG. 2, the transmission line 21 from the preamplifier 20 to the magnetic head 14 is arranged along the width of the arm 18, and is formed on the suspension 19 by printing. The magnetic head 14 provided with the recording head coil terminal 14W, the reproducing head output terminal 14R, and the like are connected to the front end of the printed transmission line 21. The other end of the transmission line 21 is connected with a preamplifier 20 composed of a recording amplifier 20W and a reproduction amplifier 20R.

이 전송 선로(21)는 기록측 선로(21W)와 재생측 선로(21R)가 병주(竝走)하고 있는 병주부와, 분리되어 있는 분리부로 이루어지며, 프린트 형성된 서스펜션(19) 상의 병주부의 기록측 선로(21W)와 재생측 선로(21R)의 위치 관계 및 구조는 후술하는 도 3∼도 5에 도시된 바와 같다. The transmission line 21 is composed of a bottle line part where the recording side line 21W and the reproduction side line 21R are juxtaposed, and a separate separating part, and the bottle line part on the printed suspension 19 is formed. The positional relationship and structure of the recording side line 21W and the reproduction side line 21R are as shown in Figs.

여기서, 자기 디스크 장치에서의 정보의 기록 동작 및 재생 동작에 대하여 설명한다. Here, the recording operation and the reproduction operation of the information in the magnetic disk device will be described.

일반적으로, 정보의 기록은 다음과 같이 행한다. 먼저, 상위 장치로부터 입력된 정보를 자기 기록 재생에 적합한 패턴 데이터로 변환한다. 다음으로, 패턴 데이터 '1'에 기록 전류의 극성 반전을 대응시키고, 데이터 '0'에는 무반전을 대응시킨다. 패턴 데이터에 극성 반전 전류를 대응시킨 기록 전류를 전치 증폭기(20)의 기록 증폭기(20W)로부터 기록측 선로(21W)로 출력한다. 이 기록 전류는 기록측 선로(21W)를 통해, 자기 헤드(14)의 기록 헤드용 코일 단자(14W)에 도달한다. In general, recording of information is performed as follows. First, information input from the host apparatus is converted into pattern data suitable for magnetic recording reproduction. Next, the polarity inversion of the write current is associated with the pattern data '1', and the inversion is not associated with the data '0'. The write current in which the polarity inversion current is associated with the pattern data is output from the write amplifier 20W of the preamplifier 20 to the write side line 21W. This writing current reaches the recording head coil terminal 14W of the magnetic head 14 via the recording-side line 21W.

그리고, 기록 헤드용 코일 단자(14W)로부터 자기 헤드(14)의 내부의 기록 자계 발생용 코일로 통전되어, 전류의 극성에 대응한 자계의 방향을 갖는 기록 자계를 발생한다. 자기 기록 매체(13)에는 데이터 패턴 '1'에 대응한 전류의 반전, 즉 자화 반전을 기록하고, 데이터 패턴 '0'으로는 전류의 무반전, 즉 무자화 반전을 기록한다. Then, it is energized from the recording head coil terminal 14W to the recording magnetic field generating coil inside the magnetic head 14 to generate a recording magnetic field having the direction of the magnetic field corresponding to the polarity of the current. The magnetic recording medium 13 records the inversion of the current corresponding to the data pattern '1', that is, the magnetization inversion, and the inversion of the current, that is, the magnetization inversion, is recorded in the data pattern '0'.

한편, 기록 정보의 재생은 자기 기록 매체(13)의 자화 방향을 자기 헤드(14) 내의 재생 헤드(MR 헤드)가 감지하여, 전압의 변화로서 전치 증폭기(20)에 입력한다. 이 전치 증폭기(20)에서는, 재생 증폭기(20R)에서 증폭된 재생 신호를 채널 LSI로 보내어, 데이터 패턴을 디코드함으로써, 기록 정보를 재생한다.On the other hand, in the reproduction of the recording information, the reproducing head (MR head) in the magnetic head 14 senses the magnetization direction of the magnetic recording medium 13 and inputs it to the preamplifier 20 as a change in voltage. In this preamplifier 20, the reproduction information amplified by the reproduction amplifier 20R is sent to the channel LSI to decode the data pattern, thereby reproducing the recording information.

다음으로, 도 3∼도 7을 이용하여, 서스펜션 상의 전송 선로의 구조의 일례를 설명한다. 도 3∼도 5는 서스펜션 상의 전송 선로의 구조의 단면도를 도시하며, 각각, 도 3은 3층 구조, 도 4는 4층 구조, 도 5는 5층 구조의 예이고, 또한, 도 3~도 5의 각각의 (a)는 커버가 있는 경우의 예이며, 도 3~도 5의 각각의 (b)는 커버 없는 경우의 예이다. 도 6 및 도 7은 HGA(헤드 짐벌 어셈블리)의 구조의 설명도를 도시하며, 도 6은 도 3의 예를, 도 7은 도 4 및 도 5의 예를 각각 나타낸다. Next, an example of the structure of the transmission line on a suspension is demonstrated using FIGS. 3 to 5 show cross-sectional views of the structure of the transmission line on the suspension, respectively, Fig. 3 is a three-layer structure, Fig. 4 is a four-layer structure, Fig. 5 is an example of a five-layer structure, and Figs. Each of (a) of 5 is an example when there is a cover, and each of (b) of FIGS. 3 to 5 is an example of no cover. 6 and 7 show explanatory views of the structure of the HGA (head gimbal assembly), FIG. 6 shows an example of FIG. 3 and FIG. 7 shows an example of FIGS. 4 and 5, respectively.

도 3의 (a)에 도시한, 서스펜션 상의 전송 선로(21a)는 기록측 선로(21W)와 재생측 선로(21R)가 소정의 간격으로 배치되며, 각각, 한쌍의 기록측 도체(30), 한쌍의 재생측 도체(31)로 이루어진다. 이들 기록측 도체(30), 재생측 도체(31)는 하부 도체(34)의 상부에 적층된 절연층(33)의 위에 배치되며, 커버(32)에 의해 덮힌 구조로 프린트 형성되어 있다. 또, 도 3의 (b)와 같이, 커버(32)가 없는 전송 선로(21b)로 하는 것도 가능하다. In the transmission line 21a on the suspension shown in Fig. 3A, the recording side line 21W and the reproduction side line 21R are arranged at predetermined intervals, respectively, a pair of recording side conductors 30, It consists of a pair of regenerative side conductors 31. These recording-side conductors 30 and reproduction-side conductors 31 are arranged on the insulating layer 33 stacked on the lower conductor 34, and are formed in a print covered structure. In addition, as shown in Fig. 3B, the transmission line 21b without the cover 32 can be used.

이 전송 선로(21a)(21b)에서, 특히 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31)의 하층에 절연층(33)을 사이에 두고 설치된 하부 도체(34)는, 두께가 5㎛ 정도의 구리 또는 구리를 주성분으로 하는 구리 합금으로 형성되어 있다. 이 하부 도체(34)는 전기적으로 접지 전위로 되어 있다. 또한, 절연층(33)은 두께가 5∼10㎛ 정도인 폴리이미드 수지로 형성되어 있다. 서스펜션(19)은 스테인레스로, 커버(32)는 폴리이미드 수지 등으로 각각 형성되어 있다. In the transmission lines 21a and 21b, in particular, the lower conductor 34 provided with the insulating layer 33 interposed between the recording side conductor 30 and the reproduction side conductor 31 has a thickness of about 5 m. It is formed from the copper or copper alloy which has copper as a main component. The lower conductor 34 is electrically at ground potential. The insulating layer 33 is made of polyimide resin having a thickness of about 5 to 10 µm. The suspension 19 is made of stainless, and the cover 32 is formed of polyimide resin or the like, respectively.

이와 같이, 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31), 절연층(33), 하부 도체(34)로 이루어지는 3층 구조의 전송 선로(21a)(21b)의 경우에는, 도 6에 도시한 바와 같이, 아암(18)의 일단과 서스펜션(19)의 일단(자기 헤드와 반대측)이 접합되며, 이 접합된 아암(18), 서스펜션(19) 상에 전송 선로(21a)(21b)가 실장된 구조로 된다. 이 전송 선로(21a)(21b)의 실장 구조의 경우, 전송 선로(21a)(21b)는 서스펜션(19) 상에, 예를 들면 접착제에 의한 실장으로 되기 때문에, 서스펜션(19)으로의 실장 변동이 발생할 경우가 있다. 따라서, 도 4에 도시하는 구조를 생각할 수 있다. Thus, in the case of the transmission line 21a, 21b of the three-layer structure which consists of the recording side conductor 30, the reproduction side conductor 31, the insulating layer 33, and the lower conductor 34, it is shown in FIG. As described above, one end of the arm 18 and one end (opposite to the magnetic head) of the suspension 19 are joined, and the transmission lines 21a and 21b are formed on the joined arm 18 and the suspension 19. The structure is mounted. In the case of the mounting structure of the transmission lines 21a and 21b, since the transmission lines 21a and 21b are mounted on the suspension 19 by, for example, adhesive, the mounting variations to the suspension 19 are changed. This may happen. Therefore, the structure shown in FIG. 4 can be considered.

도 4의 (a)에 도시한, 서스펜션(19) 상의 전송 선로(21c)는 상기 도 3의 구조 이외에, 하부 도체(34)의 하층에 스테인레스층(35)이 설치되어 있다. 이 4층 구조의 전송 선로(21c)의 경우에는, 도 7에 도시한 바와 같이 스테인레스층(35)은 플렉셔로서 형성되어, 서스펜션(19)과 합체된다. 이 구조에서도, 도 4의 (b)와 같이, 커버(32)가 없는 전송 선로(21d)로 하는 것도 가능하다. In the transmission line 21c on the suspension 19 shown in FIG. 4A, in addition to the structure of FIG. 3, the stainless layer 35 is provided below the lower conductor 34. In the case of the transmission line 21c of this four-layer structure, as shown in FIG. 7, the stainless layer 35 is formed as a flexure and is integrated with the suspension 19. As shown in FIG. Also in this structure, it is also possible to set it as the transmission line 21d without the cover 32 like FIG.4 (b).

이 전송 선로(21c)(21d)의 형성은, 예를 들면 전송 선로(21c)의 전체면의 크기의 스테인레스층(35)의 위에, 하부 도체(34), 절연층(33), 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31), 커버(32)(전송 선로(21d)는 커버 없음) 순으로 적층하여 프린트 형성한 후, 스테인레스층(35)의 플렉셔로 되는 부분 이외를 절단하여 제거함으로써 형성할 수 있다. The formation of the transmission lines 21c and 21d is, for example, on the lower conductor 34, the insulating layer 33, and the recording side conductor on the stainless layer 35 having the size of the entire surface of the transmission line 21c. 30, the regenerated conductor 31, and the cover 32 (the transmission line 21d has no cover) in the order of printing, and then cut and remove portions other than the flexure of the stainless layer 35. It can form by doing.

이 전송 선로(21c)(21d)의 실장 구조의 경우, 스테인레스층(35)과 서스펜션(19)을, 예를 들면 포인트 용접에 의해 실장함으로써, 실장 변동을 저감할 수 있다. 따라서, 포인트 용접에 의해 강하며, 또한 낮은 변동으로 실장할 수 있다. 또한, 서스펜션(19), 용접점, 스테인레스층(35), 하부 도체(34)와 접지를 공통으로 할 수 있기 때문에, 저주파수의 잡음 제거에 효과가 있다. 이 구조에서 저주파 잡음이 혼입될 경우에는, 도 5에 도시하는 구조로 하여도 된다. In the case of the mounting structure of the transmission lines 21c and 21d, the mounting variation can be reduced by mounting the stainless layer 35 and the suspension 19 by, for example, point welding. Therefore, it is strong by point welding and can be mounted with low fluctuations. In addition, since the suspension 19, the welding point, the stainless layer 35, and the lower conductor 34 can be made common to the ground, it is effective in noise reduction at low frequencies. When low frequency noise is mixed in this structure, the structure shown in FIG. 5 may be used.

도 5의 (a)에 도시한, 서스펜션(19) 상의 전송 선로(21e)는 상기 도 4의 구 조 이외에, 하부 도체(34)의 하층에, 폴리이미드 수지로 형성된 절연층(36)을 사이에 두고 스테인레스층(35)이 설치되어 있다. 이 5층 구조의 전송 선로(21e)의 경우에도, 상기 도 4의 예와 마찬가지로, 도 7에 도시한 바와 같이, 스테인레스층(35)은 플렉셔로서 형성되어 서스펜션(19)과 합체된다. 이 구조에서도, 도 5의 (b)와 같이 커버(32)가 없는 전송 선로(21f)로 하는 것도 가능하다. 이 전송 선로(21e, 21f)의 형성에서도, 상기 도 4와 마찬가지로 형성할 수 있다. The transmission line 21e on the suspension 19 shown in FIG. 5 (a) has an insulating layer 36 formed of polyimide resin under the lower conductor 34, in addition to the structure of FIG. On the other hand, the stainless layer 35 is provided. Also in this transmission line 21e having a five-layer structure, as shown in Fig. 4, the stainless layer 35 is formed as a flexure and incorporated with the suspension 19, as shown in Fig. 7. Also in this structure, it is also possible to set it as the transmission line 21f without the cover 32 like FIG.5 (b). Also in the formation of these transmission lines 21e and 21f, it can form similarly to FIG.

이 전송 선로(21e, 21f)의 실장 구조의 경우, 하부 도체(34) 아래에 절연층(36)을 협지하고, 절연층(36) 아래에 스테인레스층(35)을 설치하고, 스테인레스층(35)과 서스펜션(19)을, 예를 들면 포인트 용접에 의해 실장함으로써, 하부 도체(34)를 접지로부터 분리할 수 있다. 따라서, 포인트 용접에 의해 강하며, 또한 낮은 변동으로 실장할 수 있다. 또한, 하부 도체(34)를 접지로부터 분리할 수 있기 때문에, 저주파수의 잡음의 혼입을 방지할 수 있다. In the case of the mounting structure of the transmission lines 21e and 21f, the insulating layer 36 is sandwiched under the lower conductor 34, a stainless layer 35 is provided below the insulating layer 36, and the stainless layer 35 ) And the suspension 19 are mounted by, for example, point welding, so that the lower conductor 34 can be separated from the ground. Therefore, it is strong by point welding and can be mounted with low fluctuations. In addition, since the lower conductor 34 can be separated from the ground, mixing of low frequency noise can be prevented.

다음으로, 도 8∼도 10을 이용하여, 전송 선로의 하부 도체에 구리 또는 스테인레스를 이용한 경우의, 소비 전력의 막 두께 의존성을 시뮬레이션한 결과의 일례를 설명한다. 도 8∼도 10은 하부 도체의 막 두께에 대한 전력 변화의 특성도를 도시하고, 각각 절연층의 폴리이미드 수지의 막 두께가, 도 8은 5㎛, 도 9는 10㎛, 도 10은 18㎛의 예이다. 8-10, an example of the result of having simulated the film thickness dependency of power consumption when copper or stainless steel is used for the lower conductor of a transmission line is demonstrated. 8 to 10 show characteristics of power variation with respect to the film thickness of the lower conductor, wherein the film thickness of the polyimide resin of the insulating layer is 5 μm, FIG. 8 is 10 μm, and FIG. 10 is 18. It is an example of micrometer.

도 8에 도시한 바와 같이, 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 막 두께가 5㎛인 예이며, 하부 도체(34)에 구리(도전률 σ=5.8E+07(=5.8×107)〔S/m〕)를 이용한 경 우에는, 막 두께가 0.5㎛ 정도에서는 전력이 120W 정도이지만, 2㎛ 정도에서는 35W 정도로 감소하고, 5㎛ 정도에서는 30W 정도까지 감소하고, 그 이상의 막 두께에서는 30W 정도로 거의 일정해진다. 이에 대하여, 하부 도체(34)에 스테인레스(도전률 σ=1.1E+06(1.1×106〔S/m〕)를 이용한 경우에는, 반대로 막 두께가 0.5㎛ 정도에서는 전력이 30W 정도이지만, 2㎛ 정도에서는 100W 정도, 5㎛ 정도에서는 150W 정도까지 증가하고, 10㎛ 정도에서는 140W 정도로 되고, 20㎛ 정도에서는 110W 정도로 된다. 이것에 의해, 스테인레스에 비해, 구리를 이용한 경우에는 막 두께를 2㎛ 정도 이상으로 하여도 전력이 저감될 수 있는 것을 알 수 있다. 스테인레스층이 얇은 경우에는 전력은 작아지지만, 전송 선로로서는 사용할 수 없는 이유를 후술하기로 한다. As shown in FIG. 8, the film thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is an example of 5 micrometers, and copper (conductivity (sigma) = 5.8E + 07 (= 5.8x10 <7> ) is attached to the lower conductor 34. As shown in FIG. (S / m)), the power is about 120W at the film thickness of about 0.5 µm, but is reduced to about 35W at about 2µm, to about 30W at about 5µm, and 30W at the thickness of more than that. It becomes almost constant. On the other hand, when stainless steel (conductivity σ = 1.1E + 06 (1.1 × 10 6 [S / m]) is used for the lower conductor 34, on the contrary, when the film thickness is about 0.5 μm, the power is about 30 W. The thickness increases to about 100W at about 5 µm, to about 150W at about 5 µm, to about 140W at about 10 µm, and to about 110W at about 20 µm. It can be seen that the electric power can be reduced even if it is higher than the degree, and when the stainless layer is thin, the electric power becomes small, but it cannot be used as a transmission line.

도 9는 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 두께가 10㎛인 예이지만, 이 예에서 하부 도체(34)에 스테인레스를 이용한 경우에 비해, 구리를 이용한 경우에는 막 두께가 2㎛ 정도 이상에서는 전력이 25W 정도까지 감소되어, 상기 도 8의 예에 비해 전력을 보다 저감할 수 있는 것을 알 수 있다. FIG. 9 shows an example in which the thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is 10 占 퐉. However, in this example, the thickness of the polyimide resin in the lower conductor 34 is about 2 占 퐉 or more when copper is used. It can be seen that the power is reduced to about 25W, so that the power can be further reduced compared to the example of FIG.

도 10은 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 두께가 18㎛인 예이지만, 이 예에서도, 하부 도체(34)에 구리를 이용한 경우에는 막 두께가 2㎛ 정도 이상에서는 전력을 10W 정도까지 더 감소할 수 있는 것을 알 수 있다. FIG. 10 shows an example in which the thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is 18 µm. In this example, when copper is used for the lower conductor 34, the power is further increased to about 10 W when the thickness is about 2 µm or more. It can be seen that it can decrease.

이와 같이, 하부 도체(34)에 스테인레스 대신 구리를 이용한 경우에는, 막 두께를 얇게 하여도 소비 전력을 저감할 수 있다는 것을 알 수 있다. 이것은 전송 선로의 전송 손실의 저감으로 이어진다. Thus, when copper is used instead of stainless for the lower conductor 34, it turns out that power consumption can be reduced even if thickness is made thin. This leads to a reduction in transmission loss of the transmission line.

다음으로, 도 11∼도 13을 이용하여, 전송 선로의 하부 도체에 구리 또는 스테인레스를 이용한 경우의, 하부 도체의 소비 전력이 최소가 되는 도전률과 막 두께와의 관계를 시뮬레이션한 결과의 일례를 설명한다. 도 11∼도 13은 하부 도체의 도전률과 막 두께와의 관계의 특성도를 나타내고, 각각 절연층의 폴리이미드 수지의 막 두께가 도 11은 5㎛, 도 12는 10㎛, 도 13은 18㎛의 예이다. Next, an example of the result of simulating the relationship between the electrical conductivity and the film thickness at which the power consumption of the lower conductor is minimized when copper or stainless steel is used as the lower conductor of the transmission line using FIGS. 11 to 13 is shown. Explain. 11 to 13 show characteristics of the relationship between the conductivity of the lower conductor and the film thickness, respectively. The film thickness of the polyimide resin of the insulating layer is 5 μm in FIG. 11, 10 μm in FIG. 12, and FIG. 13 is 18. It is an example of micrometer.

도 11에 도시한 바와 같이, 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 막 두께가 5㎛인 예에서, 하부 도체(34)에 도전률 σ=5.8E+07〔S/m〕의 구리를 이용한 경우에는, 하부 도체(34)의 소비 전력이 최소가 되는 막 두께의 하한은 2㎛ 정도로 되며, 상한은 12㎛ 정도로 된다. 이 막 두께의 하한 및 상한의 결정 방법에 대해서는 도 14를 이용하여 후술한다. 이것에 대하여, 하부 도체(34)에 도전률 σ=1.1E+06〔S/m〕의 스테인레스를 이용한 경우에는, 하부 도체(34)의 소비 전력이 최소가 되는 막 두께의 하한 및 상한은 31㎛ 정도로 된다. 이것에 의해, 스테인레스에 비해, 구리를 이용한 경우에는 막 두께를 2∼12㎛ 정도로 함으로써 소비 전력을 최소로 할 수 있다는 것을 알 수 있다. As shown in FIG. 11, in the example where the film thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is 5 micrometers, the lower conductor 34 used copper of electrical conductivity (sigma) = 5.8E + 07 [S / m]. In this case, the lower limit of the film thickness at which the power consumption of the lower conductor 34 is minimum is about 2 µm, and the upper limit is about 12 µm. The method for determining the lower limit and the upper limit of the film thickness will be described later with reference to FIG. 14. On the other hand, in the case where stainless steel having a conductivity σ = 1.1E + 06 [S / m] is used for the lower conductor 34, the lower limit and the upper limit of the film thickness at which the power consumption of the lower conductor 34 is minimum are 31. It is about micrometer. Thereby, when copper is used compared with stainless, it turns out that power consumption can be minimized by making film thickness into about 2-12 micrometers.

도 12는 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 두께가 10㎛인 예, 도 13은 18㎛인 예이지만, 이들 예에서도, 하부 도체(34)에 스테인레스를 이용한 경우에 비해, 구리를 이용한 경우에는, 막 두께를 2∼15㎛ 정도로 함으로써 소비 전력을 최소로 할 수 있다는 것을 알 수 있다. Although FIG. 12 is an example in which the thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is 10 micrometers, and FIG. 13 is an example in which 18 micrometers is used, also in these examples, when copper is used compared with the case where stainless steel is used for the lower conductor 34, It can be seen that power consumption can be minimized by setting the film thickness to about 2 to 15 µm.

다음으로, 도 14를 이용하여, 하부 도체의 소비 전력이 최소가 되는 막 두께 의 하한 및 상한의 결정 방법의 일례를 설명한다. 도 14는 전송 선로의 전송 도체에 고주파 전류를 흘렸을 때의 하부 도체에 발생하는 유도 전류 상태의 설명도를 나타낸다. Next, with reference to FIG. 14, an example of the determination method of the minimum and upper limit of the film thickness at which the power consumption of a lower conductor becomes minimum is demonstrated. 14 is an explanatory diagram of an induced current state generated in a lower conductor when a high frequency current flows through a transmission conductor of a transmission line.

도 14에 나타내는 시뮬레이션에서는, 한쌍의 기록측 도체(30), 한쌍의 재생측 도체(31) 중, 한쌍의 기록측 도체(30)의 전송 도체에 1GHz의 전류(차동 전류: 예를 들면, 좌측 도체에는 안쪽으로부터 앞쪽으로의 방향, 우측 도체에는 반대로 앞쪽에서부터 안쪽으로의 방향)를 흘린 예이며, 하부 도체(34)는 도전률 σ=5.8E+07〔S/m〕, 즉 구리를 나타낸 것이다. 또, 한쌍의 재생측 도체(31)의 전송 도체에서도 마찬가지이다. In the simulation shown in FIG. 14, a current of 1 GHz (differential current: for example, left) is transmitted to a transmission conductor of a pair of recording-side conductors 30 and a pair of recording-side conductors 30 and a pair of reproduction-side conductors 31. The conductor is in the direction from the inside to the front, and the right conductor is the direction from the front to the inside). The lower conductor 34 shows the conductivity σ = 5.8E + 07 [S / m], that is, copper. . The same applies to the transmission conductors of the pair of reproduction-side conductors 31.

도 14에서, 한쌍의 기록측 도체(30)와 같은 전송 도체에 1GHz의 고주파 전류를 흘리면, 그 전류는 표면 부분(A부)에 집중하여 흐른다. 이 전송 도체에 전류가 흐르면, 절연층(33)을 사이에 두고 면하고 있는 하부 도체(34)에는 유도 전류가 흐른다. 그 흐르는 방향은, 전송 도체에 흐르는 전류와 반대의 방향이다. 유도 전류의 분포는 전송 도체에 가까운 부분일수록 커진다. In Fig. 14, when a high-frequency current of 1 GHz flows through a transmission conductor such as a pair of recording-side conductors 30, the current flows concentrated on the surface portion (Part A). When a current flows through this transmission conductor, an induced current flows through the lower conductor 34 facing the insulating layer 33. The flow direction is the direction opposite to the electric current which flows through a transmission conductor. The distribution of induced currents is larger for the portion closer to the transmission conductor.

도 14는, 하부 도체(34)의 막 두께가 두꺼운 경우(10㎛)를 나타내고 있다. 도 14와 같이, 하부 도체(34)가 두꺼운 경우에는 유도 전류는 하부 도체(34) 중, 전송 도체에 가까운 부분(B부)에 집중하여 흐르며, 유도 전류가 흐르는 부분의 보다 하부(C부)에는 도 14와 같이, 유도 전류와는 반대 방향의 유도 전류가 흐르기 시작한다. 이 C부에 흐르는 유도 전류를 2차 유도 전류로 정의한다. FIG. 14 shows the case where the thickness of the lower conductor 34 is thick (10 mu m). As shown in FIG. 14, when the lower conductor 34 is thick, the induction current flows concentrated in a portion (part B) of the lower conductor 34 close to the transmission conductor, and is lower than the portion in which the induction current flows (C part). In Fig. 14, an induction current in a direction opposite to the induction current starts to flow. The induced current flowing in the C portion is defined as the secondary induced current.

한편, 하부 도체(34)의 막 두께가 얇은 경우(5㎛)에는, 두꺼운 경우와 마찬 가지로, 전송 도체를 흐르는 전류의 유도 전류가 하부 도체(34)의 전송 도체에 가까운 부분에 흐른다. 그러나, 하부 도체(34)가 얇기 때문에, 유도 전류가 흐르면, 하부 도체(34)의 전체면을 흘러, 2차 유도 전류가 흐르는 영역이 없기 때문에, 2차 유도 전류는 흐르지 않는다. On the other hand, when the film thickness of the lower conductor 34 is thin (5 µm), similarly to the thick case, the induced current of the current flowing through the transmission conductor flows to the portion close to the transmission conductor of the lower conductor 34. However, since the lower conductor 34 is thin, when the induced current flows, it flows through the entire surface of the lower conductor 34, and since there is no region where the secondary induced current flows, the secondary induced current does not flow.

여기서는, 하부 도체(34)에서 발생하는 전송 손실은 하부 도체(34)에서 소비되는 에너지, 즉 발생되는 전력 손실로 정의하고 있다. 따라서, 미소 영역의 전류(i)의 제곱에 미소 영역의 저항(r)을 곱하여 계산할 수 있는 미소 영역에서의 소비 전력(p)을 하부 도체(34)의 체적 영역에 대하여 합산한 값이 총 소비 전력(P)이 된다. Here, the transmission loss generated in the lower conductor 34 is defined as the energy consumed by the lower conductor 34, that is, the power loss generated. Therefore, the sum of the power consumption p in the micro area, which can be calculated by multiplying the square of the current i in the micro area by the resistance r in the micro area, is summed over the volume area of the lower conductor 34. Electric power P becomes.

따라서, 2차 유도 전류가 흐르면, 그 흐른 만큼 소비 전력이 발생하게 된다. 이에 따라, 하부 도체(34)의 막 두께를 두껍게 하는 방향으로 2차 유도 전류가 흐르기 시작할 때가, 하부 도체(34)의 막 두께의 상한으로 된다. Therefore, when the secondary induced current flows, power consumption is generated as much as the flow flows. As a result, the time when the secondary induction current starts to flow in the direction of increasing the thickness of the lower conductor 34 becomes the upper limit of the thickness of the lower conductor 34.

반대로, 하부 도체(34)의 막 두께를 얇게 하면, 전송 도체의 전류에 대응한 유도 전류를 흘리는 영역이 없어져서, 유도 전류가 흐르지 않게 된다. 유도 전류가 흐르지 않기 때문에, 소비 전력은 적어지지만, 충분한 유도 전류가 흐르고 있지 않기 때문에, 전송 도체의 고주파 전류와 유도 전류와의 커플링이 적어진다. 그 결과, 전송 도체 사이의 상호 인덕턴스가 작아져서, 등가적으로 선로의 특성 임피던스가 높아져 보인다. 즉, 전송 선로의 고주파 신호 영역에서는, 상이한 특성 임피던스의 선로를 바이패스하여 통과하고 있는 상태로 되며, 전송 왜곡의 원인으로도 된다. 따라서, 소비 전력은 저감하지만, 전송 특성은 나쁘게 되기 때문에 전송 선로로서는 바람직하지 못하다. 따라서, 소비 전력이 피크가 될 때의 하부 도체(34)의 막 두께가 하한이 된다.On the contrary, when the film thickness of the lower conductor 34 is made thin, the area | region which flows the induced current corresponding to the electric current of a transmission conductor will disappear, and an induced current will not flow. Since induction current does not flow, power consumption decreases, but since sufficient induction current does not flow, the coupling of the high frequency current and induction current of a transmission conductor becomes small. As a result, mutual inductance between transmission conductors becomes small, and the characteristic impedance of a line looks equivalently high. In other words, in the high frequency signal region of the transmission line, a state of bypassing a line having a different characteristic impedance is passed, which may cause transmission distortion. Therefore, power consumption is reduced, but transmission characteristics become poor, which is not preferable as a transmission line. Therefore, the film thickness of the lower conductor 34 when power consumption peaks becomes a lower limit.

또한, 도 14의 유도 전류의 폭 방향의 확대를 보면, 선로 도체의 폭 이상으로 넓어져 있다. 따라서, 시뮬레이션 결과로부터 폭 방향의 확대 범위를 구하면, 도체와 도체의 간격의 절반만큼의 폭이 도체 단부면으로부터 넓어져 있는 것을 알 수 있다. 따라서, 하층 도체의 폭은 적어도 한쌍의 도체 폭과 도체 간격의 합보다 크게 하는 것이 필요하며, 한쌍의 도체 폭의 2배이면 충분하다. Moreover, when the width direction of the induced current of FIG. 14 is enlarged, it is expanded beyond the width | variety of a line conductor. Therefore, when the enlargement range of the width direction is calculated | required from the simulation result, it turns out that the width | variety of half of the space | interval of a conductor and the conductor becomes wide from the conductor end surface. Therefore, it is necessary to make the width of the lower conductor larger than the sum of at least one pair of conductor widths and conductor spacing, and two times the pair of conductor widths is sufficient.

다음으로, 도 15를 이용하여, 절연층의 폴리이미드 수지의 막 두께에 의존하는 하부 도체의 도전률에 대한 최소 소비 전력의 관계를 시뮬레이션한 결과의 일례를 설명한다. 도 15는 하부 도체의 도전률에 대한 최소 소비 전력의 관계의 특성도를 나타낸다. Next, an example of the result of simulating the relationship of the minimum power consumption with respect to the electrical conductivity of the lower conductor which depend on the film thickness of the polyimide resin of an insulating layer is demonstrated using FIG. 15 shows a characteristic diagram of the relationship of the minimum power consumption to the conductivity of the lower conductor.

도 15에 도시한 바와 같이, 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 막 두께가 5㎛인 예에서는, 하부 도체(34)에 스테인레스(도전률 σ=1.1E+06〔S/m〕)를 이용한 경우에는 110W 정도의 전력이 소비되는 데 대하여, 구리(도전률 σ=5.8E+07〔S/m〕)를 이용한 경우에는 30W 정도의 전력이 소비된다. As shown in FIG. 15, in the example where the film thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is 5 micrometers, stainless steel (conductivity (sigma) = 1.1E + 06 [S / m]) is made to the lower conductor 34. As shown in FIG. When used, about 110W of power is consumed, while when copper (conductivity σ = 5.8E + 07 [S / m]) is used, about 30W of power is consumed.

마찬가지로, 절연층(33)의 폴리이미드 수지의 막 두께가 10㎛인 예에서는, 70W 정도로부터 20W 정도로 소비 전력을 저감할 수 있으며, 폴리이미드 수지의 막 두께가 18㎛인 예에서는 45W 정도로부터 10W 정도로 소비 전력을 저감할 수 있다. Similarly, in the example where the film thickness of the polyimide resin of the insulating layer 33 is 10 micrometers, power consumption can be reduced about 70 W to about 20 W. In the example where the film thickness of the polyimide resin is 18 micrometers, about 10 W to about 45 W The power consumption can be reduced to such an extent.

이상 설명한 도 8∼도 15에 나타내는 시뮬레이션의 결과로부터, 하부 도체(34)에 구리를 사용함으로써, 종래에는 25㎛의 막 두께의 스테인레스를 사용한 데 대하여, 5㎛의 막 두께의 구리로 하여도 전송 손실을 저감할 수 있다. 구리의 막 두께는 시뮬레이션의 결과로부터 2∼12㎛ 정도의 범위 내로 설정하여도, 전송 손실의 저감 효과를 기대할 수 있다. From the results of the simulations shown in FIGS. 8 to 15 described above, copper is used for the lower conductor 34, so that even though stainless steel having a thickness of 25 µm is conventionally used, copper having a thickness of 5 µm is transferred. The loss can be reduced. Even if the film thickness of copper is set in the range of about 2-12 micrometers from the simulation result, the effect of reducing transmission loss can be expected.

또한, 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31)와 하부 도체(34)와의 간격을 정하는 절연층(33)의 막 두께를 종래의 10㎛에 대하여, 5∼10㎛까지 얇게 하면 전송 손실이 증가하지만, 선로가 얇아지기 때문에 전송 선로의 강성를 저감할 수 있어, 헤드 주위의 배선부에도 적용할 수 있다. 또한, 헤드 주위의 선로에서의 임피던스 미스매치를 해소할 수 있어서, 전송 대역의 확대를 도모할 수 있다. In addition, if the film thickness of the insulating layer 33 that defines the distance between the recording side conductor 30 and the reproduction side conductor 31 and the lower conductor 34 is reduced to 5 to 10 μm from the conventional 10 μm, transmission loss Although this increases, the line becomes thinner, so that the rigidity of the transmission line can be reduced, and it can also be applied to the wiring around the head. In addition, the impedance mismatch in the line around the head can be eliminated, and the transmission band can be expanded.

따라서, 본 실시예의 자기 디스크 장치에 따르면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다. Therefore, according to the magnetic disk device of this embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 서스펜션(19) 상의 전송 선로(21a, 21b)가, 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31), 절연층(33), 하부 도체(34)로 이루어지는 3층 구조인 경우에, 하부 도체(34)를 구리로 함으로써, 하부 도체(34)의 유도 전류에 의한 전력 소비를 저감하여 선로의 전송 손실을 저감할 수 있고, 또한 선로의 두께를 얇게 하여 헤드 주위 배선부의 강성을 저감할 수 있다. (1) When the transmission lines 21a and 21b on the suspension 19 have a three-layer structure consisting of the recording side conductor 30, the reproduction side conductor 31, the insulating layer 33, and the lower conductor 34. By using the lower conductor 34 as copper, the power consumption due to the induced current of the lower conductor 34 can be reduced to reduce the transmission loss of the line, and the thickness of the line can be reduced to reduce the rigidity of the head peripheral wiring portion. can do.

(2) 서스펜션(19) 상의 전송 선로(21c, 21d)가 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31), 절연층(33), 하부 도체(34), 스테인레스층(35)으로 이루어지는 4층 구조인 경우에는, 상기 (1)과 마찬가지의 효과 이외에, 스테인레스층(35)과 서스펜션(19)을 포인트 용접에 의해 실장함으로써, 강하며, 또한 낮은 변동으로 실장할 수 있으며, 또한 서스펜션(19), 스테인레스층(35), 하부 도체(34)와 접지를 공통으로 할 수 있기 때문에, 저주파수의 잡음을 제거할 수 있다. (2) The transmission lines 21c and 21d on the suspension 19 consist of the recording side conductor 30 and the reproduction side conductor 31, the insulating layer 33, the lower conductor 34, and the stainless layer 35. In the case of the layer structure, in addition to the effect similar to the above (1), by mounting the stainless layer 35 and the suspension 19 by point welding, it is possible to mount strong and low fluctuations, and the suspension 19 ), Since the stainless layer 35 and the lower conductor 34 can have the same ground, the low frequency noise can be removed.

(3) 서스펜션(19) 상의 전송 선로(21e, 21f)가, 기록측 도체(30) 및 재생측 도체(31), 절연층(33), 하부 도체(34), 절연층(36), 스테인레스층(35)으로 이루어지는 5층 구조인 경우에는, 상기 (1)과 마찬가지의 효과 이외에, 하부 도체(34) 아래에 절연층(36)을 사이에 두고 스테인레스층(35)을 설치하고, 스테인레스층(35)과 서스펜션(19)과의 포인트 용접에 의해 강하며, 또한 낮은 변동으로 실장할 수가 있으며, 또한 하부 도체(34)를 접지로부터 분리할 수 있기 때문에, 저주파수의 잡음의 혼입을 방지할 수 있다. (3) The transmission lines 21e and 21f on the suspension 19 include the recording side conductor 30 and the reproduction side conductor 31, the insulating layer 33, the lower conductor 34, the insulating layer 36, and stainless steel. In the case of the five-layer structure which consists of the layer 35, in addition to the effect similar to said (1), the stainless layer 35 is provided below the lower conductor 34 through the insulating layer 36, and the stainless layer It is strong by point welding between the 35 and the suspension 19, and can be mounted with low fluctuations, and the lower conductor 34 can be separated from the ground, thereby preventing the mixing of low frequency noise. have.

본 발명에 따르면, 전송 선로에서의 전송 손실을 저감함으로써 전기 특성을 향상시킬 수 있으며, 또한 헤드 주위 배선부의 강성을 저감함으로써 진동 특성을 향상시킬 수 있기 때문에, 전기 특성의 향상과 진동 특성의 향상을 양립시켜 전송 선로의 임피던스 플랫화를 실현하는 것이 가능해진다.
According to the present invention, the electrical characteristics can be improved by reducing the transmission loss in the transmission line, and the vibration characteristics can be improved by reducing the rigidity of the wiring around the head, thereby improving the electrical characteristics and improving the vibration characteristics. It is possible to realize the flattening of the impedance of the transmission line by making it compatible.

Claims (5)

자기 기록 매체에 대하여 정보를 기록 재생하는 자기 헤드와, 상기 자기 헤드와의 사이에서 기록 재생 신호를 전송하는 전송 선로와, 상기 전송 선로를 실장하는 서스펜션을 갖는 자기 디스크 장치에 있어서, A magnetic disk apparatus having a magnetic head for recording and reproducing information on a magnetic recording medium, a transmission line for transmitting a recording and reproduction signal between the magnetic head, and a suspension for mounting the transmission line, comprising: 상기 서스펜션에 실장된 상기 전송 선로는 한쌍의 도체로 이루어지는 기록측 선로와 한쌍의 도체로 이루어지는 재생측 선로를 포함하며, The transmission line mounted on the suspension includes a recording side line consisting of a pair of conductors and a reproduction side line consisting of a pair of conductors, 상기 기록측 선로 및 상기 재생측 선로의 도체의 하층에는 절연층을 사이에 두고 하부 도체가 설치되고, Lower conductors are provided in the lower layer of the conductors of the recording side line and the reproduction side line with an insulating layer interposed therebetween. 상기 하부 도체는 두께가 5㎛의 구리 또는 구리를 주성분으로 하는 구리 합금으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치. And the lower conductor is made of copper having a thickness of 5 µm or a copper alloy containing copper as a main component. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연층은 두께가 5∼10㎛의 폴리이미드 수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치. The said insulating layer is formed with the polyimide resin of 5-10 micrometers in thickness, The magnetic disk apparatus characterized by the above-mentioned. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 하부 도체는 전기적으로 접지 전위로 되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치. And the lower conductor is electrically at ground potential. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 하부 도체의 하층에는 스테인레스층이 설치되며, The lower layer of the lower conductor is provided with a stainless layer, 상기 스테인레스층은 플렉셔(flexure)로서 형성되어, 상기 서스펜션과 합체되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치. And said stainless layer is formed as a flexure and incorporated with said suspension. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 하부 도체의 하층에는 절연층을 사이에 두고 스테인레스층이 설치되고, A lower layer of the lower conductor is provided with a stainless layer with an insulating layer interposed therebetween, 상기 스테인레스층은 플렉셔(flexure)로서 형성되며, 상기 서스펜션과 합체되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.And said stainless layer is formed as a flexure and is incorporated with said suspension.
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