KR100543647B1 - 불소가스 발생장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 불소가스 발생장치에 관한 것으로서, 불화수소를 함유한 혼합 용융염으로 이루어진 전해욕을 전기분해하여 불소가스를 발생시키기 위한 불소가스 발생장치로서, 상기 전해욕속으로 불화수소가스를 공급하는 불화수소가스 공급라인과, 상기 불화수소가스 공급라인상에 배치되고, 상기 불화수소가스의 공급 정지시에 폐쇄되는 제 1 자동밸브와, 상기 불화수소가스의 공급 정지시에 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인내에 잔존하는 불화수소가스를 배제하여 불활성가스로 치환하는 불활성 가스 치환수단을 구비하여, 불소가스 발생장치의 HF의 공급 정지시 또는 비상시에도 전해욕이 상류 라인을 부식시키지 않고, 또 라인내에 HF가 잔류하지 않도록 하는 것을 특징으로 한다.
Description
도 1은 본 발명의 불소가스 발생장치의 주요부의 모식개략도,
도 2는 도 1의 HF공급라인 주변의 확대도,
도 3은 도 2의 불활성 가스 공급라인의 변형예, 및
도 4는 종래 사용했던 불소가스 발생장치의 모식도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 전해조 2 : 전해욕
3 : 양극실 4 : 음극실
5 : 제 1 액면검지수단 6 : 제 2 액면검지수단
7, 8 : 자동밸브 12 : 온수가열장치
14 , 15: HF제해탑 16 : 격벽
22, 23 : 가스 발생구 24 : HF공급라인
25 : HF도입구 31∼34, 84 : 압력계
51 : 양극 52 : 음극
65, 66 : 수동밸브 73 : 제 2 자동밸브
74, 82 : 자동밸브 81 : 제 1 자동밸브
83, 85 : 유량계 91 : 불활성 가스 공급라인
92 : 불활성 가스 저장탱크
본 발명은 불소가스 발생장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 등의 제조공정에 사용되는 불순물이 매우 적은 고순도 불소가스를 발생시키는 불소가스 발생장치에 관한 것이다.
종래부터 불소가스는, 예를 들면 반도체 제조분야에서는 빼놓을 수 없는 기간(基幹) 가스이다. 그리고, 그 자체로 이용되는 경우도 있지만, 특히 불소가스를 기초로 하여 삼불화 질소가스(이하, NF3가스라고 함) 등을 합성하고, 이것을 반도체의 클리닝 가스나 드라이 에칭용 가스로 한 것은 급속히 수요가 늘어나고 있다. 또, 불화네온가스(이하, NeF가스라고 함), 불화아르곤가스(이하, ArF가스라고 함), 불화 크립톤가스(이하, KrF가스라고 함) 등은 반도체집적회로의 패터닝시에 이용되는 엑시머레이저 발진용 가스이며, 그 원료에는 희가스와 불소가스의 혼합가스가 많이 이용되고 있다.
반도체 등의 제조에 사용되는 불소가스나 NF3가스는 불순물이 적은 고순도 가스가 요구된다. 또 반도체 등의 제조 현장에서는 불소가스를 충전한 가스봄베에서 필요량의 가스를 취출하여 사용하고 있다. 이 때문에 가스봄베의 보관 장소, 가스의 안전성 확보나 순도유지 등의 관리가 대단히 중요하다. 또, NF3가스는 최근에 수요가 급증하고 있으므로 공급면에 문제가 있어, 어느 정도 재고를 안지 않으면 안되는 문제도 있다. 이를 고려하면 고압의 불소가스를 취급하기 보다도 온디맨드(on-demand), 온사이트의 불소가스 발생장치를 사용하는 장소에 설치하는 것이 바람직하다.
통상, 불소가스는 도 4에 도시한 전해조에 의해 발생시키고 있다. 도 4는 불소가스 발생장치의 모식도이다. 전해조 본체(201)의 재질은 통상 Ni, 모넬(Monel), 탄소강 등이 사용되고 있다. 또, 전해조 본체(201)의 바닥부에는 발생한 수소가스와 불소가스가 혼합되는 것을 방지하기 위해 폴리테트라플루오로에틸렌 등으로 이루어진 바닥판(212)이 설치되어 있다. 전해조 본체(201) 속에는 불화칼륨-불화수소계(이하, KF-HF계라고 함)의 혼합 용융염이 전해욕(202)으로서 채워져 있다. 그리고, 모넬 등에 의해 형성되어 있는 스커트(209)에 의해 양극실(210)과 음극실(211)로 분리되어 있다. 이 양극실(210)에 수납된 탄소 또는 니켈(이하, Ni라고 함) 양극(203)과, 음극실(211)에 수납된 Ni음극(204) 사이에 전압을 인가하고, 전해하는 것에 의해 불소가스를 발생시키고 있다. 또, 발생한 불소가스는 발생구(208)에서 배출되고, 음극측에서 발생하는 수소가스는 수소가스 배출구(207)에서 배출된다. 불소가스의 발생에 의해 전해욕의 액면이 저하했을 때는 전해조의 외부로부터 음극실의 전해욕속까지 연장되는 불화수소가스(이하, HF라고 함) 공급라인에 접속되는 HF공급구(213)로부터 전해욕 속으로 직접 HF가 공급된다. HF의 공급은 도시하지 않은 전해욕의 액면의 높이를 감시하는 센서와 연동하여 이루어진다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1]
일본 특표평9-505853호 공보
그러나, 이와 같은 불소가스 발생장치에 있어서, HF공급 정지의 경우는 HF 공급라인상에 배치되는 밸브가 차단됨으로써 HF공급라인내의 밸브 하류측이 부압(負壓)이 되고, HF공급구(213)를 통해 HF공급라인 내부까지 전해욕이 흘러들어가 라인 내부가 전해욕의 고화에 의해 폐색(閉塞)된다. 전해욕에 의해 폐색된 라인은 모두 교환하지 않으면 안되어 장치의 복구에 시간과 비용이 든다.
또, HF자체도 부식성이 높은 기체이고, 라인상에 장착된 여러가지 기기의 보호를 위해 HF와의 접촉시간을 가능한한 짧게 하지 않으면 안된다.
본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는 불소가스 발생장치의 긴급 정지시 또는 HF의 공급 정지시에도, 전해욕이 상류라인에 흘러들어가 고화하여 라인 내부를 폐색하지 않고, 또 라인 내부에 HF가 잔류하지 않는 불소가스 발생장치를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 청구항 1에 기재된 불소가스 발생장치는 불화수소를 함유한 혼합 용융염으로 이루어진 전해욕을 전기분해하여 불소가스를 발생시키기 위한 불소가스 발생장치에 있어서, 상기 전해욕 속으로 불화수소가스를 공급하는 불화수소가스 공급라인과, 상기 불화수소가스 공급라인상에 배치되고, 상기 불화수소 가스의 공급 정지시에 폐쇄되는 제 1 자동밸브와, 상기 불화수 소가스의 공급정지시에 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인내에 잔존하는 불화수소가스를 배제하여 불활성가스로 치환하는 불활성가스 치환수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면 불소가스 발생장치가 HF의 공급을 정지한 경우에 HF공급라인의 제 1 자동밸브 하류측의 라인내에 잔존하는 HF를 불활성가스로 치환하기 때문에 HF공급라인 내부가 부압이 되지 않는다. 따라서, HF공급라인으로 전해욕이 흘러들어가지 않고, 전해욕의 고화에 의한 라인 내부의 폐색을 방지할 수 있고, 또 불활성 가스로 치환된 라인상에 장착되어 있는 기기를 HF로부터 보호할 수 있다. 또, 불활성 가스로서는 N2, He, Ne, Ar, Kr, Xe(크세논), Rn(라돈)을 예시할 수 있지만, 이들 가스에 한정되지 않는다.
청구항 2에 기재된 불소가스 발생장치는 청구항 1에 있어서, 상기 불활성 가스 치환수단이 상기 불화수소가스의 공급 정지를 검출하는 검출수단과, 상기 제 1 자동밸브 하류측의 상기 불화수소가스 공급라인으로 불활성 가스를 공급하는 불활성가스 공급라인과, 상기 불활성가스 공급라인상에 배치되고 상기 검출수단과 연동하여 개폐하여 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인내부로 상기 불활성 가스를 공급하는 제 2 자동밸브를 구비하는 것이다.
이 구성에 의하면 불소가스 발생장치가 HF의 공급을 정지한 경우에 자동적으로 HF공급라인의 제 1 자동밸브 하류측의 라인 내부에 잔존하는 HF를 불활성 가스로 치환하기 때문에 HF공급라인 내부가 부압이 되지 않는다. 따라서, HF공급라인 에 전해욕이 흘러들어가지 않고, 전해욕의 고화에 의한 라인내부의 폐색을 확실히 방지하고, 또 불활성 가스로 치환된 라인상에 장착되어 있는 기기를 HF로부터 보호할 수 있다.
청구항 3에 기재된 불소가스 발생장치는 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 불활성가스 공급라인이 공급하는 불활성가스를 저장하는 불활성가스 저장탱크를 구비한 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면 장치내부에 불활성가스 저장탱크를 구비하기 때문에 외부로부터의 불활성 가스의 공급이 불안정하거나 또는 정지된 경우라도 안정된 압력으로 일정량의 불활성 가스를 HF공급라인에 공급할 수 있다.
청구항 4에 기재된 불소가스 발생장치는 불화수소를 함유하는 혼합용융염으로 이루어진 전해욕을 전기분해하여 불소가스를 발생시키기 위한 불소가스 발생장치로서, 상기 전해욕속으로 불화수소가스를 공급하는 불화수소가스 공급라인과, 상기 불화수소가스 공급라인상에 배치되고 상기 불화수소가스의 공급 정지시에 폐쇄되는 제 1 자동밸브와, 상기 불화수소 가스의 비상시에 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인 내부에 잔존하는 불화수소가스를 배제하여 불활성가스로 치환하는 불활성가스 치환수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면 불소가스 발생장치가 긴급정지 버튼이 눌려지는 등의 비상시의 경우에, HF공급라인의 제 1 자동밸브 하류측의 라인 내부에 잔존하는 HF를 불활성가스로 치환하므로 HF공급라인 내부가 부압이 되지 않는다. 따라서, HF공급라인으로 전해욕이 흘러들어가지 않고, HF의 고화에 의한 라인내부의 폐색을 방지하 고, 또 불활성 가스로 치환된 라인상에 장착되어 있는 기기를 HF로부터 보호하는 효과를 얻을 수 있다.
청구항 5에 기재된 불소가스 발생장치는 청구항 4에 있어서, 상기 불활성가스 공급라인이 공급하는 불활성 가스를 저장하는 불활성가스 저장탱크를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면 장치내에 불활성가스 저장탱크를 구비하므로 비상시에 외부로부터의 불활성 가스의 공급이 차단된 경우라도 일정량의 불활성 가스를 HF공급라인에 공급할 수 있다.
(발명의 실시형태)
이하, 본 발명에 따른 불소가스 발생장치의 실시형태를 도 1, 도 2를 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 실시형태예의 불소가스 발생장치의 주요부의 개략도이다. 도 1에서, 도면부호 “1”은 전해조, “2”는 KF-HF계 혼합 용융염으로 이루어진 전해욕, “3”은 양극실, “4”는 음극실, “5”는 양극실의 액면 높이를 검지하는 제 1 액면검지수단이다. 도면부호 “6”은 음극실의 액면 높이를 검지하는 제 2 액면검지수단이다. 도면부호 “22”는 양극실(3)로부터 발생하는 불소가스의 발생구이고, “23”은 음극실(4)로부터 발생하는 수소가스의 발생구이고, “24”는 전해조(1)에 HF를 공급하는 HF공급라인이다. “81”은 HF공급라인 상에 배치된 제 1 자동밸브이고, “82”는 HF공급라인상에 배치된 자동밸브이고, “83”은 HF공급라인(24)내를 통과하는 HF의 유량을 감시하고 있는 유량계이다. 여기서, 자동밸 브라는 것은 전자밸브 등과 같이 외부로부터의 신호에 의해 개폐되는 밸브이다. “84”는 HF의 압력을 계측하는 압력계이다. “91”은 HF공급라인(24)에 불활성가스를 공급하는 불활성가스 공급라인이고, “92”는 불활성가스 공급라인에 불활성가스를 공급하는 불활성가스 저장탱크이고, “73”은 불활성가스 공급라인(91)상에 배치된 제 2 자동밸브이고, “74”는 불활성가스 공급라인(91)상에 배치된 자동밸브이다. “14”는 음극실(4)로부터 배출되는 수소와 HF의 혼합가스중에서 HF를 제해(除害)하는 제해탑이고, “15”는 양극실(3)로부터 배출되는 F2와 HF의 혼합가스중에서 HF를 제해하여 불소가스를 배출하는 HF제해탑이다.
또, 도시하지 않은 것으로서 HF의 공급 정지를 검지하는 HF공급정지 검지장치(검지수단)를 구비하고 있다. 또, 불활성가스 공급라인(91), 불활성가스 저장탱크(92), 제 2 자동밸브(73), 자동밸브(82), 자동밸브(74), HF공급정지 검지장치로 불활성가스 치환수단이 구성된다. 불활성가스 저장탱크(92)를 구비한 라인과, 통상의 불활성가스 공급라인(91)은 별도로 설치할 수 있고, 동일 공급라인상에 불활성가스 저장탱크(92)를 설치할 수도 있다. 라인 상에는 압력계 및 감압밸브를 설치하는 것이 바람직하다.
전해조(1)는 Ni, 모넬, 순철, 스테인레스강 등의 금속 또는 합금으로 형성되어 있다. 전해조(1)는 Ni 또는 모넬로 이루어진 격벽(16)에 의해 양극실(3) 및 음극실(4)로 분리되어 있다. 양극실(3)에는 양극(51)이 배치되어 있다. 그리고, 음극실(4)에는 음극(52)이 설치되어 있다. 또, 양극에는 저분극성 탄소전극을 사용 하는 것이 바람직하다. 또, 음극으로서는 Ni 등을 사용하는 것이 바람직하다. 전해조(1)의 상부덮개(17)에는 양극실(3) 및 음극실(4) 내부를 대기압으로 유지하는 압력유지수단의 하나인 도시하지 않은 가스라인으로부터의 퍼지가스 출입구와, 양극실(3)로부터 발생하는 불소가스의 가스발생구(22)와, 음극실(4)로부터 발생하는 수소가스의 가스 발생구(23)가 설치되어 있다. 이들 발생구(22, 23)에는 스테인레스강, 하스텔로이 등의 불소가스에 대해 내성을 가진 재료로 형성된 굴절된 관을 구비하고, 양극실(3) 및 음극실(4)로부터의 비말(飛沫)이 가스라인 내부로 침입하는 것을 억제하고 있다. 또, 상부덮개(17)에는 전해욕(2)의 액면 높이가 저하된 경우에 HF를 공급하는 HF공급라인(24)으로부터의 HF도입구(25)와, 제 1 액면검지수단(5) 및 제 2 액면검지수단(6)이 설치되어 있다.
도 2는 도 1의 HF공급라인 주변의 확대도이다. HF공급라인(24)은 불소가스 발생장치의 외부에 있는 HF공급원과 접속되고, 그 접속부에서 전해조(1)에 배치된 HF도입구(25)와의 접속부까지 연장되어 있다. 전해조(1)의 근방에서 HF공급라인(24)에는 상류측에서 하류측을 향해 차례로 제 1 자동밸브(81), 유량계(83), 자동밸브(82), 압력계(84)가 배치되어 있다. 제 1 자동밸브(81)는 HF공급정지 검지장치와 연동하여 개폐하는 것으로 전해조(1)에 대한 HF의 공급을 차단한다. 유량계(83)는 HF공급라인을 통해 전해조(1)에 공급되어 있는 HF의 유량을 감시하고 있다. 자동밸브(82)에는 제 1 액면검지수단 및 제 2 액면검지수단에 의해 전해욕의 액면의 저하를 검지하고, 전해욕에 HF의 공급을 실시하도록 개폐한다. 또, HF공급라인(24)은 HF의 액화를 방지하기 위한 온도조정용 히터로 덮혀져 있다.
불활성가스 공급라인(91)은 불소가스 발생장치의 외부에 있는 불활성가스 공급원과 접속되고, 그 접속부에서 불활성가스 저장탱크(92)를 통해 전해조(1)의 근방까지 연장되고, 그 전해조(1)의 근방에서 2개로 분기된다. 분기된 2개의 불활성가스 공급라인(91)은 HF공급라인(24)상에 배치되는 제 1 자동밸브(81)와 유량계(83) 사이에 있는 HF공급라인(24)의 상류측 접속부와, 자동밸브(82)와 압력계(84) 사이에 있는 HF공급라인(24)의 하류측 접속부에 각각 접속된다. 제 2 자동밸브(73)는 분기된 불활성가스 공급라인(91)상의 상류측 접속부 근처에 배치되어 있다. 자동밸브(74)는 불활성가스 공급라인(91)상의 하류측 접속부 근처에 배치되어 있다. 불활성가스 저장탱크(92)의 입력은 불활성가스 공급원에서 상시 불활성가스의 공급을 받고, 불활성가스 저장탱크의 출력은 항상 일정한 압력으로 안정된 불활성 가스를 불활성가스 공급라인(91)에 공급한다.
또, 불활성가스 공급라인(91)은 상술한 구성뿐만 아니라 도 3에 도시한 구성이라도 좋다. 도 3은 도 2의 공급라인의 변형예이다. 예를 들면 도 3의 (a)와 같이 제 2 자동밸브(73), 자동밸브(74)를 설치하지 않고 역지(逆止)밸브를 통해 직접 HF공급라인(24)의 제 1 자동밸브(81)보다 하류측에 접속하는 구성이라도 좋다. 이 경우, 제 1 자동밸브(81)보다 하류측의 압력이 불활성가스 공급라인(91)내의 압력보다 낮을때만 불활성가스가 공급된다. 반대로 압력이 높을 때는 역지밸브에 의해 불활성가스 공급라인(91)으로의 역류를 방지한다. 또, 도 3의 (b)와 같이 도 3의 (a)의 역지밸브 대신에 제 2 자동밸브(73)를 설치하고, 그 하류측에 유량계(83)를 설치하는 구성이라도 좋다. 이 경우, HF의 공급은 HF공급라인(24) 내부에 압력을 가해 실시한다. HF공급중에는 제 2 자동밸브(73)가 폐쇄되고, HF의 공급이 정지하면 유량계와 연동하여 제 2 자동밸브(73)가 개방되어 잔류한 HF가 불활성가스와 치환된다. 또, 도 3의 (c)와 같이 불활성가스 공급라인(91)을 HF공급라인(24)의 제 1 자동밸브(81)의 하류측에 접속하여 불활성가스를 상시 공급하도록 하고, 혼합효과에 의해 라인 속으로 N2를 도입하여 라인속의 HF를 배출하는 구성이라도 좋다. 이 경우, HF의 공급이 정지되어도 그대로 불활성가스의 공급이 계속되어 라인 내부에 잔류한 HF가 불활성가스로 치환된다.
계속해서 본 실시형태예인 불소가스 발생장치의 통상 운전시의 전해욕으로의 HF의 공급동작에 대해 설명한다. 전기분해에 의해 전해욕속의 반응이 진행하는 것에 의해 불소가스를 얻음과 동시에 전해욕을 소비한다. 전해욕의 소비는 제 1 액면검지수단(5) 및 제 2 액면검지수단(6)에 의해 전해욕의 액면의 저하를 감시하는 것으로 검지한다. 전해욕의 규정량의 소비를 검지하면 HF의 공급 동작을 실시한다. 구체적으로는 HF공급라인(24)의 상류측 접속부에 접속되는 불활성가스 공급라인(91)상에 배치되는 제 2 자동밸브(73)를 폐쇄하고, HF공급라인상에 배치되어 있는 제 1 자동밸브(81), 자동밸브(82), HF공급라인(24)의 하류측 접속부에 접속되는 불활성가스 공급라인(91)상에 배치되는 자동밸브(74)를 개방한다. 이에 의해 불활성가스 저장탱크(92)로부터 공급되는 일정압력의 불활성 가스가 HF공급라인(24)과 불활성가스 공급라인(91)의 하류측 접속부로부터 HF공급라인(24)내의 자동밸브(82)보다 하류측으로 공급된다. HF공급라인(24)에 공급된 불활성가스가 캐리어가스가 되어 HF공급라인내의 HF를 전해욕으로 공급한다. 전해욕에 공급된 HF의 양은 유량계(83)에 의해 계측된다.
HF가 공급되는 것에 의해 전해욕이 규정량 상승하면 제 1 액면검지수단(5) 및 제 2 액면검지수단(6)을 통해 HF공급정지 장치에 의해 검지되고, HF의 공급정지동작을 실시한다. 구체적으로는 제 1 자동밸브(81)를 폐쇄하여 HF의 공급을 차단하고, 자동밸브(82)와 제 2 자동밸브(73)를 개방하면, 자동밸브(74)가 폐쇄됨으로써 HF공급라인(24)과 불활성가스 공급라인(91)의 상류측 접속부에서 HF공급라인(24)내의 제 1 자동밸브(81)보다 하류측으로, 불활성가스 저장탱크(92)로부터 공급되는 일정압력의 불활성가스가 공급되어 제 1 자동밸브(81) 하류측의 HF가 불활성가스로 치환된다. 이에 의해 HF공급라인(24)내부에 잔류한 HF를 모두 전해조(1)로 보낼 수 있고, 또 라인내부의 압력을 유지할 수 있다. 또, 항상 전해조(1)에 공급되는 불활성 가스는 발생하는 수소와 함께 가스발생구(23)에서 배출된다.
계속해서 비상시의 불소가스 발생장치의 전해욕으로의 HF의 공급 동작에 대해 설명한다. 불소가스 발생장치의 비상시에는 HF공급 정지장치에 의해 HF의 공급정지 동작을 실시한다. 구체적으로는 제 1 자동밸브(81)를 폐쇄하여 HF의 공급을 차단하고, 자동밸브(82)와 제 2 자동밸브(73)를 개방하면, 자동밸브(74)가 폐쇄됨으로써 HF공급라인(24)과 불활성 가스 공급라인(91)의 상류측 접속부에서 HF공급라인(24)내의 제 1 자동밸브(81) 하류측으로, 불활성가스 저장탱크(92)로부터 공급되는 일정압력의 불활성 가스가 공급되어 제 1 자동밸브(81) 하류측의 HF가 불활성 가스로 치환된다. 이에 의해 HF공급라인(24) 내부에 잔류한 HF를 모두 전해조(1)로 보낼 수 있다. 불활성가스 저장탱크(92)에는 불활성가스 공급원에서 불활성 가스의 공급이 차단된 경우라도 HF공급라인(24) 내부에 잔류한 HF를 전해조(1)로 보내고 라인내의 HF에서 불활성가스로 치환하기 위해 충분한 양의 불활성 가스를 저장하고 있다.
이상과 같이 본 실시형태예에 따른 불소가스 발생장치는 HF공급라인에 불활성 가스를 공급하는 것으로 HF의 캐리어가스로서 작용하고, 또 HF공급정지시나 비상시에 폐쇄된 제 1 자동밸브 하류측의 HF공급라인내의 HF를 불활성가스로 치환한다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시형태에 한정되지 않고, 특허청구범위에 기재된 것에 있어서, 도 3의 (a)∼도 3의 (c)에 도시한 바와 같이 여러 가지 설계변경이 가능하다. 예를 들면 실시형태에서는 제 2 자동밸브(73)가 긴급 정지 검지장치와 연동하여 여는 구성이지만, 상시 폐쇄된 구성으로 해도 좋다. 또 이 구성에 의하면 HF공급 정지시에도 제 1 자동밸브(81)를 개폐하는 것만으로 좋고, 분기된 하류측의 불활성가스 공급라인(91)과 제 3 자동밸브와 자동밸브(74)는 불필요해진다.
또, 상술한 실시형태에서는 불활성가스 저장탱크(92)에 의해 불활성가스의 공급을 안정시키고 있지만, 외부로부터 안정된 불활성가스의 공급을 받는 것으로 불활성 저장탱크(92)를 구비하지 않은 구성이라도 좋다.
본 발명의 실시형태는 이상과 같이 구성되고, 불소가스 발생장치의 HF의 공 급 정지시, 또는 비상시에 있어서, 제 1 자동밸브(81)가 폐쇄되고, 자동밸브(82)가 개방되고, 자동밸브(74)가 폐쇄되고 제 2 자동밸브(73)가 개방되면, HF가스 공급라인(24)내의 제 1 자동밸브(81) 하류측으로 불활성 가스가 공급된다. 이에 의해 HF의 공급을 정지해도 제 1 자동밸브(81) 하류측이 부압이 되지 않고, 전해욕이 HF가스 공급라인(24) 내부로 흘러들어가지 않는다. 또, HF공급시 이외에는 HF가 불활성가스로 치환되어 있기 때문에 라인상에 배치된 유량계(83), 압력계(84) 등의 장치가 HF와 접촉하는 시간을 적게 할 수 있다.
또, 불활성가스 저장탱크(92)를 구비하여 불활성가스 공급원으로부터의 공급이 불안정하거나 또는 공급 그 자체가 정지한 경우라도 안정되게 HF공급라인(24)으로 불활성가스를 공급할 수 있다.
본 발명에 의하면 전해조로의 HF의 공급이 정지된 경우라도, HF공급라인의 HF의 공급을 차단하는 자동밸브 하류측의 라인 내부에 잔존하는 HF를 불활성가스로 치환함으로써 HF공급라인 내부가 부압이 되지 않는다. 이에 의해 HF공급라인에 전해욕이 흘러들어가는 것을 방지하고, 또 불활성가스로 치환된 라인상에 장착되어 있는 기기를 HF로부터 보호하는 효과를 얻을 수 있다.
Claims (5)
- 불화수소를 함유한 혼합 용융염으로 이루어진 전해욕을 전기분해하여 불소가스를 발생시키기 위한 불소가스 발생장치에 있어서,상기 전해욕속으로 불화수소가스를 공급하는 불화수소가스 공급라인;상기 불화수소가스 공급라인상에 배치되고, 상기 불화수소 가스의 공급 정지시에 폐쇄되는 제 1 자동밸브; 및상기 불화수소가스의 공급정지시에 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인내에 잔존하는 불화수소가스를 배제하여 불활성가스로 치환하는 불활성가스 치환수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 불소가스 발생장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 불활성 가스 치환수단은 상기 불화수소가스의 공급 정지를 검출하는 검출수단;상기 제 1 자동밸브 하류측의 상기 불화수소가스 공급라인으로 불활성 가스를 공급하는 불활성가스 공급라인; 및상기 불활성가스 공급라인상에 배치되고, 상기 검출수단과 연동하여 개폐하여 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인내부로 상기 불활성 가스를 공급하는 제 2 자동밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 불소가스 발생장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 불활성가스 공급라인은 공급하는 불활성가스를 저장하는 불활성가스 저장탱크를 구비한 것을 특징으로 하는 불소가스 발생장치.
- 불화수소를 함유하는 혼합용융염으로 이루어진 전해욕을 전기분해하여 불소가스를 발생시키기 위한 불소가스 발생장치에 있어서,상기 전해욕속으로 불화수소가스를 공급하는 불화수소가스 공급라인;상기 불화수소가스 공급라인상에 배치되어, 상기 불화수소가스의 공급 정지시에 폐쇄되는 제 1 자동밸브;상기 불화수소 가스의 비상시에 상기 불화수소가스 공급라인의 상기 제 1 자동밸브 하류측의 라인 내부에 잔존하는 불화수소가스를 배제하여 불활성가스로 치환하는 불활성가스 치환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 불소가스 발생장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 불활성가스 공급라인은 공급하는 불활성 가스를 저장하는 불활성가스 저장탱크를 구비한 것을 특징으로 하는 불소가스 발생장치.
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