KR100535929B1

KR100535929B1 - 숏 아크 방전 램프

Info

Publication number: KR100535929B1
Application number: KR10-2001-0058702A
Authority: KR
Inventors: 이케다나오히사; 스기하라마사노리
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2000-09-21
Filing date: 2001-09-21
Publication date: 2005-12-09
Also published as: DE60128428T2; DE60128428D1; TW514955B; KR20020023158A

Abstract

본 발명은 박 시일부(61)에 배치된 금속박(56)에 내접(內接)하는 시일용 석영 부재(57)와의 사이에 발생하는 박의 들뜸 현상을 방지함과 동시에, 상기 박 시일부(61)에 발생하는 크랙이나 램프로부터의 누출, 나아가 상기 램프의 조기 파괴를 방지하는 것을 목적으로 하는 것으로서, 본 발명의 숏 아크 방전 램프는 발광 공간 내에 배치된 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 금속박과, 상기 금속박에 외접(外接)하는 석영 관부와, 상기 금속박에 내접하는 시일용 석영 부재와, 상기 시일용 석영 부재에 삽입하고 또한 상기 금속박에 전기적으로 접속된 금속 부재를 구비하고, 상기 금속박과 상기 석영 관 및 상기 시일용 석영 부재를 봉착하여 상기 발광 공간의 기밀성을 유지하는 박 시일부가 형성되고, 상기 램프의 입력 전력이 4kw 이상이고, 또한 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되는 직류 점등의 숏 아크 방전 램프에 있어서, 상기 시일용 석영 부재에 삽입하는 금속 부재의 상기 시일용 석영 부재에 삽입되는 부분의 길이를 상기 시일용 석영 부재의 전체 길이의 약 4할 이상으로 한 것을 특징으로 한다.

Description

숏 아크 방전 램프{SHORT ARC DISCHARGE LAMP}

본 발명은 예컨대 반도체 제조공정이나 액정 제조공정에 이용되는 자외선 조사용의 숏 아크 방전 램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 숏 아크 방전 램프로서 박(箔) 시일되어 있는 숏 아크 방전 램프의 음극측 시일부의 구조에 관한 것이다.

반도체용이나 액정용의 숏 아크 방전 램프중 입력 전력이, 예컨대 1kw를 넘는 대형 숏 아크 방전 램프에서는 방전 공간의 기밀성을 유지하기 위해 박 시일을 이용한 것이 대부분이다. 그러나, 상기 박 시일을 이용한 램프에서 상기 박 시일부로부터 가스가 누출되거나 램프 자신이 파괴되는 문제가 있었다. 이는 석영 유리 중의 금속 불순물 등의 양(+)이온이 음극측의 음(-)전하에 이끌려 상기 음극측의 박 시일부에 집중되어, 상기 박 시일부에 집중된 양이온이 상기 금속박에 외접하는 석영 관부와 상기 금속박을 벗겨내기 때문이라고 생각된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 예컨대, 미합중국 특허 US 4, 673, 843호에 기재된 발명에 있는 바와 같이, 음극측의 석영 관 외표면에 음극과 전기적으로 접속된 동 전위 와이어를 설치하는 수단이 유효하다.

입력 전력이 1kw 이상인 상기 숏 아크 방전 램프에 있어서, 상기 동 전위 와이어를 설치한 숏 아크 방전 램프의 음극측 박 시일부 구조를 도 6에 종래예로서 나타낸다. 상기 램프의 구성은 발광 공간을 덮는 벌브부(51), 상기 벌브부(51) 내에 배치된 음극(52), 상기 음극(52)에 접속된 내부 리드봉(53), 상기 내부 리드봉(53)을 유지하는 내부 리드봉 유지용 부재(54), 상기 리드봉(53)의 음극(52)측과는 역방향의 단부에 접속된 금속 와셔(55), 상기 금속 와셔(55)에 용착(溶着)된 금속박(56), 상기 금속박(56)의 내면에 접하도록 배치된 시일용 석영 부재(57), 상기 금속박(56)의 외면에 접하도록 배치된 석영 관부(58), 외부 리드봉(59), 상기 외부 리드봉(59)과 금속박(56)을 접속하는 금속 와셔(60), 램프의 기밀성을 유지하는 박 시일부(61), 금속제의 베이스부(62), 리드선(63), 상기 리드선과 상기 리드봉을 접속하는 접속부(64), 음극(52)과 전기적으로 접속된 동 전위 와이어(65)로 이루어져 있다.

상기 박 시일부(61)에 이용하는 금속박(56)에는, 예컨대 몰리브덴 등의 고융점 금속재료를 이용한 두께 수십 ㎛의 리본 형상의 박이 이용되고 있다. 상기 박 시일부(61)에서는 상기 금속박(56)과 상기 금속박(56)에 내접하는 시일용 석영 부재(57) 및 상기 금속박(56)에 외접하는 석영 관부(58)가 밀착됨으로써 발광 공간측의 기밀성을 유지하고 있다. 여기서, 상기와 같은 금속박(56)과 상기 금속박(56)에 외접하는 석영 관부(58)와의 밀착 부분의 박리(剝離)는, 석영 유리 중의 금속 불순물 등의 양이온이 음극(52)측의 음전하에 이끌려 상기 음극(52)측의 상기 박 시일부(61)에 집중되고, 상기 박 시일부(61)에 집중된 양이온이 상기 금속박(56)에 외접하는 석영 관부(58)와 상기 금속박(56)을 벗겨내는 문제는 상기 동 전위 와이어(65)를 이용함으로써 회피된다.

그러나, 시장에서의 요구에 의해 상기 숏 아크 방전 램프의 대형화가 진행되고, 예컨대 램프로의 입력 전력이 4kw를 넘는 램프 등 상기 입력 전력에 따라 상기 박 시일부(61)의 직경이나 길이가 더욱 커졌다. 이러한 대형 램프에 있어서, 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되면, 상기 금속박(56)과 상기 금속박(56)에 내접하는 상기 시일용 석영 부재(57)사이에 박의 들뜸 현상이 발생한다는 문제가 새롭게 발생되었다.

입력 전력이 4kw를 넘는 대형 램프로서, 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상이 되는 램프에 있어서, 상기 박 시일부(61)에 배치된 금속박(56)에 내접하는 시일용 석영 부재(57)와의 사이에 발생하는 박의 들뜸 현상을 방지함과 동시에, 상기 박 시일부(61)에 발생하는 크랙이나 램프로부터의 누출, 나아가 상기 램프의 조기 파괴를 방지하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 숏 아크 방전 램프는 발광 공간 내에 배치된 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 금속박과, 상기 금속박에 외접하는 석영 관부와, 상기 금속박에 내접하는 시일용 석영 부재와, 상기 시일용 석영 부재에 삽입하고, 또한 상기 금속박에 전기적으로 접속된 금속 부재를 구비하고, 상기 금속박과 상기 석영 관 및 상기 시일용 석영 부재를 봉착하여 상기 발광 공간의 기밀성을 유지하는 박 시일부가 형성되고, 상기 램프의 입력 전력이 4kw 이상이고, 또한 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되는 직류 점등의 숏 아크 방전 램프에 있어서, 상기 시일용 석영 부재에 삽입하는 금속 부재의 상기 시일용 석영 부재에 삽입되는 부분의 길이를 상기 시일용 석영 부재의 전체 길이의 약 4할 이상으로 한 것을 특징으로 한다.

또한, 적어도 음극측 박 시일부의 일부에 음극과 전기적으로 접속된 도전성 부재를 석영 관부의 외표면을 따라 배치해도 된다.

또한, 발광 공간 내에 배치된 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 금속박과, 상기 금속박에 외접하는 석영 관부와, 상기 금속박에 내접하는 시일용 석영 부재와, 상기 시일용 석영 부재에 삽입하고 또한 상기 금속박에 전기적으로 접속된 금속 부재를 구비하고, 상기 금속박과 상기 석영 관 및 시일용 석영 부재를 봉착하여 상기 발광 공간의 기밀성을 유지하는 박 시일부가 형성되고, 상기 램프의 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되는 직류 점등의 숏 아크 방전 램프에 있어서, 상기 시일용 석영 부재에 삽입하는 금속 부재의 상기 시일용 석영 부재에 삽입되는 부분의 길이를 상기 시일용 석영 부재의 전체 길이의 약 4할 이상으로 하고, 또한 상기 금속 부재의 음극측의 직경이 급전부(給電部)측의 직경에 비해 가늘게 되어 있고, 및/또는 시일용 석영 부재의 리드봉 삽입용의 구멍 직경이 상기 리드봉 삽입구측에 비해 음극측에서 넓게 되어 있어도 된다.

또한, 발광 공간 내에 배치된 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 금속박과, 상기 금속박에 외접하는 석영 관부와, 상기 금속박에 내접하는 시일용 석영 부재와, 상기 시일용 석영 부재에 삽입되고 또한 상기 금속박에 전기적으로 접속된 금속 부재를 구비하고, 상기 금속박과 상기 석영 관 및 상기 시일용 석영 부재를 봉착하여 상기 발광 공간의 기밀성을 유지하는 박 시일부가 형성되고, 상기 램프의 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되는 직류 점등의 숏 아크 방전 램프에 있어서, 외부 리드봉의 음극측 선단에 금속박 또는 금속선이 전기적으로 접속되어 있고, 시일용 석영 부재의 상기 리드봉 삽입구측에서 전체 길이의 약 4할 이상의 위치까지 상기 금속박 또는 금속선이 삽입되어 있는 것을 특징으로 한다.

<발명의 실시 형태>

본 발명은 입력 전력이 4kw 이상인 대형 램프에 있어서, 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되는 경우에 상기 동 전위 와이어를 이용해도 박 시일부에 박의 들뜸 현상이 발생하는 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이다. 또한, 본 발명은 이러한 높은 점등 압력의 경우에 상기 시일부의 상기 박 내표면에 박의 들뜸 현상이 발생하는 것을 새롭게 발견하고, 상기 금속박과 상기 금속박에 내접하는 시일용 석영 부재 사이에 있는 상기 금속박의 내표면의 들뜸 현상을 억제하는 것을 목적으로 개량한 것이다. 즉, 시일용 석영 부재의 전체 길이의 4할 이상인 곳까지 외부 리드봉 등의 금속 부재를 삽입함으로써 상기 금속박의 내표면의 양이온의 집중을 방지하고자 하는 것이다. 또한, 상기 금속 부재를 시일용 석영 부재의 전체 길이의 4할 이상의 위치까지 삽입하면 음극으로부터의 열을 받아 상기 금속 부재의 온도가 상승하여 산화 때문에 상기 금속 부재가 체적 팽창된다. 이 경우, 상기 시일용 석영 부재의 외부 리드봉 삽입 구멍이 산화에 의해 체적 팽창한 상기 외부 리드봉보다 작으면 상기 체적 팽창에 의해 응력(stress)을 받아 크랙 등이 발생하여 램프의 파괴에 이른다. 그래서, 상기 외부 리드봉 등의 금속 부재와 상기 시일용 석영 부재 사이에 상기 체적 팽창을 충분히 흡수하는 간극을 형성한 것이다.

최초에 종래의 램프에 있어서, 상기 램프의 점등 압력이 높은 경우에 들뜸 현상의 발생율을 도 5에 도시한다. 점등 압력이 1.9×10⁶의 경우는 박의 들뜸(箔浮) 현상이 발생하지 않지만, 2.0×10⁶을 넘으면 박의 들뜸 현상이 높은 확률로 발생한다. 또한, 상기 박의 들뜸 현상은 박의 내측에서 발생했다.

도 1에 본 발명의 숏 아크 방전 램프의 시일부 구조의 개략 설명도를 도시한다. 상기 램프의 구성에서 발광 공간을 덮는 벌브부(1), 상기 벌브부(1) 내에 배치된 음극(2), 상기 음극(2)에 접속된 내부 리드봉(3), 상기 내부 리드봉(3)을 유지하는 내부 리드봉 유지용 부재(4), 상기 리드봉(3)의 음극(2)측이 아닌 단부에 접속된 금속 와셔(5), 상기 금속 와셔(5)에 용착된 금속박(6), 상기 금속박(6)의 주위에 배치된 시일용 석영 부재(7), 외부 리드봉(8), 석영 관(9), 외부 리드봉(8)과 금속박(6)을 접속하는 금속 와셔(10), 박 시일부(11), 금속제의 베이스부(12), 리드선(13), 상기 외부 리드봉(8)과 상기 리드선(13)의 접속부(14), 동 전위 와이어(15)로 이루어져 있다. 여기서, 동 전위 와이어(15)는 음극과 전기적으로 접속된 도전성 부재의 일형태이다. 상기 도전성 부재는 동 전위 와이어에 한정되지 않고, 예컨대 도전성 피막이나 금속판 등이어도 된다.

본 발명에 있어서, 외부 리드봉(8)은 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이에 대해 4할 이상 삽입되어 있다. 이 구성은 상기 외부 리드봉(8)을 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이에 대해 4할 이상 삽입함으로써 상기 금속박(6)에 내접하는 시일용 석영 부재의 전위를 음극(2)과 동 전위로 할 수 있고, 상기 시일부(11) 부근에 배치된 상기 금속박(6)의 내측에 석영 유리 중의 양이온이 집중되는 것을 막을 수 있으며, 상기 박의 내면에 발생하는 박의 들뜸 현상을 막을 수 있다. 또한, 상기 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이의 4할 이상인 곳까지 외부 리드봉(8)을 삽입하는 경우, 상기 시일용 석영 부재(7)는 복수 개로 분할되어도 좋으며, 전체 길이의 4할이란, 상기 시일부에 상당하는 부분으로서 복수 개의 부재를 합친 전체 길이에 대해 4할 이상이면 된다는 의미이다. 또한, 상기 시일용 석영 부재는 금속 와셔(10)보다 전극측에 배치된 석영 부재로서 외부 리드봉의 유지용 석영 부재(16)는 포함하지 않는다.

도 4에 외부 리드봉(8)의 시일용 석영 부재(7)로의 삽입 길이와 들뜸에 의한 시일부 파손 발생율의 관계를 도시한다. 동 도면의 세로축은 들뜸에 의한 박 시일부 파손 발생율(%)을 표시하고, 가로축은 박 시일부(11)에 배치된 상기 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이에 대한 상기 외부 리드봉(8)이 삽입되어 있는 길이의 비율(「외부 리드봉이 삽입되어 있는 길이」/「시일용 석영 부재의 전체 길이」)을 나타내고 있다. 동 도면에 의하면 상기 외부 리드봉(8)의 삽입 길이의 비가 0.4이상에서는 들뜸에 의한 상기 박 시일부(11)의 파손 발생율은 거의 0으로 되고, 상기 비가 0.4미만에서는 돌연 높은 비율로 발생되기 시작한다. 요컨대, 상기 박 시일부(11)의 구조에서는 상기 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이에 대한 상기 외부 리드봉(8)의 삽입 길이의 비는 0.4, 즉 4할 이상 필요한 것을 알 수 있다.

다음에 도 2에서 본 발명의 제2 실시예를 나타낸다. 상기 램프의 구성에서는 발광 공간을 덮는 벌브부(1), 상기 벌브부(1) 내에 배치된 음극(2), 상기 음극(2)에 접속된 내부 리드봉(3), 상기 내부 리드봉(3)을 유지하는 내부 리드봉 유지용 부재(4), 상기 내부 리드봉(3)의 음극(2)측이 아닌 단부에 접속된 금속 와셔(5), 상기 금속 와셔(5)에 용착된 금속박(6), 상기 금속박(6)이 주위에 배치된 시일용 석영 부재(7), 외부 리드봉(8), 석영 관(9), 외부 리드봉(8)과 금속박(6)을 접속하는 금속 와셔(10), 박 시일부(11), 금속제의 베이스부(12), 리드선(13), 상기 외부 리드봉(8)과 상기 리드선(13)과의 접속부(14), 동 전위 와이어(15), 상기 외부 리드봉(8)의 음극측 선단부에서 직경이 가늘게 형성된 리드봉 선단 가는 직경부(811)로 이루어져 있다.

본 발명에서, 상기 외부 리드봉(8)을 상기 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이에 대해 4할 이상 삽입하는 것은 종래의 숏 아크 방전 램프보다 상기 외부 리드봉(8)의 선단을 음극(2)측에 가깝게 한다. 이 구성에 의해 상기 외부 리드봉(8)은 음극(2)의 발생 열의 영향을 받아 상기 외부 리드봉(8)의 온도가 상승된다. 또한, 이 온도의 상승은 대형 숏 아크 방전 램프에서 현저하며, 상기 외부 리드봉(8)의 음극측이 산화되는 경우가 발생한다. 이 산화에 따라 상기 외부 리드봉(8)의 음극측이 직경 방향으로 체적 팽창을 일으키고, 시일용 석영 부재(7)에 응력을 주어 상기 시일용 석영 부재(7)로부터 크랙이 발생하여 램프의 누출이나 파괴를 일으키는 경우가 있다.

그래서 본 발명의 제2 실시예에서는 상기 외부 리드봉(8)의 음극측의 직경을 가늘게 한 리드봉 선단 가는 직경부를 형성함으로써 산화에 의한 체적 팽창이 발생해도 상기 시일용 석영 부재(7)에 응력이 가해지지 않도록 충분한 간극이 형성되어, 상기 램프의 파괴 등을 방지하고 있다.

도 2에 도시한 본 발명의 제2 실시예의 구체적인 실시 형태에 대해 도시한다. 시일용 석영 부재(7)의 형상은 전체 길이는 45㎜, 급전부측의 직경은 23㎜, 외부 리드봉 삽입구멍(711)의 직경은 6.4㎜, 상기 삽입 구멍(711)의 깊이는 34㎜, 외부 리드봉(8)의 급전부측의 직경은 ø6㎜, 외부 리드봉(8)의 음극측의 직경은 ø4㎜, 외부 리드봉의 직경이 가늘게 된 부분의 길이는 22㎜이다. 이러한 형상의 상기 시일용 석영 부재(7)를 배치한 숏 아크 방전 램프에 있어서, 금속박(6)은 61㎜ × 10㎜ × 40㎛의 리본 형상을 5매 배치하고 있다. 상기 숏 아크 방전 램프는 수은을 0.04g/cc 봉입하고 있고, 발광 공간 내에는 불활성 가스로서 크세논을 1 × 10⁵Pa 봉입하고 있다.

상기 램프의 점등 평가를 행했다. 입력 전력 5kw에서 점등한 바, 780시간 경과해도 박의 들뜸이나 시일용 석영 부재(7)에 상기 외부 리드봉(8)으로부터 걸리는 응력에 의한 크랙은 발생하지 않았다. 또한, 외부 리드봉(8)의 음극측의 상태는 음극측 선단에서 약 10㎜의 범위가 산화 때문에 변색해 있었다. 또한, 상기 음극측 선단의 외부 직경은 점등 초기가 ø4㎜인데 대해, ø4.15㎜까지 체적 팽창해 있었다. 요컨대, 금속 부재인 외부 리드봉의 산화에 의한 체적 팽창은 ø4.15 - ø4 = 0.15㎜로 된다. 본 발명에서 상기 금속 부재와 상기 시일용 석영 부재와의 사이에 0.15㎜ 이상 간극이 있으면 상기 시일용 석영 부재(7)에 걸리는 응력을 충분히 흡수할 수 있게 된다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예로서 외부 리드봉과 시일용 석영 부재와의 구성을 도시하는 확대도이다. 도 3(a)는 상기 외부 리드봉(81)의 형상이 단일 직경을 가지는 봉재이고, 상기 시일용 석영 부재(71)의 외부 리드봉(81)의 삽입 구멍(711)의 전극측 구멍부(712)의 직경이 다른 삽입 구멍(711)의 직경보다 크게 되어 있다. 이에 따라, 외부 리드봉(81)이 상기 시일용 석영 부재(71)의 전체 길이의 4할 이상 삽입되어 있고, 박부에 석영 유리의 양이온이 집중되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 전극측 구멍부(712)가 다른 삽입 구멍(711)의 직경보다 커져 있으므로, 상기 외부 리드봉(81)이 온도 상승 때문에 산화에 의해 체적 팽창되어 상기 시일용 석영 부재(71)에 응력이 가해지거나 크랙을 발생시켜 램프의 파괴를 일으키는 일은 없다.

도 3(b)는 시일용 석영 부재(7)에 형성된 외부 리드 삽입 구멍(711)에 종래의 경우와 동일한 정도의 길이의 외부 리드봉(22)이 삽입되어 있고, 상기 외부 리드봉(22)의 음극측에 전기적으로 접속된 금속박(31)이 배치되어 있다. 또한, 시일용 석영 부재(7)의 외부 리드봉 삽입 구멍(711)에 삽입된 상기 금속박(31)의 음극측 위치는 상기 시일용 석영 부재(7)의 전체 길이에 대해 4할 이상인 곳으로 하고 있다. 상기 구성에 의해, 석영 유리 중의 양이온의 집중을 방지할 수 있다. 또한, 상기 금속박(31)의 음극측 부분이 온도상승에 의한 산화에 따라 체적 팽창해도 상기 금속박은 용이하게 변형할 수 있어 상기 시일용 석영 부재(7)에 응력을 주어 크랙이 생기는 일이 없어, 램프의 누출이나 파괴를 방지할 수 있다.

도 3(c)는 상기 도 3(b)의 구성에 있어서 금속박(31) 대신에 금속선(32)을 이용한 경우이다. 금속선 등을 이용하는 경우, 시일용 석영 부재(72)에 형성하는 외부 리드봉 삽입 구멍(711)의 음극(2)측 부분을 외부 리드봉(83)의 직경보다 작게 할 수 있다. 이 경우에도 전극측 구멍부(713)의 직경이 금속선의 산화에 의한 체적 팽창분보다 크면 시일용 석영 부재(72)에 응력이 가해지지 않고, 상기 도 3(b)와 동일한 효과를 발휘한다.

입력 전력이 4kw이상이고, 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상인 대형 숏 아크 방전 램프에 있어서, 상기 금속박과 상기 금속박에 내접하는 시일용 석영 부재와의 사이에 발생하는 상기 금속박 내표면의 박의 들뜸을 방지할 수 있다. 또한, 박의 들뜸 방지 수단으로서 이용되는 금속봉이나 금속박 또는 금속선 등의 금속 부재가 음극측에서 받는 열에 의해 산화 팽창해도 상기 박 시일부에 크랙을 발생시키거나 상기 크랙에 의한 램프의 누출이나 파괴가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 숏 아크 방전 램프의 시일부 구조를 도시하는 설명도,

도 2는 본 발명의 숏 아크 방전 램프의 시일부 구조를 도시하는 제2 실시예,

도 3은 본 발명의 외부 리드봉과 유지용 석영 부재의 다른 실시예를 도시하는 설명도,

도 4는 본 발명의 숏 아크 방전 램프의 리드봉의 삽입 길이의 비(比)와 박(箔)의 들뜸에 의한 시일부 파손 발생율의 관계를 도시하는 도면,

도 5는 본 발명의 숏 아크 방전 램프의 점등 압력에 의한 박의 들뜸 발생율의 표,

도 6은 종래의 숏 아크 방전 램프의 시일부 구조를 도시하는 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 발광 공간을 덮는 벌브(bulb)부 2 : 음극

3 : 내부 리드봉 4 : 내부 리드봉 유지부재

5 : 금속 와셔 6 : 금속박

7 : 시일용 석영 부재 8 : 외부 리드봉

811 : 리드봉 선단 가는 직경부 9 : 석영 관부

10 : 외부 리드봉과 금속박을 접속하는 금속 와셔

11 : 박 시일부 12 : 금속제의 베이스부

13 : 리드선 14 : 접속부

15 : 동 전위 와이어 16 : 유지용 석영 부재

31 : 금속박 32 : 금속선

51 : 발광공간을 덮는 벌브부 52 : 음극

53 : 내부 리드봉

54 : 내부 리드봉 유지 부재 55 : 금속 와셔

56 : 금속박 57 : 시일용 석영 부재

571 : 외부 리드봉 삽입 구멍 58 : 석영 관부

59 : 외부 리드봉

60 : 외부 리드봉과 금속박을 접속하는 금속 와셔

61 : 박 시일부 62 : 금속제의 베이스부

63 : 리드선 64 : 접속부

65 : 동 전위 와이어 71, 72 : 시일용 석영 부재

711 : 외부 리드봉 삽입 구멍 712, 713 : 전극측 구멍부

81, 82, 83 : 외부 리드봉

Claims

발광 공간 내에 대향배치된 양극 및 음극과, 상기 음극에 전기적으로 접속된 금속박과, 상기 금속박에 외접하는 석영 관부와, 상기 금속박에 내접하는 단일의 부재에 의해 구성되는 시일용 석영 부재와, 상기 시일용 석영 부재에 형성된 삽입구멍에 삽입되고, 또한 상기 금속박에 전기적으로 접속된 금속제의 외부 리드봉을 구비하고,

상기 금속박과 상기 석영 관부 및 상기 시일용 석영 부재가 봉착되어 상기 발광 공간의 기밀성을 유지하는 박 시일부가 형성되고,

입력 전력이 4kw 이상이고, 또한 점등 시의 동작 압력이 2×10⁶Pa 이상으로 되는 직류 점등의 숏 아크 방전 램프에 있어서,

상기 시일용 석영 부재에 형성된 삽입구멍은 단일의 직경을 가지는 바닥이 있는 구멍 형상으로 형성되어 있고, 상기 외부 리드봉은, 삽입구멍에 삽입되는 부분의 길이가 상기 시일용 석영 부재의 전체 길이의 약 4할 이상임과 더불어, 그 음극측 선단부가 그것보다 급전부측의 부분보다도 가늘게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 숏 아크 방전 램프.
제1항에 있어서, 적어도 음극측 박 시일부의 일부에 음극과 전기적으로 접속된 도전성 부재를 석영 관부의 외표면을 따라 배치한 것을 특징으로 하는 숏 아크 방전 램프.
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