KR100525818B1 - Probe contact apparatus for display panel inspection - Google Patents
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Abstract
다수개(22a)의 프로브를 프로브 홀딩 레그(14)의 선단에 제공하고, 이러한 프로브 홀딩 레그(14)에 대하여 상대적으로 개폐하는 푸싱 블록 홀딩 레그(16)를 제공한다. 푸싱 블록 홀딩 레그(16)의 선단에 제공된 푸싱 블록(24)은 디스플레이 패널(12)를 끼우고, 소정 접촉 압력으로 프로브(22a)와 마주보게 된다. 그러므로 프로브 홀딩 레그(14)와 푸싱 블록 홀딩 레그(16) 사이에 미는 압력은 지지부 또는 디스플레이 패널에 인가되지 않는다.A plurality of 22a probes are provided at the tip of the probe holding leg 14 and a pushing block holding leg 16 is opened and closed relative to this probe holding leg 14. The pushing block 24 provided at the tip of the pushing block holding leg 16 sandwiches the display panel 12 and faces the probe 22a at a predetermined contact pressure. Therefore, the pressure pushing between the probe holding leg 14 and the pushing block holding leg 16 is not applied to the support or display panel.
Description
본 발명은 디스플레이 패널 검사용 프로브 접촉 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe contact device for display panel inspection.
액정셀, 유기 EL, 무기 EL 등의 디스플레이 소자는 각 종의 디스플레이 장치를 구성하기 위하여, 다수의 전력 공급 전극을 가지는 디스플레이 패널로써 일체화된다. 이와 같은 디스플레이 패널에 있어서, 각 디스플레이 셀의 품질, 전극과 셀의 접속 또는 패널에 패터닝 되어 있는 집적회로의 품질 등을 검사하기 위해서는, 외부의 패널 검사 장치로부터 디스플레이 패널의 전극에 검사 신호가 공급되고, 검사용 장치에서 검사결과가 출력된다.Display elements such as a liquid crystal cell, an organic EL, an inorganic EL, and the like are integrated as a display panel having a plurality of power supply electrodes in order to constitute various types of display devices. In such a display panel, an inspection signal is supplied to an electrode of the display panel from an external panel inspection device in order to inspect the quality of each display cell, the connection between the electrode and the cell, or the quality of the integrated circuit patterned on the panel. The test result is output from the test device.
종래부터 이와 같은 검사 장치와 디스플레이 패널 사이를 접속하기 위하여, 프로브 접촉 장치가 사용되어 왔으며, 디스플레이 패널에 포함되어 있는 다수개의 전극에 대하여, 각각의 프로브가 전기적으로, 소정의 압력으로 접촉함으로써, 필요한 검사가 행하여진다. 상기 패널 검사는 종래에 있어서는 셀 점등 검사 등 비교적 단순한 도통 검사 또는 저항 측정 검사 등으로써 행하여졌으나, 최근 몇 년간은 디스플레이 패널에 열부하 또는 전류부하를 가하면서 액티브 검사를 행하는 것이 요구되어 왔다. Conventionally, a probe contact device has been used to connect such an inspection device and a display panel, and each probe is electrically contacted with a predetermined pressure with respect to a plurality of electrodes included in the display panel. Inspection is done. The panel inspection has conventionally been carried out by a relatively simple conduction inspection or a resistance measurement inspection such as a cell lighting inspection, but in recent years it has been required to perform an active inspection while applying a heat load or a current load to the display panel.
따라서, 이와 같은 각종 액티브 검사에 대응한 프로브 접촉 장치가 필요하게 되었으나, 종래 장치에 있어서는 접촉 장치 자체가 대형으로 되기 때문에, 예를 들어, 열부하를 발생시키기 위한 가열 장치에 디스플레이 패널과 프로브 접촉 장치를 둘 다 수납하는 것이 불가능한 것과 같은 문제점이 있었다. Therefore, although the probe contact device corresponding to such various active inspections is required, in the conventional device, since the contact device itself becomes large, for example, a display panel and a probe contact device are provided in a heating device for generating heat load. There was the same problem that it was impossible to accommodate both.
이와 같은 종래 프로브 접촉 장치의 문제는, 양호한 프로브 접촉 장치에 요구되는 접촉 압력을 얻기 위하여, 대형 및 고강도의 수용 기판이 필요하게 되는 것이 주원인 이었다. The problem of such a conventional probe contact device is that a large and high strength receiving substrate is required in order to obtain a contact pressure required for a good probe contact device.
즉, 각각의 전극과 프로브 사이에 필요한 접촉 압력이 10g인 경우, 통상의 디스플레이 패널에서는 400 핀 정도의 전극이 존재하게 되고, 이 때문에 전체 접촉 압력 수용부에 가해지는 총 압력은 4kg을 초과하게 되며, 이에 따라, 상기와 같은 중량을 확실히 수용하기 위해서는 대형 및 고강도의 기판을 사용하는 것이 종래 기술에서 일반적이었다. That is, when the required contact pressure between each electrode and the probe is 10g, about 400 pin electrodes exist in a typical display panel, so that the total pressure applied to the entire contact pressure receiving portion exceeds 4 kg. Therefore, in order to reliably accommodate such weight, it is common in the prior art to use a board of large size and high strength.
이 때문에, 프로브 접촉 장치가 대형화 및 고강도화 되고, 전술한 바와 같은 액트비 검사에 적합한 소형 및 저강도의 장치를 얻을 수 없게 되는 문제가 발생하였던 것이다. For this reason, the problem arises that a probe contact apparatus becomes large and high intensity | strength, and the small size and low intensity apparatus suitable for act ratio test mentioned above cannot be obtained.
본 발명의 목적은 디스플레이 패널 검사용 프로브 접촉 장치, 특히, 다수의 패널 전극에 대하여 동시에 접촉할 수 있는 복수의 프로브를 갖는 프로브 접촉 장치의 소형화를 가능하게 하는데 있다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 디스플레이 패널 검사용 프로브 접촉 장치에 있어서, 저강도의 장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to enable miniaturization of a probe contact device for inspecting display panels, in particular a probe contact device having a plurality of probes capable of simultaneously contacting a plurality of panel electrodes. Another object of the present invention is to provide a device of low intensity in a probe contact device for inspecting a display panel.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 청구항 제 1 항에 기재된 발명은 그 선단에 복수개의 프로브를 가지는 프로브 홀딩 레그와; 각각의 프로브 반대편 위치에 제공되는 푸싱 블록을 가지고, 프로브 홀딩 레그에 대하여 개폐가능한 푸싱 블록 홀딩 레그와; 프로브와 푸싱 블록 사이에서 디스플레이 패널의 패널 전극을 겹침으로써, 프로브 홀딩 레그와 푸싱 블록 홀딩 레그 사이에 상대적으로 밀어주는 압력을 인가하는 푸싱수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the invention as set forth in claim 1 comprises: a probe holding leg having a plurality of probes at a tip thereof; A pushing block holding leg having a pushing block provided at a position opposite each probe, the pushing block holding leg openable with respect to the probe holding leg; By overlapping the panel electrode of the display panel between the probe and the pushing block, it comprises a pushing means for applying a pressure pushing relatively between the probe holding leg and the pushing block holding leg.
상기 구성에 의하면, 각각의 프로브와 전극 사이의 접촉 압력을 프로브 홀딩 레그와 푸싱 블록 홀딩 레그 사이의 상대적인 바이어싱 압력에 의해서 얻게 되므로, 프로브 접촉 장치의 지지부 또는 디스플레이 패널에는 어떠한 압력도 가하여 지지 않는다. 따라서, 예를 들어, 고강도의 수용 기판을 필요로 하지 않는 저강도의 장치가 제공될 수 있다. 또한, 접촉 압력에 의하여 나타나는 악영향이 야기되지 않는다.According to the above configuration, since the contact pressure between each probe and the electrode is obtained by the relative biasing pressure between the probe holding leg and the pushing block holding leg, no pressure is applied to the support or display panel of the probe contact device. Thus, for example, a low intensity device can be provided that does not require a high strength receiving substrate. Also, no adverse effect caused by the contact pressure is caused.
또한, 본 발명은 청구항 제 1 항에 기재된 프로브 접촉 장치에 있어서, 푸싱 블록 홀딩 레그는 판 스프링(leaf spring)을 포함하여 구성되고, 프로브 홀딩 레그와의 사이에 상대적으로 밀어주는 압력을 인가하는 푸싱 수단의 역할을 겸하는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention provides a probe contact device according to claim 1, wherein the pushing block holding leg comprises a leaf spring, and a pushing for applying a relatively pushing pressure between the probe holding leg and the leaf holding spring. It also serves as a means.
또한, 본 발명은 청구항 제 1 항에 기재된 프로브 접촉 장치에 있어서, 상기 프로브 홀딩 레그의 선단에는 프로브에 대하여 디스플레이 패널 전극의 위치를 바로 잡기 위한 기준면이 제공되는 것을 특징으로 한다. In addition, in the probe contact device according to claim 1, the front end of the probe holding leg is provided with a reference surface for correcting the position of the display panel electrode with respect to the probe.
또한, 본 발명은 청구항 제 2 항에 기재된 프로브 접촉 장치에 있어서, 푸싱블록 홀딩 레그를 개폐하기 위한 편심 캠을 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention is characterized in that the probe contact device according to claim 2 includes an eccentric cam for opening and closing the pushing block holding leg.
이와 같이, 본 발명에 의한 프로브 접촉 장치는 소형화를 꾀할 수 있으므로, 액티브 검사 등에 매우 적합한 프로브 접촉 장치를 제공할 수 있다. As described above, since the probe contact device according to the present invention can be miniaturized, it is possible to provide a probe contact device which is very suitable for active inspection and the like.
도 1 내지 도 6에는 본 발명에 의한 프로브 접촉장치의 바람직한 제 1 실시형태가 표시되어 있다.1 to 6 show a first preferred embodiment of a probe contact device according to the invention.
본 발명에 따르는 프로브 접촉 장치는 접촉 장치 자체에서 디스플레이 패널을 지지하는 구조로 되어 있고, 도 1에서 나타난 바와 같이, 접촉 장치 자체가 사다리꼴 단면을 가지는 지지막대기(10)에 고정되며, 디스플레이 패널(12)을 지지함과 동시에, 디스플레이 패널(12)의 전극에 프로브를 누를 수 있다.The probe contact device according to the present invention has a structure for supporting the display panel in the contact device itself, and as shown in FIG. 1, the contact device itself is fixed to the support bar 10 having a trapezoidal cross section, and the display panel 12. ) And a probe can be pressed against the electrode of the display panel 12.
프로브 접촉 장치는 프로브 홀딩 레그(14)와 푸싱 블록 홀딩 레그(16)를 가진다. 프로브 홀딩 레그(14)는 플라스틱 성형되고, 그 하단 근처에 구비되는 홈 부분(14a)에서 상기 지지막대기(10)와 맞물리고, 고정자(20)와 프로브 홀딩 레그(14)의 배면에 고정된 백플레이트(18)에 의해 상기 지지막대기(10)와 프로브 홀딩 레그(14)가 단단히 고정된다. 상기 고정자(20)에 의한 지지막대기(10)와 프로브 홀딩 레그(14)의 고정은, 프로브 홀딩 레그(14)의 하단에 부설된 나사홈(14b)에 나사 결합된 고정 나사를 조여서, 지지막대기(10)를 프로브 홀딩 레그에 단단히 밀어 넣음으로써 행하여진다.The probe contact device has a probe holding leg 14 and a pushing block holding leg 16. The probe holding leg 14 is plastic molded and engaged with the support bar 10 in the groove portion 14a provided near the bottom thereof, and is fixed to the back of the stator 20 and the probe holding leg 14. The support bar 10 and the probe holding leg 14 are firmly fixed by the plate 18. Fixing of the support bar 10 and the probe holding leg 14 by the stator 20, by tightening the fixing screw screwed to the screw groove 14b attached to the lower end of the probe holding leg 14, the support bar This is done by pushing the 10 into the probe holding leg firmly.
프로브 홀딩 레그(14)의 선단에는 프로브 조합체(22)가 고정되어 있다. 주지된 바와 같이, 프로브 조합체(22)는 낮은 접촉 압력에서도 안정된 접촉을 할 수 있는 루프 프로브로 구성되며, 절연물질로 된 박판에 가는 금속선을 루프모양으로 감고, 기부를 수지로 굳힌 후 일부를 절단하여 노출된 금속의 선단을 각각의 프로브로 이용하는 것이다. 이러한 루프 프로브 조합체(22)는 지지구(23)에 의해 프로브 홀딩레그(14)의 선단부에 단단히 고정되어 있다. 그리고, 루프 프로브의 각 프로브 끝 각각이 디스플레이 패널의 각각의 전극과 적절히 접촉한다는 것을 확인하기 위해 프로브 홀딩 레그(14)의 선단에는 창(14c)이 설치되고, 필요에 따라 현미경 등을 이용하여, 프로브와 전극의 사이의 접촉 상태를 확인할 수 있다.The probe assembly 22 is fixed to the tip of the probe holding leg 14. As is well known, the probe assembly 22 is composed of a loop probe capable of making stable contact even at low contact pressure, winding a thin metal wire to a thin plate made of an insulating material in a loop shape, and hardening the base with a resin and cutting a portion thereof. The tip of the exposed metal is used as each probe. This loop probe assembly 22 is firmly fixed to the distal end of the probe holding leg 14 by the support 23. In order to confirm that each probe end of the loop probe properly contacts each electrode of the display panel, a window 14c is provided at the tip of the probe holding leg 14, and if necessary, using a microscope or the like, The contact state between the probe and the electrode can be confirmed.
또한, 프로브 홀딩 레그(14)의 선단에는 푸싱 기준대(14d)가 일체로 설치되어, 디스플레이 패널(12)에 대하여 푸싱 기준면(14e)과 접촉 압력 기준면(14f)을 공급하고 있다. 도 5는 디스플레이 패널(12)이 프로브 접촉 장치에 의해 지지되고, 프로브(22a)가 디스플레이 패널(12)의 전극(12a)과 소정의 접촉 압력에서 접촉하고 있는 상태를 보여준다. 또한, 도 6은 디스플레이 패널(12)이 프로브 접촉 장치에 의해 지지되기 전, 푸싱 기준대(14d)와 프로브(22a)의 관계를 보여준다. 도면에서 보듯이 프로브(22a)의 선단은 접촉 압력 기준 면(14f)에서 P만큼 돌출하고 있으며, 실제 접촉시에는 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브(22a)는 돌출한 P만큼 후퇴함으로써, 프로브(22a)와 전극(12a)사이에 원하는 접촉 압력이 주어지게 된다. 도 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 상기 푸싱 기준대(14d)는 프로브 조립체(22)의 양측 외측에 제공된다.In addition, a pushing reference table 14d is integrally provided at the tip of the probe holding leg 14 to supply the pushing reference plane 14e and the contact pressure reference plane 14f to the display panel 12. FIG. 5 shows a state in which the display panel 12 is supported by the probe contact device, and the probe 22a is in contact with the electrode 12a of the display panel 12 at a predetermined contact pressure. 6 also shows the relationship between the pushing reference stage 14d and the probe 22a before the display panel 12 is supported by the probe contact device. As shown in the figure, the tip of the probe 22a protrudes by P from the contact pressure reference plane 14f, and in actual contact, as shown in FIG. 5, the probe 22a retreats by protruding P, thereby The desired contact pressure is given between the 22a and the electrode 12a. As can be seen in FIG. 2, the pushing base 14d is provided on both sides of the probe assembly 22.
본 발명에 있어서, 디스플레이 패널(12)을 지지하기 위해, 프로브 접촉 장치는 전술한 프로브 홀딩 레그(14)와 이에 대하여 개폐 가능한 푸싱 블록 홀딩 레그(16)를 포함한다. 도시된 실시 형태에 있어서, 푸싱 블록 홀딩 레그(16)는 탄력성 있는 물질로 만들어진 평평한 판으로 구성되며, 그 기부가 프로브 홀딩 레그(14)에 단단히 고정되어 있다. 그리고, 그 선단에는 상기 프로브 조립체(22)에 대향하여 푸싱 블록(24)이 고정되어 있다. 도 5에서 보는 바와 같이, 푸싱 블록(24)은 고무 층(24b)이, 푸싱 블록 홀딩 레그(16)에 고정된 알루미늄 기판(24a)의 표면에 묶인 방식으로 구성된다. 또한, 도 5에서 보는 바와 같이, 푸싱 블록(24)을 디스플레이 패널(12)을 겹쳐 넣은 푸싱 기준대(14d)에서 눌러서 구성된다. 이 때의 밀어주는 힘은 각 프로브로부터의 총 압력보다 충분히 크게 되며, 예를 들면, 4kg 이상의 밀어주는 압력을 제공할 수 있다. In the present invention, in order to support the display panel 12, the probe contact device includes the probe holding leg 14 described above and a pushing block holding leg 16 which can be opened and closed with respect thereto. In the embodiment shown, the pushing block holding legs 16 consist of a flat plate made of a resilient material, the base of which is firmly fixed to the probe holding legs 14. A pushing block 24 is fixed to the tip of the pushing block 24 opposite to the probe assembly 22. As shown in FIG. 5, the pushing block 24 is constructed in such a way that the rubber layer 24b is tied to the surface of the aluminum substrate 24a fixed to the pushing block holding leg 16. In addition, as shown in FIG. 5, the pushing block 24 is comprised in the pushing reference stand 14d which overlapped the display panel 12, and is comprised. The pushing force at this time is sufficiently greater than the total pressure from each probe, for example, it can provide a pushing pressure of 4 kg or more.
본 발명에 있어서 특징적인 것은 상기와 같은 큰 압력이 프로브 홀딩 레그(14)와 푸싱 블록 홀딩 레그(16) 사이에 상대적으로 밀어주는 힘에 의해 얻어지며, 종래와 같이, 큰 압력에 대향하는 장치 기판에 의하여, 상기 큰 압력이 수용될 필요가 없다는데 있다. 즉, 두 레그(14, 16) 사이의 밀어주는 압력은 프로브 접촉 장치의 지지부에 대해 어떠한 압력도 가하지 못하게 되며, 예를 들어, 상기 실시 형태에 있어서 지지막대기(10)에는 두 레그(14, 16) 사이에 밀어주는 압력이 아무런 영향을 미치지 않는다. 더욱이, 지지막대기(10) 뿐 아니라, 프로브 접촉 장치의 지지부로서 예를 들어, 프로브 홀딩 레그(14)의 하단에 제공된 플러그부(14g)가 지지부로 사용되는 경우에도, 양 레그(14, 16) 사이의 상대적으로 밀어주는 힘은 플러그부(14g)에 아무런 영향을 미치지 않는다.Characteristic of the present invention is that such a large pressure is obtained by a relatively pushing force between the probe holding leg 14 and the pushing block holding leg 16, and as in the prior art, a device substrate facing a large pressure By virtue of this, the large pressure need not be accommodated. That is, the pushing pressure between the two legs 14, 16 does not apply any pressure against the support of the probe contact device, for example, in the embodiment the support bar 10 has two legs 14, 16. The pressure pushed between) has no effect. Furthermore, not only the support bar 10, but also the plug portion 14g provided at the lower end of the probe holding leg 14, for example, as the support portion of the probe contact device, both legs 14 and 16 are used as the support portions. The relatively pushing force in between does not affect the plug portion 14g.
또한, 본 발명의 실시형태에 있어서, 상기 푸싱 블록 홀딩 레그(16)는 푸싱 블록(24)을 지지하는 동시에, 그 자체의 판 스프링 특성을 이용하여 두 레그(14, 16) 사이에 상대적으로 밀어주는 힘을 인가하는 푸싱 수단의 역할을 겸하게 된다. 물론, 본 발명에 있어서 푸싱 블록 홀딩 레그(16)는 자유롭게 회전할 수 있도록 프로브 홀딩 레그(14)에 의해 지지되고, 다른 스피링 부재 등을 푸싱 수단으로 사용함으로써, 필요한 상대적으로 밀어주는 압력을 인가할 수 있다. In addition, in the embodiment of the present invention, the pushing block holding leg 16 supports the pushing block 24 and is pushed relatively between the two legs 14 and 16 using its own leaf spring characteristic. It also serves as a pushing means for applying the force. Of course, in the present invention, the pushing block holding leg 16 is supported by the probe holding leg 14 so that it can rotate freely, and by using another spring member or the like as the pushing means, the necessary relatively pushing pressure is applied. can do.
푸싱 블록 홀딩 레그(16)를 프로브 홀딩 레그(14)에 대하여 개폐시키기 위하여, 본 발명의 실시 형태에 있어서는 편심 캠(26)이 제공되어 있다. 편심 캠(26)의 캠축(28)은 프로브 홀딩 레그(14)에 설치된 베어링(14h, 14i)에 의해 지지되며, 상기 캠축의 회전으로 편심 캠이 프로브 홀딩 레그(14)로부터 푸싱 블록 홀딩 레그(16)을 개폐할 수 있다. 도 3은 푸싱 블록 홀딩 레그(16)가 사실상 닫힌 상태에 있는 것을 보여주고, 도 4는 상기 푸싱 블록 홀딩 레그가 열린 상태에 있는 것을 보여준다. 편심 캠(26)을 회전하기 위하여 캠(26)에는 레버(30)가 일체로 설치되어 있어서, 액츄에이터를 가지고 레버를 회전시키는 것에 의하여 푸싱 블록 홀딩 레그(16)를 개폐할 수 있는 것이다.In order to open and close the pushing block holding leg 16 with respect to the probe holding leg 14, the eccentric cam 26 is provided in embodiment of this invention. The camshaft 28 of the eccentric cam 26 is supported by bearings 14h and 14i provided in the probe holding leg 14, and the rotation of the camshaft causes the eccentric cam to push from the probe holding leg 14 to the pushing block holding leg ( 16) can be opened and closed. 3 shows that the pushing block holding leg 16 is in a substantially closed state, and FIG. 4 shows that the pushing block holding leg is in an open state. In order to rotate the eccentric cam 26, the cam 26 is integrally provided with the lever 30, and the pushing block holding leg 16 can be opened and closed by rotating the lever with the actuator.
상기에 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 프로브 접촉 장치는 그 자체가 디스프레이 패널(12)를 지지할 수 있도록 하고, 디스플레이 패널(12)을 지지하고, 또한, 원하는 접촉 압력을 얻을 수 있도록 하기 위한 밀어주는 힘이 프로브 접촉 장치의 지지부에 악영향을 미치지 않도록 하는 이점이 있다. As described above, according to the embodiment of the present invention, the probe contact device can itself support the display panel 12, support the display panel 12, and also obtain the desired contact pressure. There is an advantage that the pushing force to ensure that it does not adversely affect the support of the probe contact device.
도 7에는 또한, 이와 같은 본 실시 형태의 이점을 이용하여, 다수의 디스플레이 패널에 동시에 열 부하를 가한 상태에서 검사 가능한 검사용 장치의 바람직한 실시예를 도시하고 있다. Fig. 7 also shows a preferred embodiment of the inspection apparatus that can be inspected while the thermal load is applied to a plurality of display panels simultaneously by utilizing the advantages of the present embodiment.
도 1에서 도시된 바와 같이, 프로브 접촉 장치의 프로브 홀딩 레그(14)의 하단에 위치한 플러그부(14g)에는 플러그 판(32)이 고정되고, 이러한 상태에서 도 7에 도시된 바와 같이, 하나의 지지막대기(10)에 네 개의 프로브 접촉 장치가 정확하게 위치되어, 고정되어 있다. 그리고, 도면의 화살표가 가리키듯이, 각 디스플레이 패널(12)은 푸싱 블록 홀딩 레그(16)가 열린 상태의 프로브 접촉 장치로 인도되고, 적정 위치에서 지지, 고정된다. 실시 형태에 의한 디스플레이 패널은 아모포스 TFT 또는 폴리 실리콘 TFT로 구성된 액정 셀을 가지고 있으며, 폴리실리콘 TFT 액정 패널은 집적 회로가 패널 안에 패터닝 되어 있다. 그리고, 각각의 프로브 접촉 장치가 디스플레이 패널(12)을 집어서 잡을 때, 카메라 모니터(36)는 현미경(34)을 통하여 각각의 프로브와 전극의 올바른 접촉 위치를 확인한다. 이와 같이 하여, 하나의 지지막대기(10)에 고정된 두 쌍의 프로브 접촉 장치가 각각 하나의 디스플레이 패널(12)을 지지하고 잡은 후에, 도면의 화살표와 같이 지지막대기(10)는 소켓 기판(38)을 향하도록 하고, 예정된 위치의 소켓에 지지막대기(10)를 삽입한다. 그 결과, 소켓측의 전극과 각 프로브(22a)는 확실히 전기적으로 연결되어, 도시되지 않은 검사 장치와 전기적으로 연결될 수 있게 된다. 물론, 각 프로브(22a)와 플러그판(32)와의 사이에는 도면에는 나타나지 않은 FPC(flexible printed circuit) 등의 케이블로 전기적으로 연결되어 있다. 소켓 기판(38)은 다수의 디스플레이 패널을 장착한 상태에서 예를 들면, 가열장치를 향하도록 하고, 열부하 검사를 행하면서 필요한 전기적 특성을 검사할 수 있게 된다. As shown in FIG. 1, the plug plate 32 is fixed to the plug portion 14g located at the lower end of the probe holding leg 14 of the probe contact device, and in this state, as shown in FIG. Four probe contact devices are correctly positioned and fixed to the support bar 10. As indicated by the arrow in the figure, each display panel 12 is guided to the probe contact device with the pushing block holding legs 16 open, and is supported and fixed at an appropriate position. The display panel according to the embodiment has a liquid crystal cell composed of an amorphous TFT or a polysilicon TFT, and in the polysilicon TFT liquid crystal panel, an integrated circuit is patterned in the panel. And, as each probe contact device picks up and grabs the display panel 12, the camera monitor 36 confirms the correct contact position of each probe and electrode through the microscope 34. In this manner, after two pairs of probe contact devices fixed to one support bar 10 each support and hold one display panel 12, the support bar 10 is connected to the socket substrate 38 as shown by the arrow in the figure. ), And insert the support bar 10 into the socket in the predetermined position. As a result, the electrode on the socket side and each of the probes 22a are surely electrically connected, so that they can be electrically connected to an inspection apparatus (not shown). Of course, the probe 22a and the plug plate 32 are electrically connected to each other by a cable such as a flexible printed circuit (FPC) not shown in the drawing. The socket substrate 38 is, for example, facing the heating apparatus in a state in which a plurality of display panels are mounted, and the required electrical characteristics can be inspected while performing the heat load inspection.
상기에서 본 바와 같이, 본 발명에 의하면, 장치를 소형화시키면서, 각 프로브와 전극 사이에는 필요한 접촉 압력을 얻을 수 있어서, 단순한 셀 점등 검사뿐 아니라, 각종 부하를 인가시키면서 행하는 전기적 특성 검사에도 확장, 적용될 수 있다. As described above, according to the present invention, it is possible to obtain the required contact pressure between each probe and the electrode while miniaturizing the device, thereby extending and applying not only a simple cell lighting test but also an electrical property test performed while applying various loads. Can be.
상기에서 살핀 바와 같이, 본 발명에 따르면, 프로브 접촉 장치 자체는 디스플레이 패널을 지지할 수 있으나, 본 발명은 기판에 고정되어 있는 디스플레이 패널에 대하여, 프로브 접촉 장치가 소정의 잡는 동작을 행할 수 있게 되는 것이다. 상기 설명된 바와 같이, 본 발명의 특징은 프로브 홀딩 레그와 푸싱 블록 홀딩 레그 사이의 상대적인 미는 압력이 프로브 접촉 장치의 지지부에 큰 부하를 가하지 않는다는 데 있다. As described above, according to the present invention, the probe contact device itself may support the display panel, but the present invention enables the probe contact device to perform a predetermined grabbing operation with respect to the display panel fixed to the substrate. will be. As described above, a feature of the present invention is that the relative pushing pressure between the probe holding leg and the pushing block holding leg does not place a large load on the support of the probe contact device.
디스플레이 패널이 고정되어 있고, 이를 검사하려고 하는 경우에도, 프로브 접촉 장치가 일정한 여유도를 가지고 있어서, 위치의 이동이 가능하게 되므로, 디스플레이 패널의 검사 시에 프로브 접촉 장치의 지지부에 큰 부하가 가하여 지지않게 할 수 있는 것이다. 이에 비해, 디스플레이 패널이 기판에 고정되어 있고, 프로브 접촉 유닛 자체가 일정한 여유도를 가지지 못하게 되어, 위치를 이동시키는 것이 가능하지 않게 되는 경우에는 검사를 위한 위치를 결정하는데 있어서, 디스플레이 패널에 큰 압력이 가하여진다. Even when the display panel is fixed and is intended to be inspected, since the probe contact device has a certain margin, the position can be moved, so that a large load is applied to the support of the probe contact device during inspection of the display panel. You can do it. In contrast, when the display panel is fixed to the substrate and the probe contact unit itself does not have a certain margin, and it becomes impossible to move the position, a large pressure is applied to the display panel in determining the position for inspection. Is added.
이러한 현상을 방지하기 위해, 본 발명에 따르는 제 2 실시 형태는 도 8과 도 9에 도시된 바와 같이, 프로브 접촉 유닛 자체가 소정량만큼 회전할 수 있도록 구성된다. 비록 상기 프로브 접촉 장치 자체의 구성은 전술한 제 1 실시형태와 다소 상이하나, 기본적으로는 프로브 홀딩 레그와 푸싱 블록 홀딩 레그가 상대적으로 밀어주는 압력을 가지고 대향하는 구조이다. 따라서, 제 2 실시 형태의 요소에 대한 도면의 부호에 있어서는, 제 1 실시 형태에 있어서 대응하는 동일 구성 요소가 있는 경우, 제 1 실시 형태에서 사용한 부호의 값에 100을 더하여, 이를 도면 부호로 사용하였다. 즉, 이러한 구성 요소는 제 1 실시 형태에 대한 것과 같으므로, 이하에서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하였다. In order to prevent this phenomenon, the second embodiment according to the present invention is configured such that the probe contact unit itself can rotate by a predetermined amount, as shown in Figs. 8 and 9. Although the configuration of the probe contact device itself is somewhat different from that of the first embodiment described above, it is basically a structure in which the probe holding leg and the pushing block holding leg face each other with a relatively pushing pressure. Therefore, in the code | symbol of the drawing about the element of 2nd embodiment, when there exists the corresponding same component in 1st embodiment, 100 is added to the value of the code | symbol used in 1st embodiment, and this is used as a reference number. It was. That is, since these components are the same as those of the first embodiment, detailed description thereof is omitted below.
본 실시 형태의 경우, 디스플레이 패널은 기판 등에 고정되어 있으므로, 디스플레이 패널의 전극을 프로브(122a)와 푸싱 블록(124)의 사이에서 잡는 경우에는, 기판이 고정되어 있고, 이에 따라, 프로브 접촉 장치 자체가 잡는 방향으로 이동되지 않으면 안된다. 이와 같은 이유로, 제2실시예에 있어서는 회전 기판(140)은 일체로써 프로브 홀딩 레그(114)의 하단에 고정된다. 이러한 회전 기판(140)은 회전할 수 있게끔 지지대(142)에 고정된다. 즉, 상기 회전 기판(140)은 지지대(142)의 베어링 판(144, 146)에 의해 수용된 지지축(148)에 고정되고, 이에 의하여, 프로브 접촉 장치 자체는 지지축(148)을 중심으로 삼아 자유롭게 회전할 수 있다.In the case of this embodiment, since the display panel is fixed to a board | substrate etc., when holding the electrode of a display panel between the probe 122a and the pushing block 124, a board | substrate is fixed and accordingly, the probe contact apparatus itself Must be moved in the direction of holding. For this reason, in the second embodiment, the rotating substrate 140 is integrally fixed to the lower end of the probe holding leg 114. The rotating substrate 140 is fixed to the support 142 to rotate. That is, the rotating substrate 140 is fixed to the support shaft 148 accommodated by the bearing plates 144, 146 of the support 142, whereby the probe contact device itself is centered on the support shaft 148. It can rotate freely.
또한, 회전 기판(140)에서는 회전 제어부(140a)가 설치되어 있어서, 상기 지지대(142)에 고정된 스토퍼(150)에 의하여, 도 8의 반시계 방향의 회전 위치가 제어되고 있다. In addition, the rotation control part 140a is provided in the rotation board 140, and the rotation position of the counterclockwise direction of FIG. 8 is controlled by the stopper 150 fixed to the said support stand 142. FIG.
더우기, 회전 제어부(140a)의 반대측에는 스프링 수용부(140b)가 제공되고, 상기 스프링 수용부(140b)와 지지대(142) 사이에 위치한 부세(付勢) 스프링(152)에 의해, 프로브 접촉 장치에는 도 8의 반시계방향 바이어싱 회전력이 인가된다. 그리고, 이러한 바이어싱 회전력은 프로브 접촉 장치 자체의 중량에 의한 시계방향 하중과 실질적으로 조화를 이루도록 인가되며, 그 결과 프로브 접촉 장치가 디스플레이 패널을 잡게 되고, 이러한 프로브(122a)를 사용하여 전극과 접촉하게 될 때, 프로브 접촉 장치가 지지축(148)을 중심으로 자유롭게 회전하게 되고, 동시에 이러한 경우의 이동에 의한 압력을 대부분 장치 자체의 무게와 상기 바이어싱 압력에 의하여 적절히 조절할 수 있다. 따라서, 이러한 실시예에 의하더라도, 디스플레이 패널에 과중한 압력이 디스플레이 패널에 실리지 않는 이점이 있다.Furthermore, a spring receiving portion 140b is provided on the opposite side of the rotation control portion 140a, and a probe contact device is provided by a bias spring 152 positioned between the spring receiving portion 140b and the support 142. Is applied to the counterclockwise biasing rotational force of FIG. 8. This biasing rotational force is then applied to substantially match the clockwise load due to the weight of the probe contacting device itself, as a result of which the probe contacting device grabs the display panel and contacts the electrode using this probe 122a. In this case, the probe contact device rotates freely about the support shaft 148, and at the same time, the pressure due to the movement in this case can be appropriately adjusted by the weight of the device itself and the biasing pressure. Therefore, even with this embodiment, there is an advantage that the excessive pressure on the display panel is not carried on the display panel.
또한, 본 발명의 실시 형태에 의한 프로브는 루프 프루브를 사용했지만, 니들 혹은 프렉서블 기판 상에 패터닝 형성된 도전 접촉자를 이용하는 것도 가능하다. The probe according to the embodiment of the present invention uses a loop probe, but it is also possible to use a conductive contact formed by patterning on a needle or a flexible substrate.
작은 크기의 장치는 고성능의 동적 패널 검사에 매우 적합한데, 본 발명은 크기가 작고 덜 단단한 프로브 접촉 장치를 제공할 수 있다.Small sized devices are well suited for high performance dynamic panel inspection, where the present invention can provide a smaller and less rigid probe contact device.
도1은 본 발명에 따른 제1실시예인 디스플레이 패널의 검사를 보여주는 투시도이다.1 is a perspective view showing an inspection of a display panel according to a first embodiment according to the present invention.
도2는 본 발명에 따른 제1실시예의 분해된 프로브 홀딩 레그와 푸싱 블록 홀딩 레그의 투시도이다.2 is a perspective view of an exploded probe holding leg and a pushing block holding leg of the first embodiment according to the present invention.
도3은 프로브 홀딩 레그에 근접한 푸싱 블록 홀딩 레그의 사시도이다.3 is a perspective view of a pushing block holding leg proximate the probe holding leg.
도4는 프로브 홀딩 레그로부터 분리된 푸싱 브록 홀딩 레그의 사시도이다.4 is a perspective view of the pushing block holding leg separated from the probe holding leg.
도5는 전극과 프로브를 서로 접촉시키는 것을 확대한 단면도이다.5 is an enlarged cross-sectional view of bringing an electrode and a probe into contact with each other.
도6은 프로브와 푸싱 기준 블록 사이의 관계를 보여주는 설명도이다.6 is an explanatory diagram showing a relationship between a probe and a pushing reference block.
도7은 제1실시예인 프로브 컨텍 장치를 이용한 디스플레이 패널 조사를 보여주는 설명도이다.FIG. 7 is an explanatory diagram showing display panel irradiation using the probe contact device according to the first embodiment; FIG.
도8은 본 발명에 따르는 제2실시예의 부분 단면도이다.8 is a partial sectional view of a second embodiment according to the present invention.
도9는 본 발명에 따르는 제2실시예의 사시도이다.9 is a perspective view of a second embodiment according to the present invention.
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