KR100524121B1 - 레이저빔 포지션닝 장치 - Google Patents

레이저빔 포지션닝 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100524121B1
KR100524121B1 KR10-2003-0038330A KR20030038330A KR100524121B1 KR 100524121 B1 KR100524121 B1 KR 100524121B1 KR 20030038330 A KR20030038330 A KR 20030038330A KR 100524121 B1 KR100524121 B1 KR 100524121B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wick
laser beam
base
motor
gap
Prior art date
Application number
KR10-2003-0038330A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040107308A (ko
Inventor
강환국
Original Assignee
(주) 대홍기업
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 대홍기업 filed Critical (주) 대홍기업
Priority to KR10-2003-0038330A priority Critical patent/KR100524121B1/ko
Publication of KR20040107308A publication Critical patent/KR20040107308A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100524121B1 publication Critical patent/KR100524121B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 레이저빔 포지션닝 장치에 관한 것으로, 특히 레이저빔을 반사하는 미러의 각도를 정밀 제어하는 모터의 온도를 히트파이프식 밀폐수단을 이용하여 등온 상태로 유지시키는 레이저빔 포지션닝 장치에 관한 것이다.

Description

레이저빔 포지션닝 장치{laser beam positioning device}
본 발명은 레이저빔 포지션닝 장치에 관한 것으로, 특히 레이저빔을 반사하는 미러의 각도를 정밀 제어하는 모터의 온도를 히트파이프식 밀폐수단을 이용하여 등온 상태로 유지시키는 레이저빔 포지션닝 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정용 레이저 마커, 용접 또는 절단가공용 레이저장치, 고분해능 시스템 등과 같은 정밀기기에서는 제어수단에 의해 동작되는 모터가 레이저빔의 조사 위치를 변경시키는 미러를 정밀 제어한다.
그런데, 이 모터의 표면 온도가 변화하는 경우에는 그 위치를 제어하는 모터의 회전축이 팽창 또는 수축에 의해 변형되어, 레이저의 변위나 위치에 오차를 발생시키게 된다. 이 오차는 실험결과 모터 표면의 온도가 1??의 변화에서도 레이저 위치는 수십㎛의 편차가 발생함을 확인할 수 있었다.
이러한 모터의 표면온도편차를 제어하는 종래의 방법으로는 크게 두 가지 방법이 있다. 즉, 모터를 포함하는 공간을 밀폐하고 외부에서 가열 또는 냉각하여 밀폐 공간의 온도를 제어하는 방법과, 모터 내부에서 발생하는 전기적 발열을 하우징의 외주면에 팬을 설치하여 강제 대류로 공기 중으로 소산하는 방법이 있다.
그런데 전자의 경우에는 가열 또는 냉각열원을 밀폐공간의 일부 영역에 설치하고 이 열원과 밀폐공간의 내부 공기와의 대류 열전달에 의하여 공기의 온도를 제어하기 때문에, 밀폐공간의 내부에서 공기의 유동은 필수적이다. 이러한 결과로 열원 또는 냉원에 접하는 공기와 공간내부의 공기온도는 동일한 온도를 유지하기 어렵기 때문에, 국부적인 온도편차가 발생하여 전체 공간내의 온도를 균일하게 유지하기 어렵다. 또한 공기온도를 제어하고자 하는 경우에, 비열이 작은 공기와 냉원 또는 열원으로 주로 사용하는 히터, 열전모듈, 냉동기의 비열이 크기 때문에 열용량 차에 의한 열관성(thermal inertia)효과에 의하여 시간에 대하여 공기온도가 진동(fluctuation)하여 공기온도를 균일하게 제어하기가 매우 어렵다. 한편 모터 주위의 온도가 균일하게 제어되는 경우에도, 제어를 필요로 하는 모터 주위에서는 공기와 모터의 대류 열전달에 의하여 모터의 온도가 제어되기 때문에, 모터 주위의 유동을 균일 유동(uniform flow)으로 제어하지 않으면 모터 주위의 공기 온도 및 모터 표면의 온도를 균일하게 유지하기 어렵다.
후자의 경우에는 모터에서 발생한 열을 제거할 수 있으나, 주위 공기의 온도변화에 따라 모터 표면의 온도가 결정되기 때문에 주위의 온도 변화에 민감하고, 균일 열부하가 발생하는 모터표면에 핀이 설치되어 대류 냉각이 이루어지기 때문에 대류에 의해 냉각이 발생하는 부분과 발생된 열이 전도에 의해 냉각이 이루어지는 부분으로 열전달이 일어나는 부분간의 온도차로 인하여 모터의 온도를 균일하게 유지하도록 제어할 수 없다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 밀폐계와 히트파이프의 원리를 이용하여 모터 표면 온도를 균일하게 유지시킬 수 있는 구조를 갖는 레이저빔 포지션닝 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 레이저빔 포지션닝 장치는 레이저빔을 반사하는 미러; 상기 미러의 각도를 조정하는 모터; 상기 모터가 배치되는 바디; 상기 모터의 하우징을 밀폐시키는 히트파이프식 밀폐수단; 상기 히트파이프식 밀폐수단을 가열하는 가열수단을 포함하여 이루어진다.
또한, 본 발명의 레이저빔 포지션닝 장치는 레이저빔의 조사 위치를 변경하는 미러; 상기 미러의 각도를 조정하는 모터; 상기 모터가 배치되는 바디; 상기 모터의 하우징을 밀폐시키는 히트파이프식 밀폐수단; 상기 히트파이프식 밀폐수단을 냉각하는 냉각수단을 포함하여 이루어진다.
이들 구성에 의하여, 모터 하우징이 밀폐계로 구성되고 열전달효율이 높은 히트파이프에 의해 모터 표면을 등온 상태로 유지시킬 수 있다.
전술한 구성에서, 상기 히트파이프식 밀폐수단은 상기 하우징을 감싸는 용기와 상기 바디에 지지되는 지지부재로 이루어지되, 상기 용기는 상기 가열수단 또는 냉각수단이 배치되는 베이스; 상기 베이스의 상면에 형성된 베이스윅; 상기 베이스윅 주위의 상기 베이스에 설치되는 외통; 작동유체가 밀봉되도록 상기 외통에 수납되며, 바닥과 이 바닥에서 상방으로 연장되는 측벽을 갖는 컵; 상기 외통의 내벽과 틈새가 형성되도록 상기 측벽의 외주면을 감싸는 측벽윅; 대향하는 측면 사이에 상기 틈새와 연통되는 간극이 형성되도록 상기 바닥의 하면과 상기 베이스의 상면 사이에 설치되는 복수의 돌출윅; 상기 간극이 형성된 위치의 상기 바닥의 하면에 설치되는 바닥윅으로 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 가열수단 또는 냉각수단은 극성의 전환에 따라 가열 또는 냉각시키는 열전모듈로 구현될 수 있다.
다른 한편, 상기 냉각수단은 히트싱크 또는/및 팬으로 구현될 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하는데, 본 실시예의 레이저빔 포지션닝 장치가 일례로 레이저 마커(laser maker)에 적용된 구성으로 설명한다. 레이저 마커란 레이저빔을 X축과 Y축에 설치된 스캐너 모터의 미러를 제어하여 반도체 표면에 각종 문자나 숫자를 인쇄하는 레이저장치중 하나이다.
먼저 공지된 히트파이프의 원리를 간단히 설명한다.
히트파이프는 밀폐용기 내부의 작동유체가 연속적으로 기체-액체간의 상변화 과장을 통하여 용기 양단 사이에 열을 전달하는 장치로 잠열(latent heat)을 이용하여 열을 이동시킴으로써, 단일 상(one-phase)의 작동유체를 이용하는 통상의 열전달 기기에 비해 큰 열전달 성능을 발휘할 뿐 아니라 용기의 길이방향을 따라 온도가 일정하게 하는 특성을 지니고 있다.
본 발명의 실시예는 이러한 히트파이프가 길이방향을 따라 온도가 일정하다는 것에 착안하여 등온유지용기를 레이저빔 포지션닝 장치에 채택하게 되었다.
기본 구조는 밀폐용기, 작동유체, 용기 내부의 윅(wick)으로 이루어지며, 윅은 모세관을 이용하여 작동유체 중 응축 액체를 귀환시키는 역할을 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저빔 포지션닝 장치를 분해 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 다른 각도에 본 결합 사시도이고, 도 3은 본 실시예의 레이저빔 포지션닝 장치에서 주요부분을 도시한 확대 단면도이고, 도 4는 히트파이프식 밀폐수단에서 분리된 컵 부분을 도시한 사시도이고, 도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 밀폐수단에서 가열수단에 따른 내부 증기 및 작동유체의 유동형태를 명확히 나타내기 위해 돌출윅을 중심에 위치시킨 개념도이고, 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 밀폐수단에서 냉각수단에 따른 내부 증기 및 작동유체의 유동형태를 명확히 나타내기 위해 돌출윅을 중심에 위치시킨 개념도이다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 레이저빔 포지션닝 장치는 레이저빔의 조사 위치를 변경하는 X,Y구동부(10a)(10b), 이 X,Y구동부(10a)(10b)를 밀폐시키는 밀폐수단(30a)(30b), 이 밀폐수단(30a)(30b)에 대해 열전달하는 열전달수단(50a)(50b) 및 X,Y구동부(10a)(10b)와 밀폐수단(30a)(30b)이 배치되는 바디(70)로 구성되어 있다.
X,Y구동부(10a)(10b)는 레이저빔을 반사하는 X,Y미러(11a)(11b)와, X,Y미러(11a)(11b)의 각도를 조정하는 X,Y모터(13a)(13b)로 구성되어 있다. X,Y모터(13a)(13b)는 고정자와 회전자 등이 내장되는 하우징(15a)(15b)과 X,Y미러(11a)(11b)가 장착되는 회전축(17a)(17b)으로 구성된다. X,Y모터(13a)(13b)의 회전축(17a)(17b)은 케이블(19a)(19b)을 통해 제어부(미도시)에 의해 구동 제어되어, 미러(11a)(11b)의 각도를 조정하게 된다.
밀폐수단(30a)(30b)은 도 3에 도시한 바와 같이, 하우징(15a)(15b)에 대해 틈새를 형성한 채 감싸는 용기(300a)(300b)와 바디(70)에 지지되는 지지부재(35a)(35b)로 구성된다.
용기(300a)(300b)는 크게 컵(310a)(310b)과 외통(350a)(350b) 및 베이스(330a)(330b)로 구성되어 있다. 컵(310a)(310b)은 바닥(311), 바닥(311)에서 상방으로 연장되는 측벽(313), 측벽(313)의 외주면을 감싸는 측벽윅(315) 및 바닥(311)의 하면에서 하방으로 돌출되는 복수의 돌출윅(317)으로 구성된다. 바닥(311)과 측벽(313)은 구리, 알루미늄 등의 재질로 제작될 수 있으나, 열전도율과 가공성 측면에서 구리가 보다 바람직하다. 컵(310a)(310b)의 내부에는 모터(13a)(13b)의 하우징(15a)(15b)이 수용된다. 측벽윅(315)은 금속분말의 소결체이다. 돌출윅(317)은 도 4에 도시한 바와 같이, 대향하는 측면(318a,318b) 사이에 증기 통로인 간극(319)이 형성되도록 소결 성형된다. 돌출윅(317)이 측벽윅(315)과 연속적으로 소결되어 액체의 모세관력을 발생하도록 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 간극(319)이 형성된 위치의 바닥(311) 하면에도 바닥윅(321)이 소결 성형되는 것이 윅의 연속성을 확보하여 모세관에 의한 안정적인 귀환 액체의 유동이 이루어지도록 하기 위해 바람직하다.
베이스(330a)(330b)의 하면(333)에는 가열수단 또는 냉각수단과 같은 열전달수단(50a)(50b)이 부착된다. 베이스(330a)(330b)의 상면(331)에는 외통(350a)(350b)의 하단이 재치되어 그 외주면을 밀봉하기 편리하도록 재치부(335)가 형성되어 있다. 즉, 재치부(335)의 안쪽에는 턱이 지어 있어 외통(350a)(350b)이 수직하게 자리잡는데 도움을 주고, 재치부(335)의 외면 가장자리는 확실한 밀봉을 위해 용접을 행해진다.
외통(350a)(350b)은 컵(310a)(310b)의 외주면을 밀폐시키면서 전술한 측벽윅(315)과 틈새(314)가 형성되도록 설치된다. 이 틈새(314)는 전술한 간극(319)과 연통되게 된다. 따라서, 간극(319)은 방사상으로 배치되는 것이 증기의 이동을 보다 원활하게 할 수 있다.
컵(310a)(310b)은 외통(350a)(350b)의 내부로 수납되어 지지되는데, 이 지지를 보다 확실히 하면서 틈새(314)의 형성을 정확히 하기 위하여, 측벽(313)의 상단에는 플랜지(370)가 설치될 수 있다. 이 플랜지(370)의 내면에는 계단식(3단)으로 구성되어 있다. 안쪽 1단부(371)는 측벽윅(315)의 두께가 형성되는 곳이며, 다음 2단부(373)는 틈새(314), 가장 바깥쪽 3단부(375)는 외통(350a)(350b)의 상단에 재치되는 곳이다. 따라서, 외통(350a)(350b)의 상하단은 측벽(313)의 3단부(375)와 재치부(335)의 재치턱 사이에 설치된다. 이와 같은 플랜지로 인해, 컵(310a)(310b)의 틈새(314)가 정확히 형성될 수 있다. 이때, 3단부(375)의 가장자리는 용접을 행하여 완전한 밀폐를 구현할 수도 있다. 돌출윅(317)의 하면은 베이스(330a)(330b)의 상면(331)과 접촉되도록 지지하는 것이 바람직하다.
한편, 돌출윅(317)과 베이스(330a)(330b)의 상면(331) 사이에는 베이스윅(337)이 설치되는 것이 바람직하다. 이 베이스윅(337)의 설치는 돌출윅(317)과 연속적인 구조를 형성하여 모세관 현상에 의하여 작동유체가 유동하도록 충분한 펌핑력(pumping force)을 발생시키고 베이스윅(337)의 상면 전체에 균일한 증발과 응축 등의 상변화가 발생할 수 있도록 하는 등 히트파이프의 열전달메커니즘을 훨씬 더 안정적으로 유지시킬 수 있기 때문이다. 베이스윅(337)은 소결 윅이나 스크린 메쉬 형태의 윅이 설치될 수 있다. 제조 공정에 따라서는 돌출윅(317)과 베이스윅(337)을 소결 과정을 통하여 하나의 몸체가 되도록 구성할 수도 있다.
전술한 구성에서, 작동유체는 윅들에 함유될 정도로 충전되어 있으면, 충전은 외통에 구멍을 내어 진공 충전하거나, 미리 충전된 상태로 외통에 결합시키는 방법을 구현할 수 있다.
한편, 용기(300a)(300b)의 외주면에는 서모커플(thermocouple)(38)이 부착되어 틈새의 온도를 측정한다. 이 측정치에 따라 제어부에 의해 모터(13a)(13b)를 제어 구동하게 된다. 서모커플(38)은 지지판(39a)과 스크루(39b)에 의해 용기(31a)(31b)의 외주면에 부착되게 된다. 또한, 용기(31a)(31b)의 형상은 X,Y구동부(10a)(10b)의 외형에 따라 다양하게 구현될 수 있음은 자명하다 할 것이다.
지지부재(35a)(35b)는 용기(300a)(300b)의 상단에 플랜지 타입으로 형성된 것으로, 체결공(36a)(36b)이 천공 설치되어 있다.
열전달수단(50a)(50b)은 용기(300a)(300b)에 열을 가하는 가열수단 또는/및 용기(31a)(31b)의 열을 방출하는 냉각수단으로 구성되어 있다.
가열수단 또는 냉각수단은 극성에 따라 가열 또는 냉각으로 전환시킬 수 있는 열전모듈(51a)(51b)이 사용되고 있다. 이 열전모듈(51a)(51b)은 베이스(330a)(330b)의 하면(333)에 부착되어 사용된다.
다른 냉각수단으로는 다수의 방열핀이 형성된 히트싱크(53a)(53b)가 사용될 수 있다. 이 히트싱크(53a)(53b)는 부시(80a)와 스크루(80b)에 의해 용기(31a)(31b)에 지지되게 된다.
또 다른 냉각수단으로는 송풍팬(55a)(55b)이 사용될 수 있다. 이 송풍팬(55a)(55b)은 스크루 등의 체결요소에 의해 용기(300a)(300b) 또는 히트싱크(53a)(53b)에 고정될 수 있다.
본 실시예에서는 열전모듈(51a)(51b), 히트싱크(53a)(53b), 송풍팬(55a)(55b)이 용기(300a)(300b)에 대해 순차적으로 배치되어 있다. 따라서, 모터(13a)(13b)에서 발생되는 열이 발생하여 설정 온도보다 높은 정도에 따라 경우, 열전모듈(51a)(51b) 또는/및 송풍팬(55a)(55b)을 동작시킴으로써, 하우징(15a)(15b)의 표면온도를 균일하게 유지시킬 수 있다.
바디(70)에는 X,Y구동부(10a)(10b)와 가열수단/냉각수단이 부착된 밀폐수단(30a)(30b)이 설치 고정되게 된다. 보다 상세히 설명하면, 바디(70)의 외측에는 모터(13a)(13b)의 하우징(15a)(15b)이 배치되고, 그 내측에는 미러(11a)(11b)가 배치된다. 이러한 배치를 위해, 바디(70)에는 관통공(71)이 천공 설치되어 있다. 이 관통공(71)에는 하우징(15a)(15b)의 선단측 재치를 용이하게 하도록 연한 재질의 시트(73a)(73b)가 배치되어 있다. 이 관통공(71)에 모터(13a)(13b)를 삽통시킨 후 모터(13a)(13b)의 하우징 선단측을 시트(73a)(73b) 상에 재치시키고 밀폐수단(30a)(30b)을 하우징(15a)(15b)에 끼운다. 그 다음, 부시(37a)와 스크루(37b)로 체결하면, 구동부(10a)(10b)와 밀폐수단(50a)(50b)은 바디(70)에 간단히 고정되게 된다. 다른 한편, 모터(13a)(13b)를 용기(300a)(300b)에 삽입한 후 밀폐수단(30a)(30b)을 바디(70)에 고정시킬 수 있다.
이와 같이, 하우징(15a)(15b)이 용기(300a)(300b) 내에 삽입됨으로써, 밀폐계의 상태가 되어, 외부의 공기 유동과 대류 열전달에 영향을 받지 않고 열전달수단(50a)(50b)에 의해 정밀하게 온도 제어되어, 하우징(15a)(15b)의 온도를 균일하게 유지시킬 수 있는 것이다.
한편, 밀폐수단(30a)(30b)에는 케이블(19a)(19b)의 인출을 위한 인출홈이 형성되어 있는데, 이 인출홈을 통해 외부 공기가 유동되는 것을 차단하기 위해, 도 3에 도시한 바와 같은 실링용 고무링(90)이 채택될 수 있다. 따라서, 하우징(15a)(15b)의 밀폐계 상태가 더욱 확실히 구현되게 된다. 이때, 용기(300a)(300b)에는 고무링(90a)(90b)이 안착되는 안착홈(91a)(91b)이 형성된 것이 바람직하다.
이와 같이 구성된 본 실시예의 히트파이프식 밀폐수단의 작용은 다음과 같다.
가열모드(Qin)이면, 도 5a에 도시한 바와 같이 블록으로부터 열흡수(Qin)를 통해 베이스윅(337)의 작동유체가 증발하여 기화한 증기는 방사상의 간극(319)을 통해 이동하여 환상공간인 틈새(314)에 도달하고, 측벽윅(315)에서 하우징(15a)(15b)에 열을 방출(Qout)하면서 응축한다. 응축한 작동유체는 중력과 모세관력에 의하여 돌출윅(317)으로 이동하고 베이스윅(337)으로 귀환하는 사이클을 이룬다.
반대로, 냉각모드(Qout)모드이면, 도 5b에 도시한 바와 같이 하우징(15a)(15b)으로부터 열을 흡수(Qin)하여 상대적으로 과열된 측벽(313)의 측벽윅(315)의 표면에서 기화가 발생한 후 증기압 차이에 의해 틈새(314)에서 방사상의 간극(319)으로 이동하여 베이스윅(337)에서 응축하여 열을 방출(Qout)한다. 응축된 작동유체는 돌출윅(317)을 통해 모세관력에 의해 측벽윅(315)으로 귀환하는 사이클을 이룬다.
이러한 작동유체의 증발ㆍ이동ㆍ응축ㆍ귀환의 반복사이클을 통해 하우징(15a)(15b)의 길이방향 전체를 등온으로 확실히 유지시킬 수 있어, 미러의 정밀 제어를 구현할 수 있다.
본 발명에 따른 레이저빔 포지션닝 장치는 전술한 실시예에 국한되지 않고 본 발명의 기술 사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저빔 포지션닝 장치에 의하면, 바디 외부에 노출된 모터의 하우징을 밀폐시키는 히트파이프식 밀폐수단을 가열 또는 냉각시킴으로써, 모터는 밀폐계와 같은 상태에서 온도가 조절되기 때문에, 외부의 공기 온도의 변화나 대류 열전달에 의한 국부적인 온도변화에 의한 영향을 받지 않아 모터를 등온으로 유지시킬 수 있다. 또한, 열용량이 큰 금속으로 구성된 밀폐수단의 온도를 제어하기 때문에 열관성이 커 온도 제어시 발생하는 시간에 따른 온도 편차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 모터의 회전축의 팽창 또는 수축 현상을 방지하여 미러의 위치를 정밀하게 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저빔 포지션닝 장치를 분해 도시한 사시도이고,
도 2는 도 1의 다른 각도에 본 결합 사시도이고,
도 3은 본 실시예의 레이저빔 포지션닝 장치에서 주요부분을 도시한 확대 단면도이고,
도 4는 히트파이프식 밀폐수단에서 분리된 컵 부분을 도시한 사시도이고,
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 밀폐수단에서 가열수단에 따른 내부 증기 및 작동유체의 유동형태를 명확히 나타내기 위해 돌출윅을 중심에 위치시킨 개념도.
도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 밀폐수단에서 냉각수단에 따른 내부 증기 및 작동유체의 유동형태를 명확히 나타내기 위해 돌출윅을 중심에 위치시킨 개념도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10a,10b : X,Y구동부 11a,11b : X,Y미러
13a,13b : X,Y모터 15a,15b : 하우징
17a,17b : 회전축 19a,19b : 케이블
30a,30b : 히트파이프식 밀폐수단 300a,300b : 용기
35a,35b : 지지부재 38 : 서모커플(thermocouple)
50a,50b : 열전달수단 51a,51b : 열전모듈
53a,53b : 히트싱크 55a,55b : 송풍팬
70 : 바디 90a,90b : 고무링
310a,310b: 용기 314 : 틈새
315: 측벽윅 317 : 돌출윅
319 : 간극 321 : 바닥윅
330a,330b : 베이스 337 : 베이스윅
350a,350b : 외통

Claims (9)

  1. 레이저빔을 반사하는 미러; 상기 미러의 각도를 조정하는 모터; 상기 모터가 배치되는 바디; 상기 모터의 하우징을 밀폐시키는 히트파이프식 밀폐수단; 상기 히트파이프식 밀폐수단을 가열하는 가열수단을 포함하여 이루어지되,
    상기 히트파이프식 밀폐수단은 상기 하우징을 감싸는 용기와, 상기 바디에 지지되는 지지부재로 구성되며,
    상기 용기는 상기 가열수단이 배치되는 베이스; 상기 베이스에 설치되는 외통; 작동유체가 밀봉되도록 상기 외통에 수납되며, 바닥과 이 바닥에서 상방으로 연장되는 측벽을 갖는 컵; 상기 외통의 내벽과 틈새가 형성되도록 상기 측벽의 외주면을 감싸는 측벽윅; 대향하는 측면 사이에 상기 틈새와 연통되는 간극이 형성되도록 상기 바닥의 하면과 상기 베이스의 상면 사이에 설치되는 복수의 돌출윅으로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 베이스의 상면에 설치되는 베이스윅과,
    상기 간극이 형성된 위치의 상기 바닥의 하면에 설치되는 바닥윅을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 가열수단은 열전모듈인 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  4. 레이저빔을 반사하는 미러; 상기 미러의 각도를 조정하는 모터; 상기 모터가 배치되는 바디; 상기 모터의 하우징을 밀폐시키는 히트파이프식 밀폐수단; 상기 히트파이프식 밀폐수단을 냉각하는 냉각수단을 포함하여 이루어지되,
    상기 히트파이프식 밀폐수단은 상기 하우징을 감싸는 용기와, 상기 바디에 지지되는 지지부재로 구성되며,
    상기 용기는 상기 냉각수단이 배치되는 베이스; 상기 베이스에 설치되는 외통; 작동유체가 밀봉되도록 상기 외통에 수납되며, 바닥과 이 바닥에서 상방으로 연장되는 측벽을 갖는 컵; 상기 외통의 내벽과 틈새가 형성되도록 상기 측벽의 외주면을 감싸는 측벽윅; 대향하는 측면 사이에 상기 틈새와 연통되는 간극이 형성되도록 상기 바닥의 하면과 상기 베이스의 상면 사이에 설치되는 복수의 돌출윅으로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 베이스의 상면에 설치되는 베이스윅과,
    상기 간극이 형성된 위치의 상기 바닥의 하면에 설치되는 바닥윅을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 냉각수단은 열전모듈로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  7. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 냉각수단은 히트싱크로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  8. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 냉각수단은 팬으로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
  9. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 냉각수단은 열전모듈, 히트싱크, 팬으로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 포지션닝 장치.
KR10-2003-0038330A 2003-06-13 2003-06-13 레이저빔 포지션닝 장치 KR100524121B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0038330A KR100524121B1 (ko) 2003-06-13 2003-06-13 레이저빔 포지션닝 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0038330A KR100524121B1 (ko) 2003-06-13 2003-06-13 레이저빔 포지션닝 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040107308A KR20040107308A (ko) 2004-12-20
KR100524121B1 true KR100524121B1 (ko) 2005-10-25

Family

ID=37381569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0038330A KR100524121B1 (ko) 2003-06-13 2003-06-13 레이저빔 포지션닝 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100524121B1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040107308A (ko) 2004-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11215403B2 (en) High performance two-phase cooling apparatus
US7305839B2 (en) Thermal transfer device and system and method incorporating same
US7090001B2 (en) Optimized multiple heat pipe blocks for electronics cooling
US7607470B2 (en) Synthetic jet heat pipe thermal management system
US11051431B2 (en) Thermal management with variable conductance heat pipe
EP3715765B1 (en) Enclosure for an optoelectronic sensor and lidar sensor
US20050193736A1 (en) Steam engine
Pettigrew et al. Performance of a MEMS based micro capillary pumped loop for chip-level temperature control
US20060081360A1 (en) Heat dissipation apparatus and manufacturing method thereof
KR100524121B1 (ko) 레이저빔 포지션닝 장치
JP2022528900A (ja) 材料源アレンジメント、蒸着装置、及び材料源物質を蒸着するための方法
JP2007263427A (ja) ループ型ヒートパイプ
US20180106553A1 (en) Thermal module charging method
JP3716890B2 (ja) 真空用モ−タの冷却装置
JP6054661B2 (ja) 冷却装置、冷却システム、及び冷却加熱システム
KR100472828B1 (ko) 히트파이프식 등온유지용기와 이를 채택한 히트파이프식등온유지장치
KR100547297B1 (ko) 레이저빔 포지션닝 장치
WO1999042781A1 (en) Heat exchanger and method for producing the heat exchanger
JP2009216343A (ja) 伝熱ヒンジ装置および冷却装置
US20230337397A1 (en) Integrated vapor chamber and heat sink
JPH07335797A (ja) 半導体デバイス等の冷却装置
JPH05327252A (ja) 間隔可変形熱伝導装置
JPH0242200A (ja) 熱交換器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121015

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131014

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141013

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151012

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171011

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181016

Year of fee payment: 14