KR100508020B1 - Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display - Google Patents

Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display Download PDF

Info

Publication number
KR100508020B1
KR100508020B1 KR1019970038661A KR19970038661A KR100508020B1 KR 100508020 B1 KR100508020 B1 KR 100508020B1 KR 1019970038661 A KR1019970038661 A KR 1019970038661A KR 19970038661 A KR19970038661 A KR 19970038661A KR 100508020 B1 KR100508020 B1 KR 100508020B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gate
electrode
thin film
film transistor
gate electrode
Prior art date
Application number
KR1019970038661A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990016190A (en
Inventor
김원주
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1019970038661A priority Critical patent/KR100508020B1/en
Publication of KR19990016190A publication Critical patent/KR19990016190A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100508020B1 publication Critical patent/KR100508020B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/1368Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136213Storage capacitors associated with the pixel electrode
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/124Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits

Abstract

액정 표시 장치에 사용되는 박막 트랜지스터의 게이트 전극의 구조를 한쪽으로 뻗어 나온 분지를 갖는 형태로 형성하고, 드레인 전극의 폭을 이 분지보다 넓게 형성하여 게이트 전극의 분지와 드레인 전극이 중첩되도록 한다. 이렇게 하면 금속층 사이의 전자가 중심 부분으로 몰리게 되어 게이트 전극과 드레인 전극 사이의 기생 용량이 감소한다.The structure of the gate electrode of the thin film transistor used in the liquid crystal display device is formed to have a branch extending to one side, and the width of the drain electrode is formed wider than this branch so that the branch of the gate electrode and the drain electrode overlap. This causes electrons between the metal layers to be attracted to the center portion, thereby reducing the parasitic capacitance between the gate electrode and the drain electrode.

Description

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display

이 발명은 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor substrate of a liquid crystal display device.

일반적인 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 구조가 도 1에 나타나 있다. 서로 교차하는 다수의 게이트선(11, 12)과 데이터선(21, 22)이 형성되어 있으며 게이트선(11)과 데이터선(21)의 교차점에 인접한 게이트선(11)의 분지에 게이트 전극(15), 비정질 규소층(30) 및 소스/드레인 전극(25, 26)을 포함하는 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. 또한 게이트선(11, 12)과 데이터선(21, 22)의 교차로 정의되는 각 화소에는 투명 도전막으로 이루어진 화소 전극(40)이 형성되어 있으며 유지 용량을 위한 유지 전극(50)이 형성되어 있다.The structure of a thin film transistor substrate of a general liquid crystal display device is shown in FIG. 1. A plurality of gate lines 11 and 12 and data lines 21 and 22 that cross each other are formed, and gate electrodes 11 are formed at branches of the gate line 11 adjacent to the intersection of the gate line 11 and the data line 21. 15), a thin film transistor including an amorphous silicon layer 30 and source / drain electrodes 25 and 26 is formed. In addition, a pixel electrode 40 made of a transparent conductive film is formed in each pixel defined by the intersection of the gate lines 11 and 12 and the data lines 21 and 22, and a storage electrode 50 for a storage capacitor is formed. .

도 2는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 화소 등가 회로를 보여주고 있다. 여기서 점선으로 표시된 부분이 게이트와 드레인 사이의 기생 용량을 나타낸다.2 illustrates a pixel equivalent circuit of a thin film transistor liquid crystal display. Here, the part indicated by the dotted line represents the parasitic capacitance between the gate and the drain.

액정 표시 장치를 구동하게 되면 액정 용량(Clc)과 유지 용량(Cst)은 박막 트랜지스터가 구동해야 하는 부하로서 작용한다. 게이트선(11)을 통해 이와 연결된 게이트 전극(150)에 양의 펄스를 가하면 박막 트랜지스터는 온 상태가 되고 이 때 데이터선(21)을 통해 박막 트랜지스터의 소스 전극(25)에 인가된 신호 전압은 비정질 규소층(30)을 거쳐 드레인 전극(26)으로 흐르고 이어 액정 용량(Clc) 및 유지 용량(Cst)의 한 단자인 화소 전극(40)에 인가된다. 신호 전압은 게이트 전압이 오프된 후에도 계속 유지되며 액정에 인가된다. 그러나 게이트와 드레인 사이의 기생 용량 때문에 화소 전압은

Figure pat00001
만큼의 전압 시프트가 생기게 된다.When the liquid crystal display is driven, the liquid crystal capacitor Clc and the storage capacitor Cst act as loads to which the thin film transistor should be driven. When a positive pulse is applied to the gate electrode 150 connected thereto through the gate line 11, the thin film transistor is turned on, and at this time, the signal voltage applied to the source electrode 25 of the thin film transistor through the data line 21 is It flows through the amorphous silicon layer 30 to the drain electrode 26 and is then applied to the pixel electrode 40 which is one terminal of the liquid crystal capacitor Clc and the storage capacitor Cst. The signal voltage is maintained even after the gate voltage is turned off and applied to the liquid crystal. However, because of the parasitic capacitance between the gate and drain, the pixel voltage
Figure pat00001
There will be a voltage shift.

이 때 생기는 전압 시프트를 킥백(kick-back)이라고도 하는데, 이에 의해 잔상, 깜박거림(flicker) 등의 문제가 발생하게 된다.The voltage shift generated at this time is also referred to as kick-back, which causes problems such as afterimages and flicker.

도 1의 박막 트랜지스터 기판에서, 게이트 및 소스/드레인으로 형성되는 박막 트랜지스터의 채널 부위에서 각 전극간의 중첩 구조는 도 3에 나타난 바와 같다. 즉, 게이트선(15)을 넓게 형성하고 그 위쪽에 소스 전극(25)과 드레인 전극(26)이 중첩되도록 형성하는 것이다.In the thin film transistor substrate of FIG. 1, an overlapping structure between each electrode in a channel portion of a thin film transistor formed of a gate and a source / drain is shown in FIG. 3. That is, the gate line 15 is formed wide and the source electrode 25 and the drain electrode 26 overlap with each other.

이 때, 드레인 전극(26)의 폭이 그 아래에 위치하는 게이트선(15)의 폭에 비해 작기 때문에, 도 3의 Ⅳ - Ⅳ'선을 따라 절단한 면에서의 등전위선은 도 4에서 나타난 바와 같이 드레인 전극 방향으로 휘어지게 된다. 그리고, 도 4의 Ⅴ - Ⅴ'선을 따라 전위를 측정하면 도 5와 같은 그래프가 된다. 즉, 드레인 전극의 가장자리 부분의 전위가 중심 부분에 비해 높다. 게이트 전극과 드레인 전극이 중첩되는 부분에서 전자의 분포는 주로 게이트 전압에 의해 좌우되고 특히 게이트가 턴온되는 고전압에서는 도 5에서 나타난 바와 같이 게이트 전극과 드레인 전극의 중첩부의 가장자리부 주변의 전위가 높으므로 전자들이 근처의 비정질 규소층으로 이동하게 된다. 따라서 두 금속간의 평판 중첩 면적(A)에 따른 평판 용량 외에 부가적으로 가장자리의 효과도 커지게 되므로 기생 용량이 증가하게 된다.At this time, since the width of the drain electrode 26 is smaller than the width of the gate line 15 positioned below it, the equipotential lines in the plane cut along the line IV-IV 'of FIG. 3 are shown in FIG. As shown in the drawing, the drain electrode is bent in the drain electrode direction. In addition, if the potential is measured along the line V-V 'of FIG. 4, the graph shown in FIG. 5 is obtained. That is, the potential of the edge portion of the drain electrode is higher than that of the center portion. The distribution of electrons at the overlapping portion of the gate electrode and the drain electrode is mainly dependent on the gate voltage, and especially at the high voltage at which the gate is turned on, as shown in FIG. The electrons migrate to the nearby amorphous silicon layer. Therefore, in addition to the plate capacity according to the plate overlap area A between the two metals, the parasitic capacity is increased because the effect of the edge is increased.

본 발명에서는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 킥백 전압을 발생시키는 게이트와 드레인 전극 사이의 기생 용량을 줄이고자 한다.In the present invention, a parasitic capacitance between a gate and a drain electrode which generates a kickback voltage of a thin film transistor substrate of a liquid crystal display device is reduced.

위와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 게이트 전극에 분지를 형성한다. 이 분지는 드레인 전극 방향으로 드레인 전극보다 폭이 좁게 형성하여 게이트 전극의 분지와 드레인 전극이 중첩되도록 한다.In order to solve the above problems, the present invention forms a branch on the gate electrode. This branch is formed to be narrower in width in the drain electrode direction than the drain electrode so that the branch of the gate electrode and the drain electrode overlap.

이제 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 평면도이고, 도 7은 도 6의 박막 트랜지스터 부분의 게이트 전극 및 소스/드레인 전극의 확대도이다.6 is a plan view of a thin film transistor substrate according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an enlarged view of a gate electrode and a source / drain electrode of the thin film transistor portion of FIG. 6.

도 6과 도 7에 나타난 바와 같이, 주사 신호를 전달하는 가로 방향의 게이트선(110, 120)과 화상 신호를 전달하는 세로 방향의 데이터선(210, 220)이 서로 절연되어 교차하도록 형성되어 있고, 각 게이트선(110, 120)과 데이터선(210, 220)의 교차에 의해 정의되는 화소의 표시부 안쪽에는 화소 전극(400)이 형성되어 있다. 화소 전극(400)은 박막 트랜지스터와 연결되어 데이터선(210)으로부터 화상 신호를 인가받는다. 유지 용량을 형성하기 위한 유지 전극(500)이 게이트 패턴의 일부로 형성되어 있다.6 and 7, the horizontal gate lines 110 and 120 transmitting the scan signal and the vertical data lines 210 and 220 transmitting the image signal are insulated from each other and cross each other. The pixel electrode 400 is formed inside the display unit of the pixel defined by the intersection of the gate lines 110 and 120 and the data lines 210 and 220. The pixel electrode 400 is connected to the thin film transistor to receive an image signal from the data line 210. The storage electrode 500 for forming the storage capacitor is formed as part of the gate pattern.

그러면 이제 박막 트랜지스터의 구조를 상세히 설명한다.Now, the structure of the thin film transistor will be described in detail.

박막 트랜지스터의 게이트 전극(150)은 게이트선(110)으로부터 위로 연장된 분지이고, 드레인 전극(260)의 폭보다 작은 폭을 갖는 분지(160)가 드레인 전극(260) 쪽으로 뻗어 있는 형태를 갖고 있다. 게이트 전극(150) 및 그 분지(160)의 위에는 게이트 절연막(도시하지 않음)이 형성되어 있으며, 그 위에는 비정질 규소층(300)이 형성되어 있다. 비정질 규소층(300)의 위에는 데이터선(210)과 연결된 소스 전극(250)과 드레인 전극(260)이 게이트 전극(150)에 대하여 서로 마주 보도록 형성되어 있다. 또한, 비정질 규소층(300)과 소스 전극(250) 및 드레인 전극(260) 사이에는 n형 불순물로 고농도 도핑된 비정질 규소층(도시하지 않음)이 형성되어 비정질 규소층(300)과 소스 빛 드레인 전극(250, 260) 사이의 접촉 저항을 줄여 주고 있다. 드레인 전극(260)과 게이트 전극(150)은 게이트 전극(150)의 분지(160) 부분에서 중첩되어 있다.The gate electrode 150 of the thin film transistor is a branch extending upward from the gate line 110, and a branch 160 having a width smaller than the width of the drain electrode 260 extends toward the drain electrode 260. . A gate insulating film (not shown) is formed on the gate electrode 150 and the branch 160, and an amorphous silicon layer 300 is formed thereon. On the amorphous silicon layer 300, a source electrode 250 and a drain electrode 260 connected to the data line 210 are formed to face each other with respect to the gate electrode 150. In addition, an amorphous silicon layer (not shown) heavily doped with n-type impurities is formed between the amorphous silicon layer 300, the source electrode 250, and the drain electrode 260 to form the amorphous silicon layer 300 and the source light drain. The contact resistance between the electrodes 250 and 260 is reduced. The drain electrode 260 and the gate electrode 150 overlap with the branch 160 of the gate electrode 150.

이 때 전압이 인가된 상태에서 소스에서 드레인으로 흐르는 전류를 일정량 확보해 주어야 하므로 소스 전극(250)의 폭은 충분히 넓게 형성한다.At this time, since a certain amount of current flowing from the source to the drain should be secured in a state where a voltage is applied, the width of the source electrode 250 is sufficiently wide.

이렇게 하면, 드레인 전극(260)과 게이트 전극(150)의 중첩 면적(A')이 줄어들고 드레인 전극(260)과 게이트 전극(150) 사이의 전위 분포는 종래 기술에 따른 경우와 반대가 된다.In this way, the overlap area A 'of the drain electrode 260 and the gate electrode 150 is reduced, and the potential distribution between the drain electrode 260 and the gate electrode 150 is reversed to that according to the prior art.

도 8은 도 7의 Ⅷ - Ⅷ'선을 따라 절단한 단면과 단면에서의 등전위선을 나타낸 것이다. 게이트 전극(150)과 드레인 전극(260) 사이의 등전위선은 종래 기술에 따른 경우와 반대로 게이트 전극(150) 쪽으로 휘어져 있다. 도 8의 Ⅸ - Ⅸ'선을 따라 드레인 전극(260)의 중심으로부터의 전위 분포를 나타내면 도 9와 같다. 즉, 전위는 드레인 전극(260)의 가운데 부분에서 가장 높고, 가장자리로 갈수록 전위가 낮아진다.8 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII 'of FIG. 7 and an equipotential line in the cross-section. The equipotential lines between the gate electrode 150 and the drain electrode 260 are bent toward the gate electrode 150 as opposed to the case according to the prior art. The potential distribution from the center of the drain electrode 260 along the line VII-VII 'of FIG. 8 is shown in FIG. That is, the potential is the highest at the center of the drain electrode 260, and the potential is lowered toward the edge.

도 9와 같은 전위 분포를 가지게 되면 두 전극 사이의 전자는 전위가 높은 게이트 전극(150)과 드레인 전극(260)의 중첩부로 몰리게 되고, 중첩부에 몰린 전자는 채널의 형성에 기여하게 되므로 기생 용량의 증가를 가져오지는 않는다. 즉, 전자가 가운데로 모이게 되므로 게이트 전극에 고전압이 인가되는 경우에도 가장자리 부분의 용량은 종래 기술에 따른 경우에 비해 줄어들게 된다.When the potential distribution is shown in FIG. 9, electrons between the two electrodes are driven to the overlapping portion of the gate electrode 150 and the drain electrode 260 having a high potential, and the electrons gathered at the overlapping portion contribute to the formation of a channel. It does not lead to an increase. That is, since electrons are collected in the center, even when a high voltage is applied to the gate electrode, the capacity of the edge portion is reduced as compared with the case of the related art.

본 발명의 실시예에서와 같이 게이트 전극을 형성하면 게이트 전극과 드레인 전극의 중첩부에서 전자들이 가운데 부분으로 몰리게 되어 게이트 전극과 드레인 전극 사이의 기생 용량을 줄일 수 있다.As in the embodiment of the present invention, when the gate electrode is formed, electrons are concentrated at the center portion of the overlapping portion of the gate electrode and the drain electrode, thereby reducing the parasitic capacitance between the gate electrode and the drain electrode.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 평면도이고,1 is a plan view of a thin film transistor substrate of a liquid crystal display according to the prior art,

도 2는 도 1에 나타난 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 화소 단위의 등가 회로를 나타낸 것이고,FIG. 2 illustrates an equivalent circuit in pixel units of the thin film transistor liquid crystal display shown in FIG. 1;

도 3은 도 1의 박막 트랜지스터 부분의 전극 구조를 나타낸 확대도이고,3 is an enlarged view illustrating an electrode structure of the thin film transistor of FIG. 1;

도 4는 도 3의 Ⅳ - Ⅳ'선을 따라 자른 단면의 등전위선을 나타낸 것이고,FIG. 4 illustrates an equipotential line taken along a line IV-IV ′ of FIG. 3.

도 5는 도 4의 Ⅴ - Ⅴ'선을 따라 측정한 전위를 나타낸 그래프이고,FIG. 5 is a graph showing the electric potential measured along the VV ′ line of FIG. 4;

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 평면도이고,6 is a plan view of a thin film transistor substrate of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention;

도 7은 도 6의 박막 트랜지스터 부분의 전극 구조를 나타낸 확대도이고,FIG. 7 is an enlarged view illustrating an electrode structure of the thin film transistor of FIG. 6;

도 8은 도 7의 Ⅷ - Ⅷ'선을 따라 자른 단면의 등전위선을 나타낸 것이고,FIG. 8 illustrates an equipotential line taken along a line VII-VII 'of FIG. 7,

도 9는 도 8의 Ⅸ - Ⅸ'선을 따라 측정한 전위를 나타낸 그래프이다.FIG. 9 is a graph illustrating a potential measured along a line VII-VII 'of FIG. 8.

Claims (1)

절연 기판,Insulation board, 상기 절연 기판 위에 일방향으로 뻗어 있는 게이트선,A gate line extending in one direction on the insulating substrate, 상기 게이트선에 연결되어 있으며 한쪽으로 뻗은 분지를 갖는 게이트 전극,A gate electrode connected to the gate line and having a branch extending to one side; 상기 게이트 전극 위에 형성되어 있으며 상기 게이트 전극과 절연되어 있는 반도체층,A semiconductor layer formed on the gate electrode and insulated from the gate electrode, 상기 게이트선과 절연되어 교차하고 있는 데이터선,A data line insulated from and intersecting the gate line; 상기 데이터선에 연결되어 있으며 상기 게이트 전극과 적어도 일부 중첩하는 소스 전극,A source electrode connected to the data line and at least partially overlapping the gate electrode; 상기 게이트 전극을 중심으로 상기 소스 전극과 마주하며 상기 게이트 전극의 분지와 중첩하고 상기 게이트 전극의 분지보다 넓은 폭을 가지는 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터.And a drain electrode facing the source electrode around the gate electrode and overlapping a branch of the gate electrode and having a width wider than that of the branch of the gate electrode.
KR1019970038661A 1997-08-13 1997-08-13 Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display KR100508020B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970038661A KR100508020B1 (en) 1997-08-13 1997-08-13 Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970038661A KR100508020B1 (en) 1997-08-13 1997-08-13 Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990016190A KR19990016190A (en) 1999-03-05
KR100508020B1 true KR100508020B1 (en) 2005-11-03

Family

ID=37305844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970038661A KR100508020B1 (en) 1997-08-13 1997-08-13 Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100508020B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100491821B1 (en) * 2002-05-23 2005-05-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 An array substrate for LCD and method of fabricating of the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63294531A (en) * 1987-05-27 1988-12-01 Hosiden Electronics Co Ltd Liquid crystal display element
JPH04133032A (en) * 1990-09-25 1992-05-07 Casio Comput Co Ltd Tft panel
JPH05119347A (en) * 1991-10-28 1993-05-18 Sanyo Electric Co Ltd Liquid crystal display device
KR970048850A (en) * 1995-12-30 1997-07-29 김광호 Liquid crystal display

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63294531A (en) * 1987-05-27 1988-12-01 Hosiden Electronics Co Ltd Liquid crystal display element
JPH04133032A (en) * 1990-09-25 1992-05-07 Casio Comput Co Ltd Tft panel
JPH05119347A (en) * 1991-10-28 1993-05-18 Sanyo Electric Co Ltd Liquid crystal display device
KR970048850A (en) * 1995-12-30 1997-07-29 김광호 Liquid crystal display

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990016190A (en) 1999-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20200168686A1 (en) Display panel and display device
US7542103B2 (en) Electro-optical device
US6088073A (en) Display device with destaticizing elements and an electrostatic pulse delaying element connected to each of the destaticizing elements
US4686551A (en) MOS transistor
US7391397B2 (en) Display device
KR0166894B1 (en) Liquid crystal display device
JPH0584490B2 (en)
KR100286049B1 (en) Liquid crystal displays having electrostatic protection circuits
KR940015635A (en) Active liquid crystal display device
US5286983A (en) Thin-film-transistor array with capacitance conductors
KR900011033A (en) Insulated Gate Bipolar Transistor
KR102576999B1 (en) Liquid-crystal display
EP3306385B1 (en) Array substrate, liquid crystal display panel and liquid crystal display device
KR100303350B1 (en) Organic electroluminescent display
KR100508020B1 (en) Thin Film Transistor for Liquid Crystal Display
US6744479B2 (en) Active matrix display device
EP1069463A2 (en) Active matrix type liquid crystal display
CN100454553C (en) Thin film semiconductor device and method of manufacturing the same, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2000267137A (en) Liquid crystal display device
JP5148032B2 (en) Active matrix display device
JP2003043523A (en) Thin film transistor panel
JP2780539B2 (en) Liquid crystal display
JPH04358127A (en) Thin film transistor type liquid crystal display device
KR100701068B1 (en) Pixel structure of fringe field switching mode liquid crystal display
KR100299683B1 (en) LCD Display

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110719

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120713

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee