KR100507386B1

KR100507386B1 - Scriber

Info

Publication number: KR100507386B1
Application number: KR1020040083095A
Authority: KR
Inventors: 김상경; 이강희; 박창민
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2004-10-18
Filing date: 2004-10-18
Publication date: 2005-08-09
Also published as: JP2006110980A; CN1762668A; TW200613227A; TWI274742B; CN100480001C

Abstract

본 발명은 유리, 반도체 등의 취성 재료로 이루어지는 작업 부재에 스크라이브선을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus for forming a scribe line on a work member made of brittle material such as glass or semiconductor.

본 발명은, 작업부재에 스크라이브선을 형성하는 스크라이브 장치에 있어서, 진동을 발생하는 진동 발생부; 상기 진동 발생부에서 발생하는 진동을 전달받아 작업부재에 스크라이브선을 형성시키는 커터부; 상기 진동 발생부와 커터부 사이에 개재되어 마련되며, 상기 진동 발생부의 진동을 커터부에 전달하는 축; 상기 진동 발생부의 상측에 마련되며, 상기 작업부재의 굴곡에 따라 상기 커터부의 높이를 조정하는 높이 조정수단; 상기 높이 조정수단의 상측에 마련되며, 상기 커터부에 예압을 제공하는 예압 제공수단; 상기 커터부, 진동 발생부, 예압 제공수단과 결합되어 마련되며, 상기 커터부, 진동 발생부, 높이 조정수단, 예압 제공수단의 각 중심이 일직선상에 순서대로 위치되도록 고정시키는 메인 플레이트; 상기 메인 플레이트와 결합되어 마련되며, 상기 메인 플레이트를 상하 방향으로 구동시키는 상하 이동부;를 구비하되, 상기 진동 발생부, 커터부, 축, 높이 조정수단, 예압 제공수단은 동일한 중심선을 가지도록 배치되는 스크라이브 장치를 제공한다.The present invention provides a scribe device for forming a scribe line on the work member, comprising: a vibration generator for generating vibration; A cutter unit configured to receive a vibration generated from the vibration generator to form a scribe line on the working member; An axis interposed between the vibration generating unit and the cutter unit and transmitting the vibration to the cutter unit; Height adjusting means provided at an upper side of the vibration generating unit and adjusting the height of the cutter unit according to the bending of the working member; A preload providing means provided above the height adjusting means and providing a preload to the cutter portion; A main plate provided in combination with the cutter unit, the vibration generating unit, and the preload providing unit, and fixing the centers of the cutter unit, the vibration generating unit, the height adjusting unit, and the preload providing unit in a straight line in order; It is provided in combination with the main plate, the vertical movement unit for driving the main plate in the vertical direction; provided, wherein the vibration generating portion, the cutter portion, the shaft, the height adjusting means, the preload providing means is arranged to have the same center line It provides a scribe device.

Description

Scribe device {SCRIBER}

본 발명은 유리, 반도체 등의 취성 재료로 이루어지는 작업 부재에 스크라이브선을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a scribing apparatus for forming a scribe line on a work member made of brittle material such as glass or semiconductor.

일반적으로 판유리 등의 소재를 파단(破斷)하는 경우에는, 작업 부재의 면에 미리 스크라이브선을 형성하고 이 스크라이브선에 다라서 파단하도록 하고 있다. 즉, 다이아몬드와 같이 경도가 우수한 소재로 형성되는 커터를 진동시키면서 작업 부재의 표면에 압박하면, 박업부재의 표면에 두께 방향으로 연장되는 세로 크랙이 발생한다. 이 상태에서 작업부재의 표면방향을 따라 커터를 이동시키면, 작업부재의 표면에 연속한 스크라이브선이 형성된다. 이렇게 하여 작업부재에 스크라이브선을 형성한 후, 스크라이브선에 따라서 힘을 가하면 작업부재가 절단된다. In general, in the case of breaking a material such as plate glass, a scribe line is formed in advance on the surface of the work member, and the scribe line is broken in accordance with the scribe line. That is, when the cutter formed of a material having excellent hardness, such as diamond, is pressed against the surface of the work member while vibrating, a vertical crack extending in the thickness direction occurs on the surface of the backup member. When the cutter is moved along the surface direction of the work member in this state, a continuous scribe line is formed on the surface of the work member. After forming a scribe line in the work member in this way, when a force is applied along the scribe line, the work member is cut.

상술한 바와 같이 작업 부재에 스크라이브선을 형성시키는 스크라이브 장치에 있어서는, 작업부재 파단 작업의 정확성을 위하여 스크라이브 장치에 의하여 작업부재 표면에 형성되는 스크라이브선의 진직도가 우수하여야 한다. 이를 위해서는 작업 부재의 표면에 형성되어 있는 굴곡에 따라 커터의 높이를 정밀하게 조정할 수 있는 스크라이브 장치가 요구된다. In the scribing apparatus for forming a scribe line on the work member as described above, the straightness of the scribe line formed on the surface of the work member by the scribe device must be excellent for the accuracy of the work member breaking operation. For this purpose, a scribe device capable of precisely adjusting the height of the cutter according to the bending formed on the surface of the work member is required.

본 발명의 목적은 작업 부재의 표면 굴곡에 정밀하게 대응하여 진직도가 우수한 스크라이브선을 형성시키는 스크라이브 장치를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a scribing apparatus for precisely responding to surface curvature of a work member to form a scribe line having excellent straightness.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 작업부재에 스크라이브선을 형성하는 스크라이브 장치에 있어서, 진동을 발생하는 진동 발생부; 상기 진동 발생부에서 발생하는 진동을 전달받아 작업부재에 스크라이브선을 형성시키는 커터부; 상기 진동 발생부와 커터부 사이에 개재되어 마련되며, 상기 진동 발생부의 진동을 커터부에 전달하는 축; 상기 진동 발생부의 상측에 마련되며, 상기 작업부재의 굴곡에 따라 상기 커터부의 높이를 조정하는 높이 조정수단; 상기 높이 조정수단의 상측에 마련되며, 상기 커터부에 예압을 제공하는 예압 제공수단; 상기 커터부, 진동 발생부, 예압 제공수단과 결합되어 마련되며, 상기 커터부, 진동 발생부, 높이 조정수단, 예압 제공수단의 각 중심이 일직선상에 순서대로 위치되도록 고정시키는 메인 플레이트; 상기 메인 플레이트와 결합되어 마련되며, 상기 메인 플레이트를 상하 방향으로 구동시키는 상하 이동부;를 구비하되, 상기 진동 발생부, 커터부, 축, 높이 조정수단, 예압 제공수단은 동일한 중심선을 가지도록 배치되는 스크라이브 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a scribe device for forming a scribe line on the work member, the vibration generating unit for generating a vibration; A cutter unit configured to receive a vibration generated from the vibration generator to form a scribe line on the working member; An axis interposed between the vibration generating unit and the cutter unit and transmitting the vibration to the cutter unit; Height adjusting means provided at an upper side of the vibration generating unit and adjusting the height of the cutter unit according to the bending of the working member; A preload providing means provided above the height adjusting means and providing a preload to the cutter portion; A main plate provided in combination with the cutter unit, the vibration generating unit, and the preload providing unit, and fixing the centers of the cutter unit, the vibration generating unit, the height adjusting unit, and the preload providing unit in a straight line in order; It is provided in combination with the main plate, the vertical movement unit for driving the main plate in the vertical direction; provided, wherein the vibration generating portion, the cutter portion, the shaft, the height adjusting means, the preload providing means is arranged to have the same center line It provides a scribe device.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 스크라이브 장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 진동발생부(10); 커터부(20); 축(30); 높이 조정수단(40); 예압 제공수단(50); 메인 플레이트(60); 상하 이동부(70), 수평 이동부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다. The scribing apparatus 1 according to the present embodiment includes a vibration generator 10 as shown in FIG. 1; Cutter unit 20; Axle 30; Height adjusting means 40; Preload providing means (50); Main plate 60; The vertical movement part 70 and the horizontal movement part (not shown) are comprised.

본 실시예에서 진동 발생부(10)는 커터를 진동시키는 진동력을 발생시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 진동 발생부(10)를 도 1에 도시된 바와 같이, 엑츄에이터(12); 엑츄에이터 브라켓(14); 하부 엑츄에이터 플레이트(16); 상부 엑츄에이터 플레이트(18);를 포함하여 구성된다. In this embodiment, the vibration generating unit 10 is a component for generating a vibration force to vibrate the cutter. In this embodiment, the vibration generating unit 10, as shown in Figure 1, the actuator 12; Actuator bracket 14; Lower actuator plate 16; The upper actuator plate 18; is configured to include.

여기에서 엑츄에이터(12)는 전원이 인가되면 스스로 진동하여 진동 동력을 제공하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 엑츄에이터를 Parallel Pre-stressed Actuator로 마련한다. Here, the actuator 12 is a component that vibrates itself when the power is applied to provide vibration power. In this embodiment, this actuator is provided as a parallel pre-stressed actuator.

다음으로 엑츄에이터 브라켓(actuator bracket, 14)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 엑츄에이터(12)와 상기 축(30)을 메인 플레이트(60)에 결합시키는 구성요소이다. 이때 상기 엑츄에이터 브라켓(14)은 상기 축(30)이 상기 엑츄에이터(14)의 진동에 의하여 직선 운동할 수 있도록 결합시킨다. 즉, 상기 축(30)이 엑츄에이터 브라켓(14)에 결합되되, 상기 엑츄에이터 브라켓(14)에 형성되는 원형 관통홀에 삽입되어 그 관통홀을 따라 직선 운동을 하게 되는 것이다. 그리고 엑츄에이터(12)의 하단은 상기 엑츄에이터 브라켓(14)에 고정된다. Next, the actuator bracket 14 is a component that couples the actuator 12 and the shaft 30 to the main plate 60, as shown in FIG. At this time, the actuator bracket 14 is coupled so that the shaft 30 can be linearly moved by the vibration of the actuator 14. That is, the shaft 30 is coupled to the actuator bracket 14, and is inserted into a circular through hole formed in the actuator bracket 14 to perform a linear movement along the through hole. The lower end of the actuator 12 is fixed to the actuator bracket 14.

다음으로 하부 엑츄에이터 플레이트(actuator plate, 16)는 도 5, 6에 도시된 바와 같이, 상기 엑츄에이터(12)가 탈착가능하도록 상기 엑츄에이터(12)의 하단 및 상기 엑츄에이터 브라켓(14)과 결합되는 구성요소이다. 또한 상부 엑츄에이터 플레이트(18)은 상기 엑츄에이터(12)가 탈착가능하도록 상기 엑츄에이터(12) 상단 및 상기 축(30)과 결합되는 구성요소이다. Next, as shown in FIGS. 5 and 6, the lower actuator plate 16 is coupled to the lower end of the actuator 12 and the actuator bracket 14 so that the actuator 12 is detachable. to be. In addition, the upper actuator plate 18 is a component coupled to the upper end of the actuator 12 and the shaft 30 so that the actuator 12 is detachable.

그리고 상기 엑츄에이터 브라켓(14)과 상기 축(30)이 접촉되는 부분에는 도 5, 6에 도시된 바와 같이, 부싱(bushing, 17)이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 부싱(17)은 상기 축(30)의 직선 운동을 안내할 뿐만아니라, 상기 축(30) 직선 왕복 운동에 의한 마찰에 의하여 축이 손상되고, 그에 따라 커터의 진직도가 커지는 것을 방지한다. 따라서 이 부싱(17)은 마찰에 대한 저항력이 강한 소재로 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 이 부싱(17)으로 Linear Metal Bushing을 사용한다. In addition, as shown in FIGS. 5 and 6, a bushing 17 may be further provided at a portion where the actuator bracket 14 and the shaft 30 contact each other. The bushing 17 not only guides the linear motion of the shaft 30, but also prevents the shaft from being damaged by friction due to the linear reciprocating motion of the shaft 30, thereby preventing the cutter straightness from increasing. Therefore, the bushing 17 is preferably formed of a material having a strong resistance to friction. In this embodiment, the bushing 17 uses a linear metal bushing.

그리고 본 실시예에 따른 진동 발생부(10)에는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 부싱(17)의 상단면 일측에 상기 부싱이 직선 운동과정에서 이탈되지 않도록 하기 위한 부싱 커버(19)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 부싱 커버(19)는 일측이 상기 엑츄에이터 브라켓(17)의 상단면에 결합, 고정되며, 그 타측은 상기 부싱(17)의 상단면 일측과 접촉되어 부싱이 이탈되지 않도록 막는다. In addition, as shown in FIG. 5, the vibration generating unit 10 according to the present embodiment further includes a bushing cover 19 on one side of the upper surface of the bushing 17 to prevent the bushing from being separated in a linear motion process. It is preferable to provide. One side of the bushing cover 19 is coupled to and fixed to the upper end surface of the actuator bracket 17, and the other side thereof is in contact with one side of the upper end surface of the bushing 17 to prevent the bushing from being separated.

또한 본 실시예에 따른 진동 발생부(10)에는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 엑츄에이터(12)의 진동과정에서 엑츄에이터(12)의 온도가 증가하는 것을 방지하기 위하여 엑츄에이터 냉각 브라켓(15)이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 엑츄에이터 냉각 브라켓(15)은 상기 엑츄에이터(12)에 전원을 인가하기 위하여 배치되는 전극(13)이 설치된 부분에만 배치되는 것이 장치의 구조를 단순하게 할 수 있어서, 바람직하다. 그리고 이 엑츄에이터 냉각 브라켓(15)에는 이 엑츄에이터 냉각 브라켓에 공급되는 냉매의 압력을 조절하는 압력 조절수단(도면에 미도시)이 더 마련되는 것이 엑츄에이터 냉극 브라켓을 정밀하게 제어할 수 있어서 바람직하다. In addition, in the vibration generating unit 10 according to the present embodiment, as shown in FIG. 6, the actuator cooling bracket 15 is provided to prevent the temperature of the actuator 12 from increasing during the vibration of the actuator 12. It is preferable to provide further. The actuator cooling bracket 15 is preferably disposed only at a portion where the electrode 13 arranged to apply power to the actuator 12 is provided to simplify the structure of the apparatus. In addition, it is preferable that the actuator cooling bracket 15 is further provided with a pressure regulating means (not shown) for adjusting the pressure of the refrigerant supplied to the actuator cooling bracket so as to precisely control the actuator cold electrode bracket.

다음으로 본 실시예에 따른 커터부(20)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 커터(22); 커터 홀더(24)를 포함하여 구성된다. Next, the cutter unit 20 according to the present embodiment includes a cutter 22, as shown in FIG. 3; The cutter holder 24 is comprised.

여기에서 상기 커터(22)는 스크라이브선을 형성시키기 위한 작업부재의 표면과 직접 접촉하여 상기 작업부재에 크랙을 발생시키는 구성요소이다. 따라서 이 커터(22)는 상기 작업부재보다 강한 경도를 가지는 소재로 형성되어야 하며, 일반적으로는 다이아몬드로 이루어진다. Here, the cutter 22 is a component that directly contacts the surface of the work member for forming a scribe line and generates a crack in the work member. Therefore, the cutter 22 should be formed of a material having a stronger hardness than the work member, and is generally made of diamond.

다음으로 상기 커터 홀더(cutter holder, 24)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 커터(22)와 고정, 결합되는 동시에, 상기 커터(22)를 상기 축(30)과 결합되도록 하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 커터 홀더(24)에는 원기둥 형상의 상기 축(30) 말단이 삽입될 수 있는 결합홈(24a)이 형성되고, 이 결합홈(24a)에 축(30) 말단이 삽입되어 결합된다. 그리고 커터 홀더(24)의 회측 상단에는 상기 커터(22)가 결합될 수 있는 홈이 형성되어 커터가 고정, 결합된다. 본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 커터(22)가 상기 커터 홀더(24)의 중심선에서 약간 이탈되어 편심되도록 배치된다. 따라서 상기 커터 홀더(24)가 회전가능하게 마련되어 전진하는 경우, 상기 커터(22)는 상기 커터 홀더(24)의 중심선보다 약간 뒤쪽에서 상기 커터 홀더(24)의 중심선과 일치되는 경로를 따라 이동하게 된다. 따라서 상기 커터(22)에 의하여 형성되는 스크라이브선의 진직도가 매우 우수한 장점이 있다. 또한 본 실시예에서는 상기 커터 홀더(24)에 결합된 상기 커터(22)가 상기 커터 홀더(24)로부터 이탈되지 않도록 고정하는 커터 홀더(도면에 미도시)가 더 마련되는 것이 바람직하다. Next, as shown in FIG. 3, the cutter holder 24 is a component that is fixed and coupled with the cutter 22 and that allows the cutter 22 to be coupled with the shaft 30. . In the present embodiment, the cutter holder 24 is formed with a coupling groove 24a into which the end of the shaft 30 in a cylindrical shape can be inserted, and the end of the shaft 30 is inserted into the coupling groove 24a to be engaged. do. In addition, a groove in which the cutter 22 may be coupled is formed at the upper end of the cutter holder 24, and the cutter is fixed and coupled. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the cutter 22 is disposed to be eccentrically separated from the centerline of the cutter holder 24. Therefore, when the cutter holder 24 is rotatably provided and moved forward, the cutter 22 moves along a path coinciding with the center line of the cutter holder 24 slightly behind the center line of the cutter holder 24. do. Therefore, there is an advantage in that the straightness of the scribe line formed by the cutter 22 is very excellent. In addition, in the present embodiment, it is preferable that a cutter holder (not shown) is further provided to fix the cutter 22 coupled to the cutter holder 24 not to be separated from the cutter holder 24.

이때 상기 축(30)과 커터 홀더(24)사이에는 볼 플런저(ball plunger, 26)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 볼 플런저(26)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 축(30)의 상단에 형성되는 플런저 홈(31)에 삽입되어 마련된다. 그리고 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 볼 플런전(26)는, 그 상부에는 볼(26a)이 배치되고, 그 하부에는 스프링(26b)이 배치되며, 상기 볼(26a)과 스프링(26b) 사이에는 판(26c)배치되는 구조를 가진다. 본 실시예에서 이 볼 플런저(26)는 상기 커터(22)가 작업부재에 접촉된 상태로 수평이동하면서 스크라이브선을 형성시키는 동안에 상기 커터가 일정간격안에서 상하 방향으로 이동할 수 있도록 함으로써, 상기 커터(22)에 의하여 형성되는 스크라이브선의 진직도가 향상되도록 한다. At this time, it is preferable that a ball plunger 26 is further provided between the shaft 30 and the cutter holder 24. This ball plunger 26 is inserted into the plunger groove 31 formed in the upper end of the shaft 30, as shown in FIG. As shown in FIG. 4, the ball plunger 26 has a ball 26a disposed at an upper portion thereof, a spring 26b disposed at a lower portion thereof, and the ball 26a and a spring 26b disposed thereon. It has a structure arrange | positioned between the boards 26c. In this embodiment, the ball plunger 26 allows the cutter to move up and down within a predetermined interval while forming the scribe line while horizontally moving while the cutter 22 is in contact with the work member. The straightness of the scribe line formed by 22) is to be improved.

한편 본 실시예에서는 상기 커터 홀더(24)가 상기 축(30)에 결합된 상태에서 회동가능하도록 마련된다. 이는 상기 커터(22)의 편심구조에 의하여 수평이동시 상기 커터(22)가 항상 상기 커터 홀더(24)의 중심선과 동일한 경로로 이동하도록 하기 위하여 자유도를 주는 것이다. 이때 상기 커터 홀더(24)가 360°회전될 수 있는 경우에는 상기 커터의 운동을 제어하기 어려운 문제점이 있다. 따라서 상기 커터 홀더(24)가 소정 각도 이내에서만 회동할 수 있도록 할 필요성이 있다. 그러므로 본 실시예에서는 상기 축(30) 말단 측면 중 소정 부분을 면취하여 면취홈(32)을 형성시키고, 상기 커터 홀더의 측벽 중 상기 면취홈(32)과 대응되는 부분에 두께 방향으로 관통공(24b)을 형성시킨다. 그리고 이 관통공(24b)에 쐐기(29)를 삽입하여 고정하되, 상기 쐐기(28)의 말단은 상기 면취홈(32)에 접촉되도록 배치된다. 그리고 상기 쐐기(28)의 말단은 도 3에 도시된 바와 같이, 곡면을 가지도록 가공되어, 상기 커터 홀더(24)가 일정한 각도 내에서는 회동할 수 있도록 한다. Meanwhile, in the present embodiment, the cutter holder 24 is provided to be rotatable in a state in which the cutter holder 24 is coupled to the shaft 30. This gives the degree of freedom so that the cutter 22 always moves in the same path as the center line of the cutter holder 24 when the horizontal movement by the eccentric structure of the cutter 22. In this case, when the cutter holder 24 may be rotated 360 °, it is difficult to control the movement of the cutter. Therefore, it is necessary to allow the cutter holder 24 to rotate only within a predetermined angle. Therefore, in the present embodiment, a predetermined portion of the end surface of the shaft 30 is chamfered to form a chamfering groove 32, and a through hole in a thickness direction in a portion corresponding to the chamfering groove 32 of the sidewall of the cutter holder ( 24b). And the wedge 29 is inserted and fixed in the through hole 24b, but the end of the wedge 28 is disposed to contact the chamfered groove (32). And the end of the wedge 28 is processed to have a curved surface, as shown in Figure 3, so that the cutter holder 24 can be rotated within a certain angle.

다음으로 상기 축(30)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 진동 발생부(10)와 커터부(20) 사이에 개재되어 마련되며, 상기 진동 발생부(10)의 진동을 커터부(20)에 전달하는 구성요소이다. Next, as shown in FIG. 1, the shaft 30 is interposed between the vibration generator 10 and the cutter unit 20, and the vibration of the vibration generator 10 is applied to the cutter unit 20. Is a component that passes to).

다음으로 상기 높이 조정수단(40)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 진동 발생부(30)의 하측에 마련되며, 상기 작업부재의 굴곡에 따라 상기 커터부(20)의 높이를 조정하는 구성요소이다. 일반적으로 스크라이브 장치에 의하여 파단되는 작업부재의 표면은 평평하게 가공된다. 그러나 이러한 작업부재의 표면에는 미세한 굴록이 많이 형성되어 있으며, 국지적으로는 평평하지만, 전체적으로 굴곡이 형성되어 있는 경우도 있다. 따라서 작업부재의 표면 굴곡을 따라 상기 커터부(20)의 높이를 조정하여 작업부재에 형성되는 스크라이브선의 진직도를 향상시킬 필요성이 있다. 따라서 본 실시예에서는 이러한 작업부재의 굴곡을 감지하고 이를 실시간으로 반영하여 커터부(20)의 높이를 조정하는 높이 조정수단을 마련하는 것이다. 본 실시예에서 이 높이 조정수단(40)은 부가되는 하중이 미리 입력된 일정한 값 이하이면 그 길이가 신장되고, 부가되는 하중이 미리 입력된 일정한 값 이상이면 길이가 수축되는 로드셀(load cell)로 마련되는 것이 바람직하다. Next, as shown in FIG. 1, the height adjusting means 40 is provided below the vibration generating unit 30 and adjusts the height of the cutter unit 20 according to the bending of the working member. Component. In general, the surface of the working member broken by the scribe device is processed flat. However, the surface of such a work member is formed with a lot of fine bends, and although locally flat, there are cases where the bend is formed as a whole. Therefore, it is necessary to improve the straightness of the scribe line formed on the work member by adjusting the height of the cutter unit 20 along the surface curvature of the work member. Therefore, the present embodiment is to provide a height adjustment means for adjusting the height of the cutter unit 20 by detecting the bending of the work member and reflecting it in real time. In the present embodiment, the height adjusting means 40 is a load cell in which the length is extended if the load to be added is equal to or less than a predetermined value input in advance, and the length of the load cell is contracted if the load to be added is equal to or more than a predetermined value input in advance. It is preferable to provide.

다음으로 상기 예압 제공수단(50)은 상기 높이 조정수단의 상측에 마련되며, 상기 커터부(20)에 예압을 제공하는 역할을 하는 구성요소이다. 여기서 예압이라 함은, 상기 커터부(20)를 축방향으로 압축하는 방향의 힘을 말한다. 따라서 이 예압 제공수단(50)은 상기 커터(22)가 작업부재와 접촉하여 스크라이브선을 형성시킬 때, 상기 커터(22)를 축방향으로 압축하여 상기 작업부재에 두께 방향으로 충격이 가해지도록 한다. Next, the preload providing means 50 is provided above the height adjusting means, and is a component that serves to provide a preload to the cutter unit 20. Here, preload means the force of the direction which compresses the said cutter part 20 to an axial direction. Therefore, the preload providing means 50 compresses the cutter 22 in the axial direction when the cutter 22 is in contact with the work member to form a scribe line so that an impact is applied to the work member in the thickness direction. .

본 실시예에서는 이 예압 제공수단(50)을, 공기압의 의하여 압력을 발생시는 에어 실린더로 마련한다. 그리고 이 에어 실린더는 Micro Speed Cylinder인 것이 바람직하다. In this embodiment, this preload providing means 50 is provided as an air cylinder which generates pressure by air pressure. And it is preferable that this air cylinder is a micro speed cylinder.

또한 본 실시예에 따른 스크라이브 장치(1)에는 압력 조정수단(80)이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 압력 조정수단(80)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 높이 조정수단(40)과 상기 예압 제공수단(50) 사이에 개재되어 마련된다. 본 실시예에서 이 압력 조정수단(80)은 상기 예압 제공수단(50)에서 제공되는 압력이 미리 설정된 소정 크기 이하가 되도록 압력을 조정하는 역할을 한다. 상기 예압 제공수단(50)에서 과도한 압력을 가하는 경우에는 작업부재에 손상이 발생할 수도 있기 때문에 작업 부재에 따라 정해지는 일정한 크기 이상의 압력이 가해지지 않도록 압력을 조정하는 것이다. 본 실시예에서는 이 압력 조정수단(80)을 전공 레귤레이터로 마련한다. In addition, the scribe device 1 according to the present embodiment is preferably provided with a pressure adjusting means (80). The pressure adjusting means 80 is provided between the height adjusting means 40 and the preload providing means 50, as shown in FIG. In this embodiment, the pressure adjusting means 80 serves to adjust the pressure so that the pressure provided from the preload providing means 50 is equal to or less than a predetermined predetermined size. When excessive pressure is applied by the preload providing means 50, since damage may occur to the work member, the pressure is adjusted so that a pressure of a predetermined size or more determined according to the work member is not applied. In this embodiment, this pressure adjusting means 80 is provided as an electro-pneumatic regulator.

다음으로 메인 플레이트(60)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 커터부(20), 진동 발생부(10), 예압 제공수단(50)과 각각 결합되어 마련되며, 상기 커터부(20), 진동 발생부(10), 높이 조정수단(40), 예압 제공수단(50)의 각 중심선이 일직선상에 순서대로 위치되도록 고정시키는 역할을 한다. 그리고 상기 커터부(20), 진동 발생부(10), 높이 조정수단(40), 예압 제공수단(50)은 상기 메인 플레이트(60)에 고정된 상태로 상하 방향 및 수평 방향으로 이동된다. Next, as shown in FIG. 1, the main plate 60 is provided in combination with the cutter unit 20, the vibration generating unit 10, and the preload providing unit 50, respectively, and the cutter unit 20, It serves to fix each center line of the vibration generating unit 10, the height adjusting means 40, the preload providing means 50 in order in a straight line. In addition, the cutter unit 20, the vibration generating unit 10, the height adjusting unit 40, and the preload providing unit 50 are moved in the vertical direction and the horizontal direction while being fixed to the main plate 60.

또한 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인 플레이트(60)와 상기 예압 제공수단(50) 사이에는 간격 부재(62)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 간격 부재(62)는 상기 예압 제공수단(50)의 중심축이 상기 커터부(20)의 중심축과 일치되도록 하며, 상기 예압 제공수단(50)의 구동 과정에서 그 위치가 변동되지 않도록 고정시키는 역할을 한다. In addition, in this embodiment, as shown in Figure 1, it is preferable that the spacer 62 is further provided between the main plate 60 and the preload providing means 50. The spacing member 62 allows the central axis of the preload providing means 50 to coincide with the central axis of the cutter part 20, and is fixed so that its position does not change during the driving of the preload providing means 50. It plays a role.

다음으로 상하 이동부(70)는 상기 메인 플레이트(60)와 결합되어, 상기 메인 플레이트(60)를 상하 방향으로 구동시키는 구성요소이다. 본 실시예에서이 이 상하 이동부(70)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 사이드 베이스(72)에 고정되어 마련되며, 모터(74); 볼 스크류(76); 이동블럭(78)을 포함하여 구성된다. 여기에서 모터(74)는 메인 플레이트(60)의 상하 이동에 필요한 동력을 제공하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 메인 플레이트(60)의 상하 방향 이동을 정교하게 제어하기 위하여 상기 모터(74)를 서보 모터(servo motor)로 구성한다. Next, the vertical movement unit 70 is coupled to the main plate 60 to drive the main plate 60 in the vertical direction. In this embodiment, this vertical movement unit 70 is provided as fixed to the side base 72, as shown in Figs. 1 and 2, the motor 74; Ball screw 76; It comprises a moving block 78. Here, the motor 74 is a component that provides power required for vertical movement of the main plate 60. In this embodiment, the motor 74 is configured as a servo motor to precisely control the vertical movement of the main plate 60.

그리고 상기 볼 스크류(76)은 상기 모터(74)에 결합되어 회전되는 부재로서, 그 외주면에 나사산이 형성된다. 상기 볼 스크류(76)는 상기 메인 플레이트(60)에 고정되어 있는 이동 블럭(78)과 결합된다. 따라서 이 이동 블럭(78)에는 상기 볼 스크류(76)가 통과할 수 있는 크기의 암나사공이 형성되며, 이 암나사공의 내면에는 상기 볼 스크류(76)에 형성되어 있는 나사산과 일치하는 암나사가 형성된다. 따라서 상기 볼 스크류(76)가 상기 모터(74)에 의하여 회전하면 상기 이동블럭(78)은 상하 방향으로 이동하는 것이다. And the ball screw 76 is a member that is coupled to the motor 74 is rotated, the thread is formed on the outer peripheral surface. The ball screw 76 is coupled to the moving block 78 is fixed to the main plate 60. Accordingly, the moving block 78 is formed with a female threaded hole having a size through which the ball screw 76 can pass, and an internal thread corresponding to a thread formed in the ball screw 76 is formed on an inner surface of the female threaded hole. . Therefore, when the ball screw 76 is rotated by the motor 74, the moving block 78 is to move in the vertical direction.

그리고 본 실시예에 따른 상하 이동부에는, 상기 메인 플레이트(60)의 직선 운동을 유도하기 위하여 리니어 블럭(75)과 리니어 가이드(76)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 상기 리니어 블럭(75)은 상기 메인 플레이트(60)와 결합되어 마련되며, 상기 메인 플레이트(60)의 직선 운동을 유도한다. 그리고 상기 리니어 가이드(77)는 상기 리니어 블럭(75)과 결합되어 마련되며, 상기 리니어 블럭(75)의 운동방향을 안내한다. In addition, the vertical block 75 and the linear guide 76 may be further provided in the vertical moving part according to the present embodiment to guide the linear motion of the main plate 60. The linear block 75 is provided in combination with the main plate 60 to induce a linear motion of the main plate 60. In addition, the linear guide 77 is provided in combination with the linear block 75 and guides the movement direction of the linear block 75.

다음으로 본 실시예에 따른 스크라이브 장치(1)에는 도 7에 도시된 바와 같이, 이물질 제거수단(90)이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 이물질 제거수단(90)은 작업부재 상에 스크라이브선을 형성시키는 과정에서 발생되는 유리가루 등의 이물질을 제거하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 이물질 제거수단(90)이 블로어부(92);와 흡입부(94);를 포함하여 구성된다. Next, as shown in FIG. 7, the scribing apparatus 1 according to the present embodiment may further include a foreign matter removing means 90. This foreign matter removing means 90 is a component for removing foreign substances such as glass powder generated in the process of forming a scribe line on the work member. In the present embodiment, the foreign matter removing means 90 includes a blower unit 92 and a suction unit 94.

여기에서 상기 블로어부(92)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 커터부(20)의 일측에 배치되어 상기 커터부(20)와 함께 이동되며, 상기 커터부(20)와 상기 작업부재(S)가 접촉되는 지점 방향으로 기체를 분사하여 작업 과정에서 발생되는 이물질을 반대 방향으로 날려 보내는 역할을 한다. 이때 상기 블로어부(92)에는 기체를 분사하는 노즐(92a)이 마련되며, 상기 노즐(92a)의 각도를 조절하는 분사각 조절수단(92b)이 더 마련되는 것이 바람직하다. 상기 분사각 조절수단(92b)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 노즐(92a)와 결합된 상태로 회동할 수 있는 구조 이므로 상기 노즐(92a)의 기체 분사각도를 조정할 수 있는 것이다. Here, as shown in FIG. 7, the blower part 92 is disposed at one side of the cutter part 20 and moves together with the cutter part 20, and the cutter part 20 and the working member ( It sprays the gas in the direction of the point where S) is contacted and plays the role of blowing foreign substances generated in the working process in the opposite direction. At this time, the blower unit 92 is provided with a nozzle (92a) for injecting gas, it is preferable that the injection angle adjusting means (92b) for adjusting the angle of the nozzle (92a) is further provided. As shown in FIG. 7, the injection angle adjusting means 92b can adjust the gas injection angle of the nozzle 92a because the injection angle adjusting means 92b is rotatable in a state of being coupled with the nozzle 92a.

다음으로 상기 흡입부(94)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 커터부(20)를 중심으로 하여 상기 블로어부(92)의 반대측에 배치되어 상기 커터부(20)와 함께 이동되며, 상기 블로어부(62)에 의하여 날린 이물질을 흡수하여 제거하는 구성요소이다. Next, as shown in FIG. 7, the suction part 94 is disposed on the opposite side of the blower part 92 with the cutter part 20 as the center, and moves together with the cutter part 20. It is a component that absorbs and removes foreign matters blown by the blower part 62.

그리고 본 실시예에서는 상기 메인 플레이트(60) 및 상하 이동부(70)을 수평방향으로 이동시키는 수평 이동부(도면에 미도시)가 더 마련되는 것이 바람직하다. In the present embodiment, it is preferable that a horizontal moving part (not shown) is further provided to move the main plate 60 and the vertical moving part 70 in the horizontal direction.

또한 본 실시예에 따른 스크라이브 장치에는, 상기 진동 발생부를 제어하여, 상기 진동 발생부에서 발생되는 진동을 제어하는 제어부(도면에 미도시)가 더 마련된다. In addition, the scribing apparatus according to the present embodiment is further provided with a controller (not shown) to control the vibration generator to control the vibration generated by the vibration generator.

상기 제어부는 도 8에 도시된 바와 같이, 신호 발생부(Signal Generator); 콘트롤부(Controller); 증폭부(Amplifier); 디스플레이부(Display);를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 8, the controller includes a signal generator; A controller; An amplifier; And a display unit (Display).

여기에서 신호 발생부는 상기 진동 발생부를 제어하는 신호를 최초로 발생시키는 구성요소이다. 이 진동 발생부는, 도 9에 도시된 바와 같이, 삼각파(Triangle wave), 사인파(Sine wave), 펄스파(Pulse wave) 등을 발생할 수 있으며, 본 실시예에서는 1V의 전압 및 소정 주파수를 가지는 사인파 신호를 발생시키며, 그 신호를 상기 콘트롤부로 전달한다. The signal generator is a component that first generates a signal for controlling the vibration generator. As shown in FIG. 9, the vibration generator may generate a triangular wave, a sine wave, a pulse wave, or the like. In this embodiment, a sine wave having a voltage and a predetermined frequency of 1 V may be used. Generates a signal and transmits the signal to the controller.

상기 콘트롤부는 상기 진동 발생부에서 발생된 신호의 주파수를 적절하게 변경하며, 그 값을 디스플레이부에 전달하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 콘트롤부는, 아날로그 신호를 디지털 신호로 전환하는 ADC(Analog to Digital Converter); 상기 신호의 주파수를 제어하는 MCU(Micro Control Unit); 디지털 신호를 아날로그 신호로 전환하는 DAC(Digital to Analog Converter);를 포함하여 구성된다. The control unit is an element that appropriately changes the frequency of the signal generated by the vibration generating unit, and transmits the value to the display unit. In this embodiment, the control unit includes: an analog to digital converter (ADC) for converting an analog signal into a digital signal; MCU (Micro Control Unit) for controlling the frequency of the signal; And a digital to analog converter (DAC) for converting a digital signal into an analog signal.

다음으로 상기 증폭부는, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 신호를 예비적으로 증폭하는 예비 증폭부; 상기 예비 증폭부에서 증폭된 신호를 증폭하는 본 증폭부; 상기 본 증폭부와 연결되어 마련되며, 상기 본 증폭부를 안정화시키는 부스터(Booster);로 구성된다. 이때 상기 예비 증폭부는 상기 콘트롤부로부터 전달되는 신호를 예비적으로 증폭하여 상기 본 증폭부에 적합한 신호로 바꾼다. 그리고 상기 본 증폭부에서는 상기 진동 발생부에서 필요한 크기의 전압으로 증폭시키는데, 본 실시예에서는 20V 의 전압을 가지도록 증폭한다. 그리고 본 실시예에서는 상기 본 증폭부와 상기 진동 발생부 사이에 완충기(Buffer)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 상기 본 증폭부는 상기 진동 발생부와 직접 연결되므로 상기 진동 발생부에서 발생하는 영향이 그대로 전달될 수 있다. 그런데 이 본 증폭부에 이러한 영향이 미치면 본 증폭부가 손상될 수 있다. 따라서 상기 버퍼가 상기 진동 발생부로 부터 발생하는 영향을 막아서 제거함으로써, 상기 본 증폭부를 보호하는 역할을 한다. Next, the amplifying unit, as shown in Figure 10, a preliminary amplifying unit for preliminarily amplifying the signal; A main amplifier for amplifying the signal amplified by the preamplifier; It is provided in connection with the main amplifier, the booster (Booster) for stabilizing the main amplifier; At this time, the preliminary amplification unit preliminarily amplifies the signal transmitted from the control unit to change the signal suitable for the main amplification unit. The amplification unit amplifies to a voltage having a magnitude required by the vibration generator. In this embodiment, the amplification unit amplifies to have a voltage of 20V. In the present embodiment, it is preferable that a buffer is further provided between the main amplifier and the vibration generator. Since the main amplifier is directly connected to the vibration generator, the influence generated by the vibration generator may be transmitted as it is. However, if this influence on the main amplifier, the main amplifier may be damaged. Therefore, the buffer serves to protect the main amplifier by removing the buffer from the vibration generating unit.

다음으로 상기 디스플레이부는 상기 콘트롤부 및 상기 증폭부에서 전달되는 주파수 값 및 전압 값을 디스플레이하는 구성요소이다. 따라서 이 디스플레이부는 본 실시예에 따른 제어부의 작동 상태를 한 눈에 파악할 수 있도록 한다. Next, the display unit is a component for displaying frequency values and voltage values transmitted from the control unit and the amplifier. Therefore, the display unit can grasp the operating state of the control unit according to the present embodiment at a glance.

다음으로 상기 전원부는, 상기 신호 발생부, 콘트롤부, 증폭부, 디스플레이부에 전원을 공급하는 구성요소이다. Next, the power supply unit is a component that supplies power to the signal generator, the controller, the amplifier, and the display.

이하에서는 본 실시예에 따른 스크라이브 장치(1)의 사용방법을 설명한다. Hereinafter, a method of using the scribe device 1 according to the present embodiment will be described.

먼저 처리되는 작업 부재에 따라 적합한 예압을 설정하여 상기 압력 조정수단(80)에 입력하여 상기 압력 조정수단(80)이 그 이상의 압력이 작업 부재에 부가되지 않도록 한다. 그리고 상기 상하 이동부(70)을 구동시켜 상기 커터(22)가 작업 부재의 표면과 접촉되도록 한다. 그리고 상기 예압 제공수단(50)을 구동시켜 상기 작업부재에 예압을 가하면서 상기 제어부가 엑츄에이터(12)에 신호를 전달하여 진동을 발생시킨다. 그러면 상기 커터(22)가 진동하면서 작업 부재의 표면에 크랙을 형성한다. 이와 동시에 수평이동부를 구동시켜 스크라이브 장치(1)를 수평 방향으로 이동시킨다. 그러면 스크라이브 장치(1)의 이동방향에 따라서 스크라이브 선이 형성된다. First, a suitable preload is set according to the working member to be processed and input to the pressure adjusting means 80 so that the pressure adjusting means 80 does not add any more pressure to the working member. Then, the vertical movement unit 70 is driven so that the cutter 22 is in contact with the surface of the work member. Then, while driving the preload providing means 50 to apply a preload to the working member, the control unit transmits a signal to the actuator 12 to generate a vibration. The cutter 22 then vibrates to form cracks on the surface of the work member. At the same time, the scribe device 1 is moved in the horizontal direction by driving the horizontal moving unit. Then, a scribe line is formed according to the moving direction of the scribe device 1.

본 발명에 따르면 작업 부재의 표면에 형성되어 있는 굴곡에 실시간으로 반응하여 일정한 스크라이브선을 형성시킬 수 있는 장점이 있다. 또한 본 발명에 따른 스크라이브 장치에 의하면 플레이킹(flaking) 현상이 발생하지 않아서 장치의 수명이 길어지는 장점이 있다. According to the present invention there is an advantage that can be formed in response to the bending formed on the surface of the work member in real time to form a constant scribe line. In addition, according to the scribing apparatus according to the present invention, there is an advantage that the life of the apparatus is long because no flaking occurs.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이브 장치의 구성을 나타내는 측면도이다. 1 is a side view showing the configuration of a scribe device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동부의 구조를 나타내는 사시도이다. Figure 2 is a perspective view showing the structure of the vertical movement unit according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커터부의 구조를 나타내는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view showing a structure of a cutter unit according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 볼 플런저의 구조를 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing the structure of a ball plunger according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진동 발생부의 구조를 나타내는 측면도이다. 5 is a side view showing the structure of a vibration generating unit according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동 발생부의 구조를 나타내는 정면도이다. 6 is a front view showing the structure of a vibration generating unit according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 이물질 제거수단의 구성을 나타내는 측면도이다. Figure 7 is a side view showing the configuration of the foreign matter removing means according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부의 구성을 나타내는 블럭도이다. 8 is a block diagram illustrating a configuration of a controller according to an embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 신호 발생부의 구성을 나타내는 블럭도이다. 9 is a block diagram illustrating a configuration of a signal generator according to an embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 증폭부의 구성을 나타내는 블럭도이다. 10 is a block diagram showing the configuration of an amplifier according to an embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이브 장치1: scribe device according to an embodiment of the present invention

10 : 진동 발생부 12 : 엑츄에이터10: vibration generating unit 12: actuator

14 : 엑츄에이터 브라켓 20 : 커터부14: actuator bracket 20: cutter portion

22 : 커터 24 : 커터 홀더22: cutter 24: cutter holder

26 : 볼 플런저 30 : 축26 ball plunger 30 axis

32 : 면취홈 40 : 높이 조정수단32: chamfering groove 40: height adjustment means

50 : 예압 제공수단 60 : 메인 플레이트50: preload providing means 60: main plate

70 : 상하 이동부 72 : 사이드 베이스70: up and down moving part 72: side base

80 : 압력 조정수단 90 : 이물질 제거수단80: pressure adjusting means 90: foreign matter removing means

92 : 블로어부 94 : 흡입부 92 blower portion 94: suction portion

Claims

In the scribe device for forming a scribe line on the working member,

Vibration generating unit for generating a vibration;

A cutter unit configured to receive a vibration generated from the vibration generator to form a scribe line on the working member;

An axis interposed between the vibration generating unit and the cutter unit and transmitting the vibration to the cutter unit;

Height adjusting means provided at an upper side of the vibration generating unit and adjusting the height of the cutter unit according to the bending of the working member;

A preload providing means provided above the height adjusting means and providing a preload to the cutter portion;

A main plate provided in combination with the cutter unit, the vibration generating unit, and the preload providing unit, and fixing the centers of the cutter unit, the vibration generating unit, the height adjusting unit, and the preload providing unit in a straight line in order;

It is provided in combination with the main plate, up and down moving unit for driving the main plate in the vertical direction;

The vibration generating unit, the cutter portion, the shaft, the height adjusting means, the preload providing means is a scribe device disposed to have the same center line.

According to claim 1, The vertical movement unit,

A motor providing power used for vertical movement of the main plate;

A ball screw provided in combination with the motor and having a screw thread formed on an outer circumference thereof;

And a moving block provided in combination with the main plate and having a female threaded hole that can be coupled with the ball screw.

According to claim 2, The vertical movement unit,

A linear block provided in combination with the main plate and inducing linear movement of the main plate;

And a linear guide provided in combination with the linear block and guiding a movement direction of the linear block.

The method of claim 2, wherein the motor,

A scribe device, characterized in that the servo motor (servo motor).

The method of claim 1, wherein the cutter unit,

A cutter in contact with the work member to form a scribe line in the work member;

And a cutter holder to which the shaft end of the cylindrical shape is rotatably inserted and coupled, and a cutter holder to which the cutter is coupled to an outer upper end thereof.

The method of claim 5, wherein the cutter,

A scribe device, characterized in that the eccentrically arranged to be separated from the center line of the cutter holder.

The method of claim 5,

And a ball plunger for correcting the straightness of the cutter at a portion where the cutter holder and the shaft are in contact with each other.

The method of claim 5, wherein the cutter holder,

And a cutter cover for fixing the cutter so as not to be separated from the cutter holder.

The method of claim 5,

A through hole is formed in a predetermined sidewall of the cutter holder, and a chamfering groove is formed in a portion corresponding to the through hole among end portions of the shaft.

And a wedge inserted into the through hole to prevent the cutter holder from rotating by a predetermined angle.

According to claim 1, The vibration generating unit,

An actuator for providing vibration power;

An actuator bracket for coupling the actuator and the shaft to a main plate, the coupling coupled to the shaft to perform a linear movement by vibration of the actuator;

A lower actuator plate coupled to the lower end of the actuator and the actuator bracket such that the actuator is detachable;

And an upper actuator plate coupled to the upper end and the shaft of the actuator so that the actuator is detachable.

The method of claim 10, wherein the actuator,

A scribe device, characterized in that the Parallel Pre-stressed Actuator.

The method of claim 10,

And a bushing for guiding linear movement of the shaft is provided at the contact portion between the actuator bracket and the shaft.

The method of claim 12, wherein the bushing,

A scribe device, characterized in that the linear metal bushing.

The method of claim 12,

A scribe device further comprises a bushing cover on the actuator bracket to prevent separation of the bushing.

The method of claim 10, wherein the side of the actuator,

And an actuator cooling bracket for cooling the actuator in a driving process of the actuator.

The method of claim 15, wherein the actuator cooling bracket,

A scribe device, characterized in that disposed on only the portion of the side of the actuator is provided with an electrode provided for supplying power to the actuator.

The method of claim 15, wherein the actuator cooling bracket,

The scribe device, characterized in that the pressure adjusting means for adjusting the pressure of the refrigerant supplied to the actuator cooling bracket is further provided.

The method of claim 1, wherein the height adjustment means,

A scribe device, characterized in that the load cell is stretched if the added load is equal to or less than a predetermined value input in advance, and contracted if the added load is equal to or greater than a predetermined value input in advance.

According to claim 1, wherein the preload providing means,

A scribe device, characterized in that the air cylinder for providing pressure by the air pressure.

The method of claim 19, wherein the air cylinder,

A scribe device, characterized in that the Micro Speed Cylinder.

The method of claim 1,

And a pressure adjusting means interposed between the height adjusting means and the preload providing means, the pressure adjusting means adjusting the pressure so that the pressure provided from the preload providing means is equal to or less than a predetermined predetermined size.

The pressure adjusting means of claim 21,

A scribe device, characterized in that the electric regulator.

According to claim 1, Between the main plate and the preload providing means,

And a spacing member for fixing the preload providing means to the main plate such that the central axis of the cutter portion and the central axis of the preload providing means coincide with each other.

The method of claim 1,

The scribing apparatus, characterized in that the foreign matter removing means for removing the foreign matter generated in the process of forming a scribe line on the work member is further provided.

The method of claim 24, wherein the foreign material removing means,

A blower part disposed at one side of the cutter part and moved together with the cutter part to blow foreign substances generated by spraying gas in a direction in which the cutter part and the working member come into contact with each other;

And a suction part disposed on an opposite side of the blower part with respect to the cutter part and moved together with the cutter part to suck and remove foreign substances blown by the blower part.

The method of claim 25, wherein the blower portion,

And a nozzle for injecting gas, and further comprising an injection angle adjusting means for adjusting the angle of the nozzle.

The method of claim 1,

And a horizontal moving part for moving the main plate and the vertical moving part in a horizontal direction.

The method of claim 1,

And a control unit for controlling the vibration generating unit to control the vibration generated by the vibration generating unit.

The method of claim 28, wherein the control unit,

A signal generator for generating a signal for controlling the vibration generator;

A controller for changing a frequency of the signal generated by the vibration generator;

An amplifier for amplifying a voltage of the signal transmitted from the controller;

A display unit which displays the frequency value and the voltage value transmitted from the control unit and the amplifier unit;

A power supply unit supplying power to the signal generator, the controller, the amplifier, and the display; A scribe device, characterized in that configured to include.

The method of claim 29, wherein the control unit,

An analog to digital converter (ADC) for converting an analog signal into a digital signal;

MCU (Micro Control Unit) for controlling the frequency of the signal;

A scribing device, comprising: a digital to analog converter (DAC) for converting a digital signal into an analog signal.

The method of claim 29, wherein the amplifying unit,

A preamplifier for preamplifying the signal;

A main amplifier for amplifying the signal amplified by the preamplifier;

And a booster provided in connection with the main amplification unit and stabilizing the main amplification unit.

The method of claim 31, wherein the amplification unit,

The scribing device is provided between the main amplifier and the vibration generating unit, and further provided with a buffer for removing the effect transmitted from the vibration generating unit to the main amplifier.