KR100502053B1 - 모듈 램 핸들러용 냉각장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 연장된 노즐을 구비한 모듈 램 핸들러용 냉각장치에 관한 것이다. 모듈 램 핸들러용 냉각장치는 가이드 프레임들의 사이에 설치되며, 복수개의 연장된 노즐을 갖는 노즐탱크와, 노즐중 그 일부에 설치되며, 에어 온도를 제어하기 위한 에어 온도 감지용 센서와, 모듈 램측에 설치되며, 모듈 램의 온도를 감지하기 위한 모듈 램 온도 감지용 센서와, 에어 온도 감지용 센서와 모듈 램 온도 감지용 센서에 상호 연결된 온도 컨트롤러와, 온도 컨트롤러에 연결된 제어밸브와, 그 일측이 상기 제어 밸브에 연결되고, 그 타측이 상기 노즐 탱크에 연결된 열교환기로 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명은 유속증대를 위하여 노즐이 연장되므로 모듈 램 부근에서의 유속 및 유량의 증대로 인해 모듈 램을 용이하게 냉각시킬 수 있고 아울러, 모듈 램의 냉각을 위하여 제공되는 에어를 제어할 수 있으므로 에어의 낭비를 줄일 수 있다.

Description

모듈 램 핸들러용 냉각장치{Cooling Apparatus For Module Ram Handler}

본 발명은 모듈 램 핸들러용 냉각장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 연장된 노즐과 복수개의 센서를 이용하여 모듈 램에서 발생된 열을 냉각시킬 수 있는 모듈 램 핸들러용 냉각장치에 관한 것이다.

종래, 모듈 램 핸들러용 에어젯 구조(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 베이스 플레이트(10)의 일측에는 복수개의 에어 공급파이프(14)가 일정한 간격을 두고 설치되고, 에어젯 바디(16)에 설치된 고정부(18)는 상기 베이스 플레이트(10)의 상,하부의 내측에 설치된 고정핀(12)에 의해 고정되게 설치된다.

상기 에어젯 구조(100)의 에어젯 바디(16)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 플레이트(22)와, 상기 제 1 플레이트(22)의 일측에 연속적으로 결합되어 에어젯 바디(16)와 일체를 이루도록 설치된 제 2 플레이트(24) 및 커버(26)로 구성된다. 그리고, 상기 에어젯 바디(16)에 설치된 제 1 플레이트(22)에는 상기 에어젯 바디(16)와 제 2 플레이트(24)의 사이에 에어를 공급할 수 있도록 에어공(20)이 형성된다.

이와 같이 구성된 종래의 에어젯 구조(100)는 에어 공급파이프(14)에 에어를 공급하게 되면 제 1 플레이트(22)에 형성된 에어공(20)을 통하여 모듈 램(도시되지 않음)에 에어를 공급하게 된다.

그러나, 종래의 에어젯 구조는 항상 에어를 공급하게 되므로 장비의 에어 손실이 발생하게 되는 문제점이 있다.

또한, 종래의 에어젯 구조는 모듈 램의 양측만을 에어로 불어주게 되므로 모듈 램을 국부적으로 냉각시키게 되어 모듈 램을 전반적으로 효율적으로 냉각시킬 수 없는 단점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 연장된 노즐 및 복수개의 센서를 이용하여 모듈 램을 효율적으로 발열 보상할 수 있는 모듈 램 핸들러용 냉각장치를 제공하는 점에 있다.

본 발명의 다른 목적은 실제 온도를 티칭(teaching)하여 예정된 온도와 비교하면서 모듈 램을 냉각시킬 수 있는 모듈 램 핸들러용 냉각장치를 제공하는 점에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 모듈 램이 소정 온도이상일 경우에만 모듈 램을 냉각시키므로 에어의 낭비를 현저히 줄일 수 있는 모듈 램 핸들러용 냉각장치를 제공하는 점에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치는 가이드 프레임들의 사이에 설치되며, 복수개의 연장된 노즐을 갖는 노즐탱크와, 노즐중 그 일부에 설치되며, 에어 온도를 제어하기 위한 에어 온도 감지용 센서와, 모듈 램측에 설치되며, 모듈 램의 온도를 감지하기 위한 모듈 램 온도 감지용 센서와, 에어 온도 감지용 센서와 모듈 램 온도 감지용 센서에 상호 연결된 온도 컨트롤러와, 온도 컨트롤러에 연결된 제어밸브와, 그 일측이 상기 제어 밸브에 연결되고, 그 타측이 상기 노즐 탱크에 연결된 열교환기로 구성되는 점에 있다.

이하, 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 베이스 플레이트(210)의 일측에 가이드 프레임(212)이 설치되고, 상기 가이드 프레임(212)에는 모듈 램(300)을 삽입하여 지지하기 위한 지지부(214)가 설치된다. 상기 가이드 프레임(212)은 스프링(216)을 개재한 고정핀(218)에 의해 양측이 고정되어 있다.

그리고, 상기 모듈 램(300)이 삽설되는 가이드 프레임(212)의 소정 부위에는 모듈 램(300)의 온도를 감지하기 위한 모듈 램 온도 감지용 센서(250)(도 4참조)가 설치된다.

상기 가이드 프레임(212)들의 후방에는 노즐탱크(220)가 설치되고, 상기 노즐탱크(220)에는 복수개의 연장된 노즐(230)이 소정 간격을 두고 설치된다.

상기 복수개의 노즐(230)중 그 일부에는 도 4에 도시된 바와 같이, 에어의 온도를 조절하기 위한 에어 온도 감지용 센서(240)가 상기 노즐(230)의 소정부위에 설치된다. 상기 에어 온도 감지용 센서(240)는 에어의 온도를 감지하여 온도 컨트롤러(330)에 제공하고 에어의 온도가 낮은 경우에는 제어밸브(340)를 오프(Off)하고 에어의 온도가 높은 경우에는 제어밸브(340)를 온(On)하게 된다.

그리고, 상기 노즐(230)의 전면에는 도 3a에 도시된 바와 같이, 복수개의 세로방향의 슬롯(232)이 일정 간격으로 설치되어 있다. 그리고, 상기 슬롯(232)은 사용자의 요구에 따라 도 3c에 도시된 바와 같이, 가로방향의 슬롯(232a)으로 형성할 수도 있다. 이와 같이 노즐(230)의 전면에 세로방향 및 가로방향의 슬롯(232)(232a)을 설치한 이유는 슬롯의 형태에 따라 에어의 분출량 및 속도에 연관되므로 본 발명에서는 가능한 모듈 램(300)을 효율적으로 냉각시키기 위하여 세로방향 및 가로방향으로 슬롯(232)(232a)을 형성하였다.

한편, 상기 노즐(230)은 도 3d에 도시된 바와 같이, 또 다른 실시예로써 양쪽방향으로 에어를 분사하도록 그 양측에 슬롯(233a)(233b)를 형성하여 한 개의 노즐로 각기 2개의 모듈램(300)을 냉각시킬 수 있게 구성하였다. 이와 같이 슬롯(233a)(233b)을 양측으로 형성한 이유는 한 개의 노즐(230)의 슬롯(233a)(233b)에서 나오는 에어가 서로 다른 모듈램(300)의 양측을 냉각하게 되므로써 보다 효율적인 모듈램(300)의 냉각을 하고자 하는 점에 있다.

상기 노즐(230)의 슬롯(233a)(233b)대신에 도 3e에 도시된 바와 같이 관통홀(244a)(244b)를 형성하여 모듈램(300)을 냉각시킬 수도 있다. 여기서, 관통홀(244a)(244b)을 형성한 이유는 상기 슬롯(233a)(233b)에 비하여 에어의 압력을 보다 높게할 수 있는 이점이 있기 때문이다.

한편, 상기 에어 온도 감지용 센서(240)와 모듈 램 온도 감지용 센서(250)는 도 4에 도시된 바와 같이, 온도 컨트롤러(Temperature controller)(330)에 상호 연결되고, 상기 온도 컨트롤러(330)는 제어밸브(340)에 연결된다.

상기 제어밸브(340)는 열교환기(350)를 거쳐서 노즐탱크(220)에 연결된다. 그리고, 상기 제어밸브(340)의 일측에는 냉각을 위하여 LN₂ 가스가 연결된다.

상기 노즐탱크(220)는 테스트 챔버(400)내에 설치되고, 상기 테스트 챔버(400)의 내측에는 그 주변 환경의 온도, 습도 등을 제어하기 위한 테스트 챔버 환경제어센서(410)가 설치된다.

상기 테스트 챔버(400)의 일측에는 핸들러와 테스터 간의 인터페이스로 연결하기 위한 핸들러 테스터 인터페이스(310)이 설치된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치는 테스트 챔버(400)에서 모듈 램(300)의 테스트시, 모듈 램(300)측에 설치된 모듈 램 온도 감지용 센서(250)가 모듈 램(300)의 온도를 감지하고, 이 온도 데이터를 온도 컨트롤러(330)로 전송하게 된다. 이때, 노즐탱크(220)의 노즐(230)측에 설치된 에어 온도 감지용 센서(240)가 노즐(230)의 온도를 감지하여 상기 온도 컨트롤러(330)로 전송하게 된다.

상기 모듈 램(300)의 계속적인 테스트에 의해 모듈 램(300)의 온도가 상승하게 되면 상기 모듈 램 온도 감지용 센서(250)가 모듈 램(300)의 온도를 감지하여 온도 컨트롤러(330)로 보내게 되면 상기 온도 컨트롤러(330)는 기준 데이터와 비교하여 온도가 높은 경우 제어밸브(340)를 개방하여 열교환기(350)를 동작시키면 열교환기(350)에 연결된 노즐탱크(220)를 거쳐서 노즐(230)이 개방되게 된다.

한편, 상기 노즐(230)중의 일부 노즐에 설치된 에어 온도 감지용 센서(240)가 노즐(230)에서 나오는 에어의 온도를 측정하여 온도 컨트롤러(330)로 보내면 그 온도가 예정된 온도보다 낮게 되면 상기 온도 컨트롤러(330)는 에어를 더 이상 공급하지 않도록 제어밸브(340)를 폐쇄하게 된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치는 유속증대를 위하여 노즐이 연장되므로 모듈 램 부근에서의 유속 및 유량의 증대로 인해 모듈 램을 효율적으로 냉각시킬 수 있고 아울러, 모듈 램의 냉각을 위하여 제공되는 에어를 제어할 수 있으므로 에어의 낭비를 줄일 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치는 노즐의 양측에 슬롯을 형성하여 한 개의 노즐로 2개의 모듈 램을 냉각시킬 수 있게 구성하여 모듈 램의 냉각효율을 상승시키는 이점이 있다.

도 1은 종래의 모듈 램 핸들러용 냉각장치의 사시도,

도 2는 종래의 모듈 램 핸들러용 에어젯의 사시도,

도 3a는 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치의 사시도,

도 3b는 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치의 단면도,

도 3c는 본 발명의 요부인 노즐의 다른 실시예의 사시도,

도 3d는 본 발명의 요부인 노즐의 또 다른 실시예의 단면도,

도 3e는 본 발명의 요부인 노즐의 여전히 다른 실시예의 단면도,

도 4는 본 발명의 모듈 램 핸들러용 냉각장치의 사용상태를 나타낸 단면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

10 : 베이스 플레이트 12 : 고정핀

14 : 에어 공급 파이프 16 : 에어젯 바디

18 : 고정부 22 : 제 1 플레이트

24 : 제 2 플레이트 100 : 에어젯 구조

210 : 베이스 플레이트 220 : 노즐탱크

230 : 노즐 240 : 에어 온도 감지용 센서

250 : 모듈 램 온도 감지용 센서 310 : 인터페이스

330 : 온도 컨트롤러 340 : 제어 밸브

350 : 열 교환기 400 : 테스트 챔버

410 : 테스트 챔버 환경 제어센서

Claims (6)

1. 베이스 플레이트의 일측에 가이드 프레임이 설치되고, 상기 가이드 프레임에는 모듈램을 삽입하기 위한 지지부를 구비하고, 상기 지지부는 고정핀에 의해 양측이 고정되는 모듈램 핸들러용 냉각장치에 있어서,

   테스트챔버 환경제어센서를 구비한 테스트챔버 내에 설치되고, 복수개의 연장된 노즐을 갖는 노즐탱크와;

   상기 노즐 중 그 일부에 설치되며, 에어온도를 제어하기 위한 에어온도 감지용 센서와;

   상기 모듈램 측에 설치되며, 모듈램의 온도를 감지하기 위한 모듈램 온도 감지용 센서와;

   상기 에어온도 감지용 센서와 모듈램 온도 감지용 센서에 상호 연결된 온도 컨트롤러와;

   상기 온도 컨트롤러에 연결된 제어밸브와;

   그 일측이 상기 제어밸브에 연결되고, 그타측이 상기 노즐탱크에 연결된 열교환기로 구성되는 것을 특징으로 하는 모듈램 핸들러용 냉각장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 노즐탱크의 노즐은 그 전면에 복수개의 슬롯이 형성된 것을 특징으로 하는 모듈 램 핸들러용 냉각장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 노즐탱크의 노즐은 양쪽방향으로 에어를 분사하기 위하여 그 양측에 슬롯이 형성된 것을 특징으로 하는 모듈 램 핸들러용 냉각장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 노즐탱크의 노즐은 양쪽방향으로 에어를 분사하기 위하여 그 양측에 관통홀을 형성한 것을 특징으로 하는 모듈 램 핸들러용 냉각장치.
6. 삭제