KR100498601B1 - 반도체 제조용 엘립소미터 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법 - Google Patents
반도체 제조용 엘립소미터 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법 Download PDFInfo
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조공정의 엘립소미터 장비에서의 데이터 수집 방법에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 반도체 제조공정중 엘립소미터 장비에서 장비서버의 제어 없이 작업자의 직접 명령으로 발생하는 측정 데이터를 획득하며, 취득된 데이터를 저장하고 조회하는 방법을 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 장비서버와 엘립소미터 장비사이에 온라인을 설정하고, 작업자가 상기 엘립소미터 장비에 카세트를 제공하고, 상기 카세트 데이터를 입력한다. 상기 엘립소미터 장비가 제공된 카세트를 진행시키고, 상기 측정된 데이터를 상기 장비서버에 전송하고, 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 방법을 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 엘립소미터 장비의 데이터 수집에 이용됨.
Description
본 발명은 반도체 제조장비의 데이터 수집방법에 관한 것으로 특히, 엘립소미터 장비의 데이터를 온라인으로 수집하기 위한 방법에 관한 것이다.
엘립소미터 장비는 유전막의 두께 및 반사계수를 측정하는 장비로서, 유전막의 두께 및 반사계수를 측정할 때 발생하는 측정 데이터를 저장하는 방법이 필요하였다.
그런데, 종래에는 장비서버가 데이터 수집을 모두 제어하기 때문에 장비서버의 부담이 가중되며, 측정데이터를 검증없이 무조건 저장하기 때문에 다음에 진행하게 될 측정 웨이퍼에 정확한 측정기준을 적용할 수 없는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 반도체 제조공정시 엘립소미터 장비에서 장비서버의 제어 없이 작업자의 직접 명령으로 발생하는 측정 데이터를 획득하며, 실시간으로 취득된 데이터를 저장하고 조회할 수 있도록 하는 반도체 제조용 엘립소미터 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 장비서버와 엘립소미터 장비사이에 온라인을 설정하는 제 1단계; 상기 엘립소미터 장비에 카세트를 제공하는 제 2단계; 상기 엘립소미터 장비가 제공된 카세트에 대한 측정을 진행하면서, 매 하나의 웨이퍼가 측정될 때마다, 상기 장비서버로 해당 웨이퍼의 측정 데이터를 전송하고, 상기 장비서버가 웨이퍼 측정 데이터 수신 메세지를 상기 엘립소미터 장비로 전송하는 과정을 제공된 카세트 내의 모든 웨이퍼에 대해 반복하는 제 3단계; 상기 엘립소미터 장비에서 작업자의 카세트의 재측정 요구 여부를 판단하는 제 4단계; 상기 엘립소미터 장비로부터 측정이 완료된 카세트를 회수하는 제 5단계; 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 6단계; 및 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 7단계를 포함하는 반도체 제조공정의 엘립소미터 장비에서의 데이터 수집 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도1에 도시된 바와 같이, 본 발명이 적용되는 데이터 수집 시스템은 다음과 같다.
작업자의 입력을 받아들이며, 공정의 진행상황을 감시할 수 있는 작업자 인터페이스 프로세스(200)과, 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 작업자의 명령을 수신하고 장비서버와 메세지를 수수하며 웨이퍼의 두께와 반사계수를 측정하기 위한 엘립소미터 장비(210)와, 상기 엘립소미터 장비(210)와 메세지를 수수하고 로트가 엘립소미터 장비의 공정을 진행하여 발생한 측정 데이터를 수신하며 작업자 데이터 수집 트랜잭션 메세지를 데이터 수집 서버로 전송하는 장비서버(220)와, 상기 장비서버(220)로부터 작업자 데이터 수집 트랜잭션 메세지를 수신하며 작업자 데이터를 수집하여 마스터 데이터베이스에 저장하는 데이터 수집 서버(230)와, 상기 데이터 수집 서버(230)에서 수집한 작업자 데이터를 저장하는 마스터 데이터베이스(240)로 구성된다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 엘립소미터 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법을 도2를 참조하여 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 엘립소미터 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법의 일실시예 흐름도이다.
먼저, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 이용하여 엘립소미터 장비(210)의 모드를 온라인으로 설정할 것을 명령한다.
상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 통하여 온라인 설정 명령을 수신한 상기 엘립소미터 장비(210)는 장비서버(220)에 통신설정 요청을 한다. 상기 통신설정 요청을 수신한 장비서버(220)가 그 응답을 상기 장비서버(220)로 전송하면 엘립소미터 장비(210)와 장비서버(220)는 온라인이 설정된다(300).
다음으로, 작업자는 상기 엘립소미터 장비(210)에 측정할 로트를 담고있는 카세트를 제공하고(302), 상기 제공된 카세트의 데이터 예를 들면, 레시피(recipe), 로트 아이디, 카세트 번호, 슬롯 번호 및 포트 번호 등의 데이터를 상기 작업자 인터페이스 프로세스(210)를 이용하여 엘립소미터 장비(220)에 전송하고, 공정 시작 명령을 전송한다.
이어서, 상기 엘립소미터 장비에 제공된 상기 카세트가 진행하게 된다(304).
측정 공정이 진행하게 되면 상기 엘립소미터 장비는 카세트에 담긴 로트의 매 하나의 웨이퍼의 측정이 끝날 때마다 측정 데이터를 상기 장비서버(220)로 전송한다(306).
상기 카세트에 담긴 로트의 마지막 웨이퍼의 측정 데이터 전송이 끝나면, 작업자는 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 통하여 상기 카세트에 담긴 로트를 재측정할 것인가를 소정의 기준에 따라 판단한다(308). 여기서, 소정의 기준은 측정상 에러가 발생여부이다.
상기 판단(308)결과, 재측정해야 할 경우, 상기 302단계를 다시 진행한다.
상기 판단(308)결과, 재측정하지 않아도 될 경우, 작업자는 상기 엘립소미터 장비(210)에서 측정공정을 진행한 카세트를 회수한다(310).
다음으로, 상기 장비서버(220)는 전송 받은 측정 데이터를 데이터 수집서버(230)로 전송한다(312).
마지막으로, 상기 데이터 수집서버(230)는 상기 장비서버(220)로부터 전송 받은 측정 데이터를 마스터 데이터베이스(240)에 저장한다(314).
작업자는 마스터 데이터베이스(240)에 저장된 측정 데이터를 조회하여 장비의 상태를 파악할 수 있으며, 또한 적절한 측정공정 파라미터를 설정할 수 있다.
첨부된 도3은 상기 도2의 방법에 따라 데이터를 수집하기 위한 일실시예 SECS-II 메세지 흐름도이다.
그러면, 도3을 참조하여 상기 도2의 방법에 따라 데이터를 수집하기 위한 일실시예 SECS-II(Semi Equipment Communications Standard-II) 메세지 흐름을 설명하겠다.
먼저, 작업자는 엘립소미터 장비(210)의 장비모드를 온라인으로 변경하라는 명령을 입력한다(400).
상기 엘립소미터 장비(210)와 장비서버(220)은 상호간에 통신설정 요청 메세지(S1F13) 및 통신설정 요청 응답 메세지(S1F14)를 송수신한다.
이어서, 상기 엘립소미터 장비(210)가 온라인 설정 메세지(S1F1)를 상기 장비서버(220)에 전송하면, 상기 장비서버(220)는 엘립소미터 장비(210)로 온라인 설정 메세지(S1F2)를 전송한다. 이렇게 하므로써, 상기 엘립소미터 장비(210)와 장비서버(220)는 온라인모드로 통신할 수 있도록 설정된다.
다음으로, 작업자가 상기 엘립소미터 장비(210)에 측정공정을 진행할 카세트를 제공하고(402), 상기 제공된 카세트의 데이터 예를 들면, 레시피(recipe), 로트 아이디, 카세트 번호, 슬롯 번호 및 포트 번호 등의 데이터를 엘립소미터 장비(220)에 전송한다(404).
이어서, 상기 장비서버(100)와 엘립소미터 장비(110)는 상호간에 카세트 제공 완료 메세지(S6F11) 및 카세트 제공 완료 응답 메세지(S6F12)를 송수신하고, 공정 시작 명령을 전송한다(406).
상기 엘립소미터 장비(210)와 장비서버(220)는 상호간에 공정실시 보고 메세지(S6F11) 및 공정실시 보고 응답 메세지(S6F12)를 송수신한다.
이때, 상기 엘립소미터 장비(210)에 제공된 카세트는 공정을 실제로 진행하게 된다(408).
상기 엘립소미터 장비(210)에서 카세트가 측정을 진행하면서, 매 하나의 웨이퍼가 측정될 때마다, 상기 엘립소미터 장비(210)는 상기 장비서버(220)로 웨이퍼의 측정 데이터(S6F11)를 전송하고, 상기 엘립소미터 장비(210)가 상기 장비서버(220)로부터 전송된 웨이퍼 측정 데이터(S6F12)를 수신하는 과정을 카세트에 담긴 로트의 마지막 웨이퍼가 측정될 때까지 반복한다.
상기 엘립소미터 장비(210)는 카세트의 측정이 완료되면 카세트 측정 완료 메세지(S6F11)를 상기 장비서버(220)로 전송한다.
상기 카세트 측정 완료 메세지(S6F11)를 수신한 상기 장비서버(220)는 카세트 측정 완료 응답 메세지(S6F12)를 상기 엘립소미터 장비(210)로 전송한다.
이후, 작업자는 상기 장비서버(220)에 전송된 측정 데이터를 소정 기준으로 재측정여부를 결정한다(410).
상기 판단(410)결과, 재측정해야 할 경우, "A"로 복귀하여 다시 측정공정을 수행한다.
상기 판단(410)결과, 재측정하지 않아도 될 경우, 작업자는 상기 엘립소미터 장비(210)로 측정데이터 인정 명령을 전송한다(412).
상기 측정데이터 인정 명령을 수신한 상기 엘립소미터 장비(210)는 상기 장비서버(220)로 측정데이터 인정 메세지(S6F11)를 전송하고, 상기 장비서버(220)는 엘립소미터 장비(210)로 측정데이터 인정 응답 메세지(S6F12)를 전송한다.
마지막으로, 작업자가 상기 엘립소미터 장비(210)에서 측정된 카세트를 회수하면(414), 상기 엘립소미터 장비(210)는 카세트 회수 완료 메세지(S6F11)를 상기 장비서버(220)로 전송하고, 장비서버(220)는 카세트 회수 완료 응답 메세지(S6F12)를 다시 엘립소미터 장비(210)로 전송한다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 제조공정중 엘립소미터 장비에서 발생하는 측정 데이터를 장비서버의 제어없이 작업자의 직접 명령으로 획득하므로 측정된 데이터와 실제 데이터 사이에 일관성을 유지할 수 있으며, 또한, 실시간으로 취득된 측정 데이터를 저장 / 조회하므로 장비의 상태를 효과적으로 파악할 수 있는 효과가 있다.
도1은 본 발명이 적용되는 데이터 수집 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록 다이어그램.
도2는 본 발명에 따른 엘립소미터 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법의 일실시예 흐름도.
도3은 상기 도2의 방법에 따라 데이터를 수집하기 위한 일실시예 SECS-II 메세지 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 작업자 인터페이스 프로세스 210 : 엘립소미터 장비
220 : 장비서버 230 : 데이터 수집 서버
240 : 마스터 데이터베이스
Claims (6)
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- 삭제
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- 장비서버와 엘립소미터 장비사이에 온라인을 설정하는 제 1단계;상기 엘립소미터 장비에 카세트를 제공하는 제 2단계;상기 엘립소미터 장비가 제공된 카세트에 대한 측정을 진행하면서, 매 하나의 웨이퍼가 측정될 때마다, 상기 장비서버로 해당 웨이퍼의 측정 데이터를 전송하고, 상기 장비서버가 웨이퍼 측정 데이터 수신 메세지를 상기 엘립소미터 장비로 전송하는 과정을 제공된 카세트 내의 모든 웨이퍼에 대해 반복하는 제 3단계;상기 엘립소미터 장비에서 작업자의 카세트의 재측정 요구 여부를 판단하는 제 4단계;상기 엘립소미터 장비로부터 측정이 완료된 카세트를 회수하는 제 5단계;상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 6단계; 및상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 7단계를 포함하는 반도체 제조공정의 엘립소미터 장비에서의 데이터 수집 방법.
- 제 4항에 있어서,상기 제 4단계 판단결과, 카세트에 담긴 로트를 재측정해야 됨에 따라 상기 제 3단계부터 반복 수행하는 제 8단계와,상기 제 4단계 판단결과, 카세트에 담긴 로트를 재측정하기 않아도 됨에 따라 상기 제 5단계를 수행하는 제 9단계를 더 포함하는 반도체 제조공정의 엘립소미터 장비에서의 데이타 수집 방법.
- 제 5항에 있어서,상기 제 5단계는,상기 엘립소미터 장비가 외부로부터 측정데이터 인정 명령을 수신하는 제 10단계;상기 제 10단계 수행후, 상기 엘립소미터 장비가 상기 장비서버로 측정 데이터 인정 메세지를 전송하는 제 11단계;상기 제 11단계 수행후, 상기 장비서버가 측정 데이터 인정 응답 메세지를 상기 엘립소미터 장비로 전송하는 제 12단계;상기 엘립소미터 장비에서 측정공정이 완료된 카세트를 회수하는 제 13단계;상기 엘립소미터 장비와 장비서버가 상호간에 카세트 회수 완료 메세지 및 카세트 회수 완료 응답 메세지를 송수신하는 제 14단계;상기 장비서버가 상기 엘립소미터 장비로부터 전송 받은 측정 데이터를 데이터 수집서버로 전송하는 제 15단계; 및상기 데이터 수집서버가 상기 장비서버로부터 전송 받은 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 16단계를 포함하는 반도체 제조공정의 엘립소미터 장비에서의 데이타 수집 방법.
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