KR100597595B1 - 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법 - Google Patents

반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리방법을 작업자의 투입을 배제한 온라인으로 처리하여 작업자의 전산 조작 작업을 감소시키기 위한 반도체 제조공정의 인라인 제어장치의 샘플 웨이퍼 처리방법을 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템의 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 카세트를 선택하고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 선택한 샘플 카세트를 트랙 장비에 제공하며, 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 공정 진행 명령을 사진공정 장비로 전송한다. 상기 공정 진행 명령을 수신한 상기 사진공정 장비에서 메인 로트 및 샘플 웨이퍼를 진행하고, 상기 사진공정 장비에서 메인 로트 및 샘플 웨이퍼가 진행할 때 발생하는 데이타를 수집 및 저장한다. 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 웨이퍼의 상태를 판단 샘플 웨이퍼의 상태가 양호일 경우 메인로트를 진행하고, 샘플 웨이퍼의 상태가 불량일 경우, 상기 샘플카세트를 선택하는 단계부터 다시 진행하는 방법을 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리에 이용됨.
작업자 인터페이스 프로세스, 샘플 웨이퍼, 공정 데이타, 인라인 제어서버, 샘플 카세트

Description

반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법{METHOD FOR BEING HANDLED SAMPLE WAFER IN PHOTO AREA FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR}
도 1은 본 발명이 적용되는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법이 수행되는 시스템 환경을 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법을 수행하기 위한 처리 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 작업자 인터페이스 프로세스 110 : 셀 제어 관리 서버
250 : 자동반송 로봇 제어서버 240 : 인라인 제어서버
삭제
삭제
본 발명은 반도체 제조공정 자동화 기술에 관한 것으로, 특히 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 사진공정에서는 특성상 많은 샘플 작업이 이루어진다. 샘플 작업은 메인 로트를 진행하기 전에 한장 혹은 여러 장의 샘플 웨이퍼를 진행하고 검사하여 얻어진 데이타를 노광 장비인 스테퍼 장비에 적용하기 위하여 이루어진다.
한편, 스테퍼 장비는 감광액 도포 및 현상 장비인 트랙 장비와 인라인으로 연결되어 있으며, 또한 이들 각각의 장비는 그들을 제어하는 장비서버를 구비하고 있고, 두 장비서버를 관리하는 인라인 제어서버를 통하여 샘플 웨이퍼 처리가 이루어지고 있다.
먼저, 스테퍼 장비와 트랙 장비를 관리하는 인라인 제어서버를 통하여 샘플 웨이퍼를 처리하는 방법을 간략히 설명하면 다음과 같다.
인라인으로 연결된 스테퍼 장비와 트랙 장비에서 작업자는 샘플 카세트를 전산작업을 통하여 선택하고, 선택된 카세트를 스토커(stocker)로부터 취득하여 직접 트랙 장비에 제공한다.
그리고, 작업자는 선택된 카세트의 정보를 전산작업을 통해 입력한다.
또한, 작업자는 공정이 완료된 샘플 카세트를 트랙 장비로부터 직접 회수하는 일련의 과정을 거친다.
상기한 바와 같이 종래의 샘플 웨이퍼 처리방법은 샘플 웨이퍼의 진행에서 발생하는 데이타와 스테퍼장비 및 트랙 장비의 데이타를 작업자가 직접 관리하므로써 작업자의 부가작업이 필요한 문제가 있었고, 작업자의 잘못된 전산조작으로 인하여 메인 로트진행에 문제를 발생시켜 수율을 떨어뜨리는 또 다른 문제가 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 발명은, 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리방법을 작업자의 투입을 배제한 온라인으로 처리하여 작업자의 전산 조작 작업을 감소시키고, 작업자의 오류를 방지하기 위한 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 카세트를 예약하는 제1단계; 자동반송 로봇이 상기 샘플 카세트를 트랙 장비에 제공하는 제2단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 상기 샘플 카세트에 대한 공정 진행 명령을 인가하여 상기 트랙 장비, 스테퍼 장비 - 인라인 제어 서버에 의해 상기 트랙 장비와 인라인으로 연결됨 -, 오버레이 측정 장비, 패턴사이즈 측정 장비까지 전달하는 제3단계; 상기 공정 진행 명령을 수신한 상기 트랙 장비 및 상기 스테퍼 장비에서 메인 로트 및 샘플 웨이퍼에 대한 사진공정을 진행하고, 상기 오버레이 측정 장비 및 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 상기 샘플 웨이퍼에 대한 측정을 진행하는 제4단계; 셀 제어 관리서버가 상기 트랙 장비, 상기 스테퍼 장비, 상기 오버레이 측정 장비, 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 상기 메인 로트 및 상기 샘플 웨이퍼에 대한 사진공정 진행시 발생한 데이타를 수집하고, 리포트 지원서버가 상기 데이타를 전달받아 데이터베이스에 저장하는 제5단계; 및 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 상기 데이터를 바탕으로 상기 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하여, 상기 샘플 웨이퍼의 상태가 양호하면 상기 메인 로트에 대한 후속공정을 진행하고, 상기 샘플 웨이퍼의 상태가 불량이면 상기 제3단계 내지 제5단계를 다시 진행하는 제6단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법이 제공된다.
삭제
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명이 적용되는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법이 수행되는 시스템 환경을 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 도시된 시스템은, 작업자가 샘플 카세트를 선택하여 입력하는 작업자 인터페이스 프로세스(100)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)로부터 샘플 카세트 선택 정보를 수신하여 인라인 제어서버(240)로 전송하고, 자동 반송로봇 제어서버(250)로 반송명령을 전송하는 셀 제어 관리 서버(110)와, 상기 셀 제어 관리 서버(110)로부터 반송명령을 수신하여 자동반송 로봇(190)에 반송명령을 인가하는 자동반송 로봇 제어서버(250)와, 상기 셀 제어 관리 서버(110)로부터 샘플 카세트 선택 정보를 수신하여 트랙 장비 서버(120) 및 스테퍼 장비 서버(250)로 전송하고, 트랙 장비 서버(120) 및 스테퍼 장비 서버(250)로부터 수집된 공정 데이타를 전송받아 상기 셀 제어 관리 서버(110)로 전송하는 인라인 제어서버(240)와, 인라인 제어서버(240)로부터 샘플 카세트 선택 정보를 수신하여 트랙 장비(150) 및 스테퍼 장비(160)로 전송하고, 각 장비들로부터 수집된 데이타를 인라인 제어서버(240)로 전송하는 트랙 장비 서버(120) 및 스테퍼 장비 서버(250)와, 상기 셀 제어 관리 서버(110)로부터 샘플 카세트 선택 정보를 수신하여 오버레이 측정 장비(170) 및 패턴사이즈 측정 장비(180)로 전송하고, 각 장비들로부터 수집된 데이타를 셀 제어 관리 서버(110)로 전송하는 오버레이 측정 장비 서버(130) 및 패턴사이즈 측정 장비 서버(140)와, 선택된 샘플 카세트에 대해 샘플 웨이퍼 프로세스 및 메인로트 프로세스를 진행하는 트랙 장비(150), 스테퍼 장비(160), 오버레이 측정 장비(170) 및 패턴사이즈 측정장비(180)와, 상기 셀 제어 관리서버(110)로부터 수집된 데이타를 전송받아 데이터베이스(230)에 저장하는 리포트 지원 서버(220)와, 카세트 및 로트를 저장하고 있으며 자동반송 로봇(190)에 카세트 및 로트를 제공하는 스토커(200)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 반도체 라인 관리를 위한 통합 자동화 시스템에 의한 사진 공정에서의 샘플 웨이퍼 처리방법을 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 사진 공정에서 샘플 웨이퍼 처리 방법을 수행하기 위한 처리흐름도이다.
먼저, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(100)에서 샘플 카세트를 선택하고(S200), 선택한 샘플 카세트가 다른 장비에서 사용중인가를 판단한다(S202).
상기 판단결과(S202), 선택한 샘플 카세트가 다른 장비에서 사용중일 경우, 상기 S200단계를 다시 진행한다.
상기 판단결과(S202), 선택한 샘플 카세트가 다른 장비에서 사용되지 않을 경우, 작업자는 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)에서 샘플 카세트 선택 정보를 입력하므로써 샘플 카세트를 예약한다(S204).
이때, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)로부터 샘플 카세트 선택 정보를 입력받은 셀 제어 관리 서버(110)는 반송명령을 자동반송 로봇 제어서버(250)로 전송한다.
셀 제어 관리 서버(110)로부터 반송명령을 수신한 상기 자동반송 로봇 제어서버(250)는 자동반송 로봇(190)에 반송명령을 인가한다.
그리고, 상기 자동반송 로봇 제어서버(250)로부터 반송명령을 인가받은 자동반송 로봇(190)은 스토커(210)에서 선택된 샘플 카세트를 제공받아 트랙 장비(160)의 샘플 포트에 제공한다(S206).
여기서, 상기 트랙 장비(160)는 4개의 포트를 가지는데, 그중 하나가 샘플 카세트가 위치하는 샘플 포트이고, 나머지 3개의 포트에는 메인 로트가 위치한다.
이어서, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(100)를 이용하여 공정진행 명 령을 입력하고(S208), 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)는 공정진행 명령을 셀 제어 관리서버(110)로 전송한다.
상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 공정진행 명령을 수신한 상기 셀 제어 관리서버(110)는 인라인 제어서버(240), 오버레이 측정 장비 서버(130) 및 패턴사이즈 측정 장비 서버(140)로 상기 공정진행 명령을 전송한다.
상기 셀 제어 관리서버(110)로부터 공정진행 명령을 수신한 상기 인라인 제어서버(240)는 트랙 장비 서버(120) 및 스테퍼 장비 서버(250)로 공정진행 명령을 전송한다.
상기 공정진행 명령을 수신한 트랙 장비 서버(120), 스테퍼 장비 서버(250), 오버레이 측정 장비 서버(130), 패턴사이즈 측정장비 서버(140)는 트랙 장비(150), 스테퍼 장비(160), 오버레이 측정 장비(170) 및 패턴사이즈 측정 장비(180)에 공정진행 명령을 전송한다.
다음으로, 상기 트랙 장비(150)는 샘플 포트에 위치한 샘플로트와 메인로트에 대해 감광액 도포공정을 실시한다(S210).
상기 S210단계 수행 후, 메인로트와 샘플 카세트에 담긴 샘플 로트중 24장의 웨이퍼는 트랙 장비의 버퍼에서 대기하고, 상기 샘플 로트중 1장의 샘플 웨이퍼에 대해서만 스테퍼 장비(160)에서 노광공정을 진행한다(S212).
상기 S212단계 수행후, 샘플 웨이퍼는 상기 스테퍼 장비(160)에서 현상공정을 진행한 후(S214), 오버레이 측정 장비(170)를 통하여 오버레이 측정을 진행한다(S216).
다음으로, 패턴 사이즈 측정장비(190)에서 상기 샘플 웨이퍼에 대해 패턴사이즈를 측정을 수행한다(S218).
그리고, 상기 S210단계 내지 상기 S218단계에서 발생한 공정 데이타는 트랙 장비 서버(120), 스테퍼 장비 서버(250), 오버레이 측정 장비 서버(130), 패턴사이즈 측정장비 서버(140)로 전송된다.
이어서, 트랙 장비 서버(120), 스테퍼 장비 서버(250)는 수신한 공정 데이타를 상기 인라인 제어서버(240)로 전송하고, 오버레이 측정 장비 서버(130) 및 패턴사이즈 측정 장비 서버(140)는 상기 셀 제어 관리 서버(110)로 공정 데이타를 전송한다. 트랙 장비 서버(120), 스테퍼 장비 서버(250)로부터 공정 데이타를 수신한 인라인 제어서버(240)는 상기 셀 제어 관리서버(110)로 공정 데이타를 전송한다.
다음으로, 상기 셀 제어 관리서버(120)는 수집된 공정 데이타를 리포트 지원 서버(220)에 전송한다.
상기 리포트 지원 서버(220)는 수신한 공정 데이타를 데이터베이스(230)에 저장한다(S220).
이후, 작업자는 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)에서 샘플 웨이퍼의 상태를 판단한다(S222).
상기 판단결과(S222), 샘플 웨이퍼의 상태가 양호일 경우, 상기 트랙 장비의 버퍼에 대기하고 있던 메인로트에 대해 사진 공정을 진행하게 된다(S224).
상기 판단결과(S222), 샘플 웨이퍼의 상태가 불량일 경우, 상기 S210단계부터 다시 진행한다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치 환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 제조를 위한 사진 공정에서의 샘플 웨이퍼의 처리를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템 하에서 작업자의 투입을 배제하고 공정에서 발생하는 데이타와 샘플 카세트 및 로트의 선택을 온라인으로 수행하므로써 인건비 절약에 효과가 있으며, 작업자의 잘못된 전산조작에 의한 메인로트 진행문제를 효과적으로 해결하므로써 수율을 향상시킬 수 있는 또 다른 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 카세트를 예약하는 제1단계;
    자동반송 로봇이 상기 샘플 카세트를 트랙 장비에 제공하는 제2단계;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 상기 샘플 카세트에 대한 공정 진행 명령을 인가하여 상기 트랙 장비, 스테퍼 장비 - 인라인 제어 서버에 의해 상기 트랙 장비와 인라인으로 연결됨 -, 오버레이 측정 장비, 패턴사이즈 측정 장비까지 전달하는 제3단계;
    상기 공정 진행 명령을 수신한 상기 트랙 장비 및 상기 스테퍼 장비에서 메인 로트 및 샘플 웨이퍼에 대한 사진공정을 진행하고, 상기 오버레이 측정 장비 및 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 상기 샘플 웨이퍼에 대한 측정을 진행하는 제4단계;
    셀 제어 관리서버가 상기 트랙 장비, 상기 스테퍼 장비, 상기 오버레이 측정 장비, 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 상기 메인 로트 및 상기 샘플 웨이퍼에 대한 사진공정 진행시 발생한 데이타를 수집하고, 리포트 지원서버가 상기 데이타를 전달받아 데이터베이스에 저장하는 제5단계; 및
    상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 상기 데이터를 바탕으로 상기 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하여, 상기 샘플 웨이퍼의 상태가 양호하면 상기 메인 로트에 대한 후속공정을 진행하고, 상기 샘플 웨이퍼의 상태가 불량이면 상기 제3단계 내지 제5단계를 다시 진행하는 제6단계
    를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1단계는,
    상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 카세트를 선택하는 제7단계;
    선택된 샘플 카세트가 다른 장비에서 사용 중인지를 판단하는 제8단계;
    상기 제8단계의 판단결과, 선택한 샘플 카세트가 다른 장비에서 사용중이 아님에 따라 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 카세트 선택 정보를 입력하는 제9단계; 및
    상기 제8단계의 판단결과, 선택한 샘플 카세트가 다른 장비에서 사용중임에 따라 상기 제7단계 및 제8단계를 다시 진행하는 제10단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2단계는,
    상기 작업자 인터페이스 프로세스가 샘플 카세트 선택 정보를 셀 제어 관리 서버로 전송하는 제11단계;
    상기 제11단계 수행 후, 상기 셀 제어 관리 서버가 반송명령을 자동반송 로봇 제어서버로 전송하는 제12단계;
    상기 제12단계 수행 후, 상기 자동반송 로봇 제어서버가 자동반송 로봇에 반송명령을 인가하는 제13단계; 및
    상기 제13단계 수행 후, 상기 자동반송 로봇이 스토커에서 예약된 샘플 카세트를 제공받아 상기 트랙 장비의 샘플 포트에 제공하는 제14단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제3단계는,
    외부로부터 공정진행 명령을 입력받은 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 공정진행 명령을 상기 셀 제어 관리 서버로 전송하는 제15단계;
    상기 제15단계 수행 후, 상기 셀 제어 관리 서버가 상기 인라인 제어서버, 오버레이 측정 장비 서버 및 패턴사이즈 측정 장비 서버로 공정진행 명령을 전송하는 제16단계;
    상기 제16단계 수행 후, 상기 인라인 제어서버가 공정진행 명령을 트랙 장비 서버 및 스테퍼 장비 서버로 전송하고, 상기 오버레이 측정 장비 서버 및 상기 패턴사이즈 측정 장비 서버가 오버레이 장비 및 패턴사이즈 측정장비로 공정진행 명령을 전송하는 제17단계; 및
    상기 제 17단계 수행 후, 상기 인라인 제어서버로부터 공정진행 명령을 수신한 상기 트랙 장비 서버 및 상기 스테퍼 장비 서버가 상기 트랙 장비 및 상기 스테퍼 장비로 공정진행 명령을 전송하는 제18단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제4단계는,
    상기 트랙 장비가 상기 샘플 포트에 위치한 상기 메인 로트와 샘플 로트에 대한 감광액 도포공정을 실시하는 제19단계;
    상기 제19단계 수행 후, 상기 샘플 로트 중 선택된 임의의 샘플 웨이퍼에 대해서만 상기 스테퍼 장비에서 노광공정을 진행하고, 상기 메인 로트 및 상기 샘플 로트의 나머지 웨이퍼는 상기 트랙 장비의 버퍼에서 대기하도록 하는 제20단계;
    상기 제20단계 수행 후, 상기 트랙 장비에서 상기 샘플 웨이퍼에 대한 현상공정을 진행하는 제21단계; 및
    상기 제21단계 수행 후, 상기 오버레이 측정 장비에서 상기 샘플 웨이퍼에 대한 오버레이 측정을 수행하고, 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 패턴사이즈 측정을 수행하는 제22단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제5단계는,
    상기 트랙 장비 서버, 상기 스테퍼 장비 서버, 상기 오버레이 측정 장비 서버, 상기 패턴사이즈 측정 장비 서버가 상기 제19단계 내지 상기 제22단계에서 발생한 공정 데이타를 수집하는 제23단계;
    상기 제23단계 수행 후, 상기 트랙 장비 서버, 상기 스테퍼 장비 서버로가 상기 인라인 제어서버로 공정 데이타를 전송하는 제24단계;
    상기 제24단계 수행 후, 상기 인라인 제어서버, 상기 오버레이 측정 장비 서버, 상기 패턴사이즈 측정 장비 서버가 수신한 공정 데이타를 상기 셀 제어 관리서버로 전송하는 제25단계;
    상기 제25단계 수행 후, 상기 셀 제어 관리서버가 수신한 공정 데이타를 리포트 지원 서버로 전송하는 제26단계; 및
    상기 리포트 지원 서버가 수신한 공정 데이타를 상기 데이터베이스에 저장하는 제27단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 사진공정에서의 샘플 웨이퍼 처리 방법.
  7. 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템 하에서 운용되는 사진공정에서의 샘플 웨이퍼를 처리하기 위한 시스템에,
    작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 카세트를 예약하는 제1기능;
    자동반송 로봇이 상기 샘플 카세트를 트랙 장비에 제공하는 제2기능;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 상기 샘플 카세트에 대한 공정 진행 명령을 인가하여 상기 트랙 장비, 스테퍼 장비 - 인라인 제어 서버에 의해 상기 트랙 장비와 인라인으로 연결됨 -, 오버레이 측정 장비, 패턴사이즈 측정 장비까지 전달하는 제3기능;
    상기 공정 진행 명령을 수신한 상기 트랙 장비 및 상기 스테퍼 장비에서 메인 로트 및 샘플 웨이퍼에 대한 사진공정을 진행하고, 상기 오버레이 측정 장비 및 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 상기 샘플 웨이퍼에 대한 측정을 진행하는 제4기능;
    셀 제어 관리서버가 상기 트랙 장비, 상기 스테퍼 장비, 상기 오버레이 측정 장비, 상기 패턴사이즈 측정 장비에서 상기 메인 로트 및 상기 샘플 웨이퍼에 대한 사진공정 진행시 발생한 데이타를 수집하고, 리포트 지원서버가 상기 데이타를 전달받아 데이터베이스에 저장하는 제5기능; 및
    상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 상기 데이터를 바탕으로 상기 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하여, 상기 샘플 웨이퍼의 상태가 양호하면 상기 메인 로트에 대한 후속공정을 진행하고, 상기 샘플 웨이퍼의 상태가 불량이면 상기 제3기능 내지 제5기능을 다시 진행하는 제6기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체.
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