KR100498149B1 - 극저온 초저온 혼성 액화 시스템 - Google Patents

극저온 초저온 혼성 액화 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 생성물 유체를 초저온 상태에 이르도록 냉각 상태를 효과적으로 발생시키는 시스템에 관한 것으로, 활성 자성 재생기 또는 다성분 냉매 유체 사이클이 펄스 튜브 시스템에 의해 발생되는 열을 수용하기 위한 펄스 튜브 시스템과 일체를 이룬 시스템에 관한 것이다.

Description

극저온 초저온 혼성 액화 시스템 {CRYOGENIC ULTRA COLD HYBRID LIQUEFIER}
본 발명은 일반적으로는 냉각, 보다 구체적으로는 액화시키기 위해서 초저온을 필요로 하는 수소와 같은 가스를 액화시키는 것과 같은 냉각의 발생에 관한 것이다.
네온, 수소 또는 헬륨과 같은 특정 가스의 액화는 온도가 매우 낮은 냉각의 발생을 필요로 한다. 예를 들어, 대기압에서 네온은 27.1K에서 액화되고, 수소는 20.39K에서 액화되며, 헬륨은 4.21K에서 액화된다. 이러한 온도가 매우 낮은 냉각은 비용이 많이 든다. 네온, 수소 및 헬륨과 같은 유체의 사용이 에너지 발생, 에너지 전달 및 전자공학과 같은 분야에서 점점 더 중요시되는 추세이므로, 이러한 유체를 액화시키기 위한 시스템의 개선은 매우 바람직할 것이다.
가스에 가해지는 펄스식 압력에 의해 냉각이 발생되는 펄스 튜브 냉각이 네온, 수소 및 헬륨과 같은 유체를 액화시키는데 사용되고 있으며, 이것의 사용은 비교적 소규모로 실시되는 경우에만 효과적이다.
따라서, 본 발명의 목적은 네온, 수소 또는 헬륨과 같은 유체를 액화시키기에 충분한 냉각을 발생시키기 위한 개선된 시스템을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 네온, 수소 또는 헬륨과 같은 유체를 액화시키는데 비교적 대규모로 실시될 수 있는 시스템을 제공하는 데에 있다.
본 명세서를 숙지한 당업자에게는 자명하게 될 상기 및 그 밖의 목적은 본 발명에 의해 달성된다.
본 발명의 한 일면에 따르면, 본 발명은,
(A) 다성분 냉매 유체를 압축시키고, 압축된 다성분 냉매 유체를 냉각시켜 냉각된 다성분 냉매 유체를 생성시키고, 냉각된 다성분 냉매 유체를 팽창시켜 다성분 냉매 유체의 일부 또는 전부를 응축시키는 단계;
(B) 펄스 튜브 가스를 압축시켜 고온의 압축된 펄스 튜브 가스를 생성시키고, 고온의 압축된 펄스 튜브 가스를 부분적으로 또는 전체적으로 응축된 다성분 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각시켜 냉각된 압축된 펄스 튜브 가스와 가온된 다성분 냉매 유체를 생성시키고, 냉각된 압축된 펄스 튜브 가스를 저온의 열전달 매질과의 직접적인 접촉에 의해 추가로 냉각시켜 저온의 펄스 튜브 가스와 가온된 열전달 매질을 생성시키는 단계;
(C) 저온의 펄스 튜브 가스를 팽창시켜 초저온 펄스 튜브 가스를 생성시키고 가스 압력파를 생성시키며 이러한 가스 압력파는 펄스 튜브 작업 유체를 압축시키고 가열시키며, 가열된 펄스 튜브 작업 유체를 가온된 다성분 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각시켜 추가로 가온된 다성분 냉매 유체를 생성시키는 단계;
(D) 초저온 펄스 튜브 가스를 생성물 유체와의 간접 열교환으로 초저온 상태의 생성물 유체를 생성시킨 후, 생성된 펄스 튜브 가스를 가온된 열전달 매질과의 직접적인 접촉으로 저온의 열전달 매질을 생성시키는 단계를 포함하여, 초저온 상태의 생성물 유체를 생성시키는 방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 본 발명은,
(A) 압축기, 다성분 냉매 유체 열교환기, 유체를 압축기로부터 다성분 냉매 유체 열교환기에 유입시키기 위한 수단, 팽창 장치 및 유체를 다성분 냉매 유체 열교환기로부터 팽창 장치에 유입시키기 위한 수단;
(B) 재생기 열교환기 및 열교환 매질을 함유하는 재생기 바디(body)를 포함하는 재생기, 재생기내에서의 흐름을 진동시키기 위해 가압된 가스를 발생시키기 위한 수단, 및 유체를 팽창 장치로부터 재생기 열교환기에 유입시키기 위한 수단;
(C) 펄스 튜브 열교환기 및 펄스 튜브 바디를 포함하는 펄스 튜브, 유체를 재생기 열교환기로부터 펄스 튜브 열교환기에 유입시키기 위한 수단, 및 유체를 펄스 튜브 열교환기로부터 다성분 냉매 유체 열교환기에 유입시키기 위한 수단; 및
(D) 가스를 재생기 바디와 펄스 튜브 바디 사이에 유입시키기 위한 유입 수단으로서 생성물 유체 열교환기를 포함하는 수단, 생성물 유체를 생성물 유체 열교환기에 제공하기 위한 수단, 및 생성물 유체 열교환기로부터 초저온 상태의 생성물을 회수하기 위한 수단을 포함하는, 초저온 상태의 생성물 유체를 생성시키기 위한 장치를 제공한다.
본원에서 사용되는 용어 "다성분 냉매 유체"는 2종 이상의 종을 포함하고 냉각을 발생시킬 수 있는 유체를 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "가변성 로드 냉매(variable load refrigerant)"는 2종 이상의 성분들의 액체상이 혼합물의 비점(bubble point)과 노점(dew point) 사이에서 연속적이고 증가적으로 온도가 변화되게 하는 비율로 혼합된 2종 이상의 성분들의 혼합물을 의미한다. 혼합물의 비점은 주어진 압력에서의 온도로서, 혼합물이 모두 액체 상태로 존재하지만 열을 가하게 되면 액체상과 평형 상태에 있는 증기상이 형성되기 시작하는 온도를 의미한다. 혼합물의 노점은 주어진 압력에서의 온도로서, 혼합물이 모두 증기 상태로 존재하지만 열을 추출하면 증기상과 평형상태에 있는 액체상이 형성되기 시작하는 온도를 의미한다. 따라서, 혼합물의 비점과 노점 사이의 온도 범위는 액체상과 증기상 모두가 평형상태로 공존하는 범위이다. 본 발명을 실시할 때, 가변성 로드 냉매에 대한 비점과 노점 사이의 온도차는 10°K 이상, 바람직하게는 20°K 이상, 가장 바람직하게는 50°K이상이다.
본원에서 사용되는 용어 "초저온 상태"는 온도가 90°K 이하인 상태를 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "간접 열교환"은 유체 상호간의 어떠한 물리적 접촉 또는 상호 혼합 없이 유체가 열교환 관계에 있게 됨을 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "팽창"은 압력 감소를 수행하는 것을 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "대기 가스"는 다음 성분중의 한 성분을 의미한다: 질소(N2), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 크세논(Xe), 네온(Ne), 일산화탄소(CO), 이산화탄소(CO2), 산소(O2), 중수소(D2), 수소(H2) 및 헬륨(He).
발명의 상세한 설명
일반적으로, 본 발명은 바람직하게는 다성분 냉매 유체 냉각 시스템 또는 활성 자성 재생기 냉각 시스템인 비펄스 튜브 시스템(non-pulse tube system)을 사용하여 온도가 매우 낮은 냉각을 발생시키는 것을 포함한다. 비펄스 튜브 시스템은 펄스 튜브 시스템과 펄스 튜브 시스템에 의해 발생된 열이 비펄스 튜브 시스템으로 유입되지 못하도록 하는 소정의 방식으로 일체화되어, 펄스 튜브 시스템이 초저온 냉각을 효과적으로 발생시켜 비교적 다량의 생성물 유체를 초저온 상태에 이르게 할 수 있다.
본 발명은 도면을 참조하여 더욱 상세하게 기술될 것이다. 도 1을 살펴 보면, 다성분 냉매 유체 스트림(310)은 압축기(311)에서 압축되어 일반적으로 60 내지 1000psia(pounds per square inch absolute) 범위내의 압력에 이르게 된다. 본 발명의 실시에 유용한 다성분 냉매 유체는 1종 이상의 대기 가스, 바람직하게는 질소, 아르곤 및/또는 네온, 및 바람직하게는 탄소 원자수가 4개 이하인 1종 이상의 불소 함유 화합물, 예를 들어 플루오로카본, 하이드로플루오로카본, 하이드로클로로플루오로카본 및 플루오로에테르, 및/또는 탄소 원자수가 3개 이하인 1종 이상의 탄화수소를 포함한다.
이후, 압축열을 가지고 있는 압축된 다성분 냉매 유체(312)는 냉각기(313)에서 냉각수와 같은 적합한 냉각용 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각되고, 생성된 다성분 냉매 유체(314)는 다성분 냉매 유체 열교환기(301)를 통과하며, 여기에서 후술되는 바와 같이 가온되는 다성분 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각된다. 열교환기(301)로부터의 냉각된 다성분 냉매 유체(315)는 팽창 장치(316), 바람직하게는 팽창 밸브에 유입되며, 여기에서 상기 유체는 저압으로 조절됨으로써 온도가 낮아진다. 팽창 장치(316)에서의 팽창의 결과로서 다성분 냉매 유체의 온도 감소는 다성분 냉매 유체를 적어도 부분적으로, 바람직하게는 전부 응축시키는 역할을 한다. 그런 다음, 이러한 방식으로 생성된 다성분 냉매 유체는 라인(317)을 거쳐 재생기(252)의 고온 단부에 위치한 재생기 열교환기(258)에 유입된다.
재생기(252)는 헬륨, 수소, 네온, 헬륨과 네온의 혼합물, 또는 헬륨과 수소의 혼합물일 수 있는 펄스 튜브 가스를 함유한다. 헬륨 및 헬륨과 수소의 혼합물이 바람직하다.
펄스, 즉, 압축력은 펄스 화살표(10)에 의해 도식적인 형태로 도시된 바와 같이 재생기(252)의 고온 단부에 가해짐으로써 펄스 튜브 순서의 제 1 부분을 개시한다. 바람직하게는, 펄스는 재생기(252)와 흐름이 통하는 펄스 튜브 가스의 저장소를 압축시키는 피스톤에 의해 제공된다. 재생기에 펄스를 가하는 또 다른 바람직한 방법은 재생기내의 가스에 음향 에너지를 가하는 열음향 드라이버를 사용하는 것이다. 펄스를 가하기 위한 또 다른 방법은 선형 모터/압축기 배열을 사용하는 것이다. 펄스는 펄스 튜브 가스를 압축시키는 역할을 하여 재생기(252)의 고온 단부에서 고온의 펄스 튜브 가스를 생성시킨다. 고온의 펄스 튜브 가스는 열교환기(258)에서 적어도 부분적으로 응축된 다성분 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각되어 가온된 다성분 냉매 유체 스트림(318)을 생성시키고, 재생기의 나머지 부분, 즉 재생기 바디를 통과하기 위해 냉각 압축된 펄스 튜브 가스를 생성시킨다. 일부 펄스 튜브는 이중 유입구 형태를 사용하며, 여기에서 펄스 가스의 일부는 펄스 튜브의 가온 단부로 다시 보내진다.
재생기 바디는 열전달 매질을 함유한다. 본 발명의 실시에 적합한 열전달 매질의 예로는 스틸볼(steel ball), 와이어 메쉬(wire mesh), 고밀도 벌집 구조체, 인장철망판 및 레드볼(lead ball)이 포함된다.
열전달 매질은 저온, 일반적으로는 2K 내지 250K의 온도 범위내에 있으며, 이 온도는 하기에 보다 상세히 기재될 펄스 튜브 순서의 제 2 부분에서 사용될 것이다. 냉각 압축된 펄스 튜브 가스가 재생기 바디를 통과하므로써, 상기 가스는 저온의 열전달 매질과의 직접적인 접촉에 의해 더욱 냉각되어 가온된 열전달 매질과 저온, 일반적으로는 4K 내지 252K의 펄스 튜브 가스를 생성시킨다.
저온의 펄스 튜브 가스는 라인(11)을 거쳐 저온 단부에 있는 펄스 튜브(253)에 유입된다. 펄스 튜브(253)는 다른 일측 단부, 즉, 고온 단부에 펄스 튜브 열교환기(259)를 가지며, 상기 열교환기로부터 저온의 펄스 튜브 가스는 펄스 튜브에 유입된다. 저온 펄스 튜브 가스가 저온 단부의 펄스 튜브(253)에 유입됨에 따라, 상기 가스는 팽창하여 온도를 낮춰 초저온 펄스 튜브 가스를 생성시키고, 또한 가스 압력파를 생성시켜 펄스 튜브(253)의 가온 단부를 향해 유동하고 펄스 튜브내 소위 펄스 튜브 작업 유체라 불리우는 가스를 압축시키므로써 펄스 튜브 작업 유체를 가열한다.
가온된 다성분 냉매 유체(라인 318)는 펄스 튜브(253)의 가온 단부에 있는 펄스 튜브 열교환기(259)에 유입된다. 본 발명을 실시할 때, 펄스 튜브 바디는 저온 단부에서의 팽창되는 펄스 튜브 가스로부터의 압력 에너지를 전달하기 위한 가스만을 함유하여 펄스 튜브의 가온 단부에서 펄스 튜브 작업 유체를 가열한다. 즉, 펄스 튜브(253)는 피스톤 배열과 같은 어떠한 이동부도 포함하지 않는다. 이동부가 없는 상태에서의 펄스 튜브의 작동은 본 발명의 상당한 장점이다. 가온된 다성분 냉매 유체는 가열된 펄스 튜브 작업 유체와의 펄스 튜브 열교환기(259)에서의 간접 열교환에 의해 추가로 가온되어 추가의 가온된 다성분 냉매 유체를 생성시키며, 이러한 방식으로 생성된 유체는 모두 가스 상태이고 펄스 튜브 열교환기(259)로부터 라인(319)을 거쳐 다성분 냉매 유체 열교환기(301)에 유입된다. 다성분 냉매 유체 열교환기(301)내에서, 다성분 냉매 유체는 스트림(314)을 거쳐 열교환기(301)로 유입된 냉각 다성분 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 더욱 더 가온되며, 생성된 더욱 더 가온된 다성분 냉매 유체는 열교환기(301)로부터 라인(310)을 거쳐 압축기(311)에 유입되고 다성분 냉매 유체 냉각 발생 사이클이 다시 개시된다.
펄스 튜브(253)의 가온 단부에는 저장소(254)로 유도하는 오리피스(257)를 갖는 라인이 연결된다. 펄스 튜브 작업 유체의 압축파는 펄스 튜브의 가온 단부 벽과 접촉하고 펄스 튜브 순서의 제 2 부분에서 다시 진행한다. 오리피스(257) 및 저장소(254)는 펄스 튜브(253)의 저온 단부에서 저온 펄스 튜브 가스를 팽창시킴으로써 발생된 다음 압축파를 간섭하지 않도록 이러한 압축파의 위상을 유지시키는데 사용된다.
펄스 튜브(253)의 저온 단부에 있는 초저온 펄스 튜브 가스는 라인(11)을 거쳐 다시 재생기(252)에 유입된다. 이러한 회귀 경로에서, 초저온 펄스 튜브 가스는 생성물 유체 열교환기(255)를 통과하며, 여기에서 상기 가스는 라인(12)을 거쳐 생성물 유체 열교환기(255)로 유입된 생성물 유체와의 간접 열교환에 의해 가온된다. 본 발명을 실시할 때 냉각되고/거나 액화되고/거나 과냉각될 수 있는 생성물 유체 중에서도 특히, 수소, 중수소, 헬륨, 네온, 질소, 아르곤 및 1종 이상의 이들의 혼합물을 포함하는 혼합물이 언급될 수 있다.
생성물 유체가 생성물 유체 열교환기(255)를 통과할 때, 상기 유체는 초저온 펄스 튜브 가스와의 간접 열교환에 의해 초저온 상태에 이르게 된다. 초저온 상태에 있으며 가스 상태, 액체 또는 슬러쉬(slush) 형태일 수 있는 생성된 생성물 유체는 생성물 유체 열교환기(255)로부터 배출된다.
생성물 유체 열교환기(255)로부터 배출되는 펄스 튜브 가스는 라인(11)을 거쳐 재생기(252)에 유입되며, 여기에서 재생기 바디내의 열전달 매질과 직접 접촉하여 상기된 저온의 열전달 매질을 생성시키고, 이로써 펄스 튜브 냉매 순서의 제 2 부분을 완료하고 재생기를 후속적인 펄스 튜브 냉각 순서의 제 1 부분을 위한 조건에 이르게 한다.
도 2는 펄스 튜브 냉각 시스템에 의해 발생된 열이 펄스 튜브 냉각 시스템과 일체를 이룬 활성 자성 재생기 냉각 시스템으로의 유입이 거부되는 본 발명의 또 다른 구체예를 도시하고 있다. 도 2의 도면부호는 공통 요소들에 대해 도 1의 도면부호와 동일하므로 재차 상세하게 설명하지는 않을 것이다.
도 2를 살펴 보면, 가온된 냉매 유체 스트림(320)은 펌프(321)를 통과한 후, 스트림(322)으로서 냉각기(323)에 유입되고, 여기에서 냉각되어 냉각된 냉매 유체(324)를 생성한다. 활성 자성 재생기(302)는 자화시 가온시키고 탈자화시 냉각시키는 베드(bed) 물질을 포함한다. 재생기(302)는 탈자화되고 냉매 유체 스트림(324)은 재생기(302)의 열교환기 부분을 통과하는데, 이 과정에서 탈자화 베드 물질과의 열교환에 의해 냉각된다. 그런 다음, 생성된 냉각된 냉매 유체 스트림(325)이 가온되고 앞서 설명한 바와 같이 펄스 튜브 시스템을 통해 추가로 가온되며, 생성된 가온된 냉매 유체는 자화된 활성 자성 재생기(302)에 다시 유입되어 냉매 유체를 추가로 가온시킨다. 가온된 냉매 유체는 스트림(320)을 거쳐 재생기(302)로부터 빠져나오며 사이클이 다시 개시된다.
이상에서와 같이, 본 발명은 특정의 바람직한 구체예를 참조하여 상세하게 기술되었지만, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위의 기술사상 및 범위내에 본 발명의 다른 구체예가 있음을 인지하고 있을 것이다.
따라서, 본 발명은 네온, 수소 또는 헬륨과 같은 유체를 액화시키기에 충분한 냉각을 발생시키기 위한 개선된 시스템을 제공하며, 또한, 네온, 수소 또는 헬륨과 같은 유체를 액화시키는데 비교적 대규모로 실시될 수 있는 시스템을 제공한다.
도 1은 다성분 냉매 유체 냉각 시스템이 펄스 튜브 냉각 시스템(pulse tube refrigeration system)과 일체를 이룬 본 발명의 바람직한 구체예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 활성 자성 재생기 냉각 시스템이 펄스 튜브 냉각 시스템과 일체를 이룬 본 발명의 바람직한 구체예를 개략적으로 도시한 것이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
253 : 펄스 튜브 254 : 저장소
257 : 오리피스(orifice) 258 : 재생기 열교환기
259 : 펄스 튜브 열교환기 301 : 다성분 냉매 유체 열교환기
310 : 다성분 냉매 유체 311 : 압축기
313 : 냉각기 316 : 팽창 장치

Claims (10)

  1. 네온, 수소 또는 헬륨을 포함하는 액화된 생성물 유체를 초저온 상태로 제조하기 위한 방법으로서,
    (A) 냉매 유체를 냉각시켜 냉각된 냉매 유체를 생성시키는 단계;
    (B) 펄스 튜브 가스를 압축시켜 고온의 압축된 펄스 튜브 가스를 생성시키고, 고온의 압축된 펄스 튜브 가스를 냉각된 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각시켜 냉각된 압축된 펄스 튜브 가스 및 가온된 냉매 유체를 생성시키고, 냉각된 압축된 펄스 튜브 가스를 저온의 열전달 매질과의 직접적인 접촉에 의해 추가로 냉각시켜 저온의 펄스 튜브 가스 및 가온된 열전달 매질을 생성시키는 단계;
    (C) 저온의 펄스 튜브 가스를 팽창시켜 초저온 펄스 튜브 가스를 생성시키고 가스 압력파를 생성시키며 이러한 가스 압력파는 펄스 튜브 작업 유체를 압축시키고 가열시키며, 가열된 펄스 튜브 작업 유체를 가온된 냉매 유체와의 간접 열교환에 의해 냉각시켜 추가로 가온된 냉매 유체를 생성시키는 단계;
    (D) 초저온 펄스 튜브 가스를 생성물 유체와의 간접 열교환으로 초저온 상태의 생성물 유체를 생성시킨 후, 생성된 펄스 튜브 가스를 가온된 열전달 매질과의 직접적인 접촉으로 저온의 열전달 매질을 생성시키는 단계를 포함하는 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 냉매 유체가 다성분 냉매 유체이며, 압축되고, 냉각되고 팽창되어 다성분 냉매 유체를 부분적으로 또는 완전히 응축시킴을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 2항에 있어서, 팽창된 다성분 냉매 유체가 완전히 응축됨을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 2항에 있어서, 다성분 냉매 유체가 1종 이상의 대기 가스를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 2항에 있어서, 다성분 냉매 유체가 가변성 로드 냉매(variable load refrigerant)임을 특징으로 하는 방법.
  6. 네온, 수소 또는 헬륨을 포함하는 액화된 생성물 유체를 초저온 상태로 제조하기 위한 장치로서,
    (A) 냉매 유체 열교환기, 및 냉매 유체를 냉매 유체 열교환기에 유입시키기 위한 수단;
    (B) 재생기 열교환기 및 열전달 매질을 함유하는 재생기 바디를 포함하는 재생기, 재생기내에서의 흐름을 진동시키기 위해 가압된 가스를 발생시키기 위한 수단, 및 냉매 유체를 냉매 유체 열교환기로부터 재생기 열교환기에 유입시키기 위한 수단;
    (C) 펄스 튜브 열교환기 및 펄스 튜브 바디를 포함하는 펄스 튜브, 냉매 유체를 재생기 열교환기로부터 펄스 튜브 열교환기에 유입시키기 위한 수단, 및 냉매 유체를 펄스 튜브 열교환기로부터 냉매 유체 열교환기에 유입시키기 위한 수단; 및
    (D) 가스를 재생기 바디와 펄스 튜브 바디 사이에 유입시키기 위한 유입 수단으로서 생성물 유체 열교환기를 포함하는 유입 수단, 생성물 유체를 생성물 유체 열교환기에 공급하기 위한 수단, 및 생성물 유체 열교환기로부터 초저온 상태의 생성물 유체를 회수하기 위한 수단을 포함하는 장치.
  7. 제 6항에 있어서, 압축기, 유체를 압축기로부터 냉매 유체 열교환기에 유입시키기 위한 수단, 팽창 장치, 및 유체를 냉매 유체 열교환기로부터 팽창 장치에 유입시키기 위한 수단을 추가로 포함하고, 냉매 유체를 냉매 유체 열교환기로부터 냉매 재생기 열교환기에 유입시키기 위한 수단이 유체를 팽창 장치로부터 재생기 열교환기에 유입시키는 수단을 포함함을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 팽창 장치가 밸브임을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 7항에 있어서, 재생기내에서의 흐름을 위해 가압된 가스를 발생시키기 위한 수단이 피스톤을 포함함을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 7항에 있어서, 재생기내에서의 흐름을 위해 가압된 가스를 발생시키기 위한 수단이 열음향 드라이버를 포함함을 특징으로 하는 장치.
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