KR100498146B1 - 응축을 이용하는 ｐｆｃ 회수 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 PFC 함유 공급 스트림을 응측기, 바람직하게는 환류 응측기로 이동시켜 PFC 함유 응축물 및 운반 기체 스트림으로 액화시키고, PFC 함유 생성물을 물질 이동 장치로 이동시켜 PFC 함유 응축물을 고휘발성 PFC 스트림 및 PFC 생성물로 분별화시키므로써, 응축을 이용하여 PFC를 회수하는 방법 및 이를 위한 시스템에 관한 것이다.

Description

응축을 이용하는 ＰＦＣ 회수 방법 {PFC RECOVERY USING CONDENSATION}
본 발명은 일반적으로 퍼플루오르화합물(PFC)의 회수에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 응축, 바람직하게는 환류 응축을 이용하여 PFC를 회수하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.
PFC는 많은 제조 과정에 사용된다. 특히, 이들 화합물은 반도체 부품의 제조에 널리 사용된다. 다수의 이러한 제조 공정은 특성상 PFC의 대기 방출을 초래한다. 높은 가격과 환경 유해성으로 인해, 이러한 방출되는 PFC는 회수하여 재사용될 수 있도록 하는 것이 유리하다.
PFC의 예로는 삼불화질소(NF3), 테트라플루오로메탄(CF4), 트리플루오로메탄(CHF3), 헥사플루오로에탄(C2F6) 및 육불화황(SF6)이 있다. 일반적으로, PFC는 질소, 탄소 및 황의 완전히 불화된 화합물이다. CHF3는 완전히 불화된 것은 아니지만, 유사한 화학적 특성 및 다른 불소 포화된 PFC와의 적용성으로 인해 PFC로 간주되는 일예이다.
반도체 부품의 제조는 일반적으로 PFC, 비 PFC 기체, 미립물질 및 운반 기체를 포함하는 배기 가스를 생성시킨다. 어느 한 공정의 장치로부터의 흐름은 400scfh(standad cubic feet per hour) 정도로 높을 수 있으며, 1% 미만의 PFC를 포함할 수 있다.
비 PFC 기체에는 불화수소(HF), 사불화규소(SiF4), 사수소화실란(SiH4), 카르보닐 플루오라이드(COF2), 이산화탄소(CO2), 물(H2O), 메탄(CH4) 및 일산화탄소(CO)가 포함될 수 있다. 운반 기체는 공기, 질소 또는 또 다른 불활성 기체일 수 있다. 비 PFC 기체 및 미립물질의 대부분은 PFC 회수 공정에 유해하여, 사전 정제 공정에서 제거될 필요가 있다. 비 PFC 기체의 일부, 예를 들어 일산화탄소는 PFC 회수 공정에 불활성일 수 있어, 운반 기체와 함께 통과되도록 허용될 수 있다.
본 발명은 PFC와 다양한 운반 기체의 비점 간의 큰 차를 이용하는 응축에 의해 사전 정제된 운반 기체로부터 PFC를 회수하는 것이다. 표 1은 일부 통상의 PFC 및 질소의 대기압하 비점 및 융점을 제공한다.
표 1
화합물 비점(K) 융점(K)
N2 77 63
NF3 144 66
CF4 145 90
CHF3 191 118
C2F6 195 173
SF6 209 222
PFC의 응축은 상기 기체 스트림을 성분 PFC의 이슬점 아래의 온도로 냉각시키므로써 달성된다. 높은 PFC 회수 효율을 달성하기 위해서는, 기체 스트림을 일부 저휘발성 PFC의 융점보다 낮게 냉각시키는 것이 필요하다. 응축기에서 PFC의 결빙은 응축기의 효율을 저하시키고 연속 동작을 방해하기 때문에 바람직하지 않다. 본 발명은 PFC 결빙을 억제시키는 몇몇 사항을 포함한다.
첫째, 환류 응축기는 PFC의 응축을 수행하는데 바람직하게 사용된다. 환류 응축기에서 응축물은 나오는 기체 흐름에 대해 역류로 흐르며, 이에 따라 추가의 냉각이 반드시 필요한 것은 아니다. 그러나, 일반적으로, 종래의 응축기가 본 발명에 사용될 수 있다.
둘째, 이러한 흐름 체제는 고휘발성 PFC 응축물이, 저휘발성 PFC가 응축하는 영역 위를 흐른다는 것을 의미한다. 결빙 경향이 있는 저휘발성 PFC는 이러한 고휘발성 PFC중에 가용성이어서, 결빙이 억제될 수 있다.
셋째, 바람직한 구체예에서, 기체 스트림중의 고휘발성 PFC 농도는 이러한 시스템에서 재순환되므로써 상승한다. 이는 회수된 PFC 생성물로부터 고휘발성 PFC를 분리시킨 후 재부가 업스트림에 의해 달성된다. 가스 스트림중의 고휘발성 PFC의 농도를 올리므로써 PFC 응축물중에서 저휘발성 PFC의 농도를 낮추어, PFC가 결빙되지 않도록 한다.
극저온 수단이 회수에 사용되는 경우에 PFC 결빙 문제를 어느 정도 완화시키는, 운반 기체 스트림으로부터 PFC를 회수하기 위한 여러 해결책이 제안되었다. 그러나, 종래 기술중 어느 것도 본 발명을 교시하거나 시사한 바 없다.
운반 기체로부터 PFC를 회수하기 위한 종래 방법은 미국 특허 제 5,626,023호에 기재된 바와 같은 응축/용해에 의해서이다. 용매가 기체 스트림에 부가된 후, 냉각되어 PFC 및 기화된 용매를 응축시킨다. 결빙 경향을 갖는 저휘발성 PFC는 첨가제 용매에 가용성이다. 첨가 용매 및 PFC는 이후 증류에 의해 분리되고, 첨가제 용매는 재사용된다. 용매는 손실을 방지하도록 PFC 생성물로부터 완전히 제거되어야 한다.
미국 특허 제 5,540,057호에는 운반 기체로부터 휘발성 유기 화합물(VOC)을 환류 응축기에서 VOC의 응축에 의해 제거하는 방법이 제공되어 있다. VOC 적재된 운반 기체는 쉘의 쉘측과 튜브 열 교환기 위를 통과한 후 연속적인 온도 구배에 따라 냉각된다. VOC는 상이한 수준에서 상이한 정도로 응축하고, 쉘측의 특수 배플상에 수거되어, 응축기로부터 일부를 유도하고, 일부는 환류로서 응축기 아래로 다시 적하되도록 할 수 있다. 냉각되고 세척된 운반 기체는 이후 출구에서 쉘측으로 냉매와 혼합되어 쉘측 냉각을 수행하기 위해 튜브측 아래로 통과한다. VOC, 특히 벤젠의 결빙은 용매, 특히 톨루엔을 기체 스트림에 첨가하므로써 억제될 수 있다.
미국 특허 제 5,533,338호 및 제 5,799,509호는 극저온 유체에 대해 PFC를 응축시키기 위한 응축 결빙의 예이다. 저휘발성 PFC의 결빙은 고휘발성 PFC의 고효율 응축에 요구되는 낮은 온도로 인해 발생한다. 이 방법은 제거를 위해 결빙된 PFC를 주기적으로 해동시키는 것이 필요하기 때문에 불리하다. 이는 냉각 효율을 낮게 하고, 연속 작업을 유지하기 위해 이중 설비를 요한다.
막 투과법은 막 투과도의 차이를 통해 운반 기체로부터 PFC를 회수한다. 기체스트림은 특정 막의 공급측과 접촉하고, 이는 PFC가 보유되는 동안에 운반 기체가 우선적으로 투과되도록 한다. 높은 분리 효율은 다중 막의 사용을 요한다. PFC는 상이한 투과 특성을 가지며 회수 효율이 다양하다.
흡착법으로 운반 기체로부터 PFC를 회수한다. 기체 스트림은 PFC를 제거하는 흡착제와 접촉한다. 이후, PFC는 흡착되고, 소제 기체(sweep gas)로 흡착층으로부터 제거된다. 소제 기체는 저농도 PFC 생성물을 초래한다. 또한, 흡착 과정은 기체상 배출 스트림을 나타내는 운반 기체 유동율 및 PFC 농도의 큰 변화를 조정하는 융통성을 가지지 않는다.
또 다른 PFC 재순환 방법은 에너지 집약적 소성 공정이다. 기체 스트림은 고온 가열되어 PFC의 방출을 억제한다. 불화수소 및 질소 산화물과 같은 분해 기체는 이후 연도 기체로부터 제거된다.
PFC 회수 시스템은 전체 제조 설비보다는 소규모 반도체 제조 장치군으로부터의 배기 가스를 처리하는데 바람직하다. 한 시스템이 실패하는 경우, 제조 장치의 일부만이 영향받는다. 따라서, 본 발명은 기본적으로 소수의 장치로부터 배기 가스를 처리하고자 하는 것이다. 그러나, 이는 전체 반도체 제조 설비로부터 배기 가스를 처리하는 것으로 확대될 수 있다. 또한, 본 발명의 목적은 PFC 결빙과 관련된 문제를 완화시키면서, 극저온 응축에 의해 운반 기체 스트림으로부터 PFC를 회수하는 것이다.
본 발명은 응축, 바람직하게는 환류 응축을 이용하여 PFC를 회수하기 위한 시스템에 관한 것이다. 응축기는 PFC 함유 기체 스트림으로부터의 간접 열교환으로 PFC 함유 응축물과 운반 기체 스트림으로 액화시킨다. 물질 이동 장치가 사용되어 PFC 함유 응축물을 고휘발성 PFC 스트림 및 PFC 생성물로 분별화시킨다.
본 발명은 또한 응축, 바람직하게는 환류 응축을 이용하여 PFC를 회수하기 위한 방법에 관한 것이다. PFC 함유 공급 스트림은 응축기로 이동되어 PFC 함유 응축물 및 운반 기체 스트림으로 액화된다. 또한, PFC 함유 생성물은 물질 이동 장치로 이동되어 PFC 함유 응축물을 고휘발성 PFC 스트림과 PFC 생성물로 분별화시킨다.
본원에서 사용되는 용어 "고휘발성 PFC"는 대기압 비점이 150K 미만인 1종 이상의 PFC를 의미한다. 예로는 테트라플루오로메탄(CF4) 및 삼불화질소(NF3)를 포함한다.
본원에서 사용되는 용어 "저휘발성 PFC"는 대기압 비점이 150K를 초과하는 1종 이상의 PFC를 의미한다. 예로는 트리플루오로메탄(CHF3), 헥사플루오로에탄(C2F6) 및 육불화황(SF6)을 포함한다.
본원에서 사용되는 용어 "간접 열교환"은 두 유체 스트림을 물리적인 접촉 또는 유체 서로간의 상호 혼합없이 열 교환 관계가 되도록 하는 것을 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "응축기"는 기체 흐름을 간접 열교환시켜 이러한 흐름 일부를 액화시키는 용기를 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "응축물"은 액화된 기체를 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "환류 응축기"는 응축물의 적어도 일부가 응축을 수행하는 어느 한면보다 고온인 열교환 면과 접촉되도록 하는 응축기를 의미한다. 이러한 재가열은 적어도 일부가 재증발되도록 하는 원인이 된다. 이는 상승하는 기체 스트림을 냉각시키므로써 용이하게 수행된다. 이후, 응축물은 하강하고, 가온된다. 환류 응축기가 바람직하며, 일반적인 응축기의 사용이 본 발명에 고려된다.
본원에서 사용되는 용어 "환류 응축"은 환류 응축기에서 수행되는 응축을 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "정류 칼럼"은 액상과 증기상이 역류로 접촉되어 유체 혼합물의 분리를 수행하는 증류 또는 분별화 영역을 의미한다. 정류 칼럼이 바람직하나, 정류 칼럼과 유사한 기능을 수행할 수 있는 물질 이동 장치의 일반적인 사용이 본 발명에 고려된다.
이제 도 1에 관련하여 살펴보면, 도 1은 개략적인 흐름도이며, 본 발명의 시스템의 바람직한 구체예이다. 가온된 기체 공급 스트림(10)은 약 95psia로 가압된, 운반 기체, 고휘발성 PFC 및 저휘발성 PFC로 이루어진다. 미립 불순물 및 불화수소 및 불소와 같은 비 PFC 기체는 사전 정제 단계에서 제거될 것이다. 스트림(10)은 사전 정제 단계 동안에 가압된 후 상승된 압력에서 유입된다. 예를 들어 압력 순환 흡착은 기체 스트림의 가압을 요한다. 고압 수준의 열적 순환 흡착을 포함하는 다른 흡착 공정이 적용될 수 있다. 또한, 가압화는 운반 기체로부터 PFC의 분리를 돕는 것으로 나타났으며, 공정 설비의 크기를 감소시킨다. 개개의 PFC의 결빙점은 상승된 압력에서 강하될 것이다.
스트림(10)은 열교환기(12)에서 냉각 스트림(34)과의 간접 열교환에 의해 냉각된다. 스트림(10)은 PFC가 액체 또는 고체 형태로 응축되기 시작하는 온도보다 높은 온도로 냉각된다. 결빙된 PFC를 제거하는 방법은 없기 때문에 PFC가 열교환기(12)에서 결빙되지 않는 것이 중요하다.
이후, 냉각된 기체 공급 스트림(14)은 열교환기(12)로부터 배출되어 응축기(18), 바람직하게는 환류 응축기로 유입되어 고휘발성 PFC 스트림(40)과 합쳐진다. 바람직한 구체예에서, 스트림(40)은 액체이다. 또한, 이 스트림은 스트림(14)보다 온도가 상당히 낮을 것이다. 이는 스트림(40) 분출을 유도하여 형성되는 혼합 스트림(16)이 스트림(14)의 온도보다 낮은 온도가 되게 한다. 스트림(16)의 온도는 대략 PFC가 응축하기 시작하는 온도이어야 한다. 스트림(40)의 스트림(14)으로의 부가는 혼합된 스트림(16)이 스트림(14)보다 더 높은 고휘발성 PFC 농도를 가지도록 한다.
응축기(18)에서 스트림(16)은 냉각된 냉각 스트림(32)과의 간접 열교환에 의해 역류로 냉각된다. 냉각은 PFC가 응축하고 스트림(16)에 대해 역류로 흘러나가게 하여, PFC 응축물 스트림(22)을 형성한다. 헥사플루오로에탄 및 육불화황과 같은 저휘발성 PFC는 응축기(18)의 보다 가온된 단부측에서 응축되고, 융점 아래서 냉각되기 때문에 고형물로서 응축되는 경향이 있다. 사불화탄소 및 삼불화질소와 같은 고휘발성 PFC는 응축기의 보다 냉각된 단부측에서 응축되며, 이들의 융점이 도달되지 않기 때문에 고형물로서 응축되지 않을 것이다. 응축기(18)의 작동상 특징은 고휘발성 PFC가 응축기의 보다 가온된 단부를 세척하고, 저휘발성 PFC에 대해 용매로서 작용한다는 것이다. 따라서, 저휘발성 PFC의 결빙이 억제된다. 본 구체예의 또 다른 특징은 스트림(40)이 스트림(14)에 부가되어 저휘발성 PFC에 대해 고휘발성 PFC의 양을 증가시킨다는 것이다. 스트림(40)의 부가는 또한, 응축기(18)의 PFC 조성 및 농도를 안정화시킨다. 이는 응축기(18)가 거의 안정된 상태의 온도 조건하에서 작동하도록 하고, 공정의 제어를 돕는다.
냉각된 운반 기체 스트림(20)은 PFC를 제거하도록 처리된 응축기(18)에서 나온다. 액체 극저온 스트림(24)은 제어 밸브(26)를 거쳐 스트림(20)에 부가되어 스트림(28)을 생성시킨다. 운반 기체는 보다 통상적으로는 질소 기체일 것이고, 액체 극저온물은 보다 통상적으로는 액체 질소일 것이다. 스트림(24)의 부가율은 열교환기(12) 및 응축기(18)에서의 냉각 요건에 의해 결정된다. 스트림(20)은 보다 통상적으로는 충분한 고휘발성 PFC를 응축시키기 위해 운반 기체의 이슬점에 가까울 것이고, 그 자체로는, 스트림(24)의 부가는 일반적으로 스트림(24)을 완전히 증발시키지 않을 것이다. 따라서, 스트림(28)은 일반적으로 두가지 상일 것이다. 스트림(28)은 조절판 밸브(30)를 통과하여 냉각 스트림(32)을 형성한다. 팽창은 온도 강하를 유발하는데, 요구되는 정도는 응축기(18)의 냉각 단부 온도 차에 의해 결정되고, 조절판 밸브(30)를 통해 압력 강하에 의해 조절된다. 스트림(32)은 응축기(18)로 이동되어, 혼합된 스트림(14)에 대해 가온되고, 스트림(34)으로서 응축기(18)의 저부에서 배출된다. 이후, 스트림(34)은 열교환기(12)로 이동되어 스트림(10)의 냉각을 수행한다. 가온된 냉각 스트림(36)은 열교환기(12)에서 배출된다. 스트림(36)의 일부는 사전 정제 단계에서 흡착층을 재생하는데 사용될 수 있다. 또한, 일부를 반도체 장치 배기물에 첨가 사용하여 PFC 회수 시스템의 용량적 유량을 일정하게 유지시키는데 유리하다.
스트림(22)은 물질 이동 장치(38), 바람직하게는 정류 칼럼으로 이동되어, 이곳에서 고휘발성 및 저휘발성 PFC가 바람직하게는 극저온 정류에 의해 분리된다. 물질 이동 장치(38)의 상부에서 스트림(40)이 형성되고, 응축기 입구에서 스트림(14)에 부가되므로써 재순환된다. 스트림(40)은 또한 PFC 제거 동안에 응축기(18)에서 응축된 운반 기체를 함유할 것이다. 따라서, 물질 이동 장치(38)는 시스템의 PFC 농도 효율을 상승시킨다. 물질 이동 장치(38)의 저부에서, 액체 PFC 생성물(42)이 형성된다. 안정한 상태의 조건하에서, 100% PFC 회수율을 갖는 경우에, 스트림(10)으로 시스템에 유입되는 PFC의 질량 및 상대적 비율은 스트림(42)으로 시스템에서 배출되는 PFC의 질량 및 상대적 비율과 동일할 것이다.
또 다른 구체예에서, 스트림(40)의 부가는 응축기(18)의 모든 지점에서 스트림으로, 액체로서 응축기(18)로 다시 아래로 흐르도록 스트림(16)으로, 응축기(18) 전의 스트림(14)으로, 직접적으로 열교환기(12)로, 및 사전 정제 단계를 포함하는 열교환기(12) 이전의 지점에서와 같이 응축기 입구 이외의 지점에서 일어날 수 있다.
또 다른 구체예는 스트림(40)의 사용을 필요로 하지 않는다. 결과적으로, 스트림(22)은 생성물로서 수거된다. 물질 이동 장치(38)는 필요하지 않다. 이 구체예는 저휘발성 PFC가 응축기(18)에서 결빙되지 않도록 하기에 충분한 고휘발성 PFC를 포함하는 스트림(10)에 특히 적용가능하다.
응축기의 또 다른 유형이 PFC의 응축을 수행하는데 사용될 수 있으며, 이 경우에 스트림(40)은 응축기에서의 결빙을 억제시키기 위해 사용된다.
PFC의 특정 유형은 용매로서 사용될 수 있다. 예를 들어, 결빙점에서 고증기압을 가지지 않는 저휘발성 PFC가 있다. 이들에는 트리플루오로메탄(CHF3) 및 옥타플루오로프로판(C3F8)이 있다.
물질 이동 장치(38)는 PFC 생성물로부터 고휘발성 PFC를 분리시키는 데 사용된다. 정류 칼럼 이외에, 분축기와 같은 다양한 장치가 사용될 수 있다. 또한, 열교환기(12) 및/또는 응축기(18)로의 다양한 냉각 부가 수단이 사용될 수 있다. 이러한 것으로는 첫째, 액체 질소와 같은 극저온물과의 간접 열교환, 둘째, 대기 가스, 히드로플루오로카본 및/또는 PFC의 혼합물인 작용 유체를 사용하는 증기 압축 사이클에 의해 생성된 기계적 냉각, 셋째, 건조 공기, 질소, 아르곤 또는 이들의 혼합물의 터보 팽창에 의해 생성된 기계적 냉각, 넷째, 바람직하게는 선형 모터-압축기에 의해 제공되는 펄스 튜브(pulse tube)로의 입력 작업으로, 펄스 튜브 냉각기로부터 얻어지는 냉각이 있다. 또한, 냉각을 가하기 전에 조절판 밸브(30)를 통해 냉각된 운반 기체 스트림(20)을 팽창시키는 것이 용이할 수 있다.
열교환기(12) 및 응축기(18)가 하나의 장치인 경우, 환류 작업 없이 통상의 방식으로 응축을 수행하는 것도 적합하다.
다중 PFC 응축물을 생성하기 위한 다중 액체 출구를 갖는 응축기 또는 다중 응축기가 사용될 수 있다.
또한, 약 95psia 초과 및 미만의 압력에서 시스템을 작동시키는 것이 고려된다. 압력 순환 흡착 적용을 위해, 약 80psia 내지 약 200psia, 바람직하게는 약 90psia 내지 약 125psia, 매우 바람직하게는 약 95psia가 바람직하다. 열적 순환 흡착 적용을 위해서는 상당히 높은 압력 범위가 사용된다.
실시예
스트림(10)은 HF, F2, H2O 및 CO2와 같은 비 PFC 기체를 제거하도록 처리된, 1,000ppm CH4, 2,000ppm C2F6 및 500ppm SF6를 함유하는 질소 운반 기체를 포함하였다. 스트림(10)은 압력이 94psia이고 온도가 288K였다.
스트림(10)을 열교환기(12)에서 165K로 냉각시켜 스트림(14)을 형성시킨 후, 응축기(18)로 이동시켰다. CF4 및 질소 운반 기체의 일부를 포함하는 스트림(40)을 유입구에서 스트림(14)으로 응축기로 분출시켜, 형성된 스트림(16)중의 CF4 농도를 18,200ppm으로 상승시키고, 온도를 157K로 낮추었다.
스트림(16)을 응축기(18)에서 냉각시켜서 PFC가 응축하여 스트림(22)을 형성하고, 운반 기체가 스트림(20)으로서 배출되도록 하였다. PFC의 높은 제거 효율을 달성시키기 위해, 질소 운반 기체의 일부를 환류 응축기에서 응축시켰다. 93 psia에서, 응축이 97.3K에서 발생하였다. 스트림(20)은 질소와 함께 5ppm CF4를 포함하였다. 도 2는 환류 응축기에서의 여러 단계에서 액체 응축물의 조성을 보여준다. 단계 1은 응축기의 상부에 상응하는 것이고, 단계 5는 저부에 상응하는 것이며, 이는 x축으로 표시하였다. y축은 각각의 화합물에 대한 몰분율을 나타낸다.
상기 실시예에서, 스트림(22)은 정류 칼럼(38)으로 펌핑되고, 칼럼에서 분리되어 스트림(40)과 스트림(42)을 형성하였다. 95psia에서, 스트림(16)의 온도는 125K였으며, 87.9몰%의 CF4 및 13.1몰%의 질소를 포함하였다. 96psia에서, 스트림(42)의 온도는 209K였으며, 28.6몰%의 CF4, 57.1몰%의 C2F6 및 14.3몰%의 SF6 를 포함하였다.
CF4, C2F6 및 SF6의 회수 효율은 각각 99.5%, 100% 및 100%였다. PFC 생성물은 1ppm 질소 운반 기체를 함유하였다. 2000scfh 시스템은 약 50 lb/hr의 액체 질소 냉매를 소비하였다.
본 발명은 특이적 특징은 편의상 하나 이상의 도면에 기재되어 있으며, 각각의 특징은 본 발명에 따라 다른 특징에 조합될 수 있다. 또 다른 구체예가 당해 기술자들에게 인지될 것이며, 청구범위내에 포함되는 것으로 의도된다.
본 발명은 PFC 결빙과 관련된 문제를 완화시키면서, 극저온 응축에 의해 운반 기체 스트림으로부터 PFC를 회수하는 것이다.
도 1은 본 발명의 PFC 회수 방법의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 환류 응측기내 여러 단계에서의 응축물 조성을 나타내는 그래프이다.
(주요 도면 부호에 대한 간단한 설명)
10: 스트림 12: 열교환기
14: 스트림 16: 스트림
18: 응축기 20: 스트림
22: PFC 응축물 스트림 24: 액체 극저온물 스트림
26: 제어 밸브 28: 스트림
30: 조절판 밸브 32: 냉각 스트림
34: 스트림 36: 가온된 냉각 스트림
38: 물질 이동 장치 40: 스트림
42: 스트림

Claims (10)

  1. 응축을 이용하여 PFC를 회수하기 위한 시스템에 있어서,
    a) PFC 함유 기체 스트림을 간접 열교환시켜 PFC 함유 응축물 및 운반 기체 스트림으로 액화시키는 응축기;
    b) PFC 함유 응축물을 고휘발성 PFC 스트림 및 PFC 생성물로 분별화시키는 물질 이동 장치; 및
    c) 공급 스트림을 응축기로 이동시키기 전에 PFC 함유 공급 스트림을 냉각시키기 위한 열교환기를 포함하고,
    고휘발성 PFC 스트림은 재순환되어 PFC 함유 공급 스트림과 합쳐짐을 특징으로 하는 시스템,
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 응축기로 재순환시키기 위해 운반 가스 스트림에 냉각이 가해짐을 특징으로 하는 시스템.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서, 응축기가 환류 응축기임을 특징으로 하는 시스템.
  6. 응축을 이용하여 PFC를 회수하기 위한 방법에 있어서,
    a) PFC 함유 공급 스트림을 응축기로 이동시켜 PFC 함유 응축물 및 운반 기체 스트림으로 액화시키는 단계;
    b) PFC 함유 응축물을 물질 이동 장치로 이동시켜 PFC 함유 응축물을 고휘발성 PFC 스트림 및 PFC 생성물로 분별화시키는 단계 및
    c) 공급 스트림을 응축기로 이동시키기 전에 열교환기에서 PFC 함유 공급 스트림을 냉각시키므로써 고휘발성 PFC 스트림을 재순환시켜 PFC 함유 공급 스트림과 합쳐지도록 하는 단계를 포함하는 방법.
  7. 삭제
  8. 제 6 항에 있어서, 응축기로 재순환시키기 위해 운반 기체 스트림에 냉각을 가하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  9. 삭제
  10. 제 6 항에 있어서, 환류 응축기를 사용하여 PFC를 회수하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
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