KR100497743B1

KR100497743B1 - Inspection apparatus for flat panel display

Info

Publication number: KR100497743B1
Application number: KR1020050009222A
Authority: KR
Inventors: 유병소
Original assignee: (주)큐엠씨; 유병소
Priority date: 2005-02-01
Filing date: 2005-02-01
Publication date: 2005-06-29

Abstract

본 발명은 평판 표시패널의 육안 검사를 위한 검사 스테이지가 기울여지는 각도를 검출하여 프로브 유닛 플레이트에 평행한 각도를 유지할 수 있도록 하기 위한 평판 표시패널 검사장치에 관한 것으로, 회동수단의 구동에 의하여 베이스의 상부에 힌지를 중심으로 회전 가능하게 설치되어 공급수단에 의해 공급된 평판 표시패널을 정렬하고 지지하는 검사 스테이지와, 평판 표시패널의 전기단자에 접촉하여 전기적 신호를 인가하기 위한 프로브 유닛을 장착한 프로브 유닛 플레이트와, 회동 수단의 구동에 의한 검사 스테이지의 회전각도를 검출하고 검출된 결과에 따라 기설정된 각도로 보정되도록 하여 프로브 유닛 플레이트와 검사 스테이지가 평행하게 마주 보도록 하는 각도 보정수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a flat panel display panel inspection apparatus for detecting an angle at which an inspection stage for visual inspection of a flat panel display panel is inclined to maintain an angle parallel to the probe unit plate. Probe equipped with an inspection stage rotatably installed around the hinge to align and support the flat panel display panel supplied by the supply means, and a probe unit for applying an electrical signal to the electrical terminals of the flat panel display panel. A unit plate and angle correction means for detecting the rotational angle of the inspection stage driven by the rotation means and correcting at a predetermined angle according to the detected result so that the probe unit plate and the inspection stage face in parallel. It is done.

Description

Flat panel display panel inspection device {INSPECTION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은 평판 표시패널 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 표시패널의 육안 검사를 위한 검사 스테이지가 기울여지는 각도를 검출하여 프로브 유닛 플레이트에 평행한 각도를 유지할 수 있는 평판 표시패널 검사장치를 제공하기 위한 것이다. The present invention relates to a flat panel display panel inspection apparatus, and more particularly, to a flat panel display panel inspection apparatus capable of detecting an angle at which an inspection stage for visual inspection of a flat panel display panel is tilted to maintain an angle parallel to the probe unit plate. It is to provide.

일반적으로 평면 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)란 TV나 컴퓨터의 모니터에 사용되고 있는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로, 경량·박형설계가 용이하고 고화질, 저소비 전력 등의 장점을 가지므로 산업에서 널리 이용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is a next-generation display device developed to replace a cathode ray tube (CRT), which is used for a TV or a computer monitor. It is widely used in industry because it has advantages such as power.

근래에는 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel) 등의 다양한 표시장치가 출시되고 있는데, 이러한 표시장치는 제조공정에서 패널 상에 형성된 스크래치나 각종 얼룩 등을 발견하여 불량률을 감소하기 위한 목적으로 육안검사를 실시하고 있다.Recently, various display devices such as LCD (Liquid Crystal Display) or PDP (Plasma Display Panel) have been released. These display devices are designed to reduce the defect rate by detecting scratches or various stains formed on the panel during the manufacturing process. Visual inspection is conducted.

도 4는 종래 기술에 따른 육안검사장치의 일 예를 보인 측면도이고, 도 5는 도 4에 따른 작동 상태도이다. Figure 4 is a side view showing an example of the visual inspection apparatus according to the prior art, Figure 5 is an operating state diagram according to FIG.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 공급된 패널(P)이 프레임(200)의 상부에 구비된 검사 스테이지(300)상에 거치되면, 스테이지에 구비된 정렬수단 및 흡착수단에 의해 패널의 위치가 정렬과 동시에 고정된다. 이와 같이 패널의 고정이 완료되면, 프레임(200)상에 구비된 스텝모터(M1)가 구동하여 수평상태에서 직각으로 회전시킴으로써, 패널의 장변측이 전방으로 향하도록 방향을 결정하게 된다.4 and 5, when the supplied panel P is mounted on the inspection stage 300 provided on the upper portion of the frame 200, the panel P is arranged by the alignment means and the adsorption means provided on the stage. The position is fixed at the same time as the alignment. When the fixing of the panel is completed as described above, the step motor M1 provided on the frame 200 is driven to rotate at right angles in a horizontal state, thereby determining the direction so that the long side of the panel faces forward.

한편, 베이스(100) 상에 설치된 모터(M2)가 구동하여 구동기어(G1)를 도면상의 시계방향으로 회전시키면, 구동기어와 치합됨과 동시에 프레임(200)의 힌지축(210)에 고정된 종동기어(G2)가 반시계방향으로 회전하게 된다. On the other hand, when the motor (M2) installed on the base 100 is driven to rotate the drive gear (G1) in the clockwise direction on the drawing, the driven gear is engaged with the drive gear and fixed to the hinge shaft 210 of the frame 200 at the same time The gear G2 is rotated counterclockwise.

이와 같이 종동기어(G2)가 회전함에 따라, 프레임(200)이 힌지축(210)을 지점으로 전방 즉 도면상의 반시계방향으로 회전함으로써, 작업자가 편안한 자세에서 패널(P)상의 결함을 육안으로 파악할 수 있게 된다.As the driven gear G2 rotates as described above, the frame 200 rotates the hinge shaft 210 forward to the point, that is, counterclockwise in the drawing, so that the operator visually fixes the defect on the panel P in a comfortable posture. I can figure it out.

이때, 프레임의 오버런(over run)을 방지함과 동시에 정지시 발생되는 충격을 완화시키기 위해, 베이스(100)에는 프레임(200)의 전,후방측으로 스토퍼(400)가 설치되어 있다.At this time, in order to prevent overrun of the frame and to alleviate the shock generated when the frame is stopped, the stopper 400 is installed at the front and rear sides of the frame 200 in the base 100.

그러나, 종래 기술에 따른 검사장치는 각도의 조정이 모터와 기어에 의해 이루어짐으로써, 백래시(backlash)의 발생으로 인해 패널을 원하는 각도로 정확히 회전시킬 수 없었다. 한편, 패널의 크기가 갈수록 대형화되고 있기 때문에, 회전각도의 작은 오차에 의해 프로브 유닛 플레이트와 검사 스테이지의 평행이 조금만 어긋나더라도 프로브 유닛과 평판 표시패널의 전극패드가 전기적으로 접촉되지 않거나 전기적 접촉이 어긋날 수 있는 문제가 있다.However, the inspection apparatus according to the prior art has not been able to accurately rotate the panel to the desired angle due to the occurrence of backlash because the angle adjustment is made by the motor and the gear. On the other hand, as the size of the panel increases in size, even if the parallel between the probe unit plate and the inspection stage is slightly displaced due to a small error in the rotation angle, the electrode pads of the probe unit and the flat panel display panel are not electrically contacted or the electrical contact is displaced. There is a problem that can be.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 평판 표시패널의 육안검사를 위하여 검사 스테이지가 기울어지는 회전각도를 검출하고 검출된 결과에 따라 기설정된 각도로 보정되도록 하여, 프로브 유닛 플레이트와 검사 스테이지가 평행하게 마주 볼 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, for the visual inspection of the flat panel display panel to detect the rotation angle of the tilted tilt and to be corrected to a predetermined angle according to the detected result, An object of the present invention is to provide a flat panel display panel inspection apparatus in which a probe unit plate and an inspection stage are faced in parallel.

상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명에 따른 평판 표시패널 검사장치는 회동 수단의 구동에 의하여 베이스의 상부에 힌지를 중심으로 회전 가능하게 설치되어 공급수단에 의해 공급된 평판 표시패널을 정렬하고 지지하는 검사 스테이지와, 평판 표시패널의 전극패드에 접촉하여 전기적 신호를 인가하기 위한 프로브 유닛을 장착한 프로브 유닛 플레이트와, 회동 수단의 구동에 의한 검사 스테이지의 회전각도를 검출하고 검출된 결과에 따라 기설정된 각도로 보정되도록 하여, 프로브 유닛 플레이트와 검사 스테이지가 평행하게 마주 보도록 하는 각도 보정수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention is rotatably installed around the hinge at an upper portion of the base by the driving means to align and support the flat panel panel supplied by the supply unit. A probe unit plate equipped with a test stage, a probe unit plate having a probe unit for applying an electrical signal in contact with an electrode pad of a flat panel display panel, and a rotation angle of the test stage driven by the rotation means, and preset according to the detected result. And angle correction means for allowing the probe unit plate and the inspection stage to face in parallel.

본 발명에서, 바람직하게는 각도 보정 수단은 검사 스테이지의 상측에 고정 배치된 각도 보정장치 도그와, 프로브 유닛 플레이트의 하측에 고정 배치되어 회전각도를 검출하는 각도 검출수단을 구비한다. 이때 각도 검출수단은 각도 검출수단 본체와, 탄성부재에 의해 본체에 부착되고 본체로부터 돌출된 변위기구를 구비하며, 변위기구는 회전각도에 따른 변위를 검출하도록 한다. 보다 바람직하게는 각도 검출수단에 의해 검출된 회전각도에 따른 신호를 전달받아 회전각도가 기설정된 각도로 보정될 수 있도록 회동수단을 제어하는 제어수단을 더 포함하도록 한다.In the present invention, preferably, the angle correcting means comprises an angle corrector dog fixedly arranged on the upper side of the inspection stage, and angle detecting means fixedly arranged on the lower side of the probe unit plate to detect the rotational angle. At this time, the angle detecting means has a main body and a displacement mechanism attached to the main body by the elastic member and protruding from the main body, the displacement mechanism to detect the displacement according to the rotation angle. More preferably, a control means for controlling the rotation means to receive a signal according to the rotation angle detected by the angle detection means so that the rotation angle can be corrected to a predetermined angle.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다. 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니고, 단지 예시로 제시된 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This embodiment is not intended to limit the scope of the invention, but is presented by way of example only.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시패널 검사장치의 사시도를 도시한 것이다. 1 is a perspective view of an apparatus for inspecting a flat panel display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시패널 검사장치는 그 전측면이 약 60°정도로 기울여져 형성된 본체(11)와, 로딩되는 평판 표시패널의 전극패드에 접촉되어 전기적 신호를 인가하기 위한 프로브 유닛(12)과, 프로브 유닛과 평판 표시패널 사이를 정렬하기 위한 현미경(13)과, 프로브 유닛과 현미경을 지지하기 위한 프로브 유닛 플레이트(14)를 구비한다.As shown, the flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention is a probe for contacting the main body 11 formed by tilting the front surface of the flat panel display panel and the electrode pad of the loaded flat panel display panel to apply an electrical signal The unit 12, the microscope 13 for aligning between a probe unit and a flat panel display panel, and the probe unit plate 14 for supporting a probe unit and a microscope are provided.

도 2a 및 도 2b는 도 1의 측면도이다. 도 2a는 평판 표시패널을 로딩하기 위한 초기 상태를 도시한 것이며, 도 2b는 평판 표시패널을 로딩한 후 회동수단의 구동에 의하여 60°정도로 회동된 상태를 도시한 도면이다.2A and 2B are side views of FIG. 1. FIG. 2A illustrates an initial state for loading the flat panel display panel, and FIG. 2B illustrates a state in which the flat panel panel is rotated about 60 ° by driving the rotating means after loading the flat panel display panel.

도시 된 바와 같이, 평판 표시패널 검사장치의 내부에는 회동 수단(30)의 구동에 의하여 베이스(20)의 상부에 힌지(21)를 중심으로 회전 가능하게 설치되어 공급수단(미도시)에 의해 공급된 평판 표시패널을 정렬하고 지지하는 검사 스테이지(40)를 구비한다. As shown, the inside of the flat panel display panel inspection apparatus is rotatably installed around the hinge 21 on the upper portion of the base 20 by the rotation means 30 is supplied by the supply means (not shown) An inspection stage 40 for aligning and supporting the flat panel display panel is provided.

검사 스테이지(40)에는 프로브 유닛(12)에 평판 표시패널을 정렬하기 위한 검사 스테이지 X-Y 변위기판(43)이 구비된다. 검사 스테이지 X-Y 변위기판(43)은 검사 스테이지(40)에 설치된 X축 및 Y축 방향의 구동 장치(42)에 의하여 그 평면에 수직 방향의 축을 중심으로 회전하여 그 상부에 로딩된 평판 표시패널이 프로브 유닛(12)에 정렬되도록 한다. X축 및 Y축 방향의 구동 장치에 의한 회전 구동은 한국공개특허2002-65099호 등에서 본 기술 분야에서 이미 널리 알려져 있는 기술이므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 수직 방향으로는 고정된 상태에 놓여져 있다.The inspection stage 40 is provided with an inspection stage X-Y displacement substrate 43 for aligning the flat panel display panel with the probe unit 12. The inspection stage XY displacement substrate 43 is rotated about an axis perpendicular to the plane by a drive device 42 in the X-axis and Y-axis directions installed in the inspection stage 40 so that the flat panel display panel loaded thereon is To the probe unit 12. Rotational drive by the drive device in the X-axis and Y-axis directions is a technique that is already well known in the art, such as in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2002-65099, and a detailed description thereof will be omitted. At this time, it is in a fixed state in the vertical direction.

검사 스테이지 X-Y 변위기판(43)의 상부에는 실제로 평판 표시패널(P)을 로딩하기 위한 검사 테이블(60)과 검사 테이블(60)의 하부에서 평판 표시패널로 빛을 조사하기 위한 백라이트(50)가 설치된다. 이러한 검사 테이블(60)과 백라이트(50)은 스텝모터 등의 수직 구동장치(42)의 구동에 의하여 검사 스테이지 가이드(44)를 따라서 수직 방향으로 왕복 이송되어 패널(P)이 프로브 유닛 방향으로 움직여 패널의 전극패드와 프로브 유닛이 서로 접촉되도록 한다.Above the inspection stage XY displacement substrate 43 is an inspection table 60 for actually loading the flat panel display panel P and a backlight 50 for irradiating light from the lower portion of the inspection table 60 to the flat panel display panel. Is installed. The inspection table 60 and the backlight 50 are reciprocated in a vertical direction along the inspection stage guide 44 by driving a vertical driving device 42 such as a step motor, so that the panel P moves in the direction of the probe unit. The electrode pad of the panel and the probe unit are in contact with each other.

한편, 검사 스테이지(40)는 힌지(21)를 중심으로 회전하므로, 거리 a는 항상 일정하게 유지된다. 그러나, 거리 b는 회동 수단(30)의 구동 오차 등으로 인해 거리 a와는 수 mm 정도의 차이를 만들 수 있다. 따라서, 거리 a와 거리 b가 동일하게 유지되도록 하여야 하며, 본 발명에서는 이를 해결하고자 한다. On the other hand, since the inspection stage 40 rotates about the hinge 21, the distance a always remains constant. However, the distance b can make a difference of several millimeters from the distance a due to the driving error of the rotation means 30 and the like. Therefore, distance a and distance b should be kept the same, and the present invention is intended to solve this problem.

이를 위하여, 검사 스테이지 X-Y 변위기판(43)의 일측 상부에는 각도 보정장치 도그(45)가 고정 설치되며, 프로브 유닛 플레이트(14)의 하측에는 검사 스테이지의 회전각도를 검출하는 각도 검출수단(70)이 구비된다. To this end, the angle corrector dog 45 is fixedly installed on one side of the inspection stage XY displacement substrate 43, and the angle detection means 70 for detecting the rotation angle of the inspection stage below the probe unit plate 14. Is provided.

도 3은 도 2a의 A 부분 즉, 각도 검출수단(70)의 상세도이며, 도시된 바와 같이, 각도 검출수단(70)은 각도 검출수단 본체(71)와, 탄성부재(72)에 의해 본체에 부착되고 본체로부터 돌출된 변위기구(73)와 본체 내부에 구비된 변위검출센서(74)로 구성된다. FIG. 3 is a detailed view of the portion A of FIG. 2A, that is, the angle detecting means 70, and as shown, the angle detecting means 70 is formed by the angle detecting means main body 71 and the elastic member 72. As shown in FIG. It consists of a displacement mechanism (73) attached to and protruding from the main body and a displacement detection sensor (74) provided inside the main body.

이러한 구조에 의하면, 회전 각도가 과도한 경우는 과도한 만큼 각도 보정장치 도그(45)가 변위기구를 밀게 되고, 회전 각도가 부족한 경우는 그 만큼 변위기구가 덜 밀리게 되어, 변위기구(73)의 움직임에 따라서 검사 스테이지의 회전각도를 검출하게 된다.According to this structure, when the rotation angle is excessive, the angle correction device dog 45 pushes the displacement mechanism by an excessive amount, and when the rotation angle is insufficient, the displacement mechanism is pushed less by that amount, so that the displacement mechanism 73 moves. According to this, the rotation angle of the inspection stage is detected.

한편, 회동 수단(30)의 구동에 의한 검사 스테이지(40)의 회전각도가 검출되면, 그 걸출된 결과는 제어장치(미도시)로 전송되며 제어장치는 검출된 결과와 기설정된 프로브 유닛 플레이트와 검사 스테이지가 평행하게 마주 보도록 하는 각도를 유지하도록(즉, 거리 a와 거리 b가 동일하게 되도록) 회동수단을 제어한다. 즉, 과도하게 회전되어 거리 b가 거리 a보다 작게 되면 회동수단을 제어하여 회전각도를 감소시키고, 부족하게 회전되어 거리 b가 거리 a보다 크게 되면 회동수단을 제어하여 회전각도를 증가시킨다. On the other hand, when the rotation angle of the inspection stage 40 by the driving of the rotation means 30 is detected, the outstanding result is transmitted to a control device (not shown), and the control device and the predetermined probe unit plate and The rotating means is controlled to maintain the angle at which the inspection stages face in parallel (ie, the distance a and the distance b are equal). That is, when the distance b is excessively rotated to become smaller than the distance a, the rotation means is controlled to reduce the rotation angle. When the rotation is insufficient, when the distance b becomes larger than the distance a, the rotation means is controlled to increase the rotation angle.

상술한 바와 같이 본 발명은 검사 스테이지의 회전각도 오차에 의한 프로브 유닛 플레이트와 검사 스테이지의 평행이 어긋나는 것을 방지하여, 프로브 유닛과 평판 표시패널이 전기적으로 연결되지 않거나 전기적 연결이 어긋나는 것을 방지할 수 있다.As described above, the present invention can prevent the probe unit plate from the inspection stage from being parallel due to the rotational angle error of the inspection stage, thereby preventing the probe unit from the flat panel display panel from being electrically connected or the electrical connection from being misaligned. .

한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.On the other hand, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but this is only exemplary, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. . Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined only by the appended claims.

도 1은 본 발명에 따른 평판 표시패널 검사장치의 사시도1 is a perspective view of a flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention

도 2는 도 1의 측면도2 is a side view of FIG. 1

도 3은 각도 검출수단의 상세도3 is a detailed view of the angle detecting means;

도 4는 종래기술에 따른 평판 표시패널 검사장치Figure 4 is a flat panel display panel inspection apparatus according to the prior art

도 5는 도 4의 작동 상태도5 is an operating state diagram of FIG.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing

12 프로브 유닛 14 프로브 유닛 플레이트12 probe unit 14 probe unit plate

20 베이스 30 회동수단 20 bases 30 rotation means

40 검사스테이지 44 각도 보정장치 도그40 Inspection Stage 44 Angle Compensator Dog

50 백라이트 60 검사 테이블50 backlight 60 examination table

70 각도 검출수단 71 각도 검출수단 본체70 angle detecting means 71 angle detecting means

72 탄성부재 73 변위기구72 Elastic member 73 Displacement mechanism

Claims

An inspection stage which is rotatably installed on a hinge at an upper portion of the base by driving the rotation means, and arranges and supports the flat panel display panel supplied by the supply means, and contacts an electrode pad of the flat panel display panel to provide an electrical signal. In the flat panel display panel inspection apparatus having a probe unit plate mounted with a probe unit for applying,

An angle corrector dog is fixedly positioned above the inspection stage;

Under the probe unit plate, an angle detecting means main body, a displacement mechanism attached to the main body by an elastic member and protruding from the main body, and a displacement detection sensor provided inside the main body, the displacement mechanism is the angle correction device According to the distance displaced by the dog, the angle detecting means for detecting the rotational angle of the inspection stage is fixedly arranged;

Control means for controlling the rotation means so that the rotation angle is corrected to the predetermined angle by receiving a signal according to the rotation angle detected by the angle detection means, so that the probe unit plate and the inspection stage face in parallel. Flat panel display panel inspection apparatus characterized in that provided.

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