KR20090069544A - Cassette loading apparatus and method for loading cassette using the same - Google Patents

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KR20090069544A KR1020070137243A KR20070137243A KR20090069544A KR 20090069544 A KR20090069544 A KR 20090069544A KR 1020070137243 A KR1020070137243 A KR 1020070137243A KR 20070137243 A KR20070137243 A KR 20070137243A KR 20090069544 A KR20090069544 A KR 20090069544A
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Abstract

A cassette loading apparatus and method for loading a cassette using the same are provided to prevent the damage of substrate by detecting an error location of the cassette before the process is performed. The cassette(110) for loading a substrate is settled in a port. The transfer robot(50) transfers the substrate to the inside of cassette. The first measuring unit(130) measures the alignment of the upper frame of cassette. The second measuring unit(140) is equipped in the port. The second measuring unit measures the alignment of the subframe of cassette. The controller processes the value measured by the first measuring unit and the second measuring unit. The controller controls the transfer robot.

Description

카세트 로딩 장치 및 카세트 로딩 방법{Cassette Loading Apparatus and Method For Loading Cassette Using the Same}Cassette Loading Apparatus and Method For Loading Cassette Using the Same}

본 발명은 기판을 수납하기 위한 카세트의 로딩(loading) 장치에 관한 것으로, 특히 로딩된 카세트가 틀어진 경우에 기판의 이동 과정에서 기판이 손상되는 문제를 방지할 수 있는 카세트의 로딩 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a loading device of a cassette for accommodating a substrate, and more particularly, to a loading device of a cassette capable of preventing the substrate from being damaged during the movement of the substrate when the loaded cassette is distorted.

정보화 사회의 발전에 따라, 시각적 정보를 표시하기 위하여 종래의 CRT(Cathode Ray Tube)를 대신하여, 여러 가지 평판 표시 장치가 주목을 받고 있으며, 이러한 평판 표시 장치들로는 PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display Device), LCD(Liquid Crystal Display Device, 이하 액정 표시 장치), OLED(Organic Light Emitting Diode, 이하 유기 발광 다이오드 표시장치) 등이 있다.In accordance with the development of the information society, various flat panel displays have attracted attention in place of the conventional CRT (Cathode Ray Tube) for displaying visual information, and such flat panel displays have a plasma display panel (PDP) and a FED ( Field emission display devices (LCDs), liquid crystal display devices (LCDs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.

이와 같은, 평판 표시 장치들은 유리로 이루어진 글래스 기판(glass substrate)와 같은 하나의 기판에 다수의 패널이 설계되어 있어서, 한 번의 프로세스(process)를 통해 다수의 패널이 동시에 제작되도록 구성된다.In the flat panel display devices, a plurality of panels are designed on a single substrate, such as a glass substrate made of glass, so that a plurality of panels are simultaneously manufactured through a single process.

평판 표시 장치를 제조하기 위한 과정은, 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정 등 다수의 공정으로 이루어지며, 이에 따라 다수의 패널이 설계되어 있는 기판은 단독적으로 이동되지 않고 복수의 기판을 수납하도록 설계된 카세트(cassette)에 수납되어 공정을 수행하는 장비로 이동된다. A process for manufacturing a flat panel display device includes a plurality of processes, such as a deposition process, an exposure process, and an etching process. Accordingly, a substrate on which a plurality of panels are designed is not moved alone, but a cassette is designed to accommodate a plurality of substrates. It is housed in a cassette and moved to the equipment that performs the process.

또한, 상기 카세트는 AGV(Automatic Guided Vehicle)과 같은 운송 방식에 의하여, 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정 등과 같은 각 공정을 수행하기 위한 장비로 이송되어지며, 각 장비에는 카세트를 로딩시키기 위한 카세트 로딩 장치를 구비한다.In addition, the cassette is transferred to equipment for performing each process, such as a deposition process, an exposure process, an etching process, and the like by a transport method such as an automatic guided vehicle (AGV), and each equipment has a cassette loading for loading the cassette. With a device.

도1는 기판을 수납한 카세트가 로딩된 카세트 로딩 장치를 도시한 도면이다. 참고로 이하의 도면에서 동일한 도면부호는 동일한 구성 요소를 지칭한다.1 is a diagram showing a cassette loading apparatus loaded with a cassette containing a substrate. For reference, the same reference numerals in the following drawings refer to the same components.

도1에서 알 수 있듯이, 카세트 로딩 장치는, 카세트(10)가 안착되는 포트(20)와, 상기 카세트 내부로 기판(1,2)을 수납 또는 취출하기 위하여 이재하는 이재 로봇(50)으로 구성된다.As can be seen in FIG. 1, the cassette loading device is composed of a port 20 on which the cassette 10 is seated, and a transfer robot 50 for transferring the substrates 1 and 2 into or in the cassette. do.

상기 카세트(10)는, 서로 대향하도록 배치된 상부 프레임(12) 및 하부 프레임(13)과, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임 사이 양 측면에 배치되어 상부 프레임 및 하부 프레임을 지지하는 사이드 바(14)로 구성되고, 상기 사이드 바의 카세트 내측에는 기판(1,2)을 수납하기 위한 다수의 슬롯(15)들이 구비된다.The cassette 10 includes an upper frame 12 and a lower frame 13 disposed to face each other, and side bars 14 disposed on both sides between the upper frame and the lower frame to support the upper frame and the lower frame. And a plurality of slots 15 for accommodating the substrates 1 and 2 inside the cassette of the side bar.

또한, 사이드 바에 구비되어 수납된 기판이 자체의 하중에 의하여 중력 방향으로 처짐(sagging)이 발생하는 문제를 방지하기 위한 센터 바(16)를 더 구비할 수 있다.In addition, the substrate provided in the side bar may further include a center bar 16 for preventing a problem that sagging occurs in the direction of gravity due to its own load.

카세트(10)가 안착되는 포트(port)(20)에는, 카세트를 고정시키는 베이스 블 럭(22)이 카세트의 하부 프레임의 네 모서리에 대응되도록 구비된다. In the port 20 on which the cassette 10 is seated, a base block 22 for fixing the cassette is provided to correspond to four corners of the lower frame of the cassette.

카세트 내부로 기판을 수납시키기 위한 이재 로봇(50)은, 좌우 방향으로 이동 가능함과 동시에 회전할 수 있는 구동부(53)와, 상기 구동부와 연결되어 전후 방향으로 연장될 수 있는 로봇 암(51)과, 상기 로봇 암에 연결되어 기판을 지지 고정시킬 수 있는 로봇 핸드(52)로 구성된다.The transfer robot 50 for accommodating the substrate into the cassette includes a driving unit 53 capable of moving in the left-right direction and rotating at the same time, and a robot arm 51 connected to the driving unit and extending in the front-rear direction. It is composed of a robot hand 52 which is connected to the robot arm to support and fix the substrate.

즉, 기판(1,2)들은 예를 들면 진공 흡착 방식 등에 의하여, 로봇 핸드(52)에 고정되어 카세트의 슬롯에 삽입되거나, 또는 동일한 방식에 의하여 슬롯에 삽입된 기판이 카세트 외부로 취출될 수 있다. That is, the substrates 1 and 2 may be fixed to the robot hand 52 and inserted into a slot of the cassette, for example, by a vacuum suction method, or the substrate inserted into the slot may be taken out of the cassette by the same method. have.

이와 같이, 기판을 수납한 카세트는 포트에 안착되며, 이재 로봇에 의하여 카세트 내부의 기판을 차례로 이재하여 해당 공정을 수행하는 유닛(unit)으로 기판이 이재되어진다.In this way, the cassette containing the substrate is seated in the port, the substrate is transferred to the unit (unit) for carrying out the process by sequentially transferring the substrate inside the cassette by the transfer robot.

한 편, 평판 표시 장치를 형성하기 위한 기판들은 생산비 절감을 위하여 규모의 경제(Economy of scale)를 달성함과 동시에, 대형 TV와 같은 어플리케이션(application)을 구현하기 위하여 점점 대형화되고 있는 추세이며, 따라서 기판을 수납하기 위한 카세트 및 카세트를 이동시키는 장비 또한 대형화되고 있는 추세이다.On the other hand, substrates for forming flat panel display devices are becoming larger and larger in order to achieve economies of scale in order to reduce production costs and to implement applications such as large TVs. Cassettes for storing substrates and equipment for moving cassettes are also becoming larger.

이와 같이, 기판과 카세트 등이 대형화 됨에 따라 카세트 자체의 하중이 증가하게 되었고, 이에 따라 카세트 로딩 장치에 안착된 카세트가 정확하게 안착되지 않음에 따라 여러 가지 문제가 발생하게 되었다.As such, as the substrate and the cassette are enlarged, the load of the cassette itself increases, and accordingly, various problems occur as the cassette seated on the cassette loading device is not correctly seated.

특히, 기울어진 카세트를 정면에서 바라본 도2를 참조로 하여 설명하면, 대형화된 카세트의 경우 포트에 안착된 카세트가 이송 과정에서 발생되는 물리적인 충격에 의하여 사이드 바(14)가 기울어져서 하부 프레임(13)과 상부 프레임(12)의 정렬 상태가 기울어지게 되는 문제가 발생하였다.In particular, referring to FIG. 2 in which the inclined cassette is viewed from the front, in the case of an enlarged cassette, the side bar 14 is inclined due to the physical impact generated during the transfer of the cassette seated in the port. 13) and the alignment state of the upper frame 12 is inclined.

이와 같이 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어지게 되면 카세트로부터 기판이 취출되거나, 카세트로 기판이 수납될 때 사이드 바와의 간섭에 의하여 기판이 손상될 위험이 있다.As such, when the alignment of the upper frame and the lower frame is inclined, the substrate may be taken out from the cassette or the substrate may be damaged by interference with the side bar when the substrate is stored in the cassette.

본 발명은 이와 같은 문제들을 해결하기 위한 것으로, The present invention is to solve such problems,

이와 같이, 기판이 카세트 로딩 장치에 정위치에 안착하지 않거나, 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어진 카세트가 로딩되어 공정이 진행되는 것을 방지할 수 있는 카세트 로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.As described above, an object of the present invention is to provide a cassette loading apparatus capable of preventing a process from progressing due to loading of a cassette in which a substrate is not seated in a cassette loading apparatus in a fixed position or an alignment of an upper frame and a lower frame is inclined. .

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, Cassette loading apparatus according to an embodiment of the present invention to achieve the above object,

기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.A port on which the cassette for storing the substrate is seated, a transfer robot capable of transferring the substrate into the cassette, a first measuring unit for measuring the alignment of the upper frame of the cassette, and an alignment state of the lower frame of the cassette It is characterized by including a second measuring unit to measure.

즉, 제 1 측정부 또는 제 2 측정부 가운데 어느 하나만을 이용한 측정만으로도 카세트의 로딩 상태가 정위치에 로딩되었는지 여부를 확인할 수 있으며,That is, only the measurement using only one of the first measuring unit or the second measuring unit can determine whether the loading state of the cassette is loaded in place.

제 1 측정부 및 제 2 측정부를 함께 사용한 측정을 통해, 카세트의 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태를 확인할 수 있다.Through the measurement using the first measuring unit and the second measuring unit together, it is possible to check the alignment of the upper frame and the lower frame of the cassette.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 카세트의 로딩 상태를 확인하여 카세트의 위치가 정위치가 아닐 경우 카세트의 위치를 보정할 수 있고, 동시에 카세트의 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어진 경우를 공정이 진행되기 전에 감지하여 기판의 손상을 방지함으로써 생산비를 저감시킬 수 있는 효과를 제공한다.As such, the cassette loading apparatus according to the embodiment of the present invention may check the loading state of the cassette to correct the position of the cassette when the position of the cassette is not the correct position, and at the same time, align the upper frame and the lower frame of the cassette. The tilted state is detected before the process is performed to prevent damage to the substrate, thereby reducing the production cost.

다음으로 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.Next, a cassette loading apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Cassette loading apparatus according to an embodiment of the present invention, the first seat for measuring the alignment state of the port on which the cassette for storing the substrate, the transfer robot capable of transferring the substrate into the cassette, and the upper frame of the cassette And a second measuring unit for measuring an alignment state of the lower frame of the cassette.

즉, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 상부 프레임 또는 하부 프레임 가운데 어느 하나의 정렬 상태를 측정하여 카세트가 정위치에 로딩되었는지 여부를 확인할 수 있으며,That is, the cassette loading apparatus according to an embodiment of the present invention, by measuring the alignment state of any one of the upper frame or the lower frame can determine whether the cassette is loaded in place,

동시에 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태를 동시에 측정한 후 비교하여, 카세트의 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어져 있는지를 확인할 수 있다.Simultaneously measuring and comparing the alignment of the upper frame and the lower frame, it is possible to confirm whether the alignment of the upper frame and the lower frame of the cassette is inclined.

다음으로 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.Next, a cassette loading apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 구성을 나타낸 사시도이다. 3A is a perspective view showing the configuration of the cassette loading apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도3a으로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 기판 수납용 카세트(110)가 안착되는 포트(120)와, 상기 카세트 내부로 기판(101, 102)을 이재할 수 있는 이재 로봇(150)과, 상기 카세트의 상부 프레임(113)의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부(130)와, 상기 카세트의 하부 프레임(114)의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부(140)와, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 값을 처리 및 이재 로봇을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.As can be seen from Figure 3a, the cassette loading apparatus according to the first embodiment of the present invention, the port 120 on which the substrate receiving cassette 110 is seated, and the substrates 101 and 102 can be transferred into the cassette. The transfer robot 150, the first measuring unit 130 for measuring the alignment state of the upper frame 113 of the cassette, and the second measuring unit for measuring the alignment state of the lower frame 114 of the cassette 140, and a control unit (not shown) configured to process the values measured by the first and second measurement units and to control the transfer robot.

상기 포트(120)에는 AGV(미도시) 등에 의하여 운반되어진 카세트가 로딩되어 안착될 수 있으며, 또한 상기 포트에는 로딩된 카세트의 위치에 대한 기준이 되는 베이스 블럭(122)이 구비된다.The port 120 may be loaded with a cassette carried by an AGV (not shown) or the like, and the port is provided with a base block 122 serving as a reference for the position of the loaded cassette.

상기 베이스 블럭(122)은 내마모성이 강한 플라스틱 재질로 형성될 수 있으며, 포트로부터 돌출되어 형성되고 카세트의 네 모서리에 대응되도록 형성된다.The base block 122 may be formed of a plastic material having high abrasion resistance, is formed to protrude from the port and to correspond to the four corners of the cassette.

즉, 상기 베이스 블럭의 내측에 카세트의 네 모서리가 밀착된 경우가, 카세트가 정위치에 로딩된 상태이다. That is, the four corners of the cassette are in close contact with the inside of the base block, the cassette is loaded in the correct position.

상기 카세트(110)는, 서로 대향하도록 배치된 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(113)과, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임 사이 양 측면에 배치되어 상부 프레임 및 하부 프레임을 지지하는 사이드 바(114)로 구성되고, 상기 사이드 바의 카세트 내측에는 기판(101,102)을 수납하기 위한 다수의 슬롯(115)들이 구비된다.The cassette 110 includes an upper frame 112 and a lower frame 113 disposed to face each other, and side bars 114 disposed on both sides between the upper frame and the lower frame to support the upper frame and the lower frame. The inside of the cassette of the side bar is provided with a plurality of slots 115 for receiving the substrate (101,102).

또한, 사이드 바에 구비되어 수납된 기판이 자체의 하중에 의하여 중력 방향으로 처짐(sagging)이 발생하는 문제를 방지하기 위한 센터 바(116)를 더 구비할 수 있다.In addition, the substrate provided in the side bar may further include a center bar 116 for preventing a problem that sagging occurs in the direction of gravity due to its own load.

상기 이재 로봇(150)은, 좌우 방향으로 이동 가능함과 동시에 회전할 수 있는 구동부(153)와, 상기 구동부와 연결되어 전후 방향으로 연장될 수 있는 로봇 암(151)과, 상기 로봇 암에 연결되어 기판(101,102)을 지지 고정시킬 수 있는 로봇 핸드(152)로 구성된다.The transfer robot 150 has a driving unit 153 which is movable in the left and right direction and can rotate at the same time, a robot arm 151 connected to the driving unit and extending in the front and rear directions, and connected to the robot arm. It consists of a robot hand 152 capable of supporting and fixing the substrates 101 and 102.

즉, 기판을 로봇 핸드(152)에 구비된 진공 홀을 통해 진공력으로 흡착 고정 하여 기판을 이동시켜서 카세트의 슬롯(115)으로 기판을 삽입시키거나, 카세트 내부에 수납된 기판을 외부로 취출하게 된다.That is, the substrate is moved and fixed by vacuum force through the vacuum hole provided in the robot hand 152 to move the substrate so as to insert the substrate into the slot 115 of the cassette, or to take out the substrate stored in the cassette to the outside. do.

상기 제 1 측정부(130) 및 제 2 측정부(140)은, 예를 들면, 도4와 같이, 레어저와 같은 빛을 조사하는 발광부(134) 및 반사되는 빛을 감지하는 수광부(136)를 구비한 헤드부(132)와, 상기 헤드부를 이동시키는 구동부(미도시) 및 상기 헤드부 와 구동부를 연결하는 연결부(미도시)로 구성이 되고,The first measuring unit 130 and the second measuring unit 140, for example, as shown in Figure 4, the light emitting unit 134 for irradiating light such as a laser and the light receiving unit 136 for sensing the reflected light Head portion 132 having a), a driving portion (not shown) for moving the head portion and a connecting portion (not shown) for connecting the head portion and the driving portion,

발광부에서 조사한 빛이 물체에 의해 반사되어 돌아온 빛을 수광부를 통해 감지함으로써 거리를 측정하게 된다.The distance is measured by detecting light returned from the light emitted by the light emitter through the light receiver.

상기 제어부는, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부로부터 측정된, 측정부와 상부 프레임 또는 하부 프레임 사이의 거리에 대한 측정값을 비교처리할 수 있으며, 이재 로봇 등을 제어하는 역할을 수행한다.The control unit may compare the measured value of the distance between the measuring unit and the upper frame or the lower frame, measured from the first and second measuring units, and controls the transfer robot. .

카세트가 정위치에 로딩되고 상부 프레임 및 하부 프레임이 기울어지지 않고 정확한 정렬 상태를 유지할 경우에, 제 1 측정부에서 상부 프레임까지의 거리와, 제 2 측정부에서 하부 프레임까지의 거리는 동일하도록 제 1 측정부 및 제 2 측정부를 배치하는 것이 바람직하다. When the cassette is loaded in place and the upper frame and the lower frame are not tilted and maintain correct alignment, the distance from the first measuring unit to the upper frame and the distance from the second measuring unit to the lower frame are the same. It is preferable to arrange a measuring section and a second measuring section.

또한, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부는 도3a와 같이 각각이 하나의 측정 유닛으로 구성되고, 각 측정 유닛이 카세트의 동일한 일측에 하나씩 구비될 수도 있으며, 도3b와 같이 각 측정 유닛이 카세트를 기준으로 서로 반대되는 측면, 예를 들면 제 1 측정부는 카세트의 좌측에 위치하고 동시에 제 2 측정부는 카세트의 우측에 위치하는 것도 가능할 것이다. 이와 같이, 제 1 측정부 및 제 2 측정부의 위 치를 카세트를 기준으로 반대 측면에 배치함으로써 제 1 측정부 및 제 2 측정부가 구동될 때 서로 간섭되는 것을 피할 수 있는 효과를 가진다.In addition, the first measuring unit and the second measuring unit are each composed of one measuring unit, as shown in Figure 3a, each measuring unit may be provided on one side of the same cassette, each measuring unit as shown in Figure 3b It is also possible for the opposite sides to be relative to each other, for example the first measuring part is located on the left side of the cassette and the second measuring part is located on the right side of the cassette. As such, by disposing the positions of the first measuring unit and the second measuring unit on opposite sides of the cassette, the first measuring unit and the second measuring unit can be prevented from interfering with each other when driven.

또한, 도3c와 같이, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부는 카세트를 기준으로 양측에 하나씩, 각각 한 쌍의 측정 유닛으로 구비되는 것도 가능할 것이다.In addition, as shown in FIG. 3C, the first measuring unit and the second measuring unit may be provided as a pair of measuring units, one on each side of the cassette.

이와 같이, 제 1 측정부 및 제 2 측정부가 각각 한 쌍의 측정 유닛으로 구비되면, 보다 정확한 값을 측정할 수 있는 효과를 가진다.As such, when the first measuring unit and the second measuring unit are each provided as a pair of measuring units, it has the effect of measuring a more accurate value.

또한, 도3d와 같이, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부는 측정 유닛이 상부 프레임과 하부 프레임의 네 모서리에 모두 대응되도록 형성되는 것도 가능할 것이다.In addition, as shown in Figure 3d, the first measuring unit and the second measuring unit may be formed so that the measurement unit corresponds to all four corners of the upper frame and the lower frame.

즉, 각 모서리에 대응되도록 제 1 측정부 및 제 2 측정부가 구비되어서, 보다 빠른 속도로 측정을 실시할 수 있어서 공정 시간을 단축할 수 있음과 아울러, 보다 정확한 측정을 할 수 있는 효과를 가진다.That is, the first measuring unit and the second measuring unit are provided so as to correspond to each corner, so that the measurement can be performed at a higher speed, thereby shortening the process time and having the effect of making more accurate measurement.

다음으로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.Next, a cassette loading apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, Cassette loading apparatus according to a second embodiment of the present invention,

기판 수납용 카세트(110)가 안착되는 포트(120)와, 상기 카세트 내부로 기판(101, 102)을 이재할 수 있는 이재 로봇(150)과, 상기 카세트의 상부 프레임(113)의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부(130)와, 상기 카세트의 하부 프레임(114)의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부(140)와, 상기 포트에 안착된 카세트가 이재될 수 있는 더미 포트(250)와, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측 정된 값을 처리 및 이재 로봇을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The alignment state of the port 120 on which the substrate storage cassette 110 is seated, the transfer robot 150 capable of transferring the substrates 101 and 102 into the cassette, and the upper frame 113 of the cassette are arranged. The first measuring unit 130 to measure, the second measuring unit 140 to measure the alignment state of the lower frame 114 of the cassette, and the dummy port 250 that can be transferred to the cassette seated in the port And, it characterized in that it comprises a control unit (not shown) for processing the value measured by the first measurement unit and the second measurement unit and controls the transfer robot.

카세트가 정위치에 로딩되고 상부 프레임 및 하부 프레임이 기울어지지 않고 정확한 정렬 상태를 유지할 경우에, 제 1 측정부에서 상부 프레임까지의 거리와, 제 2 측정부에서 하부 프레임까지의 거리는 동일하도록 제 1 측정부 및 제 2 측정부를 배치하는 것이 바람직하다. When the cassette is loaded in place and the upper frame and the lower frame are not tilted and maintain correct alignment, the distance from the first measuring unit to the upper frame and the distance from the second measuring unit to the lower frame are the same. It is preferable to arrange a measuring section and a second measuring section.

상기 포트(120)에는 AGV(미도시) 등에 의하여 운반되어진 카세트가 로딩되어 안착될 수 있으며, 또한 상기 포트에는 로딩된 카세트의 위치에 대한 기준이 되는 베이스 블럭(122)이 구비된다.The port 120 may be loaded with a cassette carried by an AGV (not shown) or the like, and the port is provided with a base block 122 serving as a reference for the position of the loaded cassette.

상기 베이스 블럭(122)은 내마모성이 강한 플라스틱 재질로 형성될 수 있으며, 포트로부터 돌출되어 형성되고 카세트의 네 모서리에 대응되도록 형성된다.The base block 122 may be formed of a plastic material having high abrasion resistance, is formed to protrude from the port and to correspond to the four corners of the cassette.

즉, 상기 베이스 블럭의 내측에 카세트의 네 모서리가 밀착되도록 안착된 경우가, 카세트가 정위치에 로딩된 상태이다. That is, the case where the four corners of the cassette are placed in close contact with the inside of the base block, the cassette is loaded in the correct position.

상기 더미 포트(250)에는 별도로 구비된 카세트 이재 수단(미도시) 또는 AGV를 이용하여 상기 포트에 안착된 카세트가 재이재될 수 있다.The dummy port 250 may be reloaded with a cassette seated in the port using a cassette transfer means (not shown) or AGV provided separately.

즉, 도2와 같이, 제 1 측정부에서 측정된 거리와, 제 2 측정부에서 측정된 거리를 비교하여, 두 측정값의 차이가 설정된 기준을 벗어난 경우에는, 도2와 같이카세트의 사이드 바가 기울어져서 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 어긋난 경우로 판단하여, 포트에 로딩된 카세트를 더미 포트로 재이재킨다.That is, as shown in FIG. 2, when the distance measured by the first measurement unit and the distance measured by the second measurement unit are compared, and the difference between the two measured values deviates from the set standard, as shown in FIG. It is determined that the upper frame and the lower frame are misaligned by tilting, and the cassette loaded in the port is reloaded into the dummy port.

이와 같이, 더미 포트에 재이재된 카세트는, 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 정상이 되도록 리페어(repair)하거나, 그 불량 상태가 심각한 경우에는 사용을 금지하는 등의 조치를 취하는 것이 가능할 것이다.In this manner, the cassette re-inserted in the dummy port may be repaired such that the alignment of the upper frame and the lower frame is normal, or the use of the cassette may be prohibited if the defective state is serious.

상기 더미 포트에도 역시, 카세트를 고정시키기 위하여 카세트의 네 모서리에 대응되는 베이스 블럭(255)이 구비된다. The dummy port is also provided with a base block 255 corresponding to four corners of the cassette to fix the cassette.

상기 제어부는, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부로부터 측정된, 측정부와 상부 프레임 또는 하부 프레임 사이의 거리에 대한 측정값을 비교처리하여 상기 카세트를 더미 포트로 이재할 것인지의 여부를 결정할 수 있으며, 이재 로봇 등을 제어하는 역할을 수행한다.The controller determines whether to transfer the cassette to the dummy port by comparing the measured value of the distance between the measuring unit and the upper frame or the lower frame measured from the first measuring unit and the second measuring unit. Can, and plays a role in controlling the robot, such as Lee.

상기 이재 로봇(150)은, 좌우 방향으로 이동 가능함과 동시에 회전할 수 있는 구동부(153)와, 상기 구동부와 연결되어 전후 방향으로 연장될 수 있는 로봇 암(151)과, 상기 로봇 암에 연결되어 기판(101,102)을 지지 고정시킬 수 있는 로봇 핸드(152)로 구성된다.The transfer robot 150 has a driving unit 153 which is movable in the left and right direction and can rotate at the same time, a robot arm 151 connected to the driving unit and extending in the front and rear directions, and connected to the robot arm. It consists of a robot hand 152 capable of supporting and fixing the substrates 101 and 102.

즉, 기판을 로봇 핸드(152)에 구비된 진공 홀을 통해 진공력으로 흡착 고정하여 기판을 이동시켜서 카세트의 슬롯(115)으로 기판을 삽입시키거나, 카세트 내부에 수납된 기판을 외부로 취출하게 된다.That is, the substrate is sucked and fixed with a vacuum force through the vacuum hole provided in the robot hand 152 to move the substrate to insert the substrate into the slot 115 of the cassette, or to take out the substrate stored in the cassette to the outside. do.

상기 제 1 측정부(130) 및 제 2 측정부(140)는 예를 들면, 도4와 같이, 레어저와 같은 빛을 조사하는 발광부(134) 및 반사되는 빛을 감지하는 수광부(136)를 구비한 헤드부(132)와, 상기 헤드부를 이동시키는 구동부(미도시) 및 상기 헤드부 및 구동부를 연결하는 연결부(미도시)로 구성된다.The first measuring unit 130 and the second measuring unit 140, for example, as shown in Figure 4, the light emitting unit 134 for irradiating light such as a laser and the light receiving unit 136 for detecting the reflected light It comprises a head portion 132 having a, a driving unit (not shown) for moving the head portion and a connecting portion (not shown) for connecting the head and the drive unit.

이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 포트에 로딩 된 카세트가 재이재될 수 있는 더미 포트를 구비하여서, As such, the cassette loading apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a dummy port in which a cassette loaded in a port can be reloaded,

제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 측정값을 통해, 카세트의 사이드 바가 기울어져서 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 어긋난 경우로 판단될 경우, 포트에 로딩된 카세트를 더미 포트로 재이재시킴으로써, 기판의 손상을 방지함과 아울러 비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다..If it is determined that the alignment of the upper frame and the lower frame is out of alignment due to the side bar of the cassette tilted through the measured values measured by the first measuring unit and the second measuring unit, the cassette loaded in the port is transferred to the dummy port. By doing so, it is possible to prevent damage to the substrate and to reduce costs.

다음으로, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.Next, a cassette loading apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 제 3 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, Cassette loading apparatus according to a third embodiment of the present invention,

기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부와, 상기 포트에 로딩된 카세트의 안착 상태를 보정할 수 있는 보정 수단과, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 값을 처리하고 이재 로봇 및 보정 수단을 제어하는 제어부(미도시)을 포함하는 것을 특징으로 한다.A port on which the cassette for storing the substrate is seated, a transfer robot capable of transferring the substrate into the cassette, a first measuring unit for measuring the alignment of the upper frame of the cassette, and an alignment state of the lower frame of the cassette A second measuring unit for measuring, correction means for correcting the seating state of the cassette loaded in the port, processing values measured by the first measuring unit and the second measuring unit, and controlling the transfer robot and the correcting means It characterized in that it comprises a control unit (not shown).

도6과 같이, 상기 보정 수단(180)은 연결부(184)에 의하여 구동부(미도시)에 연결된 클램프(182)로 구성될 수 있다.As shown in FIG. 6, the correction means 180 may be configured as a clamp 182 connected to a driving unit (not shown) by the connection unit 184.

즉, 도6에서처럼 카세트가 베이스 블럭 상부에 걸치도록 안착된 경우에, That is, in the case where the cassette is seated to cover the upper part of the base block as shown in FIG.

제 1 측정부 및 제 2 측정부가, 카세트의 상부 프레임 및 하부 프레임의 네 모서리와 측정부 사이의 거리를 모두 측정하여 카세트의 안착 상태가 불량하다고 판단이 되면, 상기 보정수단을 이용하여 카세트의 하부 프레임에 물리적인 힘을 가 하여 카세트의 안착 상태를 보정하는 것이 가능할 것이다.When the first measuring unit and the second measuring unit measure all the distances between the four edges of the upper frame and the lower frame of the cassette and the measuring unit and judge that the seating state of the cassette is poor, the lower end of the cassette using the correction means. It will be possible to correct the seating state of the cassette by applying physical force to the frame.

상기 보정수단은 카세트의 네 모서리에 대응되도록 구비될 수 있으며,The correction means may be provided to correspond to the four corners of the cassette,

상기 구동부는 상기 보정 수단을 x축, y축, z축 전 방향으로 이동시키는 것이 가능할 것이다.The driving unit may move the correction means in all directions of the x-axis, y-axis, and z-axis.

상기 제어부는, 상기 제 1 측정부나 제 2 측정부로부터 측정된, 측정부와 상부 프레임 또는 하부 프레임 사이의 거리에 대한 측정값을 비교처리하여 상기 카세트의 안착 상태를 보정할 것인지를 결정할 수 있으며, 이재 로봇 및 보정 수단등을 제어하는 역할을 수행한다.The controller may compare the measured value of the distance between the measuring unit and the upper frame or the lower frame measured by the first measuring unit or the second measuring unit to determine whether to correct the seating state of the cassette. It controls the transfer robot and correction means.

이와 같이, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, As such, the cassette loading apparatus according to the third embodiment of the present invention,

포트에 안착된 카세트의 안착 상태를 보정할 수 있는 보정 수단을 더 포함하여서, 카세트의 안착 상태가 불량할 경우 이를 보정하여 불량을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.Further comprising a correction means for correcting the seating state of the cassette seated in the port, if the seating state of the cassette is bad, it provides an effect that can prevent the failure.

다음으로 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법에 대하여 설명하기로 한다.Next, a cassette loading method according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은,Cassette loading method according to an embodiment of the present invention,

포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계와, 상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 비교하는 단계와, 상기 두 측정값의 차이가 설정된 기준보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Loading a cassette onto a port, measuring a distance between an upper frame of the cassette and a first measuring unit, measuring a distance between a lower frame of the cassette and a second measuring unit, And comparing the measured values of the first measuring unit and the second measuring unit in the control unit, and transferring the cassette to the dummy port when the difference between the two measured values is greater than the set reference.

상기 포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계는, 예를 들면, AGV(미도시) 등에 의하여 다른 장비 또는 스토커(stocker)로부터 운반되어진 카세트가 로딩되는 것이 가능할 것이다.The step of loading a cassette on the port may be such that, for example, a cassette carried from another equipment or stocker by AGV (not shown) or the like may be loaded.

상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부를 이용하여 상부 프레임 및 하부 프레임과 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계는, 앞에서 설명한 바와 같이, 레이저 등을 이용하여 측정하는 것이 가능할 것이다.Measuring the distance between the upper frame and the lower frame and the measuring unit by using the first measuring unit and the second measuring unit, as described above, it will be possible to measure using a laser or the like.

또한, 상기 제어부에서 측정된 값을 비교하는 단계는, 제어부에 저장되어 설정된 측정값의 차이에 대한 범위 안에 두 측정값의 차이가 속하는지를 판단하고, 만약 두 측정값의 차이가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하도록 판단한다.The comparing of the measured values by the controller may include determining whether a difference between the two measured values falls within a range of a difference between the measured values set and stored in the controller, and if the difference between the two measured values is out of the set range. It is determined to transfer the cassette to the dummy port.

이와 같이, 카세트를 더미 포트로 이재하도록 결정되면, 상기 제어부는 이재 수단등을 구동하여서 상기 포트 상의 카세트를 더미 포트로 이재시키고, 이후에 상기 카세트에 대한 리페어 등을 수행하게 된다.As such, when it is determined to transfer the cassette to the dummy port, the controller drives the transfer means or the like to transfer the cassette on the port to the dummy port, and then performs repair or the like on the cassette.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은, 하부 프레임 뿐만 아니라 상부 프레임에 대한 측정도 동시에 실시하여서, 카세트의 안착 상태가 불량한 경우 뿐만 아니라, 카세트의 프레임 자체가 변형된 경우를 감지하여 불량을 예방할 수 있는 효과를 가진다.As described above, the cassette loading method according to the embodiment of the present invention simultaneously measures not only the lower frame but also the upper frame, so as to detect not only the case where the cassette is in a bad state, but also the case where the cassette frame itself is deformed. It has the effect of preventing defects.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은, In addition, the cassette loading method according to another embodiment of the present invention,

포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계와, 상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 제 1 측정부 또는 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 설정된 값과 비교하는 단계와, 상기 측정값 가운데 어느 하나의 값이 설정된 값과 다를 경우 상기 카세트의 안착 상태를 보정하는 단계와, 상기 상부 프레임 및 제 1 프레임 사이의 거리와 하부 프레임 및 제 2 프레임 사이의 거리를 재측정하는 단계와, 재측정된 측정값의 차이가 설정된 기준보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Loading a cassette onto a port, measuring a distance between an upper frame of the cassette and a first measuring unit, measuring a distance between a lower frame of the cassette and a second measuring unit, Comparing the measured value of the first measuring unit or the second measuring unit with a value set by the control unit; correcting a seating state of the cassette when any one of the measured values is different from the set value; And re-measuring the distance between the first frame and the distance between the lower frame and the second frame, and transferring the cassette to the dummy port if the difference between the re-measured measurements is greater than a set reference. It is characterized by.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은, As such, the cassette loading method according to another embodiment of the present invention,

상기 제 1 측정부 또는 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 설정된 값과 비교하는 단계와, 상기 측정값 가운데 어느 하나의 값이 설정된 값과 다를 경우 상기 카세트의 안착 상태를 보정하는 단계를 더 포함하고 있어서,Comparing the measured value of the first measuring unit or the second measuring unit with a value set by the controller, and correcting a seating state of the cassette when any one of the measured values is different from the set value; In

카세트의 안착 상태가 비정상적으로 로딩된 경우에 발생되는 불량을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.It provides an effect that can prevent a defect that occurs when the seating state of the cassette is abnormally loaded.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art.

도1은 종래의 카세트 로딩 장치를 설명하기 위한 사시도.1 is a perspective view for explaining a conventional cassette loading apparatus.

도2는 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 틀어진 카세트의 정면도.Fig. 2 is a front view of the cassette in which the upper frame and the lower frame are aligned.

도3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 사시도.Fig. 3A is a perspective view of a cassette loading device according to the first embodiment of the present invention.

도3b 내지 도3d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 사시도.3B to 3D are perspective views of the cassette loading apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도4는 측정부의 일례를 도시한 도면.4 is a view showing an example of a measuring unit.

도5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 사시도.5 is a perspective view of a cassette loading apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도6은 보정 수단의 일례를 도시한 도면.6 shows an example of a correction means.

Claims (8)

기판 수납용 카세트가 안착되는 포트;A port on which the cassette for storing the substrate is seated; 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇;A transfer robot capable of transferring a substrate into the cassette; 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부; A first measuring unit measuring an alignment state of the upper frame of the cassette; 상기 포트에 구비되어 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부; 및A second measuring unit provided in the port to measure an alignment state of a lower frame of the cassette; And 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 값을 처리 및 이재 로봇을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.And a control unit for processing the values measured by the first measuring unit and the second measuring unit and controlling the transfer robot. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부 각각은, 하나의 측정 유닛으로 구성되고, 각 측정 유닛은 카세트의 양 측면 가운데 동일 측면에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.Each of the first measuring unit and the second measuring unit is composed of one measuring unit, and each measuring unit is disposed on the same side of both sides of the cassette. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부 각각은, 한 쌍의 측정 유닛으로 구성되고, 상기 한 쌍의 측정 유닛 각각은 카세트의 양 측면에 하나씩 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.Each of the first measuring unit and the second measuring unit is composed of a pair of measuring units, and each of the pair of measuring units is disposed on each side of the cassette one by one. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부 각각은, 상부 프레임 및 하부 프레임의 네 모서리에 대응되도록 두 쌍의 측정 유닛으로 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.Each of the first measuring unit and the second measuring unit is provided with two pairs of measuring units to correspond to the four corners of the upper frame and the lower frame. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 포트에 안착된 카세트가 재이재될 수 있는 더미 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.And a dummy port into which the cassette seated on the port can be reloaded. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 포트에 안착된 카세트의 안착 상태를 보정할 수 있는 보정 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.And a correcting means for correcting a seating state of the cassette seated in said port. 포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계;Loading a cassette onto a port; 상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;Measuring a distance between an upper frame of the cassette and a first measuring unit; 상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;Measuring a distance between a lower frame of the cassette and a second measuring unit; 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 비교하는 단계; 및Comparing measured values of the first and second measurement units by a control unit; And 상기 두 측정값의 차이가 설정된 범위보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.And transferring the cassette to the dummy port when the difference between the two measured values is larger than a set range. 포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계;Loading a cassette onto a port; 상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;Measuring a distance between an upper frame of the cassette and a first measuring unit; 상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;Measuring a distance between a lower frame of the cassette and a second measuring unit; 상기 제 1 측정부 또는 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 설정된 값과 비교하는 단계;Comparing the measured value of the first measurement unit or the second measurement unit with a value set in the control unit; 상기 측정값 가운데 어느 하나의 값이 설정된 값과 다를 경우 상기 카세트의 안착 상태를 보정하는 단계;Correcting a seating state of the cassette when any one of the measured values is different from a set value; 상기 상부 프레임 및 제 1 프레임 사이의 거리와 하부 프레임 및 제 2 프레임 사이의 거리를 재측정하는 단계; 및Re-measuring the distance between the upper frame and the first frame and the distance between the lower frame and the second frame; And 상기 재측정된 측정값의 차이가 설정된 기준보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.And transferring the cassette to the dummy port when the difference between the re-measured measured values is greater than a set reference.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160075997A (en) 2014-12-19 2016-06-30 (주)아트스톤 Re uneven slabs form an integrated control unit, the method for manufacturing stone board using Re uneven slabs form an integrated control unit and processed stone board
KR101704794B1 (en) 2016-01-19 2017-02-08 (주)리드 Cassette auto-changing apparatus
US9640417B2 (en) 2013-10-29 2017-05-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Cassette transfer apparatus and cassette transferring method using the same
CN113942835A (en) * 2021-10-29 2022-01-18 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Glass loading device
US20220388782A1 (en) * 2021-06-04 2022-12-08 Rorze Systems Corporation Transportation system of a cassette and method of auto teaching a position of a cassette

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9640417B2 (en) 2013-10-29 2017-05-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Cassette transfer apparatus and cassette transferring method using the same
KR20160075997A (en) 2014-12-19 2016-06-30 (주)아트스톤 Re uneven slabs form an integrated control unit, the method for manufacturing stone board using Re uneven slabs form an integrated control unit and processed stone board
KR101704794B1 (en) 2016-01-19 2017-02-08 (주)리드 Cassette auto-changing apparatus
US20220388782A1 (en) * 2021-06-04 2022-12-08 Rorze Systems Corporation Transportation system of a cassette and method of auto teaching a position of a cassette
CN113942835A (en) * 2021-10-29 2022-01-18 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Glass loading device

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