KR100494692B1 - 방전가공장치 - Google Patents

Abstract

전극(1)과 피가공물(2)간의 극간에 전원장치(30)에 의해 가공전력을 공급하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 피가공물(2)의 가공을 하는 방전가공장치에서 전원장치(30)의 직류전원(26)의 출력전압 V를 검출하는 전압검출수단(31)과 전원장치(30)의 직류전원(26)의 출력전류 I를 검출하는 전류검출수단(32)과, V와 I의 적 VㆍI를 연산하는 연산수단(33)과 V와 I의 적 VㆍI를 연산하는 연산수단(33)과 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호 VㆍI와의 차에 기초하여 전원장치(30)의 출력전력을 일정하게 제어하는 제어수단(34)을 구비하고 있다. 부하인피던스가 변동하는 경우에도, 방전전력의 변동을 억제할 수 있고, 피가공물(2)의 가공면 거칠기의 균일화를 도모할 수가 있다.

Description

방전가공장치{APPARATUS FOR ELECTRODISCHARGE MACHINING}

본 발명은 전극과 피가공물간의 극간에 방전을 발생시켜서 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치의 개량에 관한 것이다.

방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 가공전력을 공급해서 극간에 방전을 발생시키고, 전극과 피가공물을 상대이동시켜서 가공을 진행시키는 것으로, 도 14는 종래의 방전가공장치의 예로써 표시한 와이어방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도이다. 도 14에서 1은 예를들면, 직경 0.03mm ~ 0.3mm 정도의 동선 또는 황동선인 와이어전극, 2는 피가공물, 3은 전원장치, 4a 및 4b는 급전선, 5는 급전자, 6은 공급릴, 7은 브레이크롤러, 8은 감는 롤러, 9는 감는릴, 10은 XY테이블, 11 및 12는 XY테이블(10)을 구동하는 X축 모터 및 Y축 모터, 13a 및 13b는 모터제어선, 14는 제어장치, 15는 서보회로, 16은 가공액, 17은 가공액탱크, 18은 펄프, 19a 및 19b는 가공액 공급파이프, 20은 와이어가이드이다.

다음, 동작에 대해 설명한다. 와이어전극(1)과 피가공물(2)간의 극간에는 펌프(18)에 의해 가공액 공급파이프(19a) 및 (19b)를 통해서, 가공액(16)이 공급된다. 이 극간에 급전선(4a),(4b) 및 급전자(5)를 통해서 전원장치(3)에 의해 전압을 인가하고, 극간의 전위차가 방전개시전압을 초과하는 방전이 발생하고, 이 방전에 의해 피가공물(2)의 제거가공이 진행된다.

또, 피가공물(2)은 X,Y테이블(10)상에 고정되어 있고, 제어장치(14) 및 서보회로(15)에 의해 X,Y테이블을 구동하는 X축모터(11) 및 Y축모터(12)를 구동제어하고, 와이어전극(1)과 피가공물(2)을 상대이동시킴으로써, 피가공물(2)을 소정의 형상으로 가공한다.

도 15는 종래의 방전가공장치에서 피가공물을 고속가공하는 경우의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도이고, 도면에서 3a는 초벌가공용 전원장치, (4a) 및 (4b)는급전기, 21은 와이어전극(1)과 피가공물(2)간의 극간의 등가회로로 표시한 부하부, 22는 인덕턴스, 23은 캐퍼시턴스, 24는 스위치, 25는 방전저항이다.

다음 동작에 대해 설명한다. 도 15에서는 방전개시를 등가회로상의 스위치 (24)로 표시하고 있다. 초벌가공을 전원장치(3a)에서 전압이 인가되지 않는 상태에서는 스위치(24)는 오프되어 있고, 초벌가공용 전원장치(3a)로부터 전압이 인가되어 캐퍼시턴스(23)의 양단의 전압이 방전개시 전압에 도달하면, 극간에 도전경로가 형성되어 방전이 발생한다.

즉, 방전개시와 함께 등가회로상의 스위치(24)가 온으로 되고, 전류가 방전저항 (25)에 흐르고, 이 방전저항(25)의 발열에 의해 피가공물(2)의 온도가 국소적으로 상승하고, 피가공물(2)의 제거가공이 진행된다.

초벌가공용 전원장치(3a)는 직류전원에서 저항 및 트랜지스터를 통해 극간에 직접 펄스전류를 흐르게 하는 것이고, 출력제어는 트랜지스터의 온으로 되어 있는 시간을 설정함으로써 실시되고, 여러가지의 에너지의 전류펄스를 출력하고 있다.

이와같은, 초벌가공용 전원장치(3a)는 주파수를 수10KHZ정도로 낮추고, 높은 피크전류가 흐르는 전원으로서, 피가공물(2)을 고속으로 가공할 수 있으나, 여러가지 에너지의 전류펄스에 의해 가공을 하므로, 가공면 거칠기가 거칠어지는 동시에 균일하게 되지 않으므로, 다듬질 가공등의 피가공물(2)의 고정밀도 가공에는 적합하지 않는다.

도 16은 종래의 방전가공장치에서 피가공물을 고정밀도 가공할때의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도이고, 예를들면 일본국 특개평 6-8049호 공보에 개시된 것과 같은 것이다. 또, 도 15와 동일, 또는 상당부분에는 동일부호를 사용하고 있다. 도 16에서 3b는 예를들면 1MHZ이상의 고주파 전원장치, 26은 직류전원, 27은 발진기, 28은 증폭기, 29는 정합회로이다. 고주파 전원장치(3b)로부터 극간에 고주파전력을 공급하고, 고속으로 단속을 실시하는 동시에, 정합회로 (29)에 의한 인피던스 조정에 의해 방전에너지를 작게 제한하면서, 방전발생을 용이하게 하고, 피가공물의 미세한 제거가공을 실시하는 것이다.

삭제

고주파 전원장치(3b)는 도 16에 표시한 바와같이, 직류전원(26), 발진기(27) 및 증폭기(28)에 회로가 동작하기 위한 전력을 공급한다. 발진기(27)에서는 예를들면, 트랜지스터의 베이스와 이미터간, 베이스와 콜렉터간 및 콜렉터와 이미터간의 각각에 리액턴스소자를 접속해서 공진회로를 구성하고, 발진출력을 얻는다. 발진주파수를 안정화하므로, 상기 리액턴스소자의 일부에 수정발진기가 사용되는 경우가 많다. 증폭기(28)에서는 발진기(27)로부터의 출력을 전력증폭한다. 예를들면, 트랜스결합증폭기에서는 증폭용 트랜지스터의 베이스와 이미터간 및 콜렉터간에 각각 트랜스를 삽입한 구성으로 사용된다.

증폭용 트랜지스터의 코렉터-이미터간에는 직류전원이 접속되고, 상기 트랜스를 통해서 전력증폭된 출력이 인출된다.

고주파 전원장치(3b)를 구성하는 직류전원(26)은 통상 전압을 일정하게 하도록 제어된다. 도 17은 직류전원(26)의 출력전류 및 출력전압의 동작영역을 표시하는 설명도이고, 직류전원(26)에는 과전압 및 과전류에 의한 파괴를 방지하기 위하여, 출력전압 및 출력전류를 제한하는 최대치 Vmax 및 Imax가 설치되어 있다. 따라서, 동작영역은 점 C,D,F 및 E로 둘러싸인 도 17의 사선부분이 된다.

동작점을 결정하기 위해서는 출력전압을 설정할 필요가 있고, 예를들면 출력전압을 V₀이라고 설정하면, 직류전원(26)은 출력전압 일정제어동작을 실시하므로, 출력전압을 항상 V₀ 가 되도록 동작한다. 또, 출력전류는 직류전원쪽의 부하인피던스에 의해 결정된다. 이 때문에, 직류전원(26)의 출력동작점은 부하인피던스에 의해 도 17의 점 A와 점 B를 연결하는 직선상을 움직이게 된다.

이와같이, 고주파 전원장치(3b)를 구성하는 직류전원(26)으로 출력전압 일정제어방식의 직류전원을 사용한 경우, 특히 부하인피던스의 변화가 큰 경우에는 방전전력에 큰 변동이 생기게 된다.

도 18은 직류전원쪽의 부하인피던스가 변화한 경우의 직류전원의 동작점을 표시하는 설명도이다. 도 18에서 직선 Z1, Z2, Z3, Z4 및 Z5는 부하인피던스 Z가 각각 Z1, Z2, Z3, Z4 및 Z5의 경우의 부하특성선이다.

예를들면, 출력전압을 V₀라고 설정한 경우의 동작점은 점 A 및 점 B를 연결하는 선과 부하특성선 Z1, Z2, Z3 및 Z4와의 교점인 P1, P2, P3 및 P4가 된다.

또, 부하특성선이 Z5의 경우의 동작점은 과전류 보호선 DF상으로 이동하고, 점 P5가 된다. 여기서, 동작점 P1, P2, P3 및 P4는 출력전압 일정특성선상에 있고, 직류전원의 출력전압을 일정하게 유지되고 있으나, 각각의 동작점의 출력전력은 변화한다.

도 19는 부하인피던스에 대한 직류전원의 출력 및 피가공물의 가공면의 거칠기를 표시하는 도면이다. 도 18에 표시한 바와같이, 동작점 P1, P2, P3 및 P4는 이 순서대로 출력전류가 증가하므로, 직류전원의 출력전력은 각 동작점에서 이 순서대로 증가하고, 동작점 P5에서는 과전류 보호영역에 들어가므로, 출력전압이 저하되고, 출력전력도 저하한다(도 19의 (a)).

또, 가공면 거칠기는 극간에서 발생하는 방전전력에 관계하므로, 직류전원으로부터의 출력전력의 대소에 의해 가공면 거칠기도 변화한다. 따라서, 부하인피던스가 Z1 ~ Z5와 같이, 변동하는 경우에는 가공면 거칠기는 일정하지 않고, 도 19의 (b)에 표시한 바와같이, 변동해 버린다는 문제점이 있었다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 방전가공장치에서의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도.

도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 방전가공장치의 전원장치의 출려제어회로의 구성예를 표시하는 회로도.

도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 방전가공장치의 직류전원에서 본 부하인피던스가 변화했을때의 직류전원의 동작점을 표시하는 도면.

도 4는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 방전가공장치에서의 부하인피던스에 대한 직류전원의 출력 및 가공면 거칠기를 표시하는 도면.

도 5은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 방전가공장치에서의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도.

도 6은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 방전가공장치의 전원장치의 출력제어회로의 구성예를 표시하는 회로도.

도 7은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 방전가공장치의 직류전원에서 본 부하인피던스가 변화했을때의 직류전원의 동작점을 표시하는 도면.

도 8은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 방전가공장치에서의 부하인피던스에 대한 직류전원의 출력 및 가공면 거칠기를 표시하는 도면.

도 9는 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 방전가공장치의 전원장치의 출력제어회로의 구성예를 표시하는 회로도.

도 10은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 방전가공장치의 직류전원에서 본 부하인피던스가 변화했을때의 직류전원의 동작점을 표시하는 도면.

도 11은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 방전가공장치에서의 부하인피던스에 대한 직류전원의 출력 및 가공면의 거칠기를 표시하는 도면.

도 12는 본 발명의 실시의 형태 4에 관한 방전가공장치에서의 고주파 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도.

도 13은 극간에 병렬로 접속한 저항의 유무에 의한 부하측으로부터의 반사전력의 변화를 표시하는 도면.

도 14는 종래의 방전가공장치의 구성을 표시하는 도면.

도 15는 종래의 방전가공장치에서 피가공물을 고속가공하는 경우의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도.

도 16은 종래의 방전가공장치의 구성을 표시하는 고정밀도가공하는 경우의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도.

도 17은 종래의 방전가공장치에서의 고주파 전원장치를 구성하는 직류전원의 출력전류 및 출력전압의 동작영역을 표시하는 설명도.

도 18은 종래의 방전가공장치에서의 부하인피던스가 변화한 경우의 직류전원의 동작점을 표시하는 설명도.

도 19는 종래의 방전가공장치에서의 부하인피던스에 대한 직류전원의 출력 및 피가공물의 가공면 거칠기를 표시하는 도면.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 된 것으로, 부하인피던스가 변동하는 경우에도, 방전전력의 변동을 억제할 수 있고, 가공면 거칠기의 균일화를 도모할 수 있는 방전가공장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

또, 특히 고주파 전원장치를 사용해서 피가공물의 고정밀도 가공을 하는 경우에, 정합어긋남에 따라, 발생하는 반사파를 억제할 수가 있고, 방전부하에의 전력투입효율을 개선할 수 있는 동시에, 반사전력에 의한 고주파 전원장치의 파괴를 방지할 수 있는 방전가공장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 방전가공장치는 전극가 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 된 고주파 전원장치에 의해 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해, 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과, 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 전력검출수단에 의해, 검출된 전력검출치와의 차를 근거로 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 일정하게 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의해 고주파전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과, 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령 신호와 상기 전력검출수단에 의해 검출된 전력검출장치와의 차를 근거로 상기 전류전원의 출력전원의 출력전력을 일정하게 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 상기 전력검출수단이 전압검출수단 및 전류검출수단 및 상기 전압검출수단에 의한 전압검출치 및 상기 전류검출수단에 의한 전류검출치와의 곱(승산)을 연산하는 연산수단으로 된 것이다.

또, 본 발명에 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 된 고주파전원장치에 의해 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 가공을 하는 방전가공장치에서, 상기 고주파 전원장치의 출력전압 V를 검출하는 전압검출수단과 상기 고주파 전원장치의 출력전류 I를 검출하는 전류검출수단과 상기 전압검출수단에 의해 검출된 출력전압 V 및 상기 전류검출수단에 의해 검출된 출력전류 I 및 소정의 계수 α및 β로부터 α,V+β,I를 연산하는 연산수단과 소정의 가공지령신호와 상기 연산수단과의 연산치와의 차를 기초로 상기 고주파 전원장치의 출력인 α,V+β,I를 일정하게 제어하는 수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 된 고주파 전원장치에 의해 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전압 V를 검출하는 전압검출수단과, 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전류 I를 검출하는 전류검출수단과 상기 전압검출수단에 의해 검출된 출력전압 V 및 상기 전류검출수단에 의해 검출된 출력전류 I 및 소정의 계수 α및 β에서 α,V+β,I를 연산하는 연산수단과, 소정의 가공지령신호와 상기 연산수단과의 연산치와의 차를 기초로 상기 직류전원의 출력인 α,V+β,I를 일정하게 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 상기 계수 α및 β의 쌍방 또는 한쪽의 값을 조절하는 조절수단을 설치한 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 빌진기 및 증폭기로 된 고주파 전원장치에 의해, 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과, 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 전력검출수단에 의해 검출된 전력검출치와의 차를 기초로 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 일정하게 제어하는 제어수단과, 상기 또 본 발명에 관한 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 된 고주파 전원장치에 의해 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 출력전원을 검출하는 전력검출수단과 상기 극간과 병렬로 접속된 정합과 상기 극간의 저항의 손실을 검출하는 손실검출수단과, 상기 전력검출수단에 의해, 검출된 출력전력과 상기 손실검출수단에 의해 검출된 손실과의 차를 구하는 연산수단과 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와, 연산수단의 연산치를 기초로 상기 고주파 전원장치의 출력전력과 상기 극간의 저항의 손실과의 차를 일정하게 제어하는 제어수단을 구비하는 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의해, 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시켜, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서, 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과, 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 전력검출수단에 의해 검출된 전력검출치와의 차를 기초로 상기 직류전원의 출력전력을 일정하게 제어하는 제어수단과 상기 극간과 병렬로 접속된 저항을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 방전가공장치는 전극과 피가공물간의 극간에 직류전원, 발진기 및 증폭기로 된 고주파 전원장치에 의해 고주파 전력을 공급하고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 하고, 상기 극간에 방전을 발생시, 상기 피가공물의 가공을 하는 방전가공장치에서 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과, 상기 극간과 병렬로 접속된 저항과 상기 극간의 저항의 손실을 검출하는 손실검출수단과, 상기 전력검출수단에 의해 검출된 출력전력과 상기 손실검출수단에 의해 검출된 손실과의 차를 구하는 연산수단과 소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 연산수단의 연산치를 기초로 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력과 상기 극간의 저항의 손실의 차를 일정하게 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.

본 발명에 관한 방전가공장치는 이상과 같이 구성되어 있으므로, 부하인피던스가 변동하는 경우에도 방전전력의 변동을 억제할 수 있고, 가공면 거칠기의 균일화를 도모할 수 있다는 효과를 나타낸다.

또, 보다 간단한 구성의 출력제어회로에 의해 상기 효과를 얻을 수가 있고, 비용 상승을 억제할 수 있다는 효과를 나타낸다.

또, 고주파 전원장치를 사용해서 피가공물의 고정밀도 가공을 할 때에 정합이 어긋남에 따라 발생하는 반사파를 억제할 수가 있고, 방전부하에의 전력투입 효율을 개선할 수 있는 동시에, 반사전력에 의한 고주파 전원장치의 파괴를 방지할 수 있는 효과를 나타낸다.

실시의 형태 1

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 방전가공장치에서 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도이고, 고주파 전원장치를 사용하는 경우의 예를 표시하고 있다.

도 1에서 4a 및 4b는 급전선, 21은 극간의 등가회로를 나타낸 부하부, 22는 인피던스, 23은 캐피시턴스, 24는 스위치, 25는 방전저항, 26은 직류전원, 27은 발진기, 28은 증폭기, 29는 정합회로, 30은 고주파 전원장치, 31은 전압검출수단, 32는 전류검출수단, 33은 전압검출수단(31) 및 전류검출수단(32)에서 검출한 직류전원(26)의 출력전압 V와 출력전류 I의 곱을 연산하는 연산수단, 34는 직류전원(26)의 출력을 제어하는 제어수단인 출력제어회로, 35는 직류전원(26)의 출력제한치 Imax를 규정하는 전류제한신호, 36은 직류전원(26)의 출력제한치 Vmax를 규정하는 전압제한신호, 37은 직류전원(26)의 출력을 규정하는 가공지령신호이다.

다음 동작에 대해 설명한다. 직류전원(26)의 출력전압 V 및 출력전류 I는 전압검출수단(31) 및 전류검출수단(32)에 의해 검출되고, 출력제어회로(34)에 입력된다. 또, 출력제어회로(34)에는 전류제한신호(35), 전압제한신호(36) 및 가공지령신호(37)가 입력된다. 출력제어회로(34)에서는 상기 입력신호를 기초로 전압 및 전류가 제한치를 초과하지 않는 영역에서 출력전압 V와 출력전류 I의 곱(VㆍI)이 일정하게 되도록 직류전원(26)의 출력을 제어한다.

도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 방전가공장치의 고주파 전원장치 (30)의 출력제어회로(34)의 구성예를 나타내는 회로도이고, 도면에서 31은 전압검출수단, 32는 전류검출수단, 38,39 및 40은 연산증폭기, R1은 전류검출신호입력부에 설치한 저항, R2는 연산증폭기(38)의 귀환 루프에 설치한 저항, R3은 연산증폭기(38)와 접속된 오프셋 조정용 저항, R4는 연산증폭기(38)의 출력부에 설치한 저항이다. 또, R5는 전압검출신호입력부에 설치한 저항, R6은 연산증폭기(39)의 귀환 루프에 설치한 저항, R7은 연산증폭기(39)와 접속된 오프셋 조정용 저항, R8은 연산증폭기(39)의 출력부에 설치된 저항이다. 또, 41은 승산기, 42는 반전증폭기, Vout는 직류전원(26)에의 제어신호, R9는 가공지령신호입력부에 설치한 저항, R10은 연산증폭기(40)의 귀환 루프에 설치한 저항, R12는 연산증폭기(40)와 접속된 오프셋조정용 저항이다.

다음으로, 저항에 대해 설명한다. 전류검출수단(32)에 의해 검출되어 출력제어회로(34)에 입력된 전류검출신호는 연산증폭기(38)에서 대략 R2/R1의 게인(이득)으로 반전증폭되어 출력된다. 이 게인은 후단에서의 가공지령신호와의 대응에 의해 결정된다. 마찬가지로 전압검출수단(31)에 의해 검출되어 출력제어회로(34)에 입력된 전압검출신호는 연산증폭기(39)에서 반전증폭되어 출력된다. 반전증폭된 전류검출신호 및 전압검출신호는 각각 승산기(41)로부터 양자의 곱 XㆍY가 출력된다. 곱 XㆍY는 반전증폭기(42)를 통해서 연산증폭기(40)에 입력된다. 이와같이, 가공지령신호(37)와 곱 XㆍY(직류전원의 출력전압 V와 출력전류 I의 곱 VㆍI에 대응)의 차를 반전증폭기(40)에 의해 증폭해서 직류전원(26)에의 제어신호 Vout로 함으로써, 직류전원(26)의 출력이 제어되고, 직류전원(26)의 출력전압 V와 출력전류 I의 곱 VㆍI가 일정하게 되도록 제어된다.

도 3은 직류전원쪽에서의 부하인피던스가 변화했을때의 직류전원의 동작점을 표시하는 도면이고, 점선으로 표시한 VㆍI=W₁,W₂,W₃ 및 W₄의 각 특성선은 직류전원(26)의 출력전력 VㆍI가 일정하게 되도록 제어했을때의 출력특성이다. 직류전원(26)의 동작점이 어느 특성선상을 움직이는가는 가공지령신호(37)에 의해 출력전력을 선택함으로서 결정된다. 이경우의 동작점은 직류전원쪽에서의 부하인피던스 Z의 특성선과 직류전원의 출력특성선과의 교점이고, 예를들면 직류전원(26)의 출력특성선으로 VㆍI=W₂를 선택한 경우, 동작점은 부하특성선 Z₁,Z₂,Z₃,Z₄ 및 Z₅와 출력특성선 W₂와의 교점 P₁₁,P₁₂,P₁₃,P₁₄ 및 P₁₅가 된다.

이와같이, 직류전원(26)쪽에서의 부하인피던스 Z가 변동했을때의 동작점은 출력전력이 일정하게 되도록 움직인다.

따라서, 직류전원(26)의 출력전력은 도 4의 (a)에 표시한 바와같이, 부하인피던스의 변동에 의하지 않고, 일정해진다. 이에 따라, 고주파 전원장치(30)를 구비한 방전가공장치에 의한 방전가공에 의해, 피가공물의 가공면 거칠기는 도 4의 (b)에 표시한 바와같이, 부하인피던스 변동의 영향을 받지 않고 균일하게 되는 효과가 얻어진다.

이상의 설명에서는 도 1 및 도 2에서 직류전원(26)의 출력제어를 직류전원 (26)의 출력전압 V 및 출력전류 I를 전압검출수단(31) 및 전류검출수단(32)에 의해 검출하고, 출력전압 V 및 출력전류 I를 사용해서 제어하는 경우를 표시하였으나, 전압검출수단(31) 및 전류검출수단(32)은 고주파 전원장치(30)의 출력부에 설치해도 된다. 이 경우는 고주파 전원(38)으로부터의 출력이 일정하게 되도록 제어되고, 특히 발진기(27) 및 증폭기(28)의 직류전원(26)에 대한 직선성이 좋지 않을 때는 이러한 구성쪽이 보다 정밀도 좋게 가공면 거칠기의 흐트러짐을 억제할 수가 있다.

또, 이상의 설명에서는 전압검출수단(31) 및 전류검출수단(32)에서 검출한 출력전압과 출력전류의 곱을 연산수단(33)에 의해 연산해서 전력을 구하였으나, 예를들면 고주파 파워검출기의 전력을 검출할 수 있는 다른 전력검출수단을 사용해도 된다.

실시의 형태 2

도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 방전가공장치에서의 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도이고, 실시의 형태 1의 도 1과 동일 또는 상당부분에는 동일부호를 사용한다. 또, 이 실시의 형태 2에서도 고주파 전원장치를 사용하는 경우의 예를 표시하`고 있다. 도 5에서 30a는 고주파 전원장치, 33a는 직류전원(26)의 출력전압 V와 출력전류 I의 합을 연산하는 연산수단, 34a는 직류전원(26)의 출력을 제어하는 제어수단인 출력제어회로이다. 실시의 형태 1에서는 직류전원(26)의 출력전압 V와 출력전류 I의 곱을 연산하는 연산수단(33)을 사용하였으나, 실시의 형태 2에서는 상기 연산수단(33) 대신에, 직류전원(26)의 출력전압 V와 출력전류 I을 가산(합산)하는 연산수단(33a)을 사용하는 것이다.

도 6은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 방전가공장치의 전원장치의 출력제어회로(34a)의 구성예를 표시하는 회로도이다. 도 6에서 실시의 형태 1의 도 2와 동일하거나, 또는 상당부분에는 동일부호를 사용하고, 동일부호 부분의 동작은 같다. R13은 가공지령 입력부에 설치한 저항, R14는 전압검출신호 입력부에 설치한 저항이다. 또, 전압검출신호는 음의 신호로서 검출되는 경우를 표시하고 있다.

삭제

도 6과 같은 회로구성에 의해, 가공지령신호(37)와 αㆍV+βㆍI(V는 직류전원(26)의 출력전압, I는 직류전원(26)의 출력전류, α,β는 소정의 계수)와의 차가 직류전원(26)에의 제어신호 Vout가 되고, 직류전원(26)의 출력은 αㆍV+βㆍI를 일정하게 하도록 제어된다. 여기서, α및 β는 연산증폭기(38) 및 (40)의 게인에 의해 결정되는 계수이다.

도 5, 도 6에 나타낸 구성을 사용하는 직류전원의 동작점을 도 7에 표시한다. 도 7에서 점선으로 표시한 αㆍV+βㆍI=S₁,S₂ 및 S₃의 각 특성선은 직류전원(26)의 출력 αㆍV+βㆍI가 각각 일정치가 되도록 제어했을때의 출력특성이다. 직류전류(26)의 동작점이 어느 특성선상을 움직이는가는 가공지령신호(37)에 의해 출력특성(예를들면 S₁ 내지 S₃)를 선택함으로서 결정된다. 이 경우의 동작점은 직류전원쪽에서의 부하인피던스 Z의 특성선과 상기 직류전원의 출력특성선의 교점이다. 예를들면, 직류전원(26)의 출력특성선으로서 αㆍV+βㆍI=S₁을 선택한 경우, 직류전원의 동작점은 부하특성선 Z₁,Z₂,Z₃,Z₄ 및 Z₅와 출력특성선 S1과의 교점 P₂₁,P₂₂, P₂₃,P₂₄ 및 P₂₅가 된다.

이와같이, 직류전원(26)쪽에서의 부하인피던스가 변동한 경우의 동작점은 αㆍV+βㆍI가 일정하게 되는 직선상을 움직이고, 실시의 형태 1의 도 3과 같은 출력전력의 일정제어에 가까운 직류전원출력제어를 할 수가 있다.

도 7에 표시한 동작점 P₂₁,P₂₂,P₂₃,P₂₄, 및 P₂₅에서의 직류전원출력의 예를 도 8의 (a)에 표시한다. 도 7에 표시한 바와같이, 출력전력 일정특성을 직선근사해서 제어하고 있으므로, 부하인피던스 변동에 대해 완전히 직류전원출력이 일정하게 되는 것은 아니나, 배경기술의 도 19의 (a)의 예에 비해, 대폭적으로 안정된 직류전원출력을 얻을 수가 있다. 이에 따라, 부하인피던스가 변동한 경우의 가공면의 거칠기를 도 8의 (b)에 표시한 바와같이 대폭적으로 개선할 수가 있다.

또, 도 6과 같은 출력제어회로(34a)의 구성을 채용함으로써, 실시의 형태 1의 도 2의 출력제어회로(34)의 구성과 비교해서 회로구성을 간소화할 수 있으므로, 비용 삭감에 효과가 있다.

실시의 형태 3

도 9는 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 방전가공장치의 전원장치의 직류전원의 출력을 제어하는 제어수단인 출력제어회로(34b)의 구성예를 표시하는 회로도이고, 실시의 형태 2의 도 6과 같은 부호는 동일 또는 상당부분을 표시하고 있고, 도일부호부분의 동작은 같다. 도 9에서 R2a,R2b 및 R2c는 각각 연산증폭기(38)의 귀환 루프에 병렬로 설치한 저항, SW2a,SW2b 및 SW2c는 각각 저항 R2a,R2b 및 R2c와 직렬로 설치된 스위치이다. 또, R3a,R3b 및 R3c는 각각 연산증폭기(38)에 접속한 저항, SW3a,SW3b 및 SW3c는 각각 저항 R3a,R3b 및 R3c와 직렬로 설치된 스위치이다. 또, 이 발명의 실시의 형태 3에 관한 방전가공장치에서의 고주파 전원장치등의 구성은 실시의 형태 2의 도 5와 같다.

실시의 형태 2의 도 6의 출력제어회로(34a)에 입력된 전류검출수단(32)에 의해 검출된 전류검출신호는 연산증폭기(38)에서 거의 -R2/R1의 게인에서 반전증폭되어 출력된다.

실시의 형태 3의 도 9에서는 연사증폭기(38)의 게인을 결정하는 저항 R2를 다른 저항치를 갖는 저항 R2a,R2b,R2c에 의해 구성되어 있고, 스위치 SW2a,SW2b 및 SW2c에 의해 선택가능하게 한 것이다. 또, 도 9의 저항 R3a,R3b 및 R3c는 도 6의 저항 R3과 같이, 오프셋조정용 저항이고, 연산증폭기(38)의 귀환 루프의 저항을 R2a,R2b 또는 E2c로 전환하는 동시에, 스위치 SW3a,SW3b 또는 SW3c에 의해 저항 R3a,R3b 또는 R3c를 전환하면 된다.

도 9의 구성의 출력제어회로(34b)에서 제어하는 직류전원(26)의 동작점을 도 10에 표시한다. 도 10에서 점선으로 표시한 VㆍI=W₁,W₂,W₃ 및 W₄의 각 특성선은 직류전원(26)의 출력전력 VㆍI가 일정하게 되는 경우의 특성선이다. 또, 실선으로 표시한 α₁ㆍV+β₁ㆍI=S₁₁,α₂ㆍV+β₂ㆍ=S₁₂의 각 특성선은 직류전원(26)의 출력 αnㆍV+βnㆍI(αn 및 βn은 소정의 계수)가 각각 일정치가 되도록 제어했을때의 출력특성이다. 도 9에서 예를들면, 스위치 SW2a를 온으로 한 경우의 특성선이 α₁ㆍV+β₁ㆍI=S₁₁이고, SW2b를 온으로 한 경우의 특성선이 α₂ㆍV+β₂ㆍI=S₁₂라고 하면, 도 10과 같이 인피던스 변동이 Z=Z₃~Z₅의 범위에서는 특성선 α₁ㆍV+β₁ㆍI=S₁₁이고, 또 인피던스 변동이 Z=Z₁~Z₃의 범위에서는 특성선 α₂ㆍV+β₂ㆍI=S₁₂가 출력전력 일정특성(도 10의 VㆍI=W₂)과 잘 근사하고 있다.

부하인피던스는 피가공물의 두께, 현상등의 가공조건에 의해 그 변동범위가 변화한다. 가공조건에 의해 결정되는 부하변동범위에 따라, 도 9에 표시한 연산증폭기(38)의 저항 R2a,R2b 및 R2c를 스위치 SW2a,SW2b 및 SW2c에 의해 전환하는 조절수단에 의해 게인을 전환함으로써, 보다 정밀도좋게 직류전원(26)의 출력을 제어하는 것이 가능해진다. 예를들면, 피가공물의 두께가 t1일때, 부하인피던스의 변동범위가 Z=Z₄~Z₅이고, 피가공물의 두께가 t2일때, 부하인피던스가 변동범위가 Z=Z₁~Z₂인 경우, 피가공물의 두께가 t1의 부분을 가공하는 경우는 도 9에서 스위치 SW2a를 온으로 해서 특성선 α₁ㆍV+β₁ㆍI=S₁₁을 사용하고, 피가공물의 두께가 t2인 부분을 가공하는 경우는 도 9에서 스위치 SW2b를 온으로 해서 특성선 α₂ㆍV+β₂ㆍI=S₁₂를 이용한다고 하는 전환을 함으로서, 보다 정밀도 좋게 직류전원(26)의 출력전력을 제어할 수가 있다. 이와같이, 조작을 함으로써, 부하인피던스가 Z=Z₁~Z₅의 범위에서 변화한 경우의 동작점을 각각 도 10에 표시하는 P₃₁,P₃₂,P₃₃,P₃₄ 및 P₃₅로 할 수가 있다.

삭제

도 11은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 방전가공장치에서의 부하인피던스에 대한 직류전원의 출력 및 가공면 거칠기를 표시하는 도면이고, 도 11의 (a)는 도 10의 동작점 P31,P32,P33,P34 및 P35에서의 직류전원출력을 표시하고 있고, 실시의 형태 2에서의 도 8의 (a)보다도 더욱 출력특성을 개선할 수 있는 것을 알 수 있다. 이에따라, 부하인피던스가 변동했을때의 가공면의 거칠기는 도 11의 (b)와 같이, 도 8의 (b)와 비교해서 더욱 개선된다.

이상과 같이, 도 9와 같은 간단한 구성의 출력제어회로(34b)에 의해, 실시의 형태 2의 도 6의 출력제어회로(34a)보다도 실시의 형태의 1에 표시한 출력전력특성에 근접시킬 수가 있다.

또, 도 9와 같은 출력제어회로(34b)의 구성을 채용함으로서, 실시의 형태 1의 도 2의 출력제어회로(34)의 구성을 비교해서 회로구성을 간단화할 수 있으므로, 비용의 저감을 도모할 수가 있다.

이상에서는 도 9와 같이 연산증폭기(38)의 게인을 조정하는 수단으로서 저항 R2a,R2b 및 R2c를 전환하는 예에 대해 설명하였으나, 저항 R1을 전환하는 조절수단을 사용해도 된다. 또, 저항의 전환은 3개로 한정되는 것은 아니다.

또, 이상에서는 연산증폭기(38)의 게인조절수단으로서, 전환스위치를 사용하는 방식에 대해 진술하였으나, 예를들면 실시의 형태 2의 도 6에서 저항 R2 및 R3를 가변저항을 사용해서 구성하고, 가공조건에 의해 가변저항의 저항치를 조절하는 조절수단을 사용해도 된다.

실시의 형태 4

실시의 형태 1 내지 3에서 예를들면, 도 4의 (a), 도 8의 (a) 및 도 11의 (a)와 같이 직류전원의 출력변동을 억제할 수가 있으므로, 고주파 전원장치의 출력변동을 억제할 수가 있으나, 방전가공중의 부하변동이 격렬하고, 정합회로에서의 정합의 어긋남이 큰 경우에는 고주파 전원장치의 출력저하가 억제된 만큼, 반사파가 증가하는 경우가 있다.

실시의 형태 4는 이와 같은 반사파의 증가를 방지하기 위한 것이고, 도 12는 본 발명의 실시의 형태 4에 관한 방전가공장치에서의 고주파 전원장치 및 부하부의 등가회로를 표시하는 구성도를 표시한 것이다.

도 12에서 실시의 형태 1의 도 1과 같은 부호는 동일 또는 상당부분을 표시하고 있고, 도면에서 Rp는 극간에 병렬로 접속한 저항, 43은 저항 Rp와 병렬로 접속한 전압검출수단이다.

극간의 인피던스 변동은 극간의 인피던스의 선예도(先銳度)인 Q값이 높을수록 크게 된다. 이 때문에, 극간의 인피던스의 Q값를 낮춤으로서, 가공중의 부하변동을 억제할 수가 있다. 도 12에서의 저항 Rp는 극간의 인피던스의 Q값을 낮추기 위한 것이다. 도 13에 저항 Rp의 유무에 의한 부하측에서의 반사전력 변화를 표시한다.

저항 Rp를 설치함으로서, 극간의 인피던스의 변동이 억제되고, 정합회로에서의 정합의 어긋남을 저감시킬 수 있으므로, 정합어긋남에 따라 발생하는 반사파를 억제할 수가 있다.

이로 인해, 방전부하의 전력투입효율을 개선할 수 있는 동시에, 반사전력에 의한 고주파 전원장치의 파괴를 방지할 수가 있다.

이상의 설명에서는 극간에 저항을 접속하는 경우에 대해 설명하였으나, 극간의 부하변동이 인덕턴스 변동 또는 캐퍼시턴스 변동에 기인하는 경우, 그 변동폭보다 큰값의 인덕턴스 또는 캐퍼시턴스를 극간에 접속해도 된다.

피가공물의 가공은 고주파 전원장치(30)로부터의 출력전력에 의해 실시되고, 극간에 저항 Rp를 설치함으로서, 부하변동이 생긴 경우에도 안정된 가공을 할 수가 있으나, 고주파 전원장치(30)로부터의 출력의 일부는 저항 Rp에서 소비된다. 이 때문에, 저항 Rp에서의 소비전력이 방전가공전력에 비해 무시할 수 없을 때는 직류전원(26)의 출력을 모니터하는 것 만으로는 방전가공전력을 일정하게 제어할 수 없을 때가 있다.

도 12의 전압검출수단(43)은 이와 같은 경우의 대책용으로 설치된 것으로, 저항기 Rp(저항치 R)의 양단의 전압 Vr를 검출한다. 이 전압검출신호를 출력제어회로(34)에 입력하고, 출력제어회로(34)에서 VㆍI-Vr²/R=(일정)이 되도록 제어한다. 여기서, Vr²/R은 저항 Rp에서의 손실이므로, 이같은 제어를 함으로서 고주파 전원장치(30)로부터의 출력에서 저항 Rp에서의 손실을 빼낸 전력, 즉 방전가공에 투입되는 전력을 기준으로 해서 고주파 전원장치(30)의 출력을 제어할 수가 있다.

이로써, 저항 Rp에서의 손실이 방전가공전력에 비해, 무시할 수 있는 경우에도, 가공면 거칠기를 균일하게 유지할 수가 있다.

이상에서는 전압검출수단(43)을 사용해서 저항 Rp에서의 손실을 검출하는 경우에 대해 설명하였으나, 전류검출수단등 다른 검출수단을 사용해도 된다.

이상과 같이, 본 발명에 관한 방전가공장치는 방전가공작업에 적합하다.

Claims (10)

1. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 피가공물의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

   전압검출수단과 전류검출수단을 포함하며, 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과;

   소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 전력검출수단에 의해 검출된 전력검출값의 차에 기초하여 상기 고주파 전원장치의 출력전력이 일정하게 되도록 제어하는 제어수단

   을 구비하며,

   상기 전압검출수단과 상기 전류검출수단은 상기 고주파 전원장치의 출력과 상기 정합회로의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
2. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 피가공물간의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

   전압검출수단과 전류검출수단을 포함하며, 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과;

   소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 전력검출수단에 의해 검출된 전력검출값의 차에 기초하여 상기 직류전원의 출력전력이 일정하게 되도록 제어하는 제어수단

   을 구비하며,

   상기 전압검출수단과 상기 전류검출수단은 상기 고주파 전원장치의 출력과 상기 정합회로의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 전력검출수단은, 상기 전압검출수단과, 상기 전류검출수단과, 상기 전압검출수단에 의해 검출된 전압검출값 및 상기 전류검출수단에 의해 검출된 전류검출값의 곱을 연산하는 연산수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
4. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 피가공물간의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

   상기 고주파 전원장치의 출력전압 V를 검출하는 전압검출수단과;

   상기 고주파 전원장치의 출력전류 I를 검출하는 전류검출수단과;

   상기 전압검출수단에 의해 검출된 출력전압 V, 상기 전류검출수단에 의해 검출된 출력전류 I 및 소정의 계수 α와 β로부터, αㆍV + βㆍI를 연산하는 연산수단과;

   소정의 가공지령신호와 상기 연산수단의 연산값간의 차에 기초하여, 상기 고주파 전원장치의 출력인 αㆍV + βㆍI 가 일정하게 되도록 제어하는 제어수단

   을 구비하는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
5. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 피가공물간의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

   상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전압 V를 검출하는 전압검출수단과;

   상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전류 I를 검출하는 전류검출수단과;

   상기 전압검출수단에 의해 검출된 출력전압 V 및 상기 전류검출수단에 의해 검출된 출력전류 I 및 소정의 계수 α및 β로부터, αㆍV+βㆍI를 연산하는 연산수단과, 소정의 가공지령신호와 상기 연산수단과의 연산치와의 차에 기초하여, 상기 직류전원의 출력인 αㆍV+βㆍI를 일정하게 제어하는 제어장치를 구비한 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서,

   상기 계수 α 및 β의 양쪽 또는 한쪽의 값을 조절하는 조절수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
7. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 가공물간의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

   전압검출수단과 전류검출수단을 포함하며, 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과;

   소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 전력검출수단에 의해 검출된 전력검출값의 차에 기초하여 상기 고주파 전원장치의 출력전력이 일정하게 되도록 제어하는 제어수단과;

   상기 극간과 병렬로 접속되는 저항

   을 구비하며,

   상기 전압검출수단과 상기 전류검출수단은 상기 고주파 전원장치의 출력과 상기 정합회로의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
8. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 피가공물간의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

   전압검출수단과 전류검출수단을 포함하며, 상기 고주파 전원장치의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과;

   상기 극간에 병렬로 접속되는 저항과;

   상기 극간에 접속되는 저항의 손실을 검출하는 손실검출수단과;

   상기 전력검출수단에 의해 검출된 출력전력과 상기 손실검출수단에 의해 검출된 손실의 차를 구하는 연산수단과;

   소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 연산수단의 연산값에 기초하여, 상기 고주파 전원장치의 출력전력과 상기 극간에 접속되는 저항에 의해 생기는 손실의 차를 일정하게 제어하는 제어수단

   을 구비하며,

   상기 전압검출수단과 상기 전류검출수단은 상기 고주파 전원장치의 출력과 상기 정합회로의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.
9. 삭제
10. 직류전원, 발진기 및 증폭기로 이루어진 고주파 전원장치에 의한 고주파 전력이 전극과 피가공물간의 극간에 공급되고, 정합회로에 의해 인피던스 조정을 실시하며, 상기 극간에 방전을 발생시켜 상기 피가공물을 가공하는 방전가공장치에 있어서,

    전압검출수단과 전류검출수단을 포함하며, 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력을 검출하는 전력검출수단과;

    상기 극간에 병렬로 접속되는 저항과;

    상기 극간에 접속되는 저항의 손실을 검출하는 손실검출수단과;

    상기 전력검출수단에 의해 검출된 출력전력과 상기 손실검출수단에 의해 검출된 손실의 차를 구하는 연산수단과;

    소정의 전력지령을 부여하는 가공지령신호와 상기 연산수단의 연산값에 기초하여, 상기 고주파 전원장치의 직류전원의 출력전력과 상기 극간에 접속되는 저항의 손실의 차가 일정하게 되도록 제어하는 제어수단

    을 구비하며,

    상기 전압검출수단과 상기 전류검출수단은 상기 고주파 전원장치의 출력과 상기 정합회로의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 방전가공장치.