KR100490488B1

KR100490488B1 - 유기 및 무기 피막 용해제 조성물

Info

Publication number: KR100490488B1
Application number: KR10-2002-0035989A
Authority: KR
Inventors: 박효덕
Original assignee: 주식회사 유니텍
Priority date: 2002-06-26
Filing date: 2002-06-26
Publication date: 2005-05-19
Also published as: KR20040000955A

Abstract

본 발명은 유기 용매 10∼80 중량%, 불화물 2∼30 중량%, 염화아세트산 5∼30 중량% 및 계면활성제 0.02∼1 중량%를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물을 제공한다. 상기 조성물은 분산제 1∼15 중량%를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 유기 및 무기 피막 용해제 조성물은 유기 피막과 무기 피막을 동시에 제거할 수 있는 이점을 갖는다.

Description

유기 및 무기 피막 용해제 조성물{Remover Composition for Organic and Inorganic Films}

본 발명은 반도체 장치 등에서 사용되는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는, CRT(Cathode Ray Tube), PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display) 또는 카메라 렌즈 등에 있어서 유기 피막 또는 무기 피막 도포시 수정이나 재생을 위해서 빠르게 그리고 동시에 피막을 제거할 수 있는 용해제 조성물에 관한 것이다.

통상적인 CRT, PDP, LCD 및 카메라 렌즈를 구성하고 있는 층들을 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.

CRT의 경우는 패널 전면에 유리 기판이 있고 그 위에 코발트와 PVA와의 졸(sol)로 이루어진 칼라 필터와, R.G.B. 형광층과, 흑연, PVA 및 아크릴의 졸로 이루어진 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과, 아크릴 또는 셀룰로오즈로 이루어진 중간층과, 알루미늄 층 등으로 되어 있다. PDP의 경우에는 유리 기판, 프릿(frit)층, 형광층 및 블랙 매트릭스층으로 이루어져 있고, LCD는 상판의 경우 칼라 필터, R.G.B. 안료층, 블랙 매트릭스층, 오버코팅층으로 되어 있다. 또한 카메라 렌즈는 유리에 티탄산염과 코발트가 코팅되어 있는 칼라필터를 포함하고 있다.

이러한 층들은 아크릴, 에폭시, 우레탄, 카르복시메틸셀룰로오스 등과 같은 유기 피막이나 또는 흑연, 알루미나, 티탄산염 등과 같은 무기 피막으로 형성되어 있다. 이와 같은 다양한 피막을 형성하다 보면, 이미 장치에 형성된 피막들을 수정하거나 제거할 필요가 생기게 된다. 이 때, 고가의 장치를 버리지 않고 다시 사용하기 위해서는 피막 용해제를 사용하여 이들 피막들을 수정 또는 제거해야 한다.

종래의 일반적인 용해제는 유기 용매에 페놀이나, 포름산(formic acid) 등을 희석한 것을 사용하였다. 그러나, 이러한 용해제는 도막을 제거하는 데에 있어서 5분 내지 3시간 정도의 긴 시간이 소요된다는 단점이 있고, 또한 휘발성이 강하며, 악취 확산의 문제가 있었다.

또한, 종래에는 CRT, PDP, LCD 등의 반도체 장치에서 유기 피막이나 무기 피막을 제거하기 위해서는 각각 따로 따로 제거해야만 했다. 다시 말해서, 유기 피막의 경우에는 유기 용제 또는 세척제를 이용하여 제거하고, 무기 피막의 경우에는 무기 세척제를 이용하거나, 물리적으로 연마하여 제거해야 했기 때문에 번거로움이 있었다.

본 발명은 이러한 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로, 유기 피막이나 또는 무기 피막을 수초 내지 수분 이내에 빨리 제거할 수 있는 피막 용해제 조성물을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 유기 피막과 무기 피막을 동시에 제거할 필요가 있을 때 이들을 따로 따로 제거하지 않고 한번에 모두 제거할 수 있는 피막 용해제 조성물을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 휘발성과 악취 비산이 없는 피막 용해제 조성물을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 유기 용매 10∼80 중량%, 불화물 2∼30 중량%, 염화아세트산 5∼40 중량% 및 계면활성제 0.02∼1 중량%를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물을 제공한다.

본 발명에서 사용되는 유기 용매로는 예를 들어 1-메톡시-2-프로판올(1-methoxy-2-propanol), 에틸 아세테이트, 셀로솔브 아세테이트, 염화아세트산, 메틸피롤리돈 및 메틸클로라이드등 및 톨루엔 등이 사용되며, 가장 바람직한 것은 1-메톡시-2-프로판올이다.

상기 불화물로는 규불화아연(ZnFSiO₂), 불화수소산(HF) 또는 불화암모늄(NH₄F)이 사용되는 것이 바람직하다.

상기 계면활성제로는 음이온 또는 양이온성 계면활성제를 사용할 수 있으며, 보다 바람직하게는 에틸렌 옥사이드와 같은 알킬렌 옥사이드 및 술폰산염 등이 사용된다.

본 발명에 따른 다른 실시예에서는 분산제 1∼15 중량%를 더 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물을 제공한다.

상기 분산제로는 이소프로필 아세테이트, 메탄올, 메틸피롤리돈, 셀로솔브아세테이트 및 메틸클로라이드 등이 사용될 수 있으며, 이중에서 가장 바람직한 것은 이소프로필 아세테이트(IPA)이다.

본 발명에 따른 또 다른 실시예에서는 상기 염화아세트산 5∼30 중량%가 물(H₂O)로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물이 제공된다.

본 발명의 또 다른 실시예에서는 상기 염화아세트산 5∼30 중량%가 물 대신에 부틸 카비톨(Buthyl Carbitol)이나 셀로솔브계 화합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물이 제공된다. 여기서, 상기 부틸 카비톨과 셀로솔브계 화합물은 각각 독립적으로 대체될 수도 있고 서로 조합하여 대체될 수도 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에서는 상기 염화아세트산 5∼30 중량%가 물(H₂O), 부틸 카비톨 및 셀로솔브계 화합물의 혼합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물이 제공된다.

본 발명에서 셀로솔브계 화합물은 셀로솔브 아세테이트(Cellosolve Acetate)를 사용하는 것이 가장 바람직하다.

일반적으로 위에서 나열된 1-메톡시-2-프로판올, 에틸 아세테이트, 셀로솔브 아세테이트, 톨루엔과 같은 유기 용매에는 불화수소산(HF), 불화암모늄(NH₄F) 또는 규불화아연(ZnFSiO₂)등과 같은 무기산이나 무기산염이 용해되지 않는다.

그러나, 본 발명에 따르면, 에틸렌 옥사이드와 같은 알킬렌 옥사이드 또는 술폰산염와 같은 양이온 또는 음이온성 계면활성제를 이용하여 이러한 무기산 또는 무기산염을 유기 용매에 분산 또는 유화시키는 방법을 채용함으로써, 유기 피막과 무기 피막 모두를 동시에 제거할 수 있는 피막 용해제 조성물을 제공한다.

이하에서는 본 발명의 이해를 돕기 위해 보다 구체적인 실시예를 제시하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.

실시예 1

1-메톡시-2-프로판올 80 중량%, 이소프로필 아세테이트 9 중량%, 규불화아연 5 중량%, 물 5 중량% 및 SO₃Na기를 포함하는 계면활성제 1 중량%를 준비한다. 이들 물질들을 모두 혼합하여 용해제를 만들었다. 이렇게 만들어진 용해제를 이용하여 브라운관 패널에 부착된 흑연, 아크릴, 형광체 등을 제거하였다. 그 결과, 이들 물질들이 일시에 모두 제거되었고, 종전의 유기, 무기 물질을 별도로 제거해야 했던 공정이 단 한번으로 마무리 되는 것을 관찰했다.

상기 1-메톡시-2-프로판올의 일부를 셀로솔브 아세테이트, 메틸피롤리돈 및 메틸클로라이드 등과 같은 물질로 대체시켜도 같은 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상기 이소프로필 아세테이트 대신 메탄올, 셀로솔브 아세테이트, 메틸피롤리돈 및 메틸클로라이드 등을 사용해도 같은 효과를 가지며, 투입비율로 1∼15%까지는 세정효과가 같은 것으로 나타난다. 불화물인 규불화아연과 물의 투입비율을 5∼10% 변경하여도 같은 세정효과를 보았다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 피막 용해제 조성물은 유기 피막과 무기 피막을 포함한 멀티 레이어를 수초 내지 수분 이내에 빨리 제거할 수 있고, 또한 휘발성과 악취 비산이 없다.

한편, 이제까지는 유기 용매, 불화물, 염화아세트산 등을 함께 포함하고 있는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물에 대해 설명하였으나, 그 외에도 본 발명의 조성물과 같은 효과를 갖는, 유기 용매 및 염화아세트산을 포함하는 조성물, 또는 유기 용매 및 불화물을 포함하는 조성물이 또한 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

이처럼, 본 명세서에 기재된 것으로만 한정되는 것이 아니며, 하기 특허청구범위에서 한정된 범위를 벗어나지 않는 한, 변형이나 변경이 가능하다는 것은 당업자라면 쉽게 이해할 수 있을 것이다.

Claims

1-메톡시-2-프로판올 10 내지 80중량%, 불화수소산(HF), 규불화아연(ZnFSiO₂) 및 불화암모늄(NH₄F)으로 이루어진 군으로부터 선택된 불화물 2 내지 30중량%, 물 5 내지 30중량% 및 알킬렌 옥사이드 또는 술폰산염 0.02 내지 1중량%를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.

삭제

제 1 항에 있어서,

상기 알킬렌 옥사이드는 에틸렌 옥사이드인 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.

제 1 항에 있어서,

상기 술폰산염은 SO₃Na기를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.

제 1 항에 있어서,

상기 조성물이 분산제인 이소프로필 아세테이트 1 내지 15중량%를 더 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.

삭제