KR100479364B1 - apparatus of heating substrates for plasma display panel - Google Patents

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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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Abstract

본 발명은 플라즈마디스플레이 패널용 기판의 소성장치에 관한 것으로, 본 장치는 기판을 적어도 두 개 이상을 한번에 이송할 수 있는 구조를 가진 이송틀과, 상기 기판의 소성공정을 행하는 히터와, 상기 이송틀을 지지하는 지지핀과, 상기 이송틀을 이송하는 이송장치와, 상기 소성공정 중의 상기 기판에 공기를 공급하고 배기하는 급, 배기장치를 가지고 있다. The present invention relates to a firing apparatus for a substrate for a plasma display panel, the apparatus comprising a transfer mold having a structure capable of transferring at least two substrates at once, a heater for firing the substrate, and the transfer mold And a support pin for supporting the air, a transport device for transporting the transport frame, and a supply and exhaust device for supplying and exhausting air to the substrate during the baking process.

상기 이송장치는 상기 지지핀을 대신하여 이송틀을 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 제 1위치와 제 2 위치 사이에 수평 이동시키는 수평이송부와, 상기 지지부를 상하 이동시키는 상하이송부와, 상기 상하이송부와 수평이송부를 구동하는 각각의 구동부를 가지고 있다. The transfer device includes a support for supporting a transfer frame in place of the support pin, a horizontal transfer unit for horizontally moving the support between a first position and a second position, a shanghai transfer unit for moving the support up and down, and the shanghai Each drive unit drives the sending unit and the horizontal conveying unit.

상기 급기장치는 하방으로 공기를 분사하는 상부 급기구와; 상기 상부 급기구와 출구를 마주하고 있으며, 상방으로 공기를 분사하는 하부 급기구를 포함하고 있고, 상기 상부 급기구와 하부 급기구는 상부 급기구와 상기 하부 급기구에서 나온 공기가 서로 부딪쳐 상기 이송틀쪽으로 유입되도록 가이드하는 상부가이드와 하부가이드를 각각 가지고 있다.The air supply device includes an upper air supply port for injecting air downward; The upper air supply and the outlet facing the outlet, and includes a lower air supply for injecting air upwards, the upper air supply and the lower air supply, the air from the upper air supply and the lower air supply hit each other and the transfer It has an upper guide and a lower guide to guide the flow into the frame.

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 기판의 소성장치{apparatus of heating substrates for plasma display panel} Apparatus of heating substrates for plasma display panel}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display Panel : 이하 PDP라 한다)의 제조공정 중 소성공정을 위한 소성장치에 관한 것으로, 특히 소성장치 내에서 패널용 기판의 이송장치와 가스의 급배기장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a calcination apparatus for a calcination process during a manufacturing process of a plasma display panel (hereinafter referred to as a PDP), and more particularly, to a conveying apparatus for a panel substrate and a gas supply / exhaust apparatus in a calcination apparatus. .

PDP는 기체 방전 현상을 이용한 디스플레이 장치로, 전체적인 두께를 10cm 이하로 제작할 수 있기 때문에 전자총을 사용하는 브라운관 표시 장치에 비해 그 두께와 무게를 현저하게 감소시킬 수 있고, 아울러 액정 표시장치의 취약점인 시야각의 협소함을 개선 할 수 있는 이점이 있어 차세대 표시 장치로 부각되고 있다. 이러한 PDP(Plasma display Panel)의 장점으로는 60인치 이상의 대화면을 표현할 수 있고, 자발광을 이용한 천연색의 표현력이 뛰어나며, 160도 이상의 넓은 시야각을 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 초박형이며 경량구조를 가지고 있어 여러 응용분야에서 응용되고 있다.PDP is a display device using the gas discharge phenomenon. Since the overall thickness can be manufactured to 10 cm or less, the PDP can significantly reduce the thickness and weight of the cathode ray tube display device using an electron gun. It has the advantage of improving the narrowness of the display is emerging as the next generation display device. The advantages of PDP (Plasma Display Panel) are that it can express a large screen of 60 inches or more, it has excellent expressive power of natural colors using self-luminous, and can obtain a wide viewing angle of 160 degrees or more, and it has an ultra-thin and lightweight structure. It is applied in the application field.

한편, PDP(Plasma display Panel)의 제조공정에는 개별적인 많은 공정이 존재한다. 이러한 PDP 제조공정은 연속공정이며, 연속공정에서 이송장치로 롤러(Roller)를 사용하고, PDP의 소성공정 또한 롤러를 사용하여 단층의 기판을 이송한다. 그런데 이 단층 이송방법은 수율향상에 제약조건이 되고 있다. On the other hand, there are many individual processes in the manufacturing process of the plasma display panel (PDP). This PDP manufacturing process is a continuous process, in which a roller is used as a conveying device in the continuous process, and the firing process of the PDP also uses a roller to transfer a single layer substrate. However, this single layer transfer method is a constraint for improving yield.

이와 같은 제약을 해결하기 위해, PDP 제조공정에서 롤러 위에 2단으로 기판을 적층하여 이송하는 것을 생각해볼 수 있다. 그런데 롤러방식에 의한 2단 이송장치의 도입에 따른 문제점으로는, 기판의 중량증가로 인해 롤러에 가해지는 하중이 커져 큰 하중을 견디는 롤러를 채택해야 하는 것과, 롤러에 가해진 하중이 롤러 사이의 마찰을 증가시켜 롤러의 분진을 발생시키는 것이다. 그런데 매우 높은 정밀도를 요하는 PDP용 기판의 제조공정에 있어서 먼지나 불순물은 불량률을 증가시키고, 이로 인해 제품의 신뢰도가 저하된다.In order to solve such a limitation, it is conceivable to stack and transport the substrate in two stages on a roller in a PDP manufacturing process. However, the problems caused by the introduction of the two-stage transfer device by the roller method include the need to adopt a roller that withstands a large load due to the increase in the weight of the substrate, and the friction between the rollers. To increase the dust on the rollers. By the way, in the manufacturing process of the PDP board | substrate which requires very high precision, dust and an impurity increase the defect rate, and this reduces the reliability of a product.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 PDP용 기판의 제조공정에서, 생산의 효율성 증대를 위해 기판을 2단으로 적층하여 이송할 수 있으면서도 큰 하중을 견딜 수 있는 롤러가 필요없고 분진발생이 적은 이송장치를 채택한 소성장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, in the manufacturing process of the substrate for the PDP, in order to increase the efficiency of production, the substrate can be stacked in two stages to withstand large loads It is to provide a sintering device that adopts a feeder that does not need rollers and has low dust generation.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 기판을 적어도 두 개 이상을 한번에 이송할 수 있는 구조를 가진 이송틀과; 상기 기판의 소성공정을 행하는 히터와; 상기 이송틀을 지지하는 지지핀과; 상기 이송틀을 이송하는 이송장치와; 상기 소성공정 중의 상기 기판에 공기를 공급하고 배기하는 급, 배기장치를 가진 소성장치를 제공한다. The present invention is a transfer frame having a structure capable of transferring at least two or more substrates at once to achieve the above object; A heater for firing the substrate; A support pin for supporting the transfer frame; A transfer device for transferring the transfer frame; Provided is a firing apparatus having a supply and exhaust device for supplying and exhausting air to the substrate during the firing step.

상기 이송장치는 ??) 상기 지지핀을 대신하여 이송틀을 지지하는 지지부와, ??) 상기 지지부를 제 1위치와 제 2 위치 사이에 수평 이동시키는 수평이송부와, ??) 상기 지지부를 상하 이동시키는 상하이송부와, ??) 상기 상하이송부와 수평이송부를 구동하는 각각의 구동부를 가지고 있다. The transfer apparatus includes a support for supporting a transfer frame in place of the support pin, a horizontal transfer unit for horizontally moving the support between a first position and a second position, and the support unit. Shanghai sending unit for moving up and down, ??) Each of the driving unit for driving the Shanghai transport unit and the horizontal transport unit.

여기서 상기 상하이송부에 의해 상기 지지부가 상부로 올라갔을 때, 상기 지지부가 상기 지지핀을 대신하여 상기 이송틀을 지지할 수 있도록 하고, 하부로 내려갔을 때 상기 지지핀이 상기 지지부를 대신하여 상기 이송틀을 지지하고, 상기 구동부는 상기 지지부가 제 1 위치에 있을 때 지지부를 상부로 올라가도록 구동하고, 상기 지지부가 제 2 위치에 있을 때 상기 지지부가 하부로 내려가도록 하는 것이 특징이다. Here, when the support portion is raised to the upper by the shanghai sending portion, the support portion to support the transfer frame in place of the support pin, when the support pin is lowered to the transfer portion in place of the support portion Supporting the frame, the drive unit is characterized in that to drive the support to the upper portion when the support is in the first position, and the support portion to lower down when the support is in the second position.

상기 수평이송부는 상기 제 1 위치와 제 2 위치 사이를 수평이동시키기 위한 모터와 볼스크류와 엘엠가이드를 가지고 있는 것을 특징으로 한다. The horizontal transfer unit has a motor, a ball screw, and an LM guide for horizontally moving between the first position and the second position.

상기 구동부는 모터와 마이터기어박스와 구동축을 가지고 있으며, 상기 상하이송부는 마이터기어박스가 2개의 구동축을 연결하고, 상기 구동축이 업다운기어박스와 연결된 것을 특징으로 한다. The drive unit has a motor, a miter gear box and a drive shaft, and the shanghai transport unit has a miter gear box connecting two drive shafts, and the drive shaft is connected to an up-down gear box.

상기 이송틀은 제 1 기판이 놓여지는 제 1 세터와; 상기 제 1 세터와 이격되도록 제 1 서포터에 의해 지지되고, 제 2 기판이 놓여지는 제 2 세터와; 상기 제 2 세터와 이격되어 제 2 서포터에 의해 지지되는 제 3 세터를 포함하고 있다. The transfer frame includes a first setter on which a first substrate is placed; A second setter supported by a first supporter so as to be spaced apart from the first setter, and having a second substrate; And a third setter spaced apart from the second setter and supported by the second supporter.

상기 급기장치는 하방으로 공기를 분사하는 상부 급기구와; 상기 상부 급기구와 출구를 서로 마주하고 있으며, 상방으로 공기를 분사하는 하부 급기구를 포함하고 있고, 상기 상부 급기구와 하부 급기구는 상부 급기구와 상기 하부 급기구에서 나온 공기가 서로 부딪쳐 상기 이송틀쪽으로 유입되도록 가이드하는 상부가이드와 하부가이드를 각각 가지고 있다. The air supply device includes an upper air supply port for injecting air downward; The upper air supply and the outlet face each other, and includes a lower air supply for injecting air upwards, wherein the upper air supply and the lower air supply, the air from the upper air supply and the lower air supply hit each other It has an upper guide and a lower guide to guide the flow into the feed frame.

상기 상부 급기구는 상방으로 공기를 분사하는 공기유입구와, 상기 공기유입구를 감싸면서 아래에 다수의 공기홀을 포함하는 플레이트를 한면으로 가지는 공기파이프가 있으며, 상기 상부가이드는 이송틀 쪽에 위치한 내측가이드와 반대측의 외측가이드를 가지고 있다. 내측가이드는 외측가이드에 비해 길이가 짧고, 상기 외측가이드는 힌지(hinge)를 가지고 있어, 이 힌지를 중심으로 외측가이드를 회전시켜 이송틀 쪽으로 공기가 유입되도록 가이드한다. 상기 하부급기구는 상부급기구와 출구를 마주하고 있고, 상기 상부 급기구와 동일한 구조와 역할을 한다. The upper air supply port has an air inlet for injecting air upwards, and an air pipe having one side with a plate including a plurality of air holes thereon while surrounding the air inlet, and the upper guide is an inner guide located at the side of the transfer frame. It has an outer guide on the opposite side. The inner guide has a shorter length than the outer guide, and the outer guide has a hinge, and rotates the outer guide around the hinge to guide air into the feed frame. The lower air supply port faces the outlet of the upper air supply port, and functions as the same structure as the upper air supply port.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하겠다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 PDP용 기판을 소성하기 위한 소성장치의 정면도로서, 소성장치는 기판을 적재할 수 있는 구조를 가진 이송틀(70)과, 상기 기판을 가열하는 히터(150)와, 상기 이송틀(70)을 이송하는 이송장치와, 급기장치와, 흡기장치를 구비하고 있다.1 is a front view of a firing apparatus for firing a substrate for a PDP according to the present invention, the firing apparatus includes a transfer mold 70 having a structure in which a substrate can be loaded, a heater 150 for heating the substrate, The feeder which feeds the said feed frame 70, the air supply apparatus, and the intake apparatus are provided.

이 소성장치 중 이송장치는 종래의 롤러 방식의 이송장치와 달리 셔틀(shuttle) 방식을 채택하는 바, 이 장치를 도 2의 사시도를 참고하여 설명하면, 저면에 두 개의 제 1, 2 입력축(20a)(20b)이 위치하고, 상기 제 1, 2입력축은 마이터기어박스(120)에 의해 연결되어 있고, 상기 각 입력축(20a)(20b)에는 업다운기어박스(10)가 서로 간격을 두고 다수 개 연결되어 있다. 모터(도 1의 110)로부터 동력을 전달받고있는 상기 마이터기어박스(120)는, 입력축(20a)(20b)에 동력을 전달해 다수개의 업다운기어박스(10)가 동시에 동작하게 된다. Unlike the conventional roller-type conveying apparatus, the conveying apparatus of the baking apparatus adopts a shuttle method. When the apparatus is described with reference to the perspective view of FIG. 2, two first and second input shafts 20a on the bottom surface thereof are described. 20b is located, and the first and second input shafts are connected by the miter gear box 120, and each of the input shafts 20a and 20b has a plurality of up-down gear boxes 10 spaced apart from each other. It is connected. The miter gear box 120 receiving power from the motor 110 of FIG. 1 transmits power to the input shafts 20a and 20b so that a plurality of up-down gear boxes 10 operate simultaneously.

한편, 복수개의 업다운기어박스(10)의 상부에는 수평 이송시 이송틀(70)을 지지하는 지지대(30)가 있는데, 각 지지대(30)는 평행하게 배열되어 입력축(20a)(20b)을 따라 연결된 업다운기어박스(10) 4개 위에 위치하고 있다. 상기 지지대(30)는 제 1 입력축(20a)에 연결된 업다운기어박스(10)위에 놓여져 있는 제 1 프레임(31)과, 제 2 입력축(20b)에 연결된 업다운기어박스(10)위에 놓여져 있는 제 2 프레임(32)과, 상기 두 프레임(31)(32)을 연결하는 적어도 하나의 연결보(33)로 구성되어 있다. On the other hand, the upper portion of the plurality of up-down gear box 10 has a support 30 for supporting the transfer frame 70 during horizontal transport, each support 30 is arranged in parallel along the input shaft (20a, 20b) It is located on four connected up-down gearboxes 10. The support 30 is a first frame 31 placed on the up-down gear box 10 connected to the first input shaft 20a and a second frame placed on the up-down gear box 10 connected to the second input shaft 20b. It consists of a frame 32 and at least one connecting beam 33 connecting the two frames 31 and 32.

그리고 지지대(30)의 각각의 프레임(31)(32)에는 적어도 하나의 엘엠가이드(50)가 있고, 상기 프레임(31)(32)의 하부에 가이드레일(52)이 장착되어 있고, 이 가이드레일(52)에는 엘엠가이드(50)가 장착되어 있다. And each frame 31, 32 of the support 30 has at least one L-M guide 50, the guide rail 52 is mounted to the lower portion of the frame 31, 32, the guide The rail guide 52 is equipped with the LM guide 50.

또한, 프레임(31)(32) 사이를 연결하고 있는 연결보(33)에는 PDP용 기판의 진행방향으로 이송장치가 구성되어 있다. 상기 이송장치는 임의의 직선이송장치이면 무관하나, 이송의 정숙성과 정확성을 고려하여 볼스크류가 바람직하고, 이 볼스크류에는 볼스크류유닛(40)과 볼스크류축(42)과 모터(미도시)가 결합되어 있다. In addition, the connecting beam 33 connecting the frames 31 and 32 is configured with a transfer device in the advancing direction of the PDP substrate. The conveying device may be any linear conveying device, but a ball screw is preferable in consideration of the quietness and accuracy of the conveying device. The ball screw includes a ball screw unit 40, a ball screw shaft 42, and a motor (not shown). Is combined.

도 3은 도 2의 이송장치의 측면도로서, 도시한 바와 같이, 업다운기어박스(10)는 업다운바(22)을 가지고 있어, 입력축(20)이 회전함에 따라 업다운바(22)가 제 1, 2 프레임(31)(32)을 상, 하로 이동시킨다. 3 is a side view of the transfer apparatus of FIG. 2, as shown, the up-down gear box 10 has an up-down bar 22, and as the input shaft 20 rotates, the up-down bar 22 is first, The two frames 31 and 32 are moved up and down.

도 4는 본 발명에 따른 PDP용 기판 이송틀의 사시도로서 그 구성을 살펴보면, 상기 이송틀(70)은 3개의 세터(setter)(72a)(72b)(72c)로 이루어져 있고, 각 세터들은 서로 일정 간격 이격되어 있고, 이 세터(setter)의 재질은 주로 네오세라믹을 사용한다. 하부 두 개의 세터(72a)(72b)에는 기판(미도시)이 각각 안착된다. 4 is a perspective view of a substrate transfer frame for a PDP according to the present invention, the configuration of the transfer frame 70 is composed of three setters (72a) (72b) (72c), each setter each other It is spaced at regular intervals, and the material of this setter is mainly neo-ceramic. Substrates (not shown) are respectively mounted on the lower two setters 72a and 72b.

도 2와 도 4를 참조하여 지지대(30)와 이송틀(70)의 배치를 살펴보면, 상기 지지대(30)의 상부에는 이송틀(70)이 위치하고, 이송시에만 지지대(30)가 지지핀(60)의 높이 보다 높이 올라와서 지지대(30)가 이송틀(70)을 지지하고, 소성 중에는 지지핀(60)이 이송틀(70)을 지지한다. 상기 지지핀(60)은 소성로의 본체와 결합되어 위치가 고정되어 있고, 지지핀(60)은 이송틀(70)을 지지하기에 충분한 복수 개이다. Looking at the arrangement of the support 30 and the transfer frame 70 with reference to Figures 2 and 4, the transfer frame 70 is located on the upper portion of the support 30, the support 30 is a support pin only during transfer ( Climbing higher than the height of 60, the support 30 supports the transfer frame 70, and the support pin 60 supports the transfer frame 70 during firing. The support pin 60 is coupled to the main body of the kiln is fixed in position, the support pin 60 is a plurality of enough to support the transfer frame (70).

한편, 급, 배기장치의 구성은 도 5에 자세히 도시되어 있는 바, 이를 살펴보면, 급기장치(80)는 상부(80)와 하부(180) 한 쌍으로 이루어져 있고, 상부와 하부의 모양과 구성은 동일하나 각 출구가 서로 마주하는 배치이다. 상부 급기장치(80)는, 상방으로 공기를 분사하는 공기유입관(82)과, 상기 공기유입관(82)를 감싸고 슬릿(slit)이 아래에 형성되고, 슬릿의 상부에는 다수의 홀(83)을 가진 플레이트(84)를 가진 공기배출관(90)으로 구성되어 있다. 상기 슬릿은 외측가이드(86)와 내측가이드(88)에 의해 정의되고, 내측가이드(88)는 이송틀(도 4의 70)쪽에 위치하고, 외측가이드(86)는 그 반대편에 위치해 있다. 그리고 외측가이드(86)는 길이가 내측가이드(88)의 길이보다 길고, 중간에 힌지형태로 결합된 두 개의 판이다. 그리고 배기장치(도 1의 100)는 급기장치(80)의 반대편 즉, PDP용 기판의 이송틀(70)을 사이에 두고 서로 마주보며 쌍으로 위치한다.On the other hand, the configuration of the air supply, exhaust device is shown in detail in Figure 5, look at this, the air supply device 80 is composed of a pair of upper portion 80 and the lower portion 180, the shape and configuration of the upper and lower They are the same, but each outlet faces each other. The upper air supply device 80 includes an air inlet pipe 82 for injecting air upward, a slit formed below the air inlet pipe 82, and a plurality of holes 83 in the upper part of the slit. It consists of an air discharge pipe (90) having a plate (84) having a. The slit is defined by the outer guide 86 and the inner guide 88, the inner guide 88 is located on the side of the transfer frame (70 in Figure 4), the outer guide 86 is located on the opposite side. And the outer guide (86) is longer than the length of the inner guide 88, the middle is a hinged two plates. And the exhaust apparatus (100 in FIG. 1) is located in pairs facing each other with the transfer frame 70 of the opposite side of the air supply apparatus 80, that is, the substrate for the PDP.

이하 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 실시예에 따른 소성장치에서의 작동방법을 설명하겠다. Hereinafter, an operation method of the firing apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

상부이송장치의 작동순서는, 먼저 모터(110)가 작동하여 마이터기어박스(120)를 작동시키고, 상기 마이터기어박스(120)는 연결된 제 1, 2 입력축(20a)(20b)를 회전시키고, 이 입력축(20a)(20b)들은 업다운기어박스(10)에 동력을 전달하고, 상기 업다운기어박스(10)는 동력의 회전방향을 바꾸어 업다운기어박스(10)의 업다운바(22)로 동력을 전달하여 상승시킨다. 즉, 제 1입력축과 제 2 입력축은 마이터기어박스(120)로 인해 동시에 동작하고, 동력을 전달받은 업다운바(22)의 끝단은 상승하며, 지지대(30)의 제 1, 2 플레이트(31)(32)와 접촉되어 지지대(30)를 상승시킨다. The operation sequence of the upper feeder, the motor 110 is operated to operate the miter gear box 120, the miter gear box 120 rotates the connected first and second input shaft (20a) (20b) The input shafts 20a and 20b transmit power to the up-down gear box 10, and the up-down gear box 10 changes the rotational direction of the power to the up-down bar 22 of the up-down gear box 10. Raises by transmitting power. That is, the first input shaft and the second input shaft are simultaneously operated by the miter gear box 120, the end of the up-down bar 22 receiving the power is raised, the first and second plates 31 of the support 30 32) raises the support 30.

한편, 소성장치에는 고정된 지지핀(60)이 있고, 지지핀(60)에 지지되고 있던 이송틀(70)은 상기 업다운바(22)가 상승하여 이송틀(70)의 1세터(72a) 저면과 지지대(30)의 윗면이 접촉하게 된다. 그리고 접촉된 지지대(30)가 상승하여 이송틀(70)을 들어 올린다. On the other hand, the firing apparatus has a fixed support pin 60, the transfer frame 70 supported by the support pin 60, the up-down bar 22 is raised to the one setter 72a of the transfer frame 70 The bottom and the upper surface of the support 30 is in contact. And the support 30 in contact with each other is raised to lift the transfer frame (70).

그리고 지지대(30)에 의해 들어 올려진 이송틀(70)은, 지지대(30) 사이에 결합되어 있는 모터(미도시)가 작동하여, 볼스트류유닛(40)을 회전시키고, 볼스크류유닛(40)이 회전함에 따라 볼스크류유닛(40)에 결합되어 있는 지지대(70)도 볼스크류축(42)을 따라 이동하게 된다. 또한, 상기의 이동은 지지대(30)의 하부에 설치되어 있는 엘엠가이드(50)의 가이드레일(55)를 타고 현재의 제 1위치에서, 다음 이송틀(70)이 놓여지는 제 2위치로 수평 이동하여 정지하게 된다.And the transfer frame 70 lifted by the support 30, the motor (not shown) coupled between the support 30 is operated to rotate the ball screw unit 40, the ball screw unit ( As the 40 rotates, the support 70 coupled to the ball screw unit 40 also moves along the ball screw shaft 42. In addition, the movement is horizontal to the second position where the next transfer frame 70 is placed in the current first position by the guide rail 55 of the L guide 50 installed in the lower portion of the support (30) It moves and stops.

그리고 이송틀(70)이 제 2 위치로 이송된 후, 모터(110)의 연속 동작에 의해 이송틀(70) 하부에 위치하게된 업다운기어박스(10)의 업다운바(22)를 하강시킨다. 이에 이송틀(70)의 1세터(72) 저면과 접촉하고 있는 지지대(30)도 하강하고, 또한 지지대(30)가 하강함에 따라 지지대(30) 위의 이송틀(70)도 하강한다. 상기 지지대(30)는 이송틀(70)을 받치고 있는 지지대(30)의 저면이 업다운기어박스(10)의 윗면까지 하강한다. 상기 하강과정에서 일정 높이까지 지지대(30)가 하강하면, 소성장치의 지지핀(60)에 상기 이송틀(70)의 1세터(72a) 저면이 접촉하게 되고, 이 순간 지지대(30)는 이송틀(30)과 떨어지게 되며, 이송틀(30)은 지지핀(60)에 의해 지지되게 된다. After the transfer frame 70 is transferred to the second position, the up-down bar 22 of the up-down gear box 10 positioned below the transfer frame 70 is lowered by the continuous operation of the motor 110. Accordingly, the support 30 which is in contact with the bottom surface of the setter 72 of the transfer frame 70 is also lowered, and as the support 30 is lowered, the transfer frame 70 on the support 30 is also lowered. The support 30 is lowered to the upper surface of the up-down gear box 10 of the bottom of the support 30 that supports the transfer frame 70. When the support 30 is lowered to a predetermined height in the lowering process, the bottom surface of the setter 72a of the transfer frame 70 comes into contact with the support pin 60 of the firing apparatus, and at this moment the support 30 is transferred. The frame 30 is separated from the transfer frame 30 is supported by the support pin (60).

지지대(30)가 업다운기어박스(10) 윗면까지 하강한 후, 상기 볼스크류의 모터(미도시)가 작동하여, 볼스트류유닛(40)을 회전시키고, 상기 지지대(30)는 볼스크류축(42)을 타고 제 1위치로 이동한다. After the support 30 is lowered to the upper surface of the up-down gear box 10, a motor (not shown) of the ball screw is operated to rotate the ball screw unit 40, and the support 30 is a ball screw shaft. Take 42 and go to the first position.

이와같은 방법으로 상기 소성장치의 지지대들은 제 1위치와 제 2위치를 순환하며 이동하고, 지지대 위의 이송판들은 PDP용 기판을 싣고 앞으로 이송된다. In this way, the supports of the firing apparatus are circulated in the first position and the second position, and the transfer plates on the support carry the substrate for PDP and are forwarded.

한편, 소성장치에서의 급, 배기장치의 작동을 살펴보면, 상부급기장치(80)의 공기유입관으로 공기가 유입되고, 상부가 개방되어 있는 공기유입관(82)의 상부토출구로 공기가 유출된다. 유출된 공기는 상기 공기배출관(90)의 내부와 충돌하고, 이 충돌된 공기는 상기 공기유입관(82)의 외곽을 타고 돌아, 플레이트(84)방향으로 향하여 다수의 홀(83)을 통과하게된다. 이후, 일정한 유속을 가진 공기는 가이드를 따라 안내되고, 가이드 면을 따라 안내되던 공기는 내측가이드(88)와 힌지(87)를 중심으로 회전시킨 외측가이드(86)에 의해 이송틀(70) 쪽으로 안내된다. On the other hand, looking at the operation of the supply and exhaust device in the firing apparatus, the air flows into the air inlet pipe of the upper air supply device 80, the air flows out to the upper discharge port of the air inlet pipe 82, the upper portion is open. . The outflowing air collides with the inside of the air discharge pipe 90, and the impingement air flows around the outside of the air inflow pipe 82 and passes through the plurality of holes 83 toward the plate 84. do. Thereafter, the air having a constant flow rate is guided along the guide, and the air guided along the guide surface is directed toward the feed frame 70 by the outer guide 86 rotated about the inner guide 88 and the hinge 87. You are guided.

이와 같은 작동방법을 가진 하부급기장치(180)는 상부급기장치(80)와 가이드를 마주하며 설치되어있으므로, 상부급기장치(80)와 하부급기장치(180)에서 토출된 공기는 서로 부딪쳐 상기 이송틀(70)의 내부로 유입된다. 상기 이송틀의 내부로 유입된 공기는, 상기 내부를 지나 이송틀의 다른 쪽 끝단으로 유출된다. 공기가 유출된 쪽엔 배기장치(100)가 상하로 설치되어 있어, 공기를 흡입하여 소성장치 외부로 배출한다. 상기 배기장치(100)는 일반적인 소성장치에서 채택하는 통상적인 장치를 사용하여도 무방하다. 상술한 바와 같은 작동을 하는 급, 배기장치는 이송틀을 사이에 두고 반복적으로 설치된다. Since the lower air supply device 180 having such an operation method is installed facing the upper air supply device 80 and the guide, the air discharged from the upper air supply device 80 and the lower air supply device 180 collide with each other to transfer the air. It is introduced into the interior of the mold (70). The air introduced into the transfer frame flows out through the inside to the other end of the transfer frame. The exhaust device 100 is installed up and down on the side where the air flows out, and the air is sucked out and discharged to the outside of the firing device. The exhaust apparatus 100 may use a conventional apparatus adopted in a general firing apparatus. The air supply / exhaust system which operates as described above is repeatedly installed with the transfer frame in between.

본 발명은 PDP용 기판의 열처리 공정에서 롤러 이송공정을 셔틀 이송공정으로 바꾸어, 롤러 이송공정시 롤러나 기타 부품의 마찰에 의해 발생할 수 있는 분진이나 먼지의 발생요인을 제거하는 장점과, 하나의 기판만을 이송하던 공정을 2개의 기판을 적층하여 이송할 수 있는 공정으로 바꾸어 수율을 증가시키는 장점을 가지고 있다. The present invention is to change the roller transfer process to the shuttle transfer process in the heat treatment process of the substrate for the PDP, to eliminate the dust or dust generation factors that may be caused by the friction of the roller or other components during the roller transfer process, and one substrate It has the advantage of increasing the yield by changing the transfer process of the bay to a process that can be transferred by stacking two substrates.

또한 종래의 롤러 이송공정에서는 열처리 대상인 PDP용 기판이 롤러에 의해 노(爐)에 들어갈 때, PDP용 기판의 한쪽 끝부터 노(爐)에 진입하여 이루어지므로 기판의 한쪽끝과 다른 끝 사이에 불균일한 열처리가 이루어져 기판이 깨어지는 문제가 있었으나, 본 발명에서 채택하는 셔틀 이송공정에서는 PDP용 기판 전체에 열을 가하기 때문에 불균일한 열응력이 발생하는 것을 줄여준다. 냉각시에도 셔틀 이송공정에 의해 PDP용 기판이 이송되어, PDP용 기판의 냉각을 전체에 균일하게 적용함으로써 PDP용 기판의 냉각시 열응력에 의한 균열 및 파괴를 예방할 수 있게 된다. In the conventional roller transfer process, when the PDP substrate to be subjected to the heat treatment enters the furnace by the roller, the PDP substrate enters the furnace from one end of the PDP substrate, and thus is uneven between one end and the other end of the substrate. There was a problem that the substrate is broken by one heat treatment, but in the shuttle transfer process adopted in the present invention, heat is applied to the entire PDP substrate, thereby reducing the occurrence of non-uniform thermal stress. Even during cooling, the PDP substrate is transferred by the shuttle transfer process, so that the cooling of the PDP substrate is uniformly applied to the whole to prevent cracking and destruction due to thermal stress during cooling of the PDP substrate.

도 1은 본 발명에 따른 PDP용 기판 소성장치의 개략 정면도1 is a schematic front view of a substrate firing apparatus for a PDP according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 PDP용 기판 이송장치의 사시도2 is a perspective view of a substrate transfer apparatus for a PDP according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 PDP용 기판 이송장치의 측면도3 is a side view of a substrate transfer apparatus for a PDP according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 PDP용 기판 이송틀의 사시도4 is a perspective view of a substrate transfer frame for PDP according to the present invention

도 5는 본 발명에 따른 PDP용 기판 소성장치에서 급기장치의 사시도5 is a perspective view of an air supply apparatus in the substrate firing apparatus for PDP according to the present invention;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 업다운기어박스 20a : 제 1 입력축10: up-down gear box 20a: first input shaft

20b : 제 2 입력축 22 : 업다운바 20b: 2nd input shaft 22: Up-down bar

30 : 지지대 31 : 제 1 프레임30: support 31: first frame

32 : 제 2 프레임 33 : 연결보 32: second frame 33: connection beam

40 : 볼스크류유닛 42 : 볼스크류축 40: ball screw unit 42: ball screw shaft

50 : 엘엠가이드 52 : 가이드레일 50: LM guide 52: guide rail

60 : 지지핀 70 : 이송틀 60: support pin 70: transfer frame

72a : 제 1 세터 72b : 제 2 세터 72a: first setter 72b: second setter

72c : 제 3 세터 80 : 상부급기장치 72c: third setter 80: upper air supply device

82 : 공기유입관 83 : 홀82: air inlet pipe 83: hole

84 : 플레이트 86 : 외측가이드 84: plate 86: outer guide

88 : 내측가이드 90 : 공기배출관88: inner guide 90: air discharge pipe

100 : 배기장치 110 : 모터100: exhaust device 110: motor

120 : 마이터기어박스 150 : 히터120: miter gear box 150: heater

180 : 하부급기장치 180: lower air supply unit

Claims (7)

기판을 적어도 두 개 이상을 한번에 이송할 수 있는 구조를 가진 이송틀과;A transfer frame having a structure capable of transferring at least two substrates at once; 상기 기판의 소성공정을 행하는 히터와;A heater for firing the substrate; 상기 소성공정 중의 상기 기판에 공기를 공급하고 배기하는 급, 배기장치와;A supply and exhaust device for supplying and exhausting air to the substrate during the firing step; 상기 이송틀을 지지하는 지지핀과;A support pin for supporting the transfer frame; 상기 이송틀을 이송하는 이송장치A transfer device for transferring the transfer frame 를 포함하는 PDP용 기판의 소성장치PDP substrate firing apparatus including a 1항에 있어서,According to claim 1, 상기 이송장치는The transfer device ??) 상기 지지핀을 대신하여 이송틀을 지지하는 지지부와, ??) Support for supporting the transfer frame in place of the support pin, ??) 상기 지지부를 제 1위치와 제 2 위치 사이에 수평이동시키는 수평이송부와, A horizontal transfer part for horizontally moving the support part between a first position and a second position; ??) 상기 지지부를 상하 이동시키는 상하이송부와, ??) a shanghai songbu moving up and down the support; ??) 상기 상하이송부와 수평이송부를 구동하는 각각의 구동부??) each driving unit for driving the shanghai sending unit and the horizontal feeding unit 를 가지고 있으며,Has a 상기 상하이송부에 의해 상기 지지부가 상부로 올라갔을 때, 상기 지지부가 상기 지지핀을 대신하여 상기 이송틀을 지지할 수 있도록 하고, 하부로 내려갔을 때 상기 지지핀이 상기 지지부를 대신하여 상기 이송틀을 지지하고, When the support portion rises to the upper by the shanghai sending portion, the support portion can support the transfer frame in place of the support pin, when the support portion is lowered to the transfer frame in place of the support portion Support it, 상기 구동부는 상기 지지부가 제 1 위치에 있을 때 지지부를 상부로 올라가도록 구동하고, 상기 지지부가 제 2 위치에 있을 때 상기 지지부가 하부로 내려가도록 상하이송부를 구동하는 소성장치The drive unit is a sintering device for driving the shank conveying unit to drive the support to the upper portion when the support is in the first position, and the support portion to move down when the support is in the second position 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 수평이송부는 상기 제 1 위치와 제 2 위치 사이를 수평이동시키기 위한 모터와 볼스크류와 엘엠가이드를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 소성장치The horizontal transfer unit is a firing apparatus, characterized in that it has a motor, a ball screw and an LM guide for horizontally moving between the first position and the second position 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동부는 모터와 마이터기어박스와 구동축을 가지고 있으며, 상기 상하이송부는 마이터기어박스가 2개의 구동축을 연결하고, 상기 구동축이 업다운기어박스와 연결된 것을 특징으로 하는 소성장치The drive unit has a motor, a miter gear box and a drive shaft, the shanghai transport unit is a firing apparatus characterized in that the miter gear box is connected to the two drive shafts, the drive shaft is connected to the up-down gear box 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송틀은 제 1 기판이 놓여지는 제 1 세터와; 상기 제 1 세터와 이격되도록 1 서포터에 의해 지지되고, 제 2 기판이 놓여지는 제 2 세터와; 상기 제 2 세터와 이격되어 제 2 서포터에 의해 지지되는 제 3 세터를 포함하고 있는 소성장치The transfer frame includes a first setter on which a first substrate is placed; A second setter supported by one supporter so as to be spaced apart from the first setter, and having a second substrate; A firing apparatus including a third setter spaced apart from the second setter and supported by a second supporter 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 급기장치는, 하방으로 공기를 분사하는 상부 급기구와; 상기 상부급기구와 출구를 마주하고 있으며, 상방으로 공기를 분사하는 하부 급기구를 포함하고 있고, The air supply device includes an upper air supply port for injecting air downward; It faces the outlet and the upper air supply, and includes a lower air supply for injecting air upwards, 상기 상부 급기구와 하부 급기구는 상부 급기구와 상기 하부 급기구에서 나온 공기가 서로 부딪쳐 상기 이송틀쪽으로 유입되도록 가이드하는 상부가이드와 하부가이드를 각각 가지고 있는 소성장치; The upper air supply and the lower air supply has a firing apparatus each having an upper guide and a lower guide for guiding the air from the upper air supply and the lower air supply to be introduced into the conveying frame; 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 상부 급기구는 상방으로 공기를 분사하는 공기유입관과, 상기 공기유입관을 감싸면서 아래에 다수의 공기홀을 가지고 있는 공기배출관을 가지고 있으며, 상기 상부가이드는 이송틀 쪽에 위치한 내측가이드와 반대측의 외측가이드를 가지고 있고, 내측가이드는 외측가이드에 비해 짧아 공기홀을 통과한 공기는 이송틀 쪽으로 유입되도록 가이드하는 소성장치The upper air supply port has an air inlet pipe for injecting air upwards, and an air discharge pipe having a plurality of air holes therein while surrounding the air inlet pipe, and the upper guide is opposite to the inner guide located at the transfer frame side. It has an outer guide, the inner guide is shorter than the outer guide is a calcination apparatus for guiding the air passing through the air hole into the transfer frame
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