KR100452849B1 - 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드 - Google Patents

마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드 Download PDF

Info

Publication number
KR100452849B1
KR100452849B1 KR10-2002-0063573A KR20020063573A KR100452849B1 KR 100452849 B1 KR100452849 B1 KR 100452849B1 KR 20020063573 A KR20020063573 A KR 20020063573A KR 100452849 B1 KR100452849 B1 KR 100452849B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cavity
cavity resonator
signal
liquid
substrate
Prior art date
Application number
KR10-2002-0063573A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040034921A (ko
Inventor
송인상
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to KR10-2002-0063573A priority Critical patent/KR100452849B1/ko
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to AT03256382T priority patent/ATE316005T1/de
Priority to EP03256382A priority patent/EP1410911B1/en
Priority to ES03256382T priority patent/ES2254878T3/es
Priority to DK03256382T priority patent/DK1410911T3/da
Priority to DE60303265T priority patent/DE60303265T2/de
Priority to CNB2003101012296A priority patent/CN1239324C/zh
Priority to US10/686,770 priority patent/US7083260B2/en
Priority to JP2003357277A priority patent/JP4118781B2/ja
Priority to TW092128848A priority patent/TWI236975B/zh
Publication of KR20040034921A publication Critical patent/KR20040034921A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100452849B1 publication Critical patent/KR100452849B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/22—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of impact or pressure on a printing material or impression-transfer material
    • B41J2/23—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of impact or pressure on a printing material or impression-transfer material using print wires
    • B41J2/235—Print head assemblies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14008—Structure of acoustic ink jet print heads

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Toys (AREA)

Abstract

마이크로 분사기 및 이를 이용한 잉크젯 프린터 헤드가 개시된다. 공동공진기는 도체로 밀폐되어 있고, 소정의 공동공진주파수(cavity resonance frequency)신호를 입력 받아 공진하여 그 내부의 압력을 상승시킨다. 신호인가부는 외부로부터 입력되는 제어신호에 따라 다수의 공동공진기 각각에 대하여 공동공진주파수 신호를 발생하여 공동공진기 내부로 입력한다. 액체유입구는 공동공진기 내부로 액체를 유입하기 위하여 공동공진기에 각각 형성되어 있다. 액실은 다수의 액체유입구에 접하여 배치되어 있고, 각각의 액체유입구를 통해 공동공진기 내부로 잉크를 공급한다. 액체토출구는 공동공진기에 형성되어 있고, 공동공진기의 내압이 상승시에 공동공진기에 유입된 액체를 토출한다.
이와 같은 잉크젯 프린터 헤드는 잉크토출 반응속도가 빠르고, 잉크의 토출량을 정밀하게 제어하기가 용이하며, 그 구조가 간단하여 노즐의 고집적화가 용이하다.

Description

마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드{Printer head using RF MEMS spray}
본 발명은 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고주파 공동공진기(cavity resonator)를 이용한 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드에 관한 것이다.
일반적으로, 액체를 액적의 상태로 분사하는 장치는 잉크젯 프린터 헤드 및 마이크로 냉각장치 등에 사용된다.
잉크젯 프린터 헤드의 구동방식은 열구동방식, 압전체를 이용한 기계적구동방식 등이 있다.
도 1은 종래기술에 의한 압전소자를 이용한 프린터헤드의 단면도이다.
도시된 바와 같이 종래기술의 프린터헤드는 판형의 압전체(7), 압전체(7)의 하부에 형성되어 압전체(7)의 길이방향 신축운동을 휨운동으로 바꾸어주는 진동판(6), 진동판(6)의 하부에 형성되고 잉크를 저장하는 액실(2)을 갖는 액실층(1), 및 액실층(1)을 덮은 상태로 잉크를 액적의 상태로 분사하는 노즐(5a)을 갖는 노즐플레이트(5)로 구성된다. 노즐플레이트(5)는 다수열의 노즐(5a)이 일정한 행간 거리를 유지하고 있다.
다층의 금속판이 압접에 의해 밀착된 액실층(1)의 내부에 잉크가 저장되는 액실(2)과 잉크의 흐름을 제어하는 리스트릭터(3)가 구비된다. 그리고, 액실층(1)의 하단에 노즐(5a)이 형성된 노즐 플레이트(5)가 구비된다. 액실층(1)의 상단에는 압력실(4)을 덮는 진동판(6)이 구비된다. 여기서 리스트릭터(3)는 액실(2)과 압력실(4)을 연결하는 역할을 한다. 노즐(5a)은 압력실(4)과 연결되고, 진동판(6)의 상부에 전극으로 작동되는 압전체(7)가 놓인다.
압전체(7)가 폴링(polling : 전기장을 가하면 압전체에 방향성이 형성되는 현상)되어 길이 방향으로 신축되면 진동판(6)이 휨 변형되고 이 때 압력실(4)의 내압이 높아지면서 잉크가 노즐(5a)을 통하여 액적의 상태로 분사된다. 그리고, 잉크가 분사되는 동안 리스트릭터(3)는 잉크가 액실(2)쪽으로 유입되는 것을 방지하며 또한 진동판(6)이 복원되면 리스트릭터(3)를 통하여 액실(2) 내부의 잉크가 압력실(4)쪽으로 보충된다.
진동판(6)의 제조방법은 ZrO2를 얇은 그린시트(green sheet)형태로 만든 후 필요한 부분에 구멍을 뚫고 알맞은 크기로 발라서 고온(약 1000도씨 이상)에서 소성한다. 얇고 정확한 크기로 형성된 ZrO2판에 하부전극을 형성한다.
압전체(7)의 제조방법은 하부전극이 형성된 ZrO2판에 압전체 패스트(paste)를 정확히 정열하여 스크린 프린팅한다. ZrO2판 위에 스크린 프린팅된 압전체를 고온에서 소성하고 압전체 위에 상부전극을 형성한다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 압전체를 이용한 잉크젯 프린터 헤드는 압전체의 동작속도의 한계로 인하여 인쇄속도가 떨어지고, 잉크의 토출량을 제어하기가 용이하지 않다. 그리고, 그 제조과정이 용이하지 않으며, 구조가 복잡하여 고집적화 하기가 용이하지 않다.
한편, 열구동방식의 잉크젯프린터 헤드는 액체가 들어있는 얇은 관에 열을 가하면 관 내부에 기포가 발생하여 관의 내압이 증가하게 되고, 증가되는 관의 내압으로 액체를 토출하는 원리이다.
즉, 반도체 내부에 잉크가 지나갈 수 있는 통로를 만들고, 그 주변에 가열저항을 배치하여 이 저항에 전류를 흐르게 하면 저항이 가열되어 통로에 기포가 발생한다. 이 때 발생된 기포가 통로의 내압을 증가시키고 잉크가 밖으로 토출된다.
잉크젯 헤드를 이용한 출력장치의 출력물 품질은 잉크의 재질과 토출되는 잉크의 양에 따라 큰 차이가 있다. 칼라 이미지를 인쇄하는 경우 잉크의 분사량이 과다하게 많아지면 이미지가 전반적으로 어둡게 나오며, 선명도가 떨어지게 된다.
반면 잉크의 분사량이 적으면 출력물이 흐리거나 몇 개의 노즐에서 잉크가 토출되지 않아 출력물의 품질이 저하된다. 따라서, 열가열 구동방식의 잉크젯 프린터 헤드는 잉크를 토출함에 있어서, 가열저항에 인가하는 전압을 조절하거나, 가열하는 시간을 조절하여 적당한 잉크분사량을 얻고 있다.
그러나, 상기한 바와 같은 가열구동방식의 잉크젯 프린터 헤드는 주변의 온도 및 습도에 영향을 많이 받아, 고온고습의 환경에서 출력이미지가 진하게 나오거나, 저온건조한 환경에서 잉크가 토출되지 않거나 출력물이 희미해지는 문제점이 있다. 그리고, 상기한 프린터 헤드는 잉크의 토출량을 정밀하게 제어하기가 용이하지 않으며, 가열저항의 동작반응속도의 한계로 인하여 잉크의 토출반응속도가 느리다는 문제점이 있다. 또한, 상기한 프린터 헤드는 그 구조가 복잡하여 다수의 노즐장치를 고집적하기가 용이하지 않아 출력물의 해상도에 한계가 있다는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 잉크토출 반응속도가 빠르고, 잉크의 토출량을 정밀하게 제어하기가 용이하며, 그 구조가 간단하여 고집적화가 용이한 마이크로 분무기를 이용한 프린터 헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 종래기술에 의한 프린터헤드의 단면도,
도 2a는 본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터헤드의 제 1실시예의 단면도,
도 2b는 도 2a의 프린터 헤드의 배면도,
도 3a는 본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터헤드의 제 2실시예의 단면도, 및
도 3b는 도 3a의 프린터 헤드의 배면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 : 공동공진기 21 : 잉크유입구
22 : 노즐 23 : 커플링슬롯
24 : 신호입력단자 25 : 신호발생기
26 : 신호증폭기 27 : 내압실
28 : 액실 29 : 기판
30 : 액체토출구 31 : 신호인가부
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 마이크로 분사기는 도체로 밀폐되어 있고, 소정의 공동공진주파수(cavity resonance frequency)신호를 입력 받아 공진하고, 그 결과 그 내부의 압력을 상승시키는 공동공진기; 공동공진주파수 신호를 발생하여 상기 공동공진기 내부로 입력하는 신호인가부; 상기 공동공진기 내부로 액체를 유입하기 위하여 상기 공동공진기에 형성되어 있는 액체유입구; 및 상기 공동공진기에 형성되어 있고, 상기 공동공진기의 내압이 상승시에 상기 공동공진기에 유입된 액체를 토출하는 액체토출구;를 포함한다.
바람직하게, 상기 액체토출구가 배치되어 있는 상기 공동공진기의 일측면에 접합되어 있으며, 상기 액체토출구의 위치에 대응하여 노즐이 형성되어 있는 기판을 더 포함한다.
그리고, 상기 공동공진기는 상기 기판과 접하는 면에 형성되어 있으며, 상기 공동공진주파수 신호를 상기 공동공진기 내부로 전달받는 커플링슬롯을 구비한다.
바람직하게, 상기 신호인가부는 상기 기판을 사이에 두고 상기 커플링슬롯과 상호 대면하는 위치에 배치되어 있다.
또한, 상기 신호인가부는 상기 기판에 집적되어 있으며, 상기 공동공진주파수 신호를 발생하여 출력하는 신호발생기; 상기 기판에 집적되어 있으며 상기 신호발생기로부터 출력되는 공동공진주파수 신호를 증폭하여 출력하는 신호증폭기; 상기 커플링슬롯과 대면하는 위치에 배치되어 상기 증폭된 공동공진주파수 신호를 상기 커플링슬롯을 통하여 상기 공동공진기 내부로 입력하는 신호입력단자;를 구비한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마이크로 분사기의 다른 실시예로서, 상기 신호인가부는
상기 기판을 사이에 두고 상기 액체토출구와 상호 대면하는 위치의 상기 기판에 배치되어 있고, 상기 노즐에 대응하는 위치에 상기 노즐이 연장되어 형성되어 있으며, 상기 액체토출구를 통하여 상기 공동공진기 내부로 상기 공동공진주파수 신호를 입력한다.
상기 본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드는 도체로 밀폐되어 있고, 소정의 공동공진주파수(cavity resonance frequency)신호를 입력 받아 공진하여 그 내부의 압력을 상승시키는 다수의 공동공진기; 외부로부터 입력되는 제어신호에 따라 상기 다수의 공동공진기 각각에 대하여 상기 공동공진주파수 신호를 발생하여 상기 공동공진기 내부로 입력하는 신호인가부; 상기 공동공진기 내부로 액체를 유입하기 위하여 상기 공동공진기에 각각 형성되어 있는 액체유입구; 상기 다수의 액체유입구에 접하여 배치되어 있고, 상기 액체유입구를 통해 상기 공동공진기 내부로 잉크를 공급하는 액실; 상기 공동공진기에 각각 형성되어 있고, 상기 공동공진기의 내압이 상승시에 상기 공동공진기에 유입된 액체를 토출하는 액체토출구;를 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터헤드의 제 1실시예의 단면도이고, 도 2b는 도 2a의 프린터 헤드의 배면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로 분사기는 그 내부에 내압실(27)이 마련되어 있고, 상부면에 액체유입구(21)가 마련되어 있으며, 그 하측면에 공동공진주파수 신호를 입력받기 위한 커플링슬롯(23) 및 액체토출구(30)가 마련되어 있는공동공진기(20)를 구비한다.
그리고 본 발명에 따른 마이크로 분사기는 공동공진기(20)의 하부면에 접합되어 있고 액체토출구(30)(30)에 대응하는 위치에 노즐(22)이 마련되어 있는 기판(29)을 구비하고, 기판(29)의 하부면에 접합되어 있는 신호인가부(31)를 구비한다.
신호인가부(31)는 기판(29)을 사이에 두고 커플링슬롯(23)과 대면하는 위치에 배치되어 있는 신호입력단자(24), 신호입력단자(24)의 일측면에 배치되어 있고 공동공진주파수 신호를 발생하는 신호발생기(25), 및 발생된 공동공진주파수 신호를 증폭하는 신호증폭기(26)를 구비한다.
공동공진기(20)가 공진할 수 있는 공동공진주파수(cavity resonance frequency)는 공동의 부피 등에 대한 함수로서, 이는 공지된 기술이므로 자세히 언급하지 않는다.
공동공진기(20)가 그 내부의 물질을 토출하는 원리는 다음과 같다.
즉, 공동공진기(20)는 밀폐되어 있는 구조의 메탈소재로서, 공동공진주파수가 그 내부에 입력되면 공진을 하게 되고, 그 공진은 그 내부의 물질에 전달되어 내부물질의 부피가 팽창하면서 공동공진기(20) 내부의 내압이 상승시킨다. 그 결과, 내부물질이 작은 토출구를 통하여 외부로 분사된다.
공동공진기(20)의 공동의 부피는 대략경우, 이에 대응하는 공동공진주파수 신호를 공동공진기(20)에 입력할 때 그 입력에너지는의 범위로 함이 바람직하며, 이 때 공동공진기(20) 내부의 액체가 외부로 토출되는 에너지인 출력에너지는 약이다.
공동공진기(20)는 그 하부면에 소정의 크기를 갖는 커플링슬롯(23)을 구비하는데, 커플링슬롯(23)은 공동공진기(20) 내부로 공동공진주파수(cavity resonance frequency) 신호를 입력받기 위한 슬롯이다.
공동공진기(20)는 그 상부면에 공동공진기(20) 내부로 액체가 유입되는 경로인 액체유입구(21)를 구비한다.
액체유입구(21)는 공동공진기(20) 내부의 액체가 내압실(27)의 내압상승시에 액체유입구(21)를 통해 외부로 역류되는 것을 방지한다.
그리고, 공동공진기(20)는 그 하부면에 액체토출구(30)를 구비한다.
공동공진기(20)가 공동공진주파수를 입력받아 공진 하게되면 내압실(27)의 내압이 증가하게 되고, 내압실(27)의 액체가 액체토출구(30)를 통해 외부로 토출된다.
공동공진기(20)의 하부면에는 공동공진기(20)와 상호 접합되어 있는 기판(29)이 마련된다.
기판(29)은 공동공진기(20)의 액체토출구(30)에 대응하는 위치에 노즐(22)을 구비하며, 내압실(27)의 액체는 노즐(22)을 통하여 액적의 상태로 외부로 토출된다.
기판(29)의 하부면에는 신호발생기(25), 신호증폭기(26), 및 신호입력단자(24)를 구비하는 신호인가부(31)가 배치된다.
신호발생기(25)는 외부로부터 입력되는 제어신호(미도시)에 따라 공동공진기(20)가 공진 할 수 있는 공동 공진주파수 신호를 발생하여 신호증폭기(26)로 출력한다.
신호증폭기(26)는 외부로부터 입력되는 제어신호에 따라 신호발생기(25)로부터 출력되는 공동공진주파수 신호를 입력받아 이를 증폭하여 신호입력단자(24)로 인가한다.
신호입력단자(24)는 기판(29) 하부면의 커플링슬롯(23)과 대면하는 위치에 배치된다.
신호증폭기(26)로부터 인가되는 공동공진주파수 신호는 도체는 통과하지 못하지만 기판(29)을 통과하여 커플링슬롯(23)을 통해 공동공진기(20) 내부로 입력된다.
그, 결과 액체유입구(21)를 통해 유입된 액체는 그 부피가 증가하게 됨으로써 내압실(27)의 내압을 상승시키고 액체토출구(30) 및 노즐(22)을 통하여 액적의상태로 외부로 분사된다.
그리고, 공동공진기(20) 내부로의 신호 입력이 멈추면, 내압실(27) 내부에 남아있는 액체는 그 부피가 다시 축소하게 되고, 그 결과 내압실(27)의 내압이 감소되어 액체유입구(21)를 통해 내압실(27) 내부로 다시 유입된다.
본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드는, 상기한 마이크로 분사기를 다수 포함하며 각각의 액체유입구(21)를 통해서 내압실(27)로 잉크를 공급하기 위하여 공동공진기(20) 상부에 배치되어 있는 액실(28)을 구비한다.
단일색상에 대응하는 다수의 공동공진기(20)에 대하여 하나의 액실(28)이 마련된다.
이러한 구조를 갖는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드의 동작에 있어서, 다수의 공동공진기(20)에 대응하는 각각의 신호인가부(31)는 외부로부터 입력되는 제어신호에 따라 공동공진주파수 신호를 발생하여 공동공진기(20) 내부로 입력하여 공동공진기(20)를 공진시킨다. 그 결과, 내압실(27) 내부의 압력이 상승하게 되고, 내압실(27) 내부의 액체는 액체유입구(21)를 통하여 역류되지 않으므로 액체토출구(30) 및 노즐(22)을 통하여 액적의 상태로 공동공진기(20) 외부로 분사된다.
바람직하게는, 신호증폭기(26)의 증폭율과 공동공진기(20)에 공동공진주파수 신호를 인가하는 시간을 미세하게 조절함으로써 내압실(27)의 내압을 용이하게 제어할 수 있고 잉크의 토출량을 정밀하게 제어할 수 있다.
도 3a 및 도 3b를 참조하여 본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드의 제 2실시예에 대해 설명한다.
도 3a는 본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드의 제 2실시예의 단면도이고 도 3b는 도 3a의 프린터 헤드의 배면도이다.
도시된 바와 같이, 상기 프린터 헤드의 제 2실시예는 상기한 제 1실시예의 구조에서 커플링슬롯(23)을 구비하지 않으며, 신호입력단자(24)가 노즐(22)의 하부면까지 연장되어 배치되는 구조이다.
신호증폭기(26)로부터 인가되는 공동공진 주파수 신호는 잉크토출구(21)를 통하여 공동공진기(20) 내부로 입력되며, 이러한 구조를 갖는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드의 동작은 본 발명의 제 1실시예와 동일하다.
즉, 신호발생기(25)에서 발생된 공동공진주파수 신호는 신호증폭기(26)에 의해 증폭되고 액체토출구(21)를 통하여 공동공진기(20) 내부로 유입되어 공동공진기(20)를 공진시킨다. 그 결과, 내압실(27) 내부의 압력이 상승하게 되고, 내압실(27) 내부의 액체는 액체유입구(21)를 통하여 외부로 역류되지 않으므로 액체토출구(30) 및 노즐(22)을 통하여 액적의 상태로 공동공진기(20) 외부로 분사된다.
본 발명에 따른 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드에 의하면, 잉크토출 반응속도가 빠르고, 잉크의 토출량을 정밀하게 제어하기가 용이하며, 그 구조가 간단하여 노즐의 고집적화가 용이한 프린터 헤드를 제공 할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

Claims (9)

  1. 잉크젯 프린터 헤드에 있어서,
    소정의 공동공진주파수(cavity resonance frequency)신호를 입력 받아 공진하여 그 내부의 압력을 상승시키는 다수의 공동공진기;
    외부로부터 입력되는 제어신호에 따라 상기 다수의 공동공진기 각각에 대하여 상기 공동공진주파수 신호를 발생하여 상기 공동공진기 내부로 입력하는 신호인가부;
    상기 공동공진기 내부로 잉크를 공급하는 액실;
    상기 공동공진기에 각각 형성되어 있고, 상기 공동공진기의 내압이 상승시에 상기 공동공진기에 유입된 액체를 토출하는 액체토출구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 다수의 공동공진기가 소정 간격으로 배치되어 있는 상태에서, 상기 액체토출구가 배치되어 있는 상기 공동공진기의 일측면에 접합되어 있으며, 상기 액체토출구의 위치에 대응하여 노즐이 각각 형성되어 있는 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 공동공진기는
    상기 기판과 접하는 면에 형성되어 있으며, 상기 공동공진주파수 신호를 상기 공동공진기 내부로 전달받는 커플링슬롯을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 신호인가부는
    상기 기판을 사이에 두고 상기 커플링슬롯과 상호 대면하는 위치에 대응하여 각각 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 신호인가부는
    상기 공동공진주파수 신호를 발생하여 출력하는 신호발생기;
    상기 커플링슬롯과 대면하는 위치에 배치되어 상기 공동공진주파수 신호를 상기 커플링슬롯을 통하여 상기 공동공진기 내부로 입력하는 신호입력단자;를 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 신호인가부는
    상기 신호발생기로부터 출력되는 공동공진주파수 신호를 증폭하여 출력하는신호증폭기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  7. 제 2항에 있어서, 상기 신호인가부는
    상기 기판을 사이에 두고 상기 액체토출구와 상호 대면하는 위치의 상기 기판에 배치되어 있고, 상기 노즐에 대응하는 위치에 상기 노즐이 연장되어 형성되어 있으며, 상기 액체토출구를 통하여 상기 공동공진기 내부로 상기 공동공진주파수 신호를 입력하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 공동공진기는
    상기 공동공진기의 일측면에 형성되어 있어 상기 공동공진주파수 신호를 상기 공동공진기 내부로 전달받는 커플링슬롯을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 공동공진기 내부로 액체를 유입하기 위한 액체유입구를 더 구비하여 상기 공동공진기의 내압이 상승시에, 상기 공동공진기 내부의 액체가 상기 액체유입구를 통하여 상기 액실로 역류되지 않도록 방지함을 특징으로 하는 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드.
KR10-2002-0063573A 2002-10-17 2002-10-17 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드 KR100452849B1 (ko)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0063573A KR100452849B1 (ko) 2002-10-17 2002-10-17 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드
EP03256382A EP1410911B1 (en) 2002-10-17 2003-10-09 Printer head using a radio frequency micro-electromechanical system (RF MEMS) sprayer
ES03256382T ES2254878T3 (es) 2002-10-17 2003-10-09 Cabezal de impresora que utiliza un pulverizador de sistema microelectromecanico de radiofrecuencia (rf mems).
DK03256382T DK1410911T3 (da) 2002-10-17 2003-10-09 Skrivehoved, der anvender en radiofrekvens-mikroelektromekanisk system (RF-MEMS)-sprayer
AT03256382T ATE316005T1 (de) 2002-10-17 2003-10-09 Druckkopf mit einem mikro-elektromechanischen funkfrequenzsystem (rf mems) zum ausstossen von tintentropfen
DE60303265T DE60303265T2 (de) 2002-10-17 2003-10-09 Druckkopf mit einem mikro-elektromechanischen Funkfrequenzsystem (RF MEMS) zum Ausstossen von Tintentropfen
CNB2003101012296A CN1239324C (zh) 2002-10-17 2003-10-15 使用射频微机电系统喷头的打印头
US10/686,770 US7083260B2 (en) 2002-10-17 2003-10-17 Printer head using a radio frequency micro-electromechanical system (RF MEMS) sprayer
JP2003357277A JP4118781B2 (ja) 2002-10-17 2003-10-17 マイクロスプレーを用いたプリンタヘッド
TW092128848A TWI236975B (en) 2002-10-17 2003-10-17 Printer head using a radio frequency micro-electromechanical system (RF MEMS) sprayer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0063573A KR100452849B1 (ko) 2002-10-17 2002-10-17 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040034921A KR20040034921A (ko) 2004-04-29
KR100452849B1 true KR100452849B1 (ko) 2004-10-14

Family

ID=36143620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2002-0063573A KR100452849B1 (ko) 2002-10-17 2002-10-17 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7083260B2 (ko)
EP (1) EP1410911B1 (ko)
JP (1) JP4118781B2 (ko)
KR (1) KR100452849B1 (ko)
CN (1) CN1239324C (ko)
AT (1) ATE316005T1 (ko)
DE (1) DE60303265T2 (ko)
DK (1) DK1410911T3 (ko)
ES (1) ES2254878T3 (ko)
TW (1) TWI236975B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2600416A1 (en) * 2004-11-01 2006-05-11 Basf Corporation Radiofrequency activated inkjet inks and apparatus for inkjet printing
CN107106325B (zh) * 2015-01-12 2021-05-25 科达莱昂治疗公司 微滴递送设备和方法
DE102018216412A1 (de) * 2018-09-26 2020-03-26 Heidelberger Druckmaschinen Ag Verfahren zum Drucken eines Bildes mit flüssiger Tinte
CN109720090B (zh) * 2019-03-14 2021-03-16 合肥鑫晟光电科技有限公司 打印装置、打印系统、打印方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0421718A1 (en) * 1989-10-03 1991-04-10 Xerox Corporation Ink drop printhead
JPH11207941A (ja) * 1998-01-27 1999-08-03 Sharp Corp インクジェット記録装置
JP2000025216A (ja) * 1998-06-18 2000-01-25 Xerox Corp 音響小滴噴出装置及びそれを用いた印刷における均一性を改善する方法
JP2000071441A (ja) * 1998-08-27 2000-03-07 Xerox Corp 音響インクジェットプリントヘッド
JP2000127377A (ja) * 1998-10-28 2000-05-09 Xerox Corp 音響インクジェット・プリントヘッド

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4323908A (en) * 1980-08-01 1982-04-06 International Business Machines Corp. Resonant purging of drop-on-demand ink jet print heads
US5825386A (en) * 1995-03-09 1998-10-20 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric ink-jet device and process for manufacturing the same
DE60005288T2 (de) * 2000-01-11 2004-07-01 Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon Tintenstrahldruckkopf mit mehrfach gestapeltem PZT Antriebselement
US6474786B2 (en) * 2000-02-24 2002-11-05 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Micromachined two-dimensional array droplet ejectors
JP2002036534A (ja) * 2000-05-16 2002-02-05 Fuji Xerox Co Ltd 音響プリンタの駆動回路及び音響プリンタ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0421718A1 (en) * 1989-10-03 1991-04-10 Xerox Corporation Ink drop printhead
JPH11207941A (ja) * 1998-01-27 1999-08-03 Sharp Corp インクジェット記録装置
JP2000025216A (ja) * 1998-06-18 2000-01-25 Xerox Corp 音響小滴噴出装置及びそれを用いた印刷における均一性を改善する方法
JP2000071441A (ja) * 1998-08-27 2000-03-07 Xerox Corp 音響インクジェットプリントヘッド
JP2000127377A (ja) * 1998-10-28 2000-05-09 Xerox Corp 音響インクジェット・プリントヘッド

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040034921A (ko) 2004-04-29
EP1410911A1 (en) 2004-04-21
DE60303265T2 (de) 2006-08-03
TWI236975B (en) 2005-08-01
CN1239324C (zh) 2006-02-01
US20040227787A1 (en) 2004-11-18
JP2004136685A (ja) 2004-05-13
EP1410911B1 (en) 2006-01-18
US7083260B2 (en) 2006-08-01
DK1410911T3 (da) 2006-04-18
JP4118781B2 (ja) 2008-07-16
TW200418647A (en) 2004-10-01
ATE316005T1 (de) 2006-02-15
ES2254878T3 (es) 2006-06-16
DE60303265D1 (de) 2006-04-06
CN1496832A (zh) 2004-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080129772A1 (en) Apparatus and method of preventing drying of ink in inkjet printhead and printing method using inkjet printer
KR100452849B1 (ko) 마이크로 분사기를 이용한 프린터 헤드
US7524025B2 (en) Inkjet printer
US8794742B2 (en) Discharge head and discharge apparatus
US6805420B2 (en) Drive unit for liquid ejection head and liquid ejection apparatus provided with such unit
EP2054231B1 (en) Continuous printing using temperature lowering pulses
JP2011104916A (ja) 液体噴射装置
JPH0664161A (ja) インクジェットプリンタのインク粒子形成方法
JPH07178907A (ja) インクジェット式記録ヘッドの駆動装置及び駆動方法
JP2006060127A (ja) アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンタ、アクチュエータポンプ、およびアクチュエータの製造方法
US6655787B1 (en) Drop-on-demand liquid emission using symmetrical electrostatic device
US7712871B2 (en) Method, apparatus and printhead for continuous MEMS ink jets
KR100213716B1 (ko) 잉크분사장치
JPH0691873A (ja) インクジェットヘッド
JP2002264338A (ja) 液体噴射装置、その製造方法、および、インクジェットプリンタ
KR20190046000A (ko) 잉크 토출장치
US20120223985A1 (en) Ink-jet device
KR20110125739A (ko) 더블 압전 잉크젯 프린터 헤드
JPH02253963A (ja) インクジェット記録ヘッド
JPH11300952A (ja) インクジェットヘッドの駆動方法及びその装置
JP2005335171A (ja) インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ
JP2012196938A (ja) 液体噴射装置
JP2000301721A (ja) インクジェットプリントヘッド
JPH11309849A (ja) インクジェットヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120914

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130924

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee