KR100402846B1 - Surface treatment device - Google Patents

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KR100402846B1
KR100402846B1 KR10-2001-0022269A KR20010022269A KR100402846B1 KR 100402846 B1 KR100402846 B1 KR 100402846B1 KR 20010022269 A KR20010022269 A KR 20010022269A KR 100402846 B1 KR100402846 B1 KR 100402846B1
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conveying
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surface treatment
plate
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KR10-2001-0022269A
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안자이후미오
이요베마스지로
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주식회사 티케이씨
가부시키가이샤 아루멕쿠스
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Abstract

본 발명은 표면처리장치에 관한 것으로서 반송 가이드의 반송방향으로 상류측에, 표면 처리조 내를 반송중인 평판 형상물의 양면측으로부터 액체를 강제 분류(噴流)시켜 상기 평판 형상물의 선단부가 반송 가이드에 충돌하는 것을 회피하면서 상기 평판 형상물의 선단부를 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로 내에 확실하게 도입안내 가능하게 형성된 액체 분류도입 안내수단을 설치한 것으로, 액체속의 평판 형상물의 자세를 정리하면서 반송 가이드 사이로 확실하게 도입시키는 표면처리장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment apparatus, in which liquid is forcibly separated from both sides of a plate-like product being conveyed in the surface treatment tank upstream in the conveying direction of the conveyance guide, and the tip of the plate-shaped article collides with the conveying guide. The liquid flow guide guide means is formed in the conveying path surrounded by both conveying guides while avoiding the above-mentioned. The liquid flow guide guide means is provided reliably to introduce between the conveying guides while arranging the attitude of the flat substance in the liquid. It is characterized by providing a surface treatment apparatus.

Description

표면처리장치{SURFACE TREATMENT DEVICE}Surface Treatment Equipment {SURFACE TREATMENT DEVICE}

본 발명은 표면 처리조 내에 폭 방향으로 이격 설치된 한쌍의 반송 가이드를 구비하고, 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로를 따른 반송방향으로 평판 형상물의 세로 현수 자세를 유지하면서 상기 평판 형상물을 반송 가능하게 하고 또한 반송중인 평판 형상물에 표면처리를 실시하는 표면처리장치에 관한 것이다.The present invention includes a pair of conveying guides spaced apart in the width direction in the surface treatment tank, and enables the conveying of the plate-like article while maintaining the longitudinal suspension attitude of the plate-shaped article in the conveying direction along the conveying path surrounded by both conveying guides. The surface treatment apparatus which surface-treats on the flat-form object in conveyance.

피처리물의 표면처리방법에서는 배열된 각 처리조를 차례로 반송 가능하게 해 두고, 피처리물을 최초의 처리조 내에 침지하여 소정 시간만큼 상기 처리를 실시하고, 처리후에 피처리물을 끌어 올리고 다음의 처리조로 반송하며 다음의 처리조에서 소정 시간만큼 상기 처리를 실시한다. 이하, 동일한 순서를 반복하는 배치(batch)방식과, 반송방향으로 긴 처리조내에 피처리물을 침지하고 이 피처리물의 침지상태를 유지하고 반송방향의 상류측으로부터 하류측으로 연속적으로 반송하면서 처리하는 연속방식이 있다.In the surface treatment method of the object to be processed, each of the arranged treatment tanks can be transported in turn, the object to be treated is immersed in the first treatment tank, and the treatment is carried out for a predetermined time. It returns to a process tank and performs the said process for a predetermined time in the next process tank. Hereinafter, a batch method of repeating the same procedure and processing by immersing the object in a processing tank long in the conveying direction, maintaining the immersion state of the object and continuously conveying it from the upstream side to the downstream side in the conveying direction There is a continuous method.

여기서 피처리물이 평판 형상물이고 세로 현수 자세로 처리하는 경우, 배치방식은 각 처리조마다 즉 각 평판 형상물마다 표면처리품질의 편차가 발생하기 쉽다. 처리액의 조성, 급전유형 및 전력집중, 마스킹 효과 등의 편차가 있기 때문이다.In the case where the object to be treated is a flat plate and treated in a vertical suspension position, the arrangement method tends to cause variation in surface treatment quality for each treatment tank, that is, for each flat plate. This is because there are variations in the composition of the treatment liquid, the power supply type, the power concentration, and the masking effect.

한편 연속방식은 각 평판 형상물마다 표면처리품질의 편차가 매우 적고 생산성이 높다. 이렇게 하여, 예를 들어 프린트 배선기판(평판 형상물)의 경우에는 연속방식이 채용되는 경우가 많다.On the other hand, in the continuous method, the variation of the surface treatment quality is very small and the productivity is high for each flat form. In this way, for example, in the case of a printed wiring board (flat plate), a continuous method is often employed.

이 연속방식의 표면처리장치에서는 평판 형상물을 직접 또는 예를 들어 행거(hanger)를 통하여 간접적으로 세로 현수 자세로 반송수단에 부착한다. 즉, 평판 형상물의 각 면(양측면)을 반송로 즉 반송방향과 평행이 되는 자세로 부착한다.In this continuous surface treatment apparatus, the plate-shaped object is attached to the conveying means either directly or indirectly through a hanger, for example in a longitudinal suspension posture. That is, each surface (both sides) of a flat-form thing is attached in a conveyance path, ie, a posture parallel to a conveyance direction.

여기에서, 반송수단을 구동하면 각 평판 형상물은 세로 현수 자세를 유지한 채로 반송로를 따른 반송방향으로 연속적으로 반송된다. 그리고, 표면 처리조 내의 반송(이행) 중에 급전수단으로부터 각 평판 형상물에 급전된다. 따라서, 각 평판 형상물의 표면 처리 조건을 균일하게 할 수 있어, 편차가 없는 고품질의 표면처리(예를 들어, 도금처리)를 실시할 수 있다.Here, when the conveying means is driven, each plate-like article is continuously conveyed in the conveying direction along the conveying path with the longitudinal suspension attitude maintained. Then, the power is fed from the power supply means to the respective flat plate-shaped objects during conveyance (transition) in the surface treatment tank. Therefore, the surface treatment conditions of each plate-shaped object can be made uniform, and high quality surface treatment (for example, plating process) without a deviation can be performed.

그러나, 평판 형상물이 예를 들어 프린트 배선 기판마다 두께(양면간 치수)가 얇은 것은 반송속도에도 영향을 받지만 처리액 속을 반송할 때 프린트 배선기판이 반송방향과 직교하는 방향으로 만곡, 절곡이 발생하고, 또한 요동이나 진동이 발생하는 경우가 있다. 이것은 처리조 내에서의 전극간 거리가 변동되므로 품질열악화를 면할 수 없다. 또한, 처리조 내장부재와의 충돌에 의해 프린트 배 선 기판의 파손이나 내장부재 자체의 변형 등을 발생시킬 우려가 있다.However, a thin plate (both dimensions) for each printed wiring board is also affected by the conveying speed, but when the conveyed liquid is conveyed in the processing liquid, bending and bending occur in the direction perpendicular to the conveying direction. In addition, oscillation or vibration may occur. This is inevitably deteriorated because the distance between electrodes in the treatment tank is varied. In addition, there is a fear that damage to the printed wiring board, deformation of the built-in member itself, or the like may occur due to the collision with the processing vessel built-in member.

그래서, 본 출원인은 도 5, 도 6에 도시한 바와 같이 처리조(10)내에서 반송로(R)의 양측에 상하 방향으로 이격되고 또한 반송(X) 방향으로 연장되는 상태에서 가이드 포스트(81)에 설치된 복수의 와이어(반송 가이드)(82)를 갖는 반송 가이드 수단(80)을 설치한 장치를 제안(예를 들어, 일본 특원 2000-38682호)하고 있다. 반송 가이드(82)간의 수평방향의 간격(폭)(Dg)은 예를 들어 16㎜이다.Therefore, the applicant of the present invention is a guide post 81 in a state spaced apart in the vertical direction on both sides of the conveying path (R) and extended in the conveying (X) direction in the processing tank 10, as shown in Figs. The apparatus which provided the conveyance guide means 80 which has several wire (conveyance guide) 82 provided in () is proposed (for example, Japanese Patent Application No. 2000-38682). The horizontal space | interval (width) Dg between the conveyance guides 82 is 16 mm, for example.

이렇게 하여 액체(Q)속에서 또한 간격(Dg) 내에서의 워크 자유 운동을 규제함으로써 워크(W)의 만곡변형 등을 방지할 수 있고 또한 상기 워크(W)의 세로 현수 자세를 유지하면서 반송로(R)를 따라서 반송 안내할 수 있다. 즉, 안정적이고 원활하게 평판 형상물(W)을 반송할 수 있었다. 즉, 고품질 처리를 실시할 수 있다. 액체중 반송속도의 고속화도 도모할 수 있다.In this way, by restricting the workpiece free movement in the liquid Q and in the distance Dg, it is possible to prevent the bending deformation of the work W and the like while maintaining the longitudinal suspension posture of the work W. The conveyance guide can be performed along (R). In other words, the plate-like article W could be transported stably and smoothly. That is, high quality processing can be performed. The speed of conveyance in the liquid can also be increased.

그런데, 액체(Q) 속에서의 평판 형상물(예를 들어 프린트 배선기판)의 반송속도를 한층 고속화시키면 시킬수록, 일의적으로는 생산능률을 향상시킬 수 있다. 그러나, 액체(Q) 속에서의 X방향의 평판 형상물의 반송속도를 고속화하면 할수록 평판 형상물(W)의 선단부(Wa)에 가해지는 액체 저항이 증대되므로, 평판 형상물이 X방향과 직교하는 방향으로 만곡, 접힘 또는 요동하게 된다. 그 결과, 평판 형상물의 선단(Wa)을 간격(Dg)이 작은 후방 배치 반송 가이드(81(82))들 사이에 도입시키는 것이 어려워진다. 이것으로는 절각(折角) 설치한 반송 가이드(81(82))의 기능을 발휘할 수 없어 의미가 없어진다. 즉, 평판 형상물의 선단부(Wa)가 반송 가이드(81(82))의 선단측에 충돌하면, 원활한 반송을 할 수 없으므로 표면처리를 할 수 없고 프린트 배선기판(W) 자체나 처리조 내장품의 변형·파괴를 초래한다. 또한, X방향의 상류측에서 워크(W)가 X방향과 직교(내지 교차)하는 방향으로 만곡, 절곡 또는 요동할 우려가 많으면, 반송 가이드(81(82)) 간의 간격(Dg)을 한층 작게(좁게)할 수 없게 된다.By the way, the more the conveyance speed of the flat-shaped object (for example, a printed wiring board) in liquid Q is made higher, the production efficiency can be improved uniquely. However, the higher the conveyance speed of the plate-like article in the X direction in the liquid Q, the higher the liquid resistance applied to the tip Wa of the plate-like article W, so that the plate-like article is in a direction orthogonal to the X-direction. Bend, fold or oscillate. As a result, it becomes difficult to introduce the front end Wa of the flat plate member between the rear batch conveyance guides 81 (82) having a small distance Dg. This cannot exhibit the function of the conveyance guide 81 (82) which was cut off, and becomes meaningless. That is, when the tip Wa of the flat plate collides with the tip side of the conveyance guide 81 (82), smooth conveyance cannot be performed, so that surface treatment cannot be performed and deformation of the printed wiring board W itself or the processing tank interior is performed. Causes destruction. If the workpiece W is likely to bend, bend, or swing in a direction orthogonal to (or intersecting) the X direction on the upstream side in the X direction, the distance Dg between the conveyance guides 81 (82) is further reduced. I can't (narrow) it.

다시 말하면, 반송중인 프린트 배선기판(W)의 요동폭을 한층 작게 억제하는 것이 곤란해지므로, 처리품질의 한층 더한 향상을 방해하게 된다. 또한, 프린트 배선기판(면)과 처리조내 전극과의 극간 거리가 커지므로, 급전수단의 대형화를 초래한다.In other words, it becomes difficult to further suppress the fluctuation width of the printed wiring board W being conveyed, which further hinders further improvement in processing quality. In addition, the distance between the printed wiring board (surface) and the electrode in the processing tank becomes large, resulting in an increase in the size of the power supply means.

또한, 평판 형상물(프린트 배선기판)을 반송 가이드(82(81))로부터 반출할 때는 표면 처리조(10)내의 넓은 액체(Q)속으로 인출될 뿐이므로 상기 문제점은 발생하지 않는다.Further, when the flat plate (printed wiring board) is taken out from the conveyance guide 82 (81), it is only taken out into the wide liquid Q in the surface treatment tank 10, so that the above problem does not occur.

본 발명의 목적은 액체속의 평판 형상물의 자세를 조정하면서 반송 가이드 사이에 확실하게 도입되는 표면처리장치를 제공하는 데에 있다.An object of the present invention is to provide a surface treatment apparatus which is reliably introduced between conveyance guides while adjusting the attitude of a flat plate in a liquid.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 표면처리장치를 설명하기 위한 평면도,1 is a plan view for explaining a surface treatment apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 실시형태에 관한 표면처리장치를 설명하기 위한 측면도,2 is a side view for explaining a surface treatment apparatus according to the embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 실시형태에 관한 표면처리장치를 설명하기 위한 정면도,3 is a front view for explaining a surface treatment apparatus according to the embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 실시형태에 관한 표면처리장치의 도입 정류판, 액체 분류구 및 돌기 가이드를 설명하기 위한 확대도,4 is an enlarged view for explaining an introduction rectifying plate, a liquid jetting hole, and a projection guide of a surface treatment apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 5는 종래예에서의 반송 가이드 수단을 설명하기 위한 평면도 및5 is a plan view for explaining a conveyance guide means in a conventional example;

도 6은 종래예에서의 반송 가이드 수단을 설명하기 위한 측면도이다.It is a side view for demonstrating the conveyance guide means in a prior art example.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 표면 처리조 10A: 침지 투입 안내조(표면 처리조)10: surface treatment tank 10A: immersion injection guide tank (surface treatment tank)

10B: 도금 처리조(표면 처리조) 19: 액체 분류도입 안내수단10B: Plating Treatment Tank (Surface Treatment Tank) 19: Liquid Classification Introduction Guide Means

31: 도입 정류판 33: 액체 분류구31: introduction rectifying plate 33: liquid fractionator

41: 액체 순환계 42: 흡입관41: liquid circulation system 42: suction pipe

43: 순환 펌프 45: 공급관43: circulation pump 45: supply pipe

51: 돌기 가이드 60: 전극51: projection guide 60: electrode

70: 세로 현수 자세 유지수단 71: 틀체70: vertical suspension posture maintenance means 71: frame

72: 가동부재 73: 협지부재72: movable member 73: sandwiching member

80: 반송 가이드 수단 81: 가이드 포스트(반송 가이드)80: conveying guide means 81: guide post (conveying guide)

82: 와이어(반송 가이드) R: 반송로82: wire (carrying guide) R: transport path

X: 반송방향X: conveying direction

W: 워크(프린트 배선기판…평판 형상물)W: Work (printed wiring board… flat shape)

Wa: 선단부 Du: 상류측의 간격(폭)Wa: Tip portion Du: Spacing on the upstream side (width)

Dd: 하류측의 간격(폭) Dg: 반송 가이드의 간격Dd: downstream spacing (width) Dg: spacing of conveyance guides

S: 공간S: space

청구항 1의 발명은 표면 처리조 내에 폭방향으로 이격 설치된 한쌍의 반송 가이드를 구비하고, 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로를 따른 반송방향으로 평판 형상물의 세로 현수 자세를 유지하면서 상기 평판 형상물을 반송 가능하고 또한 반송중인 평판 형상물에 표면처리를 실시하는 표면처리장치에 있어서, 상기 반송 가이드의 상기 반송방향으로 상류측에, 상기 표면 처리조 내를 반송중인 상기 평판 형상물의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시켜 상기 평판 형상물의 선단부가 상기 반송 가이드에 충돌하는 것을 회피하면서 상기 평판 형상물의 선단부를 상기 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로내에 확실하게 도입안내 가능하게 형성된 액체 분류도입 안내수단을 설치한 표면처리장치이다.The invention of claim 1 includes a pair of conveying guides spaced apart in the width direction in a surface treatment tank, and is capable of conveying the flattened article while maintaining the longitudinal suspension posture of the flattened article in the conveying direction along a conveying path surrounded by both conveying guides. In the surface treatment apparatus which surface-treats the conveying flat plate shape, liquid is forcibly sorted from the both sides of the said flat plate material conveying the inside of the said surface treatment tank to the upstream side of the said conveyance guide in the conveyance direction, It is a surface treatment apparatus provided with the liquid classification introduction guide means formed so that the front-end | tip of the said flat-shaped object can be guided in the conveyance path enclosed by the said two conveyance guides reliably, while avoiding the collision of the front-end | tip part of a flat-form thing.

이러한 발명에서는 평판 형상물을 표면 처리조 내의 액체속을 반송로를 따른 반송방향으로 반송하면서 상기 평판 형상물을 반송 가이드의 반송방향으로 상류측에 설치된 액체 분류도입 안내수단에 인도한다.In this invention, the flat plate is conveyed to the liquid flow guide guide means provided on the upstream side in the conveying direction of the conveying guide while conveying the liquid in the surface treatment tank in the conveying direction along the conveying path.

액체 분류도입 안내수단은 평판 형상물의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시켜 상기 평판 형상물의 자세를 정리하고 그 선단부가 반송방향으로 하류측에 설치된 반송 가이드에 충돌하는 것을 회피하면서 처리조내 폭방향으로 이격 설치된 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로내에 상기 평판 형상물의 선단부를 도입 안내할 수 있다.The liquid flow guide guide means separates the posture of the flat plate by forcibly classifying the liquid from both sides of the flat plate, and the space is spaced apart in the width direction of the processing tank while avoiding the tip of the flat plate from colliding with the transfer guide provided downstream. A tip end of the flat plate can be introduced into the conveying path surrounded by both conveying guides.

즉, 액체속의 평판 형상물의 자세를 정리하면서 반송 가이드 사이로 확실하게 도입 안내된다. 따라서, 액체 속에서의 평판 형상물(프린트 배선기판)의 반송속도를 고속화할 수 있으므로 생산능률을 향상시킬 수 있다. 평판 형상물의 선단부가 반송 가이드의 선단측에 충돌하는 것을 피할 수 있으므로 원활한 반송을 할 수 있고 평판 형상물 자체나 처리조 내장품의 변형·파괴를 방지할 수 있다. 또한, 반송 가이드간의 간격을 보다 작게 할 수 있으므로 처리품질의 한층 더한 향상을 도모할 수 있고, 전해처리의 경우에는 극간 거리를 작게 할 수 있으므로 급전수단의 소형화도 도모할 수 있다.That is, it introduces and guides reliably between conveyance guides, arranging the attitude | position of the flat-like thing in a liquid. Therefore, the conveyance speed of the flat plate (printed wiring board) in the liquid can be speeded up, and production efficiency can be improved. Since the tip end of the flat plate can be avoided from colliding with the tip side of the conveying guide, smooth conveyance can be performed, and deformation and destruction of the flat plate itself and the processing vessel interior can be prevented. In addition, since the distance between the conveying guides can be made smaller, further improvement in the processing quality can be achieved, and in the case of electrolytic treatment, the distance between the poles can be made small, so that the power supply means can be miniaturized.

또한, 청구항 2의 발명은 상기 액체 분류도입 안내수단이, 상기 평판 형상물의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시킬 때에 상기 액체의 흐름이 상기 반송방향의 상류측으로부터 하류측을 향하고 또한 평판 형상물의 각면에 흘러 접촉하도록 액체 분류 가능하게 형성된 표면처리장치이다.In addition, in the invention of claim 2, the liquid flow is directed toward the downstream side from the upstream side of the conveying direction when the liquid flow-introducing guide means forcibly classifies the liquid from both sides of the plate-like article. It is a surface treatment apparatus formed so that liquid classification is possible so that it may flow and contact.

이러한, 발명에서는 액체 분류도입 안내수단은 액체의 흐름이 반송방향의 상류측에서 하류측을 향하고 또한 평판 형상물의 각 면에 흘러 접촉되도록 반송 가이드의 반송방향의 상류측에서 평판 형상물의 양면측에서 액체를 강제 분류시킨다. 따라서, 청구항 1의 발명의 경우와 동일한 작용효과를 나타낼 수 있고, 또한 액체의 흐름 자체가 평판 형상물을 반송 가이드측으로 힘을 가하므로 한층 더 원활한 도입안내를 할 수 있다.In this invention, the liquid jet introduction guide means is a liquid on both sides of the plate-shaped product on the upstream side of the conveying direction of the conveying guide so that the flow of liquid is directed from the upstream side to the downstream side in the conveying direction and flows into each face of the flat-shaped product. Force classification Therefore, the same operation and effect as in the case of the invention of claim 1 can be exhibited, and since the flow of liquid itself exerts a force on the flat guide, the guide can be introduced more smoothly.

또한, 청구항 3의 발명은 상기 액체 분류도입 안내수단이 상기 반송방향의 상류측이 폭이 넓고 하류측이 폭이 좁아지도록 대향 설치된 한쌍의 도입 정류판, 각 도입 정류판에 설치되고 또한 상기 표면 처리조 내에서 대면하는 상기 평판 형상물의 각 면을 향하여 액체 분류 가능한 복수의 액체 분류구, 및 각 액체 분류구로부터 분류된 액체를 양 도입 정류판 사이에서 그 아래쪽으로부터 흡입하여 다시 각 액체 분류구로 액체를 공급하는 액체 순환계를 구비하여 이루어진 표면처리장치이다.In addition, the invention of claim 3 further includes a pair of introduction rectifying plates provided on the liquid crystal introduction guide means such that the upstream side of the conveying direction is wider and the downstream side is narrower; A plurality of liquid sorting spheres capable of classifying liquid toward each side of the flat face facing in the tank, and the liquids sorted from each liquid sorting sphere are sucked from below between both inlet rectifying plates, and the liquid is drawn back into each liquid sorting sphere. It is a surface treatment apparatus provided with the liquid circulation system to supply.

이러한 발명에서는 평판 형상물을 표면 처리조 내의 액체속을 반송방향으로 반송하면서 액체 분류도입 안내수단을 구성하는 한쌍의 도입 정류판 사이로 상기평판 형상물을 안내한다. 이 한쌍의 도입 정류판은 반송방향의 상류측이 폭이 넓고 하류측이 폭이 좁아지도록 대향 설치되어 있다.In this invention, the plate-shaped object is guided between a pair of introduction rectifying plates constituting the liquid flow guide guide means while conveying the liquid in the surface treatment tank in the conveying direction. The pair of introduction rectifying plates are provided so that the upstream side in the conveying direction is wider and the downstream side is narrower.

이렇게 하여 평판 형상물의 선단부를 폭이 넓은 상류측 도입 정류판 사이로 확실하고 용이하게 도입할 수 있음과 동시에, 교축 작용에 의해 액체흐름의 속도를 반송방향의 상류측에서 하류측으로 감에 따라서 빠르게 할 수 있고, 또한 반송중인 평판 형상물의 선단측을 반송 가이드를 향하여 끌어 들이는(또는 밀어 넣는) 작용을 야기시킬 수 있다.In this way, the tip of the flat plate can be reliably and easily introduced between the wide upstream side rectifying plates, and the speed of liquid flow can be increased by moving from the upstream side to the downstream side in the conveying direction by the throttling action. And inducing (or pushing) the front end side of the plate-shaped object being conveyed toward the conveyance guide.

또한, 각 도입 정류판에 설치된 복수의 액체 분류구로부터 표면 처리조 내에서 대면하는 평판 형상물의 각 면(양쪽면)을 향하여 액체를 분류한다. 이 액체는 액체 순환계에서 회수·재순환 사용된다. 즉, 각 액체 분류구로부터 평판 형상물의 각 면을 향하여 분류된 액체는 평판 형상물의 자세를 바르게 한 후 양 도입 정류판의 사이에서 그 아래쪽으로부터 흡입되고, 반송중의 평판 형상물의 하단측을 아래쪽을 향하여 끌어 들이는(또는 밀어 넣는) 작용을 야기한다. 그리고, 다시 각 액체 분류구로 액체 공급된다.Furthermore, liquid is sorted toward each surface (both sides) of the plate-shaped object facing in the surface treatment tank from a plurality of liquid flow dividing holes provided in each introduction rectifying plate. This liquid is recovered and recycled in the liquid circulation system. That is, the liquid sorted from each liquid jet port toward each face of the flat plate is sucked from the lower side between the two rectifying plates after correcting the posture of the flat plate, and the lower end side of the flat plate being conveyed is placed downward. Causing a pull (or push) action towards the end. Then, the liquid is again supplied to each liquid fractionation port.

따라서, 청구항 2 및 청구항 3의 각 발명의 경우와 동일한 작용효과를 나타낼 수 있고, 또한 액체흐름과 양 도입 정류판의 형태의 협력 작용에 의해 평판 형상물(면)의 자세를 안정적이고 확실하게 유지할 수 있음과 동시에 반송 가이드의 간격을 한층 더 좁게 할 수 있으므로 표면처리품질을 한층 향상시킬 수 있다.Therefore, the same effect as the case of each invention of Claims 2 and 3 can be exhibited, and the attitude | position of the plate-shaped object (surface) can be stably and reliably maintained by the cooperative action of the liquid flow and the form of both rectification plates. At the same time, the distance between the conveying guides can be further narrowed, so that the surface treatment quality can be further improved.

또한, 청구항 4의 발명은 상기 각 도입 정류판에는 상기 반송방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이고, 또한 상기 반송방향의 상류측 위치가 높고 하류측 위치가 낮아지는 경사자세이며, 또한 상기 표면 처리조 내에서 상기 평판 형상물의 각 면을 향하는 방향으로 돌출하는 복수의 돌기 가이드를 상하방향으로 이격하여 설치한 표면처리장치이다.Further, the invention of claim 4 is an inclined posture in which each of the introduction rectifying plates has an elongated shape extending in the conveying direction, and the upstream position in the conveying direction is high and the downstream position is lowered. Is a surface treatment apparatus provided with a plurality of projection guides protruding in the direction toward each surface of the flat plate in the vertical direction.

이러한 발명에서는 복수의 돌기 가이드는 반송방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이고 또한 상하방향으로 이격되고 또한 반송방향의 상류측 위치가 높고 하류측 위치가 낮아지는 경사자세로, 각 도입 정류판에 설치되어 있다. 즉, 각 돌기 가이드(평판 형상물)과 각 도입 정류판의 사이에 공간을 확보(확립)할 수 있다.In this invention, the plurality of projection guides are provided in each introduction rectifying plate in an elongated shape extending in the conveying direction, spaced in the vertical direction, and inclined posture in which the upstream position in the conveying direction is high and the downstream position is lowered. . That is, a space can be secured (established) between each projection guide (flat plate-like object) and each introduction rectifying plate.

이렇게 하여, 예를 들어 평판 형상물(면)의 하단부가 가령 처리조내 폭방향으로 만곡되었다고 해도, 상기 평판 형상물(하단부)의 상기 만곡 부분을 상기 공간 내에 수용시킬 수 있으므로 각 도입 정류판에 달라붙는 것을 방지할 수 있다.In this way, for example, even if the lower end of the flat plate (surface) is bent in the width direction of the processing tank, the curved portion of the flat plate (lower end) can be accommodated in the space, so that it adheres to each introduction rectifying plate. It can prevent.

또한, 반송 가이드의 간격을 한층 더 좁게 할 수 있으므로 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다. 또한, 평판 형상물(면)의 만곡 등으로 하단부가 어느 돌기 가이드의 위에 얹히는 경우가 있었다고 해도 하단부가 하류측으로 감에 따라서 상기 돌기 가이드로부터 벗어나(멀어지)므로 상기 하단부가 협지편에 맞물리는 일이 없다.Moreover, since the space | interval of a conveyance guide can be further narrowed, surface treatment quality can be improved further. Further, even if the lower end portion is placed on any of the protrusion guides due to the bending of the flat plate (face) or the like, the lower end portion is engaged with the narrowing piece since the lower end portion is moved away from the protrusion guide (distinguish) as it goes downstream. There is no

따라서, 청구항 2 및 청구항 3의 각 발명의 경우와 동일한 작용효과를 나타낼 수 있고, 또한 원활한 반송과 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다.Therefore, the same effect as the case of each invention of Claim 2 and Claim 3 can be exhibited, and smooth conveyance and surface treatment quality can be improved further.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings.

본 표면처리장치는 도 1∼도 4에 도시한 바와 같이, 반송 가이드(80)의 반송(X)방향으로 상류측에 액체 분류도입 안내수단(30)을 설치하고, 반송 가이드수단(80)(와이어(82)…가이드 포스트(81))의 X방향으로 상류측에 있어서 표면 처리조(10)(10A)내를 반송중인 평판 형상물(워크(W))의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시켜 상기 워크(W)의 선단부(Wa)가 반송 가이드(와이어(82)…가이드 포스트(81))에 충돌하는 것을 회피하면서 그 선단부(Wa)를 양 반송 가이드[와이어(82)(가이드 포스트(81)]로 둘러싸인 반송로(R)내에 확실하게 도입안내 가능하게 형성되어 있다.As shown in Figs. 1 to 4, the surface treatment apparatus is provided with a liquid flow guide guide means 30 upstream in the conveyance (X) direction of the conveyance guide 80, and conveyance guide means 80 ( The liquid is forcibly sorted from both sides of the plate-shaped object (work W) being conveyed in the surface treatment tank 10 (10A) in the upstream side of the wire 82 ... the guide post 81 in the X direction. The tip portion Wa of the workpiece W is prevented from colliding with the conveying guide (wires 82 ... guide posts 81) while the tip portion Wa is moved to both conveying guides [wires 82 (guide posts 81). It is formed in the conveyance path R enclosed by] so that introduction guidance can be carried out reliably.

본 표면처리장치의 기본적 구성·기능은 종래예의 경우(도 5, 도 6)과 동일하게 표면 처리조(10)(10B)내에 폭방향으로 이격 설치된 한쌍의 반송 가이드(와이어(82))를 구비하고, 양 반송 가이드(82)로 둘러싸인 반송로(R)를 따른 X방향으로 평판 형상물(워크(W))의 세로 현수 자세를 유지하면서 상기 워크(W)를 반송 가능하고 또한 반송중인 워크(W)에 표면처리를 실시할 수 있다. 그리고, 본 표면처리장치에서는 프린트 배선기판(평판형성물…워크(W))에 도금(표면처리)를 실시할 수 있는 도금처리장치를 구성하고 있다.The basic structure and function of this surface treatment apparatus include a pair of conveyance guides (wires 82) spaced apart in the width direction in the surface treatment tanks 10 and 10B in the same manner as in the conventional case (FIGS. 5 and 6). The workpiece W can be conveyed and is being conveyed while maintaining the longitudinal suspension posture of the plate-shaped article (work W) in the X direction along the conveyance path R surrounded by both conveying guides 82. ) Can be surface treated. In the present surface treatment apparatus, a plating treatment apparatus capable of plating (surface treatment) on a printed wiring board (flat plate member… work W) is constituted.

도 1에서, 표면 처리조(10)는 편의적으로 X방향의 상류측의 침지 투입 안내조(10A)와 하류측의 도금처리(전해처리)조(10B)로 구성되어 있다. 전체(10A,10B)를 도금처리(전해처리)조로서 취급할 수 있다.In FIG. 1, the surface treatment tank 10 is comprised by 10A of immersion injection guide tanks of the upstream of X direction conveniently, and 10B of plating process (electrolytic treatment) tanks of the downstream. The whole 10A, 10B can be handled as a plating process (electrolytic process) tank.

도금처리(전해처리)조(10B)에는 종래예의 경우(도 5, 도 6)와 동일한 반송 가이드 수단(80)이 설치되고, 침지투입 안내조(10A)내의 X방향의 하류측(안내측…도면에서 우측)에는 액체 분류도입 안내수단(30)이 설치되고, 또한 이 실시형태에서는 그 상류측(침지 투입측…도면에서 좌측)에 세로 현수 자세 유지수단(70)이 설치되어 있다.In the plating treatment (electrolytic treatment) tank 10B, the same conveyance guide means 80 as in the case of the conventional example (FIGS. 5 and 6) is provided, and the downstream side of the X-direction (10. The right side in the figure) is provided with a liquid jet introduction guide means 30, and in this embodiment, a vertical suspension posture maintaining means 70 is provided on the upstream side (immersion input side ... left in the figure).

침지 투입 안내조(10A)에서 평판 형상물(프린트 배선기판…워크(W))은 도시하지 않는 승강수단에 의해 도 2에서 Y방향으로 하강 투입되고, 상기 처리조(10A)내에 침지된다.In the immersion introduction guide tank 10A, the flat plate-like product (printed wiring board ... work W) is lowered in the Y direction in FIG. 2 by lifting and lowering means (not shown), and immersed in the processing tank 10A.

이 침지실행시의 워크(W)의 Y방향으로의 하강속도는 반송수단(내지 승강수단)으로의 워크착탈(로딩·언로딩)의 신속화 촉진의 관점으로부터 표면 처리조(10)(10A,10B)내에서의 X방향의 반송속도 보다 고속으로 설정되어 있다.The lowering speed of the workpiece W in the Y direction during the immersion is performed by the surface treatment tank 10 (10A, 10B) from the viewpoint of facilitating acceleration of work removal (loading and unloading) to the conveying means (or lifting and lowering means). Is set higher than the conveyance speed in the X direction.

이렇게 하여 평판 형상물(W)을 침지투입 안내조(10A)의 침지 투입측에서 액체(Q)속에 침지를 할 때에 강한 액체 저항을 받으므로, 상기 워크(W)에 X방향과 직교(내지 교차)하는 방향의 변형(만곡·절곡 등)이 발생하기 쉽다. 이것을 방치하면 워크(W) 자체나 처리조 내장품(예를 들어 배관)의 파손 등을 초래할 우려가 있다.In this way, a strong liquid resistance is received when the plate-shaped object W is immersed in the liquid Q on the immersion input side of the immersion injection guide tank 10A. Thus, the workpiece W is perpendicular to the X direction (or crosses). Deformation (curvature, bending, etc.) of the direction to be easy to generate | occur | produce. If left unattended, there is a risk of damage to the work W itself or the processing tank interior (for example, piping).

그래서, 이 실시형태에서는 도 1에서 상하 방향으로 이격 접근 가능한 한쌍의 틀체(71)와, 각 틀체(71)에 도 2에서 상하방향으로 간격을 두고 설치되고 좌우방향(X방향)으로 연장되는 복수의 협지부재(73)로 이루어진 세로 현수 자세 유지수단(70)을 설치하고 있다. 각 틀체(71)는 도 2에서 X방향으로 떨어진 2개의 가동부재(72)로 이루어진다.Thus, in this embodiment, a pair of frame bodies 71 which are spaced apart in the vertical direction in FIG. 1 and a plurality of frame bodies 71 spaced apart in the vertical direction in FIG. 2 and extended in the left and right directions (X directions) are spaced apart from each other. The vertical suspension posture holding means (70) consisting of the holding members (73) is provided. Each frame 71 is composed of two movable members 72 separated in the X direction in FIG.

즉, 침지투입 안내조(10A)의 위쪽에서 양 틀체(71)(양쪽의 각 협지부재(73))를 근접시킴으로써 워크(W)를 도 1에 도시한 바와 같이 협지하고 나서 상기 양 틀체(71)마다 워크(W)를 액체속에 침지(하강)시키면 액체 저항에 의한 워크(W)의 처리조내 폭 방향으로의 변형을 방지할 수 있다. 즉, 워크(W)의 세로 현수 자세를 유지한 채로 곧장 침지시킬 수 있는 것이다.That is, the two frame bodies 71 are clamped as shown in FIG. 1 by bringing both frame bodies 71 (both clamping members 73 on both sides) closer to the immersion injection guide tank 10A. When the workpiece W is immersed in the liquid for each step (), the deformation of the workpiece W in the processing tank in the width direction due to the liquid resistance can be prevented. That is, it can be immersed immediately, maintaining the vertical suspension posture of the workpiece | work W.

그리고, 침지투입 안내조(10A)로의 워크 투입침지 후에 양 틀체(71)(양측의 각 협지부재(73))를 이격시켜 워크(W)를 개방하면 세로 현수 자세가 유지되어 있으므로 상기 워크(W)의 반송수단(도시 생략)에 의한 X방향으로의 원활한 반송을 방해하지 않는다.After the workpiece is immersed in the immersion injection guide tank 10A, the work W is opened by spaced apart from the frame 71 (each clamping member 73 on both sides) so that the vertical suspension posture is maintained. Does not impede smooth conveyance in the X direction by the conveying means (not shown).

여기에, 액체 분류도입 안내수단(30)은 반송 가이드 수단(80)[즉, 이것을 구성하는 반송 가이드(82)(가이드 포스트(81)]의 X방향으로 상류측에서, 침지투입 안내조(10A)내를 반송중인 워크(W)의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시켜 상기 워크(W)의 세로 현수 자세의 붕괴를 방지하고, 그 선단부(Wa)가 반송 가이드(82)에 충돌하는 것을 회피하면서 양 반송 가이드(82)로 둘러싸인 반송로(R)내에 그 선단부(Wa)를 확실하게 도입 안내하기 위한 수단이므로, 이 작용효과(기능)를 발현시킬 수 있으면 구조는 특별한 것으로 한정되지 않는다.Here, the liquid jet introduction guide means 30 is an immersion injection guide tank 10A on the upstream side in the X direction of the conveyance guide means 80 (that is, the conveyance guide 82 (guide post 81) constituting this). The liquid is forcibly sorted from both sides of the workpiece W conveying the inside to prevent the collapse of the longitudinal suspension posture of the workpiece W, while avoiding the tip Wa of colliding with the conveying guide 82. Since it is a means for reliably introducing and introducing the tip part Wa in the conveyance path R enclosed by both conveyance guides 82, a structure is not specifically limited if this effect (function) can be expressed.

이 실시형태에서의 액체 분류도입 안내수단(30)은 도 1에 도시한 바와 같이 X방향의 상류측이 간격(Du)의 폭이 넓고 하류측이 간격(Dd)의 폭이 좁아지도록 브래킷(15)을 사용하여 침지 투입 안내조(10A)내의 안내측(우측)에 대향 설치(고정 설치)된 한쌍의 도입 정류판(31)을 구비하고, 각 도입 정류판(31)에는 침지 투입 안내조(10)내에서 대면하는 워크(W)의 각 면을 향하여 액체를 분류하는 복수의 액체 분류구(33)를 설치한 구조로 되어 있다. 이와 같은 구조로 하면 제작·조립이 용이해지고 원활하고 적정한 액체의 흐름을 확립하기 쉽다.As shown in FIG. 1, the liquid jet introduction guide means 30 in this embodiment has a bracket 15 so that the upstream side in the X direction has a wide width of the interval Du and the downstream side has a narrow width of the interval Dd. A pair of inlet rectifying plates 31 are installed on the guide side (right side) in the immersion inlet guide tank 10A (fixed installation), and each inlet rectifying plate 31 is provided with 10, a plurality of liquid flow dividing holes 33 for dividing liquid toward the respective surfaces of the workpiece W facing each other are provided. Such a structure makes it easy to manufacture and assemble, and it is easy to establish a smooth and proper flow of liquid.

각 도입 정류판(31)의 구체적 구조는 도 1, 도 3에 도시한 바와 같이, 공급관(45)으로부터 공급된 순환 액체를 내부 수용 공간에서 일시 보류하면서 안쪽을 향하는 면(도입 정류면)에 천공된 각 액체 분류구(33)에 액체 분배 가능한 박스형으로 이루어져 있다. 액체 분류구(33)(최상류측(33U), 최하류측(33D))은 도 4의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 각 도입 정류판(31)의 우측(2/3) 영역에 설치되고, 좌측(1/3) 영역에는 설치되어 있지 않다. 워크(W)의 선단(Wa)의 도입후에 분류액에 노출되도록 하여 안정된 안내를 달성하기 위함이다.As shown in FIGS. 1 and 3, the specific structure of each introduction rectifying plate 31 is perforated on the inward facing surface (introducing rectifying surface) while temporarily holding the circulating liquid supplied from the supply pipe 45 in the inner receiving space. Each liquid fractionator 33 has a box shape capable of dispensing liquid. As shown in Figs. 4A and 4B, the liquid jet port 33 (upstream side 33U and downstream side 33D) has a right side (2/3) of each introduction rectifying plate 31. As shown in Figs. It is provided in the area | region, and is not provided in the left (1/3) area | region. This is to achieve stable guidance by exposing to the fractionation liquid after the introduction of the tip Wa of the workpiece W.

액체 분류도입 안내수단(30)의 각 액체 분류구(33)는 도 4에 도시한 바와 같이 X방향의 상류측으로부터 하류측을 향하고 또한 워크(W)의 각 면에 흘러 접촉 가능한 방향(F)의 액체흐름을 생성할 수 있는 방향(형태)으로 하여 설치되어 있다. 즉, 액체의 흐름(F)으로 워크(W)의 양면을 누르면서 워크(W)를 X방향으로 힘을 가하고, 그 선단부(Wa)의 만곡 방지 작용을 강화하면서 워크(W)의 세로 현수 자세를 유지 가능하게 형성되어 있다.Each liquid jet port 33 of the liquid jet introduction guide means 30 is directed from the upstream side in the X direction to the downstream side as shown in FIG. 4 and flows into the respective surfaces of the workpiece W to be in contact with each other. It is installed in the direction (shape) which can generate the liquid flow of. In other words, while pressing both sides of the workpiece W with the flow of liquid F, the workpiece W is exerted in the X direction, and the longitudinal suspension posture of the workpiece W is enhanced while enhancing the anti-curve action of the tip portion Wa. It is formed to be maintainable.

여기서, 도입 정류판(31)간의 상류측의 간격(폭)(Du)은 예를 들어 110㎜이고 하류측의 간격(폭)(Dd)은 예를 들어 14㎜이다. 이 하류측 폭(Dd)은 반송 가이드(82)간의 간격(Dg)(예를 들어 16㎜) 보다 작으(좁으)므로, 액체 분류도입 안내수단(30)을 통과한 워크(W)(예를 들어 두께가 1㎜)를 후방 배치의 반송 가이드(82)(가이드 포스트(81))에 확실하게 도입시킬 수 있다.Here, the space | interval (width) Du on the upstream side between the introduction rectification plates 31 is 110 mm, for example, and the space | interval (width) Dd on the downstream side is 14 mm, for example. Since the downstream width Dd is smaller (narrower) than the distance Dg (for example, 16 mm) between the conveyance guides 82, the workpiece W that has passed through the liquid jet introduction guide means 30 (for example, For example, 1 mm of thickness can be reliably introduced to the conveyance guide 82 (guide post 81) of a rear arrangement.

또한, 각 도입 정류판(31)의 내측 표면에는 도 4의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 침지 투입 안내조(10A) 내에서 워크(W)의 각 면을 향하는 방향(처리조내 폭방향)으로 돌출하는 복수의 돌기 가이드(51)를 상하방향으로 이격하여 설치하고 있다.In addition, as shown in FIGS. 4A and 4B, the inner surface of each introduction rectifying plate 31 faces the respective surfaces of the workpiece W in the immersion injection guide tank 10A (in the treatment tank). A plurality of projection guides 51 protruding in the width direction) are provided spaced apart in the vertical direction.

워크(W)의 예를 들어 하단부가 부분적으로 만곡되어 있었던 경우에 상기 만곡부분을 수용할 수 있는 공간(S)을 처리조내 폭방향으로 또한 상하 돌기 가이드(51) 사이에 형성하기 위함이다. 이렇게 하여 상기 만곡부분이 각 도입 정류판(31)에 달라붙는 것을 방지할 수 있다.For example, when the lower end part of the workpiece | work W is partially curved, the space S which can accommodate the said curved part is formed in the width direction within a process tank, and between the upper and lower protrusion guide 51. FIG. In this way, the curved portions can be prevented from sticking to the respective introduction rectifying plates 31.

또한, 이 실시형태에서는 상기 달라붙음 방지용 공간(S)을 형성하기 위해 필요한 예를 들면 하나 또는 두개의 돌기 가이드(51)를 각 도입 정류판(31)의 아래쪽에 설치할 뿐만 아니라, 상기 달라붙음 방지용에 관계없이 상하 방향으로 이격하여 복수의 돌기 가이드(51)를 설치하고 있다. 이렇게 하여 워크(W)의 크기(상하방향치수)에 대한 적응성을 확대할 수 있다.In addition, in this embodiment, not only the one or two protrusion guides 51 which are necessary in order to form the said sticking preventing space S are provided in the lower part of each introduction rectification board 31, but the said sticking prevention is A plurality of projection guides 51 are provided spaced apart from each other in the vertical direction irrespective of this. In this way, the adaptability to the size (vertical dimension) of the workpiece | work W can be expanded.

또한, 각 돌기 가이드(51)는 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, X방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이고 X방향의 상류측 위치가 높고 하류측 위치가 낮아지는 경사 자세로 설치되어 있다. 워크(W)의 일부(하단부)가 만곡되어 돌기 가이드(51) 위에 얹히는 일이 있어도 그 이상의 맞물림을 방지하면서 X방향으로의 반송중에 얹히는 것을 자동적으로 해소시킬 수 있는 것이다.Moreover, as shown in FIG.4 (b), each projection guide 51 is provided in the inclined posture which is elongate shape extended in a X direction, high upstream position of a X direction, and low downstream position. . Even if a part (lower end) of the workpiece W is bent and placed on the projection guide 51, the workpiece W can be automatically canceled while being loaded in the X direction while preventing further engagement.

각 액체 분류구(33)로부터 분류된 액체는 액체 순환계(41)에서 재순환 사용된다. 즉, 각 액체 분류구(33)로부터 F방향으로 분류된 액체는 워크(W)에 접촉한 후에 양 도입 정류판(31)의 사이에서 그 아래쪽의 회수 탱크(19)에 회수됨과 동시에 흡입관(42)으로부터 흡입된다. 그리고, 순환 펌프(43) 및 공급관(45)을 통하여다시 각 액체 분류구(33)로 액체 공급 가능하게 형성되어 있다.The liquid fractionated from each liquid fractionator 33 is recycled to the liquid circulation system 41. That is, the liquid classified in the F direction from each of the liquid dividing holes 33 is recovered to the recovery tank 19 below it between the two introduction rectifying plates 31 after contacting the workpiece W and at the same time the suction pipe 42 Inhaled). Then, the liquid is supplied to the liquid flow dividing holes 33 again through the circulation pump 43 and the supply pipe 45.

그러나, 이러한 구성의 실시형태에서는 도 2에 도시한 세로 현수 자세 유지수단(70)을 작용시켜 워크(W)의 세로 현수 자세를 유지하면서 Y방향으로 하강시켜 상기 워크(W)를 표면 처리조(10A)내의 액체(Q) 속에 침지한다. 그리고, 반송수단에 의해 액체(Q) 속을 X방향으로 반송하면서 상기 평판 형상물(W)을 반송 가이드 수단(80)(반송 가이드(82)의 X방향으로 상류측에 설치된 액체 분류도입 안내수단(30)으로 인도한다.However, in the embodiment of such a structure, the vertical suspension attitude holding means 70 shown in FIG. 2 is actuated, and it lowers in the Y direction, maintaining the vertical suspension attitude of the workpiece | work W, and the said workpiece | work W is surface-treated tank ( Immerse in liquid Q in 10A). Then, the conveying guide means 80 (liquid classification guide guide means provided on the upstream side in the X direction of the conveying guide 82) while conveying the liquid Q in the X direction by the conveying means ( To 30).

액체 분류도입 안내수단(30)은 워크(W)의 양면(좌우면)측으로부터 액체(Q)를 F방향으로 강제 분류시켜 상기 평판 형상물의 자세를 정리하면서 X방향으로 하류측의 선단부(Wa)가 반송 가이드(와이어(82)…가이드 포스트(81))에 충돌하는 것을 회피하면서 상기 워크(W)의 선단부(Wa)를 양 반송 가이드(82))로 둘러싸인 반송로(R)내에 도입 안내할 수 있다.The liquid flow guide guide means 30 forces the liquid Q in the F direction from both sides (left and right surfaces) of the workpiece W to arrange the posture of the flat plate shape, and the tip portion Wa on the downstream side in the X direction. Guides the leading end Wa of the workpiece W into the conveying path R surrounded by both conveying guides 82 while avoiding the collision with the conveying guide (wire 82 ... guide post 81). Can be.

즉, 액체(Q) 속의 평판 형상물(W)의 자세를 정리하면서 반송 가이드(와이어(82)) 사이로 확실하게 도입 안내할 수 있으므로, 액체 속에서의 평판 형상물(W)의 반송속도를 고속화할 수 있어 생산 능률을 향상시킬 수 있다.That is, since it is possible to reliably introduce and guide the conveyance guides (wires 82) while arranging the posture of the flat article W in the liquid Q, the conveyance speed of the flat article W in the liquid can be increased. Can improve the production efficiency.

또한, 워크(W)의 선단부(Wa)가 반송 가이드(와이어(82))의 선단측(가이드 포스트(81))에 충돌하는 것을 회피할 수 있으므로, 원활한 반송을 할 수 있고 평판 형상물 자체나 처리조 내장품의 변형·파괴를 방지할 수 있다. 또한, 반송 가이드(와이어(82)…가이드 포스트(81))간의 간격(Dg)을 작게 할 수 있으므로, 처리품질의 한층 더 높은 향상을 도모할 수 있고 극간 거리를 작게 할 수 있으므로급전수단의 소형화도 도모할 수 있다. 또한, 액체 분류도입 안내수단(30)은 액체의 흐름이 X방향의 상류측으로부터 하류측을 향하고 또한 워크(W)의 각 면에 흘러 접촉되도록 반송 가이드(와이어(82)…가이드 포스트(81))의 X방향의 상류측에서 워크(W)의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시키므로 액체의 흐름 자체로 워크(W)를 반송 가이드(80)측으로 힘을 가할 수 있다. 따라서, 한층 더 원활한 도입 안내를 할 수 있다.Moreover, since the front end Wa of the workpiece | work W can avoid the collision with the front end side (guide post 81) of a conveyance guide (wire 82), smooth conveyance can be carried out and the flat-shaped object itself and a process can be avoided. It can prevent deformation and destruction of tank interior. Further, since the distance Dg between the conveyance guides (wires 82 ... guide posts 81) can be made small, further improvement in processing quality can be achieved and the distance between the poles can be made small, so that the power supply means can be made smaller. You can also plan. Further, the liquid flow guide guide means 30 is a conveyance guide (wire 82 ... guide post 81) so that the flow of liquid flows from the upstream side in the X direction to the downstream side and flows and contacts each surface of the workpiece W. Since the liquid is forcibly separated from both sides of the workpiece W on the upstream side of X direction in the X direction, the workpiece W can be applied to the conveyance guide 80 by the flow of the liquid itself. Therefore, a smoother introduction guide can be provided.

또한, 액체 분류도입 안내수단(30)은 침지투입 안내조(10A)내의 액체속을 X방향으로 반송하면서 워크(W)를 한쌍의 도입 정류판(31) 사이로 안내한다. 이 한쌍의 도입 정류판(31)은 X방향의 상류측이 폭이 넓고(간격(Du)), 하류측이 폭이 좁아(간격(Dd))지도록 대향 설치되어 있다. 이렇게 하여, 액체 흐름의 속도는 X방향의 상류측으로부터 하류측으로 감에 따라서 빠르게 할 수 있고, 반송중인 워크(W)의 선단부(Wa)를 반송 가이드(82)를 향하여 끌어 넣는(또는 밀어 넣는)작용을 야기시킬 수 있다.Further, the liquid jet introduction guide means 30 guides the workpiece W between the pair of introduction rectifying plates 31 while conveying the liquid flow in the immersion injection guide tank 10A in the X direction. The pair of introduction rectifying plates 31 are provided so that the upstream side in the X-direction is wide (interval Du) and the downstream side is narrow (interval Dd). In this way, the velocity of the liquid flow can be increased as it moves from the upstream side to the downstream side in the X direction, and the front end Wa of the workpiece W being conveyed is pulled (or pushed) toward the conveyance guide 82. May cause action.

또한, 각 도입 정류판(31)에 설치된 복수의 액체 분류구(33)로부터 표면 처리조(10)내에서 대면하는 워크(W)의 각 면을 향하여 액체(Q)를 분류한다. 이 액체(Q)는 액체 순환계(41)에서 회수·재순환 사용된다.Moreover, the liquid Q is classified toward each surface of the workpiece | work W which faces in the surface treatment tank 10 from the some liquid fractionation port 33 provided in each introduction rectification plate 31. As shown in FIG. This liquid Q is recovered and recycled in the liquid circulation system 41.

즉, 각 액체 분류구(33)로부터 워크(W)의 각 면을 향하여 분류된 액체(Q)는 평 워크(W)의 자세를 바르게 한 후에 두 도입 정류판(31)의 사이에서 그 아래쪽으로부터 흡입관(42)에 흡입되고, 반송중인 워크(W)의 하단측을 아래를 향하여 끌어 넣는(또는 밀어 넣는) 작용을 야기한다. 그리고, 다시 공급관(45)을 통하여 각 액체 분류구(33)로 액체 공급된다.That is, the liquid Q sorted from each liquid jet port 33 toward each face of the work W is moved from the lower side between the two introduction rectifying plates 31 after the posture of the flat work W is corrected. It sucks in by the suction pipe 42, and causes the effect | action which pulls in (or pushes) the lower end side of the workpiece | work W in conveyance down. Then, the liquid is again supplied to the respective liquid flow ports 33 through the supply pipe 45.

따라서, 액체(Q)흐름과 양 도입 정류판(31)의 형태의 협력작용에 의해 평판 형상물(면)의 자세를 안정적이고 확실하게 유지할 수 있음과 동시에, 반송 가이드(82)의 간격을 한층 더 좁게 할 수 있으므로 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다.Therefore, the attitude | position of the plate-shaped object (surface) can be maintained stably and reliably by the cooperative action of the liquid Q flow and the form of both introduction rectification plates 31, and the space | interval of the conveyance guide 82 is further maintained. Since it can be narrowed, the surface treatment quality can be improved further.

또한, 각 도입 정류판(31)에 X방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이고 또한 X방향의 상류측 위치가 높고 하류측 위치가 낮아지는 경사자세이고, 또한 표면 처리조(10) 내에서 워크(W)의 각 면을 향하는 방향으로 돌출하고 상하방향으로 이격된 복수의 돌기 가이드(51)는 상기 각 돌기 가이드(평판 형상물)와 각 도입 정류판(31) 사이에 공간(S)을 확보할 수 있다.Moreover, it is an inclined posture in which the elongate shape extended in the X direction to each introduction rectifying plate 31, and the upstream position of X direction is high, and a downstream position becomes low, and the workpiece | work W in the surface treatment tank 10 is carried out. The plurality of protrusion guides 51 protruding in the direction toward each surface of the center and spaced apart in the vertical direction may secure a space S between the protrusion guides (flat plate) and each of the introduction rectifying plates 31. .

이렇게 하여, 예를 들어 평판 형상물(면)의 하단부가 가령 만곡되었다고 해도 상기 평판 형상물(하단부)의 상기 만곡부분을 공간(S) 내에 수용할 수 있고, 각 도입 정류판(31)에 달라붙는 것을 방지할 수 있다.In this way, for example, even if the lower end of the plate-like object (surface) is curved, for example, the curved portion of the plate-like object (lower end) can be accommodated in the space S, and sticking to each introduction rectifying plate 31. It can prevent.

또한, 반송 가이드(82)의 간격(Dg)을 한층 더 좁게 할 수 있으므로 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다. 또한, 평판 형상물(면)이 만곡 등으로 하단부가 어느 돌기 가이드(51) 위에 얹히는 경우가 있다고 해도, 하단부가 하류측으로 감에 따라서 상기 돌기 가이드(51)로부터 벗어나(멀어지)므로, 상기 하단부가 상기 돌기 가이드(51)에 맞물리지 않는다. 원활한 반송과 표면처리를 한층 더 향상시킬 수 있다.Moreover, since the space | interval Dg of the conveyance guide 82 can be narrowed further, surface treatment quality can be improved further. Moreover, even if the lower end part may be mounted on some protrusion guide 51 by curvature etc., since the lower end part goes to the downstream side, it moves away from the said projection guide 51 (aways), and the said lower end part Does not engage the projection guide 51. Smooth conveyance and surface treatment can be further improved.

또한, 본 표면처리장치가 평판 형상물인 프린트 배선기판에 도금을 실시한도금장치를 구성하는 것으로 되어 있으므로, 고품질의 프린트 배선기판을 확실하게 생산할 수 있다.In addition, since the surface treatment apparatus constitutes a plating apparatus in which a printed wiring board that is a flat plate is plated, it is possible to reliably produce a high quality printed wiring board.

청구항 1의 발명에 의하면 반송 가이드의 반송방향으로 상류측에 표면 처리조 내를 반송중인 평판 형상물의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시켜 그 선단부가 반송 가이드에 충돌하는 것을 회피하면서 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로내에 확실하게 도입안내 가능하게 형성된 액체 분류도입 안내수단을 설치한 표면처리장치이므로, 액체속에서의 평판 형상물의 반송속도를 고속화할 수 있으므로 생산능률을 향상시킬 수 있다.According to the invention of claim 1, conveying surrounded by both conveying guides while forcibly classifying the liquid from both sides of the plate-like object conveying the inside of the surface treatment tank upstream in the conveying direction of the conveying guide and avoiding the tip portion colliding with the conveying guide. Since the surface treatment apparatus is provided with a liquid fractionation introduction guide means formed so as to be able to be introduced into the furnace reliably, it is possible to speed up the conveyance speed of the flat product in the liquid, thereby improving the production efficiency.

평판 형상물의 선단부가 반송 가이드의 선단측에 충돌하는 것을 회피할 수 있으므로 원활한 반송을 할 수 있고 평판 형상물 자체나 처리조 내장품의 변형·파괴를 방지할 수 있다.Since the tip of the flat plate can be avoided from colliding with the tip of the conveying guide, smooth conveyance can be achieved and deformation and destruction of the flat plate itself and the processing vessel interior can be prevented.

또한, 반송 가이드간의 거리를 보다 작게 할 수 있으므로 처리품질의 한층 더 뛰어난 향상을 도모할 수 있고 전해처리의 경우에는 극간 거리를 작게 할 수 있으므로 급전수단의 소형화도 도모된다.In addition, since the distance between the conveying guides can be made smaller, further improvement in processing quality can be achieved, and in the case of electrolytic treatment, the distance between the poles can be made small, so that the power supply means can be miniaturized.

또한, 청구항 2의 발명에 의하면 액체 분류도입 안내수단이 평판 형상물의 양면측으로부터 액체를 강제 분류시킬 때에 상기 액체가 반송방향의 상류측으로부터 하류측을 향하고 또한 평판 형상물의 각 면에 흘러 접촉하도록 액체 분류 가능하게 형성되어 있으므로, 청구항 1의 발명의 경우와 동일한 효과를 나타낼 수 있고, 또한 액체의 흐름 자체로 평판 형상물을 반송 가이드측으로 힘을 가할 수 있으므로, 한층 더 원활한 도입안내를 할 수 있다.Further, according to the invention of claim 2, the liquid flows in such a manner that the liquid flows from the upstream side to the downstream side in the conveying direction and flows on each side of the plate-shaped object when the liquid jetting guide means forcibly classifies the liquid from both sides of the plate-shaped object. Since it is formed so that it can be classified, the same effect as the case of the invention of Claim 1 can be exhibited, and since a flat object can be exerted to the conveyance guide side by the liquid flow itself, a smoother introduction guide can be performed.

또한, 청구항 3의 발명에 의하면 액체 분류도입 안내수단이 반송방향의 상류측이 폭이 넓고 하류측이 폭이 좁아지도록 대향 설치된 한쌍의 도입 정류판과, 각 도입 정류판에 설치되고 표면 처리조 내에서 대면하는 평판 형상물의 각 면을 향하여 액체 분류 가능한 복수의 액체 분류구와, 각 액체 분류구로부터의 분류액을 양 도입 정류판 사이에서 그 아래쪽으로부터 흡입하여 다시 각 액체 분류구로 액체 공급하는 액체 순환계를 구비한 구성으로 되어 있으므로, 청구항 2 및 청구항 3의 각 발명의 경우와 동일한 효과를 가질 수 있고, 또한 액체의 흐름과 양 도입 정류판의 형태와의 협력 작용에 의해 평판 형상물(면)의 자세를 안정적이고 확실하게 유지할 수 있음과 동시에 반송 가이드의 간격을 한층 더 좁게 할 수 있으므로 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다.In addition, according to the invention of claim 3, the liquid fractionation introduction guide means is provided with a pair of introduction rectifying plates provided so that the upstream side in the conveying direction is wider and the downstream side is narrower, and each introduction rectifying plate is provided in the surface treatment tank. A plurality of liquid sorting ports capable of classifying liquid toward each face of the flat plate facing each other, and a liquid circulation system that sucks the sorting liquid from each liquid sorting plate from the lower side between the two rectifying plates and supplies the liquid back to each liquid sorting port. Since it has such a structure, it can have the same effect as the case of each invention of Claims 2 and 3, and the posture of a flat-form object (surface) is made by the cooperative action of the flow of a liquid and the shape of both introduction rectification plates. It is possible to maintain stable and reliable and at the same time narrow the gap between the conveying guides further improves the quality of the surface treatment Can.

또한, 청구항 4의 발명에 의하면 각 도입 정류판에 반송방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이고, 반송방향의 상류측 위치가 높고 하류측 위치가 낮아지는 경사자세로, 또한 표면 처리조 내에서 평판 형상물의 각 면을 향하는 방향으로 돌출하는 복수의 돌기 가이드를 상하방향으로 이격하여 설치했으므로, 예를 들어 평판 형상물(면)의 하단부가 가령 처리조내 폭방향으로 만곡되었다고 해도 상기 평판 형상물(하단부)의 상기 만곡부분을 공간내에 수용할 수 있고, 각 도입 정류판에 달라붙는 것을 방지할 수 있다. 또한, 반송 가이드의 간격을 한층 더 좁게 할 수 있으므로 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다. 또한, 평판 형상물(면)의 만곡 등 으로 하단부가 어느 돌기 가이드 위에 얹히는 일이 있다고 해도, 하단부가 하류측으로 감에 따라서 상기 돌기 가이드로부터 벗어나(멀어지)므로, 상기 하단부가 협지편에 맞물리지 않는다. 따라서, 청구항 2 및 청구항 3의 각 발명이 경우와 동일한 효과를 가질 수 있고, 또한 원활한 반송과 표면처리품질을 한층 더 향상시킬 수 있다.Further, according to the invention of claim 4, each of the rectifying plates has an elongated shape extending in the conveying direction, the inclined posture of which the upstream position in the conveying direction is high and the downstream position is lowered, and the plate-shaped object in the surface treatment tank. Since a plurality of projection guides protruding in the direction toward each surface are provided spaced apart in the vertical direction, even if the lower end of the flat plate (surface) is curved, for example, in the width direction in the treatment tank, the curved portion of the flat plate (lower end) The part can be accommodated in the space and can be prevented from sticking to each introduction rectifying plate. Moreover, since the space | interval of a conveyance guide can be further narrowed, surface treatment quality can be improved further. In addition, even if the lower end portion may be placed on any of the projection guides due to the curvature of the flat plate (surface) or the like, the lower end portion does not engage with the clamping piece since the lower end portion moves away from the projection guide (distinguish) as it goes downstream. . Therefore, each invention of Claims 2 and 3 can have the same effect as the case, and can further improve smooth conveyance and surface treatment quality.

Claims (4)

표면 처리조 내에 폭방향으로 이격 설치된 한쌍의 반송 가이드를 구비하고, 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로를 따른 반송방향으로 평판 형상물의 세로 현수 자세를 유지하면서 상기 평판 형상물을 반송 가능하게 하고, 또한 반송중인 평판 형상물에 표면처리를 실시하는 표면처리장치에 있어서,A pair of conveyance guides spaced apart in the width direction in the surface treatment tank, and the said plate-shaped object can be conveyed while maintaining the longitudinal suspension posture of a flat-shaped object in the conveyance direction along the conveyance path enclosed by both conveying guides, and is conveying In the surface treatment apparatus which surface-treats a flat-shaped object, 상기 반송 가이드의 상기 반송방향으로 상류측에 설치된 액체 분류도입 안내수단을 가지고,Has a liquid flow guide guide means provided upstream in the conveying direction of the conveying guide, 상기 액체 분류도입 수단은 상기 반송방향의 상류측이 폭이 넓고, 또한 하류측이 폭이 좁아지도록 대향 배치된 한 쌍의 도입정류판과,The liquid flow dividing means includes a pair of introduction rectifying plates disposed so that the upstream side in the conveying direction is wider and the downstream side is narrower; 각 도입정류판에 설치되고, 또한 상기 표면처리조내에서 대면하는 상기 평판형상물의 각 면을 향하여 액체 분류 가능한 복수의 액체분류구를 구비하고,It is provided in each inlet rectifying plate, and is provided with the some liquid fractionation port which can classify liquid toward each surface of the said flat plate shape faced in the said surface treatment tank, 상기 표면 처리조 내를 반송중인 상기 평판 형상물의 양면측으로부터 상기 한 쌍의 도입정류판에 설치된 상기 복수의 액체뷴류구에 액체를 강제 분류시켜 상기 평판 형상물의 선단부가 상기 반송 가이드에 충돌하는 것을 회피하면서 상기 평판 형상물의 선단부를 상기 양 반송 가이드로 둘러싸인 반송로 내에 확실하게 도입 안내 가능하게 한 것을 특징으로 하는 표면처리장치.The liquid is forcibly sorted into the plurality of liquid outlets provided in the pair of introduction rectifying plates from both sides of the plate-like article conveying the inside of the surface treatment tank, thereby avoiding the tip portion of the plate-shaped article from colliding with the conveyance guide. The front end portion of the plate-like article can be reliably introduced and guided in a conveying path surrounded by the two conveying guides. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 액체분류구가 상기 액체 흐름이 상기 반송방향의 상류측으로부터 하류측을 향하고, 또한 평판 형상물의 각 면에 흘러 접촉하도록 액체 분류 가능하게 형성하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.And the plurality of liquid fractionation ports are formed so that the liquid flows can be separated so that the liquid flows from the upstream side to the downstream side in the conveying direction and flows into and contacts each surface of the flat plate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액체 분류도입 안내수단이 각 액체분류구에서 분출된 액체를 양 도입정류판의 사이에 그 아래쪽으로부터 흡입하여 다시 각 액체 분류구로 액체를 공급하는 액체 순환계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징을 하는 표면처리장치.The liquid jet introduction guide means further comprises a liquid circulation system which sucks the liquid ejected from each liquid jet from the lower side between the two rectifying plates and supplies the liquid to each liquid jet again. Device. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 각 도입 정류판에는 상기 반송방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이고, 상기 반송방향의 상류측 위치가 높고 하류측 위치가 낮아지는 경사자세이며, 또한 상기 표면 처리조 내에서 상기 평판 형상물의 각 면을 향하는 방향으로 돌출되는 복수의 돌기 가이드가 상하 방향으로 이격하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.Each introduction rectifying plate has an elongated shape extending in the conveying direction, an inclined posture having a high upstream position in the conveying direction and a lower downstream position, and each face of the plate-like article in the surface treatment tank. Surface treatment apparatus characterized in that the plurality of projection guides projecting in the direction toward the spaced apart in the vertical direction.
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