KR100400355B1 - 역 마이셀과 졸―겔 공정을 이용한 나노 크기 실리카분말의 제조방법 - Google Patents

역 마이셀과 졸―겔 공정을 이용한 나노 크기 실리카분말의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 나노 크기의 SiO₂분말을 마이셀을 이용한 에멀젼 공정으로 제조하는 것으로서, 물에 계면활성제와 함께 유기용매를 혼합하여 유기용액을 얻고 이 유기용액에 테트라에톡시실란(TEOS)를 첨가하여 가수분해 및 응축반응을 시키는 단계를 포함하는 제조방법이 제공된다.
본 발명에 의하면, 10에서 75 nm 크기의 SiO₂분말을 구형으로조절이 가능하고, 입도분포 제어가 가능하다.

Description

역 마이셀과 졸―겔 공정을 이용한 나노 크기 실리카 분말의 제조방법{Synthesis of Silica Nanosize Particles by a Reverse Micelle and Sol―Gel Process}
본 발명은 구형의 나노 크기를 갖는 SiO2분말의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 미세한 역 마이셀을 이용한 마이크로 역 에멀젼법으로 입도분포 조절이 가능한 구형의 SiO2초 미분말을 제조하는 방법에 관한 것이다.
현재까지 SiO2는 도자기공업, 유리공업, 내화물공업, 시멘트 공업등 요업 공학분야에 전반적으로 사용되고 있는 중요한 원료 중의 하나이고, 현재는 부식방지용 도료, 분체 도료, 건축용 도료, 연마제 등에 광범위하게 사용되고 있다. 최근에는 특히 반도체 공업의 물리 화학적 연마 (Chemical and Mechanical Polishing)용 콜로이드 형태로 사용되는 중요한 원료이다. 이 경우 SiO2의 크기, 형태 및 입도 분포가 연마용 콜로이드의 특성을 결정하는 중요한 인자이기 때문에 이를 제어하는 연구가 수행되고 있다.
나노 크기 구조와 그들의 모양을 제어하는 것은 새로운 전자적, 광학적, 자기적, 광학화적, 전자화학적 그리고 기계적인 물성을 창출하는 것으로 무한한 잠재력을 가지고 있기 때문에 나노 크기 세라믹 합성에 관한 연구와 그 응용에 관한 관심이 최근에 크게 증가하고 있다. 나노 크기 분말을 합성하고 그들의 물성을 제어하는 것은 촉매, 세라믹 공정, 태양에너지 전환, 의약품 그리고 사진 등의 분야에서 핵심적인 기술이다. 반도체 입자를 포함한 나노 크기 입자들에 의하여 과다한 전자 및 전공의 저장, 표면 개질에 의한 전자적 성질의 변화, 광전자 방출 등과 같은 현상이 발견되기 때문에 많은 연구자들이 입자의 크기 및 형상을 제어하기 위한 연구를 활발히 수행하고 있는 실정이다.
최근에 선진국을 중심으로 나노 크기 분말합성에 관한 연구와 그 상업적 응용에 관한 관심이 크게 증가하고 있다. 현재까지 일반적으로 사용하고 있는 분쇄나 고상 반응을 이용한 분말제조는 초 미분말(0.1 ㎛ 이하)를 제조하는 것이 불가능하였다.
이를 해결하기 위해서 기상합성법, 분쇄 방법, 졸-겔 법, 수열 합성법, 에멀젼법 등을 도입하여 구상의 100 nm 이상의 초 미분말의 제조는 가능하였지만, 분리된 구상의 75 nm 이하 분말을 제조 및 분산하기가 용이하지 않기 때문에 이에 관한기술개발의 필요성은 여전히 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 한계를 극복함으로써 75 nm 이하로 제어된 입도분포를 가지는 구형의 SiO2분말의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
도 1 은 본 발명에 따른 나노 크기 SiO2분말의 합성 공정도.
도 2 는 물/TEOS 몰비에 따른 본발명의 입자의 평균입도의 변화를 나타낸 그래프.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 물에 계면활성제와 함께 유기용매를 혼합하여 유기용액을 얻는 단계, 및 상기 유기용액에 테트라에톡시실란(TEOS)를 첨가하여 가수분해 및 응축반응을 시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카(SiO2)분말의 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따르면, 기존의 분말 합성법과는 달리, 유기용매와 물을 이용하여 부피비를 조절함으로써 에멀젼을 만들고 TEOS(Tetraethoxysilane), 반응촉매 등을 적절한 양으로 첨가하여 분말의 입자 크기를 조절하는 방법에 의해 75 nm 이하의 초미세의 구형 SiO2분말을 얻는다.
이에 관하여 보다 구체적으로 설명하면, 본 발명에서 계면활성제는 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르(Polyoxyethylene(5) nonylphenyl ether), 소디움 비스(2-에틸헥실) 술포네이트(Sodium bis(2-ethylhexyl) sulfonate) 중에서 선택되는 적어도 1종이다. 계면활성제의 첨가량은 물/계면활성제의 몰비가 2-50 인 것이 바람직한데, 그 이유는 물액적(water droplet)을 계면 활성제가 충분히 감싸야 하기 때문이다.
용매로는 시클로헥산(Cyclohexane)과 이소옥탄(Isooctane) 및 증류수를 사용하고, 반응 시약으로는 TEOS(Tetraethoxysilane), 반응 촉매제로는 NH4OH 등을 이용하여 에멀젼을 만들어 적절한 조건에서 75 nm 이하의 구형 SiO2분말을 합성하는 것이다.
본 발명에 있어 역 마이셀(reverse micelle)을 이용한 에멀젼법에 의한 분말 합성공정은 오일상(유기용매), 물, 계면활성제를 주로 사용하였다. 본 발명에 따른 나노 크기 SiO2분말의 합성 공정도를 도 1 에 나타내었다.
본 발명에서는 SiO2를 형성하기 위하여 Si전구체의 일종인 TEOS를 첨가하는데, 도2에 도시한 바와 같이, TEOS의 첨가량이 증가함에 따라 실리카 분말의 평균 입도가 감소하는 것을 알 수 있다. TEOS의 첨가량은 물/TEOS의 몰비가 5-400 인 것이 바람직한데, 그 이유는 가수분해 및 응축반응에 소요되는 물이 너무 적으면 반응이 일어나지 않거나 지연되고, 과다하면 구형 입자의 형태를 형성하지 못하기 때문이다.
이때 가수 분해 및 응축반응을 촉진하기 위하여 NH4OH를 촉매로 첨가하였으며, 그 첨가량은 NH4OH/TEOS의 몰비가 0.1-5이 되도록 하는 것이 바람직한데, 그 이유는 촉매의 양이 너무 많으면 반응이 급격히 일어나기 때문에 구형입자 및 일정한 크기의 분말 형성이 어렵고, 너무 적으면 가수 분해 및 응축반응 속도가 느려 분말합성에 많은 시간이 소요되어 적절하지 못하다.
이렇게 얻어진 분말은 세척을 하게 되는데, 이때 세척에 사용하는 용매로서 에탄올(Ethanol), 아세톤(Acetone), 이소프로판올(Isopropanol), 메탄올(Methanol), 톨루엔(Toluene), 메톡시 에탄올(Methoxy Ethanol) 중에서 선택되는 적어도 1종을 사용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 입자크기가 10∼75 nm인 미분말을 얻는 것이 가능하며 입자모양 역시 구형 또는 다각형 형태로 다양하게 제조할 수 있다.
형성된 나노크기 분말을 회수하기 위하여 적절한 화학용매를 사용하여 추출 및 원심분리법을 사용하였다. 또한 형성된 입자의 모양, 크기 및 분포를 분석하기 위하여 고 분해능 투과전자현미경을 주로 사용하였다.
[실시예 1]
증류수 0.98ml에 계면 활성제로 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르(Polyoxyethylene(5) nonylphenyl ether) 4 ml, 오일상(유기용매)으로 시클로헥산10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 1.208 ml, NH4OH 0.76 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 이소프로필 알콜로 5번, 증류수로 5번 세척한 후 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과는 입자 크기는 20-30 nm이였다.
[실시예 2]
증류수 0.98 ml에 계면 활성제로 소디움 비스(2-에틸헥실) 술포네이트 4 ml,오일상(유기용매)으로 시클로헥산 10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 1.208 ml, NH4OH 0.76 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 이소프로필 알콜로 5번, 증류수로 5번 세척한 후 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과는 입자 크기는 10-50 nm인 구형이었다.
[실시예 3]
증류수 1.3 ml에 계면 활성제로 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르4 ml, 오일상(유기용매)으로 시클로헥산 10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 1.49 ml, NH4OH 0.96 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 이소프로필 알콜로 5번, 증류수로 5번 세척한 후 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과는 입자 크기는 25-35 nm이였다.
[실시예 4]
증류수 1.3 ml에 계면 활성제로 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르 4 ml, 오일상(유기용매)으로 시클로헥산 10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 0.81 ml, NH4OH 0.49 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 이소프로필 알콜로 5번, 증류수로 5번 세척한 후 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과는 입자 크기는 20-30 nm이였다.
[실시예 5]
증류수 0.98 ml에 계면 활성제로 소디움 비스(2-에틸헥실) 술포네이트 4 ml,오일상(유기용매)으로 시클로헥산 10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 0.241 ml, NH4OH 0.15 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 아세톤으로 3번 세척한 후 3일 유지 시간 다음 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과 생성된 입자는 큰 것과 작은 것이 혼합되어 있고, 큰 것은 약 50 nm, 작은 것은 거의 10 nm이였다.
[실시예 6]
증류수 0.98 ml에 계면 활성제로 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르4 ml, 오일상(유기용매)으로 시클로헥산 10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 1.208 ml, NH4OH 0.76 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 톨루엔으로 7번, 메탄올로 1번 세척한 후 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과 입자 평균 크기는 25±3 nm이고, 입자의 분산이 가능하였다.
[실시예 7]
증류수 0.98 ml에 계면 활성제로 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르 4 ml, 오일상(유기용매)으로 시클로헥산 10 ml를 30 분간 교반 하고 TEOS(Tetraethoxysilane) 1.208 ml, NH4OH 0.76 ml를 첨가하여 24 시간 가수분해 및 응축반응을 시켰다. 반응시킨 후 메톡시 에탄올 7번, 메탄올로 1번 세척한 후 고 분해능 투과 전자현미경으로 관찰한 결과 입자평균크기는 25±3 nm이지만 입자의 응집이 발생하였다.
역 마이셀(reverse micelle)을 이용한 마이크로 에멀젼법으로 10-75 nm 크기인 SiO2구형 나노 분말을 제조함으로써 여러 가지 다른
MxOy(M:Metal) 구조 형태의 구형 나노 분말 합성에 적용할 수 있는 가능성을 제시하였다.

Claims (11)

  1. 물에 계면활성제와 함께 유기용매를 혼합하여 유기용액을 얻는 단계, 및 상기 유기용액에 테트라에톡시실란(TEOS)를 첨가하여 가수분해 및 응축반응에 의해 나노크기의 실리카분말을 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유기용매는 시클로헥산(Cyclohexane), 이소옥탄(Isooctane) 중에서 선택되는 적어도 1 종인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 계면 활성제는 폴리옥시에틸렌(5) 노닐페닐 에테르(Polyoxyethylene(5) nonylphenyl ether), 소디움 비스(2-에틸헥실) 술포네이트(Sodium bis(2-ethylhexyl) sulfonate) 중에서 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 가수분해 및 응축반응을 촉진하기 위하여 촉매로 NH4OH를 더 첨가하는 것을 특징으로 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 물/계면활성제의 몰비가 2-50 인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 물/TEOS(Tetraethoxysilane)의 몰비가 5-400 인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  7. 제 4 항에 있어서, NH4OH/TEOS(Tetraethoxysilane)의 몰비가 0.1-5 인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 가수분해 및 응축반응에 의해 얻어진 실리카분말을 세척하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 세척에 사용하는 용매로 에탄올(Ethanol), 아세톤(Acetone), 이소프로판올(Isopropanol), 메탄올(Methanol), 톨루엔(Toluene), 메톡시 에탄올(Methoxy Ethanol) 중에서 선택되는 적어도 1종인 0것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 미분말의 입자크기는 10∼75 nm인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 미분말의 입자모양은 구형 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 나노크기를 갖는 실리카분말의 제조방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100758019B1 (ko) 2006-06-29 2007-09-11 한국산업기술대학교산학협력단 마이크로 에멀젼에 의한 분산제의 종류와 투입량에 따른미세입자 구형 실리카의 제조 방법

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AUPQ573300A0 (en) 2000-02-21 2000-03-16 Australian Nuclear Science & Technology Organisation Controlled release ceramic particles, compositions thereof, processes of preparation and methods of use
KR100435561B1 (ko) * 2001-06-27 2004-06-10 한국화학연구원 유기물 함입 구형 실리카 분말의 제조방법
KR101616003B1 (ko) 2014-09-19 2016-04-28 창원대학교 산학협력단 에멀젼 공정에 의한 Zn1-xCoxAl2O4 무기안료 나노분말의 제조방법
KR102322248B1 (ko) * 2019-08-14 2021-11-09 세메스 주식회사 저분자 형태의 산화규소 제조 방법, 식각 조성물 및 기판 식각 방법
CN110683552B (zh) * 2019-10-17 2022-05-03 蚌埠市万科硅材料科技有限公司 一种粒径10-20nm的纳米二氧化硅微球的制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6443540A (en) * 1987-08-10 1989-02-15 Mitsubishi Kasei Vinyl Sheet which absorbs condensed water
WO1998052869A1 (en) * 1997-05-22 1998-11-26 Trustees Of Princeton University Lyotropic liquid crystalline l3 phase silicated nanoporous monolithic composites and their production
US5858457A (en) * 1997-09-25 1999-01-12 Sandia Corporation Process to form mesostructured films
KR20020007772A (ko) * 2000-07-19 2002-01-29 이종협 수용액에서의 중금속이온 제거를 위한 킬레이팅 리간드가결합된 중형기공성 실리카의 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6443540A (en) * 1987-08-10 1989-02-15 Mitsubishi Kasei Vinyl Sheet which absorbs condensed water
WO1998052869A1 (en) * 1997-05-22 1998-11-26 Trustees Of Princeton University Lyotropic liquid crystalline l3 phase silicated nanoporous monolithic composites and their production
US5858457A (en) * 1997-09-25 1999-01-12 Sandia Corporation Process to form mesostructured films
KR20020007772A (ko) * 2000-07-19 2002-01-29 이종협 수용액에서의 중금속이온 제거를 위한 킬레이팅 리간드가결합된 중형기공성 실리카의 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100758019B1 (ko) 2006-06-29 2007-09-11 한국산업기술대학교산학협력단 마이크로 에멀젼에 의한 분산제의 종류와 투입량에 따른미세입자 구형 실리카의 제조 방법

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