KR100399224B1

KR100399224B1 - 저이슬점 분위기가스의 제조방법

Info

Publication number: KR100399224B1
Application number: KR10-1999-0062532A
Authority: KR
Inventors: 김흥윤
Original assignee: 주식회사 포스코
Priority date: 1999-12-27
Filing date: 1999-12-27
Publication date: 2003-09-22
Also published as: KR20010058297A

Abstract

본 발명은 저이슬점 분위기가스의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 용융아연도금, 합금화 용융아연도금, 용융알미늄도금, 용융아연-알미늄 합금도금, 납-주석합금도금 등의 용융금속 도금의 스나우트(Snout)에서 용융금속의 증발을 억제하기 위해서 주입하는 분위기가스를 제조하는 방법에 관한 것이다.

본 발명은 포화가스와 건조가스를 혼합하여 분위기가스를 제조하는 방법에 있어서, 수위제어와 수온제어와 수온균질화와 기포미세화장치에 의해서 매우 정확한 포화가스를 만들고 포화가스 유량밸브와 건조가스 유량밸브를 이슬점제어기로 직접 피드백 제어하는 것을 특징으로 하는 저이슬점 분위기가스를 제조하는 방법을 제공한다.

이상과 같이 본 발명에 의해서, 매우 낮은 이슬점의 분위기가스를 높은 정밀도로 제조하여 용융도금계의 스나우트(Snout)에 적용할 때, 도금박리(flaking) 혹은 미도금(bare spot) 혹은 표면결함을 일으키는 금속분진의 발생을 억제할 수 있으며, 주입하는 분위기가스의 이슬점 편차를 감소시켜서 스나우트내의 분위기를 안정적이고 정확히 유지할 수 있는 효과가 있다.

Description

저이슬점 분위기가스의 제조방법{METHOD FOR THE FORMATION OF ATMOSPHERIC GASSES WITH LOW DEW POINT}

일반적으로 용융금속 도금의 설비에 있어서, 스나우트(Snout)는 환원분위기를 유지하는 환원소둔로와 용융금속이 담겨진 포트(pot)을 연결하는 구간으로서, 액체상의 용융금속은 환원분위기에 노출된다. 그래서 스나우트에서는 흑회색의 금속분진이 발생되고 결국 이것이 용융금속 도금과정에 나쁘게 작용하여 박리(flaking) 혹은 미도금(bare spot) 혹은 표면결함(surface defect)을 일으키는 원인이 된다. 따라서 금속분진의 발생을 억제하기 위해서, 분위기가스 제조장치에서 적절히 조절된 분위기가스를 외부로부터 스나우트내로 주입하여 스나우트의 분위기를 조절하고 있다.

상기와 같은 분위기가스 제어를 위한 분위기가스를 제조기술로서, 일본 특허공보 평6-74451에 의하면 가습탑(404)의 상부에서 분사노즐(402)로부터 물을 분사하고 하부에서 건조가스를 취입하여 상부로 배출하는 방법을 사용하고 있다. 여기에 운전레벨계(406)와 준비레벨계(405)를 각각 설치함으로서 노점제어의 정도를 좋게 개량한 일본 공개특허공보 평8-285337도 있다.

이들 방법에서는 건조가스와 분무되는 물이 충분한 시간동안 접촉하고 반응하여 건조가스가 증기로 포화되기만 하면 정확한 이슬점을 갖는 가스를 제조할 수 있다. 그러나 건조가스의 유량이 변동하게 되면 반응 및 접촉시간이 충분치 못하고, 결국 가스의 이슬점이 변동되어 정밀한 이슬점의 가스를 제조하기 어려운 문제점이 있다. 또한 이와 더불어 물이 분무되어 만들어진 작은 분무입자가 가스에 포함될 수 있어 배관에서 결로현상이 생기고 이슬점이 변동되는 문제점이 있다. 그리고 또한 물이 어는 온도(0℃)보다 낮은 이슬점의 가스를 제조할 수 없다는 단점이 있다.

도1에서는 이와 같은 가스가습방법을 적용한 가스가습설비의 일반예를 나타내고 있다. 하부의 물탱크(1)로부터 펌프(401)에 의해서 온수를 끌어올려 상부의 분사노즐(402)에서 중간부의 충진층(403)으로 분무하고, 건조가스배관(4)으로부터 도입되는 가스와 접촉해서 가습되고, 가습탑(404)의 상부 출구측에 설치된 가스가열기(8)에 의해서 소정온도로 가열된다. 그래서 물탱크(1)의 측면에는 준비레벨계(405)과 운전레벨계(406)가 설치되어 있어 펌프(401)가 기동되는 초기에 탱크내의 물이 끌어올려져 물탱크(1)의 수위가 변동하는 것을 방지하고 있다. 이와 같은 물탱크(1)의 제어는 제어기(407)에 의해서 제어밸브(408)를 제어한다. 또한 상기 물 부족분은 보급탱크(409)로부터 보급되어 일정온도로 가열시켜 온수로하여 공급한다.

또 다른 종래의 기술로서 일본공개특허 평6-108146에 의하면 H₂와 N₂의 혼합가스에 비등시킨 수증기를 섞는 것을 특징으로 하는 분위기가스의 저이슬점 가습방법이 있다.

이 방법에서는 수온이 조절되는 물에 분위기가스의 일밑부분를 통과한 가스와, 나머지의 건조 분위기가스를 혼합시키지 않고, 물을 비등시켜 증발량을 전기 히터등으로 제어해서 비등한 수분을 분위기가스내로 침입하게하는 방법이다. 증발량을 조절하여 이슬점제어를 함으로 약간의 제어범위의 확대와 이슬점제어가 용이하게 된다. 그러나 이슬점 제어에 사용되는 수분의 원료가 비등수를 사용하므로 이슬점 제어의 정밀도가 떨어지는 문제점이 있고, 또한 비등수의 유량을 조절하는 장치가 설치되어 있지 않아서 정확한 이슬점을 제어할 수 없는 문제점이 있으며, 제어범위도 -30℃∼ 0℃ 수준으로 충분하지 않다.

예를 들어 상기의 종래 기술을 실시예로서 실시할 경우, 비등수와 이슬점이 -50℃인 건조가스를 혼합하여 최종적으로 -30 ±1℃인 분위기가스를 제조하는 경우를 가정할 때,

비등수와 건조가스의 유량비를 계산해보면

비등수 : 1,000,000 ppmv

건조가스 -50℃ 이슬점 : 40ppmv

목표 분위기가스 -30℃ ±1℃ : 376 ±38 ppmv 이므로

목표 분위기가스를 맞추기 위한 비등수와 건조가스의 유량비는

비등수 유량/건조가스 유량 = 0.0003

제어를 ±1℃의 정밀도를 갖기 위한 비등수와 건조가스의 유량조절비는

비등수 유량/건조가스 유량 = ±0.000002

상기의 계산값에서 보는 바와 같이 그 비가 매우 작아서 제어정확도 및 제어정밀도를 갖기가 거의 불가능하다는 것을 쉽게 알 수 있다.

도2에서는 이와 같은 일본공개특허 평6-108146를 적용한 일반예를 나타내었다. 건조가스배관(4)은 건조가스가 흐르고, 100℃로 비등상태에 있는 증발탱크(501)가 연결되어있다. 이 증발탱크(501)로 물을 공급할때는 연결된 급수탱크(502)에 의해서 공급되며, 이 공급되는 물은 가열기(102)에 의해서 가열되고, 상기 급수탱크(502)의 수위는 플로터(503)에 의해서 검출된 급수관(2)을 통하여 보충된다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대단히 낮은 이슬점을 제어할 수 있고, 그 정밀도가 우수한 저이슬점 분위기가스의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도1은 종래의 물분사에 의한 가스 가습법을 나타낸 구성도

도2는 종래의 비등수에 의한 가스 가습법을 나타낸 구성도

도3은 본 발명의 공정을 나타낸 구성도

도4는 본 발명의 이슬점과 제어편차의 관계를 나타낸 그래프

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 물탱크 2 : 급수관 3 : 배수관

4 : 건조가스배관 5 : 포화가스배관

6 : 분위기가스배관 7 : 기포미세화필터

8,8a,8b: 가스가열기 9 : 가스혼합기10 : 기포 100: 수온제어기 101: 냉동기102: 가열기 103: 열전대 104: 순환기200: 수위제어기 201a,201b:솔레노이드밸브202: 레벨게이지 203: 수압 조절밸브300: 이슬점제어기 301: 공급가스 압력조절밸브302: 체크밸브 303a,303b,303c:유량 컨트롤밸브304: 이슬점계측기 305: 분위기가스 압력조절밸브306a,306b,306c:유량계 401: 펌프402: 분사노즐 403: 충진층 404: 가습탑

405: 준비레벨계 406: 운전레벨계 407: 제어기

408: 제어밸브 409: 보급탱크 501: 증발탱크

502: 급수탱크 503: 플로터

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 포화가스와 건조가스를 혼합하여 분위기가스를 제조하는 방법에 있어서, 포화가스는 물탱크내에서 건조가스를 기포로 분출시키고 기포가 물탱크를 완전히 통과하여 수분을 최상한까지 포함시켜서 만들어지며, 이때 완전히 포화된 포화가스를 얻기 위해서 기포미세화 필터를 설치하고, 수온제어 및 수위제어기를 정밀하게 제어하고, 탱크내의 수온이 균질화 되도록 순환기를 설치한다. 이렇게 만들어진 완전 포화가스와 건조가스를 혼합하여 저이슬점 분위기가스를 제조하고, 서로 다른 성질의 가스가 균질하게 혼합되도록 가스혼합기를 설치하고 그 다음 제조된 분위기가스의 이슬점을 계측하는 이슬점 계측기가 설치되고, 이슬점 계측기로부터 신호를 받아서 포화가스 유량컨트롤밸브와 건조가스 유량컨트롤밸브를 이슬점제어기로 직접 피드백 제어하는 것을 특징으로 하는 저이슬점 분위기가스를 제조하는 방법을 제공한다.

이하, 상기와 같은 본 발명의 저이슬점 분위기가스를 제조하는 방법의 기술적 사상에 따른 일실시예를 설명하면 다음과 같다.

도3은 본 발명의 공정을 나타낸 구성도로서, 기포미세화필터(7)와 수온제어기(100)와 수위제어기(200)와 수온균질화를 위한 순환기(104)가 설치되고 포화가스 유량컨트롤밸브(303a)와 건조가스 유량컨트롤밸브(303b)가 이슬점제어기(300)로 직접 피드백 제어되는 것으로 구성된 예를 표시한 것이다.

건조가스는 건조가스배관(4)을 통하여 공급되고 공급압력이 너무 높을 경우 공급가스 압력조절밸브(301)에서 1kg/cm2 이하로 조절한 다음 T형 지관으로 나뉘어 공급된다. 한쪽의 지관에서는 건조가스가 그대로 흐르고, 다른쪽의 지관은 물탱크(1)로 향한다.

지관은 물탱크 내에서 여러개의 작은 소지관으로 나누어지고, 소지관에는 기포미세화필터(7)가 다수개 설치되어 있고 이를 통해서 건조가스가 미세한 기포(10)로 만들어진다. 기포미세화필터(7)는 포화가스를 제조하는데 매우 중요한 역할을 한다. 기포(10)가 수분을 받아들이는 반응은 기포와 물이 접촉하는 기포/물의 계면에서 이루어지므로 계면의 면적을 크게 해주어야 한다. 각각의 기포(10)가 완전히 포화되기 위해서는 적어도 직경 10mm이하가 되어야하고, 바람직하게는 직경 2mm이하로 미세화시켜야 한다.이때, 기포의 크기를 10mm 이하로 한정하는 이유는 실험결과에 의하면 수위 500mm 일 때 유지시간이 2초이며 목측으로는 약 3mm의 기포가 포화됨을 알 수 있고, 또 수위 3000mm 일 때 유지시간은 약 10초이며 목측으로는 약 10mm의 기포가 포화됨을 알 수 있다.따라서, 현실적으로 수위 3000mm 이상은 바람직하지 않기 때문에 수위 3000mm 이하일 때를 기준으로 10mm 이하의 기포인 경우 크기에 관계없이 수분으로 포화되지만 10mm 이상인 기포는 수분으로 포화되지 않게되며, 또한 크기가 커지면 수분함량이 작아지게 되므로 10mm 이상의 기포들은 수분함량이 서로 달라지게 된다.그러므로, 포화가스를 제조할 수 없게 되고 결국 이슬점 분위기가스의 제어편차 ±2 이하로 정밀제어할 수 없게 된다. 다만, 10mm 이하의 기포 크기에는 제한이 없지만 포화가스의 안정적인 제조를 위해서는 2mm 이하로 미세화시키는 것이 바람직하다. 이때, 하한 기준점은 -(마이너스) 크기와 제로는 없으므로 0mm를 초과할 것이 요구된다.

물탱크(1)내의 수위조절에 있어서는, 급수관(2)과 배수관(3)에 솔레노이드밸브(201a,201b)가 설치되어 있고, 수위 레벨게이지(202)에서 감지된 신호가 각각의 솔레노이드밸브(201a,201b)를 수위제어기(200)에서 피드백 제어한다. 각각의 기포(10)가 완전히 포화하는데는 마찬가지로 수위가 중요한 역할을 한다. 왜냐하면 기포가 수분을 받아들이는 반응은 기포/물의 계면의 면적과 더불어 반응시간, 즉 기포가 물속에서 머무르고 있는 시간에 비례하므로 기포가 포화되기에 충분한 시간동안 물속에 머무를 수 있도록 하기 위해서는 기포의 상승속도가 거의 일정하므로 얼마 이상의 수위가 요구된다. 기포발생기로부터 수위는 적어도 500mm이상이 되어야하고, 바람직하게는 800mm이상이 요구된다. 이는 포화에 소요되는 약 2초의 반응시간에 해당된다. 또한 급수관의 수압이 너무 높으면 수압조절밸브(203)을 통하여 적합한 압력으로 낮춘다.이때, 수위를 500mm 이상으로 한정하는 이유는 물속에서 기포가 포화수증기압에 도달하여 포화되는 반응은 물/기포의 계면에서 물이 증발하여 기포내부로 유입되는 것으로 반응인자는 온도, 계면비면적, 유지시간 등이다. 따라서, 포화에 걸리는 시간은 계면비면적이 클수록 단축되고 계면비면적은 기포부피가 작을수록 커지므로 기포 크기가 작을수록 포화시간은 단축되게 된다.기포의 크기가 3mm 일 때 기포가 포화되기 위해서는 적어도 2초의 유지시간이 필요하고 이는 수위가 500mm일 것을 요구한다. 수위 500mm 이하에서는 포화에 요구되는 최소 유지시간이 2초를 만족하지 못하게 되므로 기포는 포화되지 않게 된다. 결국, 포화가스를 제조할 수 없게 되므로 이슬점 분위기가의 제어편차 ±2℃ 이하로 정밀 제어할 수 업게 된다.반면, 기포 크기가 3mm 일 때 수위 500mm 이상에서는 유지시간이 2초이상이 되므로 수위는 상한의 제한이 없고 다만 포화가스의 안정적인 제조를 위하여 충분한 유지시간이 요구되는 수위 800mm 이상이 바람직하다.

물탱크내의 수온조절에 있어서는, 냉동기(101)와 가열기(102)와 열전대(103)가 물탱크(1)내의 물속에 설치되어 있고, 열전대에서 받은 신호에 의해서 냉동기(101) 및 가열기(102)가 수온제어기(100)로 피드백 제어한다. 정확하고 정밀한 저이슬점 분위기가스를 제조하기 위해서는 정확한 포화가스의 제조가 필수적이다. 따라서 여기에 가장중요한 인자가 수온이다. 왜냐하면 건조가스가 어떤 온도인 물을 통과하게되면 가스의 온도가 물의 온도로 맞추어지고 그 물의 온도에 해당되는 포화수분을 가스내에 포함되게 된다. 그런데 포화되는 수분의 량은 온도의 증가에 따라 지수적으로 증가하기 때문에 수온편차에 의한 제공하는 수분의 편차가 커지기 때문에 저이슬점 분위기가스를 제조하는데 크게 영향을 미친다. 따라서 수온의 편차는 적어도 ±2℃의 정밀도를 갖고 바람직하게는 ±0.5℃이하가 요구된다. 또한 수분의 량을 정밀제어하기 위해서는 포화수분량이 가능한 낮게 할 필요가 있으므로 수온은 낮게 조절한다.이때, 수온편차를 ±2℃로 한정하는 이유는 포화되는 수분의 양이 온도의 증가에 따라 지수적으로 증가하기 때문에 수온편차에 따른 저이슬점 분위기가스의 제조에는 큰 영향이 있게 된다. 특히, 고정밀 저이슬점 분위기가스의 제조를 위해서는 수온의 편차가 최소 ±2℃ 정도가 가장 바람직하다고 실험을 통해 알려져 있는데 그 이상일 경우에는 결국 정밀제어가 불가능하여 저이슬점 분위기 가스를 제조할 수 없게 되기 때문이다. 따라서, 정밀제어시에는 ±2℃가 적당하나 저이슬점 분위기가스를 제조하는데 있어 ±5℃ 이내이면 충분하다고 당 업계에 알려져 있다.따라서, 수온도 편차제어를 용이하게 할 수 있는 0∼20℃영역이 바람직하다.

상기 물탱크(1)내의 수온을 균질하게 유지하기 위해서 순환기(104)를 설치하고, 탱크의 하부에서 출입하여 상부로 배출하여 순환되도록 한다. 상기 물탱크(1)내의 수온편차를 줄이면 수온제어를 더욱 정밀하게 할 수 있기 때문이다.

상기의 과정을 거쳐서 만들어진 포화가스는 가스가열기(8a)에서 약간 가열한다. 왜냐하면 가스가 포화되어 있으므로 포화가스와 건조가스가 가스혼합기(9)에서 혼합하기 전까지의 배관에서 음축될 수 있기 때문에 이를 방지하기 위함이다. 가열기(8a)에서 가열온도는 가스혼합기(9)에 도달할 때까지 가스온도가 포화온도 이하로 떨어지지 않으면 되므로 가열온도 범위는 포화온도 + 100℃이고, 바람직하게는 50℃이다.이때, 포화온도를 100℃로 한정하는 이유는 제조된 혼합가스의 수분은 소실되지 않으면 온도에 따라 달라지기 때문인 바, 소실되는 경우는 배관을 통과하면서 이슬로 응축되는 경우이며 이때에도 이는 혼합가스의 이슬점온도(포화온도) 이하로 떨어지지 않으면 된다. 따라서, 혼합가스가 포화온도이상으로 유지되면 수분이 소실되지는 않지만 배관의 외기의 영향을 고려하여 혼합가스는 포화온도 + 100℃ 혹은 그 이하이면 충분하고, 그 이상일 경우에는 가열비용이나 안정성 측면에서 불리하므로 바람직하지 않다.

포화가스와 건조가스가 가스혼합기(9)에서 섞여서 원하는 분위기가스가 만들어지며, 가스혼합기(9)는 패스(pass)길이가 길게 지그재그(Zigzag)형의 경로를 갖도록 구성되어 있다. 왜냐하면 성질이 서로 다른 가스가 균질하게 섞이도록 하기 위해서는 경로를 충분히 길게 해야한다.

분위기가스의 이슬점제어에 있어서, 포화가스 유량컨트롤밸브(303a)와 건조가스 유량컨트롤밸브(303b)가 가스혼합기(9)의 앞에 설치되어 있고, 이슬점을 계속하는 이슬점계측기(304)가 가스혼합기(9) 뒤에 설치한다. 이슬점 계측기에서 검출된 신호를 포화가스 유량컨트롤밸브(303a)와 건조가스 유량컨트롤밸브(303b)를 이슬점제어기(300)으로 직접 피드백 제어한다.

최정적으로 배출되는 분위기가스의 유량과 압력을 조절하기 위해서 이슬점계측기(304)의 다음에 분위기가스의 유량컨트롤밸브(303c)을 설치하고 분위기가스 압력조절밸브(305)를 설치한다. 또한 최종적으로 분위기가스의 온도를 맞추기 위해서 가장 말단에 가스가열기(8b)를 설치한다. 그리고 유량컨트롤밸브(303a,303b,303c)는 정량적으로 유량을 조절하는 것이 아니고 유량을 표시하지도 않으므로 각각의 유량을 알고자할 때는 각각의 유량컨트롤밸브의 뒤에 유량계(306a,306b,306c)를 설치한다.

실시예

본 발명에 의한 실시예로서 도1과 같이 구성하여 분위기가스의 이슬점을 제어하였다. 건조가스는 순수한 질소이고, -80℃의 이슬점을 갖고, 5kgf/㎠의 압력을 갖는다. 물탱크로 급수되는 물은 탑이온수(demineral water)이고, 5kgf/㎠의 압력을 갖는다. 탱크내의 물은 5 ±0.2℃로 제어되고, 수위는 기포미세화필터로부터 900 ±2mm로 제어하고, 가스가열기(7a)는 50℃로 조절한다. 그 경과 이슬점 제어 범위는 0∼50℃로서 매우 낮은 저이슬점의 분위기가스를 제조할 수 있었다.하기한 표 1은 본 발명에 따른 발명예와 비교예를 구분하여 실험한 결과로서 본 발명 제조방법에 따른 매우 낮은 저이슬점 분위기가스를 제조할 수 있음을 확인할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 의해서, 매우 낮은 이슬점의 분위기가스를 높은 정밀도로 제조하여 분위기가스의 이슬점이 크게 영향을 받는 각종 분야에서 공정의 안정과 결함의 감소 등 효과가 기대된다. 예를 들어 용융도금계의 스나우트(Snout)에 적응하는 경우, 도금박리(flaking) 혹은 미도금(bare spot) 혹은 표면결함을 일으키는 금속분진의 발생을 억제하기 위해서 주입하는 분위기가스의 이슬점 편차를 감소시켜서 스나우트내의 분위기를 안정적이고 정확히 유지할 수 있고, 금속분진발생 혹은 미도금 발생을 방지하는 효과가 있다.

Claims

포화가스와 건조가스를 혼합하여 분위기가스를 제조하는 방법에 있어서,

외부에서 공급되는 건조가스는 건조가스배관(4)의 T형 지관을 통해 각각 가스혼합기(9)와 물탱크(1)로 공급되도록 하고, 상기 물탱크(1)내측 지관에는 다수개의 기포 미세화 필터(7)가 설치되어 미세한 기포(10)를 발생시키는 과정과;

상기 물탱크(1)의 수위조절은 급수관(2)과 배수관(3)에 각각 솔레노이드 밸브(201a,201b)가 설치되고, 상기 물탱크(1) 상부 일측에 레벨게이지(202)를 설치하여 레벨게이지(202)에서 감지된 신호가 각각 솔레노이드밸브(201a,201b)를 물탱크 상부 일측에 부착된 수위제어기(200)에 의해 피드백 제어하는 과정과;

상기 물탱크(1)의 수온조절은 열전대(103)가 부착된 냉동기(101)와 가스 가열기(102)가 각각 상하로 상기 물탱크(1)내에 설치되고, 상기 열전대(103)에서 받은 신호에 의해서 상기 냉동기(101) 및 가스 가열기(102)가 수온 제어기(100)에 피드백 제어되며, 상기 수온 제어기(100)에 의해 피드백 제어되는 수온을 더욱더 균질화 되도록 순환기(104)를 설치하여 순환하는 과정과;

상기 과정을 거쳐서 만들어진 포화가스는 가스가열기(8a)에서 가열된 다음 가스혼합기(9)에 공급되고, 이 포화가스는 상기 건조가스배관(4)의 지관에서 공급된 건조가스와 혼합되어 분위기가스가 제조되는 과정과;

상기 과정을 거쳐 제조된 분위기가스의 이슬점 제어는 포화가스 유량컨트롤밸브(303a)와 건조가스 유량컨트롤밸브(303b)가 상기 가스혼합기(9)의 앞측에 설치되고, 이슬점을 계측하는 이슬점 계측기(304)가 상기 가스혼합기(9)의 뒷측에 설치하여 이슬점계측기(304)에서 검출된 신호를 상기 포화가스 유량컨트롤밸브(303a)와 건조가스 유량컨트롤밸브(303b)를 이슬점제어기(300)로 피드백 제어하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 저이슬점 분위기가스의 제조방법.
제1항에 있어서, 상기 기포(10)는 직경 10㎜이하로 미세화 시키는 것을 특징으로 하는 저이슬점 분위기가스를 제조하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 기포미세화 필터(7)로부터의 수위는 800㎜이상이 되게 하는 것을 특징으로 하는 저이슬점 분위기가스를 제조하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 물탱크(1)의 수온은 0∼20℃의 범위로 유지하고, 그 수온의 편차는 ±0.5℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 저이슬점 분위기가스를 제조하는 방법.