KR100394263B1 - 이퀄라이저 실린더 - Google Patents

Abstract

본 발명은 각종 산업용 기계장치에 사용되는 복동타입의 실린더에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 동일거리를 편차 없이 전, 후진작동이 제공되어 부품의 취급에 따른 작업성이 대폭적으로 절감되어 장치운용의 효율성과, 장치 운용에 따라서 별도의 지그가 부착되는 슬라이더를 가변 장착의 사용이 가능하여 사용의 편리성이 극대화되고, 구성부품이 간소화되어 제조원가를 절감이 제공되는 이퀄라이저 실린더를 제공함에 있다.

본 발명의 상기 목적은 각각의 에어포트(12,12)가 형성된 복수의 실린더실(11,11)및 양측면과 상부면에 조립나사공(13,13)을 각각 구비한 단일의 실린더블록(10)과,

상기 복수의 실린더실(11,11)에 수용되는 복수의 피스톤(20,20)과 이 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 동일거리를 편차 없이 연계하여 전, 후진작동을 제공하는 위상차 연결구(30)와,

상기 피스톤(20,20)에 장착되고 지그부착용 조립나사공(42,42)이 구비된 지그홀더(41,41)와 양방의 길이방향으로 베어링홈(44,44)과 측면에 지그부착용 조립나사공(49,49)이 구비된 슬라이드간(43,43)이 직각 상으로 일체 형성된 복수의 슬라이더(40,40)와,

상기 슬라이더(40,40)의 전, 후진 작동을 안내하도록 "ㄷ"자형의 가이드홈(51,51)이 형성되고 이에 상기 베어링홈(44,44)에 대향하여 내측 양방에베어링홈(52,52)이 형성되어 상기 실린더블록(10)의 조립나사공(13,13)과 일치 형성된 조립나사공(53,53) 을 통하여 나사(54,54)에 의하여 각각 취부되는 복수의 가이드레일(50,50)과,

상기 각각의 슬라이드간(43,43)의 베어링홈(44,44)과 상기 가이드홈(51,51)의 베어링홈(52,52)을 따라서 90도의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러베어링(61) 및 이 금속제의 롤러 베어링 사이에 구비되는 수지재의 스페이서베어링(62)으로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 이퀄라이저 실린더에 의하여 달성된다.

이러한 본 발명은 단일의 실린더블록에 에어 제어에 의한 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 복수의 슬라이더가 동일거리를 편차 없이 전, 후진 작동하여 반복적인 작업에 적용할 경우 그 작업성이 배가되고, 장치 운용에 따라서 별도의 지그가 부착되는 슬라이더를 가변 장착하여 사용할 수 있어 장비적용에 따른 호환성으로 사용의 편리성이 구현되며, 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과, 피스톤의 단순구조가 가능하여 제조원가의 절감효과가 있다.

Description

이퀄라이저 실린더{EQUALIZER CYLINDER}

본 발명은 각종 산업용 기계장치에 사용되는 복동타입의 실린더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 동일거리를 편차 없이 전, 후진작동이 제공되어 부품의 취급에 따른 작업성이 대폭적으로 절감되어 장치운용의 효율성과, 장치 운용에 따라서 별도의 지그가 부착되는 슬라이더를 가변 장착의 사용이 가능하여 사용의 편리성이 극대화되고, 구성부품이 간소화되어 제조원가를 절감이 제공되는 이퀄라이저 실린더에 관한 것이다.

일반적으로 반도체와 같은 초소형의 제품을 제조함에 있어서는 각 제조라인에서 필요한 소형 부품의 조립을 위해 조립장비가 필수적으로 운용되고 있고, 이러한 조립장비는 자동화라인을 따라 이송되는 조립부품을 클램핑, 흡착하여 이송시키거나, 칩과 같은 소형의 부품을 상기와 같이 클램핑 또는 흡착하고 웨이퍼상에 인서트 작업을 목적으로 별도의 지그(JIG)를 실린더에 장착하여 사용되고 있다.

이러한 실린더는 실린더 튜브와, 이 실린더 튜브를 수용하는 실린더블록과 상기 실린더 튜브 내에서 왕복운동을 하는 피스톤 및 이 피스톤에 취부된 피스톤로드의 결합구성을 이루어지되, 상기 피스톤의 외형과 실린더 튜브의 내부형태가 원통형으로 이루어지고, 또한 피스톤로드가 중앙에 위치하는 구조를 갖고 있다.

이러한 종래의 실린더는 피스톤의 왕복작동시에 피스톤과 피스톤로드가 회전하게 되어서 정교한 왕복운동과 정확한 위치가 요구되는 장비에 장착 사용할 경우에는 별도의 로드가이더를 부착하여 사용하기 때문에 장비가 비대해지고, 특히 피스톤로드의 왕복작동에 따른 로드가이더와의 마찰로 인하여 작동효율이 떨어지는단점을 갖고 있기 때문에 반도체와 같은 초소형의 부품조립에 사용되는 소형의 조립장비에 사용이 매우 어렵고, 적용하더라도 전체 장비의 비대화와 작동의 정밀성을 보장할 수없는 단점을 갖고 있다.

그리하여 본 출원인은 이러한 반도체와 같은 초소형의 부품취급 장비에 적용이 적합한 소형의 스토퍼실린더를 선출원하여 특허 제222441호로 등록 받은 바 있다.

그러한 이러한 본 출원인의 스토퍼 실린더는 단동 타입으로 자동화 라인 상에서 초소형의 부품취급에 따른 작업성이 떨어지는 단점이 있었다.

예를 들어, 반도체 웨이퍼에 칩의 인서트 작업에 적용할 경우에 있어, 본 출원인의 선출원 기술은 피스톤의 전진작동으로 이송라인상 칩을 픽업하고 후진 작동한 후, 다시 상기 피스톤 전진작동으로 웨이퍼에 상기 칩의 인서트작업이 진행되는 과정 즉, 피스톤의 전진→후진→전진→후진에 의한 인서트작업 단계와, 상기 피스톤의 전진작동으로 칩을 픽업하여 후진한 상태로 있는 픽업단계가 반복적으로 이루어지면서 취급부품의 조립이 제공되어 작업성이 저하되는 단점이 있다.

또한, 본 출원인의 상기 선출원 기술은 별도의 지그가 부착되는 슬라이더가 단일의 고정상태로만 유지되어서 적용되는 장비, 작업위치에 따른 위치의 가변이 불가능하여 장비 적용의 제약으로 사용의 불편성이 있었다.

또한, 슬라이더와 가이드레일간에 크로스 상태로 수용되는 다수의 금속제 롤러베어링간의 접촉마찰력을 극소화하지 못하여 상기 슬라이더의의 전, 후진 작동 시에 부드러운 이송이 제공되지 못하고, 작동에 따른 소음의 발생과 롤러베어링의마모가 빠르게 진행되어 수명이 단축되는 단점이 있다.

즉, 본 출원인의 선출원 기술은 상기 슬라이더의 베어링 안내홈과 슬라이더의 베어링 안내홈에서 다수의 금속제의 롤러베어링이 90도로 크로스 되어 자유로이 이동되도록 수용되고 있으나 전, 후진 작동에 따른 각 롤러베어링의 구름이동시에 상호간이 밀착되고, 이러한 밀착에 의한 롤러베어링 상호간의 크로스 접촉면의 심한 마찰로 이 부분이 빠르게 마모되어 소음이 발생되며, 이러한 빠른 마모 진행으로 장기간 사용 시에 오동작의 발생 염려와 마찰면의 증대로 전, 후진 작동의 정밀성이 떨어지는 단점을 갖고 있었다.

특히, 피스톤의 전, 후진 왕복작동에 따른 에어 입, 출포트가 필요하고 상기 에어의 기밀성을 보장하기 위해 되어 상기 피스톤의 구성부재가 복잡하여 제조원가가 상승되는 단점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 단점과 본 출원인의 선출원 기술의 단점을 효과적으로 해소하고자 연구 개발된 것으로서,

본 발명의 목적은 단일의 실린더블록에 에어 제어에 의한 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 복수의 슬라이더가 동일거리를 편차 없이 전, 후진 작동하여 취급부품의 픽업과 동시에 이송에 의한 조립작업이 제공되어 작업성을 극대화할 수 있는 이퀄라이저 실린더를 제공함에 있다.

본 발명의 목적은 장치 운용에 따라서 별도의 지그가 부착되는 슬라이더를 가변 장착하여 사용할 수 있어 장비적용에 따른 호환성으로 사용의 편리성을 극대화한 이퀄라이저 실린더를 제공함에 있다.

본 발명의 목적은 전, 후진 작동을 지지 안내하는 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장이 제공되고, 소음이 극소화로 제품의 신뢰성을 극대화한 이퀄라이저 실린더를 제공함에 있다.

본 발명의 목적은 피스톤의 전, 후진작동에 따른 에어 제어가 각각의 실린더실에 구비된 단일포트에 의하여 가능하여 에어 기밀성을 위한 피스톤의 구성부재가 간소화되어 제조원가를 극소화할 수 있는 이퀄라이저 실린더를 제공함에 있다.

본 발명은 상기 목적은 에어포트가 각각 형성된 복수의 실린더실 및 양측면 방향과 상부면 방향에 일치의 조립나사공을 구비한 실린더블록과,

상기 복수의 실린더실에 수용되는 복수의 피스톤과 상기 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 동일거리를 편차 없이 연계하여 전, 후진작동을 제공하는 위상차 연결구와,

상기 피스톤에 각각 장착되는 지그부착용 조립나사공이 구비된 슬라이더와,

상기 슬라이더의 전, 후진 작동을 안내하도록 상기 실린더블록의 조립나사공에 취부되는 가이드레일과,

상기 각각의 슬라이더의 베어링홈과 상기 가이드레일의 베어링홈을 따라서 90도의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러베어링 및 이 금속제의 롤러 베어링 사이에 구비되는 수지재의 스페이서베어링으로 구성되는 이퀄라이저 실린더에 의하여 달성된다.

도 1은 본 발명의 제1실시예의 사시도,

도 2는 도 1의 분해 사시도,

도 3은 본 발명의 제1실시예 평면도,

도 4는 도 3의 평단면도,

도 5는 본 발명의 제1실시예의 정단면도,

도 6은 본 발명의 제1실시예의 정면도,

도 7은 본 발명의 제1실시예의 배면도,

도 8은 본 발명의 제2실시예의 사시도,

도 9는 도 8의 정면도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 실린더블록 20 : 피스톤

30 : 위상차 연결구 40 : 슬라이더

50 : 가이드레일 61 : 금속제의 롤러베어링

62 : 수지재의 스페이서베어링

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 구성에 대하여 상세히 살펴보기로 한다.

즉, 본 발명은 제1실시 예로 도시된 도 1 내지 도 7에서와 같이, 각각의 에어포트(12,12)가 형성된 복수의 실린더실(11,11)및 양측면과 상부면에 조립나사공(13,13)을 각각 구비한 단일의 실린더블록(10)과,

상기 복수의 실린더실(11,11)에 수용되는 복수의 피스톤(20,20)과 이 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 동일거리를 편차 없이 연계하여 전, 후진작동을 제공하는 위상차 연결구(30)와,

상기 피스톤(20,20)에 장착되고 지그부착용 조립나사공(42,42)이 구비된 지그홀더(41,41)와 양방의 길이방향으로 베어링홈(44,44)과 측면에 지그부착용 조립나사공(49,49)이 구비된 슬라이드간(43,43)이 직각 상으로 일체 형성된 복수의 슬라이더(40,40)와,

상기 슬라이더(40,40)의 전, 후진 작동을 안내하도록 "ㄷ"자형의 가이드홈(51,51)이 형성되고 이에 상기 베어링홈(44,44)에 대향하여 내측 양방에 베어링홈(52,52)이 형성되어 상기 실린더블록(10)의 조립나사공(13,13)과 일치 형성된 조립나사공(53,53) 을 통하여 나사(54,54)에 의하여 각각 취부되는 복수의 가이드레일(50,50)과,

상기 각각의 슬라이드간(43,43)의 베어링홈(44,44)과 상기 가이드홈(51,51)의 베어링홈(52,52)을 따라서 90도의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러베어링(61) 및 이 금속제의 롤러 베어링 사이에 구비되는 수지재의 스페이서베어링(62)으로 구성된다.

이때, 상기 가이드레일(50,50)은 본 발명의 바람직한 실시 예와 같이, 상기 실린더블록(10)의 양측면에 구비된 조립나사공(13,13)과 상기 가이드레일(50,50)의 조립나사공(53,53)을 맞춘 상태에서 나사(54,54)에 의하여 수평방향으로 각각 취부하여 상기 슬라이더(40,40)를 동일의 수평방향으로 조립하여 사용할 수 있고,

본 발명의 다른 실시 예로 도시된 도 8과 도9에서와 같이 상기 실린더블록(10)의 상부면에 구비된 조립나사공(13,13)에 상기 가이드레일(50,50)의 조립나사공(53,53)을 맞춘 상태에서 나사(54,54)에 의하여 수직방향으로 각각 취부하여 상기 슬라이더(40,40)를 동일의 수직방향으로 조립하여 사용할 수 있다.

상기 실린더블록(10)은 상부 중앙에 수용홈(14)이 요설되고 이 수용홈은 상기 실린더실(11,11)의 길이방향 수직중심부에 가이드슬롯공(15,15)이 관통되고 중앙에는 중심축공(16)과 그 전, 후방에 나사홈(17,17)이 형성되며, 배면에 형성된 상기 에어포트(12,12)의 외측에 장비취부나사홈(18,18)이 형성된다.

상기 피스톤(20,20)은 후방으로 상기 실린더실(11,11)에 관통된 상기 에어포트(12,12)와 대향하여 에어수용홈(22,22)이 요설된 피스톤헤드(21,21)가 형성되되, 단차홈(23,23)을 형성하여 피스톤패킹(24,24)이 조립되어 구성되고, 전방으로 조립볼트공(25,25)이 형성되어 상기 슬라이더(40,40)의 지그홀더(41,41)에 관통된 볼트조립공(45,45)을 통하여 끼워지는 조립볼트(46,46)와 완충패킹(47,47)을 개재하여 나사조립으로 연결되며, 상기 실린더블록(10)의 가이드슬롯공(15,15)의 위치로서 수직방향으로 핀결합홈(26,26)이 형성된다.

상기 가이드레일(50,50)은 각각의 내측에 대향 요설된 상기 베어링홈(52,52)보다 상부측의 직교 상으로 조임나사공(55)이 관통되어 조임나사(56)가 나사 결합되어서, 상기 조임나사(56)의 조임 정도에 의하여 상기 가이드홈(51)의 폭조정으로서 내측의 베어링홈(52)과 상기 슬라이드간(43)의 베어링홈(44) 사이의 롤러베어링(61,61)의 접동마찰력을 조절할 수 있다.

상기 슬라이더(40,40)의 슬라이드간(43,43)은 상기 롤러베어링(61) 및 스페이서베어링(62)이 빠져나오는 것을 방지하기 위하여 상기 슬라이드간(43,43)의 전, 후방을 스토퍼나사(48,48)가 조립되어 이들 사이에 위치하여 상기 가이드레일(50)의 가이드홈(51)에 조립된다.

상기 위상차 연결구(30)는 양방에 대향 요설된 핀슬롯(35,35)을 갖는 요크(31)가 중앙에 관통된 중심공(32)에 베어링(33)을 조립하고, 이 베어링의 중심공에 축핀(34)을 조립하여 상기 수용홈(14)의 중심축공(16)에 조립으로 회전 가능케 결합되며, 상기 핀슬롯(35,35)에는 작동핀(36,36)이 끼워진 상태로 상기 가이드슬롯공(15,15)을 각각 관통하고 상기 실린더실(11,11)에 끼워진 피스톤(20,20)의 핀결합홈(26,26)에 끼워지되, 일측의 피스톤(20)은 전진상태로, 타측의 피스톤(20)은 후진상태로서 바람직하게는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 양방의 피스톤(20,20) 상호간이 반대의 전, 후진 이동으로 상기 요크(31)가 양방의 핀슬롯(35,35)에 끼움된 작동핀(36,36)에 의해 축핀(34)를 중심으로 회전하여 상기 축핀(34)의 축중심수평선(Ox)을 기준으로서 최종 회전각도가 45도의 기울기 각도로서 상호간이 위상차를 갖도록 조립되고, 상기 요크(31)의 상부에는 상기 수용홈(14)의 내경크기에 맞는 요크커버(37)가 덮혀져 조립나사(38)로서 상기 수용홈(14)의 나사홈(17,17)에 일치하는 나사공(39,39)을 통하여 나사조립으로 결합 고정된다.

도면중 미설명 부호 27은 마그네트를, 28은 자기검출봉을 도시한 것이다.

이러한 본 발명은 실린더블록(10)의 배면에 형성된 장비취부나사홈(18,18)을 통하여 운용장비에 취부하여 사용하게 된다.

이때, 각각의 슬라이더(40,40)의 지그홀더(41,41)에는 전면 및 측면에 형성된 지그부착조립나사공(42,42)을 통하여 클램핑이나 흡착과 같은 작업지그(미도시됨)를 취부하게 된다.

이러한 상태에서 후진상태에 있는 피스톤(20)에 에어포트(12)에 연결된 공압라인(미도시됨)으로부터 공압이 가해지게 되면 상기 피스톤(20)은 실린더실(11)에 유입되는 공압의 힘으로 전진하게 되고, 이러한 일측 피스톤(20)의 전진작동은 타측 피스톤(20)이 위상차 연결구(30)에 의하여 연계작동으로 후진 작동하게 된다.

즉, 상기 일측 피스톤(20)의 전진작동은 핀결합홈(26)에 끼워진 일측의 작동핀(36)이 가이드슬롯공(15)를 따라 이동하게 되고, 상기 작동핀(36)의 전진이동은 일측 핀슬롯(35)을 따라 이동과 동시에 밀게되어 상기 요크(31)가 축핀(34)을 중심으로 회전함과 동시에 타측의 핀슬롯(35)에 끼워진 작동핀(36)은 역으로 가이드슬롯공(15)을 따라서 후진함과 동시에 핀결합홈(26)으로 상기 작동핀(36)과 연결된 피스톤(20)은 후진하게 된다.

반대로, 상기 후진된 피스톤(20)의 실린더실(11)에 구비된 에어포트(12)를 통하여 공압이 가해지게 되면 가압되는 공압은 상기 피스톤(20)의 피스톤헤드(21)의 에어수용홈(22)에 의하여 용이하게 에어가 인입되면서 가압되어 상기의 역순으로 전진된 피스톤(20)은 후진하게 된다.

따라서, 상기 피스톤(20,20)은 항상 위상차를 갖는 상태로 위상차연결구(30)에 연결되어 있으므로 일측의 피스톤이 전진하면 연계하여 타측의 피스톤(20)은 후진하게 되고, 다시 타측의 피스톤(20)이 전진하게 되면 일측의 피스톤(20)은 후진하는 반복작동을 행하게 되고, 이러한 피스톤(20,20)에 연결되고 가이드레일(50,50)을 따라 슬라이드 이동하는 슬라이더(40,40)는 상기 피스톤(20,20)과 동일한 작동을 반복하면서 지그홀더(41,41)에 설치된 통상의 지그로서 반도체 부품과 같은 초소형 부품의 클램핑, 흡착이송이 제공되게 된다.

결국, 단일의 실린더로서 복수의 피스톤(20,20)이 항상 동일한 위상차를 갖도 항상 일측의 피스톤(20)이 전진하면 타측의 피스톤(20)은 후진하게 되고, 다시 타측의 피스톤(20)이 전진하게 되면 일측의 피스톤(20)은 후진하는 동등한 거리를 균등하게 반복 작동하여 반복적인 작업에 적용할 경우 그 능률이 종래 기술에 비하여 배가되게 된다.

또한, 필요에 따라서는 상기 가이드레일(50,50)과 슬라이더(40,40)의 위치설정이 운용장비나 공간활용 면에서 가변설치로 사용이 가능하여 호환성이 보장된다.

한편, 상기 피스톤(20,20)의 왕복작동에 따른 에어압이 항상 피스톤헤드(21,21)의 후면에서 이루어져 실린더실(11,11)의 기밀이 상기 피스톤헤드(21,21)에 조립된 피스톤패킹(24,24)에 의하여 기밀이 보장되어 구성부재의 간소화가 제공되고, 장기간 사용에 따른 마모 발생 시에는 간편하게 교체가 가능하게 된다.

또한, 본 발명은 실린더실(11,11)에 유입되는 에어압에 따라서 또는 장기간 사용에 따른 금속제 롤러베어링(61)의 마모 진행정도에 따라서 상기가이드레일(50,50)의 조임나사공(55)에 나사 결합된 조임나사(56)의 조절이 가능하여 상기 가이드홈(51)의 폭조정에 의한 내측의 베어링홈(52)과 상기 슬라이드간(43)의 베어링홈(44) 사이의 롤러베어링(61,61)의 접동마찰력을 조절하여 사용할 수 있어 장비 운용이 효과적이다.

또한, 상기 금속제의 롤러베어링(61)은 상기 슬라이더(40,40)와 각각의 가이드레일(50,50)의 형성된 90°V자형 베어링홈(44,52)을 따라서 슬라이드 이동하되, 이들의 사이에 개재된 다른 재질(수지재)의 스페이서베어링(62)에 의하여 상호간의 크로스 접촉면(외주면)에 마찰이 금속보다 경도가 낮은 수지재에 의해 소음이 극소화되고 동시에 마모가 적게 된다.

상기 스페이서베어링(62)의 재질은 테프론재가 바람직하나, 어떠한 수지재로 이루어져도 상관은 없고, 상기 90도로 크로스 되어 배치되는 금속재의 롤러베어링(61)과의 45도로서 상기 베어링홈(44)(52)의 길이 방향의 직립상태로 배치되고, 상기 금속제의 롤러베어링(61)의 지름 치수보다는 작은 지름 치수로 형성됨이 바람직하다.

이상에서 상세히 살펴본 바와 같이, 본 발명은 단일의 실린더블록에 에어 제어에 의한 복수의 피스톤이 위상차(位相差)를 갖는 상태로 복수의 슬라이더가 동일거리를 편차 없이 전, 후진 작동하여 반복적인 작업에 적용할 경우 그 작업성이 배가되고,

장치 운용에 따라서 별도의 지그가 부착되는 슬라이더를 가변 장착하여 사용할 수 있어 장비적용에 따른 호환성으로 사용의 편리성이 구현되며,

롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과, 피스톤의 단순구조가 가능하여 제조원가의 절감효과가 있다.

Claims (5)

1. 각각의 에어포트(12,12)가 관통된 복수의 실린더실(11,11)을 갖춘 실린더블록(10)을 구비하고,

   상기 실린더실(11,11) 각각에 피스톤(20,20)이 끼움되어 진퇴가능케 수용되되, 일측의 피스톤(20)은 전진상태로, 타측의 피스톤(20)은 후진상태로서 끼워져서, 상기 실린더블록(10)의 상부에 구비된 수용홈(14)의 양측에서 상기 실린더실(11,11)의 길이방향으로 관통된 가이드슬롯(15,15)을 관통하여 끼움되는 작동핀(36,36)과 일측이 연결조립되고, 상기 수용홈(14)에서 중앙의 중심공을 통하여 축핀(34)으로 조립된 회전자재의 요크(31)의 양측 핀슬롯(35,35)에 상기 작동핀(36,36)의 타측이 연결 조립된 위상차 연결구(30)가 구비되며,

   지그부착용 조립나사공(42,42)을 갖는 지그홀더(41,41)와 양방의 길이방향으로 베어링홈(44,44)과 측면에 지그부착용 조립나사공(49,49)을 갖는 슬라이드간(43,43)이 직각상 일체로 구비된 슬라이더(40,40)가 상기 각각의 피스톤(20,20)의 일측에 상기 지그홀더(41,41)로 나사조립되어 부착되고,

   상기 슬라이드간(43,43)의 베어링홈(44,44)과 상기 실린더블록(10)에 일체로 된 가이드레일(50,50)이 "ㄷ"자형 가이드홈(51,51)의 베어링홈(52,52) 각각에 다수의 금속제 롤러베어링(61,61)이 크로스 상태로 수용 지지되어 조립된 실린더에 있어서,

   상기 가이드레일(50,50)과 상기 실린더블록(10)은 각각 분리 구성되고, 상기 실린더블록(10)은 양측면과 상부면에 조립나사공(13,13)을 형성하되 상기 가이드레일(50,50)이 가이드홈(51,51)에 관통된 조립나사공(53,53)을 통해 수평방향이나 수직방향으로 나사로 조립하여 상기 슬라이더(40,40)가 상기 실린더블록(10)과 수평상태나 수직상태의 선택적으로 조립하여 사용할 수 있도록 하고,

   상기 금속제 롤러베어링(61,61)의 사이에는 수지재의 스페이서베어링(62)이 개재된 상태로 상기 슬라이드간(43,43)이 상기 가이드홈(51,51)에서 지지 수용되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 이퀄라이저 실린더.
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