KR100363641B1

KR100363641B1 - 벨로우즈관용 어댑터 및 그의 접합구조

Info

Publication number: KR100363641B1
Application number: KR1020000059278A
Authority: KR
Inventors: 차상방
Original assignee: 주식회사 수림
Priority date: 2000-10-09
Filing date: 2000-10-09
Publication date: 2002-12-12
Also published as: KR20010035013A

Abstract

본발명은 반도체 제조시에 필요한 개스를 공급하여 주는 벨로우즈관에 용접하여서 일체로 부설되는 것으로, 그 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 용접한 접합부위의 불량률을 감소시켜 줄 뿐만 아니라, 자동용접기로서 용접할 수 있도록 하여서 작업능률을 향상시켜 주면서도 용접작업시간을 단축시켜 주도록 한 벨로우즈관용 어댑터 및 그의 접합구조에 관한 것이다.

본발명의 벨로우즈관용 어댑터는 원통형의 단면형상으로서 그 내부에 개스를 통과시키는 통로부(11)를 가지는 개스통로관(10)과, 상기 개스통로관(10)의 어느 일측단에 연통되어서 벨로우즈관(2)과 상응하는 직경크기로서 크게 확경된 맞댐접합단부(21)를 가지는 접합헤드(20)로 구성된 것에 있어서, 상기 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21) 원주둘레를 따라 상기 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)가 살짝 걸쳐져서 위치고정될 수 있는 정도의 높이와 두께로서 접합용 림(22)을 일체로 연장 형성하여서 된 것이다.

본발명의 벨로우즈관용 어댑터의 접합구조는 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21)에 일체로 형성되는 접합용 림(22)을 가지는 벨로우즈관용 어댑터(1)를 구비하되, 상기 벨로우즈관용 어댑터(1)의 접합용 림(22)에 벨로우즈관(2)의 해당위치 굴곡파형(2b)의 정상부 중간을 평절단한 말단부(2a)를 걸쳐서 위치고정시키고, 상기 벨로우즈관용 어댑터(1)의 접합용 림(22)이 상기 벨로우즈관(2)의 말단부(2a) 외주면에용융되어서 덧입혀지도록 용접 접합한 것이다.

Description

벨로우즈관용 어댑터 및 그의 접합구조{Adapter for Bellows Pipe and Connecting Structure thereof}

본발명은 반도체 제조시에 필요한 개스를 공급하여 주는 벨로우즈관에 용접하여서 일체로 부설되는 벨로우즈관용 어댑터 및 그의 접합구조에 관한 것이다.

통상적으로 반도체 제조시에 굴곡파형들이 반복적으로 형성된 벨로우즈관을 사용하여서 작업위치에 맞추어 자유롭게 굴절시켜서 개스를 공급하게 되는 바, 이러한 벨로우즈관의 말단부에는 개스토출구 대용으로 사용하거나 필요시에 다른 벨로우즈관을 연결하기 위한 용도로서 벨로우즈관용 어댑터를 일체로 부설하게 되었다.

종래의 벨로우즈관용 어댑터는 원통형의 단면형상으로서 그 내부에 개스를 통과시키는 통로부를 가지는 개스통로관과, 상기 개스통로관의 어느 일측단에 연통되어서 벨로우즈관과 상응하는 직경크기로서 크게 확경된 맞댐접합단부를 가지는 접합헤드로 구성되었다.

이러한 벨로우즈관용 어댑터는 그 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 서로 맞댐 용접시켜서 벨로우즈관에 일체로 부설되기 때문에, 벨로우즈관을 경유하여서 공급되는 개스를 작업위치에 원할하게 토출시켜 주는 동시에, 필요시에 다른 벨로우즈관을 연결시킬 수 있게 하여 주는 원래의 기능을 충실히 수행하는 장점을 가지는 것이 사실이다.

그러나, 이와 같은 종래의 벨로우즈관용 어댑터는 벨로우즈관에 일체로 부설하는 과정에서 다음과 같은 문제점들을 수반하게 되었다.

즉, 종래의 벨로우즈관용 어댑터는 그 접합헤드의 맞댐접합단부가 단순히 평활면을 이루어서 벨로우즈관의 말단부를 정위치에 걸쳐서 위치고정시키기 위한 구조를 갖추고 있지 못하였기 때문에, 일단 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의말단부를 맞대어서 가접합한 후에 비로서 본 용접작업을 수행하게 되고, 그로 인하여 피접합부위와 균일한 간극이 확보되어야 하는 작업조건을 가지는 자동용접기를 사용하지 못하고 플라즈마용접기를 사용하여서 수동으로 용접작업을 수행하게 되었다.

따라서, 첫째 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 용접할 때에 일단 가접합한 후에 본 용접작업을 수행하게 되는 번거로움을 감수하게 되었으며, 더욱이 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부가 어긋나게 가접합되는 경우가 빈번하여서 용접부위의 불량률이 크게 증가하는 문제점이 있었다.

둘째 본 용접작업시에 가접합부위로 인하여 자동용접기를 사용하지 못하고 플라즈마용접기를 사용하여 수동으로 용접작업을 수행하게 되어서 작업능률이 크게 저하될 뿐만 아니라, 용접작업시간이 과도하게 소요되는 문제점 등이 있었다.

본발명은 첫째 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 정확하고 견실하게 용접할 수 있도록 하여서 신뢰성을 제고하여 주며, 둘째 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 자동용접기로서 용접할 수 있도록 개선하여서 작업성을 극대화하여 주는 벨로우즈관용 어댑터를 제공하는 데 그 목적이 있다.

도1은 본발명의 벨로우즈관용 어댑터를 나타낸 사시도

도2는 본발명의 벨로우즈관용 어댑터를 나타낸 단면도

도3는 본발명의 벨로우즈관용 어댑터를 벨로우즈관에 용접 접합한 실시상태 를 나타낸 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10: 개스통로관 11: 통로부

20: 접합헤드 21: 맞댐접합단부

22: 접합용 림 23: 전도열차단홈

본발명의 벨로우즈관용 어댑터도 원통형의 단면형상으로서 그 내부에 개스를통과시키는 통로부(11)를 가지는 개스통로관(10)과, 상기 개스통로관(10)의 어느 일측단에 연통되어서 벨로우즈관(2)과 상응하는 직경크기로서 크게 확경된 맞댐접합단부(21)를 가지는 접합헤드(20)로 구성된 점에 있어서는 종래의 벨로우즈관용 어댑터와 기술개념을 공유하는 것이 사실이다.

단, 본발명의 벨로우즈관용 어댑터(1)는 도1 및 도2에 도시되는 바와 같이, 상기 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21) 원주둘레를 따라 상기 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)가 살짝 걸쳐져서 위치고정될 수 있는 정도의 높이와 두께로서 접합용 림(22)을 일체로 연장 형성하여서 됨을 기술구성상의 특징으로 한다.

본발명의 벨로우즈관용 어댑터의 접합구조는 도3에 도시되는 바와 같이, 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21)에 일체로 형성되는 접합용 림(22)을 가지는 벨로우즈관용 어댑터(1)를 구비하되, 상기 벨로우즈관용 어댑터(1)의 접합용 림(22)에 벨로우즈관(2)의 해당위치 굴곡파형(2b)의 정상부 중간을 평절단한 말단부(2a)를 걸쳐서 위치고정시키고, 상기 벨로우즈관용 어댑터(1)의 접합용 림(22)이 상기 벨로우즈관(2)의 말단부(2a) 외주면에 용융되어서 덧입혀지도록 용접 접합한 것이다.

개스통로관(10)은 원통형의 단면형상으로서 그 내부에 개스를 통과시키는 통로부(11)를 가지도록 형성되어서, 벨로우즈관(2)을 경유하여서 공급되는 개스를 작업위치에 토출시켜 주도록 한다.

그리고, 상기 개스통로관(10)은 그 내부에 벨로우즈관(2)의 개스공급능력을 감안한 내경크기로서 통로부(11)를 형성하여서, 벨로우즈관(2)을 경유하여서 공급되는 개스를 원할하게 토출시킬 수 있도록 함이 바람직하다.

접합헤드(20)는 상기 개스통로관(10)의 어느 일측에 형성하여서 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)와 용접할 수 있게 하여 주는 구성부이다.

상기 접합헤드(20)는 상기 개스통로관(10)의 어느 일측단에 연통되어서 벨로우즈관(2)과 상응하는 직경크기로서 크게 확경된 맞댐접합단부(21)의 원주둘레에 접합용 림(22)이 형성되도록 함이 중요하다. 그 이유는, 본 용접 이전에 상기 접합용 림(22)으로서 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)를 어긋남이 없이 위치고정시켜서 정확하게 용접할 수 있도록 하고, 본 용접시에는 상기 접합용 림(22)이 벨로우즈관(2)의 말단부(2a) 외주면에 덧입혀지게 용접하여서 견실하게 접합할 수 있도록 하기 위함이다.

그리고, 상기 접합헤드(20)는 도2에 도시되는 바와 같이 그 외주면 일정위치에 전도열차단홈(23)을 형성할 수도 있음을 밝혀 둔다. 이 전도열차단홈(23)은 상기 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21)와 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)를 용접할 때에 가해진 열이 접합헤드(20) 및 개스통로관(10)에 열전달됨을 억제하여 주어서, 이후에 벨로우즈관(2)으로부터 공급된 개스와 접촉하는 접합헤드(20) 및 개스통로관(10)이 산화되어서 쉽게 부식됨을 방지하는 데 도움이 된다.

이와 같이 구성되고 실시되는 본발명의 벨로우즈관용 어댑터(1)는 그 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21)에 일체로서 형성되는 접합용 림(22)을 가져서, 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21)와 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)를 서로 정위치에 고정시켜서 자동용접기로서 용접작업을 수행할 수 있도록 함으로써, 첫째 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 용접한 접합부위의 불량률을 최소화하여 주며, 둘째 용접작업시에 자동용접기를 사용하여서 작업능률을 크게 향상시켜 주면서도 용접작업시간을 단축시켜 주는 등의 장점을 가지게 되는 것이다.

이상에서 살펴 본 바와 같이, 본발명은 접합헤드의 맞댐접합단부와 벨로우즈관의 말단부를 용접한 접합부위의 불량률을 감소시켜 줄 뿐만 아니라, 자동용접기로서 용접할 수 있도록 하여서 작업능률을 향상시켜 주면서도 용접작업시간을 단축시켜 주는 등의 유용한 효과를 가지게 되는 것이다.

Claims

원통형의 단면형상으로서 그 내부에 개스를 통과시키는 통로부(11)를 가지는 개스통로관(10)과, 상기 개스통로관(10)의 어느 일측단에 연통되어서 벨로우즈관(2)과 상응하는 직경크기로서 크게 확경된 맞댐접합단부(21)를 가지는 접합헤드(20)로 구성된 것에 있어서,

상기 접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21) 원주둘레를 따라 상기 벨로우즈관(2)의 말단부(2a)가 살짝 걸쳐져서 위치고정될 수 있는 정도의 높이와 두께로서 접합용 림(22)을 일체로 연장 형성하여서 됨을 특징으로 하는 벨로우즈관용 어댑터.
제1항에 있어서, 상기 접합헤드(20)는 그 외주면 일정위치에 전도열차단홈(23)을 형성하여서 됨을 특징으로 하는 벨로우즈관용 어댑터.
접합헤드(20)의 맞댐접합단부(21)에 일체로 형성되는 접합용 림(22)을 가지는 벨로우즈관용 어댑터(1)를 구비하되, 상기 벨로우즈관용 어댑터(1)의 접합용 림(22)에 벨로우즈관(2)의 해당위치 굴곡파형(2b)의 정상부 중간을 평절단한 말단부(2a)를 걸쳐서 위치고정시키고, 상기 벨로우즈관용 어댑터(1)의 접합용 림(22)이 상기 벨로우즈관(2)의 말단부(2a) 외주면에 용융되어서 덧입혀지도록 용접 접합함을 특징으로 하는 벨로우즈관용 어댑터.