KR100349378B1 - 반사형액정표시장치의형성방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 방법은, 하부기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터가 형성된 하부기판 상에 유기절연막을 도포하는 단계; 상기 유기절연막 상에 레진막을 도포하는 단계; 상기 레진막과 유기절연막을 식각하여 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 레진막 표면 상에 볼 형상의 스페이서를 산포하는 단계; 상기 스페이서를 레진막 표면에 고착시키는 단계; 및 상기 고착된 스페이서를 포함한 레진막 상에 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 여기서, 상기 스페이서를 고착시키는 단계는 표면 상에 스페이서가 산포된 레진막에 UV선을 조사하는 방식으로 수행한다.

Description

반사형 액정 표시 장치의 형성방법
본 발명은 반사형 액정 표시 장치의 형성방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 반사형 액정 표시 장치의 반사면에 돌기를 형성하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반사형 액정표시장치(이하, LCD)는 별도의 광원이 요구되지 않고, 자연광을 이용한다.
이러한 반사형 LCD는 상부 기판으로부터 자연광이 입사되면, 화소 전극을 통하여, 다시 빛이 반사되어지는데, 이때, 액정 분자들의 배열 상태에 따라서 빛이 흡수되거나 또는 통과된다.
종래의 반사형 액정표시장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 상, 하부기판(1,5)이 서로 대향되도록 배치되어 있다.
하부 기판(1) 상부의 적소에는 공지의 기술로 형성된 박막트랜지스터(TFT)가 구비되고, 상기 박막 트랜지스터(TFT)가 구비된 하부기판(1)의 전 영역 상에는 유기절연막(2)이 형성된다. 상기 유기절연막(2)에는 박막트랜지스터(TFT)의 소정 부분, 즉, 소오스전극을 노출시키는 콘택홀이 형성되고, 콘택홀을 통하여 노출된 박막트랜지스터(TFT)와 콘택되도록 상기 유기절연막(2) 상에는 화소전극(3)이 형성된다.
이때, 반사형 액정표시장치에서의 화소전극(3)은 계면 반사 특성이 우수한 알루미늄 금속막이 이용된다. 화소 전극(3)을 불투명한 금속막으로 형성하여도 반사의 역할만 하므로, 액정 표시 장치의 개구율과는 상관없다.
상부기판(5)의 내측면에는 박막 트랜지스터(TFT)와 대응하는 부분에 블랙매트릭스(6)가 형성되고, 블랙매트릭스(6)의 양측에는 색화소(7)가 형성된다. 블랙매트릭스(6)와 색화소(7) 상의 표면에는 공통전극(8)이 형성된다.
도면에는 도시되지 않았지만, 상, 하부기판(1, 5)의 내측면 표면에는 수평 배향막이 각각 설치되며, 이때, 상,하 수평 배향막은 서로 크로스되는 방향으로 러빙된다.
상,하부기판(1, 5) 사이에는 액정층(9)이 개재된다. 이 액정층(9)은 네마틱액정분자(9a)와 입사된 광을 선택적으로 흡수 또는 차단하는 염색제(9b)를 포함한다. 이때, 빛은 염색제(9b)의 장축을 지날때는 상기 염색체(9b)에 흡수되고, 상기 염색체(9b)의 단축을 지날때는 투과된다.
여기서, 종래의 반사형 액정표시장치에서는 빛의 반사각을 개선하고자, 유기 절연막(2)의 표면에 인위적으로 토폴로지를 형성한다. 상기 토폴로지를 형성하기 위해, 종래에는 유기 절연막(3)의 표면에 포토레지스트막을 피복한 다음, 홀로그래피 방식등으로 상기 포토레지스트막을 식각 처리하였다.
이와같이, 유기절연막(2)의 표면에 토폴로지를 형성하게 되면, 화소 전극(3) 또한 토폴로지를 갖게 되며, 따라서, 입사된 빛이 더 큰 반사각으로 반사됨으로써 시야각 특성이 형성된다.
그러나 전술한 바와 같이 종래의 반사형 액정표시장치는 화소전극(3)의 표면에 토폴로지를 부여하기 위해, 포토레지스트막을 피복하고, 홀로그래피 방식으로 노광을 실시한 다음 패터닝 공정을 실시하여야 하므로, 제조공정이 복잡하고, 이로 인하여, 제조비용이 상승하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 단순한 공정으로 화소전극 표면에 토폴로지를 부여할 수 있는 반사형 액정표시장치의 형성방법을 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 반사형 액정 표시 장치의 단면도.
도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 설명하기 위한 단면도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
11 : 하부 기판 12 : 박막 트랜지스터
13 : 게이트 절연막 14 : 유기 절연막
15 : 콘택홀 16 : 레진막
17 : 스페이서 18 : 알루미늄 금속막
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반사형 액정표시장치의 형성 방법은, 하부기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터가형성된 하부기판 상에 유기절연막을 도포하는 단계; 상기 유기절연막 상에 레진막을 도포하는 단계; 상기 레진막과 유기절연막을 식각하여 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 레진막 표면 상에 볼 형상의 스페이서를 산포하는 단계; 상기 스페이서를 레진막 표면에 고착시키는 단계; 및 상기 고착된 스페이서를 포함한 레진막 상에 화소전극을 형성하는 단계를 포함하며, 여기서, 상기 스페이서를 고착시키는 단계는 표면 상에 스페이서가 산포된 레진막을 UV선을 조사하는 방식으로 수행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 반사형 액정표시장치에서 화소전극을 형성하는 공정시, 화소전극이 형성되어질 표면에 스페이서를 산포한후 고착시켜서, 화소전극이 형성될 표면에 돌기를 형성한다. 이에 따라, 화소전극이 돌기 형태로 형성되므로, 포토리소그라피 공정없이도 반사형 액정표시장치에서 반사 돌기를 형성할 수 있다.
(실시예)
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 설명하기 위한 단면도이다.
본 실시예에 있어서, 상부기판을 종래와 동일하므로, 하부기판 구조에 대하여만 설명한다.
도 2a를 참조하면, 하부기판(11) 상에 공지의 방식으로 게이트 절연막(13)을 포함한 박막트랜지스터(12)를 형성한다. 그런다음, 상기 박막트랜지스터(12)가 형성된 하부기판(11)의 전면 상에 유기절연막(14)을 형성한다. 상기 유기절연막(14)으로는 아크릴 수지가 이용될 수 있다. 계속해서, 상기 유기절연막 상에 UV(ultraviolet)에 의하여 경화될 수 있는 레진막(16)을 도포하고, 이어서, 상기 레진막(16)과 유기절연막(14)의 소정 부분을 선택적으로 식각하여 상기 박막트랜지스터(12)의 일 부분, 즉, 소오스전극을 노출시키는 콘택홀(15)을 형성한다.
다음으로, 상기 레진막(16) 표면 상에 비교적 가격이 저렴한 스페이서(17)을 산포한다. 이때, 상기 스페이서(17)는 볼 형상으로서, 레진 또는 플라스틱 등으로 이루어진다. 이어서, 상기 결과물에, 즉, 표면에 스페이서가 산포된 레진막(16)에 UV선을 조사한다. 이때, UV선에 의해 상기 레진막(16)이 경화되므로, 그 표면에 산포된 스페이서(17)가 레진막(16) 표면에 고착된다.
도 2b를 참조하면, 상기 결과물 상에 화소전극으로서 기능하는 알루미늄 금속막(18)을 증착한다. 상기 알루미늄 금속막(18)은 피복 특성이 우수하므로, 하부 토폴로지와 동일한 토폴로지를 갖도록 피복되어진다. 따라서, 도시된 바와같이, 별도의 포토리소그라피 공정없이도 알루미늄 금속막(18)의 표면에는 반사 돌기가 형성된다.
이후, 도면에는 도시되지 않았지만, 알루미늄 금속막(18)을 패터닝하여, 액정 표시 장치의 화소 전극을 형성하고, 공지의 후속 공정을 순차적으로 수행하여 본 발명에 따른 반사형 액정표시장치를 완성한다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 화소전극이 형성되어질 표면에 스페이서를 산포한후 이를 고착시켜서, 상기 화소전극이 형성될 표면에 돌기를 형성한다. 이에 따라, 화소전극이 표면에 돌기를 갖도록 형성할 수 있게 되며, 그래서, 별도의 포토리소그라피 공정없이도 반사형 액정표시장치에서의 화소전극에 반사 돌기를 형성할 수 있다.
그러므로, 본 발명의 방법에 따르면, 공정이 단순화되어 제조 비용을 감축시킬 수 있게 된다.
기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (2)

  1. 하부기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
    상기 박막트랜지스터가 형성된 하부기판 상에 유기절연막을 도포하는 단계;
    상기 유기절연막 상에 레진막을 도포하는 단계;
    상기 레진막과 유기절연막을 식각하여 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계;
    상기 레진막 표면 상에 볼 형상의 스페이서를 산포하는 단계;
    상기 스페이서를 레진막 표면에 고착시키는 단계; 및
    상기 고착된 스페이서를 포함한 레진막 상에 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사형 액정표시장치의 형성방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 스페이서를 고착시키는 단계는
    표면상에 스페이서가 산포된 레진막에 UV선을 조사하는 방식으로 수행하는 것을 특징으로 하는 반사형 액정표시장치의 형성방법.
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